專利名稱：雙通道橫向剪切干涉儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及干涉光譜成像技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種雙通道橫向剪切干涉儀。
技術(shù)背景
目前，干涉型光譜成像技術(shù)是新興的一種對目標(biāo)進(jìn)行光譜探測的方法，具有多通道、高通量和高測量精度等優(yōu)點(diǎn)，是光譜成像領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)之一。干涉成像光譜儀按照獲取干涉圖方式的不同，可以分為時(shí)間調(diào)制型、空間調(diào)制型和時(shí)空聯(lián)合調(diào)制型三類。在各類型干涉成像光譜儀中，作為分光元件的橫向剪切干涉儀是核心部件，其分光方式和工作效率對整個儀器有著重要影響。目前常用的有邁克爾遜(Michelson)干涉儀、薩尼亞克 (Sagnac)橫向剪切干涉儀、雙角反射體干涉儀等。
干涉成像光譜儀中采用的橫向剪切干涉儀要求能夠?qū)⑦M(jìn)入干涉儀的一束光沿垂直于光軸方向等光程的分開，形成分波前干涉條件?，F(xiàn)有技術(shù)方案中常用的結(jié)構(gòu)型式均采用共光路方式，如^gnac干涉儀，但現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)中會有一半光線沿原路返回，不僅降低了能量利用率，還形成了雜散光源。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種雙通道橫向剪切干涉儀，既能滿足橫向剪切的要求，又能提高能量利用率、無回溯光、不會形成雜散源，還能夠通過雙通道輸出，擴(kuò)展儀器用途。
本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的，一種雙通道橫向剪切干涉儀，所述雙通道橫向剪切干涉儀包括兩個分束膜和兩組反射鏡組，所述兩個分束膜中心對稱設(shè)置； 所述兩組反射鏡組中心對稱設(shè)置，所述兩個分束膜的中心對稱點(diǎn)與所述兩組反射鏡組的中心對稱點(diǎn)重合，所述兩組反射鏡組的中心對稱點(diǎn)到每組反射鏡組中兩個反射鏡的臂的長度不相等，其中，
第一個分束膜將入射平行光分為透射和反射兩路光束；
每組反射鏡組中的兩個反射鏡的夾角為45度，所述兩組反射鏡組將從所述分束膜分出的透射和反射兩路光束分別折轉(zhuǎn)反射90度后，進(jìn)入另一個分束膜；
所述另一個分束膜將入射的兩路光束分別透射和反射后，形成兩個通道輸出，該兩個通道輸出的為剪切量完全相等的兩束光。
在本發(fā)明一較佳實(shí)施例中，所述兩組反射鏡組的中心對稱點(diǎn)到每組反射鏡組中兩個反射鏡的臂的長度包括每組反射鏡組中的兩個反射鏡或反射鏡的延長線與平面直角坐標(biāo)系的水平軸和垂直軸的交點(diǎn)到所述平面直角坐標(biāo)系的原點(diǎn)的長度，所述平面直角坐標(biāo)系的原點(diǎn)與所述兩組反射鏡組的中心對稱點(diǎn)重合。
在本發(fā)明一較佳實(shí)施例中，每個分束膜由一個具有半透半反面的分束平行平板組成；
每組反射鏡組中的兩個反射鏡由兩個平面反射鏡組成，其中，所述兩個平面反射鏡夾角為45度，且所述平面反射鏡鍍外反射膜。
在本發(fā)明一較佳實(shí)施例中，所述具有半透半反面的分束平行平板由兩塊完全相同的平行平板膠合而成，其中一塊平行平板用于膠合的表面鍍分束膜，所述分束膜的分束比為 1 1。
在本發(fā)明一較佳實(shí)施例中，每個分束膜由膠合分束棱鏡組成，其中，所述膠合分束棱鏡由兩塊完全相同的等腰直角棱鏡膠合而成，其中一塊等腰直角棱鏡的斜面鍍分束膜， 兩塊等腰直角棱鏡通過斜面膠合；
每組反射鏡組中的兩個反射鏡由非對稱五角棱鏡的兩個鍍內(nèi)反射膜且夾角為45 度的斜面組成，其中，所述非對稱五角棱鏡包括兩個直角面，所述兩組反射鏡組的中心對稱點(diǎn)到每組反射鏡組中的兩個反射鏡的臂的長度分別等于所述非對稱五角棱鏡的所述兩個直角面在主截面內(nèi)的直角邊的長度；
所述每個膠合分束棱鏡的兩個直角面分別和所述兩個非對稱五角棱鏡的一個直角面膠合，所述兩個膠合分束棱鏡的鍍膜面共面。
在本發(fā)明一較佳實(shí)施例中，所述分束膜的分束比為1 1。
在本發(fā)明一較佳實(shí)施例中，所述兩個分束膜由兩塊道威棱鏡組成，其中，兩塊道威棱鏡通過底面膠合，所述兩塊道威棱鏡中的一塊的底面鍍分束膜；
每組反射鏡組中的兩個反射鏡由一個等腰棱鏡的兩個鍍內(nèi)反射膜的斜面組成，其中，所述等腰棱鏡的兩個斜面的夾角為45度，所述等腰棱鏡的底面與其中一個道威棱鏡的頂面膠合。
在本發(fā)明一較佳實(shí)施例中，所述分束膜的分束比為1 1。
由上述本發(fā)明提供的技術(shù)方案可以看出，所述雙通道橫向剪切干涉儀包括兩個分束膜和兩組反射鏡組，所述兩個分束膜中心對稱設(shè)置；所述兩組反射鏡組中心對稱設(shè)置， 所述兩個分束膜的中心對稱點(diǎn)與所述兩組反射鏡組的中心對稱點(diǎn)重合，所述兩組反射鏡組的中心對稱點(diǎn)到每組反射鏡組中兩個反射鏡的臂的長度不相等，其中，第一個分束膜將入射平行光分為透射和反射兩路光束；每組反射鏡組中的兩個反射鏡的夾角為45度，所述兩組反射鏡組將從所述分束膜分出的透射和反射兩路光束分別折轉(zhuǎn)反射90度后，進(jìn)入另一個分束膜；所述另一個分束膜將入射的兩路光束分別透射和反射后，形成兩個通道輸出，該兩個通道輸出的為剪切量完全相等的兩束光。通過本發(fā)明實(shí)施例提供的雙通道橫向剪切干涉儀，中心對稱點(diǎn)到每組反射鏡組中的兩反射鏡的臂的長度不相等，在兩路光匯合輸出時(shí)光線與等臂的情況下有橫向偏移，入射的光線被分為透射和反射兩路光束，不會產(chǎn)生沿路返回的光線，提高了能量的利用率。此外，可以實(shí)現(xiàn)光束的橫向剪切。通過本發(fā)明實(shí)施例的干涉儀無回溯光，不會形成雜散源。


為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他附圖。
圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的雙通道橫向剪切干涉儀的結(jié)構(gòu)示意圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的雙通道橫向剪切干涉儀具體實(shí)現(xiàn)的一種結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的 雙通道橫向剪切干涉儀具體實(shí)現(xiàn)的第二種結(jié)構(gòu)示意圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的雙通道橫向剪切干涉儀具體實(shí)現(xiàn)的第三種結(jié)構(gòu)示意具體實(shí)施方式
下面結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
本發(fā)明實(shí)施例所述雙通道橫向剪切干涉儀工作原理為在平行光路中，使兩路光經(jīng)歷等光程，將入射光橫向?qū)ΨQ剪切開來，分別經(jīng)過兩個通道輸出，使兩個通道的剪切量相寸。
下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明實(shí)施例作進(jìn)一步地詳細(xì)描述，如圖1所示為本發(fā)明實(shí)施例提供的雙通道橫向剪切干涉儀的結(jié)構(gòu)示意圖，圖1中的雙通道橫向剪切干涉儀包括兩個分束膜和兩組反射鏡組，所述兩個分束膜中心對稱設(shè)置；所述兩組反射鏡組中心對稱設(shè)置， 兩個分束膜的中心對稱點(diǎn)與該兩組反射鏡組的中心對稱點(diǎn)重合，兩組反射鏡組的中心對稱點(diǎn)到每組反射鏡組中的兩個反射鏡的臂的長度不相等，其中
第一個分束膜將入射平行光分為透射和反射兩路光束；
每組反射鏡組中的兩個反射鏡的夾角為45度，該兩組反射鏡組將從所述分束膜分出的透射和反射兩路光束分別折轉(zhuǎn)反射90度后，進(jìn)入另一個分束膜；
所述另一個分束膜將入射的兩路光束分別透射和反射后，形成兩個通道輸出，該兩個通道輸出的為剪切量完全相等的兩束光，達(dá)到雙通道橫向剪切的目的。
其中，該兩組反射鏡組的中心對稱點(diǎn)到每組反射鏡組中的兩個反射鏡的臂的長度分別為每組反射鏡組中的兩個反射鏡或反射鏡的延長線與平面直角坐標(biāo)系的水平軸和垂直軸的交點(diǎn)到該平面直角坐標(biāo)系的原點(diǎn)的長度，其中，該平面直角坐標(biāo)系的原點(diǎn)與該兩組反射鏡組的中心對稱點(diǎn)重合。
在具體實(shí)現(xiàn)過程中，有多種方式可以實(shí)現(xiàn)分束膜和反射鏡組，下面以具體實(shí)施例列舉幾種實(shí)現(xiàn)方式
方式一如圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的雙通道橫向剪切干涉儀具體實(shí)現(xiàn)的一種結(jié)構(gòu)示意圖。該干涉儀包括第一分束膜1、第二分束膜6，第一反射鏡組和第二反射鏡組，其中第一反射鏡組包括第一平面反射鏡2和第二平面反射鏡3，第二反射鏡組包括第三平面反射鏡4和第四平面反射鏡5。
其中，第一分束膜1和第二分束膜6由一個具有半透半反面的分束平行平板組成；
第一反射鏡組中的第一平面反射鏡2和第二平面反射鏡3，以及第二反射鏡組中的第三平面反射鏡4和第四平面反射鏡5分別由兩個平面反射鏡組成，且所述平面反射鏡鍍外反射膜。第一平面反射鏡2和第二平面反射鏡3的夾角以及第三平面反射鏡4和第四平面反射鏡5的夾角均為45度。
所述具有半透半反面的分束平行平板由兩塊完全相同的平行平板膠合而成，其中一塊平行平板用于膠合的表面鍍分束膜，分束膜的分束比為1 1。
上述圖2結(jié)構(gòu)具體光路的工作過程為首先，軸上平行光以45度入射到第一分束膜1，分為兩路光束，一路透射，一路反射。
透射光經(jīng)過第一平面反射鏡2和第二平面反射鏡3反射折轉(zhuǎn)90度，較佳地，第一平面反射鏡2與第一分束膜1和第二分束膜2所夾銳角為67. 5度，第二平面反射鏡3與第一平面反射鏡2夾角為45度；折轉(zhuǎn)后的光線再通過第二分束膜6分別反射和透射，在輸出通道一和輸出通道二輸出。
經(jīng)過第一分束膜1的反射光與透射光行進(jìn)路線對稱，第三平面反射鏡4與第二平面反射鏡3中心對稱，第四平面反射鏡5和第一平面反射鏡2中心對稱；這一路折轉(zhuǎn)后的光線再通過第二分束膜6分別透射和反射，在輸出通道一和輸出通道二輸出。
如圖2所示，以兩組反射鏡組的中心對稱點(diǎn)0為原點(diǎn)作平面直角坐標(biāo)系Oxy。以第一組平面反射鏡為例，該平面直角坐標(biāo)系與第一平面反射鏡2和第二平面反射鏡3的延長線的交點(diǎn)分別為A點(diǎn)和B點(diǎn)，線段OA和OB分別為這兩組反射鏡組的中心對稱點(diǎn)0到第一平面反射鏡2和第二平面反射鏡3的臂，相應(yīng)地，線段OA和OB的長度分別為這兩組反射鏡組的中心對稱點(diǎn)0到第一平面反射鏡2和第二平面反射鏡3的臂的長度，這兩個長度不相寸。
第一平面反射鏡2和第二平面反射鏡3的兩臂不等長，因此在兩路光匯合輸出時(shí)光線與等臂情況下有橫向偏移，由于分開的兩路元件中心對稱，即，第一分束膜1和第二分束膜6中心對稱，第一反射鏡組和第二反射鏡組中心對稱，因此輸出時(shí)兩個橫向偏移大小相等，方向相反，從而形成了要求的橫向剪切量。
方式二 如圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的雙通道橫向剪切干涉儀具體實(shí)現(xiàn)的第二種結(jié)構(gòu)示意圖，圖3中
每個分束膜由膠合分束棱鏡組成，其中，如圖3所示，所述膠合分束棱鏡由兩塊完全相同的第一等腰直角棱鏡7和第二等腰直角棱鏡8膠合而成，其中一塊等腰直角棱鏡的斜面鍍分束膜，第一等腰直角棱鏡7和第二等腰直角棱鏡8通過斜面膠合；
每組反射鏡組中的兩個反射鏡由一塊非對稱五角棱鏡，如圖3中的第一非對稱五角棱鏡9和第二非對稱五角棱鏡11，的兩個鍍內(nèi)反射膜且夾角為45度的斜面組成。其中， 第一非對稱五角棱鏡9和第二非對稱五角棱鏡11包括兩個直角面，兩組反射鏡組的中心對稱點(diǎn)到每組反射鏡組中的兩個反射鏡的臂的長度分別等于第一非對稱五角棱鏡9和第二非對稱五角棱鏡11的兩個直角面在主截面內(nèi)的直角邊的長度，兩臂的長度不相等。
所述每個膠合分束棱鏡的兩個直角面分別和兩個非對稱五角棱鏡的一個直角面膠合，兩個膠合分束棱鏡的鍍膜面共面。例如，膠合分束棱鏡的兩個直角面分別和第一非對稱五角棱鏡的9和第二非對稱五角棱鏡11的一個直角面膠合。
所述膠合分束棱鏡中一個等腰直角棱鏡，例如等腰直角棱鏡7，用于膠合的斜面鍍分束膜，該分束膜的分束比為1 1。
上述圖3結(jié)構(gòu)具體光路的工作過程為首先，軸上平行光垂直入射到第一等腰直角棱鏡7，在鍍分束膜的斜面處分為兩路光，一路透射，一路反射。
透射光經(jīng)過第二等腰直角棱鏡8后進(jìn)入第一非對稱五角棱鏡9，其兩斜面鍍內(nèi)反射膜，使光線折轉(zhuǎn)90度后進(jìn)入第三等腰直角棱鏡10，在分束膜處分為反射和透射兩路，分別通過輸出通道一和輸出通道二輸出。
經(jīng)過第一等腰直角棱鏡7處分束膜的反射光經(jīng)過第一等腰直角棱鏡7進(jìn)入第二非對稱五角棱鏡11，第二非對稱五角棱鏡11與第一非對稱五角棱鏡9完全相同，且處于中心對稱的位置，作用也是將光線折轉(zhuǎn)90度，因此這一路光線折轉(zhuǎn)后進(jìn)入第四等腰直角棱鏡 12，在分束膜處分為透射和反射兩路，分別通過輸出通道一和輸出通道二輸出。
由于兩個非對稱五角棱鏡的直角棱邊不等長，且處于中心對稱的位置布局，與本發(fā)明實(shí)施方法一類似，在兩路光匯合輸出時(shí)光線分別發(fā)生大小相等方向相反的橫向偏移， 從而形成了要求的橫向剪切量。
所有棱鏡膠合，形成實(shí)體式的雙通道橫向剪切干涉儀。與實(shí)施方法一相比，本方法為實(shí)體型結(jié)構(gòu)，形成一個干涉儀模塊，具有良好的抗沖擊、震動的功能，且不易受到灰塵、濕氣、對流等環(huán)境激烈變化造成的擾動的影響。
方式三圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的雙通道橫向剪切干涉儀具體實(shí)現(xiàn)的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。
所述兩個分束膜由兩塊道威棱鏡組成，如圖4中的第一道威棱鏡13和第二道威棱鏡14，其中，第一道威棱鏡13和第二道威棱鏡14通過底面膠合，第一道威棱鏡13和第二道威棱鏡14中的一塊的底面鍍分束膜。
每組反射鏡組中的兩個反射鏡由一個等腰棱鏡，如圖4中的第一等腰棱鏡15和第二等腰棱鏡16，的兩個鍍內(nèi)反射膜的斜面組成。其中，所述第一等腰棱鏡15和第二等腰棱鏡16的兩個斜面的夾角為45度，所述第一等腰棱鏡15的底面與第二道威棱鏡14的頂面膠合，第二等腰棱鏡16的底面與第一道威棱鏡13的頂面膠合。
所述第一道威棱鏡13和第二道威棱鏡14中的一塊底面鍍分束膜，分束膜的分束比為1 1。
上述圖4具體光路的工作過程為首先，軸上平行光垂直入射到第一道威棱鏡13， 在鍍分束膜的底面處分為兩路光，一路透射，一路反射。
透射光進(jìn)入第二道威棱鏡14，從頂面進(jìn)入第一等腰棱鏡15，其兩個側(cè)面鍍內(nèi)反射膜，使光線折轉(zhuǎn)90度后重新進(jìn)入第二道威棱鏡14，在分束膜處再次發(fā)生反射和透射，分別通過輸出通道一和輸出通道二輸出。
經(jīng)過第一道威棱鏡13處分束膜的反射光經(jīng)過第一道威棱鏡13，從頂面進(jìn)入第二等腰棱鏡16，第二等腰棱鏡16與第一等腰棱鏡15完全相同，且處于中心對稱的位置布局， 與本發(fā)明實(shí)施方法一類似，在兩路光匯合輸出時(shí)光線分別發(fā)生大小相等方向相反的橫向偏移，從而形成了要求的橫向剪切量。
如圖4所示，以兩組反射鏡組的中心對稱點(diǎn)0為原點(diǎn)作平面直角坐標(biāo)系Oxy。以第一等腰棱鏡15為例，該平面直角坐標(biāo)系與該第一等腰棱鏡15的兩個腰相交，交點(diǎn)到原點(diǎn)0 的線段為這第一等腰棱鏡15和第二等腰棱鏡16的中心對稱點(diǎn)0到第一等腰棱鏡15的兩腰的臂，線段的長度為臂的長度，在本實(shí)施例中，這兩個臂的長度不相等。
所有棱鏡膠合，形成實(shí)體式的雙通道橫向剪切干涉儀。與實(shí)施方法一相比，本方法為實(shí)體型結(jié)構(gòu)，形成一個干涉儀模塊，具有良好的抗沖擊、震動的功能，且不易受到灰塵、濕氣、對流等環(huán)境激烈變化造成的擾動的影響。與實(shí)施方法二相比，本方法采用的棱鏡數(shù)量較少，易于膠合，同時(shí)減少了誤差源，能夠以較低的代價(jià)達(dá)到更高的膠合精度。
值得指出的是，上述只是列舉出了三種具體實(shí)現(xiàn)過程，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以想到的其他實(shí)現(xiàn)手段也是可以滿足本發(fā)明需求的。
綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例所述的雙通道橫向剪切干涉儀即能滿足橫向剪切的要求，又能提高能量利用率、無回溯光、不會形成雜散源，還能夠通過雙通道輸出，擴(kuò)展儀器用途；同時(shí)對于上述方式二和三來說，可以同時(shí)加工出完全相同的棱鏡進(jìn)行膠合，通過加工工藝便可保證相同元件的面型、尺寸精度等完全一致。
以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施方式
，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此， 任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明披露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換， 都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種雙通道橫向剪切干涉儀，其特征在于，所述雙通道橫向剪切干涉儀包括兩個分束膜和兩組反射鏡組，所述兩個分束膜中心對稱設(shè)置；所述兩組反射鏡組中心對稱設(shè)置，所述兩個分束膜的中心對稱點(diǎn)與所述兩組反射鏡組的中心對稱點(diǎn)重合，所述兩組反射鏡組的中心對稱點(diǎn)到每組反射鏡組中兩個反射鏡的臂的長度不相等，其中，第一個分束膜將入射平行光分為透射和反射兩路光束；每組反射鏡組中的兩個反射鏡的夾角為45度，所述兩組反射鏡組將從所述分束膜分出的透射和反射兩路光束分別折轉(zhuǎn)反射90度后，進(jìn)入另一個分束膜；所述另一個分束膜將入射的兩路光束分別透射和反射后，形成兩個通道輸出，該兩個通道輸出的為剪切量完全相等的兩束光。
2.如權(quán)利要求1所述的雙通道橫向剪切干涉儀，其特征在于，所述兩組反射鏡組的中心對稱點(diǎn)到每組反射鏡組中兩個反射鏡的臂的長度為每組反射鏡組中的兩個反射鏡或反射鏡的延長線與平面直角坐標(biāo)系的水平軸和垂直軸的交點(diǎn)到所述平面直角坐標(biāo)系的原點(diǎn)的長度，其中所述平面直角坐標(biāo)系的原點(diǎn)與所述兩組反射鏡組的中心對稱點(diǎn)重合。
3.如權(quán)利要求2所述的雙通道橫向剪切干涉儀，其特征在于，每個分束膜由一個具有半透半反面的分束平行平板組成；每組反射鏡組中的兩個反射鏡由兩個平面反射鏡組成，其中，所述兩個平面反射鏡夾角為45度，且所述平面反射鏡鍍外反射膜。
4.如權(quán)利要求3所述的雙通道橫向剪切干涉儀，其特征在于，所述具有半透半反面的分束平行平板由兩塊完全相同的平行平板膠合而成，其中一塊平行平板用于膠合的表面鍍分束膜，所述分束膜的分束比為1 1。
5.如權(quán)利要求1或2所述的雙通道橫向剪切干涉儀，其特征在于，每個分束膜由膠合分束棱鏡組成，其中，所述膠合分束棱鏡由兩塊完全相同的等腰直角棱鏡膠合而成，其中一塊等腰直角棱鏡的斜面鍍分束膜，兩塊等腰直角棱鏡通過斜面膠合；每組反射鏡組中的兩個反射鏡由非對稱五角棱鏡的兩個鍍內(nèi)反射膜且夾角為45度的斜面組成，其中，所述非對稱五角棱鏡包括兩個直角面，所述兩組反射鏡組的中心對稱點(diǎn)到每組反射鏡組中的兩個反射鏡的臂的長度分別等于所述非對稱五角棱鏡的所述兩個直角面在主截面內(nèi)的直角邊的長度；所述每個膠合分束棱鏡的兩個直角面分別和所述兩個非對稱五角棱鏡的一個直角面膠合，所述兩個膠合分束棱鏡的鍍膜面共面。
6.如權(quán)利要求5所述的雙通道橫向剪切干涉儀，其特征在于，所述分束膜的分束比為1 1。
7.如權(quán)利要求1或2所述的雙通道橫向剪切干涉儀，其特征在于，所述兩個分束膜由兩塊道威棱鏡組成，其中，兩塊道威棱鏡通過底面膠合，所述兩塊道威棱鏡中的一塊的底面鍍分束膜；每組反射鏡組中的兩個反射鏡由一個等腰棱鏡的兩個鍍內(nèi)反射膜的斜面組成，其中， 所述等腰棱鏡的兩個斜面的夾角為45度，所述等腰棱鏡的底面與其中一個道威棱鏡的頂面膠合。
8.如權(quán)利要求7所述的雙通道橫向剪切干涉儀，其特征在于， 所述分束膜的分束比為1 1。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種雙通道橫向剪切干涉儀，包括兩個分束膜和兩組反射鏡組，所述兩個分束膜中心對稱設(shè)置；所述兩組反射鏡組中心對稱設(shè)置，所述兩組反射鏡組的中心對稱點(diǎn)到每組反射鏡組中兩個反射鏡的臂的長度不相等，第一個分束膜將入射平行光分為透射和反射兩路光束；每組反射鏡組中的兩個反射鏡的夾角為45度，所述兩組反射鏡組將從所述分束膜分出的透射和反射兩路光束分別折轉(zhuǎn)反射90度后，進(jìn)入另一個分束膜；所述另一個分束膜將入射的兩路光束分別透射和反射后，形成兩個通道輸出，該兩個通道輸出的為剪切量完全相等的兩束光。這樣既能滿足橫向剪切的要求，又能提高能量利用率。
文檔編號G02B27/10GK102519609SQ20111041558
公開日2012年6月27日 申請日期2011年12月13日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月13日
發(fā)明者付強(qiáng), 呂群波, 相里斌 申請人:中國科學(xué)院光電研究院