專(zhuān)利名稱(chēng)：一種調(diào)節(jié)空氣簾角度的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及液晶顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種調(diào)節(jié)空氣簾角度的裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體及薄膜晶體管陣列基板制造技術(shù)中的濕法剝離工藝中，一般采用濕法剝離藥液去除光刻膠；濕法剝離工藝是刻蝕工藝后的一道工序，是指去除玻璃基板上的剩余光刻膠。利用濕法剝離藥液，可以去除這些光刻膠，然后玻璃進(jìn)入去離子水區(qū)間進(jìn)行清洗。 為了使剝離藥液保持停留在本區(qū)域而不被玻璃基板帶到下一個(gè)區(qū)域，在剝離藥區(qū)域必須通過(guò)空氣簾除去這些殘留在玻璃基板上的剝離藥液不隨著玻璃基板的移動(dòng)而移動(dòng)?，F(xiàn)有技術(shù)中，除去這些殘留在玻璃基板上的剝離藥液不隨著玻璃基板的移動(dòng)而移動(dòng)，采用如圖I所示的裝置，如圖I所示為現(xiàn)有技術(shù)采用的空氣簾結(jié)構(gòu)示意圖，由空氣簾I及設(shè)置于所述空氣簾上的旋轉(zhuǎn)軸2組成，圖2為空氣簾I吹出來(lái)的空氣流3示意圖，用以吹掉玻璃基板4上的濕法剝離藥液5，如圖I所示，調(diào)節(jié)空氣簾I的角度時(shí)，需要用調(diào)節(jié)量角器，測(cè)量出需要的角度，如圖3所示為現(xiàn)有量角器結(jié)構(gòu)圖，然后把旋轉(zhuǎn)軸2旋轉(zhuǎn)到相應(yīng)的角度后緊固旋轉(zhuǎn)軸2?，F(xiàn)有技術(shù)中存在以下問(wèn)題采用現(xiàn)有技術(shù)中空氣簾的調(diào)節(jié)裝置，調(diào)節(jié)到需要的角度，操作起來(lái)十分繁瑣，需要反復(fù)測(cè)量和找水平基準(zhǔn)線，當(dāng)由于設(shè)備振動(dòng)導(dǎo)致螺絲變松時(shí)會(huì)產(chǎn)生很大的誤差，因此導(dǎo)致不良的產(chǎn)生，另外在調(diào)節(jié)空氣簾角度時(shí)，只能使用普通量角器反復(fù)測(cè)量調(diào)節(jié)，不能隨時(shí)直接通過(guò)肉眼來(lái)觀察，并且因?yàn)椴僮魅藛T視角和基準(zhǔn)的不同，調(diào)節(jié)的實(shí)際角度有差異性。

實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種調(diào)節(jié)空氣簾角度的裝置，更方便檢測(cè)空氣簾調(diào)節(jié)的角度，并且調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單方便，便于通過(guò)調(diào)節(jié)角度來(lái)改善不良產(chǎn)生。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種調(diào)節(jié)空氣簾角度的裝置，用于調(diào)節(jié)空氣簾除去殘留在基板的剝離藥液，所述裝置包括空氣簾及設(shè)置于所述空氣簾上的旋轉(zhuǎn)軸，所述裝置還包括測(cè)量角度裝置、支架及指針，所述支架與所述測(cè)量角度裝置相連接，所述指針設(shè)置于所述支架上，所述指針作為用于讀取角度的參考物，所述測(cè)量角度裝置在平行于所述指針的側(cè)面上設(shè)有標(biāo)識(shí)角度的刻度，所述空氣簾與所述測(cè)量角度裝置固定連接。優(yōu)選的，所述測(cè)量角度裝置為一圓柱體結(jié)構(gòu)，所述標(biāo)識(shí)角度的刻度具體設(shè)置于所述測(cè)量角度裝置側(cè)面上。優(yōu)選的，所述測(cè)量角度裝置上設(shè)有卡座，所述空氣簾的一端卡合于所述卡座內(nèi)。優(yōu)選的，所述卡座與所述測(cè)量角度裝置為一體式結(jié)構(gòu)。優(yōu)選的，所述測(cè)量角度裝置的卡座中心設(shè)有一通孔，所述空氣簾的旋轉(zhuǎn)軸的一端設(shè)置于所述通孔中。[0012]優(yōu)選的，所述所述支架上設(shè)有螺紋孔，所述支架通過(guò)穿過(guò)所述螺紋孔的螺釘固定連接于所述測(cè)量角度裝置上。優(yōu)選的，所述旋轉(zhuǎn)軸的一端穿過(guò)設(shè)置于所述卡座中心的通孔，延伸到所述通孔外偵牝并且所述延伸出部分穿過(guò)所述支架上的通孔，將所述支架、所述測(cè)量角度裝置與所述空氣簾連接。優(yōu)選的，所述指針一端平行于所述刻度且朝向所述刻度的方向設(shè)置。優(yōu)選的，所述指針固定于所述支架的頂端，或固定設(shè)置于所述支架上且靠近所述測(cè)量角度裝置上帶有刻度的表面。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型提供的實(shí)施例包括現(xiàn)有技術(shù)中發(fā)出空氣流的空氣簾及設(shè)置于空氣簾上的旋轉(zhuǎn)軸，還包括測(cè)量角度裝置、支架及指針，所述支架與所述測(cè)量角度裝置相連接，所·述指針設(shè)置于所述支架上，所述指針作為用于讀取角度的參考物，通過(guò)設(shè)置的指針可以很便捷的通過(guò)肉眼看出當(dāng)前空氣簾調(diào)節(jié)的角度；所述測(cè)量角度裝置在平行于所述指針的側(cè)面上設(shè)有標(biāo)識(shí)角度的刻度，起到了現(xiàn)有技術(shù)中量角器的作用，所述空氣簾與所述測(cè)量角度裝置固定連接。通過(guò)調(diào)節(jié)與所述測(cè)量角度裝置固定連接的空氣簾的達(dá)到需要的角度，并固定；且可以從指針的指示上看到當(dāng)前角度值，本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，有利于檢測(cè)空氣簾的角度調(diào)節(jié)，并且降低了由于不同人標(biāo)準(zhǔn)不同而產(chǎn)生的誤差帶來(lái)的不良。

圖I為現(xiàn)有技術(shù)中空氣簾的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)中空氣簾工作的狀態(tài)結(jié)構(gòu)圖；圖3為現(xiàn)有技術(shù)中的量角器結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實(shí)用新型中測(cè)量角度裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為圖的俯視圖；圖7為本實(shí)用新型實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為本實(shí)用新型實(shí)施例三的結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為本實(shí)用新型實(shí)施例四的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
現(xiàn)有技術(shù)中的空氣簾通過(guò)量角器調(diào)節(jié)到設(shè)定的角度，在經(jīng)過(guò)多次調(diào)節(jié)后，將空氣簾固定到設(shè)定角度的位置，在這個(gè)過(guò)程中，操作繁瑣，并且存在誤差，因此本實(shí)用新型提供了一種調(diào)節(jié)空氣簾角度的裝置，更方便檢測(cè)空氣簾調(diào)節(jié)的角度，并且調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單方便，便于通過(guò)調(diào)節(jié)角度來(lái)改善不良產(chǎn)生。下面結(jié)合具體實(shí)施例及附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型提供一種調(diào)節(jié)空氣簾角度的裝置，用于調(diào)節(jié)空氣簾除去殘留在基板的剝離藥液，調(diào)節(jié)空氣簾角度的裝置包括空氣簾及設(shè)置于空氣簾上的旋轉(zhuǎn)軸，其中，調(diào)節(jié)空氣簾角度的裝置還包括測(cè)量角度裝置、支架及指針，支架與測(cè)量角度裝置相連接，指針設(shè)置于支架上，指針作為用于讀取角度的參考物，所述測(cè)量角度裝置在平行于指針的側(cè)面上設(shè)有標(biāo)識(shí)角度的刻度，空氣簾與測(cè)量角度裝置固定連接，具體的，如圖4所示，為本實(shí)用新型實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖，包括空氣簾I及設(shè)置于空氣簾I上的旋轉(zhuǎn)軸2，還包括測(cè)量角度裝置6，測(cè)量角度裝置6可以為圓柱，圓臺(tái)等結(jié)構(gòu)，在側(cè)面上標(biāo)注有標(biāo)識(shí)角度的刻度，本實(shí)用新型采用的實(shí)施例一采用圓柱體結(jié)構(gòu)，將標(biāo)識(shí)角度的刻度具體設(shè)置于測(cè)量角度裝置6的側(cè)面上；在測(cè)量角度裝置6上設(shè)有卡座7，將空氣簾I的一端卡合于卡座7內(nèi)?？ㄗ?為兩個(gè)環(huán)抱的半弧形結(jié)構(gòu)，在測(cè)量角度裝置6的另一表面上固定有一支架8，支架8通過(guò)相互匹配的螺釘及螺母10固定在測(cè)量角度裝置6上，將測(cè)量角度裝置6固定在支架與空氣簾I 一端之間，且在支架8上設(shè)置一指針9，用以表示讀取角度時(shí)的參照物，測(cè)量角度裝置6在平行于指針的側(cè)面上設(shè)有標(biāo)識(shí)角度的刻度，即與指針9對(duì)齊的角度為當(dāng)前空氣簾調(diào)節(jié)的角度；其中，卡座7與測(cè)量角度裝置6為一體式結(jié)構(gòu)。如圖5所示，為本實(shí)用新型中測(cè)量角度裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖6所示，為圖5的俯視圖，測(cè)量角度裝置6的側(cè)面上設(shè)置表示角度的刻度；在測(cè)量角度裝置6上設(shè)有卡座7，卡座7為兩個(gè)環(huán)抱的半弧形結(jié)構(gòu)，兩個(gè)弧形結(jié)構(gòu)之間設(shè)有一卡口 71，將空氣簾I的一端設(shè)置于卡座7內(nèi)，并且恰好卡合與卡口 71處；卡座與測(cè)量角度裝置為一體成型的結(jié)構(gòu)，在卡座7的中心設(shè)有一通孔61，空氣簾I上的旋轉(zhuǎn)軸2的一端設(shè)置于通孔61中?！と鐖D7為本實(shí)用新型實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖，包括空氣簾I及設(shè)置于空氣簾I上的旋轉(zhuǎn)軸2，還包括圓柱結(jié)構(gòu)的測(cè)量角度裝置6，在側(cè)面上標(biāo)注有標(biāo)識(shí)角度的刻度，在測(cè)量角度裝置6上設(shè)有卡座7，將空氣簾I的一端卡合于卡座7內(nèi)，卡座7的中心設(shè)有通孔72，將旋轉(zhuǎn)軸2的一端穿過(guò)設(shè)置于通孔72，延伸到通孔72的外側(cè)，并且該延伸出部分繼續(xù)穿過(guò)支架8上的通孔(圖中未畫(huà)出)，通過(guò)一匹配的螺母將支架8、測(cè)量角度裝置6與空氣簾I連接在一起；且在支架8上設(shè)置一指針9，用以表示讀取角度時(shí)的參照物，即與指針9對(duì)齊的角度為當(dāng)前空氣簾調(diào)節(jié)的角度。如圖8所示,為本實(shí)用新型實(shí)施例三的結(jié)構(gòu)示意圖,包括空氣簾I及設(shè)置于空氣簾I上的旋轉(zhuǎn)軸2，還包括圓柱結(jié)構(gòu)的測(cè)量角度裝置6，在側(cè)面上標(biāo)注有標(biāo)識(shí)角度的刻度，在測(cè)量角度裝置6的上設(shè)有卡座7，將空氣簾I的一端卡合于卡座7內(nèi)。在測(cè)量角度裝置6的另一表面上固定有一支架8，支架8通過(guò)相互匹配的螺釘及螺母固定在測(cè)量角度裝置6上，將測(cè)量角度裝置6固定在支架與空氣簾I 一端之間，且在支架8上設(shè)置一指針9，其中指針一端平行于所述刻度且朝向所述刻度的方向設(shè)置，并且指針9設(shè)置于支架8的頂端，通過(guò)一螺母11將指針9固定在支架的頂端。如圖9所示，為本實(shí)用新型實(shí)施例四的結(jié)構(gòu)示意圖，將指針9的一端沿著平行于所述刻度且朝向所述刻度的方向設(shè)置，并且固定在支架8上且靠近所述測(cè)量角度裝置上帶有刻度的表面位置處，由于貼近了刻度，讀取角度時(shí)更加準(zhǔn)確。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種調(diào)節(jié)空氣簾角度的裝置，用于調(diào)節(jié)空氣簾除去殘留在基板的剝離藥液，所述裝置包括空氣簾及設(shè)置于所述空氣簾上的旋轉(zhuǎn)軸，其特征在于，所述裝置還包括測(cè)量角度裝置、支架及指針，所述支架與所述測(cè)量角度裝置相連接，所述指針設(shè)置于所述支架上，所述指針作為用于讀取角度的參考物，所述測(cè)量角度裝置在平行于所述指針的側(cè)面上設(shè)有標(biāo)識(shí)角度的刻度，所述空氣簾與所述測(cè)量角度裝置固定連接。
2.如權(quán)利要求I所述的調(diào)節(jié)空氣簾角度的裝置，其特征在于，所述測(cè)量角度裝置為一圓柱體結(jié)構(gòu)，所述標(biāo)識(shí)角度的刻度具體設(shè)置于所述測(cè)量角度裝置側(cè)面上。
3.如權(quán)利要求2所述的調(diào)節(jié)空氣簾角度的裝置，其特征在于，所述測(cè)量角度裝置上設(shè)有卡座，所述空氣簾的一端卡合于所述卡座內(nèi)。
4.如權(quán)利要求3所述的調(diào)節(jié)空氣簾角度的裝置，其特征在于，所述卡座與所述測(cè)量角度裝置為一體式結(jié)構(gòu)。
5.如權(quán)利要求4所述的調(diào)節(jié)空氣簾角度的裝置，其特征在于，所述測(cè)量角度裝置的卡座中心設(shè)有一通孔，空氣簾上的所述旋轉(zhuǎn)軸的一端設(shè)置于所述通孔中。
6.如權(quán)利要求5所述的調(diào)節(jié)空氣簾角度的裝置，其特征在于，所述所述支架上設(shè)有螺紋孔，所述支架通過(guò)穿過(guò)所述螺紋孔的螺釘固定連接于所述測(cè)量角度裝置上。
7.如權(quán)利要求4所述的調(diào)節(jié)空氣簾角度的裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)軸的一端穿過(guò)設(shè)置于所述卡座中心的通孔，延伸到所述通孔外側(cè)，并且所述延伸出部分穿過(guò)所述支架上的通孔，將所述支架、所述測(cè)量角度裝置與所述空氣簾連接。
8.如權(quán)利要求6或7所述的調(diào)節(jié)空氣簾角度的裝置，其特征在于，所述指針一端平行于所述刻度且朝向所述刻度的方向設(shè)置。
9.如權(quán)利要求8所述的調(diào)節(jié)空氣簾角度的裝置，其特征在于，所述指針固定于所述支架的頂端，或固定設(shè)置于所述支架上且靠近所述測(cè)量角度裝置上帶有刻度的表面。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供一種調(diào)節(jié)空氣簾角度的裝置，用于調(diào)節(jié)空氣簾除去殘留在基板的剝離藥液，所述裝置包括空氣簾及設(shè)置于所述空氣簾上的旋轉(zhuǎn)軸，所述裝置還包括測(cè)量角度裝置、支架及指針，所述支架與所述測(cè)量角度裝置相連接，所述指針設(shè)置于所述支架上，所述指針作為用于讀取角度的參考物，所述測(cè)量角度裝置在平行于所述指針的側(cè)面上設(shè)有標(biāo)識(shí)角度的刻度，所述空氣簾與所述測(cè)量角度裝置固定連接。本實(shí)用新型提供的實(shí)施例相對(duì)于傳統(tǒng)量角器調(diào)節(jié)空氣簾的角度來(lái)說(shuō)，更加便于監(jiān)測(cè)空氣簾調(diào)節(jié)的角度，以及本實(shí)用新型操作方便，從而可以通過(guò)調(diào)節(jié)需要的角度來(lái)改善不良發(fā)生。
文檔編號(hào)G02F1/133GK202693948SQ20122034399
公開(kāi)日2013年1月23日 申請(qǐng)日期2012年7月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月16日
發(fā)明者金秀洪 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司