專利名稱：光掩模及曝光裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在掩?；迳闲纬捎醒谀D案的光掩模，尤其涉及要防止與目標(biāo)不同的圖案被曝光的情形的光掩模及曝光裝置。
背景技術(shù)：
以往的這種光掩模，在同一掩?；迳吓帕性O(shè)置有掩模圖案不同的多種圖案區(qū)域，在基板上曝光不同種類的圖案時(shí)，通過快門的開閉動(dòng)作而從多種圖案區(qū)域中選擇被曝光的圖案的圖案區(qū)域來進(jìn)行曝光(例如參照日本特開2008-310217號(hào)公報(bào))。但是，這種以往的光掩模通過受曝光裝置中具備的控制單元的程序所控制的快門的開閉動(dòng)作，從上述多種圖案區(qū)域中選擇被曝光的圖案的圖案區(qū)域，并未具備確認(rèn)圖案區(qū) 域是否被正確選擇的單元。因此，在因人為錯(cuò)誤而錯(cuò)誤地輸入并設(shè)定了上述多種圖案區(qū)域的選擇信息、或者設(shè)置了與要曝光的光掩模不同的光掩模的情況下，可能無法檢測(cè)出上述錯(cuò)誤，導(dǎo)致會(huì)曝光與正規(guī)圖案不同的圖案。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明是針對(duì)上述問題點(diǎn)而提出的，其目的在于提供一種要防止與目標(biāo)不同的圖案被曝光的情形的光掩模及曝光裝置。為了達(dá)成上述目的，第I發(fā)明涉及一種光掩模，具有在掩模基板上將多個(gè)掩模圖案至少排成一列而形成的圖案區(qū)域，所述光掩模具備在與所述多個(gè)掩模圖案的排列方向交叉的方向上，在與所述圖案區(qū)域的中心軸偏離一定距離的位置處，按照縱長中心軸與所述中心軸平行的方式設(shè)置的細(xì)長狀的開口部；和在所述開口部?jī)?nèi)為了將所述掩模圖案與其他掩?；迳闲纬傻牟煌N類的掩模圖案辨別開而設(shè)置的、與所述縱長中心軸交叉的至少一條細(xì)線狀的辨別用標(biāo)記，將所述辨別用標(biāo)記設(shè)置在所述開口部的縱長中心軸上的與所述不同種類的掩模圖案的辨別用標(biāo)記不同的位置。通過采樣這種構(gòu)成，根據(jù)在與形成了掩模圖案的圖案區(qū)域的中心軸偏離一定距離的位置處設(shè)置的細(xì)長狀的開口部?jī)?nèi)、與其縱長中心軸交叉的方式設(shè)置的至少一條細(xì)線狀的辨別用標(biāo)記的位置，與形成于其他掩?；宓牟煌N類的掩模圖案辨別開。另外,第2發(fā)明涉及一種光掩模,在同一掩模基板上將掩模圖案不同的多種圖案區(qū)域按照其中心軸相互平行的方式排列設(shè)置，所述光掩模具備在與各所述圖案區(qū)域的所述中心軸交叉的方向上，在與各中心軸偏離一定距離的位置處，分別按照縱長中心軸與所述中心軸平行的方式設(shè)置的細(xì)長狀的多個(gè)開口部；和在各所述開口部?jī)?nèi)分別為了辨別所述掩模圖案而設(shè)置的、與所述縱長中心軸交叉的至少一條細(xì)線狀的辨別用標(biāo)記，將各所述開口部?jī)?nèi)的辨別用標(biāo)記分別設(shè)置在各所述開口部的縱長中心軸上的不同位置。通過采樣這種構(gòu)成，根據(jù)與在同一掩模基板上排列設(shè)置且掩模圖案不同的多種圖案區(qū)域的中心軸偏離一定距離的位置處分別以縱長中心軸平行于所述中心軸的方式設(shè)置的細(xì)長狀的多個(gè)開口部?jī)?nèi)的、與上述縱長中心軸交叉的至少一條細(xì)線狀的辨別用標(biāo)記的位置，辨別各圖案區(qū)域的掩模圖案。優(yōu)選各所述開口部?jī)?nèi)的辨別用標(biāo)記，按照沿著各所述圖案區(qū)域的中心軸排列的各所述掩模圖案的排列間距的整數(shù)倍的間距而分別形成有多條。進(jìn)而優(yōu)選各所述開口部?jī)?nèi)的辨別用標(biāo)記在所述縱長中心軸方向上的寬度各不相同。另外，第3發(fā)明涉及一種曝光裝置，具備掩模臺(tái)，其與被曝光體對(duì)置設(shè)置，對(duì)光掩模進(jìn)行保持，能夠沿著多種圖案區(qū)域的排列方向移動(dòng)，所述光掩模在同一掩模基板上將掩模圖案不同的所述多種圖案區(qū)域按照其中心軸相互平行的方式排列設(shè)置，在與各所述圖案區(qū)域的所述中心軸交叉的方向上，在與各中心軸偏離一定距離的位置處分別形成縱長中心軸平行于所述中心軸的細(xì)長狀的多個(gè)開口部，在該各開口部?jī)?nèi)分別將用于辨別所述掩模圖案的與所述縱長中心軸交叉的至少一條細(xì)線狀的辨別用標(biāo)記設(shè)置在所述縱長中心軸上的 不同位置；曝光光學(xué)系統(tǒng)，其向所述光掩模的多種圖案區(qū)域之中被選擇出的一個(gè)圖案區(qū)域照射光源光，將該被選擇出的圖案區(qū)域的掩模圖案轉(zhuǎn)印到所述被曝光體上；檢測(cè)單元，其使細(xì)長狀的受光部的縱長中心軸與所述被選擇出的一個(gè)圖案區(qū)域所對(duì)應(yīng)的所述開口部的縱長中心軸一致地進(jìn)行配置，用于檢測(cè)所述辨別用標(biāo)記的位置；和控制單元，其控制所述掩模臺(tái)的移動(dòng)，使得從所述多種圖案區(qū)域中選擇一個(gè)圖案區(qū)域，所述控制單元比較從預(yù)先設(shè)定并保存的曝光信息中讀取的掩模圖案信息、和對(duì)應(yīng)于各所述辨別用標(biāo)記的位置而預(yù)先保存的掩模圖案信息之中由所述檢測(cè)單元檢測(cè)出的所述辨別用標(biāo)記的位置所對(duì)應(yīng)的掩模圖案信息，來判定所述被選擇出的圖案區(qū)域的正確與否。通過采用這種構(gòu)成，利用與被曝光體對(duì)置設(shè)置的掩模臺(tái)對(duì)光掩模進(jìn)行保持，所述光掩模在同一掩模基板上將掩模圖案不同的多種圖案區(qū)域按照其中心軸相互平行的方式排列設(shè)置，在與各圖案區(qū)域的中心軸交叉的方向上，在與各中心軸偏離一定距離的位置處分別形成縱長中心軸平行于上述中心軸的細(xì)長狀的多個(gè)開口部，在該各開口部?jī)?nèi)分別將用于辨別上述掩模圖案的與上述縱長中心軸交叉的至少一條細(xì)線狀的辨別用標(biāo)記設(shè)置于上述縱長中心軸上的不同位置，由控制單元控制上述掩模臺(tái)的移動(dòng)，使光掩模沿著上述多種圖案區(qū)域的排列方向移動(dòng)，從該多種圖案區(qū)域中選擇一個(gè)圖案區(qū)域，利用曝光光學(xué)系統(tǒng)向該被選擇出的圖案區(qū)域照射光源光來將該圖案區(qū)域的掩模圖案轉(zhuǎn)印到被曝光體上。此時(shí)，利用使細(xì)長狀的受光部的縱長中心軸與被選擇出的一個(gè)圖案區(qū)域所對(duì)應(yīng)的開口部的縱長中心軸一致地進(jìn)行配置的檢測(cè)單元，檢測(cè)上述辨別用標(biāo)記在上述縱長中心軸上的位置，利用控制單元比較從預(yù)先設(shè)定并保存的曝光信息中讀取的掩模圖案信息、和對(duì)應(yīng)于各上述辨別用標(biāo)記的位置而預(yù)先保存的掩模圖案信息之中由上述檢測(cè)單元檢測(cè)出的上述辨別用標(biāo)記的位置所對(duì)應(yīng)的掩模圖案信息，來判定被選擇出的上述圖案區(qū)域的正確與否。


圖I是表示本發(fā)明的曝光裝置的實(shí)施方式的概略構(gòu)成的主視圖。圖2是放大表示本發(fā)明的曝光裝置的主要部分的俯視圖。圖3是表不本發(fā)明的光掩模的一構(gòu)成例的俯視圖。圖4是表不設(shè)于上述光掩模的開口部?jī)?nèi)的辨別用標(biāo)記的一構(gòu)成例的俯視圖。圖5是表不上述辨別用標(biāo)記的另一構(gòu)成例的俯視圖。
圖6是表示本發(fā)明的曝光裝置中使用的控制單元的構(gòu)成的框圖。圖7是說明本發(fā)明的曝光裝置的動(dòng)作的流程圖。圖8是說明本發(fā)明的曝光裝置的另一動(dòng)作的流程圖。
具體實(shí)施例方式以下，基于附圖來詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式。圖I是表示本發(fā)明的曝光裝置的實(shí)施方式的概略構(gòu)成的主視圖。該曝光裝置是使用在同一掩模基板上排列設(shè)置了掩模圖案不同的多種圖案區(qū)域的光掩模，將從上述多種圖案區(qū)域中選擇出的圖案區(qū)域的掩模圖案轉(zhuǎn)印到被曝光體上來進(jìn)行曝光的曝光裝置，該曝光裝置構(gòu)成為具備輸送單元I、掩模臺(tái)2、曝光光學(xué)單元3、檢測(cè)單元4、照明單元5以及控制單元6(參照?qǐng)D6)。此外，在以下的說明中，描述被曝光體例如為液晶顯示用基板7的情況。
上述輸送單元I是利用省略圖示的輸送機(jī)構(gòu)來保持涂敷了感光材料的液晶顯示用基板7的兩端緣部，并沿著圖I所示的箭頭A方向進(jìn)行輸送的輸送單元，例如在液晶顯示用基板7的輸送方向(以下稱為“X方向”)上以一定間隔排列的多個(gè)臺(tái)8的上表面具備多個(gè)噴氣口和進(jìn)氣口，使從該噴氣口噴出的空氣的壓力和從進(jìn)氣口吸入的空氣的壓力平衡，并以使液晶顯示用基板7在臺(tái)8上浮起一定量的狀態(tài)進(jìn)行輸送。另外，具備對(duì)液晶顯示用基板7的移動(dòng)距離進(jìn)行測(cè)量的省略圖示的位置傳感器、以及對(duì)液晶顯示用基板7的輸送速度進(jìn)行檢測(cè)的省略圖示的速度傳感器。與上述輸送單元I的上表面對(duì)置地設(shè)置掩模臺(tái)2。該掩模臺(tái)2是吸附并保持光掩模9的緣部，并利用省略圖示的臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)沿著X方向進(jìn)行步進(jìn)移動(dòng)的掩模臺(tái)，采用使第I掩模臺(tái)2A和第2掩模臺(tái)2B在X方向上相距一定距離的方式配備的構(gòu)成，其中，第I掩模臺(tái)2A和第2掩模臺(tái)2B如圖2所示，在與臺(tái)8的上表面平行的面內(nèi)，在與X方向大致正交的方向(以下稱為“Y方向”)上保持多個(gè)光掩模9。并且，上述第I及第2掩模臺(tái)2A、2B設(shè)置成所保持的多個(gè)光掩模9在Y方向上以一定的排列間距交替地排列。而且,第I及第2掩模臺(tái)2A、2B還具備省略圖示的掩模校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，用于使所保持的各光掩模9個(gè)別地沿著X、Y方向微動(dòng)且在XY面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，以使各光掩模9置于預(yù)先確定的規(guī)定位置處。在此，上述光掩模9是如圖3所示那樣在同一掩模基板10上使掩模圖案不同的多種(例如4種)圖案區(qū)域11以其縱長中心軸相互平行的方式排列設(shè)置而成的光掩模，在與各圖案區(qū)域11的縱長中心軸交叉的方向上，在與各縱長中心軸偏離一定距離的位置處，分別形成縱長中心軸與圖案區(qū)域的縱長中心軸平行的細(xì)長狀的多個(gè)開口部12，在該各開口部12內(nèi)，在該縱長中心軸上的不同位置分別設(shè)置用于辨別掩模圖案的、與開口部12的縱長中心軸交叉的至少一條細(xì)線狀的辨別用標(biāo)記13，從而成為本發(fā)明的光掩模。并且，按照上述多種圖案區(qū)域11的排列方向與X方向一致的方式被保持于上述掩模臺(tái)2。另外，將各圖案區(qū)域11設(shè)在其間，在各圖案區(qū)域11的縱長中心軸上，在距離光掩模9的與X方向平行的中心軸等距離的位置處設(shè)有一對(duì)掩模用校準(zhǔn)標(biāo)記14，用于使光掩模9相對(duì)于在后述的曝光光學(xué)單元3上預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)位置成為一定的位置關(guān)系的方式進(jìn)行定位。此外，與置于曝光光學(xué)單元3的照射區(qū)域IA內(nèi)的圖案區(qū)域11的掩模用校準(zhǔn)標(biāo)記14對(duì)置地，在輸送單元I的相鄰的臺(tái)8的間隙設(shè)有用于拍攝上述掩模用校準(zhǔn)標(biāo)記14的省略圖示的I對(duì)二維照相機(jī)。上述各開口部12內(nèi)的辨別用標(biāo)記13的一構(gòu)成例如圖4所示那樣，以與沿著各圖案區(qū)域11的縱長中心軸排列的各掩模圖案的排列間距P1、P2相等的間距，分別使例如3條辨別用標(biāo)記13形成在縱長中心軸上的不同的位置處?；蛘?，也可如圖5所示那樣，以各掩模圖案的排列間距P1、P2的2倍的間距，使多條辨別用標(biāo)記13分別在縱長中心軸方向上偏離一定尺寸而設(shè)置于整個(gè)開口部12內(nèi)。另外，上述各開口部12內(nèi)的辨別用標(biāo)記13在縱長中心軸方向的寬度可以分別不同。此外，各開口部12內(nèi)的辨別用標(biāo)記13的位置信息包括各圖案區(qū)域Ila Ild的掩模圖案的圖案信息，例如40英寸面板的濾色器用掩模圖案(圖案區(qū)域Ila)、40英寸面板的TFT用掩模圖案(圖案區(qū)域Ilb)、50英寸面板的濾色器用掩模圖案(圖案區(qū)域lie)、或50英寸面板的TFT用掩模圖案(圖案區(qū)域Ild)等的掩模圖案信息。這種情況下，預(yù)先設(shè)定并保存于后述的存儲(chǔ)器24中的上述辨別用標(biāo)記13的位置信息例如如圖4所示那樣，是從多條辨別用標(biāo)記13的左側(cè)起第2個(gè)辨別用標(biāo)記13與光掩模9的平行于X方向的中心軸Mc之間的距離Ya、Yb、Yc、Yd,是設(shè)計(jì)值。在上述掩模臺(tái)2的上方設(shè)有曝光光學(xué)單兀3。該曝光光學(xué)單兀3用于向從保持在掩模臺(tái)2上的各光掩模9的多種圖案區(qū)域11中選出的I個(gè)圖案區(qū)域11照射光源光，將該·選出的圖案區(qū)域11的掩模圖案轉(zhuǎn)印到液晶顯示用基板7上，該曝光光學(xué)單元構(gòu)成為包括放射含有紫外線的光源光的光源15、將光源光引導(dǎo)至上述光掩模9且使光源光的亮度分布均勻化并成為平行光之后向上述光掩模9照射的耦合光學(xué)系統(tǒng)16、以及對(duì)光源光的光路進(jìn)行打開關(guān)閉的快門17,并且由對(duì)應(yīng)于各光掩模9設(shè)置的多個(gè)單位曝光光學(xué)單兀構(gòu)成。在上述掩模臺(tái)2的上方，按照使細(xì)長狀的受光部的縱長中心軸與上述選出的一個(gè)圖案區(qū)域11所對(duì)應(yīng)的開口部12的縱長中心軸一致的方式，配設(shè)檢測(cè)單元4。該檢測(cè)單元4是具有在Y方向上排成一條直線的多個(gè)受光元件的線陣照相機(jī)，拍攝透過上述開口部12并通過光掩模9的下側(cè)的液晶顯示用基板7的像素，并且拍攝設(shè)于開口部12內(nèi)的多個(gè)辨別用標(biāo)記13。與上述檢測(cè)單元4的攝影區(qū)域?qū)χ玫?，在輸送單元I的相鄰的臺(tái)8的間隙設(shè)有照明單元5。該照明單元5用于從液晶顯示用基板7的下側(cè)透過基板來對(duì)檢測(cè)單元4的攝影區(qū)域進(jìn)行照明，是照射可見光的例如鹵素?zé)舻?。并且，在燈的光射出?cè)設(shè)置紫外線濾色片，防止由于照明光中含有的紫外線使得液晶顯示用基板7的感光材料被曝光的情形。與上述輸送單元I、掩模臺(tái)2、光源15、快門17以及檢測(cè)單元4電連接地設(shè)有控制單元6。該控制單元6控制掩模臺(tái)2的移動(dòng)而從多種圖案區(qū)域11中選擇一個(gè)圖案區(qū)域11，并通過比較從預(yù)先設(shè)定并保存的曝光信息中讀出的掩模圖案信息(例如圖案序號(hào))、和對(duì)應(yīng)于上述各辨別用標(biāo)記13的位置而預(yù)先保存的掩模圖案信息(例如圖案序號(hào))之中由上述檢測(cè)單元4檢測(cè)出的辨別用標(biāo)記13的位置所對(duì)應(yīng)的掩模圖案信息，來判定所選擇的圖案區(qū)域11正確與否。并且，如圖6所示，構(gòu)成為具備輸送單元驅(qū)動(dòng)控制器18、掩模臺(tái)驅(qū)動(dòng)控制器19、光源驅(qū)動(dòng)控制器20、快門驅(qū)動(dòng)控制器21、圖像處理部22、運(yùn)算部23、存儲(chǔ)器24、數(shù)據(jù)輸入部25以及控制部26。在此，輸送單元驅(qū)動(dòng)控制器18控制輸送單元I的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使液晶顯示用基板7沿著箭頭A方向以預(yù)先確定的速度進(jìn)行移動(dòng)。另外，掩模臺(tái)驅(qū)動(dòng)控制器19控制臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)，使光掩模9沿著X方向移動(dòng)規(guī)定量，從而使從光掩模9的多種圖案區(qū)域11中選擇出的一個(gè)圖案區(qū)域11位于曝光光學(xué)單元3的照射區(qū)域IA(參照?qǐng)D2)內(nèi)，并且控制設(shè)于掩模臺(tái)2的省略圖示的校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)，使光掩模9沿著X、Y方向以及旋轉(zhuǎn)(Θ )方向進(jìn)行微動(dòng)，從而按照使光掩模9相對(duì)于曝光光學(xué)單元3的基準(zhǔn)位置Hs成為一定的位置關(guān)系的方式進(jìn)行對(duì)位。而且，光源驅(qū)動(dòng)控制器20控制光源15的點(diǎn)亮及熄滅。另外，快門驅(qū)動(dòng)控制器21控制快門17的開閉。并且，圖像處理部22輸入由各檢測(cè)單元4取得的3條辨別用標(biāo)記13的圖像來進(jìn)行圖像處理，并根據(jù)Y方向的亮度變化來檢測(cè)各辨別用標(biāo)記13的Y方向的位置。另外，運(yùn)算部23基于由圖像處理部22檢測(cè)出的3條辨別用標(biāo)記13的位置，運(yùn)算辨別用標(biāo)記13的排列間距、以及例如從左側(cè)起第2個(gè)辨別用標(biāo)記13與檢測(cè)單元4的中心位置Ce之間的距離，并且運(yùn)算該辨別用標(biāo)記13與在液晶顯示用基板7上預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)位置之間的距離，運(yùn)算該距離與預(yù)先設(shè)定并保存的目標(biāo)值之間的偏離量。而且，存儲(chǔ)器24是暫時(shí)保存上述運(yùn)算部23中的運(yùn)算結(jié)果，并且保存由后述的數(shù)據(jù)輸入部25輸入的數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)器，該存儲(chǔ)器包括記錄了曝光方式(recipe)的記錄介質(zhì)。此外，數(shù)據(jù)輸入部25是為了輸入用于從光掩模9的多種掩模圖案(圖案區(qū)域11)中選擇一個(gè)掩模圖案(圖案區(qū)域11)的選擇信息、例如圖案區(qū)域11的X方向的位置信息的輸入部，例如是鍵盤或數(shù)字鍵等。并且，控制部26綜合地控制整體，使上述各構(gòu)成要素適當(dāng)?shù)仳?qū)動(dòng)。
下面，利用圖7的流程圖來說明采用上述構(gòu)成的曝光裝置的動(dòng)作。在此，說明如圖4所示在各開口部12內(nèi)設(shè)置了 Y方向的位置不同的3條辨別用標(biāo)記13的情況。首先，在步驟SI中，在第I及第2掩模臺(tái)2A、2B上分別設(shè)置光掩模9，使得相對(duì)于開口部12所對(duì)應(yīng)的圖案區(qū)域11而位于箭頭A所示的基板輸送方向的跟前側(cè)，進(jìn)而將曝光方式記錄到控制單元6的存儲(chǔ)器24、例如HDD等記錄介質(zhì)，并且通過操作數(shù)據(jù)輸入部25而輸入從第I及第2掩模臺(tái)2A、2B上設(shè)置的光掩模9的例如4種圖像區(qū)域11中選出的圖案區(qū)域11的選擇信息、例如X方向的位置信息xa、xb、xc、xd,并保存至存儲(chǔ)器24中，由此進(jìn)行曝光開始的準(zhǔn)備。此外，上述曝光方式包含下述信息液晶顯示用基板7的尺寸或單元尺寸等面板信息、曝光中的液晶顯示用基板7的輸送速度或曝光開始位置信息及曝光結(jié)束位置信息或曝光能量等曝光信息、作為掩模圖案信息的所使用的掩模圖案的Y方向的排列間距Pl或P2、及上述掩模圖案所對(duì)應(yīng)的辨別用標(biāo)記13的位置信息。這種情況下，作為在曝光方式中記錄的掩模圖案信息的辨別用標(biāo)記位置信息，例如是圖4所示的檢測(cè)單元4的中心Ce與從左側(cè)起第2個(gè)辨別用標(biāo)記13之間的距離ya、yb、yc或yd,基于光掩模9的Y方向的中心Mc與上述第2個(gè)辨別用標(biāo)記13之間的距離Ya、Yb、Yc或Yd、對(duì)曝光光學(xué)系統(tǒng)3預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)位置Hs與光掩模9的中心Mc之間的距離My、上述基準(zhǔn)位置Hs與檢測(cè)單元4的中心Ce之間的距離Cy的各設(shè)計(jì)值而預(yù)先算出并保存在存儲(chǔ)器24中。此外，在以下說明中，描述要選擇的圖案區(qū)域11例如為圖案區(qū)域Ilb的情況。在步驟S2中，在將液晶顯示用基板7定位于輸送單元I的臺(tái)8上并進(jìn)行載置之后，若按下了省略圖示的曝光開始按鈕，則根據(jù)輸入并設(shè)定的所使用的掩模圖案的圖案區(qū)域Ilb所對(duì)應(yīng)的位置信息xb，使光掩模9沿著X方向進(jìn)行步進(jìn)移動(dòng)，從而圖案區(qū)域Ilb置于曝光光學(xué)單元3的照射區(qū)域IA內(nèi)。在步驟S3中執(zhí)行光掩模9的校準(zhǔn)。關(guān)于該校準(zhǔn)的具體順序，首先利用省略圖示的I對(duì)二維照相機(jī)，拍攝置于曝光光學(xué)單元3的照射區(qū)域IA內(nèi)的圖案區(qū)域Ilb所對(duì)應(yīng)的圖3所示的一對(duì)掩模用校準(zhǔn)標(biāo)記14，例如以各掩模用校準(zhǔn)標(biāo)記14的中心分別與各二維照相機(jī)的視野中心一致的方式驅(qū)動(dòng)掩模校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，來進(jìn)行光掩模9的校準(zhǔn)。由此，光掩模9的中心Mc如圖4所示那樣置于與曝光光學(xué)單元3上預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)位置Hs偏離一定距離My的位置處。在步驟S4中，利用檢測(cè)單元4來拍攝上述選擇出的圖案區(qū)域Ilb所對(duì)應(yīng)的3條辨別用標(biāo)記13，由圖像處理部22對(duì)其進(jìn)行圖像處理來檢測(cè)各辨別用標(biāo)記13的Y方向的位置，由運(yùn)算部23算出相鄰的辨別用標(biāo)記13之間的間隔P1。進(jìn)而，基于3條辨別用標(biāo)記13之中的例如從左側(cè)起第2個(gè)辨別用標(biāo)記13的位置，來運(yùn)算該辨別用標(biāo)記3與檢測(cè)單元4的中心Ce之間的距離yb，并將其作為辨別用標(biāo)記位置信息而獲取。 在步驟S5中，在控制部26中比較上述算出的辨別用標(biāo)記13的間隔Pl與已保存于存儲(chǔ)器24的曝光方式的掩模圖案的排列間距P1，來判定兩者是否一致。進(jìn)而，比較基于曝光方式中記錄的設(shè)計(jì)值算出并保存于存儲(chǔ)器24的辨別用標(biāo)記位置信息(Yb+My-Cy)與由檢測(cè)單元4拍攝取得到的辨別用標(biāo)記位置信息yb，來判定兩者是否一致。由此，判定所選擇出的掩模圖案(圖案區(qū)域11)作為曝光使用的掩模圖案是否正確。在此，在由檢測(cè)單元4取得的辨別用標(biāo)記的間隔以及辨別用標(biāo)記位置信息都與已保存于存儲(chǔ)器24的掩模圖案的排列間距以及辨別用標(biāo)記位置信息一致時(shí)，步驟S5成為“是”判定而進(jìn)入步驟S6，從而邊移動(dòng)液晶顯不用基板7邊實(shí)施曝光。另一方面，在只要辨別用標(biāo)記的間隔以及辨別用標(biāo)記位置信息中的其中一個(gè)與已保存于存儲(chǔ)器24的掩模圖案的排列間距以及辨別用標(biāo)記位置信息不一致時(shí)，步驟S5成為“否”判定而進(jìn)入步驟S7，利用警告燈點(diǎn)亮或警報(bào)音等來通知錯(cuò)誤，并中止曝光。由此，能夠防止由于人為的設(shè)定錯(cuò)誤而使得不同的圖案被曝光的情形。例如，在要曝光與曝光區(qū)域IOb對(duì)應(yīng)的40英寸面板的TFT圖案時(shí)，由于數(shù)據(jù)輸入部25的操作錯(cuò)誤，在作為曝光區(qū)域IOb的位置信息應(yīng)該輸入xb但錯(cuò)誤地輸入了 xa的情況下，與曝光區(qū)域IOa對(duì)應(yīng)的40英寸面板的濾色器圖案被選擇。這種情況下，由于40英寸面板的TFT圖案與濾色器圖案的各圖案的排列間距Pl相同，所以僅根據(jù)3條辨別用標(biāo)記13的間隔無法判斷選出的曝光區(qū)域10的正確與否。然而，根據(jù)本發(fā)明，因?yàn)閮H在辨別用標(biāo)記的間隔以及辨別用標(biāo)記位置信息都與已保存于存儲(chǔ)器24的掩模圖案的排列間距以及辨別用標(biāo)記位置信息一致時(shí)，才判定為所選擇出的曝光區(qū)域10正確，所以在這種情況下由檢測(cè)單元4取得的辨別用標(biāo)記位置信息如圖4所示那樣成為ya，與基于曝光方式的設(shè)計(jì)值所算出的辨別用標(biāo)記位置信息(Yb+My-Cy)不一致，判定為所選擇出的掩模圖案(圖案區(qū)域Ila)不正確。這樣，根據(jù)本發(fā)明，即便在因?yàn)槿藶殄e(cuò)誤而錯(cuò)誤地輸入并設(shè)定了上述多種圖案區(qū)域11的選擇信息、或者設(shè)置了與要曝光的光掩模不同的光掩模的情況下，也能夠檢測(cè)該人為錯(cuò)誤而防止與目標(biāo)不同的圖案被曝光的情形，并且能夠防止發(fā)生大量的不良情況。圖8是對(duì)本發(fā)明的曝光裝置的另一掩模圖案選擇動(dòng)作進(jìn)行說明的流程圖。圖8所示的掩模圖案選擇動(dòng)作為使光掩模沿著X方向進(jìn)行步進(jìn)移動(dòng)，每次都算出辨別用標(biāo)記的間隔并且取得辨別用標(biāo)記位置信息，與已保存于存儲(chǔ)器24的掩模圖案的排列間距以及辨別用標(biāo)記位置信息進(jìn)行比較，邊判定所選擇出的掩模圖案(圖案區(qū)域11)是否正確邊搜索所使用的掩模圖案。首先，在步驟Sll中與上述步驟SI同樣地進(jìn)行曝光開始的準(zhǔn)備。在步驟S12中，將最初的曝光區(qū)域IOa置于曝光光學(xué)系統(tǒng)3的照射區(qū)域IA內(nèi)之后，與上述步驟S2同樣地，使用與該曝光區(qū)域IOa對(duì)應(yīng)的掩模用校準(zhǔn)標(biāo)記14來執(zhí)行掩模校準(zhǔn)。在步驟S13中，利用檢測(cè)單元4來拍攝上述選擇出的圖案區(qū)域Ila所對(duì)應(yīng)的3條辨別用標(biāo)記13，由圖像處理部22對(duì)其進(jìn)行圖像處理來檢測(cè)各辨別用標(biāo)記13的Y方向的位置，由運(yùn)算部23算出相鄰的辨別用標(biāo)記13的間隔。進(jìn)而，基于3條辨別用標(biāo)記13之中的例如從左側(cè)起第2個(gè)辨別用標(biāo)記13的位置來運(yùn)算該辨別用標(biāo)記3與檢測(cè)單元4的中心Ce之間的距離，并將其作為辨別用標(biāo)記位置信息來獲取。在步驟S14中，在控制部26中比較上述算出的辨別用標(biāo)記13的間隔與已保存于存儲(chǔ)器24的掩模圖案的排列間距，判定兩者是否一致。進(jìn)而，比較保存于存儲(chǔ)器24的辨別用標(biāo)記位置信息與由檢測(cè)單元4取得的辨別用標(biāo)記位置信息，來判定兩者是否一致。由此，判定所選擇出的掩模圖案(圖案區(qū)域11)作為曝光使用的掩模圖案是否正確。在此，在由檢測(cè)單元4取得的辨別用標(biāo)記的間隔以及辨別用標(biāo)記位置信息都與已保存于存儲(chǔ)器24的掩模圖案的排列間距以及辨別用標(biāo)記位置信息一致時(shí)，步驟S14成為“是”判定而進(jìn)入步驟S15,從而邊移動(dòng)液晶顯不用基板7邊實(shí)施曝光。 另一方面，在只要辨別用標(biāo)記的間隔以及辨別用標(biāo)記位置信息中的其中一個(gè)與已保存于存儲(chǔ)器24的掩模圖案的排列間距以及辨別用標(biāo)記位置信息不一致時(shí)，步驟S14成為“否”判定而進(jìn)入步驟S16。在步驟S16中，判定光掩模9的移動(dòng)是否達(dá)到了移動(dòng)界限。在此，在光掩模9的移動(dòng)仍在移動(dòng)界限內(nèi)之時(shí)，步驟S16成為“否”判定而進(jìn)入步驟S17。在步驟S17中，步進(jìn)移動(dòng)光掩模9并選擇下一圖案區(qū)域lib。之后，返回到步驟S12，在使用接下來選出的圖案區(qū)域Ilb所對(duì)應(yīng)的掩模用校準(zhǔn)標(biāo)記14來進(jìn)行了掩模校準(zhǔn)之后，在步驟S13中算出與下一圖案區(qū)域Ilb對(duì)應(yīng)的辨別用標(biāo)記13的間隔，并且取得辨別用標(biāo)記13的位置信息。由此，直至在步驟S16中判定為“是”為止，反復(fù)執(zhí)行步驟S12 步驟S17。這種情況下，即便反復(fù)執(zhí)行步驟S12 步驟S17而步驟S14也未成為“是”判定、且在步驟S16中光掩模的移動(dòng)達(dá)到了界限之時(shí)，意味著由于人為的錯(cuò)誤而設(shè)置了不同的光掩模，步驟S16成為“是”判定而進(jìn)入步驟S18，利用警告燈點(diǎn)亮或警報(bào)音等來通知錯(cuò)誤，并中止曝光。在這里，曝光是基于在曝光方式中記錄的曝光信息而進(jìn)行的。例如，直至液晶顯示用基板7到達(dá)曝光開始位置為止，液晶顯示用基板7被以高速度進(jìn)行輸送。之后，若液晶顯示用基板7到達(dá)曝光開始位置、曝光區(qū)域的開頭區(qū)域達(dá)到曝光光學(xué)單元3的曝光位置，則基板的輸送速度成為為了進(jìn)行曝光而適當(dāng)設(shè)定的速度。同時(shí)，快門17打開，光源光照射到光掩模9的被選擇的圖案區(qū)域11，從而該圖案區(qū)域11的掩模圖案被轉(zhuǎn)印到液晶顯示用基板7的曝光區(qū)域。這樣，邊使液晶顯示用基板7以一定速度進(jìn)行輸送邊執(zhí)行對(duì)曝光區(qū)域的曝光。之后，若液晶顯示用基板7到達(dá)曝光結(jié)束位置、曝光區(qū)域的末尾區(qū)域達(dá)到曝光光學(xué)單元3的曝光位置，則快門17關(guān)閉，同時(shí)使基板的輸送速度變?yōu)楦咚賮戆岢鲆壕э@示用基板7。在上述曝光動(dòng)作中，由檢測(cè)單元4透過光掩模9的開口部12檢測(cè)在液晶顯示用基板7上形成的圖案上預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)位置(例如與TFT基板的平行于X方向的中心線接近且在相同方向上延伸的布線的緣部)，按照使該基準(zhǔn)位置與檢測(cè)單元4的中心Ce之間的距離和預(yù)先設(shè)定并保存于存儲(chǔ)器24的目標(biāo)值一致的方式，來驅(qū)動(dòng)掩模臺(tái)2的掩模校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，使光掩模9沿著Y方向微動(dòng)，使光掩模9對(duì)位于移動(dòng)中的液晶顯示用基板7。由此，能夠使光掩模9跟蹤一邊沿著Y方向振動(dòng)一邊被輸送的液晶顯示用基板7，從而能夠提高曝光位置精度。此外，在上述實(shí)施方式中，說明了使用在同一掩?；?0上形成有多種圖案區(qū)域11的光掩模9來進(jìn)行曝光的情況，但是本發(fā)明并不限定于此，也可以在光掩模9中形成一個(gè)圖案區(qū)域11。這種情況下，能夠根據(jù)辨別用標(biāo)記13的位置的差異而與另一種類的光掩模9辨別開。 另外，在上述實(shí)施方式中，說明了被曝光體是液晶顯示用基板7的情況，但是本發(fā)明并不限定于此，被曝光體也可以是等離子顯示器顯示用基板、有機(jī)EL顯示用基板等任何基板。
權(quán)利要求
1.一種光掩模，具有在掩?；迳蠈⒍鄠€(gè)掩模圖案至少排成一列而形成的圖案區(qū)域，所述光掩模的特征在于，具備 在與所述多個(gè)掩模圖案的排列方向交叉的方向上，在與所述圖案區(qū)域的中心軸偏離一定距離的位置處，按照縱長中心軸與所述中心軸平行的方式設(shè)置的細(xì)長狀的開口部；和在所述開口部?jī)?nèi)為了將所述掩模圖案與其他掩?；迳闲纬傻牟煌N類的掩模圖案辨別開而設(shè)置的、與所述縱長中心軸交叉的至少一條細(xì)線狀的辨別用標(biāo)記， 將所述辨別用標(biāo)記設(shè)置在所述開口部的縱長中心軸上的與所述不同種類的掩模圖案的辨別用標(biāo)記不同的位置。
2.一種光掩模，在同一掩?；迳蠈⒀谀D案不同的多種圖案區(qū)域按照其中心軸相互平行的方式排列設(shè)置，所述光掩模的特征在于，具備 在與各所述圖案區(qū)域的所述中心軸交叉的方向上，在與各中心軸偏離一定距離的位置處，分別按照縱長中心軸與所述中心軸平行的方式設(shè)置的細(xì)長狀的多個(gè)開口部；和 在各所述開口部?jī)?nèi)分別為了辨別所述掩模圖案而設(shè)置的、與所述縱長中心軸交叉的至少一條細(xì)線狀的辨別用標(biāo)記， 將各所述開口部?jī)?nèi)的辨別用標(biāo)記分別設(shè)置在各所述開口部的縱長中心軸上的不同位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光掩模，其特征在于， 各所述開口部?jī)?nèi)的辨別用標(biāo)記，按照沿著各所述圖案區(qū)域的中心軸排列的各所述掩模圖案的排列間距的整數(shù)倍的間距而分別形成有多條。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的光掩模，其特征在于， 各所述開口部?jī)?nèi)的辨別用標(biāo)記在所述縱長中心軸方向上的寬度各不相同。
5.一種曝光裝置，其特征在于，具備 掩模臺(tái)，其與被曝光體對(duì)置設(shè)置，對(duì)光掩模進(jìn)行保持，能夠沿著多種圖案區(qū)域的排列方向移動(dòng)，所述光掩模在同一掩?；迳蠈⒀谀D案不同的所述多種圖案區(qū)域按照其中心軸相互平行的方式排列設(shè)置，在與各所述圖案區(qū)域的所述中心軸交叉的方向上，在與各中心軸偏離一定距離的位置處分別形成縱長中心軸平行于所述中心軸的細(xì)長狀的多個(gè)開口部，在該各開口部?jī)?nèi)分別將用于辨別所述掩模圖案的與所述縱長中心軸交叉的至少一條細(xì)線狀的辨別用標(biāo)記設(shè)置在所述縱長中心軸上的不同位置； 曝光光學(xué)系統(tǒng)，其向所述光掩模的多種圖案區(qū)域之中被選擇出的一個(gè)圖案區(qū)域照射光源光，將該被選擇出的圖案區(qū)域的掩模圖案轉(zhuǎn)印到所述被曝光體上； 檢測(cè)單元，其使細(xì)長狀的受光部的縱長中心軸與所述被選擇出的一個(gè)圖案區(qū)域所對(duì)應(yīng)的所述開口部的縱長中心軸一致地進(jìn)行配置，用于檢測(cè)所述辨別用標(biāo)記的位置；和 控制單元，其控制所述掩模臺(tái)的移動(dòng)，使得從所述多種圖案區(qū)域中選擇一個(gè)圖案區(qū)域，所述控制單元比較從預(yù)先設(shè)定并保存的曝光信息中讀取的掩模圖案信息、和對(duì)應(yīng)于各所述辨別用標(biāo)記的位置而預(yù)先保存的掩模圖案信息之中由所述檢測(cè)單元檢測(cè)出的所述辨別用標(biāo)記的位置所對(duì)應(yīng)的掩模圖案信息，來判定所述被選擇出的圖案區(qū)域的正確與否。
全文摘要
本發(fā)明提供一種光掩模及曝光裝置。光掩模(9)在同一掩?；?10)上將掩模圖案不同的多種圖案區(qū)域(11)按照其中心軸相互平行的方式排列設(shè)置，并具備在與各所述圖案區(qū)域(11)的所述中心軸交叉的方向上，在與各中心軸偏離一定距離的位置處，分別按照縱長中心軸與所述中心軸平行的方式設(shè)置的細(xì)長狀的多個(gè)開口部(12)；和在各所述開口部(12)內(nèi)分別為了辨別所述掩模圖案而設(shè)置的、與所述縱長中心軸交叉的至少一條細(xì)線狀的辨別用標(biāo)記(13)，將各所述開口部(12)內(nèi)的辨別用標(biāo)記(13)分別設(shè)置在各所述開口部(12)的縱長中心軸上的不同位置。
文檔編號(hào)G03F1/38GK102902155SQ20121026253
公開日2013年1月30日 申請(qǐng)日期2012年7月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月29日
發(fā)明者野村義昭, 竹下琢郎, 橋本和重 申請(qǐng)人:株式會(huì)社 V 技術(shù)