光罩夾具的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提出了一種用于夾緊光罩邊緣的光罩夾具，包括手柄、與手柄固定在一起的活動(dòng)夾、和設(shè)于光罩夾具內(nèi)部的彈簧，所述彈簧與所述活動(dòng)夾、手柄均相連接。光罩夾具具有能夠活動(dòng)的活動(dòng)夾，被一彈簧控制，能夠夾住光罩的邊緣，不會(huì)污染所述光罩，同時(shí)由于光罩夾具能夠牢靠的夾緊所述光罩，防止所述光罩脫落，避免對(duì)所述光罩造成損傷，也能夠避免對(duì)下方的透鏡造成破壞，提高了取出光罩的成功率。
【專(zhuān)利說(shuō)明】光罩夾具
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種光罩夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)有技術(shù)的光刻設(shè)備中，通常是使用機(jī)械手臂將光罩傳輸至設(shè)備內(nèi)部，將光罩放置位于多組透鏡的上方，以進(jìn)行曝光等工藝。然而，由于機(jī)械手臂為運(yùn)動(dòng)部件，其在光刻設(shè)備內(nèi)部中能夠到達(dá)的位置有5個(gè)，若光刻設(shè)備出現(xiàn)意外或者故障時(shí)，會(huì)導(dǎo)致機(jī)械手臂位于不同的位置，由機(jī)械手臂傳輸?shù)墓庹忠簿涂赡芪挥诓煌恢?。此時(shí)，由于光刻設(shè)備無(wú)法繼續(xù)進(jìn)行正常工作，需要手動(dòng)取出光罩，重新對(duì)設(shè)備機(jī)臺(tái)進(jìn)行恢復(fù)之后才能進(jìn)行工作。而光刻設(shè)備僅有一側(cè)面能夠深入并取出光罩，若機(jī)械手臂停止的位置遠(yuǎn)離光刻設(shè)備能夠深入的一偵牝則由人工取出光罩十分麻煩并且存在極大的風(fēng)險(xiǎn)。
[0003]而且，請(qǐng)參考圖1，圖1為光罩10的俯視圖，所述光罩10上存在圖形區(qū)20，位于圖形區(qū)20上的線(xiàn)條極細(xì)，并且薄膜較薄，若手指觸碰上會(huì)污染圖形區(qū)20，嚴(yán)重則會(huì)導(dǎo)致光罩10的無(wú)法正常使用，甚至報(bào)廢。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中，人工取出光罩10存在以下風(fēng)險(xiǎn):
[0005]1、由于所述光罩10下方設(shè)有多組透鏡,若提取光罩10不慎,則會(huì)導(dǎo)致光罩10掉落，砸傷透鏡，甚至將透鏡砸碎，導(dǎo)致光刻設(shè)備癱瘓。若更換透鏡，則至少需要2個(gè)月時(shí)間，并且透鏡價(jià)格昂貴，會(huì)增加生產(chǎn)成本。
[0006]2、若手指觸碰到光罩10，則會(huì)對(duì)光罩10的圖形區(qū)20造成污染，導(dǎo)致生產(chǎn)出的晶圓存在缺陷或者報(bào)廢。
[0007]3、光罩10的生產(chǎn)需要較長(zhǎng)時(shí)間，若光罩10的報(bào)廢需要重新更換則會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)停線(xiàn)，造成巨大損失。
[0008]由于人工操作難免存在失誤，因此，如何降低上述風(fēng)險(xiǎn)便成為本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的技術(shù)問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0009]本實(shí)用新型的目的在于提供一種光罩夾具，能夠夾住光罩的邊緣，避免對(duì)光罩造成污染，同時(shí)也降低了光罩未被加緊易掉落的風(fēng)險(xiǎn)。
[0010]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出了一種光罩夾具，用于夾緊光罩的邊緣，所述夾具包括活動(dòng)夾、手柄和彈簧，其中，所述活動(dòng)夾與所述手柄固定在一起，所述彈簧設(shè)于所述光罩夾具的內(nèi)部，所述彈簧與所述活動(dòng)夾、手柄均相連接。
[0011]進(jìn)一步的，所述光罩夾具還包括多個(gè)固定片，所述固定片分別固定在所述活動(dòng)夾的兩側(cè)。
[0012]進(jìn)一步的,所述活動(dòng)夾分為上活動(dòng)夾和下活動(dòng)夾,所述上活動(dòng)夾和下活動(dòng)夾尺寸匹配。
[0013]進(jìn)一步的，所述上活動(dòng)夾和下活動(dòng)均固定有所述固定片，并且所述固定片的位置相對(duì)。
[0014]進(jìn)一步的，所述固定片與所述活動(dòng)夾為一體成型。
[0015]進(jìn)一步的，所述活動(dòng)夾為三邊矩形。
[0016]進(jìn)一步的，所述活動(dòng)夾的寬度范圍小于等于3_。
[0017]進(jìn)一步的，所述活動(dòng)夾與所述手柄為一體成型。
[0018]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果主要體現(xiàn)在:光罩夾具具有能夠活動(dòng)的活動(dòng)夾，被一彈簧控制，能夠夾住光罩的邊緣，不會(huì)污染所述光罩，同時(shí)由于光罩夾具能夠牢靠的夾緊所述光罩，防止所述光罩脫落，避免對(duì)所述光罩造成損傷，也能夠避免對(duì)下方的透鏡造成破壞，提高了取出光罩的成功率。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1為光罩的俯視圖；
[0020]圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例中光罩夾具以及光罩的俯視圖；
[0021]圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例中光罩夾具以及光罩的側(cè)視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本實(shí)用新型的光罩夾具進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型，而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。
[0023]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開(kāi)發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開(kāi)發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開(kāi)發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。
[0024]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實(shí)用新型。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書(shū)，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0025]請(qǐng)參考圖2和圖3，在本實(shí)施例中，提出了一種光罩夾具100，用于夾緊光罩10的邊緣，所述光罩夾具100包括活動(dòng)夾140、手柄130和彈簧120，其中，所述活動(dòng)夾140與所述手柄130固定在一起，所述彈簧120設(shè)于所述光罩夾具100的內(nèi)部，所述彈簧120與所述活動(dòng)夾140、手柄130均相連接。
[0026]在本實(shí)施例中，所述光罩夾具100還包括多個(gè)固定片110，所述固定片110分別固定在所述活動(dòng)夾140的兩側(cè),所述活動(dòng)夾140分為上活動(dòng)夾和下活動(dòng)夾(如圖3所示),所述上活動(dòng)夾和下活動(dòng)夾的尺寸匹配，所述上活動(dòng)夾和下活動(dòng)均固定有所述固定片110，并且所述固定片100的位置相對(duì)，所述固定片110可以與所述活動(dòng)夾為一體成型方式固定在一起，所述固定片100能夠夾住所述光罩10的邊緣，增加所述光罩夾具100對(duì)所述光罩10的加持力。
[0027]在本實(shí)施例中，所述活動(dòng)夾140呈三邊矩形狀或U型(如圖2所示)或者呈矩形框狀，所述活動(dòng)夾140寬度W的范圍小于3mm，由于所述光罩10的圖形區(qū)20 (如圖1中虛線(xiàn)框所示的區(qū)域)極為重要，不能被觸碰，然而位于所述光罩10的邊緣處則是可以被觸碰的地方，因此本實(shí)施例中提出的光罩夾具100僅僅夾持所述光罩10的邊緣區(qū)，為了不觸及圖形區(qū)20,因此采用寬度小于等于3mm的活動(dòng)夾140即可。
[0028]在本實(shí)施例中，所述活動(dòng)夾與所述手柄可以為一體成型的方式形成，類(lèi)似于剪刀功能。
[0029]綜上，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的光罩夾具中，光罩夾具具有能夠活動(dòng)的活動(dòng)夾，被一彈簧控制，能夠夾住光罩的邊緣，不會(huì)污染所述光罩，同時(shí)由于光罩夾具能夠牢靠的夾緊所述光罩，防止所述光罩脫落，避免對(duì)所述光罩造成損傷，也能夠避免對(duì)下方的透鏡造成破壞，提高了取出光罩的成功率。
[0030]上述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對(duì)本實(shí)用新型起到任何限制作用。任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對(duì)本實(shí)用新型揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動(dòng)，均屬未脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種光罩夾具，用于夾緊光罩的邊緣，其特征在于，所述夾具包括活動(dòng)夾、手柄和彈簧，其中，所述活動(dòng)夾與所述手柄固定在一起，所述彈簧設(shè)于所述光罩夾具的內(nèi)部，所述彈簧與所述活動(dòng)夾、手柄均相連接。
2.如權(quán)利要求1所述的一種光罩夾具，其特征在于，所述光罩夾具還包括多個(gè)固定片，所述固定片分別固定在所述活動(dòng)夾的兩側(cè)。
3.如權(quán)利要求2所述的一種光罩夾具，其特征在于，所述活動(dòng)夾分為上活動(dòng)夾和下活動(dòng)夾，所述上活動(dòng)夾和下活動(dòng)夾尺寸匹配。
4.如權(quán)利要求3所述的一種光罩夾具，其特征在于，所述上活動(dòng)夾和下活動(dòng)均固定有所述固定片，并且所述固定片的位置相對(duì)。
5.如權(quán)利要求4所述的一種光罩夾具，其特征在于，所述固定片與所述活動(dòng)夾為一體成型。
6.如權(quán)利要求3所述的一種光罩夾具，其特征在于，所述活動(dòng)夾呈三邊矩形或四邊矩形狀。
7.如權(quán)利要求6所述的一種光罩夾具，其特征在于，所述活動(dòng)夾的寬度范圍小于等于3mm ο
8.如權(quán)利要求1所述的一種光罩夾具，其特征在于，所述活動(dòng)夾與所述手柄為一體成型。
【文檔編號(hào)】G03F7/20GK203720527SQ201420019263
【公開(kāi)日】2014年7月16日 申請(qǐng)日期:2014年1月13日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月13日
【發(fā)明者】楊艷全 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司