專利名稱：一種ito膜片光刻自動識別定位方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及微電子光刻設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是用于ITO膜片光刻中自動識別定位方法。
背景技術(shù)：
隨著觸摸屏及液晶顯示屏行收的不斷發(fā)展，對ITO薄膜基材性能需求的不斷提高，對ITO薄膜的加工方式也出現(xiàn)了改變，現(xiàn)有技術(shù)中由于加工設(shè)備結(jié)構(gòu)布局問題，導(dǎo)致對 ITO薄膜的加工效率低，而光電藕合器件(charge coupled device, CCD)技術(shù)自問世以來， 就具有工作穩(wěn)定可靠、圖像清晰、靈敏度和分辨力高等優(yōu)點(diǎn).尤其是與計算機(jī)圖像處理技術(shù)相結(jié)合后，CCD應(yīng)用領(lǐng)域更加廣泛。所謂CCD光學(xué)視覺定位，是利用攝像機(jī)鏡頭進(jìn)行掃描， 再將圖像反射過來的光波轉(zhuǎn)化成數(shù)位電信號，完成光信號到電信號的轉(zhuǎn)換，由此實(shí)現(xiàn)高精密的自動定位，即采用具有圖像識別功能的CCD，通過攝像機(jī)鏡頭對基準(zhǔn)標(biāo)記加以識讀并處理相關(guān)的圖像數(shù)據(jù)，用補(bǔ)償量進(jìn)行位置演算，從而達(dá)到精確的定位。CCD主要材質(zhì)為矽晶半導(dǎo)體，透過光電效應(yīng)，由感光元件表面感應(yīng)來源光線，從而轉(zhuǎn)換成儲存電荷的能力當(dāng)CCD表面接受到光線照射時，即會將光線的能量轉(zhuǎn)換成電荷，光線越強(qiáng)、電荷也就越多，這些電荷就成為判斷光線強(qiáng)弱大小的依據(jù)。所以光源的提供對于CCD光學(xué)視覺定位的精確度影響重大，現(xiàn)有的燈源一般是由白熾燈、紅外線照明裝置，但是ITO薄膜對這些光線反射不強(qiáng)， 造成CCD感光元件感光不強(qiáng)，只能定位精確到10 μ m,難以滿足人們對觸屏產(chǎn)品質(zhì)量日益提高的愿望。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了克服以上現(xiàn)有技術(shù)存在的缺點(diǎn)提出的，其所解決的技術(shù)問題是提供一種在ITO膜片光刻前實(shí)現(xiàn)膜片與掩模自動識別精準(zhǔn)定位方法。為此，本發(fā)明提供了一種ITO膜片光刻自動識別定位方法，其中包括下列步驟將兩個紫外光燈光源、兩套CCD成像設(shè)備及兩套成像光學(xué)系統(tǒng)裝置于掩模版及膜片的下方， 兩套CCD成像設(shè)備通過兩套成像光學(xué)系統(tǒng)攝取掩模版對準(zhǔn)標(biāo)記及膜片對準(zhǔn)標(biāo)記，由圖像采集卡采集圖像數(shù)據(jù)，輸入至計算機(jī)中對準(zhǔn)標(biāo)記圖像進(jìn)行處理、定位并實(shí)時顯示，通過計算機(jī)屏幕上顯示的掩模版對準(zhǔn)標(biāo)記及膜片對準(zhǔn)標(biāo)記圖像的相對位置誤差，調(diào)整膜片的位置，從而實(shí)現(xiàn)膜片與掩模版自動精確對位。所述掩模版及膜片裝在移動平臺上，掩模版置于膜片上方；移動平臺對應(yīng)掩模版對準(zhǔn)標(biāo)記及膜片對準(zhǔn)標(biāo)記下面有兩個20*10mm大的透光小孔，紫外光燈光源穿過小孔照射到對應(yīng)掩模版對準(zhǔn)標(biāo)記及膜片對準(zhǔn)標(biāo)記，反射光到兩套成像光學(xué)系統(tǒng)。所述的膜片與掩模版套刻的自動定位步驟是在計算機(jī)屏幕上同時顯示得到的靜態(tài)掩模版對準(zhǔn)標(biāo)記圖像及動態(tài)的膜片對準(zhǔn)標(biāo)記圖像，通過工件臺調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的配合，使動態(tài)的膜片對準(zhǔn)標(biāo)記圖像與靜態(tài)掩模版對準(zhǔn)標(biāo)記圖像中心重合即實(shí)現(xiàn)了膜片與掩模版光刻的自動精確定位。
本發(fā)明使用了紫外光提供CCD鏡頭燈光源，因?yàn)樽詣佣ㄎ幌到y(tǒng)中白色或紅色等顏色的燈對ITO膜片的透過率很高，難以識別ITO膜片不能完成自動定位，紫外線顏色的燈對 ITO膜片透過率低，所以在自動定位時，ITO膜片留下來的圖案就非常清晰，從而很容易就被捕捉，完成光刻前的自動定位。本發(fā)明的有益效果為使用CCD自動成像設(shè)備并用紫外光燈提供光源，結(jié)構(gòu)簡單， 圖案清晰，能夠精確自動定位光刻ITO膜片，提高了加工質(zhì)量。


下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)原理圖。圖2為本發(fā)明的一實(shí)施例中的掩模標(biāo)記與膜片標(biāo)記的顯示狀態(tài)說明圖。附圖符號說明1為紫外光燈光源、2為成像光學(xué)系統(tǒng)、3為C⑶成像設(shè)備、4為掩模版、5為膜片、6為掩模版對準(zhǔn)標(biāo)記、7為膜片對準(zhǔn)標(biāo)記、8為圖像采集卡、9為計算機(jī)、10為移動平臺、11為小孔。
具體實(shí)施例方式如圖1、2所示，一種ITO膜片光刻自動識別定位方法，其中包括下列步驟將兩個功率為3. 5W、波長為365nM紫外光燈光源1、兩套CXD成像設(shè)備3及兩套成像光學(xué)系統(tǒng)2裝置于掩模版4及覆有光刻膠的ITO膜片5的下方，兩套CXD成像設(shè)備2通過兩套成像光學(xué)系統(tǒng)3攝取掩模版對準(zhǔn)標(biāo)記6及膜片對準(zhǔn)標(biāo)記7，由圖像采集卡8采集圖像數(shù)據(jù)，輸入至計算機(jī)9中對準(zhǔn)標(biāo)記圖像進(jìn)行處理、定位并實(shí)時顯示，通過計算機(jī)9屏幕上顯示的掩模版對準(zhǔn)標(biāo)記6及膜片對準(zhǔn)標(biāo)記7圖像的相對位置誤差，調(diào)整膜片5的位置，從而實(shí)現(xiàn)膜片5與掩模版4套刻自動精確對位。所述掩模版4及膜片5裝在移動平臺10上，掩模版4置于膜片5上方；移動平臺 10對應(yīng)掩模版4及膜片5左右掩模版對準(zhǔn)標(biāo)記6及膜片對準(zhǔn)標(biāo)記7，移動平臺10下面有兩個20*10mm大的透光小孔11，紫外光燈1光源穿過小孔11照射到對應(yīng)掩模版對準(zhǔn)標(biāo)記6及膜片對準(zhǔn)標(biāo)記7，反射光到兩套成像光學(xué)系統(tǒng)3。本發(fā)明的具體實(shí)現(xiàn)步驟如下
在安放覆有光刻膠的ITP膜片5之前，通過兩路成像光學(xué)系統(tǒng)2和CCD成像設(shè)備3分別獲取靜態(tài)掩模版對準(zhǔn)標(biāo)記6，并經(jīng)過適當(dāng)處理后由計算機(jī)9儲存起來，包括儲存圖像及其位置數(shù)據(jù)。將覆有光刻膠的ITP膜片5放入移動平臺10上，通過調(diào)焦可獲取動態(tài)膜片對準(zhǔn)標(biāo)記7，此時雖然因?yàn)槟て?擋光不能同時獲取掩模版對準(zhǔn)標(biāo)記6，但由于模版對準(zhǔn)標(biāo)記6圖像及其位置數(shù)據(jù)在之前已經(jīng)被保存下來，所以在計算機(jī)9屏幕上同時顯示得到的靜態(tài)掩模版對準(zhǔn)標(biāo)記6圖像及動態(tài)的膜片對準(zhǔn)標(biāo)記7圖像。通過移動平臺10調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的配合，使動態(tài)的膜片對準(zhǔn)標(biāo)記7圖像與靜態(tài)掩模版對準(zhǔn)標(biāo)記6圖像十字中心重合即實(shí)現(xiàn)了膜片5與掩模版4光刻的自動精確定位。根據(jù)如上所述的本發(fā)明的一種ITO膜片光刻自動識別定位方法，可以實(shí)現(xiàn)膜片5與掩模版4光刻的自動精確定位，精確度達(dá)3-5 μ m，提高ITO膜片5光亥Ij質(zhì)量，增加了生產(chǎn)的效益。
權(quán)利要求
1.一種ITO膜片光刻自動識別定位方法，其特征在于有兩個紫外光燈光源、兩套CCD 成像設(shè)備及兩套成像光學(xué)系統(tǒng)裝置于掩模版及膜片的下方，兩套CCD成像設(shè)備通過兩套成像光學(xué)系統(tǒng)攝取掩模版對準(zhǔn)標(biāo)記及膜片對準(zhǔn)標(biāo)記，由圖像采集卡采集圖像數(shù)據(jù)，輸入至計算機(jī)中對準(zhǔn)標(biāo)記圖像進(jìn)行處理、定位并實(shí)時顯示，通過計算機(jī)屏幕上顯示的掩模版對準(zhǔn)標(biāo)記及膜片對準(zhǔn)標(biāo)記圖像的相對位置誤差，調(diào)整膜片的位置，從而實(shí)現(xiàn)膜片與掩模版自動精確對位。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種ITO膜片光刻自動識別定位方法，其特征在于所述掩模版及膜片裝在移動平臺上，掩模版置于膜片上方；移動平臺對應(yīng)掩模版對準(zhǔn)標(biāo)記及膜片對準(zhǔn)標(biāo)記下面有兩個透光小孔，紫外光燈光源穿過小孔照射到對應(yīng)掩模版對準(zhǔn)標(biāo)記及膜片對準(zhǔn)標(biāo)記，反射光到兩套成像光學(xué)系統(tǒng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種ITO膜片光刻自動識別定位方法，其特征在于所述的膜片與掩模版套刻的自動定位步驟是在計算機(jī)屏幕上同時顯示得到的靜態(tài)掩模版對準(zhǔn)標(biāo)記圖像及動態(tài)的膜片對準(zhǔn)標(biāo)記圖像，通過工件臺調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的配合，使動態(tài)的膜片左右對準(zhǔn)標(biāo)記圖像與靜態(tài)掩模版左右對準(zhǔn)標(biāo)記圖像中心重合即實(shí)現(xiàn)了膜片與掩模版光刻的自動精確定位。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種ITO膜片光刻自動識別定位方法，其特征在于有兩個紫外光燈光源、兩套CCD成像設(shè)備及兩套成像光學(xué)系統(tǒng)裝置于掩模版及膜片的下方，兩套CCD成像設(shè)備通過兩套成像光學(xué)系統(tǒng)攝取掩模版及膜片底面的左右對準(zhǔn)標(biāo)記，由圖像采集卡采集圖像數(shù)據(jù)，輸入至計算機(jī)中對準(zhǔn)標(biāo)記圖像進(jìn)行處理、定位并實(shí)時顯示，通過計算機(jī)屏幕上顯示的掩模版及膜片左右對準(zhǔn)標(biāo)記圖像的相對位置誤差，調(diào)整膜片的位置，從而實(shí)現(xiàn)膜片與掩模版自動精確對位，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、自動成像清晰精確度達(dá)3-5μm、光刻加工質(zhì)量高。
文檔編號G03F9/00GK102338995SQ20111033133
公開日2012年2月1日 申請日期2011年10月27日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月27日
發(fā)明者周學(xué)卿 申請人:東莞市潤華光電有限公司