專利名稱：掩模版處理機及其版架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
掩模版處理機及其版架技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實用新型涉及掩模版技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種用于支撐掩模版的版架，還涉及一種具有上述版架的掩模版處理機。
背景技術(shù)：
[0002]掩模版處理機是專業(yè)用于處理掩模版的機器，一般掩模版曝光之后需要利用掩模版處理機進行顯影、腐蝕工藝的處理等。[0003]進行工藝處理時，一般把掩模版置于掩模版處理機的版架上，其中版架上設(shè)置有用于分別架設(shè)掩模版四個角的四個突起，將方形的掩模版四個角分別卡在版架上的四個突起上，然后進行工藝處理。[0004]然而現(xiàn)有技術(shù)中掩模版處理機的每個版架僅設(shè)置一套架設(shè)掩模版的突起組件，而每一套突起組件只能架設(shè)一種型號的掩模版，比如架設(shè)邊長為6英寸、7英寸或者5英寸的掩模版。所以在進行處理時，如果想要處理不同尺寸的掩模版，需要更換版架才可以進行處理，如此較費時費力，降低了處理效率。[0005]綜上所述，如何有效地解決需要更換版架才可以進行處理不同尺寸的掩模版，較費時費力，處理效率較低問題，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的問題。實用新型內(nèi)容[0006]有鑒于此，本實用新型的第一個目的在于提供一種版架，該版架的結(jié)構(gòu)設(shè)計可以有效地解決需要更換版架才可以進行處理不同尺寸的掩模版，較費時費力，處理效率較低，本實用新型的第二個目的是提供一種包括上述版架的掩模版處理機。[0007]為了達到上述第一個目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案:[0008]一種版架，用于掩模版處理機，包括版架本體和設(shè)置于所述版架本體上的多組突起組件，每組所述突起組件包括四個突起，且四個所述突起位于同一圓上且周向均勻分布；所述多組突起組件的突起所在的圓為同心圓且直徑均不相同，且所述突起的高度與其所在的圓的直徑成正比；[0009]每個所述突起的頂端均設(shè)置有多個卡柱。[0010]優(yōu)選地,所述突起組件的數(shù)量具體為三組。[0011]優(yōu)選地，每個所述突起上設(shè)置有兩個卡柱。[0012]優(yōu)選地，所述卡柱具體為圓柱。[0013]優(yōu)選地，所述突起·上還設(shè)置有用于支撐掩模版的支撐柱。[0014]優(yōu)選地，所述突起通過螺釘固定于所述版架本體上。[0015]—種掩模版處理機,包括上述中任一項所述的版架。[0016]本實用新型提供的版架，用于掩模版處理機，包括版架本體和設(shè)置于版架本體上的多組突起組件，每組突起組件包括四個突起，且四個突起位于同一圓上且周向均勻分布；多組突起組件的突起所在的圓為同心圓且直徑均不相同，且突起的高度與其所在的圓的直徑成正比，即沿遠離圓心的方向突起組件的高度依次升高，每個突起的頂端均設(shè)置有多個卡柱。[0017]應(yīng)用本實用新型提供的版架時，由于本版架上設(shè)置有多組突起組件，并且多組突起組件的突起所在的圓為同心圓且直徑均不相同，不同的突起組件可以卡設(shè)不同尺寸的掩模版，另外突起的高度與其所在的圓的直徑成正比，即沿遠離圓心的方向突起組件的高度依次升高，如此設(shè)置可以防止靠近圓心的突起組件阻礙掩模版安裝在遠離圓心的突起組件上，具體可以根據(jù)待處理的掩模版的尺寸選擇合適的突起組件進行安裝，即將待處理的掩模版的四個角卡設(shè)在突起的卡柱之間，以此將掩模版進行固定在四個突起之間，然后進行處理。該版架不必進行更換便可安裝不同尺寸的掩模版，較省時省力，提高了處理效率。[0018]為了達到上述第二個目的，本實用新型還提供了一種掩模版處理機，該掩模版處理機包括上述任一種版架。由于上述的版架具有上述技術(shù)效果，具有該版架的掩模版處理機也應(yīng)具有相應(yīng)的技術(shù)效果。


[0019]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。[0020]圖1為本實用新型實施例提供的版架的結(jié)構(gòu)示意圖；[0021]圖2為圖1中A區(qū)域的局部放大圖。[0022]附圖中標(biāo)記如下:[0023]1-版架本體、2-突起、21-卡柱、22-支撐柱。
具體實施方式
[0024]本實用新型的第一個目的在于提供一種版架，該版架的結(jié)構(gòu)設(shè)計可以有效地解決需要更換版架才可以進行處理不同尺寸的掩模版，較費時費力，處理效率較低，本實用新型的第二個目的是提供一種包括上述版架的掩模版處理機。[0025]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。[0026]請參閱圖1- 圖2，圖1為本實用新型實施例提供的版架的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1中A區(qū)域的局部放大圖。[0027]本實用新型實施例提供的版架，用于掩模版處理機，包括版架本體I和設(shè)置于版架本體I上的多組突起組件，每組突起組件包括四個突起2，且四個突起2位于同一圓上且周向均勻分布；多組突起組件的突起2所在的圓為同心圓且直徑均不相同，且突起2的高度與其所在的圓的直徑成正比，即沿遠離圓心的方向突起組件的高度依次升高，每個突起2的頂端均設(shè)置有多個卡柱21。[0028]應(yīng)用本實用新型實施例提供的版架時，由于本版架上設(shè)置有多組突起組件，并且多組突起組件的突起2所在的圓為同心圓且直徑均不相同，不同的突起組件可以卡設(shè)不同尺寸的掩模版，另外突起2的高度與其所在的圓的直徑成正比，即沿遠離圓心的方向突起組件的高度依次升高，如此設(shè)置可以防止靠近圓心的突起組件阻礙掩模版安裝在遠離圓心的突起組件上，具體可以根據(jù)待處理的掩模版的尺寸選擇合適的突起組件進行安裝，即將待處理的掩模版的四個角卡設(shè)在突起2的卡柱21之間，以此將掩模版進行固定在四個突起2之間，然后進行處理。該版架不必進行更換便可安裝不同尺寸的掩模版，較省時省力，提高了處理效率。[0029]其中，突起組件的數(shù)量可以為三組，一組突起組件可以放置5英寸的掩模版，一組突起組件可以放置6英寸的掩模版，另一組突起組件可以放置7英寸的掩模版。[0030]具體的，每個突起2上可以設(shè)置兩個卡柱21，掩模版的角卡設(shè)在兩個卡柱21之間即可。進一步，卡柱21可以具體為圓柱。當(dāng)然也可以為方柱，在此不作限定。[0031]其中，突起2上還可以設(shè)置用于支撐掩模版的支撐柱22。其中支撐柱22是頂端為平面的柱體。[0032]優(yōu)選地，突起2可以通過螺絲的方式設(shè)置于版架本體I上，如此設(shè)置，可以單獨加工突起2和版架本體I然后將兩者進行連接。當(dāng)然突起2和版架本體I一體式加工成型，在此不作限定。[0033]基于上述實施例中提供的版架，本實用新型還提供了一種掩模版處理機，該掩模版處理機包括上述實施例中任意一種版架。由于該掩模版處理機采用了上述實施例中的版架，所以該掩模版處理機的有益效果請參考上述實施例。[0034]本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。[0035]對所公開的實施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的 范圍。
權(quán)利要求1.一種版架，用于掩模版處理機，其特征在于，包括版架本體(I)和設(shè)置于所述版架本體(I)上的多組突起組件，每組所述突起組件包括四個突起(2)，且四個所述突起(2)位于同一圓上且周向均勻分布；所述多組突起組件的突起(2)所在的圓為同心圓且直徑均不相同，且所述突起(2)的高度與其所在的圓的直徑成正比； 每個所述突起(2)的頂端均設(shè)置有多個卡柱(21)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的版架，其特征在于，所述突起組件的數(shù)量具體為三組。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的版架，其特征在于，每個所述突起(2)上設(shè)置有兩個卡柱(21)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的版架，其特征在于，所述卡柱(21)具體為圓柱。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的版架，其特征在于，所述突起(2)上還設(shè)置有用于支撐掩模版的支撐柱(22)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的版架，其特征在于，所述突起(2)通過螺釘固定于所述版架本體(I)上。
7.—種掩 模版處理機,其特征在于,包括如權(quán)利要求1-6中任一項所述的版架。
專利摘要本實用新型公開了一種版架，用于掩模版處理機，包括版架本體和設(shè)置于所述版架本體上的多組突起組件，每組所述突起組件包括四個突起，且四個所述突起位于同一圓上且周向均勻分布；所述多組突起組件的突起所在的圓為同心圓且直徑均不相同，且所述突起的高度與其所在的圓的直徑成正比；每個所述突起的頂端均設(shè)置有多個卡柱。具體可以根據(jù)待處理的掩模版的尺寸選擇合適的突起組件進行安放，即將待處理的掩模版的四個角卡設(shè)在突起的卡柱之間，以此將掩模版進行固定在四個突起之間，然后進行處理。該版架不必進行更換便可安放不同尺寸的掩模版，較省時省力，提高了處理效率。本實用新型還公開了一種包括上述版架的掩模版處理機。
文檔編號G03F1/68GK203117635SQ20132003994
公開日2013年8月7日 申請日期2013年1月24日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月24日
發(fā)明者黃宏君, 沈俊然 申請人:無錫華潤微電子有限公司