專利名稱：光掃描儀及其制造方法、反射鏡芯片以及圖像形成裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光掃描儀、反射鏡芯片、光掃描儀的制造方法以及圖像形成裝置。
背景技術(shù)：
作為例如在激光打印機(jī)等裝置中用于利用光掃描進(jìn)行描繪的光掃描儀，已知有使用了由扭擺振子構(gòu)成的促動(dòng)器的光掃描儀(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。在專利文獻(xiàn)1中公開了具備設(shè)有一對(duì)永久磁鐵的絕緣基板和以位于一對(duì)永久磁鐵之間的方式由絕緣基板支撐的掃描儀主體的促動(dòng)器。另外，掃描儀主體具有框狀的支撐部、設(shè)于支撐部的內(nèi)側(cè)的框狀的外側(cè)可動(dòng)板、和設(shè)于外側(cè)可動(dòng)板的內(nèi)側(cè)的內(nèi)側(cè)可動(dòng)板(反射鏡)。另外，外側(cè)可動(dòng)板借助沿X軸方向延長(zhǎng)的一對(duì)第一扭桿來與支撐部連結(jié)，內(nèi)側(cè)可動(dòng)板借助沿與X軸方向正交的Y軸方向延長(zhǎng)的第二扭桿來與外側(cè)可動(dòng)板連結(jié)。另外，在外側(cè)可動(dòng)板及內(nèi)側(cè)可動(dòng)板分別設(shè)有線圈。在這樣的構(gòu)成的促動(dòng)器中，通過使利用通電而從各線圈中產(chǎn)生的磁場(chǎng)與在一對(duì)永久磁鐵間產(chǎn)生的磁場(chǎng)發(fā)揮作用，外側(cè)可動(dòng)板就與內(nèi)側(cè)可動(dòng)板一起以第一扭桿為中心軸繞著 X軸轉(zhuǎn)動(dòng)，內(nèi)側(cè)可動(dòng)板就以第二扭桿為中心軸繞著Y軸轉(zhuǎn)動(dòng)。專利文獻(xiàn)1日本特開2005-181395號(hào)公報(bào)如此所述，在專利文獻(xiàn)1的促動(dòng)器中，使內(nèi)側(cè)可動(dòng)板繞著X軸轉(zhuǎn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)與繞著 Y軸轉(zhuǎn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)是不同的。由此，就無法使內(nèi)側(cè)可動(dòng)板繞著X軸及Y軸在相等的條件下轉(zhuǎn)動(dòng)。另外，在專利文獻(xiàn)1的促動(dòng)器中，從設(shè)于外側(cè)可動(dòng)板的線圈產(chǎn)生的磁場(chǎng)與從設(shè)于內(nèi)側(cè)可動(dòng)板的線圈產(chǎn)生的磁場(chǎng)相干涉，無法使內(nèi)側(cè)可動(dòng)板繞著X軸及Y軸的各自的軸獨(dú)立地轉(zhuǎn)動(dòng)。 所以，專利文獻(xiàn)1的促動(dòng)器中，存在無法使內(nèi)側(cè)可動(dòng)板繞著X軸及Y軸的各自的軸穩(wěn)定地轉(zhuǎn)動(dòng)的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供如下的光掃描儀及圖像形成裝置，S卩，可以使可動(dòng)板繞著相互正交的2個(gè)軸的各自的軸穩(wěn)定地轉(zhuǎn)動(dòng)，抑制可動(dòng)板與轉(zhuǎn)動(dòng)的軸的偏差，實(shí)現(xiàn)正確的圖像。本發(fā)明是為了解決上述問題的至少一部分而完成的?？梢岳靡韵碌姆绞交蜻m用例來實(shí)現(xiàn)。[適用例1]本適用例的光掃描儀的主旨在于，具備光反射構(gòu)件，其具有光反射面；可動(dòng)部，其具備上述光反射構(gòu)件，并且能夠繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)；4個(gè)可動(dòng)梁，它們從上述可動(dòng)部起沿上述光反射面延伸，并且在上述可動(dòng)部的俯視中沿上述可動(dòng)部的周向以90 度的間隔設(shè)置；位移部，其與上述可動(dòng)梁連結(jié)；2個(gè)驅(qū)動(dòng)梁，它們從上述位移部起與上述可動(dòng)梁正交地沿上述光反射面的表面方向延伸；固定部，其連結(jié)上述驅(qū)動(dòng)梁；內(nèi)框部，其形成于上述位移部；永久磁鐵，其固定于上述內(nèi)框部；驅(qū)動(dòng)部，其驅(qū)動(dòng)上述位移部，上述可動(dòng)梁具有使上述可動(dòng)梁沿與上述光反射面垂直的方向進(jìn)行屈曲變形的屈曲部。
這樣，就可以獨(dú)立地進(jìn)行繞著相互正交的2個(gè)軸中的一方的軸的可動(dòng)部的轉(zhuǎn)動(dòng)、 和繞著另一方的軸的可動(dòng)部的轉(zhuǎn)動(dòng)。由此，就可以提供能夠使可動(dòng)部繞著相互正交的2個(gè)軸的各自的軸穩(wěn)定地轉(zhuǎn)動(dòng)的光掃描儀。此外，這樣的話，就可以將驅(qū)動(dòng)位移部的驅(qū)動(dòng)部靠近固定在位移部的內(nèi)框部中的永久磁鐵地配置。由此，就可以將利用永久磁鐵在驅(qū)動(dòng)部中產(chǎn)生的扭距設(shè)為高的狀態(tài)。由于扭距與磁場(chǎng)成比例，由線圈產(chǎn)生的磁場(chǎng)與電流成比例，因此通過將驅(qū)動(dòng)部靠近永久磁鐵地配置，就可以用低電流來產(chǎn)生相同的扭距。此外，由于耗電與電流的平方成比例，因此可以降低驅(qū)動(dòng)位移部的驅(qū)動(dòng)部的耗電，從而可以獲得實(shí)現(xiàn)節(jié)電化且穩(wěn)定地驅(qū)動(dòng)的雙軸驅(qū)動(dòng)的光掃描儀。[適用例2]優(yōu)選地，在上述適用例的光掃描儀中，上述內(nèi)框部朝向上述可動(dòng)梁延伸的方向開口。這樣的話，由于內(nèi)框部朝向可動(dòng)梁延伸的方向開口，因此在驅(qū)動(dòng)部與永久磁鐵之間不存在內(nèi)框部，所以就可以將驅(qū)動(dòng)部更靠近永久磁鐵地配置，從而可以獲得實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步的節(jié)電化的光掃描儀。[適用例3]本適用例的反射鏡芯片的主旨在于，具備光反射構(gòu)件，其具有光反射面；可動(dòng)部，其具備上述光反射構(gòu)件，并且能夠繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)；4個(gè)可動(dòng)梁，它們從上述可動(dòng)部起沿上述光反射面延伸，并且在上述可動(dòng)部的俯視中沿上述可動(dòng)部的周向以90 度的間隔設(shè)置；位移部，其與上述可動(dòng)梁連結(jié)；2個(gè)驅(qū)動(dòng)梁，它們從上述位移部起與上述可動(dòng)梁正交地沿上述光反射面的表面方向延伸；固定部，其連結(jié)著上述驅(qū)動(dòng)梁；內(nèi)框部，其形成于上述位移部；永久磁鐵，其固定于上述內(nèi)框部；支撐部，其包圍上述可動(dòng)部、上述可動(dòng)梁、上述位移部、上述驅(qū)動(dòng)梁以及上述固定部而形成；分離部，其將上述固定部與上述支撐部連結(jié)，上述可動(dòng)梁具有使上述可動(dòng)梁沿與上述光反射面垂直的方向進(jìn)行屈曲變形的屈曲部。這樣的話，由于反射鏡芯片不僅利用驅(qū)動(dòng)梁，而且還利用支撐部及分離部連結(jié)固定部，因此與僅利用驅(qū)動(dòng)梁連結(jié)固定部的情況相比剛性更高，所以在保持反射鏡芯片、將固定部配置于底座上、使固定部與底座接合等時(shí)，不會(huì)有使反射鏡芯片破損的情況，可以如上所述地保持、配置、接合。即，可以提供如下的反射鏡芯片，其能夠以高材料利用率制造具備可以繞著相互正交的2個(gè)軸的各自的軸穩(wěn)定地轉(zhuǎn)動(dòng)的可動(dòng)部的光掃描儀。[適用例4]優(yōu)選地，在上述適用例的反射鏡芯片中，上述分離部將上述固定部與上述支撐部局部地連結(jié)。這樣的話，由于分離部是將固定部與支撐部局部地連結(jié)而構(gòu)成的，因此可以選擇性地使分離部的強(qiáng)度比其他部分弱。從而，能夠更為可靠地在分離部中將固定部與支撐部分離。[適用例5]優(yōu)選地，在上述適用例的反射鏡芯片中，上述分離部具有比上述固定部及上述支撐部的厚度小的厚度。這樣的話，由于分離部是以比固定部及支撐部小的厚度構(gòu)成的，因此可以選擇性地使分離部的強(qiáng)度比其他部分弱。從而，能夠更為可靠地在分離部中將固定部與支撐部分
1 O[適用例6]本適用例的光掃描儀的制造方法是光掃描儀的制造方法，其主旨在于，包括形成反射鏡芯片的工序、固定工序、分離工序，其中上述反射鏡芯片具備光反射構(gòu)件，其具有光反射面；可動(dòng)部，其具備上述光反射構(gòu)件，并且能夠繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)；4 個(gè)可動(dòng)梁，它們從上述可動(dòng)部起沿上述光反射面延伸，并且在上述可動(dòng)部的俯視中沿上述可動(dòng)部的周向以90度的間隔設(shè)置；位移部，其與上述可動(dòng)梁連結(jié)；2個(gè)驅(qū)動(dòng)梁，它們從上述位移部起與上述可動(dòng)梁正交地沿上述光反射面的表面方向延伸；固定部，其連結(jié)著上述驅(qū)動(dòng)梁；支撐部，其包圍上述可動(dòng)部、上述可動(dòng)梁、上述位移部、上述驅(qū)動(dòng)梁以及上述固定部而形成；分離部，其將上述固定部與上述支撐部連結(jié)，上述可動(dòng)梁具有使上述可動(dòng)梁沿與上述光反射面垂直的方向進(jìn)行屈曲變形的屈曲部，上述固定工序是將上述固定部固定于底座上的工序，上述分離工序是在上述分離部中將上述固定部與上述支撐部分離的工序。
這樣的話，由于不僅利用驅(qū)動(dòng)梁，而且還利用支撐部及分離部連結(jié)固定部，因此與僅利用驅(qū)動(dòng)梁連結(jié)固定部的情況相比可以提高剛性。由此，在保持支撐部及固定部、將固定部配置于底座上、使固定部與底座接合等時(shí)，不會(huì)有使支撐部以及由支撐部包圍的可動(dòng)部、 可動(dòng)梁、位移部、驅(qū)動(dòng)梁及固定部破損的情況，可以如上所述地保持、配置、接合。即，能夠以高材料利用率制造具備可以繞著相互正交的2個(gè)軸的各自的軸穩(wěn)定地轉(zhuǎn)動(dòng)的可動(dòng)部的光掃描儀。


圖1是表示第一-實(shí)施方式的光掃描儀的概略俯視圖。
圖2是第一實(shí)施方式的光掃描儀的剖面圖。
圖3是第一實(shí)施方式的光掃描儀具有的連結(jié)部的立體圖。
圖4是說明第一-實(shí)施方式的光掃描儀具有的位移機(jī)構(gòu)的圖。
圖5是說明第一-實(shí)施方式的光掃描儀的驅(qū)動(dòng)的圖。
圖6是說明第一-實(shí)施方式的光掃描儀的驅(qū)動(dòng)的圖。
圖7是說明第一-實(shí)施方式的光掃描儀的驅(qū)動(dòng)的圖。
圖8是說明第一-實(shí)施方式的光掃描儀的驅(qū)動(dòng)的圖。
圖9是表示關(guān)于第一實(shí)施方式的光掃描儀的位移部的內(nèi)框部的變形例的概略俯視圖。
圖10是表示第:二實(shí)施方式的反射鏡芯片的概略俯視圖。
圖11是表示第:Ξ實(shí)施方式的光掃描儀的制造方法的流程圖。
圖12是表示第JΞ實(shí)施方式的光掃描儀的制造方法的概略工序圖。
圖13是表示第JΞ實(shí)施方式的光掃描儀的制造方法的概略工序圖。
圖14是表示第四實(shí)施方式的投影儀的概略構(gòu)成圖。
附圖標(biāo)記說明
1.. 光掃描儀，2…可動(dòng)部，3…支撐部，4、5、6、7…連結(jié)部，8…位移機(jī)構(gòu)，10···反射
鏡芯片，11···振動(dòng)基板，12…底座，13…固定部，14···分離部，20···光反射構(gòu)件，21…面，22··· 光反射部，23···支撐構(gòu)件，41、51、61、71…位移部，42、52、62、72…可動(dòng)梁，43、53、63、73…驅(qū)動(dòng)梁，81···第一位移機(jī)構(gòu)，82···第二位移機(jī)構(gòu)，83···第三位移機(jī)構(gòu)，84···第四位移機(jī)構(gòu)，85··· 線圈固定部，91···保持夾具，92···分離夾具，121…基部，122…基板保持部，200…投影儀， 210…光源裝置，211···紅色光源裝置，212···藍(lán)色光源裝置，213···綠色光源裝置，220…二向色鏡，230…掃描軌跡，250…固定反射鏡，280…屏幕，411…內(nèi)框部，421、521、621、721…屈曲部，422、522、622、722…可動(dòng)部側(cè)可動(dòng)梁，423、523、623、723…位移部側(cè)可動(dòng)梁，810、820、 830、840…驅(qū)動(dòng)部，811、821、831、841 …永久磁鐵，812、822、832、842…線圈，813、823、833、 843…電源，851 …突出部，4211、4212、6211、6212…變形部，4213、5213、6213、7213…非變形部，4214、4215、5214、5215、6214、6215、7214、7215…連接部，XI、X2、X3、Yl、Y2、Y3、Y4…轉(zhuǎn)
動(dòng)中心軸。
具體實(shí)施例方式下面，對(duì)本發(fā)明的光掃描儀及圖像形成裝置的優(yōu)選實(shí)施方式的一例進(jìn)行說明。以下，為了便于說明，將圖中的左側(cè)稱作“左”，將右側(cè)稱作“右”，將圖中的上側(cè)稱作“上”，將下側(cè)稱作“下”。另外，將如圖1所示相互正交的3個(gè)軸設(shè)為X軸、Y軸及Z軸，非驅(qū)動(dòng)狀態(tài)的可動(dòng)部的面與由X軸及Y軸形成的面一致(平行)，可動(dòng)部的厚度方向與Z軸一致。另外，以下，將平行于X軸的方向稱作“X軸方向”，將平行于Y軸的方向稱作“Y軸方向”，將平行于Z軸的方向稱作“ Z軸方向”。<第一實(shí)施方式>對(duì)第一實(shí)施方式的光掃描儀1進(jìn)行說明。圖1及圖2所示的光掃描儀1具有振動(dòng)基板11，其由可動(dòng)部2、由可動(dòng)部2支撐的光反射構(gòu)件20、與可動(dòng)部2連結(jié)的4個(gè)連結(jié)部4、5、6、7、連結(jié)連結(jié)部4、5、6、7的固定部13 構(gòu)成；底座12，其支撐振動(dòng)基板11 ；位移機(jī)構(gòu)8，其使可動(dòng)部2位移。下面，對(duì)光掃描儀1的各構(gòu)成依次詳細(xì)說明。這里，圖2 (a)是圖1的A-A剖面圖，圖2(b)是圖1的C-C剖面圖。(1-1.振動(dòng)基板 11)在第一實(shí)施方式中，振動(dòng)基板11 (即、可動(dòng)部2、4個(gè)固定部13以及4個(gè)連結(jié)部4、 5、6、7)是通過利用干式蝕刻及濕式蝕刻等各種蝕刻法來除去SOI基板的不需要部位而一體化形成的。4個(gè)固定部13分別與連結(jié)部4、5 (5、6及6、7及4、7)連結(jié)，并被設(shè)置為利用4個(gè)固定部13和4個(gè)連結(jié)部4、5、6、7將可動(dòng)部2的周圍包圍。雖然對(duì)4個(gè)固定部13的XY俯視形狀以矩形進(jìn)行了圖示，但并不限定于此，例如也可以是三角形、正方形等多邊形、圓形或橢圓形等。另外，雖然對(duì)4個(gè)固定部13的形狀分別以相同的大小及相同的形狀進(jìn)行了圖示，但并不限定于此，可以適當(dāng)?shù)貨Q定形狀?？蓜?dòng)部2形成平板狀。此外，在可動(dòng)部2中，配置有具備支撐構(gòu)件23的光反射構(gòu)件20。光反射構(gòu)件20形成平板狀，在光反射構(gòu)件20的一方的面(與底座12相反一側(cè)的面)21中，形成有具有光反射性的光反射部22。此外，將支撐構(gòu)件23利用粘接劑等固定于可動(dòng)部2中，由此由可動(dòng)部2來支撐光反射構(gòu)件20。光反射部22例如可以通過在面21上利用蒸鍍等形成金、銀、鋁等的金屬膜等來獲得。而且，雖然在第一實(shí)施方式中可動(dòng)部2的XY俯視形狀為圓形，然而作為可動(dòng)部2 的XY俯視形狀，沒有特別限定，例如也可以是三角形、長(zhǎng)方形、正方形等多邊形、橢圓形等。另外，反射部22也可以直接設(shè)于可動(dòng)部2的與底座12相反一側(cè)的面中。這樣的可動(dòng)部2由4個(gè)連結(jié)部4、5、6、7而與固定部13連結(jié)。4個(gè)連結(jié)部4、5、6、7 在可動(dòng)部2的XY俯視中，沿可動(dòng)部2的周向以相等間隔、即90度的間隔配置。此外，4個(gè)連結(jié)部4、5、6、7當(dāng)中的連結(jié)部4、6夾隔著可動(dòng)部2沿X軸方向相面對(duì)，并且相對(duì)于可動(dòng)部2對(duì)稱地形成，連結(jié)部5、7夾隔著可動(dòng)部2沿Y軸方向相面對(duì)，并且相對(duì)于可動(dòng)部2對(duì)稱地形成。通過利用這樣的連結(jié)部4、5、6、7來支撐可動(dòng)部2，就能夠以穩(wěn)定的狀態(tài)支撐可動(dòng)部2。4個(gè)連結(jié)部4、5、6、7形成彼此相同的構(gòu)成。具體來說，連結(jié)部(第一連結(jié)部)4具有位移部41、可動(dòng)梁42、一對(duì)驅(qū)動(dòng)梁43?？蓜?dòng)梁42將位移部41與可動(dòng)部2連結(jié)。驅(qū)動(dòng)梁43將位移部41與固定部13連結(jié)。此外，連結(jié)部(第三連結(jié)部)5具有位移部51、可動(dòng)梁52、一對(duì)驅(qū)動(dòng)梁53。可動(dòng)梁 52將位移部51與可動(dòng)部2連結(jié)。驅(qū)動(dòng)梁53將位移部51與固定部13連結(jié)。另外，連結(jié)部(第二連結(jié)部)6具有位移部61、可動(dòng)梁62、一對(duì)驅(qū)動(dòng)梁63?？蓜?dòng)梁 62將位移部61與可動(dòng)部2連結(jié)。驅(qū)動(dòng)梁63將位移部61與固定部13連結(jié)。同樣地，連結(jié)部(第四連結(jié)部)7具有位移部71、可動(dòng)梁72、一對(duì)驅(qū)動(dòng)梁73。可動(dòng)梁72將位移部71與可動(dòng)部2連結(jié)。驅(qū)動(dòng)梁73將位移部71與固定部13連結(jié)。而且，上述“相同的構(gòu)成”是指構(gòu)成連結(jié)部的要素是共同的意思。所以，對(duì)于外形形狀不需要一致。通過將各連結(jié)部4、5、6、7設(shè)為這樣的構(gòu)成，連結(jié)部的構(gòu)成就會(huì)變得簡(jiǎn)單，并且可以順暢地進(jìn)行可動(dòng)部2的繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸XI、Yl的轉(zhuǎn)動(dòng)等。下面，對(duì)連結(jié)部4、5、6、7進(jìn)行具體說明，然而由于連結(jié)部4、5、6、7的構(gòu)成彼此相同，因此針對(duì)連結(jié)部4進(jìn)行代表性的說明，對(duì)于其他的連結(jié)部5、6、7省略其說明。而且，連結(jié)部5、7在可動(dòng)部2的XY俯視中，以相對(duì)于連結(jié)部4旋轉(zhuǎn)了 90度的狀態(tài)配置。由此，對(duì)于連結(jié)部5、7，也可以通過將下述的連結(jié)部4的說明中的“Y軸方向”作為“X軸方向”、將“X軸方向”作為“Y軸方向”而說明。如圖3所示，一對(duì)驅(qū)動(dòng)梁43夾隔著位移部41沿Y軸方向相面對(duì)地配置，雙向地支撐位移部41。另外，一對(duì)驅(qū)動(dòng)梁43分別形成沿Y軸方向延長(zhǎng)的棒狀。另外，一對(duì)驅(qū)動(dòng)梁43 可以繞著驅(qū)動(dòng)梁43的中心軸扭轉(zhuǎn)變形。這樣的一對(duì)驅(qū)動(dòng)梁43被同軸地設(shè)置，以該軸(以下也稱作“轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Y2”)為中心，一對(duì)驅(qū)動(dòng)梁43扭轉(zhuǎn)變形，同時(shí)位移部41轉(zhuǎn)動(dòng)。位移部41被相對(duì)于可動(dòng)部2沿X軸方向分開地設(shè)置。另外，位移部41如前所述由一對(duì)驅(qū)動(dòng)梁43雙向支撐。在這樣的位移部41中形成有內(nèi)框部411。該內(nèi)框部411也可以說是，由沿與位移部41的光反射構(gòu)件20平行的面的法線方向貫穿位移部41的通孔形成的。此外，在該內(nèi)框部411中插穿、固定著永久磁鐵811。永久磁鐵811例如利用嵌合(壓入)、粘接劑固定于位移部41中。而且，作為位移部41的俯視形狀，沒有特別限定，例如也可以是三角形或正方形或五邊形以上的多邊形，還可以是圓形。這樣的位移部41利用可動(dòng)梁42而與可動(dòng)部2連結(jié)?？蓜?dòng)梁42被設(shè)為整體上沿X 軸方向延長(zhǎng)。這樣的可動(dòng)梁42具有設(shè)于位移部41與可動(dòng)部2之間的屈曲部421、可動(dòng)部側(cè)可動(dòng)梁422、位移部側(cè)可動(dòng)梁423?？蓜?dòng)部側(cè)可動(dòng)梁422將屈曲部421與可動(dòng)部2連結(jié)， 位移部側(cè)可動(dòng)梁423將屈曲部421與位移部41連結(jié)?？蓜?dòng)部側(cè)可動(dòng)梁422及位移部側(cè)可動(dòng)梁423分別形成沿X軸方向延長(zhǎng)的棒狀。另外，可動(dòng)部側(cè)可動(dòng)梁422及位移部側(cè)可動(dòng)梁423被同軸地設(shè)置。這2個(gè)軸部中的位移部側(cè)可動(dòng)梁423優(yōu)選地設(shè)定為在光掃描儀1的驅(qū)動(dòng)時(shí)不會(huì)引起大的變形的硬度，更優(yōu)選地設(shè)定為實(shí)質(zhì)上不會(huì)變形的硬度。與之不同，可動(dòng)部側(cè)可動(dòng)梁 422可以繞著其中心軸扭轉(zhuǎn)變形。這樣，通過使可動(dòng)梁42具有實(shí)質(zhì)上不會(huì)變形的硬的部分及位于其頭端側(cè)的可以扭轉(zhuǎn)變形的部位，就可以使可動(dòng)部2繞著X軸及Y軸的各自的軸穩(wěn)定地轉(zhuǎn)動(dòng)。而且，上述“不會(huì)變形”是指，實(shí)質(zhì)上不會(huì)引起向Z軸方向的屈曲或彎曲以及繞著中心軸的扭轉(zhuǎn)變形的意思。這樣的可動(dòng)部側(cè)可動(dòng)梁422及位移部側(cè)可動(dòng)梁423，借助屈曲部421連結(jié)。屈曲部 421具有如下的功能，S卩、成為可動(dòng)梁42屈曲變形時(shí)的節(jié)的功能，以及緩解(吸收)因可動(dòng)部側(cè)可動(dòng)梁422的扭轉(zhuǎn)變形而產(chǎn)生的扭距，防止或抑制上述扭距向位移部側(cè)可動(dòng)梁423傳遞的功能。如圖3所示，屈曲部421具有一對(duì)變形部4211、4212 ；設(shè)于它們之間的非變形部 4213 ；將變形部4211與非變形部4213連接的一對(duì)連接部4214 ；將變形部4212與非變形部 4213連接的一對(duì)連接部4215。非變形部4213形成沿Y軸方向延長(zhǎng)的棒狀。這樣的非變形部4213被設(shè)定為在光掃描儀1的驅(qū)動(dòng)時(shí)實(shí)質(zhì)上不會(huì)變形的硬度。這樣，就能夠以非變形部4213的轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸W 為中心使可動(dòng)梁42屈曲，可以使屈曲部421可靠地發(fā)揮作為節(jié)的功能，從而可以穩(wěn)定地驅(qū)動(dòng)光掃描儀1。相對(duì)于這樣的非變形部4213對(duì)稱地配置一對(duì)變形部4211、4212。變形部4211、 4212分別形成沿Y軸方向延長(zhǎng)的棒狀。另外，變形部4211、4212彼此沿X軸方向分開地并排設(shè)置。這樣的變形部4211、4212分別可以繞著其中心軸扭轉(zhuǎn)變形。位于可動(dòng)部2側(cè)的變形部4211，在其長(zhǎng)度方向的大致中央與可動(dòng)部側(cè)可動(dòng)梁422 的一端連結(jié)，并且在其兩端部借助一對(duì)連接部4214與非變形部4213連結(jié)。同樣地，位于位移部41側(cè)的變形部4212，在其長(zhǎng)度方向的大致中央與位移部側(cè)可動(dòng)梁423的一端連結(jié)，并且在其兩端部借助一對(duì)連接部4215與非變形部4213連結(jié)。一對(duì)連接部4214的一方的連接部將變形部4211及非變形部4213的一個(gè)端部之間連結(jié)，另一方的連接部將變形部4211及非變形部4213的另一個(gè)端部之間連結(jié)。另外，一對(duì)連接部4215的一方的連接部將變形部4212及非變形部4213的一個(gè)端部之間連結(jié)，另一方的連接部將變形部4212及非變形部4213的另一個(gè)端部之間連結(jié)。這樣的各連接部4214、4215形成沿X軸方向延長(zhǎng)的棒狀。另外，各連接部4214、 4215可以沿Z軸方向彎曲，并且可以繞著其中心軸扭轉(zhuǎn)變形。以上，對(duì)振動(dòng)基板11的構(gòu)成進(jìn)行了具體說明。如前所述，這樣的構(gòu)成的振動(dòng)基板11，是從SOI基板中一體化地形成的。由此，振動(dòng)基板11的形成變得容易。具體來說，如前所述，在振動(dòng)基板11中，混雜著主動(dòng)地使之變形的部位和不使之變形的(難以使之變形的)部位。另一方面，SOI基板是按照第一 Si層、 SiO2層、第二 Si層的基板的順序?qū)盈B它們而成的基板。所以，通過以上述所有的3個(gè)層來構(gòu)成不使之變形的部位，并且僅以第二 Si層來構(gòu)成主動(dòng)地使之變形的部位，即、通過使SOI 基板的厚度不同，就可以很簡(jiǎn)單地形成混雜著使之變形的部位和不使之變形的部位的振動(dòng)基板11。而且，主動(dòng)地使之變形的部位也可以由第Si層和SiA層這2層來構(gòu)成。上述“使之變形的部位”包含驅(qū)動(dòng)梁43、53、63、73、可動(dòng)部側(cè)可動(dòng)梁422、522、 622、722、變形部 4211、4212、5211、5212、6211、6212、7211、7212、以及連接部 4214、4215、5214、5215、6214、6215、7214、7215。另一方面，上述“不使之變形的部位”包含可動(dòng)部2、固定部13、位移部41、51、61、 71、位移部側(cè)可動(dòng)梁423、523、623、723以及非變形部4213、5213、6213、7213。(1-2.底座 12)如圖2(a)所示的圖1的A_A剖面圖所示，底座12具有平板狀的基部121、設(shè)于基部121的四角的基板保持部122。如圖2(b)所示的圖1的C-C剖面圖所示，這樣的底座12 利用基板保持部122與振動(dòng)基板11的固定部13的下面接合。這樣，就由底座12來支撐振動(dòng)基板11。這樣的底座12例如是以Pyrex (注冊(cè)商標(biāo))、TempaX等玻璃或者硅或鋁作為主材料構(gòu)成的。而且，作為底座12與固定部13的接合方法，沒有特別限定，例如既可以使用粘接劑來接合，也可以使用陽(yáng)極接合等各種接合方法。另外，雖然設(shè)為底座12在四角具有基板保持部122，然而并不限定于此，基板保持部122只要與振動(dòng)基板11的固定部13的位置對(duì)應(yīng)地設(shè)于基部121上即可。(1-3.位移機(jī)構(gòu) 8)如圖1所示，位移機(jī)構(gòu)8具有第一位移機(jī)構(gòu)81、第二位移機(jī)構(gòu)82、第三位移機(jī)構(gòu) 83、第四位移機(jī)構(gòu)84。第一位移機(jī)構(gòu)81具有永久磁鐵811、卷繞有線圈812的驅(qū)動(dòng)部810以及電源813。 第二位移機(jī)構(gòu)82具有永久磁鐵821、卷繞有線圈822的驅(qū)動(dòng)部820以及電源823。第三位移機(jī)構(gòu)83具有永久磁鐵831、卷繞有線圈832的驅(qū)動(dòng)部830以及電源833。第四位移機(jī)構(gòu) 84具有永久磁鐵841、卷繞有線圈842的驅(qū)動(dòng)部840以及電源843。此外，第一位移機(jī)構(gòu)81與連結(jié)部4對(duì)應(yīng)地設(shè)置，第二位移機(jī)構(gòu)82與連結(jié)部5對(duì)應(yīng)地設(shè)置，第三位移機(jī)構(gòu)83與連結(jié)部6對(duì)應(yīng)地設(shè)置，第四位移機(jī)構(gòu)84與連結(jié)部7對(duì)應(yīng)地設(shè)置。根據(jù)這樣的構(gòu)成，位移機(jī)構(gòu)8的構(gòu)成變得簡(jiǎn)單。另外，通過將位移機(jī)構(gòu)8設(shè)為電磁驅(qū)動(dòng)，就可以產(chǎn)生比較大的力，可以更為可靠地轉(zhuǎn)動(dòng)可動(dòng)部2。另外，由于在各連結(jié)部4、5、 6、7中設(shè)有1個(gè)位移機(jī)構(gòu)8(81、82、83、84)，因此可以使各連結(jié)部4、5、6、7獨(dú)立地變形。由此，就可以使可動(dòng)部2以各種方式位移。下面，針對(duì)第一位移機(jī)構(gòu)81、第二位移機(jī)構(gòu)82、第三位移機(jī)構(gòu)83、第四位移機(jī)構(gòu)84 進(jìn)行說明，然而由于它們分別是相同的構(gòu)成，因此下面針對(duì)第一位移機(jī)構(gòu)81進(jìn)行代表性的說明，對(duì)于第二位移機(jī)構(gòu)82、第三位移機(jī)構(gòu)83、第四位移機(jī)構(gòu)84省略其說明。而且，第二位移機(jī)構(gòu)82及第四位移機(jī)構(gòu)84在可動(dòng)部2的俯視中，以相對(duì)于第一位移機(jī)構(gòu)81旋轉(zhuǎn)了 90 度的狀態(tài)配置。由此，對(duì)于第二位移機(jī)構(gòu)82及第四位移機(jī)構(gòu)83，也可以通過將下述的第一位移機(jī)構(gòu)81的說明中的“Y軸方向”作為“X軸方向”、將“X軸方向”作為“Y軸方向，，來說明。如圖3及圖4所示，永久磁鐵811形成棒狀，沿其長(zhǎng)度方向磁化。即，永久磁鐵811 的長(zhǎng)度方向的一端側(cè)成為S極，另一端側(cè)成為N極。這樣的永久磁鐵811被插穿在形成于位移部41中的內(nèi)框部411中，在長(zhǎng)度方向的大致中央固定于位移部41中。此外，永久磁鐵 811在位移部41的上下以相同的長(zhǎng)度突出，并且S極與N極夾隔著位移部41 (轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸 Y2)相面對(duì)。這樣，就可以使可動(dòng)部2穩(wěn)定地位移。另外，永久磁鐵811被設(shè)為，其長(zhǎng)度方向與位移部41的表面方向正交。另外，永久磁鐵811被設(shè)為，其中心軸與轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Y2相交。
作為這樣的永久磁鐵811，沒有特別限定，例如可以優(yōu)選使用釹磁鐵、鐵氧體磁鐵、 釤鈷磁鐵、鋁鎳鈷磁鐵、粘結(jié)磁鐵等將硬磁性體著磁的磁鐵。而且，雖然在第一實(shí)施方式中永久磁鐵811形成棒狀，然而作為永久磁鐵的形狀， 沒有特別限定，例如也可以制成板狀或圓柱狀。在該情況下，只要將永久磁鐵811沿表面方向磁化，使其表面方向與X軸方向正交地固定于位移部41中即可。這樣，由于可以縮短永久磁鐵811的X軸方向長(zhǎng)度，因此可以抑制伴隨著位移部41的轉(zhuǎn)動(dòng)產(chǎn)生的慣性矩。線圈812產(chǎn)生作用于永久磁鐵811的磁場(chǎng)。這樣的線圈812沿X軸方向與永久磁鐵811相面對(duì)地配置于振動(dòng)基板11的外側(cè)附近。另外，線圈812被設(shè)為，可以產(chǎn)生X軸方向的磁場(chǎng)，也就是被設(shè)為，可以產(chǎn)生線圈812的永久磁鐵811側(cè)為N極而其相反一側(cè)為S極的狀態(tài)、和線圈812的永久磁鐵811側(cè)為S極而其相反一側(cè)為N極的狀態(tài)。第一實(shí)施方式的光掃描儀1在與底座12固定地設(shè)于振動(dòng)基板11的外側(cè)的驅(qū)動(dòng)部 810(820,830,840)中具有線圈固定部85，在該線圈固定部85所具有的沿X軸方向延長(zhǎng)的突出部851中卷繞線圈812。通過設(shè)為這樣的構(gòu)成，就可以將線圈812相對(duì)于振動(dòng)基板11 固定，并且可以很簡(jiǎn)單地產(chǎn)生如前所述的磁場(chǎng)。另外，通過用鐵等軟磁性體來構(gòu)成突出部 851，就可以將突出部851作為線圈812的磁芯使用，也可以更為有效地產(chǎn)生如前所述的磁場(chǎng)。電源813與線圈812電連接。這樣，從電源813向線圈812施加所需的電壓，由此就可以從線圈812中產(chǎn)生如前所述的磁場(chǎng)。第一實(shí)施方式中，電源813可以選擇性地施加交流電壓及直流電壓。另外，在施加交流電壓時(shí)，可以變更其強(qiáng)度、頻率，此外還可以重疊補(bǔ)償電壓(直流電壓)。(2.光掃描儀1的動(dòng)作)下面，對(duì)光掃描儀1的動(dòng)作進(jìn)行說明。在如上所述的構(gòu)成的光掃描儀1中，可以選擇使可動(dòng)部2轉(zhuǎn)動(dòng)的模式、使可動(dòng)部2 振動(dòng)的模式、使可動(dòng)部2在給定位置靜止的模式。這樣，可以用各種模式來驅(qū)動(dòng)光掃描儀1 是通過使各連結(jié)部4、5、6、7的可動(dòng)梁42、52、62、72屈曲變形而得到的效果。下面，對(duì)這3種模式依次進(jìn)行說明。而且，以下，為了便于說明，對(duì)將永久磁鐵811、 821、831、841全都以N極作為上側(cè)地配置的構(gòu)成進(jìn)行代表性的說明。(2-1.轉(zhuǎn)動(dòng))〈繞著Y軸的轉(zhuǎn)動(dòng)〉基于圖5，對(duì)可動(dòng)部2的繞著Y軸的轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)行說明。而且，圖5是與圖1中A-A線剖面圖對(duì)應(yīng)的剖面圖。首先，以交替地且周期性地切換線圈812的永久磁鐵811側(cè)為N極、線圈832的永久磁鐵831側(cè)為S極的第一狀態(tài)；和線圈812的永久磁鐵811側(cè)為S極、線圈832的永久磁鐵831側(cè)為N極的第二狀態(tài)的方式，從電源813、833向線圈812、832施加交流電壓。從電源813、833向線圈812、832施加的交流電壓優(yōu)選為彼此相同的波形(強(qiáng)度及頻率相同)。在圖5(a)所示的第一狀態(tài)中，由于永久磁鐵811的S極被拉近線圈812并且N極遠(yuǎn)離線圈812而傾斜，因此在使一對(duì)驅(qū)動(dòng)梁43扭轉(zhuǎn)變形的同時(shí)，位移部41將其上面朝向可動(dòng)部2側(cè)地繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Y2傾斜。與此同時(shí)，由于永久磁鐵831的N極被拉近線圈832 并且S極遠(yuǎn)離線圈832而傾斜，因此在使一對(duì)驅(qū)動(dòng)梁63扭轉(zhuǎn)變形的同時(shí)，位移部61將其下面朝向可動(dòng)部2側(cè)地繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸TO傾斜。S卩，位移部41、61 —起在圖5(a)中順時(shí)針地傾斜。隨著該位移部41、61的傾斜，位移部側(cè)可動(dòng)梁423將可動(dòng)部2側(cè)的一端朝向下側(cè)地傾斜，位移部側(cè)可動(dòng)梁623將可動(dòng)部2側(cè)的一端朝向上側(cè)地傾斜。這樣，位移部側(cè)可動(dòng)梁 423,623的可動(dòng)部2側(cè)的一端之間就變?yōu)檠豘軸方向錯(cuò)開的狀態(tài)。這樣，通過位移部側(cè)可動(dòng)梁423、623的可動(dòng)部2側(cè)的一端之間沿Z軸方向錯(cuò)開， 就會(huì)使變形部4211、4212、6211、6212繞著其中心軸扭轉(zhuǎn)變形，并且使各連接部4214、4215、 6214,6215彎曲變形，同時(shí)可動(dòng)部側(cè)可動(dòng)梁422、622以及可動(dòng)部2 —體化地在圖5(a)中逆時(shí)針地傾斜。這樣，在第一狀態(tài)下，通過連結(jié)部4的可動(dòng)梁42在處于其中途的屈曲部421處向下側(cè)以凸的V字形屈曲變形(第一變形)，并且連結(jié)部6的可動(dòng)梁62在處于其中途的屈曲部621處向上側(cè)以凸的V字形屈曲變形(第二變形)，就會(huì)以轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Yl為中心，將可動(dòng)部2在圖5 (a)中逆時(shí)針地傾斜。另一方面，在圖5(b)所示的第二狀態(tài)下，引起與上述的第一狀態(tài)相反的變形。艮口， 在第二狀態(tài)下，連結(jié)部4的可動(dòng)梁42在屈曲部421處向上側(cè)以凸的V字形進(jìn)行屈曲變形 (第二變形)，并且連結(jié)部6的可動(dòng)梁62在屈曲部621處向下側(cè)以凸的V字形進(jìn)行屈曲變形(第一變形)。由此，就會(huì)以轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Yl為中心，將可動(dòng)部2在圖5(b)中順時(shí)針地傾斜。通過交替地且周期性地切換這樣的第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，就可以使可動(dòng)部2繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Yl轉(zhuǎn)動(dòng)。而且，可動(dòng)部2的繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Yl的轉(zhuǎn)動(dòng)是通過將連結(jié)部5、7所具有的可動(dòng)部側(cè)可動(dòng)梁522、722繞著其中心軸扭轉(zhuǎn)變形而容許的。而且，作為對(duì)線圈812、832施加的交流電壓的頻率，沒有特別限定，既可以與由可動(dòng)部2及連結(jié)部4、5、6、7構(gòu)成的振動(dòng)基板11的共振頻率相等，也可以不同，然而優(yōu)選為與上述共振頻率不同。即，優(yōu)選為非共振地驅(qū)動(dòng)光掃描儀1。這樣，就可以實(shí)現(xiàn)光掃描儀1的更加穩(wěn)定的驅(qū)動(dòng)?！蠢@著X軸的轉(zhuǎn)動(dòng)〉下面，基于圖6對(duì)可動(dòng)部2的繞著X軸的轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)行說明。而且，圖6是與圖1中的 B-B線剖面圖對(duì)應(yīng)的剖面圖。首先，以交替地且周期性地切換線圈822的永久磁鐵821側(cè)為N極、線圈842的永久磁鐵841側(cè)為S極的第一狀態(tài)和線圈822的永久磁鐵821側(cè)為S極、線圈842的永久磁鐵841側(cè)為N極的第二狀態(tài)的方式，從電源823、843向線圈822、842施加交流電壓。從電源823、843向線圈822、842施加的交流電壓優(yōu)選為彼此相同的波形。與上述的可動(dòng)部2的繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Yl的轉(zhuǎn)動(dòng)相同，在圖6(a)所示的第一狀態(tài)下，通過連結(jié)部5的可動(dòng)梁52在處于其中途的屈曲部521處向下側(cè)以凸的V字形進(jìn)行屈曲變形(第一變形)，并且連結(jié)部7的可動(dòng)梁72在處于其中途的屈曲部721處向上側(cè)以凸的 V字進(jìn)行形屈曲變形(第二變形)，從而以轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Xl為中心，將可動(dòng)部2在圖6 (a)中逆時(shí)針地傾斜。另一方面，在圖6(b)所示的第二狀態(tài)下，引起與上述的第一狀態(tài)相反的變形。艮口， 在第二狀態(tài)下，通過連結(jié)部5的可動(dòng)梁52在屈曲部521處向上側(cè)以凸的V字形進(jìn)行屈曲變形(第二變形)，并且連結(jié)部7的可動(dòng)梁72在屈曲部721處向下側(cè)以凸的V字形進(jìn)行屈曲變形(第一變形)，從而以轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Xl為中心，將可動(dòng)部2在圖6(b)中順時(shí)針地傾斜。通過交替地且周期性地切換這樣的第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，就可以使可動(dòng)部2繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Xl轉(zhuǎn)動(dòng)。而且，可動(dòng)部2的繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Xl的轉(zhuǎn)動(dòng)是通過將連結(jié)部4、6所具有的可動(dòng)部側(cè)可動(dòng)梁422、622繞著其中心軸扭轉(zhuǎn)變形而容許的。而且，作為對(duì)線圈822、842施加的交流電壓的頻率，沒有特別限定，既可以與由可動(dòng)部2及連結(jié)部4、5、6、7構(gòu)成的振動(dòng)基板11的共振頻率相等，也可以不同，然而優(yōu)選為與上述共振頻率不同。即，優(yōu)選為非共振地驅(qū)動(dòng)光掃描儀1。這樣，就可以實(shí)現(xiàn)光掃描儀1的更加穩(wěn)定的驅(qū)動(dòng)。<繞著X軸及Y軸的各自的軸的轉(zhuǎn)動(dòng)>通過同時(shí)地進(jìn)行如前所述的繞著X軸的轉(zhuǎn)動(dòng)和繞著Y軸的轉(zhuǎn)動(dòng)，就可以使可動(dòng)部2 繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Yl及轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Xl的各自的軸二維地轉(zhuǎn)動(dòng)。如前所述，可動(dòng)部2的繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Yl的轉(zhuǎn)動(dòng)是通過將可動(dòng)部側(cè)可動(dòng)梁522、722繞著其中心軸扭轉(zhuǎn)變形而容許的， 可動(dòng)部2的繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Xl的轉(zhuǎn)動(dòng)是通過將可動(dòng)部側(cè)可動(dòng)梁422、622繞著其中心軸扭轉(zhuǎn)變形而容許的。在上述的繞著X軸的轉(zhuǎn)動(dòng)、繞著Y軸的轉(zhuǎn)動(dòng)以及繞著這2個(gè)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)中，作為對(duì)線圈812、822、832、842施加的交流電壓的頻率，沒有特別限定，既可以與由可動(dòng)部2及連結(jié)部 4、5、6、7構(gòu)成的振動(dòng)基板11的共振頻率相等，也可以不同，然而優(yōu)選為與上述共振頻率不同。即，優(yōu)選為非共振地驅(qū)動(dòng)光掃描儀1。這樣，就可以實(shí)現(xiàn)光掃描儀1的更加穩(wěn)定的驅(qū)動(dòng)。另外，為了使可動(dòng)部2繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Yl轉(zhuǎn)動(dòng)而對(duì)線圈812、832施加的交流電壓的頻率、與為了使可動(dòng)部2繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Xl轉(zhuǎn)動(dòng)而對(duì)線圈822、842施加的交流電壓的頻率，既可以相等也可以不同。例如，在想要使可動(dòng)部2比繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Xl更快地繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Yl轉(zhuǎn)動(dòng)的情況下，只要將對(duì)線圈812、832施加的交流電壓的頻率設(shè)定為高于對(duì)線圈822、842施加的交流電壓的頻率即可。另外，對(duì)線圈812、832施加的交流電壓的強(qiáng)度與對(duì)線圈822、842施加的交流電壓的強(qiáng)度，既可以相等也可以不同。例如，在想要使可動(dòng)部2比繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Xl更大地繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Yl轉(zhuǎn)動(dòng)的情況下，只要使對(duì)線圈812、832施加的交流電壓的強(qiáng)度大于對(duì)線圈 822,842施加的交流電壓的強(qiáng)度即可。雖然在上述說明中針對(duì)向線圈812、822、832、842施加交流電壓的驅(qū)動(dòng)方法進(jìn)行了說明，然而利用如下所示的驅(qū)動(dòng)方法也可以轉(zhuǎn)動(dòng)可動(dòng)部2。S卩、也可以在從電源813、823、 833,843向線圈812、822、832、842施加的交流電壓上重疊⑴或㈠的補(bǔ)償電壓(直流電壓)。換言之，也可以使永久磁鐵811、821、831、841的N極被拉近線圈812、822、832、842的強(qiáng)度(以下也簡(jiǎn)稱為“N極拉近強(qiáng)度”)、與永久磁鐵811、821、831、841的S極被拉近線圈 812、822、832、842的強(qiáng)度(以下也簡(jiǎn)稱為“S極拉近強(qiáng)度”)不同。下面，進(jìn)行具體的說明，將如前所述的N極拉近強(qiáng)度及S極拉近強(qiáng)度相等的狀態(tài)稱作“通常狀態(tài)”。在線圈812、822、832、842的S極拉近強(qiáng)度大于N極拉近強(qiáng)度的情況下，與通常狀態(tài)相比，從圖1中A-A剖面中看到的位移部41、51、61、71的可動(dòng)部側(cè)的端部的轉(zhuǎn)動(dòng)的上止點(diǎn)及下止點(diǎn)(轉(zhuǎn)動(dòng)方向切換的點(diǎn))向下側(cè)移動(dòng)。其結(jié)果是，如圖7所示，可動(dòng)部2的轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸XI、Yl與通常狀態(tài)相比向下側(cè)移動(dòng)。相反，在線圈812、822、832、842的S極拉近強(qiáng)度小于N極拉近強(qiáng)度的情況下，與通常狀態(tài)相比，從圖1中A-A剖面中看到的位移部41、51、 61、71的可動(dòng)部側(cè)的端部的轉(zhuǎn)動(dòng)的上止點(diǎn)及下止點(diǎn)分別向上側(cè)移動(dòng)，因此可動(dòng)部2的轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸XI、Yl與通常狀態(tài)相比向上側(cè)移動(dòng)。這樣，通過在從電源813、823、833、843向線圈812、822、832、842施加的交流電壓上重疊補(bǔ)償電壓，就可以使可動(dòng)部2的轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸XI、Yl沿Z軸方向錯(cuò)開。這樣，例如在光掃描儀1被裝入投影儀等圖像形成裝置的情況下，即使在組裝好圖像形成裝置后，也可以調(diào)整從光源射出的光的直到可動(dòng)部2的光路長(zhǎng)度。即，雖然在圖像形成裝置的組裝時(shí)，精密地進(jìn)行光源與可動(dòng)部2的定位，然而假使在它們的位置相對(duì)于設(shè)定值發(fā)生了偏移的情況下，也可以在組裝后修正光源與可動(dòng)部2的位置。(2-2.振動(dòng))首先，按照交替地且周期性地切換線圈812、822、832、842的永久磁鐵811、821、 831、841側(cè)分別為N極的第一狀態(tài)、和線圈812、822、832、842的永久磁鐵811、821、831、841 側(cè)分別為S極的第二狀態(tài)的方式，從電源813、823、833、843向線圈812、822、832、842施加交流電壓。從電源813、823、833、843向線圈812、822、832、842施加的交流電壓優(yōu)選為彼此相同的波形。在圖8(a)所示的第一狀態(tài)下，與上述的轉(zhuǎn)動(dòng)的情況相同，位移部41、51、61、71分別將其上面朝向可動(dòng)部2側(cè)地繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Y2、X2、Y3、X3傾斜。伴隨著這樣的位移部 41、51、61、71的傾斜，位移部側(cè)可動(dòng)梁423、523、623、723分別將可動(dòng)部2側(cè)的一端朝向下側(cè)地傾斜。這樣，可動(dòng)梁42、52、62、72就會(huì)在屈曲部421、521、621、721處屈曲，同時(shí)可動(dòng)部側(cè)可動(dòng)梁422、522、622、722以及可動(dòng)部2 —體化地并且在將可動(dòng)部2的姿勢(shì)(即表面方向) 保持一定的狀態(tài)下向下側(cè)移動(dòng)。另一方面，在圖8(b)所示的第二狀態(tài)下，位移部41、51、61、71分別將其下面朝向可動(dòng)部2側(cè)地繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Y2、X2、TO、X3傾斜。伴隨著這樣的位移部41、51、61、71的傾斜，位移部側(cè)可動(dòng)梁423、523、623、723分別將可動(dòng)部2側(cè)的一端朝向上側(cè)地傾斜。這樣，可動(dòng)梁42、52、62、72就會(huì)在屈曲部421、521、621、721處屈曲，同時(shí)可動(dòng)部側(cè)可動(dòng)梁422、522、 622,722以及可動(dòng)部2 —體化地并且在將可動(dòng)部2的姿勢(shì)保持一定的狀態(tài)下向上側(cè)移動(dòng)。通過交替地切換這樣的第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，就可以使可動(dòng)部2在保持其姿勢(shì)的狀態(tài)下，也就是在將光反射部22的表面保持與X-Y平面平行的狀態(tài)下，沿Z軸方向振動(dòng)。而且，作為向線圈812、822、832、842施加的交流電壓的頻率，沒有特別限定，既可以與由可動(dòng)部2及連結(jié)部4、5、6、7構(gòu)成的振動(dòng)基板11的共振頻率相等，也可以不同，然而優(yōu)選與上述共振頻率相等。即，優(yōu)選共振地驅(qū)動(dòng)光掃描儀1。這樣，就可以實(shí)現(xiàn)光掃描儀1 的更加穩(wěn)定的驅(qū)動(dòng)。在這樣的振動(dòng)模式下，也可以與上述的轉(zhuǎn)動(dòng)模式相同，通過在向線圈812、822、 832,842施加的交流電壓上重疊補(bǔ)償電壓，而從自然狀態(tài)沿Z軸方向偏移地振動(dòng)可動(dòng)部2。(2-3.靜止模式)例如，按照使線圈812、822、832、842的永久磁鐵811、821、831、841側(cè)分別為N極的狀態(tài)的方式，從電源813、823、833、843向線圈812、822、832、842施加直流電壓。從電源 813、823、833、843向線圈812、822、832、842施加的直流電壓優(yōu)選為彼此相同的強(qiáng)度。如果向線圈812、822、832、842施加這樣的電壓，可動(dòng)部2就會(huì)以圖8(a)所示的狀態(tài)靜止。相反，如果按照使線圈812、822、832、842的永久磁鐵811、821、831、841側(cè)分別為 S極的狀態(tài)的方式，從電源813、823、833、843向線圈812、822、832、842施加直流電壓，可動(dòng)部2就會(huì)以圖8(b)所示的狀態(tài)靜止。這樣，就可以將可動(dòng)部2維持在與自然狀態(tài)不同的位置。根據(jù)這樣的驅(qū)動(dòng)，例如可以將由光反射部22反射的光的光路相對(duì)于自然狀態(tài)時(shí)錯(cuò)開，因此例如在將光掃描儀1作為光開關(guān)利用時(shí)特別有效。另外，例如在光掃描儀1被裝入投影儀等圖像形成裝置的情況下，在基于從光源射出異常的激光等理由，而必須停止激光向裝置外部的射出時(shí)，通過使可動(dòng)部2退避到與自然狀態(tài)不同的位置(不與激光的光路相交的位置)，來防止光反射部22對(duì)激光的反射。這樣，就可以防止激光向裝置外部的射出。另外，也可以通過使可動(dòng)部2位移而變更由光反射部22反射的激光的光路，來防止激光向裝置外部的射出。這樣，就可以不用另外裝入用于解決這樣的問題的安全機(jī)構(gòu)，圖像形成裝置的制造工序得到簡(jiǎn)化，并且可以削減制造成本。也可以通過應(yīng)用這樣的可動(dòng)部2的靜止驅(qū)動(dòng)，使向線圈812、822、832、842施加的直流電壓的強(qiáng)度彼此不同，而能夠?qū)⒖蓜?dòng)部2以相對(duì)于自然狀態(tài)傾斜的狀態(tài)維持。另外，也可以通過使向線圈812、822、832、842施加的直流電壓的強(qiáng)度各自獨(dú)立地并且經(jīng)時(shí)地變化， 而能夠使可動(dòng)部2連續(xù)或者階段性地不規(guī)則地位移。這樣的驅(qū)動(dòng)方法例如在對(duì)由光反射部 22反射的光進(jìn)行矢量掃描時(shí)特別有效。以上，對(duì)光掃描儀1的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行了詳細(xì)說明。在這樣的光掃描儀1中，可以用相同的機(jī)構(gòu)來進(jìn)行可動(dòng)部2的繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Yl 的轉(zhuǎn)動(dòng)和繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Xl的轉(zhuǎn)動(dòng)。另外，在光掃描儀1中，可以獨(dú)立地進(jìn)行可動(dòng)部2的繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Yl的轉(zhuǎn)動(dòng)和繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Xl的轉(zhuǎn)動(dòng)。即，在光掃描儀1中，轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸 Yi的轉(zhuǎn)動(dòng)不受繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Xi的轉(zhuǎn)動(dòng)的影響，反過來說，轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Xi的轉(zhuǎn)動(dòng)也不受繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Yl的轉(zhuǎn)動(dòng)的影響。由此，根據(jù)光掃描儀1，可以使可動(dòng)部2繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸 Yi及轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Xi的各自的軸穩(wěn)定地轉(zhuǎn)動(dòng)。另外，如前所述，在光掃描儀1中，可動(dòng)部2的繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Yl的轉(zhuǎn)動(dòng)，是通過可動(dòng)部側(cè)可動(dòng)梁522、722繞著其中心軸扭轉(zhuǎn)變形而容許的，可動(dòng)部2的繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Xl 的轉(zhuǎn)動(dòng)，是通過可動(dòng)部側(cè)可動(dòng)梁422、622繞著其中心軸扭轉(zhuǎn)變形而容許的。這樣，由于各連結(jié)部4、5、6、7具有能夠繞著中心軸扭轉(zhuǎn)變形的可動(dòng)部側(cè)可動(dòng)梁422、522、622、722，因此可以使可動(dòng)部2繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Y1、X1的各自的軸順暢地轉(zhuǎn)動(dòng)。此外，在光掃描儀1中，由于可動(dòng)部側(cè)可動(dòng)梁422、522、622、722直接與可動(dòng)部2連接，因此可以更加順暢地使可動(dòng)部2繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Υ1、Χ1的各自的軸轉(zhuǎn)動(dòng)，或沿Z軸方向振動(dòng)。另外，在光掃描儀1中，在連結(jié)部4中，如前所述地在扭轉(zhuǎn)變形的可動(dòng)部側(cè)可動(dòng)梁 422與不想使之變形的位移部側(cè)可動(dòng)梁423之間設(shè)有屈曲部421。由此，由上述的扭轉(zhuǎn)變形產(chǎn)生的應(yīng)力就會(huì)因屈曲部421的變形部4211、4212或連接部4214、4215發(fā)生變形而被吸收、緩解，不會(huì)向位移部側(cè)可動(dòng)梁423傳遞。即，通過設(shè)置屈曲部421，可以可靠地防止在可動(dòng)部2的轉(zhuǎn)動(dòng)中位移部側(cè)可動(dòng)梁423繞著其中心軸扭轉(zhuǎn)變形。該情況對(duì)于連結(jié)部4以外的其他的連結(jié)部5、6、7也是相同的。由此，就可以使可動(dòng)部2繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Υ1、Χ的各自的軸順暢地轉(zhuǎn)動(dòng)。此外，各位移部側(cè)可動(dòng)梁423、523、623、723的破壞得到有效地防止。即，從技術(shù)上來看顯而易見，在棒狀的構(gòu)件中，與從自然狀態(tài)起施加Z軸方向的應(yīng)力時(shí)的破壞強(qiáng)度相比， 從產(chǎn)生繞著中心軸的扭轉(zhuǎn)變形的狀態(tài)起施加Z軸方向的應(yīng)力時(shí)的破壞強(qiáng)度更低。由此，通過如上所述地設(shè)置屈曲部421、521、621、721，使位移部側(cè)可動(dòng)梁423、523、623、723不產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)變形，就可以有效地防止位移部側(cè)可動(dòng)梁423、523、623、723的破壞。另外，由于在連結(jié)部4中，位移部側(cè)可動(dòng)梁423實(shí)質(zhì)上不會(huì)變形，因此可以將因位移部41的轉(zhuǎn)動(dòng)而產(chǎn)生的應(yīng)力有效地用于可動(dòng)部2的轉(zhuǎn)動(dòng)中。該情況對(duì)于連結(jié)部5、6、7也是相同的。由此，可以使可動(dòng)部2以大的轉(zhuǎn)動(dòng)角度并且省電地轉(zhuǎn)動(dòng)，或以大的振幅沿Z軸方向振動(dòng)。另夕卜，由于在連結(jié)部4中，屈曲部421具有非變形部4213，因此可以以該非變形部 4213作為軸使可動(dòng)梁42屈曲。該情況對(duì)于連結(jié)部5、6、7也是相同的。由此，可以使各連結(jié)部4、5、6、7的可動(dòng)梁42、52、62、72簡(jiǎn)單并且可靠地屈曲，可以使可動(dòng)部2穩(wěn)定地轉(zhuǎn)動(dòng)、振動(dòng)。另外，在連結(jié)部4中，屈曲部421具有與可動(dòng)部側(cè)可動(dòng)梁422連結(jié)的變形部4211、 與位移部側(cè)可動(dòng)梁423連結(jié)的變形部4212，在可動(dòng)梁42屈曲時(shí)，通過變形部4211、4212繞著其中心軸扭轉(zhuǎn)變形，從而有效地緩解因屈曲而產(chǎn)生的應(yīng)力。該情況對(duì)于連結(jié)部5、6、7也是相同的。由此，可以使各連結(jié)部4、5、6、7的可動(dòng)梁42、52、62、72可靠地屈曲，并且可以防止可動(dòng)梁42、52、62、72的破壞。即，可以穩(wěn)定地驅(qū)動(dòng)光掃描儀1。另外，由于在連結(jié)部4中，屈曲部421具有一對(duì)變形部4211、4212，因此還可以發(fā)揮如下所示的效果。即，例如可以通過變形部4211、4212變形，從而容許因通電而從線圈812 中產(chǎn)生的熱或因向光反射部22照射的光而產(chǎn)生的熱等所致的可動(dòng)部側(cè)可動(dòng)梁422及位移部側(cè)可動(dòng)梁423的熱膨脹。該情況對(duì)于連結(jié)部5、6、7也是相同的。由此，光掃描儀1可以防止或抑制在振動(dòng)基板11中殘留應(yīng)力，無論溫度如何都可以發(fā)揮所需的振動(dòng)特性。根據(jù)本實(shí)施方式，可以將驅(qū)動(dòng)位移部41、51、61、71的驅(qū)動(dòng)部810、820、830、840在可動(dòng)梁42、52、62、72的延長(zhǎng)方向上與位移部41、51、61、71隔開地配置，且靠近位移部41、 51、61、71的內(nèi)框部411中固定的永久磁鐵811、821、831、841地配置。如果是以往的構(gòu)成， 則位移部41、51、61、71與驅(qū)動(dòng)部810、820、830、840之間的4個(gè)固定部13分別與連結(jié)部4、 5 (5、6及6、7及4、7)連結(jié)，并且支撐部與固定部13連結(jié)。該支撐部配置于驅(qū)動(dòng)部810、820、 830,840與位移部41、51、61、71之間。由此，未構(gòu)成該支撐部的本實(shí)施方式的光掃描儀1可以將驅(qū)動(dòng)部810、820、830、840靠近永久磁鐵811、821、831、841地配置。由此，可以將利用永久磁鐵811、821、831、841在驅(qū)動(dòng)部810、820、830、840中產(chǎn)生的扭距設(shè)為高的狀態(tài)。由于扭距與磁場(chǎng)成比例，由線圈產(chǎn)生的磁場(chǎng)與電流成比例，因此通過將驅(qū)動(dòng)部810、820、830、840靠近永久磁鐵811、821、831、841地配置，就可以用低電流來產(chǎn)生相同的扭距。此外，由于耗電W像以W= I2XR(W表示耗電，I表示電流，R表示電阻)所表示的那樣，與電流的平方成比例，因此可以降低驅(qū)動(dòng)位移部41、51、61、71的驅(qū)動(dòng)部810、 820,830,840的耗電，從而可以獲得實(shí)現(xiàn)節(jié)電化的光掃描儀1。例如，如果將驅(qū)動(dòng)部810、 820、830、840與永久磁鐵811、821、831、841的距離與以往相比設(shè)為1/4，則為了產(chǎn)生相同的扭距，與以往相比可以用1/4的電流以及1/16的耗電，穩(wěn)定地驅(qū)動(dòng)光掃描儀1。
下面，將記述有關(guān)第一實(shí)施方式的位移部41的內(nèi)框部411的變形例。(變形例1)如圖9(a)所示，位移部41的內(nèi)框部411朝向可動(dòng)梁42的延長(zhǎng)方向開口。S卩，也可以說，朝向與位移部41和可動(dòng)梁42所被連結(jié)的面相反一側(cè)的面(設(shè)有線圈812的一側(cè))開口。(變形例2)如圖9(b)所示，位移部41的內(nèi)框部411朝向可動(dòng)梁42的延長(zhǎng)方向開口。S卩，也可以說，朝向與位移部41和可動(dòng)梁42所被連結(jié)的面相反一側(cè)的面(設(shè)有線圈812的一側(cè))開口。根據(jù)變形例1及2，由于內(nèi)框部411朝向可動(dòng)梁42的延長(zhǎng)方向開口，因此在驅(qū)動(dòng)部 810與永久磁鐵811之間不存在構(gòu)成位移部41的構(gòu)件，所以就可以將驅(qū)動(dòng)部810更靠近永久磁鐵811地配置，同樣地，可以將驅(qū)動(dòng)部820、830、840更靠近永久磁鐵821、831、841地配置。這樣，就可以獲得實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步的節(jié)電化的光掃描儀1。另外，雖然作為永久磁鐵811(821、831、841)的XY俯視形狀，與圖1及圖3相同地在圖9中用實(shí)線圖示為矩形，然而沒有特別限定，也可以是用虛線表示的圓形?；蛘?，作為永久磁鐵811 (821、831、841)的XY俯視形狀，也可以是三角形或正方形或五邊形以上的多邊形，還可以是橢圓形等?！吹诙?shí)施方式〉參照?qǐng)D10對(duì)第二實(shí)施方式的反射鏡芯片10進(jìn)行說明。第二實(shí)施方式的反射鏡芯片10是具備第一實(shí)施方式的光掃描儀1的振動(dòng)基板11 的構(gòu)成。由此，對(duì)于相同的構(gòu)成，使用相同的符號(hào)，省略構(gòu)成的說明。如圖10所示，反射鏡芯片10具有支撐部3、分離部14、振動(dòng)基板11。支撐部3是包圍著振動(dòng)基板11而形成的。換言之，支撐部3是包圍可動(dòng)部2、可動(dòng)梁42、52、62、72、位移部41、51、61、71、驅(qū)動(dòng)梁43、53、63、73、以及固定部13而形成的。此外，支撐部3利用分離部14而與固定部13連結(jié)。在本實(shí)施方式中，分離部14 將支撐部3與固定部13之間局部地連結(jié)。即，分離部14相對(duì)于支撐部3或固定部13以較弱的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度形成。由此，就可以在分離部14中將支撐部3與固定部13可靠地分離。分離部14只要是相對(duì)于支撐部3或固定部13以較弱的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度構(gòu)成即可，并不限定于上述的構(gòu)成。例如，也可以將分離部14的厚度制成比支撐部3或固定部13的厚度小。而且，支撐部3只要是形成于固定部13的外側(cè)，借助分離部14與固定部13之間連接即可，并不限定于上述的形式。根據(jù)本實(shí)施方式，由于反射鏡芯片10利用支撐部3及分離部14連結(jié)固定部13而連結(jié)振動(dòng)基板11，因此與僅將固定部13與驅(qū)動(dòng)梁43、53、63、73連結(jié)的振動(dòng)基板11的情況相比可以提高剛性。由此，在保持反射鏡芯片10，將振動(dòng)基板11的固定部13固定于底座 12的框部122處，將振動(dòng)基板11與底座12接合等時(shí)，可以不損壞振動(dòng)基板11地如上所述地保持、配置、接合?！吹谌龑?shí)施方式〉參照?qǐng)D11 圖13對(duì)第三實(shí)施方式的光掃描儀1的制造方法進(jìn)行說明。第三實(shí)施方式的光掃描儀1的制造方法是使用第二實(shí)施方式的反射鏡芯片10制造第一實(shí)施方式的光掃描儀的方法。由此，對(duì)于相同的構(gòu)成，使用相同的符號(hào)，省略構(gòu)成的說明。圖11是表示第三實(shí)施方式的光掃描儀1的制造方法的流程圖。圖12及圖13是表示第三實(shí)施方式的光掃描儀1的制造方法的概略工序圖。首先，實(shí)施固定工序(SlOl)。如圖12(a)所示，利用保持構(gòu)件(圖示略)保持反射鏡芯片10，與底座12的框部 122相面對(duì)。此后，如圖12(b)所示，將反射鏡芯片10的固定部13配置于底座12的框部122 處。此后，使用粘接劑或陽(yáng)極接合等各種接合方法，將固定部13固定于框部122處。這樣， 反射鏡芯片10就被固定于底座12處。此外，利用底座12來支撐振動(dòng)基板11。然后，實(shí)施分離工序(S102)。如圖13(c)所示，使保持夾具91及分離夾具92沿箭頭的方向移動(dòng)，利用保持夾具 91推壓固定部13，利用分離夾具92推壓支撐部3及分離部14。這里，分離部14可以利用保持夾具91或分離夾具92來推壓，也可以哪一處也不推壓，可以適當(dāng)?shù)剡x擇。另外，雖然設(shè)為使保持夾具91及分離夾具92沿箭頭的方向移動(dòng)，然而并不限定于此，也可以使固定部 13，也就是使底座12沿與箭頭的方向相反的方向移動(dòng)，或者也可以使保持夾具91及分離夾具92沿箭頭的方向移動(dòng)，同時(shí)使底座12沿與箭頭相反的方向移動(dòng)。接下來，如圖13(d)所示，通過使分離夾具92沿箭頭的方向移動(dòng)，損壞分離部14 地折去，而將支撐部3與固定于底座12處的反射鏡芯片10分離。這樣，就得到利用底座12 支撐著振動(dòng)基板11的光掃描儀1 (參照?qǐng)D2)。這里，雖然在圖12及圖13中，圖示為在反射鏡芯片10中固定著永久磁鐵 821(811、831、841)，然而并不限定于此，也可以在分離工序(S102)后固定永久磁鐵 821(811、831、841)。根據(jù)本實(shí)施方式，由于反射鏡芯片10不僅利用驅(qū)動(dòng)梁43、53、63、73連結(jié)固定部 13，而且還利用支撐部3及分離部14連結(jié)固定部而連結(jié)振動(dòng)基板11，因此與僅將固定部13 與驅(qū)動(dòng)梁43、53、63、73連結(jié)的振動(dòng)基板11的情況相比，可以提高剛性。由此，在保持反射鏡芯片10，將振動(dòng)基板11配置于底座12的框部122處，將振動(dòng)基板11與底座12接合等時(shí)，可以不損壞振動(dòng)基板11地如上所述地保持、配置、接合。此外，由于將支撐部3在分離部14處折去，因此與在振動(dòng)基板11中具備支撐部3 的以往的構(gòu)成相比，可以獲得在XY俯視中小型化了的光掃描儀1。此外，與第一實(shí)施方式相同，可以獲得實(shí)現(xiàn)了節(jié)電化的光掃描儀1?！吹谒膶?shí)施方式〉參照?qǐng)D14對(duì)第四實(shí)施方式的圖像形成裝置進(jìn)行說明。第四實(shí)施方式的圖像形成裝置具備第一實(shí)施方式的光掃描儀1。由此，對(duì)于相同的構(gòu)成及制造方法，使用相同的符號(hào)，省略構(gòu)成及制造方法等的說明。如上說明所示的光掃描儀1例如可以適用于投影儀、激光打印機(jī)、圖像用顯示器、 條形碼讀取器、掃描型共焦點(diǎn)顯微鏡等圖像形成裝置中。圖14是表示本發(fā)明的圖像形成裝置的概要的示意圖。圖14中表示出作為圖像形成裝置的投影儀200。這里，將屏幕觀0的長(zhǎng)度方向稱作“橫向”，將與長(zhǎng)度方向成直角的方向稱作“縱向”。投影儀200具有射出激光等光的光源裝置210、多個(gè)二向色鏡220、光掃描儀1。
光源裝置210具備射出紅色光的紅色光源裝置211、射出藍(lán)色光的藍(lán)色光源裝置 212、射出綠色光的綠色光源裝置213。各二向色鏡220是將從紅色光源裝置211、藍(lán)色光源裝置212、綠色光源裝置213中分別射出的光合成的光學(xué)元件。這樣的投影儀200如下構(gòu)成，即、基于來自未圖示的主機(jī)的圖像信息，將從光源裝置210中射出的光用二向色鏡220 合成，利用光掃描儀1 二維掃描該合成了的光，借助固定反射鏡250在屏幕280上形成彩色圖像。在二維掃描時(shí)，光掃描儀1的可動(dòng)部2繞著Y軸方向的軸轉(zhuǎn)動(dòng)，由可動(dòng)部2的光反射部22反射的光，沿屏幕觀0的橫向掃描(主掃描)。另一方面，光掃描儀1的可動(dòng)部2繞著X軸方向的軸轉(zhuǎn)動(dòng)，由光反射部22反射的光被沿屏幕觀0的縱向掃描(副掃描)。借助光掃描儀1的光的掃描既可以利用所謂的光柵掃描來進(jìn)行，也可以利用所謂的矢量掃描來進(jìn)行。特別是，由于在光掃描儀1中，在其構(gòu)成上適于矢量掃描，因此優(yōu)選利用矢量掃描來掃描光。對(duì)光掃描儀1來說優(yōu)選的所謂矢量掃描是如下的方法，即，將從光源裝置210中射出的光朝向屏幕觀0，按照依次形成連結(jié)該屏幕280上的不同的2個(gè)點(diǎn)的線段的方式進(jìn)行掃描。即，是通過會(huì)集微小的直線而在屏幕280上形成所需的圖像的方法。在光掃描儀1中， 由于可以使可動(dòng)部2繞著Y軸方向的軸及X軸方向的軸不規(guī)則并且連續(xù)地位移，因此特別適于矢量掃描。如果具體地進(jìn)行說明，則在將如圖14所示的文字(a及b)用矢量掃描來描繪的情況下，將從光源裝置210中射出的光按照畫出各個(gè)文字的方式掃描。此時(shí)，可以分別控制光掃描儀1所具有的可動(dòng)部2的繞著X軸方向的軸的姿勢(shì)(轉(zhuǎn)動(dòng))和繞著Y軸方向的軸的姿勢(shì)(轉(zhuǎn)動(dòng))，沿掃描軌跡230不規(guī)則地掃描光，可以按照一筆畫出a及b的文字的方式描繪。根據(jù)這樣的矢量掃描，由于可以不用像光柵掃描那樣對(duì)屏幕280的全面掃描光，因此可以有效地描繪圖像。而且，雖然在圖14中如下構(gòu)成，S卩，在利用光掃描儀1 二維地掃描由二向色鏡220合成出的光后，將該光用固定反射鏡250反射，而后在屏幕觀0中形成圖像，然而也可以省略固定反射鏡250，將利用光掃描儀1 二維地掃描了的光直接向屏幕280照射。根據(jù)本實(shí)施方式，可以提供能夠起到與第一到第三實(shí)施方式相同的效果的作為圖像形成裝置的投影儀200。而且，可以解決上述問題的至少一部分的范圍中的變形、改良等包含于上述的實(shí)施方式中。例如，對(duì)于圖10所示的分離部14的配置、形狀以及數(shù)量等，可以考慮反射鏡芯片 10的支撐部3與固定部13的連結(jié)、及分離工序(S102)中的分離部14處的折去、以及分離部14的去除而適當(dāng)?shù)貨Q定。另外，內(nèi)框部411的XY俯視形狀并不限定于圖1及圖3所示的矩形，例如也可以是三角形、正方形或五邊形以上的多邊形、或者圓形或橢圓形，可以適當(dāng)?shù)貨Q定。另外，作為永久磁鐵811、821、831、841的XY俯視形狀，雖然在圖1及圖3中圖示為矩形，但沒有特別限定，例如也可以是三角形、正方形或五邊形以上的多邊形，還可以是圖9 中用虛線圖示的圓形。此外，對(duì)于線圈固定部、位移機(jī)構(gòu)、應(yīng)力緩解部、振動(dòng)基板、及可動(dòng)板的構(gòu)成及形狀、以及將振動(dòng)基板在圖示中上下反轉(zhuǎn)地安裝光反射構(gòu)件等，并不限定上述的實(shí)施方式，可以適當(dāng)?shù)刈兏?br> 權(quán)利要求
1.一種光掃描儀，其特征在于，具備 光反射構(gòu)件，其具有光反射面；可動(dòng)部，其具備所述光反射構(gòu)件，并且能夠繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)； 4個(gè)可動(dòng)梁，它們從所述可動(dòng)部起沿所述光反射面延伸，并且在所述可動(dòng)部的俯視中沿所述可動(dòng)部的周向以90度的間隔設(shè)置； 位移部，其與所述可動(dòng)梁連結(jié)；2個(gè)驅(qū)動(dòng)梁，它們從所述位移部起與所述可動(dòng)梁正交地沿所述光反射面的表面方向延伸；固定部，其連結(jié)所述驅(qū)動(dòng)梁； 內(nèi)框部，其形成于所述位移部； 永久磁鐵，其固定于所述內(nèi)框部； 驅(qū)動(dòng)部，其驅(qū)動(dòng)所述位移部，所述可動(dòng)梁具有使所述可動(dòng)梁沿與所述光反射面垂直的方向進(jìn)行屈曲變形的屈曲部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掃描儀，其特征在于，所述內(nèi)框部朝向所述可動(dòng)梁延伸的方向開口。
3.一種反射鏡芯片，其特征在于，具備 光反射構(gòu)件，其具有光反射面；可動(dòng)部，其具備所述光反射構(gòu)件，并且能夠繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)； 4個(gè)可動(dòng)梁，它們從所述可動(dòng)部起沿所述光反射面延伸，并且在所述可動(dòng)部的俯視中沿所述可動(dòng)部的周向以90度的間隔設(shè)置； 位移部，其與所述可動(dòng)梁連結(jié)；2個(gè)驅(qū)動(dòng)梁，它們從所述位移部起與所述可動(dòng)梁正交地沿所述光反射面的表面方向延伸；固定部，其連結(jié)所述驅(qū)動(dòng)梁； 內(nèi)框部，其形成于所述位移部； 永久磁鐵，其固定于所述內(nèi)框部；支撐部，其包圍所述可動(dòng)部、所述可動(dòng)梁、所述位移部、所述驅(qū)動(dòng)梁以及所述固定部而形成；分離部，其將所述固定部與所述支撐部連結(jié)，所述可動(dòng)梁具有使所述可動(dòng)梁沿與所述光反射面垂直的方向進(jìn)行屈曲變形的屈曲部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的反射鏡芯片，其特征在于，所述分離部將所述固定部與所述支撐部局部地連結(jié)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的反射鏡芯片，其特征在于，所述分離部具有比所述固定部及所述支撐部的厚度小的厚度。
6.一種光掃描儀的制造方法，其特征在于，包括形成反射鏡芯片的工序、固定工序、 分離工序，其中所述反射鏡芯片具備 光反射構(gòu)件，其具有光反射面；可動(dòng)部，其具備所述光反射構(gòu)件，并且能夠繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)；4個(gè)可動(dòng)梁，它們從所述可動(dòng)部起沿所述光反射面延伸，并且在所述可動(dòng)部的俯視中沿所述可動(dòng)部的周向以90度的間隔設(shè)置； 位移部，其與所述可動(dòng)梁連結(jié)；2個(gè)驅(qū)動(dòng)梁，它們從所述位移部起與所述可動(dòng)梁正交地沿所述光反射面的表面方向延伸；固定部，其連結(jié)所述驅(qū)動(dòng)梁；支撐部，其包圍所述可動(dòng)部、所述可動(dòng)梁、所述位移部、所述驅(qū)動(dòng)梁以及所述固定部而形成；分離部，其將所述固定部與所述支撐部連結(jié)，所述可動(dòng)梁具有使所述可動(dòng)梁沿與所述光反射面垂直的方向進(jìn)行屈曲變形的屈曲部，所述固定工序是將所述固定部固定于底座上的工序，所述分離工序是在所述分離部處將所述固定部與所述支撐部分離的工序。
全文摘要
本發(fā)明提供一種光掃描儀及其制造方法、反射鏡芯片以及圖像形成裝置，其具備光反射構(gòu)件，其具有光反射面；可動(dòng)部，其具備上述光反射構(gòu)件，并且能夠繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)；4個(gè)可動(dòng)梁，它們從上述可動(dòng)部起沿上述光反射面延伸，并且在上述可動(dòng)部的俯視中沿上述可動(dòng)部的周向以90度的間隔設(shè)置；位移部，其與上述可動(dòng)梁連結(jié)；2個(gè)驅(qū)動(dòng)梁，它們從上述位移部起與上述可動(dòng)梁正交地沿上述光反射面的表面方向延伸；固定部，其連結(jié)著上述驅(qū)動(dòng)梁；內(nèi)框部，其形成于上述位移部；永久磁鐵，其固定于上述內(nèi)框部；驅(qū)動(dòng)部，其驅(qū)動(dòng)上述位移部，上述可動(dòng)梁具有使上述可動(dòng)梁沿與上述光反射面垂直的方向進(jìn)行屈曲變形的屈曲部。
文檔編號(hào)G02B26/10GK102445752SQ20111019962
公開日2012年5月9日 申請(qǐng)日期2011年7月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月6日
發(fā)明者中村真希子, 溝口安志, 渡邊惠彌 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社