專(zhuān)利名稱(chēng)：以二取代苯并噻唑作為緩蝕劑的褪菲林液組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在印制電路板(PCB)超精細(xì)線路的生產(chǎn)工藝過(guò)程中，用于快速高效地除去銅線路表面菲林的褪菲林液，該褪菲林液對(duì)銅面有良好的緩蝕作用，保證褪膜后線路的完整性。
背景技術(shù)：
隨著電子產(chǎn)品功能的多元化、輕薄微型化、便攜化和低成本的發(fā)展要求，對(duì)作為電子產(chǎn)品的核心一電路板的制造也提出了更高的要求，在線路制作方面，線路的設(shè)計(jì)越來(lái)越密集，制作越來(lái)越精細(xì)化，銅導(dǎo)線的線寬/間距(L/S)由100 μ m/100 μ m — 80 μ m/80 μ m—50 μ m/60 μ m — 40 μ m/50 μ m逐漸縮小，甚至出現(xiàn)了更細(xì)的超精細(xì)線路。精細(xì)線路的制作是靠光化學(xué)圖形轉(zhuǎn)移來(lái)實(shí)現(xiàn)的，該過(guò)程必須要使用附著力強(qiáng)、高解析度的干膜，而精細(xì)線路上的高解析度干膜的褪除需要使用性能更高的褪菲林液。 在褪菲林工藝中，業(yè)界一般使用無(wú)機(jī)堿如3 5%氫氧化鈉溶液或氫氧化鉀溶液。使用無(wú)機(jī)堿作為褪菲林液價(jià)格便宜，一直在線路板制造行業(yè)中廣泛使用。無(wú)機(jī)堿褪菲林液的缺點(diǎn)主要有對(duì)附著力強(qiáng)的干膜和幼細(xì)線路菲林褪除效果差，對(duì)高密度幼細(xì)間距中菲林無(wú)法褪除干凈而造成線路間短路；處理時(shí)間長(zhǎng)，生產(chǎn)效率低；NaOH易氧化和腐蝕銅面，使銅線變薄，在后續(xù)工序中容易造成線路變形，影響成品的品質(zhì)?；跓o(wú)機(jī)堿作為褪菲林液的上述缺點(diǎn)，業(yè)界逐漸開(kāi)發(fā)出以有機(jī)堿作為主要成分的褪菲林液，并逐步被PCB生產(chǎn)廠家接受并投入使用。專(zhuān)利號(hào)為ZL 01808573. 3提到用于大規(guī)模集成電路(LSI)和超大規(guī)模集成電路(VLSI)等半導(dǎo)體器件的制造工藝中的光刻膠剝離液組合物，包含一乙醇胺、單異丙醇胺等氨基醇化合物，N，N-二甲基甲酰胺、N-甲基吡咯烷酮等有機(jī)溶劑，兒茶酚、間苯二酚、D-木糖醇作為緩蝕劑，其余為水。專(zhuān)利號(hào)為ZL200410059458. O提到一種光致抗蝕劑剝離液組合物,在半導(dǎo)體元件和液晶顯示元件等的制造工序中，用于剝離在濕蝕刻和干蝕刻工序后殘留的光致抗蝕劑。其組合物含有一乙醇胺、二乙醇胺等有機(jī)胺化合物；乙二醇一丁醚、二甘醇一丁醚等乙二醇醚化合物；嘌呤、6-氨基嘌呤、6-甲氧基嘌呤等作緩蝕劑，還含有山梨糖醇、甘露醇、木糖醇等與上述嘌呤類(lèi)物質(zhì)作為混合緩蝕劑，其余成分為水。這些有機(jī)堿和有機(jī)溶劑的組合褪膜液能極大提升褪膜性能，但對(duì)細(xì)線路的保護(hù)能力不強(qiáng)，仍然會(huì)出現(xiàn)銅線被腐蝕的情況，后續(xù)工序的品質(zhì)仍然得不到保障。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種以二取代苯并噻唑作為緩蝕劑的褪菲林液組合物，在印制電路板(PCB)超精細(xì)線路的生產(chǎn)工藝過(guò)程中，用于快速高效地除去銅線路表面菲林的褪菲林液，并且不腐蝕銅面，保證銅線的厚度，使后續(xù)工序不會(huì)產(chǎn)生線路變形，保證成品的品質(zhì)。為了達(dá)到這些目的，本發(fā)明提供一種以二取代苯并噻唑作為緩蝕劑的褪菲林液組合物，所述該褪菲林液組合物包含如結(jié)構(gòu)式(I)的二取代苯并噻唑作為緩蝕劑的有機(jī)胺水溶液。本發(fā)明的技術(shù)解決方案是，本發(fā)明由6. O 10. O wt%的脂肪胺，O. 5 2. O wt%的醇醚類(lèi)有機(jī)溶劑，O. 05 O. 20被％的二取代苯并噻唑作為緩蝕劑，其余為水組成，其中二取代苯并噻唑?yàn)楝F(xiàn)有技術(shù)物質(zhì)，它的結(jié)構(gòu)式是
權(quán)利要求
1.以二取代苯并噻唑作為緩蝕劑的褪菲林液組合物，其特征是褪菲林液由6.O 10. Owt %的脂肪胺，O. 5 2. O wt %的醇醚類(lèi)有機(jī)溶劑，O. 05 O. 20wt%的二取代苯并噻唑作為緩蝕劑，其余為水組成，其中二取代苯并噻唑的結(jié)構(gòu)式是
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的以二取代苯并噻唑作為緩蝕劑的褪菲林液組合物，其特征是作為緩蝕劑的二取代苯并噻唑選自以下的一種或任意兩種化合物的組合2_氨基-4-甲氧基苯并噻唑，2-巰基-6-氨基苯并噻唑，2-氨基-6-乙氧基苯并噻唑，2-巰基-5-磺酸鈉苯并噻唑，2-氨基-5-磺酸鈉苯并噻唑，2-巰基-5-甲氧基苯并噻唑。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的以二取代苯并噻唑作為緩蝕劑的褪菲林液組合物，其特征是脂肪胺是7. (T9. 0wt%。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的以二取代苯并噻唑作為緩蝕劑的褪菲林液組合物，其特征是醇醚類(lèi)有機(jī)溶劑是I. (Tl. 5wt%。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的以二取代苯并噻唑作為緩蝕劑的褪菲林液組合物，其特征是二取代苯并噻唑類(lèi)緩蝕劑是O. 10^0. 15wt%o
全文摘要
本發(fā)明涉及一種以二取代苯并噻唑作為緩蝕劑的褪菲林液組合物，它是一種在印制電路板(PCB)超精細(xì)電路的生產(chǎn)制造工藝中，用于除去超細(xì)銅線路表面干膜的褪菲林液。它公開(kāi)了該褪菲林液組合物包括a)6.0～10.0wt％的脂肪胺，b)0.5～2.0wt％的醇醚類(lèi)有機(jī)溶劑，c)0.05～0.20wt％的緩蝕劑，d)其余為水。其中緩蝕劑選用二取代苯并噻唑，本發(fā)明可以快速除去銅線路表面的菲林，并且不腐蝕銅面，緩蝕效果好，充分保證線路板線路的完整性，提升線路板的品質(zhì)。
文檔編號(hào)G03F7/42GK102830596SQ20121036026
公開(kāi)日2012年12月19日 申請(qǐng)日期2012年9月25日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月25日
發(fā)明者葉紹明, 劉彬云, 李衛(wèi)明, 王植材 申請(qǐng)人:廣東東碩科技有限公司