光調(diào)變器的制造方法
【專利摘要】一種光調(diào)變器，包括：一襯底，具有相對的第一表面和第二表面；一接地電極，位于所述第一表面；一平面光波導(dǎo)，位于所述第二表面用于與一光源對接以接收所述光源發(fā)出的光束；一光柵，形成于所述平面光波導(dǎo)上，所述光柵沿平行所述光束的入射方向設(shè)置并與所述平面光波導(dǎo)構(gòu)成一光波導(dǎo)透鏡；以及，一調(diào)變電極，位于所述光柵上用于與所述接地電極之間形成一調(diào)變電場以通過電光效應(yīng)改變所述平面光波導(dǎo)的折射率從而改變所述光波導(dǎo)透鏡的焦距。
【專利說明】光調(diào)變器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種光調(diào)變器。
【背景技術(shù)】
[0002]在集成光學(xué)里，光源與光路的耦合需要考慮的問題有:雖然集成光學(xué)普遍采用方向性較佳的激光作為光源，然而激光發(fā)出的光束仍具有一定的發(fā)散角，如果直接讓光源與光路對接，光束中的發(fā)散光線將無法進(jìn)入光路，光利用率低。因此，如何將光源耦合至光路以使發(fā)散的光束會聚入光路以提高光利用率是一個(gè)重要課題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]有鑒于此，有必要提供一種可提高光利用率之光調(diào)變器。
[0004]—種光調(diào)變器,包括:一襯底，具有相對的第一表面和第二表面；一接地電極，位于所述第一表面；一平面光波導(dǎo)，位于所述第二表面用于與一光源對接以接收所述光源發(fā)出的光束；一光柵，形成于所述平面光波導(dǎo)上，所述光柵沿平行所述光束的入射方向設(shè)置并與所述平面光波導(dǎo)構(gòu)成一光波導(dǎo)透鏡；以及，一調(diào)變電極，位于所述光柵上用于與所述接地電極之間形成一調(diào)變電場以通過電光效應(yīng)改變所述平面光波導(dǎo)的折射率從而改變所述光波導(dǎo)透鏡的焦距。
[0005]相較于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)施例的光調(diào)變器具有平面光波導(dǎo)和光柵構(gòu)成的光波導(dǎo)透鏡，調(diào)變電極和接地電極之間形成一個(gè)調(diào)變電場，該調(diào)變電場可以改變平面光波導(dǎo)的折射率，從而主動(dòng)地改變光波導(dǎo)透鏡的焦距，將光線匯聚進(jìn)入其它光學(xué)組件，從而提升光的耦合率并提高光利用率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0006]圖1是本發(fā)明實(shí)施例光調(diào)變器的立體示意圖。
[0007]圖2是本發(fā)明實(shí)施例光調(diào)變器的電場分布示意圖。
[0008]主要元件符號說明
【權(quán)利要求】
1.一種光調(diào)變器，包括: 襯底，具有相對的第一表面和第二表面； 接地電極，位于所述第一表面； 平面光波導(dǎo)，位于所述第二表面用于與一光源對接以接收所述光源發(fā)出的光束； 光柵，形成于所述平面光波導(dǎo)上，所述光柵沿平行所述光束的入射方向設(shè)置并與所述平面光波導(dǎo)構(gòu)成一光波導(dǎo)透鏡；以及， 調(diào)變電極，位于所述光柵上，用于與所述接地電極之間形成一調(diào)變電場以通過電光效應(yīng)改變所述平面光波導(dǎo)的折射率從而改變所述光波導(dǎo)透鏡的焦距。
2.如權(quán)利要求1所述的光調(diào)變器，其特征在于，所述調(diào)變電極與所述光柵之間進(jìn)步一設(shè)置有含娃薄膜。
3.如權(quán)利要求2所述的光調(diào)變器，其特征在于，所述含硅薄膜包括硅薄膜或二氧化硅薄膜。
4.如權(quán)利要求1所述的光調(diào)變器，其特征在于，所述襯底的材料鈮酸鋰晶體。
5.如權(quán)利要求1所述的光調(diào)變器，其特征在于，所述光柵的截面為長方形或正方形。
6.如權(quán)利要求1所述的光調(diào)變器，其特征在于，所述平面光波導(dǎo)通過于所述襯底上擴(kuò)散金屬鈦而形成。
7.如權(quán)利要求6所述的光調(diào)變器，其特征在于，所述光柵藉由蝕刻所述平面光波導(dǎo)而成。
8.如權(quán)利要求1所述的光調(diào)變器，其特征在于，所述調(diào)變電極的材料為鋁。
【文檔編號】G02B6/42GK103885131SQ201210553973
【公開日】2014年6月25日 申請日期:2012年12月19日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月19日
【發(fā)明者】黃新舜 申請人:鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司