專利名稱：一種光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及光刻技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁。
背景技術(shù)：
掩模臺(tái)橫梁是光刻機(jī)外部世界中框架的結(jié)構(gòu)件之一，起到支撐掩模臺(tái)重量的作用。掩模臺(tái)橫梁一般由不銹鋼焊接制造而成，需要滿足掩模臺(tái)支持的靜力學(xué)指標(biāo)和框架整體動(dòng)力學(xué)的模態(tài)需求。由于光刻機(jī)內(nèi)部結(jié)構(gòu)復(fù)雜，集成密度高，掩模臺(tái)橫梁需要避開(kāi)較多的既有部件和分系統(tǒng)，在空間上有較多的約束條件，需要合理設(shè)計(jì)掩模臺(tái)橫梁并盡可能的少占用整機(jī)內(nèi)部空間。此外，由于掩模臺(tái)和橫梁置于基礎(chǔ)框架上是外部世界和地基的有效載荷，在保證結(jié)構(gòu)強(qiáng)度的前提下，需要將橫梁質(zhì)量盡可能的控制的較小。傳統(tǒng)的掩模臺(tái)橫梁為兩段式分體結(jié)構(gòu)，頂部為由一根垂直肋板加強(qiáng)的工字梁，底 部模塊為有整塊鋼料銑削成形的底座，底座帶有垂向和水平向的加強(qiáng)肋板。頂部橫梁和底部底座之間以螺栓緊固連接，預(yù)留兩處掩模臺(tái)接口，這樣的橫梁裝配時(shí)橫梁會(huì)穿越內(nèi)部世界的測(cè)量支架，故其結(jié)構(gòu)、制造工藝和裝配復(fù)雜、制造周期長(zhǎng)、成本較高。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是掩模臺(tái)橫梁結(jié)構(gòu)的制造工藝和裝配復(fù)雜、制造周期長(zhǎng)、成本較高。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁，包括水平設(shè)置的主梁及分別對(duì)稱固接于所述橫梁兩端的側(cè)梁，所述主梁的兩平行表面之間設(shè)有多個(gè)主梁加強(qiáng)肋板，所述側(cè)梁的兩平行側(cè)面之間設(shè)有多個(gè)側(cè)梁加強(qiáng)肋板，所述側(cè)梁的底部固接有可固定于工作臺(tái)面的底板。進(jìn)一步地，所述多個(gè)主梁加強(qiáng)肋板包括多個(gè)平行的第一方向主梁加強(qiáng)肋板及多個(gè)平行的第二方向主梁加強(qiáng)肋板，所述第一方向主梁加強(qiáng)肋板與第二方向主梁加強(qiáng)肋板相互交錯(cuò)設(shè)置。進(jìn)一步地，所述多個(gè)主梁加強(qiáng)肋板與主梁的兩平行表面的夾角范圍為30° 60。。進(jìn)一步地，所述側(cè)梁為一斜梁。進(jìn)一步地，所述多個(gè)側(cè)梁加強(qiáng)肋板包括多個(gè)平行的第一方向側(cè)梁加強(qiáng)肋板及多個(gè)平行的第二方向側(cè)梁加強(qiáng)肋板，所述第一方向側(cè)梁加強(qiáng)肋板與第二方向側(cè)梁加強(qiáng)肋板相互交錯(cuò)設(shè)置。進(jìn)一步地，所述斜梁的兩平行側(cè)面與主梁的兩平行表面的夾角范圍為20° 80° ;所述多個(gè)側(cè)梁加強(qiáng)肋板與斜梁的兩平行側(cè)面的夾角范圍為20° 80°。進(jìn)一步地，所述側(cè)梁包括一斜梁部及與之相連的豎梁部，所述豎梁部固接于所述底板。進(jìn)一步地，所述側(cè)梁加強(qiáng)肋板包括多個(gè)平行設(shè)置于斜梁部?jī)杀砻嬷g的斜梁加強(qiáng)肋板及設(shè)置于豎梁部?jī)杀砻嬷g的豎梁加強(qiáng)肋板。進(jìn)一步地，所述斜梁加強(qiáng)肋板與斜梁部?jī)杀砻娴膴A角范圍為80° 100°。進(jìn)一步地，所述豎梁加強(qiáng)肋板與豎梁部?jī)杀砻娴膴A角范圍為30° 60°。本實(shí)用新型的一種光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁采用主梁及分別對(duì)稱固接于所述橫梁兩端的側(cè)梁所組成的一種拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，所述主梁及側(cè)梁內(nèi)部均設(shè)有多個(gè)加強(qiáng)肋板，具備高模態(tài)、低質(zhì)量的結(jié)構(gòu)特征，制造工藝和裝配較簡(jiǎn)單、容易制造且成本較低。

圖I為本實(shí)用新型一種光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)意圖；圖2為圖I的側(cè)視·[0019]圖3為本實(shí)用新型一種光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁另一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)意圖；圖4為圖3的側(cè)視圖；圖5為圖4的分解結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例。請(qǐng)參閱圖I及圖2，本實(shí)用新型一種光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁包括水平設(shè)置的主梁I及分別對(duì)稱固接于所述橫梁I兩端的側(cè)梁2，所述主梁I的兩平行表面11、12之間設(shè)有多個(gè)主梁加強(qiáng)肋板13，所述側(cè)梁2的兩平行側(cè)面21、22之間設(shè)有多個(gè)側(cè)梁加強(qiáng)肋板23，所述側(cè)梁2的底部固接有可固定于工作臺(tái)面的底板3。所述主梁I為工字鋼結(jié)構(gòu)，其兩平行表面11、12對(duì)稱穿設(shè)有支撐柱14，所述支撐柱14的上端設(shè)有掩模臺(tái)接口 15，用于將所述光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁固定連接于掩模臺(tái)(圖未示)。所述多個(gè)主梁加強(qiáng)肋板13包括多個(gè)平行的第一方向主梁加強(qiáng)肋板132及多個(gè)平行的第二方向主梁加強(qiáng)肋板134，所述第一方向主梁加強(qiáng)肋板132與第二方向主梁加強(qiáng)肋板134相互交錯(cuò)設(shè)置，即每?jī)蓚€(gè)相鄰的所述第一方向主梁加強(qiáng)肋板132之間設(shè)置一個(gè)第二方向主梁加強(qiáng)肋板134，或每?jī)蓚€(gè)相鄰的所述第二方向主梁加強(qiáng)肋板134之間設(shè)置一個(gè)第一方向主梁加強(qiáng)肋板132，形成V形或W形的結(jié)構(gòu)。所述多個(gè)主梁加強(qiáng)肋板13與主梁I的兩平行表面11、12的夾角α范圍為30° 60。。本實(shí)施例中，所述側(cè)梁2為一斜梁，所述斜梁為工字鋼結(jié)構(gòu)。所述多個(gè)側(cè)梁加強(qiáng)肋板23包括多個(gè)平行的第一方向側(cè)梁加強(qiáng)肋板232及多個(gè)平行的第二方向側(cè)梁加強(qiáng)肋板234，所述第一方向側(cè)梁加強(qiáng)肋板232與第二方向側(cè)梁加強(qiáng)肋板234相互交錯(cuò)設(shè)置，即每?jī)蓚€(gè)相鄰的所述第一方向側(cè)梁加強(qiáng)肋板232之間設(shè)置一個(gè)第二方向側(cè)梁加強(qiáng)肋板234，或每?jī)蓚€(gè)相鄰的所述第二方向側(cè)梁加強(qiáng)肋板234之間設(shè)置一個(gè)第一方向側(cè)梁加強(qiáng)肋板232，形成V形或W形的結(jié)構(gòu)。所述斜梁的兩平行側(cè)面21、22與主梁I的兩平行表面11、12的夾角β范圍為20° 80° ;所述多個(gè)側(cè)梁加強(qiáng)肋板23與斜梁的兩平行側(cè)面21、22的夾角Y范圍為
20。 80°。所述主梁I采用不銹鋼作為原材料，其與斜梁通過(guò)整體焊接而成，有效定義落料斷面和焊接焊縫，提高了工藝性并保證結(jié)構(gòu)強(qiáng)度。請(qǐng)參閱圖3及圖4，圖3及圖4示出的是本實(shí)用新型一種光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁另一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖及側(cè)視圖。與上述實(shí)施例結(jié)構(gòu)的區(qū)別是，所述側(cè)梁2包括一斜梁部22及與之相連的豎梁部24，所述豎梁部24固接于所述底板3。所述側(cè)梁加強(qiáng)肋板23包括多個(gè)平行設(shè)置于斜梁部22兩表面222、224之間的斜梁加強(qiáng)肋板226及設(shè)置于豎梁部24兩表面242、244之間的豎梁加強(qiáng)肋板246，本實(shí)施例中，所述斜梁加強(qiáng)肋板226的數(shù)量為兩個(gè)，所述斜梁加強(qiáng)肋板226與斜梁部22兩表面222、224的夾角Θ范圍為20° 80° ;所述豎梁加強(qiáng)肋板246的數(shù)量為一個(gè)，所述豎梁加強(qiáng)肋板246與豎梁部24兩表面242、244的夾角ε范圍為30° 60°。所述斜梁部22兩表面222、224與主梁I的兩平行表面11、12之間的夾角ω范圍為 30° 60°。 請(qǐng)參閱圖5，所述主梁I預(yù)先開(kāi)設(shè)有第一落料破口 16，所述斜梁部22預(yù)先開(kāi)設(shè)有第二落料破口 26，所述豎梁部24預(yù)先開(kāi)設(shè)有第三落料破口 28，通過(guò)對(duì)第一落料破口 16、第二落料破口 26及第三落料破口 28的拼接焊接，形成本實(shí)施例光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁的整體結(jié)構(gòu)。本實(shí)施例中所述主梁I、斜梁部22及豎梁部24均為標(biāo)準(zhǔn)工字鋼。相比于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型的一種光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁采用主梁及分別對(duì)稱固接于所述橫梁兩端的側(cè)梁所組成的一種拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，所述主梁及側(cè)梁內(nèi)部均設(shè)有多個(gè)加強(qiáng)肋板，具備高模態(tài)、低質(zhì)量的結(jié)構(gòu)特征，制造工藝和裝配較簡(jiǎn)單、容易制造且成本較低。這里本實(shí)用新型的描述和應(yīng)用是說(shuō)明性的，并非想將本實(shí)用新型的范圍限制在上述實(shí)施例中。這里所披露的實(shí)施例的變形和改變是可能的，對(duì)于那些本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)實(shí)施例的替換和等效的各種部件是公知的。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該清楚的是，在不脫離本實(shí)用新型的精神或本質(zhì)特征的情況下，本實(shí)用新型可以以其它形式、結(jié)構(gòu)、布置、比例，以及用其它組件、材料和部件來(lái)實(shí)現(xiàn)。在不脫離本實(shí)用新型范圍和精神的情況下，可以對(duì)這里所披露的實(shí)施例進(jìn)行其它變形和改變。
權(quán)利要求1.一種光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁，其特征在于，其包括水平設(shè)置的主梁及分別對(duì)稱固接于所述橫梁兩端的側(cè)梁，所述主梁的兩平行表面之間設(shè)有多個(gè)主梁加強(qiáng)肋板，所述側(cè)梁的兩平行側(cè)面之間設(shè)有多個(gè)側(cè)梁加強(qiáng)肋板，所述側(cè)梁的底部固接有可固定于工作臺(tái)面的底板。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁，其特征在于，所述多個(gè)主梁加強(qiáng)肋板包括多個(gè)平行的第一方向主梁加強(qiáng)肋板及多個(gè)平行的第二方向主梁加強(qiáng)肋板，所述第一方向主梁加強(qiáng)肋板與第二方向主梁加強(qiáng)肋板相互交錯(cuò)設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的一種光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁，其特征在于，所述多個(gè)主梁加強(qiáng)肋板與主梁的兩平行表面的夾角范圍為30° 60°。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或2或3所述的一種光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁，其特征在于，所述側(cè)梁為一斜梁。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁，其特征在于，所述多個(gè)側(cè)梁加強(qiáng)肋板包括多個(gè)平行的第一方向側(cè)梁加強(qiáng)肋板及多個(gè)平行的第二方向側(cè)梁加強(qiáng)肋板，所述第一方向側(cè)梁加強(qiáng)肋板與第二方向側(cè)梁加強(qiáng)肋板相互交錯(cuò)設(shè)置。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁，其特征在于，所述斜梁的兩平行側(cè)面與主梁的兩平行表面的夾角范圍為20° 80° ;所述多個(gè)側(cè)梁加強(qiáng)肋板與斜梁的兩平行側(cè)面的夾角范圍為20° 80°。
7.根據(jù)權(quán)利要求I或2或3所述的一種光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁，其特征在于，所述側(cè)梁包括一斜梁部及與之相連的豎梁部，所述豎梁部固接于所述底板。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁，其特征在于，所述側(cè)梁加強(qiáng)肋板包括多個(gè)平行設(shè)置于斜梁部?jī)杀砻嬷g的斜梁加強(qiáng)肋板及設(shè)置于豎梁部?jī)杀砻嬷g的豎梁加強(qiáng)肋板。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁，其特征在于，所述斜梁加強(qiáng)肋板與斜梁部?jī)杀砻娴膴A角范圍為20° 80°。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁，其特征在于，所述豎梁加強(qiáng)肋板與豎梁部?jī)杀砻娴膴A角范圍為30° 60°。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁，包括水平設(shè)置的主梁及分別對(duì)稱固接于所述橫梁兩端的側(cè)梁，所述主梁的兩平行表面之間設(shè)有多個(gè)主梁加強(qiáng)肋板，所述側(cè)梁的兩平行側(cè)面之間設(shè)有多個(gè)側(cè)梁加強(qiáng)肋板，所述側(cè)梁的底部固接有可固定于工作臺(tái)面的底板。本實(shí)用新型的一種光刻機(jī)掩模臺(tái)橫梁采用主梁及分別對(duì)稱固接于所述橫梁兩端的側(cè)梁所組成的一種拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，所述主梁及側(cè)梁內(nèi)部均設(shè)有多個(gè)加強(qiáng)肋板，具備高模態(tài)、低質(zhì)量的結(jié)構(gòu)特征，制造工藝和裝配較簡(jiǎn)單、容易制造且成本較低。
文檔編號(hào)G03F7/20GK202677060SQ201220059069
公開(kāi)日2013年1月16日 申請(qǐng)日期2012年2月22日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月22日
發(fā)明者吳飛, 王茜, 周瑞良, 劉劍, 魏巍 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司