專利名稱：色散調(diào)節(jié)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及超強(qiáng)超短激光，是一種用于超強(qiáng)超短激光系統(tǒng)的色散調(diào)節(jié)裝置，主要適用于超短(10_15 10_12秒)超強(qiáng)(1012 IO18瓦)激光系統(tǒng)中對激光脈沖進(jìn)行展寬和壓縮。
背景技術(shù)：
啁啾脈沖放大(Chirped Pulse Amplif ication，簡寫為CPA)和光學(xué)參量啁啾脈沖放大(Optical Parametric Chirped Pulse Amplif ication，簡寫為 OPCPA)是目前獲取超短超強(qiáng)激光脈沖的經(jīng)典方法，已被廣泛地應(yīng)用于建造多太瓦(即IO12W,簡寫為TW)級激光系統(tǒng)、拍瓦(即IO15W,簡寫為PW)級激光系統(tǒng)以及艾瓦(即IO18W,簡寫為EW)級激光系統(tǒng)。該類激光系統(tǒng)首先利用展寬器對飛秒或亞皮秒的激光脈沖引入一定的啁啾量，使脈沖展寬，然后再注入高增益的預(yù)放，當(dāng)脈沖能量達(dá)到毫焦量級或者焦耳量級時，再通過主放大器將能量提高到設(shè)計(jì)的水平，最后利用壓縮器引入與展寬器相反的啁啾量，使脈沖寬度復(fù)原，從而獲得超強(qiáng)超短的激光脈沖輸出。在該類激光系統(tǒng)中，展寬器和壓縮器是非常重要的器件，它們的合理設(shè)計(jì)對提高整個系統(tǒng)性能是非常重要的。目前，在超強(qiáng)超短激光系統(tǒng)中，當(dāng)系統(tǒng)最后壓縮脈沖的脈寬為0. 5-10ps的時候， 脈沖展寬器一般采用反射式單光柵Martinez展寬器，而不采用Offner展寬器。原因是反射式單光柵Martinez展寬器調(diào)節(jié)方便、快捷、裝置穩(wěn)定，而Offner展寬器光路復(fù)雜，調(diào)節(jié)困難，光學(xué)件的加工難度大，因此在滿足系統(tǒng)總體要求的情況下，盡量采用調(diào)節(jié)方便、快捷、穩(wěn)定的裝置。在采用反射式單光柵Martinez展寬器中，為了保證光路暢通，需要在縱向方向使光路錯開一定的位置，但是為了保證展寬器給系統(tǒng)提供與壓縮器相反的線性色散，該角度不能太大。實(shí)際上，當(dāng)系統(tǒng)要求的展寬量很大時，在有限的光柵尺寸的情況下，為了保證足夠的光譜帶寬，需要使展寬光束多次通過光柵，即展寬器采用多通結(jié)構(gòu)，但是通過光柵的次數(shù)越多，則需要展寬光束在縱向方向上錯開的角度越大。同時在該類展寬器中，光柵縱向方向所使用的尺寸是有限的，即在正常購買的標(biāo)準(zhǔn)光柵尺寸情況下，在光柵縱向方向上大約有1/2的尺寸得不到利用，而光柵的價格是非常昂貴的，這種浪費(fèi)是非?？上У?。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于針對上述現(xiàn)有的超強(qiáng)超短激光脈沖色散調(diào)節(jié)裝置的不足，提供了一種色散調(diào)節(jié)裝置，該裝置僅由一塊光柵同時完成展寬和壓縮任務(wù)，以減少光柵的使用數(shù)量，節(jié)省成本，節(jié)省空間，使結(jié)構(gòu)更加緊湊，同時本發(fā)明裝置的壓縮部分可以根據(jù)系統(tǒng)的需要，分別實(shí)現(xiàn)壓縮和色散調(diào)節(jié)的功能。本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下—種色散調(diào)節(jié)裝置，包括一個平臺，其特點(diǎn)在于包括脈沖展寬和脈沖壓縮兩部分
所述的脈沖展寬部分，在所述的平臺上包括沿脈沖待展寬的激光光束前進(jìn)方向依次的第一偏振片、第一 1/2波片、第一法拉第旋光器、第二偏振片、第一平面反射鏡、第二平面反射鏡、光柵、凹面反射鏡、第三平面反射鏡和第四平面反射鏡，所述的光柵位于所述的凹面反射鏡與所述的第三平面反射鏡之間，所述的凹面反射鏡和光柵垂直于所述的平臺面放置，所述的光柵的入射光線有一個向上的仰角，所述的第三平面反射鏡前表面沿平行于平臺面方向的中心線位于所述的凹面反射鏡的焦平面上，所述的第三平面反射鏡前表面沿實(shí)驗(yàn)臺面的方向有一個向下的俯角，所述的光柵與所述的光柵的衍射光束的光軸的夾角
為|-arcsin(j-sin力，其中λ。為激光中心波長，y為入射激光與所述的光柵法線的夾
(Λ
角，d為所述的光柵的刻線密度，所述的第四平面反射鏡與所述的光柵的出射光線垂直；所述的脈沖壓縮部分包括，在該平臺上沿激光光束前進(jìn)方向依次的第三偏振片、 第二 1/2 λ波片、第二法拉第旋光器、第四偏振片、第五平面反射鏡、光柵、屋脊平面反射鏡和第六平面反射鏡，所述的壓縮部分的入射光線平行于所述的平臺臺面，所述的壓縮部分的入射光線與光柵的法線的夾角和展寬部分的入射光線與所述的Y角相同，所述的壓縮部分的入射光線與展寬部分的入射光線分別位于所述的光柵的兩半部，所述的屋脊反射鏡的鏡面與壓縮部分的衍射光軸的夾角為45°，所述的屋脊反射鏡的反射面沿平行于平臺面方向的中心線垂直于所述的光柵的衍射光線的主光軸，所述的第六平面反射鏡與所述的光柵的出射光線垂直。所述的凹面反射鏡、第一平面反射鏡、第二平面反射鏡、第三平面反射鏡、第四平面反射鏡、第五平面反射鏡、屋脊平面反射鏡和第六平面反射鏡，都鍍有對應(yīng)于工作波長的介質(zhì)全反射膜。所述的凹面反射鏡的曲率半徑為60 2000cm。所述的光柵為反射光柵，其刻線密度可選范圍為800 2000線/mm。所述的凹面反射鏡與所述的光柵之間的距離為凹面反射鏡的曲率半徑值的0. 1 0. 4倍。所述的俯角或仰角的可選范圍為0. 1° 4°。本發(fā)明色散調(diào)節(jié)裝置的工作過程是本發(fā)明裝置包括展寬和壓縮兩部分，所以工作過程也分別從這兩部分進(jìn)行說明， 具體如下展寬部分種子激光經(jīng)過第一個偏振片后，變成完全偏振光，完全偏振光線經(jīng)過第一 1/2波片后，入射光偏振方向改變45°，然后經(jīng)過第一法拉第旋光器，偏振方向再改變45°，此時輸出的光線的偏振方向相對入射時的偏振方向改變90°，該光線通過第二偏振片透射，然后再經(jīng)過第一平面反射鏡和第二平面反射鏡反射后，入射到光柵上，激光脈沖中的不同波長成分在所述光柵的衍射面上展開，衍射光線傳播到所述的凹面反射鏡上，經(jīng)過該凹面反射鏡反射后傳播到第三平面反射鏡上，再經(jīng)過第三平面反射鏡反射后傳播到凹面反射鏡上，由凹面反射鏡反射后回到光柵上，再次經(jīng)光柵衍射后，傳播到第四平面反射鏡上，經(jīng)過第四平面反射鏡反射后，光線沿原光路返回，在第一偏振片處反射輸出。壓縮部分放大后的激光經(jīng)過第三個偏振片后，變成完全偏振光，完全偏振光線經(jīng)過第二1/2 λ波片后，入射光偏振方向改變45°，然后經(jīng)過第二法拉第旋光器，偏振方向再改變 45°，此時輸出的光線的偏振方向相對入射時的偏振方向改變90°，該光線通過第四偏振片透射，然后再經(jīng)過第五平面反射鏡反射后，入射到光柵上，激光脈沖中的不同波長成分在所述光柵的衍射面上展開，衍射光線傳播到所述的屋脊反射鏡上，經(jīng)過屋脊反射鏡反射后， 回到光柵上，再次經(jīng)光柵衍射后，傳播到第六平面反射鏡上，經(jīng)過第六平面反射鏡反射后， 光線沿原光路返回，在第三偏振片處反射輸出。本發(fā)明色散調(diào)節(jié)裝置具有以下優(yōu)點(diǎn)1、僅使用一塊光柵，同時完成了展寬和壓縮任務(wù)，減少了光柵的使用數(shù)量，節(jié)省了成本(注正常情況下，要完成展寬和壓縮器任務(wù)，需要使用三塊以上的光柵)；2、由于該色散調(diào)節(jié)裝置僅使用了一塊光柵，使得該結(jié)構(gòu)更加緊湊，節(jié)省了占用的空間；3、該色散調(diào)節(jié)裝置的壓縮部分可以根據(jù)系統(tǒng)的需要，分別實(shí)現(xiàn)二種不同的功能， 即1)能量較小(能量為焦耳量級)時，可以作為全系統(tǒng)的壓縮器使用；2)全系統(tǒng)微調(diào)色散的功能，通過該壓縮部分，可以獨(dú)立調(diào)節(jié)全系統(tǒng)的負(fù)色散，從而達(dá)到獨(dú)立調(diào)節(jié)全系統(tǒng)色散的功能；


圖1為本發(fā)明僅由一塊光柵同時完成展寬和壓縮任務(wù)的色散調(diào)節(jié)裝置實(shí)施的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1-光柵11-第一偏振片12-第一 1/2 λ波片13-第一法拉第旋光器14-第二偏振片15-第一平面反射鏡16-第二平面反射鏡17-凹面發(fā)射鏡18-第三平面反射鏡 19-第四平面反射鏡21-第三偏振片22-第二 1/2 λ波片23-第二法拉第旋光器24-第四偏振片25-第五平面反射鏡26-屋脊反射鏡27-第六平面反射鏡
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合實(shí)施例和附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步說明，但不應(yīng)以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。實(shí)施例1 本實(shí)施例1為本發(fā)明僅由一塊光柵同時完成展寬和壓縮任務(wù)的色散調(diào)節(jié)裝置的其中一種結(jié)構(gòu)形式，其壓縮部分完成壓縮作用。先請參閱圖1，圖1為本發(fā)明僅由一塊光柵同時完成展寬和壓縮任務(wù)的色散調(diào)節(jié)裝置實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖，由圖可見，本發(fā)明色散調(diào)節(jié)裝置實(shí)施例1的構(gòu)成包括一個平臺、脈沖展寬和脈沖壓縮兩部分所述的脈沖展寬部分包括，在該平臺上沿激光光束前進(jìn)方向依次的第一偏振片 11、第一 1/2波片12、第一法拉第旋光器13、第二偏振片14、第一平面反射鏡15、第二平面反射鏡16、光柵1、凹面反射鏡17、第三平面反射鏡18和第四平面反射鏡19，所述的光柵1 位于所述的凹面反射鏡17與所述的第三平面反射鏡18之間，所述的凹面反射鏡17和光柵 1垂直于所述的平臺面放置，所述的光柵1的入射光線沿平行于實(shí)驗(yàn)臺面的方向有一個向上的仰角，所述的第三平面反射鏡18前表面沿平行于實(shí)驗(yàn)臺面方向的中心線位于所述的
5凹面反射鏡17的焦平面上，所述的第三平面反射鏡18前表面沿實(shí)驗(yàn)臺面的方向有一個向下的俯角，所述的光柵1與所述的光柵1衍射光束的光軸的夾角為|-arCSin(j-Sin力，
(Λ
其中為激光中心波長，Υ為入射激光與所述的光柵ι法線的夾角，d為所述的光柵的刻線密度，所述的第四平面反射鏡(19)與光柵(1)的出射光線垂直；所述的脈沖壓縮部分包括，在該平臺上沿激光光束前進(jìn)方向依次的第三偏振片 21、第二 1/2波片22、第二法拉第旋光器23、第四偏振片24、第五平面反射鏡25、光柵1、屋脊平面反射鏡26和第六平面反射鏡27，所述的壓縮部分的入射光線平行于所述的平臺臺面，所述的壓縮部分的入射光線與光柵1的法線的夾角和展寬部分的入射光線與所述的Y 角相同，所述的壓縮部分的入射光線與展寬部分的入射光線分別位于所述的光柵1的兩半部，所述的屋脊反射鏡26的鏡面與壓縮部分的衍射光軸的夾角為45°，所述的屋脊反射鏡的反射面沿平行于平臺面方向的中心線垂直于所述的光柵1的衍射光線的主光軸，所述的第六平面反射鏡27與所述的光柵1的出射光線垂直。所述的凹面反射鏡17、第一平面反射鏡15、第二平面反射鏡16、第三平面反射鏡 18、第四平面反射鏡19、第五平面反射鏡25、屋脊平面反射鏡沈和第六平面反射鏡27，都鍍有對應(yīng)于工作波長的介質(zhì)全反射膜。所述的俯角或仰角的取值為0. 74°。所述的展寬部分的入射光線與光柵1法線的夾角為70°，所述的光柵1與所述展寬部分主光軸的夾角為沈.8°，所述的第四平面反射鏡19與出射展寬部分的光軸垂直。所述的展寬部分的主光軸為入射光線經(jīng)過光柵1衍射后，中心波長衍射光線的方向。所述的凹面反射鏡17、第三平面反射鏡18以及第四平面反射鏡19都鍍有對應(yīng)于工作波長1053nm的0°介質(zhì)全反射膜。所述的第一平面反射鏡15和第二平面反射鏡16都鍍有對應(yīng)于工作波長1053nm 的45°介質(zhì)全反射膜。根據(jù)本實(shí)施例的系統(tǒng)要求，選取所述的凹面反射鏡17的曲率半徑為800cm。根據(jù)本實(shí)施例的系統(tǒng)要求，選取所述的光柵1的刻線密度為1740線/mm，其中激光的中心波長為1053nm。根據(jù)本實(shí)施例的系統(tǒng)要求，選取所述的第三平面反射鏡18與所述的光柵1之間沿著展寬部分主光軸方向的距離為凹面反射鏡曲率半徑值的0. 22倍。該發(fā)明裝置中實(shí)現(xiàn)脈沖壓縮的部分包括第三偏振片21、第二 1/2 λ波片22、第二法拉第旋光器23、第四偏振片Μ、第五平面反射鏡25、光柵1、屋脊平面反射鏡沈、第六平面反射鏡27，所述的第三偏振片21位于該裝置壓縮光束輸入和輸出的光路中，其特征在于與前面所述的展寬部分共用一塊光柵來實(shí)現(xiàn)脈沖壓縮，同時其特征還在于該壓縮部分僅用一塊共用的單光柵來實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的壓縮任務(wù)，所述的壓縮部分的入射光線平行于實(shí)驗(yàn)臺面， 所述的壓縮部分的入射光線與光柵1法線的夾角和展寬部分的入射光線與光柵1法線的夾角相同，且分別分布于光柵1的兩端。所述的屋脊反射鏡鏡面沈與壓縮部分主光軸的夾角為45°，所述的屋脊反射鏡沈前表面沿平行于實(shí)驗(yàn)臺面方向的中心線垂直于壓縮部分的主光軸。
所述的壓縮部分的主光軸為壓縮部分的入射光線經(jīng)過光柵1衍射后，其中心波長衍射光線的方向。所述的第六平面反射鏡27與壓縮部分的出射光線垂直。所述的第五平面反射鏡25和屋脊平面反射鏡沈，都鍍有對應(yīng)于工作波長1053nm 的45°介質(zhì)全反射膜。所述的第六平面反射鏡27鍍有對應(yīng)于工作波長1053nm的0°介質(zhì)全反射膜。所述的屋脊反射鏡沈與光柵1之間沿著壓縮部分主光軸方向的距離與所述的第三平面反射鏡18與光柵1之間沿著展寬部分主光軸方向的距離相同。所述的展寬部分利用光柵的上半部分，所述的壓縮部分利用光柵的下半部分，且所述的展寬部分的入射光線和壓縮部分的入射光線分別位于光柵的兩端。實(shí)施例2 本實(shí)施例為本發(fā)明色散調(diào)節(jié)裝置的另一種結(jié)構(gòu)形式，其壓縮部分可以完成色散調(diào)節(jié)的功能。先請參閱圖1，圖1同時也為本發(fā)明色散調(diào)節(jié)裝置實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖，其基本參數(shù)、結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1的情況一樣，不同之處在于本實(shí)施例2的壓縮部分中所述的屋脊反射鏡26與光柵1之間沿著壓縮部分主光軸方向的距離為所述的第三平面反射鏡18與光柵1 之間沿著展寬部分主光軸方向的距離的0. 1倍。本發(fā)明色散調(diào)節(jié)裝置具體的工作過程是本發(fā)明實(shí)施例(見圖1)包括展寬和壓縮兩部分，所以工作過程也分別從這兩部分進(jìn)行說明，具體如下展寬部分種子激光(即展寬部分的激光)經(jīng)過第一個偏振片11后，變成完全偏振光，完全偏振光線經(jīng)過第一 1/2λ波片12后，入射光偏振方向改變45°，然后經(jīng)過第一法拉第旋光器13，偏振方向再改變45°，此時輸出的光線的偏振方向相對入射時的偏振方向改變 90°，該光線通過第二偏振片14透射，然后再經(jīng)過第一平面反射鏡15和第二平面反射鏡16 反射后，入射到光柵1上，激光脈沖中的不同波長成分在所述的光柵的衍射面上展開，衍射光線傳播到所述的凹面反射鏡17上，經(jīng)過該凹面反射鏡17反射后傳播到第三平面反射鏡 18上，再經(jīng)過第三平面反射鏡18反射后傳播到凹面反射鏡17上，由凹面反射鏡17反射后回到光柵1上，再次經(jīng)光柵1衍射后，傳播到第四平面反射鏡19上，經(jīng)過第四平面反射鏡19 反射后，光線沿原光路返回，在第一偏振片11處反射輸出。壓縮部分放大后的激光(即壓縮部分的激光)經(jīng)過第三個偏振片21后，變成完全偏振光， 完全偏振光線經(jīng)過第二 1/2 λ波片22后，入射光偏振方向改變45°，然后經(jīng)過第二法拉第旋光器23，偏振方向再改變45°，此時輸出的光線的偏振方向相對入射時的偏振方向改變 90°，該光線通過第四偏振片M透射，然后再經(jīng)過第五平面反射鏡25反射后，入射到光柵 1上，激光脈沖中的不同波長成分在所述的光柵1的衍射面上展開，衍射光線傳播到所述的屋脊反射鏡26上，經(jīng)過屋脊反射鏡沈反射后，回到光柵1上，再次經(jīng)光柵衍射后，傳播到第六平面反射鏡27上，經(jīng)過第六平面反射鏡27反射后，光線沿原光路返回，在第三偏振片21 處反射輸出。
本發(fā)明最大特點(diǎn)是僅使用一塊光柵同時完成了展寬和壓縮任務(wù)，減少了光柵的使用數(shù)量，節(jié)省了成本，節(jié)省了空間，使結(jié)構(gòu)更加緊湊，同時本發(fā)明裝置的壓縮部分可以根據(jù)系統(tǒng)的需要，分別實(shí)現(xiàn)壓縮、色散調(diào)節(jié)的功能。
權(quán)利要求
1.一種僅由一塊光柵同時完成展寬和壓縮任務(wù)的色散調(diào)節(jié)裝置，包括一個平臺，其特征在于包括脈沖展寬和脈沖壓縮兩部分所述的脈沖展寬部分包括，在該平臺上沿激光光束前進(jìn)方向依次的第一偏振片(11)、 第一 1/2波片(12)、第一法拉第旋光器(13)、第二偏振片(14)、第一平面反射鏡(15)、第二平面反射鏡(16)、光柵(1)、凹面反射鏡(17)、第三平面反射鏡(18)和第四平面反射鏡 (19)，所述的光柵(1)位于所述的凹面反射鏡(17)與所述的第三平面反射鏡(18)之間，所述的凹面反射鏡(17)和光柵(1)垂直于所述的平臺面放置，所述的光柵(1)的入射光線沿平行于實(shí)驗(yàn)臺面的方向有一個向上的仰角，所述的第三平面反射鏡(18)前表面沿平行于實(shí)驗(yàn)臺面方向的中心線位于所述的凹面反射鏡(17)的焦平面上，所述的第三平面反射鏡 (18)前表面沿實(shí)驗(yàn)臺面的方向有一個向下的俯角，所述的光柵(1)與所述的光柵(1)衍射光束的光軸的夾角為|-arCSin(j-Sin力，其中λ。為激光中心波長，y為入射激光與所(Λ述的光柵(1)法線的夾角，d為所述的光柵的刻線密度，所述的第四平面反射鏡(19)與光柵(1)的出射光線垂直；所述的脈沖壓縮部分包括，在該平臺上沿激光光束前進(jìn)方向依次的第三偏振片(21)、 第二 1/2 λ波片(22)、第二法拉第旋光器(23)、第四偏振片(M)、第五平面反射鏡(25)、光柵(1)、屋脊平面反射鏡06)和第六平面反射鏡(27)，所述的壓縮部分的入射光線平行于所述的平臺臺面，所述的壓縮部分的入射光線與光柵(1)的法線的夾角和展寬部分的入射光線與所述的Y角相同，所述的壓縮部分的入射光線與展寬部分的入射光線分別位于所述的光柵(1)的兩半部，所述的屋脊反射鏡06)的鏡面與壓縮部分的衍射光軸的夾角為 45°，所述的屋脊反射鏡的反射面沿平行于平臺面方向的中心線垂直于所述的光柵(1)的衍射光線的主光軸，所述的第六平面反射鏡(XT)與所述的光柵(1)的出射光線垂直。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的色散調(diào)節(jié)裝置，其特征在于所述的凹面反射鏡(17)、第一平面反射鏡(15)、第二平面反射鏡(16)、第三平面反射鏡(18)、第四平面反射鏡(19)、第五平面反射鏡(25)、屋脊平面反射鏡06)和第六平面反射鏡(27)，都鍍有對應(yīng)于工作波長的介質(zhì)全反射膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的色散調(diào)節(jié)裝置，其特征在于所述的凹面反射鏡(17)的曲率半徑為60 2000cm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的色散調(diào)節(jié)裝置，其特征在于所述的光柵(1)為反射光柵，其刻線密度可選范圍為800 2000線/_。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的色散調(diào)節(jié)裝置，其特征在于所述的凹面反射鏡 (17)與所述的光柵⑴之間的距離為凹面反射鏡(17)的曲率半徑值的0.1 0.4倍。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的色散調(diào)節(jié)裝置，其特征在于所述的俯角或仰角的可選范圍為0.1° 4°。
全文摘要
一種色散調(diào)節(jié)裝置，包括實(shí)現(xiàn)脈沖展寬和實(shí)現(xiàn)脈沖壓縮兩部分，其中實(shí)現(xiàn)脈沖展寬的部分包括第一偏振片、第一1/2λ波片、第一法拉第旋光器、第二偏振片、第一平面反射鏡、第二平面反射鏡、光柵、凹面反射鏡、第三平面反射鏡以及第四平面反射鏡；實(shí)現(xiàn)脈沖壓縮的部分包括第三偏振片、第二1/2λ波片、第二法拉第旋光器、第四偏振片、第五平面反射鏡、光柵、屋脊平面反射鏡、第六平面反射鏡。本發(fā)明最大特點(diǎn)是僅使用一塊光柵同時完成了展寬和壓縮任務(wù)，減少了光柵的使用數(shù)量，節(jié)省了成本，節(jié)省了空間，使結(jié)構(gòu)更加緊湊，同時本發(fā)明裝置的壓縮部分可以根據(jù)系統(tǒng)的需要，分別實(shí)現(xiàn)壓縮和色散調(diào)節(jié)功能。
文檔編號G02B5/18GK102323704SQ20111026882
公開日2012年1月18日 申請日期2011年9月13日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月13日
發(fā)明者楊慶偉, 謝興龍, 郭愛林 申請人:中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所