一種曝光設(shè)備及其擋板控制方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)一種曝光設(shè)備及其擋板控制方法，該曝光設(shè)備包括：設(shè)置有發(fā)射器和接收器擋板、和擋板驅(qū)動(dòng)器，擋板和擋板驅(qū)動(dòng)器用于與具有多組感應(yīng)點(diǎn)的基板配合自動(dòng)確定擋板的位置。該控制方法包括：擋板和擋板驅(qū)動(dòng)器與具有多組感應(yīng)點(diǎn)的基板配合自動(dòng)確定擋板的位置；擋板設(shè)置有發(fā)射器和接收器，其中，發(fā)射器發(fā)射探測(cè)信號(hào)至基板上；接收器采集經(jīng)基板上感應(yīng)點(diǎn)反射的反射信號(hào)，并根據(jù)所述反射信號(hào)的光信號(hào)形成電信號(hào)；擋板驅(qū)動(dòng)器根據(jù)所述電信號(hào)確定擋板的位置。根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案，該曝光設(shè)備能夠自動(dòng)確定擋板的位置，提高測(cè)試精度，降低測(cè)試工藝復(fù)雜度。
【專利說(shuō)明】一種曝光設(shè)備及其擋板控制方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示器制備中的曝光技術(shù)，尤其涉及一種曝光設(shè)備及其擋板控制方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管(TFT-LCD,Thin Film Transistor-Liquid CrystalDisplay)的生產(chǎn)過(guò)程中，利用曝光機(jī)和各種類型的掩膜板，可在基板上形成各種不同的圖形，如信號(hào)線、柵極線、溝道、過(guò)孔等。擋板是曝光機(jī)中的一個(gè)核心部件。采用現(xiàn)有技術(shù)，目前的擋板位置，都需要利用人工先在顯微鏡下進(jìn)行測(cè)量而確定，然后再在曝光機(jī)上進(jìn)行手動(dòng)修正。采用現(xiàn)有人工方式確定擋板位置并不精確且工藝相對(duì)復(fù)雜。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]有鑒于此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種曝光設(shè)備及其擋板控制方法，能夠自動(dòng)確定擋板位置。
[0004]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0005]一種曝光設(shè)備，該曝光設(shè)備包括擋板和擋板驅(qū)動(dòng)器，所述擋板和擋板驅(qū)動(dòng)器用于與具有多組感應(yīng)點(diǎn)的基板配合自動(dòng)確定擋板的位置，所述多組感應(yīng)點(diǎn)分別位于曝光區(qū)一側(cè)；其中，所述擋板設(shè)置有發(fā)射器和接收器，
[0006]所述發(fā)射器，用于發(fā)射探測(cè)信號(hào)至基板上；
[0007]所述接收器，用于采集經(jīng)基板上感應(yīng)點(diǎn)反射的反射信號(hào)，并根據(jù)所述反射信號(hào)的光信號(hào)形成電信號(hào)；
[0008]所述擋板驅(qū)動(dòng)器，用于根據(jù)所述電信號(hào)確定擋板的位置。
[0009]其中，所述接收器包括光纖探針，用于采集經(jīng)基板上感應(yīng)點(diǎn)反射的反射信號(hào)。
[0010]其中，所述發(fā)射器和所述接收器位于所述擋板的異側(cè)，且所述發(fā)射器位于所述擋板面向所述基板一側(cè)，所述接收器位于所述擋板向所述掩膜板一側(cè)。
[0011]其中，所述擋板驅(qū)動(dòng)器，進(jìn)一步用于根據(jù)所述電信號(hào)的有或無(wú)，確定擋板的位置。
[0012]其中，所述擋板驅(qū)動(dòng)器，進(jìn)一步用于根據(jù)所述電信號(hào)的峰值大小變化，確定擋板的位置。
[0013]一種曝光設(shè)備的擋板控制方法，該方法包括:擋板和擋板驅(qū)動(dòng)器與具有多組感應(yīng)點(diǎn)的基板配合自動(dòng)確定擋板的位置；擋板設(shè)置有發(fā)射器和接收器，其中，
[0014]發(fā)射器發(fā)射探測(cè)信號(hào)至基板上；
[0015]接收器采集經(jīng)基板上感應(yīng)點(diǎn)反射的反射信號(hào)，并根據(jù)所述反射信號(hào)的光信號(hào)形成電信號(hào)；
[0016]擋板驅(qū)動(dòng)器根據(jù)所述電信號(hào)確定擋板的位置。
[0017]其中，所述擋板驅(qū)動(dòng)器根據(jù)所述電信號(hào)確定擋板的位置具體包括:
[0018]根據(jù)所述電信號(hào)的有或無(wú)，確定擋板的位置。[0019]其中，所述擋板驅(qū)動(dòng)器根據(jù)所述電信號(hào)確定擋板的位置具體包括:
[0020]根據(jù)所述電信號(hào)的峰值大小變化，確定擋板的位置。
[0021]本發(fā)明提供的曝光設(shè)備及其擋板控制方法，擋板和擋板驅(qū)動(dòng)器用于與具有多組感應(yīng)點(diǎn)的基板配合自動(dòng)確定擋板的位置，多組感應(yīng)點(diǎn)分別位于曝光區(qū)一側(cè)。其中，擋板設(shè)置有發(fā)射器和接收器，發(fā)射器發(fā)射探測(cè)信號(hào)至基板上；接收器用于采集經(jīng)基板上感應(yīng)點(diǎn)反射的反射信號(hào)，并根據(jù)反射信號(hào)的光信號(hào)形成電信號(hào)；擋板驅(qū)動(dòng)器根據(jù)電信號(hào)確定擋板的位置。采用本發(fā)明，由于能控制擋板的移動(dòng)或停止，從而自動(dòng)確定擋板位置，與現(xiàn)有技術(shù)人工確定擋板位置的方式相比，不僅測(cè)試精確且大大降低了測(cè)試工藝的復(fù)雜度，節(jié)省人力消耗。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0022]圖1是本發(fā)明設(shè)置有發(fā)射器和接收器的擋板與基板、擋板驅(qū)動(dòng)器及掩膜板的位置關(guān)系不例圖；
[0023]圖2是本發(fā)明中基板的薄膜經(jīng)過(guò)第一次曝光處理后的圖形示意圖；
[0024]圖3至圖6是本發(fā)明中基板的薄膜經(jīng)過(guò)若干次曝光處理后的圖形示意圖。
[0025]附圖標(biāo)記說(shuō)明:
[0026]101:發(fā)射器102:接收器
[0027]103:擋板驅(qū)動(dòng)器 104:擋板
[0028]105:基板106:掩膜板 107:待曝光產(chǎn)品
【具體實(shí)施方式】
[0029]下面通過(guò)附圖及具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明再做進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
[0030]如圖1所示，該曝光設(shè)備包括:設(shè)置有發(fā)射器101和接收器102的擋板104，擋板驅(qū)動(dòng)器103 ;其中，擋板104和擋板驅(qū)動(dòng)器103配合使用，用于與具有多組感應(yīng)點(diǎn)的基板105配合自動(dòng)確定擋板的位置，所述多組感應(yīng)點(diǎn)分別位于曝光區(qū)一側(cè)。
[0031]發(fā)射器101，用于發(fā)射探測(cè)信號(hào)至基板105的被曝光產(chǎn)品107上；
[0032]接收器102，用于采集經(jīng)基板105上感應(yīng)點(diǎn)反射的反射信號(hào)，并根據(jù)所述反射信號(hào)的光信號(hào)形成電信號(hào)；
[0033]擋板驅(qū)動(dòng)器103，用于根據(jù)所述電信號(hào)確定擋板的位置。
[0034]這里，接收器102包括光纖探針，用于采集經(jīng)基板上感應(yīng)點(diǎn)反射的反射信號(hào)。
[0035]這里，發(fā)射器101和接收器102位于擋板104的異側(cè)，且發(fā)射器101位于擋板104面向基板105 —側(cè),接收器102位于擋板104向掩膜板106 —側(cè)。
[0036]這里，擋板驅(qū)動(dòng)器103，進(jìn)一步用于根據(jù)電信號(hào)的有或無(wú)，確定擋板的位置。
[0037]這里，擋板驅(qū)動(dòng)器103，進(jìn)一步用于根據(jù)電信號(hào)的峰值大小變化，確定擋板的位置。
[0038]一種曝光設(shè)備的擋板控制方法，該方法包括:擋板和擋板驅(qū)動(dòng)器與具有多組感應(yīng)點(diǎn)的基板配合自動(dòng)確定擋板的位置；擋板設(shè)置有發(fā)射器和接收器，其中，
[0039]發(fā)射器發(fā)射探測(cè)信號(hào)至基板上；
[0040]接收器采集經(jīng)基板上感應(yīng)點(diǎn)反射的反射信號(hào)，并根據(jù)所述反射信號(hào)的光信號(hào)形成電信號(hào)；
[0041]擋板驅(qū)動(dòng)器根據(jù)所述電信號(hào)確定擋板的位置。[0042]這里，擋板驅(qū)動(dòng)器根據(jù)所述電信號(hào)確定擋板的位置具體包括:根據(jù)所述電信號(hào)的有或無(wú)，確定擋板的位置。
[0043]這里，擋板驅(qū)動(dòng)器根據(jù)所述電信號(hào)確定擋板的位置具體包括:根據(jù)所述電信號(hào)的峰值大小變化，確定擋板的位置。
[0044]以下，以探測(cè)信號(hào)為紫外光的情況具體闡述。
[0045]本發(fā)明中，發(fā)射器101中的汞燈發(fā)射紫外光，該紫外光入射到基板105的薄膜上時(shí)，紫外光經(jīng)過(guò)基板105的反射后，反射光可以被接收器102中伸出的光纖探針?biāo)杉?，光纖探針采集經(jīng)基板105上感應(yīng)點(diǎn)反射的反射光后，并根據(jù)反射光的光信號(hào)形成電信號(hào)，擋板驅(qū)動(dòng)器103根據(jù)所述電信號(hào)確定擋板的位置。
[0046]如圖2所示，擋板104位于掩膜板106的四周(位于掩膜板106的上下左右四個(gè)位置)，也就是說(shuō)，在曝光時(shí)，一個(gè)掩膜板對(duì)應(yīng)4個(gè)擋板。
[0047]利用上述曝光設(shè)備和掩膜板及基板的配合，可以在基板的薄膜上形成圖形，并在形成圖形的同時(shí)，自動(dòng)確定擋板的位置，具體的:
[0048]1、在基板的薄膜上制作被曝光產(chǎn)品上的第一層金屬圖形(被曝光產(chǎn)品的基本圖形)時(shí)，由于第一層金屬圖形全是金屬，沒(méi)有形成任何圖形，因此不能根據(jù)反射光確定曝光區(qū)域，只能人工在顯微鏡下進(jìn)行測(cè)量和調(diào)節(jié)以確定曝光區(qū)域，經(jīng)過(guò)第一次曝光處理后，基板的薄膜上形成如圖3所示的圖形。
[0049]2、在制作被曝光產(chǎn)品上的其它層圖形時(shí)，由于基板的薄膜上已經(jīng)形成有圖3所示的圖形，因此曝光設(shè)備能夠根據(jù)反射光自動(dòng)確定擋板的位置；具體的:
[0050]方案一:如圖2所不，四個(gè)擋板104會(huì)按箭頭方向由掩膜板106四周向掩膜板106移動(dòng)，同時(shí)曝光設(shè)備中的發(fā)射器101向基板105發(fā)射紫外光；當(dāng)擋板104向掩膜板106移動(dòng)到第一個(gè)感應(yīng)點(diǎn)時(shí)，根據(jù)收到的反射光的光信號(hào)得到電信號(hào)；擋板驅(qū)動(dòng)器103根據(jù)該電信號(hào)可以確定此時(shí)出現(xiàn)第一個(gè)電流極大值，因此可以確定擋板104是位于第一個(gè)感應(yīng)點(diǎn)的位置，擋板驅(qū)動(dòng)器103向擋板104發(fā)送反饋信號(hào)，擋板104收到反饋信號(hào)后停止移動(dòng)；利用曝光設(shè)備在基板105的薄膜上形成如圖4所示的圖形，圖4中黑色粗實(shí)線方框的四個(gè)邊分別代表四個(gè)擋板104，從而實(shí)現(xiàn)根據(jù)電信號(hào)自動(dòng)確定擋板位置。
[0051]在制備下一個(gè)圖形時(shí)，移動(dòng)基板105，如圖5所示，執(zhí)行上一段描述的處理過(guò)程，如此反復(fù)；這里，陰影部分的感應(yīng)點(diǎn)可以被重復(fù)曝光。
[0052]這種方式適用于形成與圖2中相同的圖形，圖形包括陰影部分和并列的感應(yīng)點(diǎn)，如果在制備其它層的圖形時(shí)，想要得到不同于圖2中的圖形，例如僅想得到陰影部分的圖形，不想得到并列的感應(yīng)點(diǎn)圖形，則需要采用方案二。
[0053]方案二:如圖2所示，擋板向掩膜板移動(dòng)，同時(shí)曝光設(shè)備中的發(fā)射器101向基板105發(fā)射紫外光；擋板104向掩膜板106移動(dòng)到第一個(gè)感應(yīng)點(diǎn)時(shí),根據(jù)收到的反射光的光信號(hào)得到電信號(hào)；處理器103根據(jù)該電信號(hào)可以確定當(dāng)前位置對(duì)應(yīng)第一個(gè)電流極大值，然后擋板104繼續(xù)向掩膜板106移動(dòng)，移動(dòng)到第一個(gè)感應(yīng)點(diǎn)和第二個(gè)感應(yīng)點(diǎn)中間某個(gè)位置時(shí)，根據(jù)收到的反射光的光信號(hào)得到電信號(hào)，擋板驅(qū)動(dòng)器103根據(jù)該電信號(hào)可以確定當(dāng)前位置對(duì)應(yīng)第一個(gè)電流極小值；擋板104繼續(xù)向掩膜板106移動(dòng)，直到移動(dòng)到第三個(gè)感應(yīng)點(diǎn)時(shí)，根據(jù)收到的反射光的光信號(hào)得到電信號(hào)，擋板驅(qū)動(dòng)器103根據(jù)該電信號(hào)可以確定當(dāng)前位置對(duì)應(yīng)第三個(gè)電流極大值，然后向擋板104發(fā)送反饋信號(hào)，擋板104收到反饋信號(hào)后停止移動(dòng)。如圖6所示，利用曝光設(shè)備和掩膜板在基板的薄膜上形成圖形，并實(shí)現(xiàn)自動(dòng)確定擋板位置。在制備下一個(gè)圖形時(shí)，移動(dòng)基板105，再執(zhí)行上述過(guò)程，如此反復(fù)；上述過(guò)程中，擋板104在第X個(gè)電流極大值時(shí)停止移動(dòng)。
[0054]綜上所述，通過(guò)以上方案，在制備曝光所需要的圖形時(shí)，設(shè)置有發(fā)射器和接收器的擋板，和擋板驅(qū)動(dòng)器與具有多組感應(yīng)點(diǎn)的基板和掩膜板配合，能自動(dòng)確定擋板的位置，是一種靈活的、自動(dòng)的測(cè)試工藝，與現(xiàn)有技術(shù)相比，降低了工藝復(fù)雜度，且提高了測(cè)試精度。
[0055]以上所述，僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非用于限定本發(fā)明的保護(hù)范圍，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種曝光設(shè)備，該曝光設(shè)備包括擋板和擋板驅(qū)動(dòng)器，其特征在于，所述擋板和擋板驅(qū)動(dòng)器用于與具有多組感應(yīng)點(diǎn)的基板配合自動(dòng)確定擋板的位置，所述多組感應(yīng)點(diǎn)分別位于曝光區(qū)一側(cè)；其中，所述擋板設(shè)置有發(fā)射器和接收器， 所述發(fā)射器，用于發(fā)射探測(cè)信號(hào)至基板上； 所述接收器，用于采集經(jīng)基板上感應(yīng)點(diǎn)反射的反射信號(hào)，并根據(jù)所述反射信號(hào)的光信號(hào)形成電信號(hào)； 所述擋板驅(qū)動(dòng)器，用于根據(jù)所述電信號(hào)確定擋板的位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曝光設(shè)備，其特征在于，所述接收器包括光纖探針，用于采集經(jīng)基板上感應(yīng)點(diǎn)反射的反射信號(hào)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曝光設(shè)備，其特征在于，所述發(fā)射器和所述接收器位于所述擋板的異側(cè)，且所述發(fā)射器位于所述擋板面向所述基板一側(cè)，所述接收器位于所述擋板向所述掩膜板一側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的曝光設(shè)備，其特征在于，所述擋板驅(qū)動(dòng)器，進(jìn)一步用于根據(jù)所述電信號(hào)的有或無(wú)，確定擋板的位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的曝光設(shè)備，其特征在于，所述擋板驅(qū)動(dòng)器，進(jìn)一步用于根據(jù)所述電信號(hào)的峰值大小變化，確定擋板的位置。
6.—種曝光設(shè)備的擋板控制方法,其特征在于,該方法包括:擋板和擋板驅(qū)動(dòng)器與具有多組感應(yīng)點(diǎn)的基板配合自動(dòng)確定擋板的位置；擋板設(shè)置有發(fā)射器和接收器，其中， 發(fā)射器發(fā)射探測(cè)信號(hào)至基板上； 接收器采集經(jīng)基板上感應(yīng)點(diǎn)反射的反射信號(hào)，并根據(jù)所述反射信號(hào)的光信號(hào)形成電信號(hào); 擋板驅(qū)動(dòng)器根據(jù)所述電信號(hào)確定擋板的位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述擋板驅(qū)動(dòng)器根據(jù)所述電信號(hào)確定擋板的位置具體包括: 根據(jù)所述電信號(hào)的有或無(wú)，確定擋板的位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述擋板驅(qū)動(dòng)器根據(jù)所述電信號(hào)確定擋板的位置具體包括: 根據(jù)所述電信號(hào)的峰值大小變化，確定擋板的位置。
【文檔編號(hào)】G03F7/20GK103576468SQ201210285757
【公開(kāi)日】2014年2月12日 申請(qǐng)日期:2012年8月10日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月10日
【發(fā)明者】王德帥, 郭建 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司