波長可變干涉濾波器、濾光器設(shè)備、光模塊以及電子設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種波長可變干涉濾波器、濾光器設(shè)備、光學(xué)模塊及電子設(shè)備。該波長可變干涉濾波器（5）具備一對基板（51、52）；設(shè)置在這些基板上的一對反射膜（54、55）；第一電極（561）；第二電極（562）；設(shè)置在第一基板（51）上、從第一電極起一直設(shè)置到第一基板的外周緣側(cè)的第一導(dǎo)通電極（563）；設(shè)置在第二基板（52）上、與第一導(dǎo)通電極導(dǎo)通的第二導(dǎo)通電極（564）；以及接合基板的接合面的接合層。第一基板具有與第一導(dǎo)通電極與第二導(dǎo)通電極接觸的接觸面相對的第一導(dǎo)通電極面（516），第二基板具有與上述接觸面相對的第二導(dǎo)通電極面（564A），從第一導(dǎo)通電極面到第二導(dǎo)通電極面的最小距離D1與從第一接合面（515）到第二接合面（524）的最小距離D2不同。
【專利說明】波長可變干涉濾波器、濾光器設(shè)備、光模塊以及電子設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及波長可變干涉濾波器、濾光器設(shè)備、光學(xué)模塊以及電子設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，已知有在一對基板彼此相對的面上隔著規(guī)定的間隙分別相對配置反射膜、在各基板彼此相對的面上分別設(shè)置驅(qū)動電極的波長可變干涉濾波器。在該波長可變干涉濾波器上，通過向驅(qū)動電極間施加電壓，從而通過靜電引力調(diào)節(jié)反射膜間的間隙。
[0003]在這樣的波長可變干涉濾波器上，必須在各基板上形成從各驅(qū)動電極伸出的第一導(dǎo)通電極，針對這些第一導(dǎo)通電極實施用于施加電壓的布線。
[0004]例如，在專利文獻(xiàn)I所述的波長可變干涉濾波器上，彼此相對的第一基板和第二基板通過接合膜接合。接合膜被設(shè)置在第一基板的第一接合面和第二基板的第二接合面上。此外，在第一基板上，在與第一接合面的同一個平面上設(shè)置第一電極面，在第一電極面上設(shè)置用于向第二驅(qū)動電極施加電壓的第一導(dǎo)通電極。專利文獻(xiàn)I所述的波長可變干涉濾波器通過該第一導(dǎo)通電極與從第二基板的驅(qū)動電極伸出的第二導(dǎo)通電極進(jìn)行面接觸，從而形成第一導(dǎo)通電極與第二導(dǎo)通電極導(dǎo)通的狀態(tài)。
[0005]但是，在專利文獻(xiàn)I所述的波長可變干涉濾波器上，由于第一接合面與第一電極面設(shè)置在同一個平面上，因此，第一導(dǎo)通電極與第二導(dǎo)通電極接觸的基板間導(dǎo)通部上的基板間距離受到第一接合面與第二接合面的間隔的限制。因此，基板間導(dǎo)通部上的第一導(dǎo)通電極與第二導(dǎo)通電極的膜厚受到接合膜的膜厚的限制，自由度低。因此具有難以根據(jù)波長可變干涉濾波器所需要的規(guī)格和性能使電極膜厚大于或小于接合層的膜厚的問題。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)1:特開2012-168438號公報
【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明的目的在于提供可以提高在基板間使電極接觸的基板間導(dǎo)通部上的電極膜厚的自由度的波長可變干涉濾波器，以及具有該波長可變干涉濾波器的濾光器設(shè)備、光學(xué)模塊以及電子設(shè)備。
[0010]本發(fā)明是一種波長可變干涉濾波器，具備:第一基板；第二基板，所述第二基板與上述第一基板相對；第一反射膜，所述第一反射膜設(shè)置在上述第一基板上，反射一部分入射光且透過一部分；第二反射膜，所述第二反射膜設(shè)置在上述第二基板上，與上述第一反射膜相對，反射一部分入射光且透過一部分；第一電極，所述第一電極設(shè)置在上述第一基板上；第一導(dǎo)通電極，所述第一導(dǎo)通電極設(shè)置在上述第一基板上，從上述第一電極起一直設(shè)置到比上述第一電極更位于上述第一基板的外周緣側(cè)；第二電極，所述第二電極設(shè)置在上述第二基板上，與上述第一電極相對；第二導(dǎo)通電極，所述第二導(dǎo)通電極設(shè)置在上述第二基板上，通過上述第一導(dǎo)通電極與上述第一電極電連接；接合層，所述接合層接合上述第一基板的第一接合面和與上述第一接合面相對的上述第二基板的第二接合面，其中，上述第一基板具有與上述第一導(dǎo)通電極與上述第二導(dǎo)通電極接觸的接觸面相對的第一導(dǎo)通電極面，上述第二基板具有與上述接觸面相對的第二導(dǎo)通電極面，從上述第一導(dǎo)通電極面到上述第二導(dǎo)通電極面的最小距離與從上述第一接合面到上述第二接合面的最小距離不同。
[0011]在本發(fā)明中，波長可變干涉濾波器具有第二導(dǎo)通電極與第二導(dǎo)通電極接觸的接觸面，在第一基板上，第一導(dǎo)通電極設(shè)置在與接觸面相對的第一導(dǎo)通電極面上，在第二基板上，第二導(dǎo)通電極設(shè)置在與接觸面相對的第二導(dǎo)通電極面上。并且，在本發(fā)明中，從第一基板的第一接合面到第二基板的第二接合面的最小距離被設(shè)定成與從第一基板的第一導(dǎo)通電極面到第二基板的第二導(dǎo)通電極面的最小距離不同。即，在本發(fā)明中，第一接合面與第一導(dǎo)通電極面不在同一個平面上，被分別設(shè)置在第一基板的厚度方向不同的平面上。因此，在第一導(dǎo)通電極與第二導(dǎo)通電極進(jìn)行電連接的基板間導(dǎo)通部上，可以不受接合層的膜厚的限制地設(shè)定第一導(dǎo)通電極和第二導(dǎo)通電極的膜厚。因此，根據(jù)本發(fā)明，可以提高在基板間使電極接觸的基板間導(dǎo)通部上的電極膜厚的自由度。因此，可以根據(jù)波長可變干涉濾波器所需要的規(guī)格和性能使電極膜厚大于接合層的膜厚或小于接合層的膜厚。
[0012]在本發(fā)明的波長可變干涉濾波器上，優(yōu)選使從上述第一導(dǎo)通電極面到上述第二導(dǎo)通電極面的最小距離大于從上述第一接合面到上述第二接合面的最小距離。
[0013]在本發(fā)明中，由于使從第一導(dǎo)通電極面到上述第二導(dǎo)通電極面的最小距離大于從第一接合面到第二接合面的最小距離，因此，在基板間導(dǎo)通部可以不受接合層的膜厚的限制、將第一導(dǎo)通電極和第二導(dǎo)通電極的膜厚設(shè)定成更厚。因此可以減小電極的電阻。
[0014]另一方面，優(yōu)選使從上述第一導(dǎo)通電極面到上述第二導(dǎo)通電極面的最小距離小于從上述第一接合面到上述第二接合面的最小距離。
[0015]在本發(fā)明中，由于使從第一導(dǎo)通電極面到第二導(dǎo)通電極面的最小距離小于從第一接合面到第二接合面的最小距離，因此，在基板間導(dǎo)通部可以不受接合層的膜厚的限制、將第一導(dǎo)通電極和第二導(dǎo)通電極的膜厚設(shè)定成更薄。因此可以減小電極的膜應(yīng)力，可以抑制因該膜應(yīng)力引起的基板的撓曲或翹曲。
[0016]在本發(fā)明的波長可變干涉濾波器上，優(yōu)選上述第二基板的設(shè)置上述第二導(dǎo)通電極面的部位相對于該第二基板的厚度方向具有可撓性。
[0017]在本發(fā)明中，在第一導(dǎo)通電極與第二導(dǎo)通電極接觸時，由于該接觸壓，應(yīng)力有可能施加在第二基板上。尤其是，如果為了提高第一導(dǎo)通電極面上的第一導(dǎo)通電極和第二導(dǎo)通電極面上的第二導(dǎo)通電極的導(dǎo)通可靠性，對這些電極進(jìn)行壓接，有可能大的應(yīng)力施加在第二基板上。在本發(fā)明中，第二基板的設(shè)置第二導(dǎo)通電極面的部位具有可撓性。因此，通過具有該可撓性的部位進(jìn)行撓曲，可以釋放第一導(dǎo)通電極與第二導(dǎo)通電極接觸時的接觸壓引起的應(yīng)力。其結(jié)果，第二基板不會由于接觸壓引起的應(yīng)力而撓曲，可以抑制波長可變干涉濾波器上的分辨率降低。
[0018]在本發(fā)明的波長可變干涉濾波器上，優(yōu)選上述第一基板的設(shè)置上述第一導(dǎo)通電極面的部位相對該第一基板的厚度方向具有可撓性。
[0019]在本發(fā)明中，在第一導(dǎo)通電極與第二導(dǎo)通電極接觸時，由于該接觸壓，應(yīng)力有可能施加在第一基板上。尤其是，如果為了提高第一導(dǎo)通電極面上的第一導(dǎo)通電極和第二導(dǎo)通電極面上的第二導(dǎo)通電極的導(dǎo)通可靠性，對這些電極進(jìn)行壓接，有可能大的應(yīng)力施加在第一基板上。在本發(fā)明中，第一基板的設(shè)置第一導(dǎo)通電極面的部位具有可撓性。因此，通過具有該可撓性的部位進(jìn)行撓曲，可以釋放第一導(dǎo)通電極與第二導(dǎo)通電極接觸時的接觸壓引起的應(yīng)力。其結(jié)果，第一基板不會由于接觸壓引起的應(yīng)力而撓曲，可以抑制波長可變干涉濾波器上的分辨率降低。
[0020]本發(fā)明的與上述不同方式的波長可變干涉濾波器，向外部射出與相對的反射膜間的距離相應(yīng)的波長的光，通過第一電極和與上述第一電極相對的第二電極的電位差改變上述距離，具備:設(shè)置了上述第一電極和與上述第一電極電連接的第一導(dǎo)通電極的第一基板、設(shè)置了上述第二電極和通過上述第一導(dǎo)通電極與上述第一電極電連接的第二導(dǎo)通電極的第二基板以及接合上述第一基板和上述第二基板的接合層，其特征在于，上述第一導(dǎo)通電極與上述第二導(dǎo)通電極重疊接觸的層疊部的厚度與上述接合層的厚度不同。
[0021]在本發(fā)明中，第一基板上的第一導(dǎo)通電極與第二基板上的第二導(dǎo)通電極重疊接觸的層疊部的厚度與接合層的厚度不同。在本發(fā)明中，在層疊部在第一基板的第一導(dǎo)通電極與第二基板的第二導(dǎo)通電極之間實現(xiàn)導(dǎo)通，可以不受接合層的厚度的限制地設(shè)定層疊部的厚度。因此，根據(jù)本發(fā)明可以提高在基板間使電極接觸的基板間導(dǎo)通部上的電極膜厚的自由度。因此，可以根據(jù)波長可變干涉濾波器所需要的規(guī)格和性能，使電極膜厚比接合層的膜厚更厚或更薄。
[0022]本發(fā)明是一種濾光器設(shè)備，具備波長可變干涉濾波器和殼體，所述波長可變干涉濾波器具備:第一基板；第二基板，所述第二基板與上述第一基板相對；第一反射膜，所述第一反射膜設(shè)置在上述第一基板上，反射一部分入射光且透過一部分；第二反射膜，所述第二反射膜設(shè)置在上述第二基板上，與上述第一反射膜相對，反射一部分入射光且透過一部分；第一電極，所述第一電極設(shè)置在上述第一基板上；第一導(dǎo)通電極，所述第一導(dǎo)通電極設(shè)置在上述第一基板上，從上述第一電極起一直設(shè)置到比上述第一電極更位于上述第一基板的外周緣側(cè)；第二電極，所述第二電極設(shè)置在上述第二基板上，與上述第一電極相對；第二導(dǎo)通電極，所述第二導(dǎo)通電極設(shè)置在上述第二基板上，通過上述第一導(dǎo)通電極與上述第一電極電連接；接合層，所述接合層接合上述第一基板的第一接合面和與上述第一接合面相對的上述第二基板的第二接合面，其中，上述第一基板具有與上述第一導(dǎo)通電極與上述第二導(dǎo)通電極接觸的接觸面相對的第一導(dǎo)通電極面，上述第二基板具有與上述接觸面相對的第二導(dǎo)通電極面，從上述第一導(dǎo)通電極面到上述第二導(dǎo)通電極面的最小距離與從上述第一接合面到上述第二接合面的最小距離不同。
[0023]在本發(fā)明中，與上述發(fā)明一樣，可以提高在波長可變干涉濾波器的基板間使電極接觸的基板間導(dǎo)通部上的電極膜厚的自由度。除此之外，由于波長可變干涉濾波器被收容在殼體內(nèi)，因此可以保護(hù)波長可變干涉濾波器避免受到例如搬運時的撞擊等。此外，可以防止異物附著在波長可變干涉濾波器的第一反射膜或第二反射膜上。該異物例如是水珠或帶電物質(zhì)等。
[0024]本發(fā)明是一種光學(xué)模塊，具備波長可變干涉濾波器和檢測部，所述波長可變干涉濾波器具備:第一基板；第二基板，所述第二基板與上述第一基板相對；第一反射膜，所述第一反射膜設(shè)置在上述第一基板上，反射一部分入射光且透過一部分；第二反射膜，所述第二反射膜設(shè)置在上述第二基板上，與上述第一反射膜相對，反射一部分入射光且透過一部分；第一電極，所述第一電極設(shè)置在上述第一基板上；第一導(dǎo)通電極，所述第一導(dǎo)通電極設(shè)置在上述第一基板上，從上述第一電極起一直設(shè)置到比上述第一電極更位于上述第一基板的外周緣側(cè)；第二電極，所述第二電極設(shè)置在上述第二基板上，與上述第一電極相對；第二導(dǎo)通電極，所述第二導(dǎo)通電極設(shè)置在上述第二基板上，通過上述第一導(dǎo)通電極與上述第一電極電連接；接合層，所述接合層接合上述第一基板的第一接合面和與上述第一接合面相對的上述第二基板的第二接合面，其中，上述第一基板具有與上述第一導(dǎo)通電極與上述第二導(dǎo)通電極接觸的接觸面相對的第一導(dǎo)通電極面，上述第二基板具有與上述接觸面相對的第二導(dǎo)通電極面，從上述第一導(dǎo)通電極面到上述第二導(dǎo)通電極面的最小距離與從上述第一接合面到上述第二接合面的最小距離不同。
[0025]在本發(fā)明中，與上述發(fā)明一樣，可以提高在波長可變干涉濾波器的基板間使電極接觸的基板間導(dǎo)通部上的電極膜厚的自由度。因此可以將波長可變干涉濾波器的基板間導(dǎo)通部上的電極膜厚設(shè)定成比接合層的膜厚更厚或更薄，從而可以利用光學(xué)模塊實現(xiàn)高精度的光量檢測。
[0026]本發(fā)明是一種電子設(shè)備，具備波長可變干涉濾波器和控制部，所述波長可變干涉濾波器具備:第一基板；第二基板，所述第二基板與上述第一基板相對；第一反射膜，所述第一反射膜設(shè)置在上述第一基板上，反射一部分入射光且透過一部分；第二反射膜，所述第二反射膜設(shè)置在上述第二基板上，與上述第一反射膜相對，反射一部分入射光且透過一部分；第一電極，所述第一電極設(shè)置在上述第一基板上；第一導(dǎo)通電極，所述第一導(dǎo)通電極設(shè)置在上述第一基板上，從上述第一電極起一直設(shè)置到比上述第一電極更位于上述第一基板的外周緣側(cè)；第二電極，所述第二電極設(shè)置在上述第二基板上，與上述第一電極相對；第二導(dǎo)通電極，所述第二導(dǎo)通電極設(shè)置在上述第二基板上，通過上述第一導(dǎo)通電極與上述第一電極電連接；接合層，所述接合層接合上述第一基板的第一接合面和與上述第一接合面相對的上述第二基板的第二接合面，其中，上述第一基板具有與上述第一導(dǎo)通電極與上述第二導(dǎo)通電極接觸的接觸面相對的第一導(dǎo)通電極面，上述第二基板具有與上述接觸面相對的第二導(dǎo)通電極面，從上述第一導(dǎo)通電極面到上述第二導(dǎo)通電極面的最小距離與從上述第一接合面到上述第二接合面的最小距離不同。
[0027]在本發(fā)明中，與上述發(fā)明一樣，可以提高在波長可變干涉濾波器的基板間使電極接觸的基板間導(dǎo)通部上的電極膜厚的自由度。因此可以將波長可變干涉濾波器的基板間導(dǎo)通部上的電極膜厚設(shè)定成比接合層的膜厚更厚或更薄，從而可以高精度地取出在第一反射膜和第二反射膜之間被多重干涉后所選擇的波長的光。因此，在使用了電子設(shè)備中的被取出的光的各種處理中也可以實現(xiàn)高精度的處理。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0028]圖1是示出本發(fā)明的第一實施方式的分光測量裝置的簡要構(gòu)成的框圖。
[0029]圖2是示出本實施方式的波長可變干涉濾波器的簡要構(gòu)成的俯視圖。
[0030]圖3是示出本實施方式的波長可變干涉濾波器的簡要構(gòu)成的截面圖。
[0031]圖4是從第二基板側(cè)看本實施方式的波長可變干涉濾波器的第一基板的俯視圖。
[0032]圖5是從第一基板側(cè)看本實施方式的波長可變干涉濾波器的第二基板的俯視圖。
[0033]圖6是本發(fā)明的第二實施方式的波長可變干涉濾波器的截面圖。
[0034]圖7是本發(fā)明的第三實施方式的波長可變干涉濾波器的截面圖。[0035]圖8是本發(fā)明的第四實施方式的波長可變干涉濾波器的截面圖。
[0036]圖9是本發(fā)明的第五實施方式的波長可變干涉濾波器的部分截面圖。
[0037]圖10是示出本發(fā)明的第六實施方式的濾光器設(shè)備的簡要構(gòu)成的截面圖。
[0038]圖11是示出作為本發(fā)明的電子設(shè)備的測色裝置的一例的框圖。
[0039]圖12是示出作為本發(fā)明的電子設(shè)備的氣體檢測裝置的一例的簡圖。
[0040]圖13是示出圖12的上述氣體檢測裝置的控制系統(tǒng)的構(gòu)成的框圖。
[0041]圖14是示出作為本發(fā)明的電子設(shè)備的食物分析裝置的簡要構(gòu)成的圖。
[0042]圖15是示出作為本發(fā)明的電子設(shè)備的光譜相機(jī)的簡要構(gòu)成的示意圖。
【具體實施方式】
[0043][第一實施方式]
[0044]以下根據(jù)附圖就本發(fā)明的第一實施方式進(jìn)行說明。
[0045][分光測量裝置的結(jié)構(gòu)]
[0046]圖1是示出本發(fā)明的第一實施方式的分光測量裝置的簡要構(gòu)成的框圖。
[0047]分光測量裝置I是本發(fā)明的電子設(shè)備，是根據(jù)被測量對象X反射的測量對象光，對測量對象光的光譜進(jìn)行測量的設(shè)備。在本實施方式中表示了測量被測量對象X反射的測量對象光的例子，但如果測量對象X使用液晶面板等發(fā)光體，也可以將該發(fā)光體發(fā)出的光作為測量對象光。
[0048]如圖1所示，該分光測量裝置I具有光學(xué)模塊10和控制部20。
[0049][光學(xué)模塊的構(gòu)成]
[0050]以下就光學(xué)模塊10的構(gòu)成進(jìn)行說明。
[0051]如圖1所示，光學(xué)模塊10由波長可變干涉濾波器5、檢波器(detector) 11、1-V轉(zhuǎn)換器12、放大器13、A/D轉(zhuǎn)換器14以及電壓控制部6構(gòu)成。
[0052]檢波器11接收透過了光學(xué)模塊10的波長可變干涉濾波器5的光，根據(jù)所接收的光的光強(qiáng)度輸出檢測信號(電流)。
[0053]1-V轉(zhuǎn)換器12將從檢波器11輸入的檢測信號轉(zhuǎn)換成電壓值后向放大器13輸出。
[0054]放大器13根據(jù)從1-V轉(zhuǎn)換器12輸入的檢測信號將電壓(檢測電壓)進(jìn)行放大。
[0055]A/D轉(zhuǎn)換器14將從放大器13輸入的檢測電壓(模擬信號)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號后向控制部20輸出。
[0056]關(guān)于電壓控制部6的構(gòu)成將在后面進(jìn)行具體說明。
[0057](波長可變干涉濾波器的構(gòu)成)
[0058]圖2是示出波長可變干涉濾波器5的簡要構(gòu)成的俯視圖，圖3是在圖2的II1-1II線上的波長可變干涉濾波器5的簡要構(gòu)成的截面圖。
[0059]如圖2所示，本實施方式的波長可變干涉濾波器5是所謂的法布里-珀羅標(biāo)準(zhǔn)具。如圖2所示，該波長可變干涉濾波器5具有固定基板51和可動基板52。在本實施方式中將固定基板51相當(dāng)于第一基板，可動基板52相當(dāng)于第二基板地進(jìn)行說明。此外，也可以與本實施方式相反，第一基板是可動基板52，第二基板是固定基板51。
[0060]這些固定基板51和可動基板52分別由各種玻璃或水晶、硅樹脂等形成?；迨褂玫牟ＡУ姆N類例如有蘇打玻璃、水晶玻璃、石英玻璃、鉛玻璃、鉀玻璃、硼硅玻璃、無堿玻璃等。通過對厚度例如為500 μ m的石英玻璃基材進(jìn)行蝕刻處理形成固定基板51。通過對厚度例如為200 μ m的玻璃基材進(jìn)行蝕刻加工形成可動基板52。
[0061]固定基板51和可動基板52通過使用了等離子重合膜的硅氧烷接合等，通過接合層彼此接合形成一體。具體是，固定基板51具有的第一接合面515與可動基板52具有的第二接合面524通過接合層被接合。接合層由第一接合膜531和第二接合膜532形成。第一接合膜531設(shè)置在第一接合面515上,第二接合膜532設(shè)置在第二接合面524上。
[0062]在固定基板51上設(shè)置固定反射膜54，在可動基板52上設(shè)置可動反射膜55。在本實施方式中，固定反射膜54相當(dāng)于第一反射膜，可動反射膜55相當(dāng)于第二反射膜。固定反射膜54反射入射光的一部分且透過一部分?？蓜臃瓷淠?5也反射入射光的一部分且透過一部分。
[0063]這些固定反射膜54和可動反射膜55隔著反射膜間間隙Gl相對配置。并且，在波長可變干涉濾波器5上設(shè)置用于調(diào)節(jié)該反射膜間間隙Gl的大小(間隙尺寸)靜電致動器56。
[0064]該靜電致動器56由設(shè)置在固定基板51上的固定電極561和設(shè)置在可動基板52上的可動電極562構(gòu)成。在本實施方式中，固定電極561相當(dāng)于第一電極,可動電極562相當(dāng)于第二電極。此外固定電極561和可動電極562形成相對的驅(qū)動電極。
[0065]這些固定電極561和可動電極562可以是被直接設(shè)置在各固定基板51和可動基板52的基板表面的結(jié)構(gòu)，也可以是隔著其他膜部件設(shè)置的結(jié)構(gòu)。
[0066](固定基板的構(gòu)成)
[0067]圖4是從可動基板52側(cè)看固定基板51的俯視圖。
[0068]固定基板51的厚度尺寸被形成大于可動基板52的厚度尺寸，靜電致動器56引起的靜電引力或設(shè)置在固定基板51上的膜部件的內(nèi)部應(yīng)力不會使固定基板51撓曲。設(shè)置在固定基板51上的膜部件例如是固定反射膜54等。
[0069]如圖3和圖4所示，該固定基板51例如具有通過蝕刻形成的電極配置槽511、反射膜設(shè)置部512和突出部514B。
[0070]反射膜設(shè)置部512具有與可動基板52相對的反射膜設(shè)置面512A。該反射膜設(shè)置面512A在濾波器的俯視觀察中，是與固定基板51的濾波器中心點O為中心的規(guī)定半徑的圓形的平面，形成與可動基板52與固定基板51相對的面(可動面522A)平行的面。此外，在本實施方式中，示出了圓形的反射膜設(shè)置面512A的例子，但不局限于此，可以是八角形或六角形等多邊形，也可以是橢圓形。
[0071]電極配置槽511在濾波器的俯視觀察中設(shè)置在反射膜設(shè)置部512的外側(cè)，被設(shè)置成以濾波器中心點O為中心的環(huán)形。此外，電極配置槽511上的與可動基板52相對的面與可動基板52的距離比反射膜設(shè)置面512A更長。該電極配置槽511具有與可動基板52和反射膜設(shè)置面512A平行的電極設(shè)置面511A。
[0072]在固定基板51的外周緣設(shè)置切口部51A和切口部51B。在本實施方式中，切口部5IA和切口部5IB在圖4所示的固定基板51的俯視圖中看，在四角形的四個角內(nèi)，在對角線的兩個角上設(shè)置切口部51A和切口部51B。此外，在圖4中表示了固定基板51的虛擬頂點Cl和頂點C2，在頂點Cl側(cè)和頂點C2側(cè)四角形地切開固定基板51而形成切口部51A和切口部 51B。
[0073]固定基板51具有從電極配置槽511的外周緣側(cè)向著切口部51A設(shè)置的第一槽514和從電極配置槽511的外周緣向著切口部51B設(shè)置的第二槽517。
[0074]第一槽514具有從電極配置槽511的外周緣向著切口部51A設(shè)置的第一槽部514A和與第一槽部514A的切口部51A側(cè)的前端部連續(xù)設(shè)置的突出部514B。
[0075]第一槽部514A是通過蝕刻而設(shè)置成與電極配置槽511相同深度尺寸的槽，在本實施方式中，在濾波器的俯視觀察中，被設(shè)置成L字形。
[0076]突出部514B是通過蝕刻而設(shè)置成深度尺寸比電極配置槽511淺、比第一槽部514A更向可動基板52側(cè)突出的部位。該突出部514B與可動基板52相對的面在與第一接合面515不同的平面上,形成第一導(dǎo)通電極面516。
[0077]在本實施方式中，如圖3所示，如果將固定基板51與可動基板52不相對的面作為第一標(biāo)準(zhǔn)面Fl，第一導(dǎo)通電極面516就相對該第一標(biāo)準(zhǔn)面Fl比第一接合面515更位于第一標(biāo)準(zhǔn)面Fl側(cè)。
[0078]此外,在本實施方式中,第一導(dǎo)通電極面516與反射膜設(shè)置面512A在同一面內(nèi)。
[0079]第二槽517也是通過蝕刻而設(shè)置成深度尺寸與電極配置槽511相同的槽，在本實施方式中，在濾波器的俯視觀察中，被設(shè)置成L字形。
[0080]在電極配置面51IA設(shè)置形成靜電致動器56的固定電極561。該固定電極561優(yōu)選被設(shè)置成以濾波器中心點O為中心的略環(huán)形，進(jìn)一步優(yōu)選被設(shè)置成環(huán)形。此外這里所說的環(huán)形也包括切掉一部分，例如形成C字形等的結(jié)構(gòu)。
[0081]此外,在固定基板51上從固定電極561的外周緣側(cè)向著固定基板51的外周緣設(shè)置第一導(dǎo)通電極563。在本實施方式中，第一導(dǎo)通電極563從固定電極561的外周緣側(cè)起，沿著向著切口部51A的第一槽部514A被一直設(shè)置到突出部514B。第一導(dǎo)通電極563的切口部51A側(cè)的前端部被設(shè)置在突出部514B的第一導(dǎo)通電極面516。設(shè)置在第一導(dǎo)通電極面516上的第一導(dǎo)通電極563與設(shè)置在可動基板52的第二導(dǎo)通電極面上的第二導(dǎo)通電極接觸并電連接。此外，第一導(dǎo)通電極563與第二導(dǎo)通電極接觸的面是接觸面，第一導(dǎo)通電極面516和第二導(dǎo)通電極面分別與接觸面相對。
[0082]作為該固定電極561和第一導(dǎo)通電極563,只要具有導(dǎo)電性,可以由任意的材料形成。具體是，固定電極561和第一導(dǎo)通電極563由對于金屬膜或合金膜具有良好的緊貼性的金屬氧化物形成，例如由ITO (Indium Tin Oxide:銦錫氧化物)膜或Cr層和Au層的層置體等形成。
[0083]此外，也可以形成在固定電極561上層疊絕緣膜的結(jié)構(gòu)，絕緣膜用于確保固定電極561與可動電極562之間的絕緣性。
[0084]此外，在本實施方式中示出了在電極配置面511A設(shè)置了一個固定電極561的結(jié)構(gòu)，也可以形成設(shè)置以濾波器中心點O為中心的同心圓的兩個電極的結(jié)構(gòu)(雙重電極結(jié)構(gòu))
坐寸ο
[0085]在反射膜設(shè)置部512的反射膜設(shè)置面512A設(shè)置固定反射膜54。
[0086]固定反射膜54可以直接設(shè)置在反射膜設(shè)置部512，也可以在反射膜設(shè)置部512的上面設(shè)置其他薄膜(層)，然后設(shè)置在該薄膜上。固定反射膜54例如可以使用Ag等金屬膜或Ag合金等導(dǎo)電性的合金膜。如果使用Ag等金屬膜，最好形成用于抑制Ag劣化的保護(hù)膜。
[0087]此外，也可以使用高折射層用Ti02、低折射層用Si02、交錯層疊高折射層和低折射層設(shè)置的電介質(zhì)多層膜，也可以使用層疊了電介質(zhì)多層膜和金屬膜的反射膜或?qū)盈B了電介質(zhì)單層膜和合金膜的反射膜等。
[0088]可以在固定基板51的光射入面(未設(shè)置固定反射膜54的面)上，在與固定反射膜54對應(yīng)的位置形成反射防止膜?？梢酝ㄟ^交替層疊低折射率膜和高折射率膜設(shè)置該反射防止膜。通過該反射防止膜可以降低固定基板51的表面的可見光的反射率，增加透過率。
[0089]并且,在固定基板51與可動基板52相對的面中，未設(shè)置電極配置槽511、反射膜設(shè)置部512、第一槽部514A、突出部514B以及第二槽517的面形成第一接合面515。該第一接合面515通過由第一接合膜531和第二接合膜532形成的接合層被與可動基板52的第二接合面524接合。
[0090](可動基板的構(gòu)成)
[0091]圖5是從固定基板51側(cè)看可動基板52的俯視圖。
[0092]可動基板52在濾波器俯視觀察中，設(shè)置以濾波器中心點O為中心的圓形的變位部521。如圖2、圖3和圖5所示，該變位部521具有可向著固定基板51進(jìn)退地移動的圓柱形的可動部522、在可動基板52的厚度方向可移動地保持該可動部522的連接保持部523以及被設(shè)置在連接保持部523的外側(cè)的基板外周部526。在濾波器俯視觀察中，連接保持部523被設(shè)置成與圓柱形的可動部522同軸的環(huán)形。
[0093]在可動基板52與固定基板51相對的面上，與固定基板51的第一接合面515相對的區(qū)域成為可動基板52上的第二接合面524。第二接合面524通過由第一接合膜531和第二接合膜532形成的接合層與第一接合面515接合。
[0094]此外與固定基板51 —樣,在可動部522與固定基板51相反側(cè)的面也可以設(shè)置反射防止膜。
[0095]對可動基板52的形成材料即平板形的玻璃基板進(jìn)行蝕刻形成槽，從而形成變位部521。即，在可動基板52不與固定基板51相對的面上通過蝕刻形成用于形成連接保持部523的圓環(huán)形的圓環(huán)槽部523A，從而形成變位部521。
[0096]可動部522的厚度被設(shè)置成大于連接保持部523的厚度，例如，在本實施方式中被設(shè)置成與可動基板52的基板外周部526的厚度尺寸相同的尺寸。
[0097]該可動部522在濾波器的俯視觀察中，直徑尺寸被設(shè)置成至少大于反射膜設(shè)置面512A的外周緣的直徑尺寸。
[0098]可動部522與固定基板51相對的面是可動面522A。該可動面522A被保持與固定基板51的反射膜設(shè)置面512A平行。在該可動面522A上設(shè)置形成靜電致動器56的可動電極562和可動反射膜55?？蓜与姌O562可以直接設(shè)置在可動面522A上，也可以在可動面A的上面設(shè)置其他的薄膜(層)后設(shè)置在其上面。
[0099]如圖2、圖3和圖5所示，可動電極562是被設(shè)置在可動面522A上的環(huán)形電極。該可動電極562與固定電極561形成上述的靜電致動器56。作為該可動電極562與固定電極561 一樣，具有導(dǎo)電性即可，例如可以使用ITO膜或在Cr層上層疊了 Au層的層疊體等。
[0100]在圖5中示出了可動基板52的頂點C3和頂點C4。在本實施方式中，一旦固定基板51與可動基板52接合，固定基板51的頂點Cl就被與可動基板52的頂點C4相對地配置，固定基板51的頂點C2就被與可動基板52的頂點C3相對地配置。
[0101]在本實施方式中，從可動電極562的外周緣側(cè)到頂點C3側(cè)設(shè)置撓曲成L字形的第三導(dǎo)通電極562A。第三導(dǎo)通電極562A的頂點C3側(cè)的前端部形成與電壓控制部6連接的電極墊562P。該電極墊562P在從固定基板51側(cè)看波長可變干涉濾波器5的俯視觀察中，在固定基板51的切口部51B上露出。一旦接合固定基板51和可動基板52，第三導(dǎo)通電極562A就被配置在固定基板51的第二槽517上。
[0102]可動反射膜55在可動部522的可動面521A的中心部隔著反射膜間間隙Gl被與固定反射膜54相對設(shè)置。該可動反射膜55使用與上述固定反射膜54相同結(jié)構(gòu)的反射膜。
[0103]此外，在本實施方式中示出了固定電極561與可動電極562之間的電極間間隙G2大于反射膜54、55之間的反射膜間間隙Gl的例子，但不局限于此。例如，作為測量對象光如果使用紅外線或遠(yuǎn)紅外線等，根據(jù)測量對象光的波長區(qū)域，也可以形成反射膜間間隙Gl大于電極間間隙G2的結(jié)構(gòu)。
[0104]連接保持部523是圍住可動部522周圍的膜片。這樣的連接保持部523比可動部522更容易撓曲,稍微的靜電引力就可以使可動部522向固定基板51側(cè)移位。在本實施方式中，示出了膜片狀的連接保持部523，例如也可以形成設(shè)置了具有多對梁結(jié)構(gòu)的連接保持部的結(jié)構(gòu)等，這些梁結(jié)構(gòu)被設(shè)置在相對可動部522的中心形成點對稱的位置。
[0105]如圖5所示，在可動基板52的頂點C4側(cè)設(shè)置電極墊564P。該電極墊564P在從固定基板51側(cè)看波長可變干涉濾波器5的俯視觀察中，在固定基板51的切口部51A露出。電極墊564P與電壓控制部6連接。在可動基板52上設(shè)置從電極墊564P沿著可動基板52面向著內(nèi)側(cè)的第二導(dǎo)通電極564。
[0106]第二導(dǎo)通電極564是與可動電極562和第三導(dǎo)通電極562A絕緣的電極,通過設(shè)置在固定基板51側(cè)的第一導(dǎo)通電極563與固定電極561電連接。
[0107]第二導(dǎo)通電極564的可動基板52內(nèi)側(cè)的前端部被設(shè)置到固定基板51的突出部514B與第一導(dǎo)通電極面516相對的區(qū)域。設(shè)置第二導(dǎo)通電極564的該前端部的面是第二導(dǎo)通電極面564A。第二導(dǎo)通電極面564A與上述的接觸面相對,也與第一導(dǎo)通電極面516相對。第二導(dǎo)通電極面564A上的第二導(dǎo)通電極564與第一導(dǎo)通電極面516上的第一導(dǎo)通電極563接觸并電連接。
[0108]第二導(dǎo)通電極面564A與可動面522A和第二接合面524在同一個面上。另一方面，固定基板51的第一導(dǎo)通電極面516相對于第一標(biāo)準(zhǔn)面Fl比第一接合面515更位于第一標(biāo)準(zhǔn)面Fl側(cè)。因此，如圖2所示，從第一導(dǎo)通電極面516到第二導(dǎo)通電極面564A的最小距離Dl大于從第一接合面515到第二接合面524的最小距離D2。
[0109]如果接合固定基板51和可動基板52,如圖2所不，在基板間導(dǎo)通部Cp上,設(shè)直于第二導(dǎo)通電極面564A上的第二導(dǎo)通電極564就與設(shè)置于第一導(dǎo)通電極面516上的第一導(dǎo)通電極563進(jìn)行面接觸。由此,第二導(dǎo)通電極564與固定電極561形成被導(dǎo)通的狀態(tài)。此夕卜，如圖2所示，第一導(dǎo)通電極563與第二導(dǎo)通電極564重疊接觸的部位相當(dāng)于本發(fā)明的一個方式中的層疊部。
[0110]第二導(dǎo)通電極564和第一導(dǎo)通電極563的表面優(yōu)選使用低電阻的材料。這是因為可以降低上述面接觸的部分的接觸電阻，不介入額外的電阻成分，得到可靠的導(dǎo)通。該低電阻的材料例如可以選擇Au等金屬膜或Au/Cr等金屬層疊體，或者在ITO等金屬氧化物的表面層疊了 Au等金屬材料或Au/Cr等金屬層疊體的結(jié)構(gòu)。此外，針對由ITO等金屬氧化物形成的電極，也可以形成只在形成上述面接觸的區(qū)域周邊局部地層疊金屬膜或金屬層疊膜的結(jié)構(gòu)。[0111]電極墊562P和電極墊564P可以由與固定電極561和可動電極562相同的材質(zhì)形成。
[0112]電極墊562P和電極墊564P與電壓控制部6連接。在驅(qū)動靜電致動器56時，通過電壓控制部6,在電極墊562P和電極墊564P上被施加電壓,從而在固定電極561和可動電極562上被施加電壓。
[0113](電壓控制部的構(gòu)成)
[0114]電壓控制部6與波長可變干涉濾波器5的可動基板52連接。具體是，電壓控制部6通過可動基板52的電極墊564P與第二導(dǎo)通電極564連接，通過電極墊562P與第三導(dǎo)通電極562A連接。如上所述,第二導(dǎo)通電極564形成通過第一導(dǎo)通電極563與固定基板51的固定電極561導(dǎo)通的狀態(tài)。
[0115]電壓控制部6 —旦從控制部20接收與測量對象波長對應(yīng)的電壓指令信號，就向電極墊562P和電極墊564P之間施加相應(yīng)的電壓。由此，在波長可變干涉濾波器5的形成靜電致動器56的固定電極561和可動電極562之間產(chǎn)生根據(jù)施加電壓的靜電引力。通過該靜電引力，可動部522向固定基板51側(cè)移位，反射膜間間隙Gl的大小發(fā)生變化。
[0116](控制部的構(gòu)成)
[0117]控制部20例如通過組合CPU和存儲器等形成，控制分光測量裝置I的整體動作。如圖1所示，該控制部20具有濾波器驅(qū)動部21、光量獲取部22以及分光測量部23。
[0118]此外，控制部20具有存儲各種數(shù)據(jù)的存儲部(省略圖示)，存儲部存儲用于控制靜電致動器56的V-λ數(shù)據(jù)。
[0119]該V- λ數(shù)據(jù)記錄相對于施加在靜電致動器56上的電壓的透過波長可變干涉濾波器5的光的峰值波長。
[0120]濾波器驅(qū)動部21設(shè)定通過波長可變干涉濾波器5取出的光的目標(biāo)波長。并且，濾波器驅(qū)動部21從存儲在存儲部的V-λ數(shù)據(jù)讀取與所設(shè)定的目標(biāo)波長對應(yīng)的目標(biāo)電壓值。并且，濾波器驅(qū)動部21向電壓控制部6輸出使其施加所讀取的目標(biāo)電壓值的內(nèi)容的控制信號。由此，目標(biāo)電壓值的電壓被從電壓控制部6向靜電致動器56施加。
[0121]光量獲取部22根據(jù)檢波器11獲取的光量、獲取透過波長可變干涉濾波器5的目標(biāo)波長的光的光量。
[0122]分光測量部23根據(jù)光量獲取部22獲取的光量，對測量對象光的光譜特性進(jìn)行測量。
[0123]作為分光測量部23的分光測量方法例如有把對測量對象波長通過檢波器11所檢測的光量作為該測量對象波長的光量來測量分光光譜的方法。作為其他的分光測量方法有根據(jù)多個測量對象波長的光量推測分光光譜的方法等。
[0124]作為推測分光光譜的方法例如通過把相對多個測量對象波長的光量的每一個作為矩陣元素、生成測量光譜矩陣，使規(guī)定的轉(zhuǎn)換矩陣作用于該測量光譜矩陣，從而推測成為測量對象的光的分光光譜。這種情況下，利用分光測量裝置I對分光光譜已知的多個試樣光進(jìn)行測量，以使轉(zhuǎn)換矩陣作用于根據(jù)測量獲取的光量生成的測量光譜矩陣后而得的矩陣與已知的分光光譜的偏差為最小的方式設(shè)定轉(zhuǎn)換矩陣。
[0125][第一實施方式的作用效果]
[0126]在本發(fā)明的波長可變干涉濾波器5上，固定基板51具有的第一導(dǎo)通電極面516上的第一導(dǎo)通電極563與可動基板52具有的第二導(dǎo)通電極面564A上的第二導(dǎo)通電極564進(jìn)行面接觸且電連接。而且，在波長可變干涉濾波器5上，從固定基板51的第一接合面515到可動基板52的第二接合面524的最小距離D2被設(shè)定為與從固定基板51的第一導(dǎo)通電極面516到可動基板52的第二導(dǎo)通電極面564A的最小距離Dl不同。即，在波長可變干涉濾波器5上，第一接合面515與第一導(dǎo)通電極面516不在同一個平面上，而被分別設(shè)置在在固定基板51的厚度方向不同的平面上。因此，在電連接第一導(dǎo)通電極563與第二導(dǎo)通電極564的基板間導(dǎo)通部Cp上，對由第一接合膜531和第二接合膜532形成的接合層的膜厚沒有限制，可以設(shè)置第一導(dǎo)通電極563和第二導(dǎo)通電極564的膜厚。因此，根據(jù)波長可變干涉濾波器5,可以提聞在固定基板51和可動基板52之間使電極接觸的基板間導(dǎo)通部Cp上的電極膜厚的自由度。
[0127]而且，在波長可變干涉濾波器5上，從第一導(dǎo)通電極面516到第二導(dǎo)通電極面564A的最小距離Dl大于從第一接合面515到第二接合面524的最小距離D2，因此，在基板間導(dǎo)通部Cp上對接合層的膜厚沒有限制，可以增加第一導(dǎo)通電極563和第二導(dǎo)通電極564的膜厚。因此在波長可變干涉濾波器5上，可以減少電極的電阻。
[0128]而且，在波長可變干涉濾波器5上，第一導(dǎo)通電極面516和反射膜設(shè)置面512A在同一面內(nèi)。因此，在進(jìn)行固定基板51的蝕刻處理時，以與反射膜設(shè)置部512形成相同深度的方式進(jìn)行蝕刻，形成突出部514B即可。即，不增加蝕刻工序的數(shù)量就可以生產(chǎn)波長可變干涉濾波器5。
[0129][第二實施方式]
[0130]以下參考圖6就本發(fā)明的第二實施方式進(jìn)行說明。圖6是表示本實施方式的波長可變干涉濾波器5A的截面簡圖。在以下的說明中，與上述實施方式相同的組成元件標(biāo)注相同的符號，簡化或省略其說明。
[0131]本實施方式的波長可變干涉濾波器5A與第一實施方式的波長可變干涉濾波器5的不同點在于，具有高度尺寸大于第一實施方式的固定基板51的突出部514B的突出部514C。
[0132]突出部514C是向可動基板52側(cè)突出的部位，突出部514 C與可動基板52相對的第一導(dǎo)通電極面516比第一接合面515更靠近可動基板52側(cè)。在本實施方式中，突出部514 C是未被蝕刻的區(qū)域，通過蝕刻形成第一接合面515。如圖6所示，如果將固定基板51不與可動基板52相對的面作為第一標(biāo)準(zhǔn)面Fl，第一導(dǎo)通電極面516就位于相對該第一標(biāo)準(zhǔn)面Fl高于第一接合面515的位置。因此，在本實施方式中，如圖6所示，從第一導(dǎo)通電極面516到第二導(dǎo)通電極面564A的最小距離D3小于從第一接合面515到第二接合面524的最小距離D2。
[0133][第二實施方式的作用效果]
[0134]根據(jù)波長可變干涉濾波器5A，由于從第一導(dǎo)通電極面516到第二導(dǎo)通電極面564A的最小距離D3小于從第一接合面515到第二接合面524的最小距離D2，因此在基板間導(dǎo)通部Cp，對接合層的膜厚沒有限制，可以增加第一導(dǎo)通電極563和第二導(dǎo)通電極564的膜厚。因此波長可變干涉濾波器5A，可以減少電極的膜應(yīng)力，抑制因該膜應(yīng)力引起的基板撓曲或翹曲。
[0135][第三實施方式][0136]以下參考圖7就本發(fā)明的第三實施方式進(jìn)行說明。圖7是示出本實施方式的波長可變干涉濾波器5B的截面簡圖。在以下的說明中，與上述實施方式相同的組成元件標(biāo)注相同的符號，簡化或省略其說明。
[0137]在波長可變干涉濾波器5B上，與第一實施方式的波長可變干涉濾波器的不同，形成了固定基板51相當(dāng)于第二基板，可動基板52相當(dāng)于第一基板的對應(yīng)關(guān)系。S卩，在波長可變干涉濾波器5B上,用于向可動電極562施加電壓的第二導(dǎo)通電極565被設(shè)置在固定基板51偵彳。在本實施方式中，在固定基板51上不設(shè)置像第一實施方式那樣的切口部51A和切口部51B，而由矩形的基板形成。在本實施方式中，在突出部514B的更外側(cè)部分，即在第一實施方式中作為切口部51A的部分設(shè)置電極墊部565P。第二導(dǎo)通電極565被從電極墊部565P起設(shè)置到突出部514B的上面。該突出部514B的上面是與可動基板52相對設(shè)置的第二導(dǎo)通電極面516 A，與反射膜設(shè)置面512A成為同一個平面。
[0138]在本實施方式中，在與電極墊部565P相對的可動基板52側(cè)的區(qū)域設(shè)置切口部52A。從可動基板52的可動電極562的外周緣側(cè)起向著切口部52A設(shè)置第一導(dǎo)通電極562B。在可動基板52與固定基板51相對的面內(nèi)，與第二導(dǎo)通電極面516 A相對的面是第一導(dǎo)通電極面566,第一導(dǎo)通電極562B的切口部52A側(cè)被配置在第一導(dǎo)通電極面566上。
[0139]第一導(dǎo)通電極562B在固定基板51的第一接合面515與可動基板52的第二接合面524通過第一接合膜531和第二接合膜532接合的狀態(tài)下，與設(shè)置在第二導(dǎo)通電極面516A上的第二導(dǎo)通電極565進(jìn)行面接觸，從而導(dǎo)通。
[0140]在本實施方式中，由于第二導(dǎo)通電極面516A比第一接合面515更位于第一標(biāo)準(zhǔn)面Fl偵彳，因此，如圖7所示，從第二導(dǎo)通電極面516A到第一導(dǎo)通電極面566的最小距離D4比從第一接合面515到第二接合面524的最小距離D2更長。
[0141][第三實施方式的作用效果]
[0142]根據(jù)波長可變干涉濾波器5B，可以得到與上述第一實施方式相同的作用效果。
[0143][第四實施方式]
[0144]以下參考圖8就本發(fā)明的第四實施方式進(jìn)行說明。圖8是表示本實施方式的波長可變干涉濾波器5C的截面簡圖。在以下的說明中，與上述實施方式相同的組成元件標(biāo)注相同的符號，簡化或省略其說明。
[0145]在波長可變干涉濾波器5C的可動基板52上，在與第二導(dǎo)通電極面564A對應(yīng)的位置設(shè)置槽部527。波長可變干涉濾波器5C與第一實施方式的波長可變干涉濾波器5的不同點在于該槽部527的有無。
[0146]在波長可變干涉濾波器5C上，在第二導(dǎo)通電極面564A與槽部527的底面之間設(shè)置具有可撓性的薄壁部528。該薄壁部528具有彈性。如果在固定基板51與可動基板52的接合工序中層疊第一導(dǎo)通電極563和第二導(dǎo)通電極564，薄壁部528就向與固定基板51分離的方向翹曲。利用薄壁部528的彈力，壓接第一導(dǎo)通電極563和第二導(dǎo)通電極564。
[0147][第四實施方式的作用效果]
[0148]根據(jù)本實施方式，可以得到與上述第一實施方式相同的作用效果以外，還可以得到以下效果。
[0149]根據(jù)本實施方式，一旦固定基板51和可動基板52彼此通過第一接合膜531和第二接合膜532接合，薄壁部528就向與第一導(dǎo)通電極面516分離的方向翹曲。因此，通過薄壁部528的彈力,第二導(dǎo)通電極面564A被向第一導(dǎo)通電極面516側(cè)加力。最終設(shè)置在第一導(dǎo)通電極面516上的第一導(dǎo)通電極563與設(shè)置在第二導(dǎo)通電極面564A上的第二導(dǎo)通電極564被壓接，可以更可靠地導(dǎo)通。而且，薄壁部528向與第一導(dǎo)通電極面516分離的方向翹曲，從而可以減少向可動部522和連接保持部523傳輸?shù)牧?，抑制可動基?2的撓曲或翹曲。
[0150][第五實施方式]
[0151]以下參考圖9就本發(fā)明的第五實施方式進(jìn)行說明。圖9是示出本實施方式的波長可變干涉濾波器的一部分截面的截面簡圖。在以下的說明中，與上述實施方式相同的組成元件標(biāo)注相同的符號，簡化或省略其說明。
[0152]如圖9所示，波長可變干涉濾波器5 D與第三實施方式的波長可變干涉濾波器5B相比，不同點在于第二導(dǎo)通電極565不設(shè)置到突出部514B的上面，而在比突出部514B更外側(cè)的部分與第一導(dǎo)通電極562B接觸。
[0153]在本實施方式中，設(shè)置第二導(dǎo)通電極565和電極墊部565P的固定基板51的面成為第二導(dǎo)通電極面516B。如圖9所不,第二導(dǎo)通電極面516B相對第二標(biāo)準(zhǔn)面Fl比第一接合面515更位于第一標(biāo)準(zhǔn)面Fl側(cè)。因此,從第二導(dǎo)通電極面516B到第一導(dǎo)通電極面566的最小距離D5比從第一接合面515到第二接合面524的最小距離D2更長。此外，由于最小距離D5大于第三實施方式中的最小距離D4，因此第二導(dǎo)通電極565的膜厚不受固定電極561膜厚的限制，可以增加膜厚。
[0154][第五實施方式的作用效果]
[0155]根據(jù)本實施方式，可以得到與上述第三實施方式相同的作用效果。
[0156][第六實施方式]
[0157]以下根據(jù)附圖就本發(fā)明的第六實施方式進(jìn)行說明。
[0158]在上述第一實施方式的分光測量裝置I中形成了針對光學(xué)模塊10直接設(shè)置波長可變干涉濾波器5的結(jié)構(gòu)。但是，作為光學(xué)模塊也有具有復(fù)雜結(jié)構(gòu)的光學(xué)模塊，尤其是對于小型化的光學(xué)模塊，有時很難直接設(shè)置波長可變干涉濾波器5。在本實施方式中，在下面就可以容易地將波長可變干涉濾波器5設(shè)置于這樣的光學(xué)模塊的濾光器設(shè)備進(jìn)行說明。
[0159]圖10是示出本實施方式的濾光器設(shè)備的簡要構(gòu)成的截面圖。在圖10中示出了第一實施方式的波長可變干涉濾波器5被收容在殼體601內(nèi)的狀態(tài)。與上述實施方式相同的組成元件標(biāo)注相同的符號，簡化或省略其說明。
[0160]如圖10所示，濾光器設(shè)備600具備波長可變干涉濾波器5和收容該波長可變干涉濾波器5的殼體601。
[0161]殼體601具備底部基板610、蓋板620、底部側(cè)玻璃基板630以及蓋板側(cè)玻璃基板640。
[0162]底部基板610例如由單層陶瓷基板構(gòu)成。在該底部基板610上設(shè)置有波長可變干涉濾波器5的可動基板52。作為將可動基板52向底部基板610設(shè)置的方法，可以通過例如粘合層等配置，也可以通過嵌合于其他固定部件等來配置。此外，在底部基板610上開口形成光通過孔611。并且，為了覆蓋該光通過孔611而接合底部側(cè)玻璃基板630。底部側(cè)玻璃基板630的接合方法例如可以采用玻璃粉接合以及通過環(huán)氧樹脂等的粘合等，其中，玻璃粉接合使用以高溫將玻璃原料熔解后進(jìn)行淬火的玻璃碎片。[0163]在該底部基板610的與蓋板620相對的底部內(nèi)側(cè)面612,與波長可變干涉濾波器5的第三導(dǎo)通電極562A、第二導(dǎo)通電極564的每一個對應(yīng)地設(shè)置內(nèi)側(cè)端子部615。第三導(dǎo)通電極562A、第二導(dǎo)通電極564與內(nèi)側(cè)端子部615的連接例如可以使用FPC615A，通過例如Ag膏,ACF (異方性導(dǎo)電膜)、ACP (異方性導(dǎo)電膏)等接合。在將內(nèi)部空間650保持在真空狀態(tài)的情況下，優(yōu)選使用放氣少的Ag膏。此外，不僅限于利用FPC615A的連接，也可以實施例如引線接合法等布線連接。
[0164]此外，在底部基板610與設(shè)有各內(nèi)側(cè)端子部615的位置相對應(yīng)地形成有貫通孔614，各內(nèi)側(cè)端子部615通過被向貫通孔614填入的導(dǎo)電性部件與設(shè)置于底部基板610的底部內(nèi)側(cè)面612的相反側(cè)的底部外側(cè)面613的外側(cè)端子部616連接。
[0165]并且，在底部基板610的外周部設(shè)有與蓋板620接合的底部接合部617。
[0166]如圖10所示，蓋板620具備:與底部基板610的底部接合部617接合的蓋板接合部624、從蓋板接合部624起連續(xù)并向與底部基板610分離的方向立起的側(cè)壁部625以及從側(cè)壁部625起連續(xù)并覆蓋波長可變干涉濾波器5的固定基板51側(cè)的頂面部626。該蓋板620可以由例如可伐合金(kovar)等合金或金屬形成。
[0167]通過使蓋板接合部624與底部基板610的底部接合部617接合，該蓋板620被緊貼接合在底部基板610上。
[0168]作為該接合方法，例如，除了激光焊接以外，還可以例舉出:使用了銀焊料等的焊接、使用了共晶合金層的密封、使用了低熔點玻璃的熔敷、玻璃粘接、玻璃粉(glass frit)接合、環(huán)氧樹脂的粘結(jié)等?？梢愿鶕?jù)底部基板610和蓋板620的材料或者接合環(huán)境等適當(dāng)?shù)剡x擇這些接合方法。
[0169]蓋板620的頂面部626與底部基板610平行。在該頂面部626上開口形成光通過孔621。并且,為了覆蓋該光通過孔621而接合蓋板側(cè)玻璃基板640。蓋板側(cè)玻璃基板640的接合方法與底部側(cè)玻璃基板630的接合一樣，例如可以使用玻璃粉接合、環(huán)氧樹脂等的
粘結(jié)等。
[0170][第六實施方式的作用效果]
[0171]在上述的本實施方式的濾光器設(shè)備600中，由于通過殼體601保護(hù)波長可變干涉濾波器5，因此可以防止由于外因引起波長可變干涉濾波器5的破損。此外，由于形成濾光器設(shè)備600的內(nèi)部被密封的結(jié)構(gòu)，因此，可以防止水滴或帶電物質(zhì)等異物侵入，也可以防止這些異物附著在固定反射膜54或可動反射膜55上的問題。
[0172][其他實施方式]
[0173]本發(fā)明并不局限于上述的實施方式，在可以實現(xiàn)本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)的翹曲、改良等都包含于本發(fā)明內(nèi)。
[0174]在上述的實施方式中，以通過形成在基板上的開口部，從而電極墊露在外部的結(jié)構(gòu)為例進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不局限于這樣的結(jié)構(gòu)。也可以形成使未設(shè)置切口部的彼此大小不同的基板之間接合的結(jié)構(gòu)。例如，如第一實施方式所示，如果是在可動基板側(cè)設(shè)置電極墊的結(jié)構(gòu)，就使用比不具有切口部的固定基板更大的可動基板。也可以形成通過使該可動基板比固定基板的外周緣更向外側(cè)突出，在該突出部分上設(shè)置電極墊，從而該電極墊露在外部的結(jié)構(gòu)。
[0175]在上述的實施方式中以第一導(dǎo)通電極面516與反射膜設(shè)置面512A在同一面內(nèi)的方式和第二導(dǎo)通電極面516 A與反射膜設(shè)置面512A在同一面內(nèi)的方式為例進(jìn)行了說明，但不局限于這樣的方式，也可以是不在同一面內(nèi)，而分別設(shè)置在不同面上的方式的波長可變干涉濾波器。
[0176]在上述第四實施方式的波長可變干涉濾波器5C上，以在可動基板52側(cè)上設(shè)置了薄壁部528的方式為例進(jìn)行了說明，但不局限于這樣的方式，可以在固定基板51的第一導(dǎo)通電極面516側(cè)的部位設(shè)置具有可撓性的部位，也可以設(shè)置在雙方。設(shè)置這樣的薄壁部不局限于上述第四實施方式，也可以應(yīng)用于在其他實施方式中說明的波長可變干涉濾波器或除此之外的本發(fā)明的波長可變干涉濾波器。
[0177]在上述實施方式中示出了通過由固定電極561和可動電極562形成的靜電致動器56使反射膜間間隙Gl的大小可變化的結(jié)構(gòu)，但不受其限制。
[0178]例如，也可以形成使用設(shè)置在固定基板51上的第一感應(yīng)線圈和設(shè)置在可動基板52上的第二感應(yīng)線圈或永久磁鐵形成的感應(yīng)致動器的結(jié)構(gòu)。
[0179]而且，也可以形成使用壓電致動器來取代靜電致動器56的結(jié)構(gòu)。這種情況下，例如將下部電極層、壓電膜和上部電極層層疊配置在連接保持部523，使向下部電極層和上部電極層之間施加的電壓作為輸入值可進(jìn)行變化，從而可以使壓電膜伸縮，使連接保持部523撓曲。
[0180]而且，不僅限于通過施加電壓使反射膜間間隙Gl的大小發(fā)生變化的結(jié)構(gòu)，還可以示出例如，相對于波長可變干涉濾波器5的外部的氣壓，使固定基板51和可動基板52之間的氣壓進(jìn)行變化，從而調(diào)整反射膜間間隙Gl的大小的結(jié)構(gòu)等。
[0181]此外，在上述各實施方式中，作為本發(fā)明的電子設(shè)備示出了分光測量裝置1，除此之外，在各個領(lǐng)域也可以應(yīng)用本發(fā)明的波長可變干涉濾波器、濾光器設(shè)備、光學(xué)模塊以及電子設(shè)備。
[0182]例如，如圖11所示，也可以將本發(fā)明的電子設(shè)備應(yīng)用于測量顏色的測色裝置。
[0183]圖11是示出具備波長可變干涉濾波器5的測色裝置400的一例的框圖。
[0184]如圖11所示，該測色裝置400具備:向檢查對象A射出光的光源裝置410、測色傳感器420 (光學(xué)模塊)以及控制測色裝置400的整體動作的控制裝置430 (控制部)。并且，該測色裝置400是使從光源裝置410射出的光在檢查對象A反射，通過測色傳感器420接收所反射的檢查對象光，根據(jù)從測色傳感器420輸出的檢測信號來分析并測量檢查對象光的色度、即檢查對象A的顏色。
[0185]光源裝置410具備光源411和多個透鏡412 (圖11中僅示出了一個)，對檢查對象A例如射出基準(zhǔn)光(例如白色光)。此外，在多個透鏡412中也可以包含準(zhǔn)直透鏡，在這種情況下，光源裝置410通過準(zhǔn)直透鏡使從光源411射出的基準(zhǔn)光變?yōu)槠叫泄?，再從未圖示的投射透鏡向著檢查對象A射出。此外，在本實施方式中雖然示出了具備光源裝置410的測色裝置400，但如果檢查對象A是液晶面板等發(fā)光部件，也可以形成不設(shè)置光源裝置410的結(jié)構(gòu)。
[0186]如圖11所示，測色傳感器420具備:波長可變干涉濾波器5、接收透過波長可變干涉濾波器5的光的檢波器11以及控制向波長可變干涉濾波器5的靜電致動器56施加電壓的電壓控制部15。此外，測色傳感器420在與波長可變干涉濾波器5相對的位置具備未圖不的入射光學(xué)透鏡，該入射光學(xué)透鏡將被檢查對象A反射的反射光(檢查對象光)導(dǎo)光到內(nèi)部。并且，該測色傳感器420通過波長可變干涉濾波器5對從入射光學(xué)透鏡入射的檢查對象光中的規(guī)定波長的光進(jìn)行分光，并通過檢波器11接收分光后的光。
[0187]控制裝置430是本發(fā)明的控制部，控制測色裝置400的整體動作。
[0188]作為該控制裝置430，可以使用例如通用個人計算機(jī)、便攜式信息終端以及其他測色專用計算機(jī)等。并且，如圖11所示，控制裝置430被構(gòu)成為包括光源控制部431、測色傳感器控制部432以及測色處理部433等。
[0189]光源控制部431與光源裝置410連接，根據(jù)例如用戶的設(shè)定輸入向光源裝置410輸出規(guī)定的控制信號，使其射出規(guī)定亮度的白色光。
[0190]測色傳感器控制部432與測色傳感器420連接，根據(jù)例如用戶的設(shè)定輸入設(shè)定由測色傳感器420接收的光的波長，并將表示檢測該波長的光的光接收量的指示信號輸出至測色傳感器420。由此，測色傳感器420的電壓控制部15根據(jù)控制信號，向靜電致動器56施加電壓，并使波長可變干涉濾波器5驅(qū)動。
[0191]測色處理部433根據(jù)由檢波器11檢測到的光接收量來分析檢測對象A的色度。并且，測色處理部433也可以與上述第一實施方式一樣，將通過檢波器421得到的光量作為測量光譜D，利用估計矩陣MS推算分光光譜，從而分析檢查對象A的色度。
[0192]此外，作為本發(fā)明的電子設(shè)備的其他例子，可以例舉有用于檢測指定物質(zhì)存在的光基板的系統(tǒng)。作為這種系統(tǒng)，例如可以示出采用使用了本發(fā)明的波長可變干涉濾波器5的分光測量方式、高靈敏度地檢測指定氣體的車載用泄漏檢測器或者呼吸檢查用的光聲稀有氣體檢測器等氣體檢測裝置。
[0193]根據(jù)下面的附圖就這樣的氣體檢測裝置的一例進(jìn)行說明。
[0194]圖12是示出具備波長可變干涉濾波器5的氣體檢測裝置的一例的簡圖。
[0195]圖13是示出圖12的氣體檢測裝置的控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0196]如圖12所示，該氣體檢測裝置100被構(gòu)成為包括傳感器芯片110、具有吸引口120A、吸引流路120B、排出流路120C以及排出口 120D的流路120以及本體部130。
[0197]本體部130由檢測裝置、處理被檢測的信號并控制檢測部的控制部138以及供電的供電部139等構(gòu)成，其中，該檢測裝置包括:具有可裝卸流路120的開口的傳感器部蓋131、排出單元133、殼體134、光學(xué)部135、濾波器136、波長可變干涉濾波器5以及光接收元件137 (檢測部)等。此外，光學(xué)部135被構(gòu)成為包括:射出光的光源135A、將從光源135A射入的光向傳感器芯片110側(cè)反射并使從傳感器芯片110側(cè)射入的光向光接收兀件137側(cè)透過的光束分離器135B以及透鏡135C、135D、135E。
[0198]此外，如圖13所示，在氣體檢測裝置100的表面上設(shè)置有操作面板140、顯示部141、用于與外部的接口的連接部142以及供電部139。如果供電部139是蓄電池，也可以具備用于充電的連接部143。
[0199]而且，如圖13所示，氣體檢測裝置100的控制部138具備由CPU等構(gòu)成的信號處理部144、用于控制光源135A的光源驅(qū)動電路145、用于控制波長可變干涉濾波器5的電壓控制部146、接收來自光接收元件137的信號的光接收電路147、接收讀取傳感器芯片110的代碼并檢測有無傳感器芯片110的傳感器芯片檢測器148的信號的傳感器芯片檢測電路149以及控制排出單元133的排出驅(qū)動電路150等。此外，氣體檢測裝置100具有存儲V-入數(shù)據(jù)的存儲部(省略圖示)。[0200]以下就上述的氣體檢測裝置100的操作進(jìn)行說明。
[0201]在本體部130的上部的傳感器部蓋131的內(nèi)部設(shè)置有傳感器芯片檢測器148，并通過該傳感器芯片檢測器148檢測有無傳感器芯片110。信號處理部144 一旦檢測到來自傳感器芯片檢測器148的檢測信號，就判斷處于安裝有傳感器芯片110的狀態(tài)，向顯示部141發(fā)出表示能實施檢測操作的顯示信號。
[0202]然后，當(dāng)例如通過使用者對操作面板140的操作，并將來自操作面板140的表示開始檢測處理的指示信號輸出給信號處理部144時，首先，信號處理部144就向光源驅(qū)動電路145輸出光源動作的信號以使光源135A動作。一旦驅(qū)動光源136A,就從光源135A輸出單波長且直線偏振的穩(wěn)定的激光。此外，在光源135A中內(nèi)置有溫度傳感器和光量傳感器，該信息被輸出給信號處理部144。然后,信號處理部144根據(jù)從光源135A輸入的溫度和光量，判斷光源135A已穩(wěn)定動作，就控制排出驅(qū)動電路150使排出單元133動作。由此，包括需要檢測的目標(biāo)物質(zhì)(氣體分子)的氣體試樣被從吸引口 120A導(dǎo)向吸引流路120B、傳感器芯片110內(nèi)、排出流路120C、排出口 120D。此外，在吸引口 120A設(shè)置有灰塵過濾器120A1，除去比較大的粉塵和一部分水蒸氣等。
[0203]此外，傳感器芯片110是安裝有多個金屬納米結(jié)構(gòu)體，利用了局部表面等離子體共振的傳感器。在這樣的傳感器芯片110中，通過激光在金屬納米結(jié)構(gòu)體間形成增強(qiáng)電場，當(dāng)氣體分子進(jìn)入該增強(qiáng)電場內(nèi)時，會產(chǎn)生包括分子振動信息的拉曼散射光和瑞利散射光。
[0204]這些瑞利散射光和拉曼散射光通過光學(xué)部135入射到濾波器136，通過濾波器136分離瑞利散射光，從而拉曼散射光入射到波長可變干涉濾波器5。并且，信號處理部144向電壓控制部146輸出控制信號。由此，電壓控制部146如上述第一實施方式所示地通過存儲部讀取與測量對象波長對應(yīng)的電壓值，向波長可變干涉濾波器5的靜電致動器56施加該電壓，通過波長可變干涉濾波器5使與作為檢測對象的氣體分子對應(yīng)的拉曼散射光分光。然后，當(dāng)通過光接收元件137接收到分光后的光時，與光接收量相應(yīng)的光接收信號通過光接收電路147被向信號處理部144輸出。這種情況下，可以高精度地從波長可變干涉濾波器5取出目標(biāo)拉曼散射光。
[0205]信號處理部144將上述獲得的與作為檢測對象的氣體分子相對應(yīng)的拉曼散射光的光譜數(shù)據(jù)和存儲于ROM中的數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，并判斷是否是目標(biāo)氣體分子，從而指定物質(zhì)。然后，信號處理部144在顯示部141上顯示該結(jié)果信息或從連接部142向外部輸出。
[0206]在上述的圖12和圖13中示出了利用波長可變干涉濾波器5對拉曼散射光進(jìn)行分光，并通過分光后的拉曼散射光進(jìn)行氣體檢測的氣體檢測裝置100，但作為氣體檢測裝置，也可以用作通過檢測氣體固有的吸光度來指定氣體種類的氣體檢測裝置。在這種情況下，可以把使氣體流入傳感器內(nèi)部且檢測入射光中被氣體吸收的光的氣體傳感器作為本發(fā)明的光學(xué)模塊。并且，可以把通過該氣體傳感器分析、判斷流入傳感器內(nèi)的氣體的氣體檢測裝置作為本發(fā)明的電子設(shè)備。即使在這樣的結(jié)構(gòu)中，也可以使用波長可變干涉濾波器檢測氣體成分。
[0207]此外，作為用作檢測指定物質(zhì)存在的系統(tǒng)，并不僅限于檢測上述的氣體，還可以示出基于近紅外線分光的糖類的非侵入式測量裝置或者食物或生物、礦物等信息的非侵入性測量裝置等的物質(zhì)成分分析裝置。
[0208]以下作為上述物質(zhì)成分分析裝置的一例就食物分析裝置進(jìn)行說明。[0209]圖14是示出使用了波長可變干涉濾波器5的電子設(shè)備的一例即食物分析裝置的簡要構(gòu)成的圖。
[0210]如圖14所示，該食物分析裝置200包括檢測器210 (光學(xué)模塊)、控制部220和顯示部230。檢測器210包括用于射出光的光源211、導(dǎo)入來自測量對象物的光的攝像透鏡212、對從攝像透鏡212導(dǎo)入的光進(jìn)行分光的波長可變干涉濾波器5以及檢測分光后的光的攝像部213 (檢測部)。
[0211]此外，控制部220包括光源控制部221，用于實施對光源211的點燈、滅燈控制、點亮?xí)r的亮度控制；電壓控制部222，用于控制波長可變干涉濾波器5 ;檢測控制部223，用于控制攝像部213并獲取通過攝像部213拍攝到的分光圖像；信號處理部224以及存儲部225。
[0212]當(dāng)驅(qū)動系統(tǒng)時，該食物分析裝置200就通過光源控制部221控制光源211，從光源211向測量對象物照射光。并且，被測量對象物反射的光通過攝像透鏡212入射到波長可變干涉濾波器5。波長可變干涉濾波器5在電壓控制部222的控制下波長可變干涉濾波器5被驅(qū)動。由此可以高精度地通過波長可變干涉濾波器5取出目標(biāo)波長的光。并且，通過例如CCD攝像機(jī)等構(gòu)成的攝像部213對取出的光進(jìn)行拍攝。并且將拍攝到的光作為分光圖像存儲在存儲部225。此外信號處理部224控制電壓控制部222使施加給波長可變干涉濾波器5上的電壓值進(jìn)行變化，并獲取針對各波長的分光圖像。
[0213]然后，信號處理部224對存儲部225存儲的各圖像中的各像素的數(shù)據(jù)進(jìn)行運算處理，以求得各像素中的光譜。并且，在存儲部225中存儲例如與光譜相對的有關(guān)食物成分的信息，信號處理部224根據(jù)存儲部225所存儲的與食物有關(guān)的信息對求得的光譜數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，并求得檢測對象中含有的食物成分及其含有量。此外，也可以通過求得的食物成分和含有量計算出食物卡路里和新鮮度等。而且，通過分析圖像內(nèi)的光譜分布，也可以實施檢查對象的食物中新鮮度降低部分的提取等，進(jìn)而也可實施食物內(nèi)所包括的異物等的檢測。
[0214]并且，信號處理部224進(jìn)行以下處理:在顯示部230顯示上述獲得的檢查對象的食物成分和含有量、卡路里和新鮮度等信息。
[0215]此外，在圖14中雖然示出了食物分析裝置200的例子，但通過大致相同的結(jié)構(gòu)，也可以用作上述其他信息的非侵入式測量裝置。例如可以用作進(jìn)行血液等體液成分等的測量、分析等的分析生物成分的生物分析裝置。作為這樣的生物分析裝置，例如作為對血液等的體液成分進(jìn)行測量的裝置，如果是檢測乙醇的裝置，則可用作檢查駕駛員的飲酒狀態(tài)的防止酒后駕駛裝置。此外，也可用作具有這樣的生物分析裝置的電子內(nèi)窺鏡系統(tǒng)。
[0216]此外還可用作實施礦物成分分析的礦物分析裝置。
[0217]作為本發(fā)明的波長可變干涉濾波器、濾光器設(shè)備、光學(xué)模塊、電子設(shè)備還可以應(yīng)用于以下的裝置。
[0218]例如，通過使各波長的光的強(qiáng)度隨著時間的變化而變化，從而還可以利用各波長的光傳輸數(shù)據(jù)，在這種情況下，通過設(shè)置在光學(xué)模塊上的本發(fā)明的波長可變干涉濾波器對指定波長的光進(jìn)行分光，并通過光接收部接收，從而可以提取出通過指定波長的光傳輸?shù)臄?shù)據(jù)，并可通過具有這樣的數(shù)據(jù)選出用光學(xué)模塊的電子設(shè)備處理各波長的光的數(shù)據(jù)，從而可以實施光通訊。
[0219]此外，作為電子設(shè)備，也可以應(yīng)用于通過利用本發(fā)明的波長可變干涉濾波器5將光進(jìn)行分光并拍攝分光圖像的分光照相機(jī)、分光分析儀等。作為這樣的分光照相機(jī)的一例，可以例舉有內(nèi)置了波長可變干涉濾波器5的紅外線照相機(jī)。
[0220]圖15是示出分光照相機(jī)的簡要構(gòu)成的示意圖。如圖15所示，分光照相機(jī)300包括照相機(jī)本體310、攝像透鏡單元320以及攝像部330 (檢測部)。
[0221]照相機(jī)本體310是使用者把持和進(jìn)行操作的部分。
[0222]攝像透鏡單元320設(shè)置在攝像機(jī)本體310上，將入射的圖像光導(dǎo)向攝像部330。并且，如圖15所示，該攝像透鏡單元320被構(gòu)成為包括物鏡321、成像透鏡322以及設(shè)置在這些透鏡間的波長可變干涉濾波器5。
[0223]攝像部330由光接收元件構(gòu)成，其對通過攝像透鏡單元320導(dǎo)入的圖像光進(jìn)行拍攝。
[0224]在這樣的分光攝像機(jī)300中，通過波長可變干涉濾波器5使作為攝像對象的波長的光透過，從而可以對所需要的波長的光的分光圖像進(jìn)行拍攝。
[0225]而且，也可以將本發(fā)明的波長可變干涉濾波器作為帶通濾波器使用。例如也可被用作僅將發(fā)光元件射出的規(guī)定波段的光中的以規(guī)定波長為中心的窄帶光通過波長可變干涉濾波器進(jìn)行分光并使其透過的光學(xué)式激光設(shè)備。
[0226]此外，也可以將本發(fā)明的波長可變干涉濾波器用作生物認(rèn)證裝置，例如可以應(yīng)用于使用了近紅外區(qū)域或可見區(qū)域的光的血管或指紋、視網(wǎng)膜、虹膜等的認(rèn)證裝置。
[0227]并且，可以將光學(xué)模塊和電子設(shè)備用作濃度檢測裝置。在該情況下，利用波長可變干涉濾波器對從物質(zhì)射出的紅外能量(紅外光)進(jìn)行分光后分析，并測量采樣中的被檢體濃度。
[0228]如上所述，本發(fā)明的波長可變干涉濾波器、濾光器設(shè)備、光學(xué)模塊和電子設(shè)備還可應(yīng)用于從入射光中分光規(guī)定的光的任意裝置。并且，如上所述，本發(fā)明的波長可變干涉濾波器由于可以通過一臺設(shè)備對多個波長進(jìn)行分光，所以可以高精度地實施對多個波長的光譜的測量、對多個成分進(jìn)行檢測。因此，與用多臺設(shè)備取出想要的波長的現(xiàn)有的裝置相比，可促進(jìn)光學(xué)模塊和電子設(shè)備的小型化，且可優(yōu)選作為便攜用或車載用的光學(xué)設(shè)備。
[0229]此外，本發(fā)明實施時的具體構(gòu)造在能夠達(dá)到本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)，可以適當(dāng)?shù)刈兏鼮槠渌麡?gòu)造等。
【權(quán)利要求】
1.一種波長可變干涉濾波器，其特征在于，具備: 第一基板； 第二基板，所述第二基板與所述第一基板相對； 第一反射膜，所述第一反射膜設(shè)置在所述第一基板上； 第二反射膜，所述第二反射膜設(shè)置在所述第二基板上，與所述第一反射膜相對； 第一電極，所述第一電極設(shè)置在所述第一基板上； 第一導(dǎo)通電極，所述第一導(dǎo)通電極設(shè)置在所述第一基板上，從所述第一電極起一直設(shè)置到比所述第一電極更位于所述第一基板的外周緣側(cè)； 第二電極，所述第二電極設(shè)置在所述第二基板上，與所述第一電極相對； 第二導(dǎo)通電極，所述第二導(dǎo)通電極設(shè)置在所述第二基板上，通過所述第一導(dǎo)通電極與所述第一電極電連接；以及 接合層，所述接合層接合所述第一基板的第一接合面和與所述第一接合面相對的所述第二基板的第二接合面， 所述第一基板具有與所述第一導(dǎo)通電極與所述第二導(dǎo)通電極接觸的接觸面相對的第一導(dǎo)通電極面， 所述第二基板具有與所述接觸面相對的第二導(dǎo)通電極面， 從所述第一導(dǎo)通電極面到所述第二導(dǎo)通電極面的最小距離與從所述第一接合面到所述第二接合面的最小距離不同。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，從所述第一導(dǎo)通電極面到所述第二導(dǎo)通電極 面的最小距離大于從所述第一接合面到所述第二接合面的最小距離。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，從所述第一導(dǎo)通電極面到所述第二導(dǎo)通電極面的最小距離小于從所述第一接合面到所述第二接合面的最小距離。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，所述第二基板的設(shè)置所述第二導(dǎo)通電極面的部位相對于該第二基板的厚度方向具有可撓性。
5.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，所述第一基板的設(shè)置所述第一導(dǎo)通電極面的部位相對于該第一基板的厚度方向具有可撓性。
6.一種波長可變干涉濾波器，其特征在于，向外部射出與相對的反射膜間的距離相應(yīng)的波長的光，并通過第一電極和與所述第一電極相對的第二電極的電位差改變所述距離，所述波長可變干涉濾波器具備: 設(shè)置有所述第一電極和與所述第一電極連接的第一導(dǎo)通電極的第一基板； 設(shè)置有所述第二電極和通過所述第一導(dǎo)通電極與所述第一電極電連接的第二導(dǎo)通電極的第二基板；以及 接合所述第一基板和所述第二基板的接合層， 所述第一導(dǎo)通電極與所述第二導(dǎo)通電極重疊接觸的層疊部的厚度與所述接合層的厚度不同。
7.一種濾光器設(shè)備，其特征在于，具備波長可變干涉濾波器和殼體，所述波長可變干涉濾波器具備: 第一基板； 第二基板，所述第二基板與所述第一基板相對；第一反射膜，所述第一反射膜設(shè)置在所述第一基板上； 第二反射膜，所述第二反射膜設(shè)置在所述第二基板上，與所述第一反射膜相對； 第一電極，所述第一電極設(shè)置在所述第一基板上； 第一導(dǎo)通電極，所述第一導(dǎo)通電極設(shè)置在所述第一基板上，從所述第一電極起一直設(shè)置到比所述第一電極更位于所述第一基板的外周緣側(cè)； 第二電極，所述第二電極設(shè)置在所述第二基板上，與所述第一電極相對； 第二導(dǎo)通電極，所述第二導(dǎo)通電極設(shè)置在所述第二基板上，通過所述第一導(dǎo)通電極與所述第一電極電連接；以及 接合層，所述接合層接合所述第一基板的第一接合面和與所述第一接合面相對的所述第二基板的第二接合面， 所述殼體收容所述波長可變干涉濾波器， 所述第一基板具有與所述第一導(dǎo)通電極與所述第二導(dǎo)通電極接觸的接觸面相對的第一導(dǎo)通電極面， 所述第二基板具有與所述接觸面相對的第二導(dǎo)通電極面， 從所述第一導(dǎo)通電極面到所述第二導(dǎo)通電極面的最小距離與從所述第一接合面到所述第二接合面的最小距離不同。
8.一種光學(xué)模塊，其特征在于，具備波長可變干涉濾波器和檢測部，所述波長可變干涉濾波器具備: 第一基板； 第二基板，所述第二基板與所述第一基板相對； 第一反射膜，所述第一反射膜設(shè)置在所述第一基板上； 第二反射膜，所述第二反射膜設(shè)置在所述第二基板上，與所述第一反射膜相對； 第一電極，所述第一電極設(shè)置在所述第一基板上； 第一導(dǎo)通電極，所述第一導(dǎo)通電極設(shè)置在所述第一基板上，從所述第一電極起一直設(shè)置到比所述第一電極更位于所述第一基板的外周緣側(cè)； 第二電極，所述第二電極設(shè)置在所述第二基板上，與所述第一電極相對； 第二導(dǎo)通電極，所述第二導(dǎo)通電極設(shè)置在所述第二基板上，通過所述第一導(dǎo)通電極與所述第一電極電連接；以及 接合層，所述接合層接合所述第一基板的第一接合面和與所述第一接合面相對的所述第二基板的第二接合面， 所述檢測部檢測射入所述第一反射膜與所述第二反射膜之間的光干涉后所選擇的波長的光， 所述第一基板具有與所述第一導(dǎo)通電極與所述第二導(dǎo)通電極接觸的接觸面相對的第一導(dǎo)通電極面， 所述第二基板具有與所述接觸面相對的第二導(dǎo)通電極面， 從所述第一導(dǎo)通電極面到所述第二導(dǎo)通電極面的最小距離與從所述第一接合面到所述第二接合面的最小距離不同。
9.一種電子設(shè)備，其特征在于，具備波長可變干涉濾波器和控制部，所述波長可變干涉濾波器具備:第一基板； 第二基板，所述第二基板與所述第一基板相對； 第一反射膜，所述第一反射膜設(shè)置在所述第一基板上； 第二反射膜，所 述第二反射膜設(shè)置在所述第二基板上，與所述第一反射膜相對； 第一電極，所述第一電極設(shè)置在所述第一基板上； 第一導(dǎo)通電極，所述第一導(dǎo)通電極設(shè)置在所述第一基板上，從所述第一電極起一直設(shè)置到比所述第一電極更位于所述第一基板的外周緣側(cè)； 第二電極，所述第二電極設(shè)置在所述第二基板上，與所述第一電極相對； 第二導(dǎo)通電極，所述第二導(dǎo)通電極設(shè)置在所述第二基板上，通過所述第一導(dǎo)通電極與所述第一電極電連接；以及 接合層，所述接合層接合所述第一基板的第一接合面和與所述第一接合面相對的所述第二基板的第二接合面， 所述控制部控制所述波長可變干涉濾波器， 所述第一基板具有與所述第一導(dǎo)通電極與所述第二導(dǎo)通電極接觸的接觸面相對的第一導(dǎo)通電極面， 所述第二基板具有與所述接觸面相對的第二導(dǎo)通電極面， 從所述第一導(dǎo)通電極面到所述第二導(dǎo)通電極面的最小距離與從所述第一接合面到所述第二接合面的最小距離不同。
【文檔編號】G02B5/28GK104007499SQ201410060508
【公開日】2014年8月27日 申請日期:2014年2月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年2月25日
【發(fā)明者】西村晃幸 申請人:精工愛普生株式會社