技術編號：2687289
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及在掩?；迳闲纬捎醒谀D案的光掩模，尤其涉及要防止與目標不同的圖案被曝光的情形的光掩模及曝光裝置。背景技術以往的這種光掩模，在同一掩?；迳吓帕性O置有掩模圖案不同的多種圖案區(qū)域，在基板上曝光不同種類的圖案時，通過快門的開閉動作而從多種圖案區(qū)域中選擇被曝光的圖案的圖案區(qū)域來進行曝光(例如參照日本特開2008-310217號公報)。但是，這種以往的光掩模通過受曝光裝置中具備的控制單元的程序所控制的快門的開閉動作，從上述多種圖案區(qū)域中選擇被曝光的圖案的...
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