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一種PN結(jié)的制作方法

文檔序號:11826229閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種PN結(jié),其特征在于,至少包括:

輕摻雜P區(qū)、與輕摻雜P區(qū)相連的輕摻雜N區(qū);

其中,輕摻雜P區(qū)和輕摻雜N區(qū)在波導(dǎo)脊形區(qū)長度方向交替分布,且輕摻雜P區(qū)和輕摻雜N區(qū)在波導(dǎo)脊形區(qū)上的區(qū)域的交界面在與交界面垂直的平面上的投影為一條折線。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PN結(jié),其特征在于,還包括:與所述輕摻雜P區(qū)相連的重?fù)诫sP區(qū)、與所述輕摻雜N區(qū)相連的重?fù)诫sN區(qū)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的PN結(jié),其特征在于,所述輕摻雜N區(qū)在所述波導(dǎo)脊形區(qū)上的區(qū)域在與所述交界面垂直的平面上的投影形狀為平面型結(jié)構(gòu);

所述輕摻雜P區(qū)在所述波導(dǎo)脊形區(qū)上的區(qū)域在與所述交界面垂直的平面上的投影形狀與所述輕摻雜N區(qū)在所述波導(dǎo)脊形區(qū)上的區(qū)域在與所述交界面垂直的平面上的投影形狀相對應(yīng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的PN結(jié),其特征在于,所述平面型結(jié)構(gòu)以下的一種或多種:

凸凹疊加型,王字型、S型、I子型。

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