專利名稱：顯示元件用放射線敏感性樹脂組合物、層間絕緣膜、保護(hù)膜和隔片以及它們的形成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及顯示元件用放射線敏感性樹脂組合物、層間絕緣膜、保護(hù)膜和隔片以及它們的形成方法。更詳細(xì)地，本發(fā)明涉及可以通過一種放射線敏感性樹脂組合物形成在顯示元件，具體地是在液晶顯示元件(LCD)和電荷耦合器件中使用的層間絕緣膜、保護(hù)膜以及隔片；由該組合物形成的層間絕緣膜、保護(hù)膜和隔片以及它們的形成方法。
背景技術(shù)：
薄膜晶體管(以下，記為“TFT”)型液晶顯示元件、磁頭元件、集成電路元件、圖像傳感器等電子部件中，一般設(shè)置層間絕緣膜以使層狀配置的布線間絕緣。上述電子部件中， 例如TFT型液晶顯示元件經(jīng)過在上述層間絕緣膜上形成透明電極膜，然后在其上形成液晶取向膜的工序制造。因此，層間絕緣膜在透明電極膜的形成工序中暴露在高溫條件下，而且暴露在電極圖案形成時使用的抗蝕剝離液中，所以必須對它們具有足夠的耐受性。目前，液晶顯示元件用的層間絕緣膜從形成圖案的性能的觀點(diǎn)出發(fā)，使用用萘醌二疊氮化物等放射線敏感性酸產(chǎn)生劑的正型放射線敏感性樹脂組合物(參照專利文獻(xiàn)1)。 近年來，關(guān)注負(fù)型放射線敏感性樹脂組合物的高敏感性、得到的固化膜的高透明性等性能， 負(fù)型放射線敏感性樹脂組合物的應(yīng)用快速發(fā)展(參照專利文獻(xiàn)2)。另一方面，液晶顯示元件使用的部件中，隔片、保護(hù)膜等也大多使用負(fù)型放射線敏感性樹脂組合物形成(例如，對于保護(hù)膜，參照專利文獻(xiàn)3)。近年來，隨著液晶面板的普及和大型化的快速發(fā)展，從削減成本和縮短工藝時間的觀點(diǎn)出發(fā)，在照相平版印刷工藝中，希望能縮短放射線的照射時間、高分辨率化以及縮短顯影時間。然而，如果使用目前已知的放射線敏感性樹脂組合物縮短照射時間，通過低曝光量的放射線照射工序形成隔片或保護(hù)膜，則難以獲得高分辨率，這是因為得到的隔片的圖案的尺寸穩(wěn)定性以及強(qiáng)度不足，具有成為面板不佳的問題。液晶顯示元件廣泛應(yīng)用于液晶電視、移動電話等，所以與目前的液晶顯示元件相比，要求更高的品質(zhì)。近年來，液晶顯示元件有大畫面化、高亮度化、高精度化、高速響應(yīng)化、 輕薄化的趨勢。為了適應(yīng)這些要求，層間絕緣膜、保護(hù)膜要求縮短放射線的照射時間(以下，是高靈敏度化)、低介電常數(shù)化、高平整性、密合性、高透光率化等；隔片要求高分辨率化、高靈敏度化(參照專利文獻(xiàn)4)。近年來。由于輕量化、小型化等便利性的提高，液晶方式的電子紙等柔性顯示器開始普及。作為這種柔性顯示器的基板研究聚碳酸酯、聚對苯二甲酸乙二酯等塑料基板代替玻璃基板。但是，這些塑料具有在加熱時略微伸張、收縮，阻礙作為顯示器的功能的問題，所以要務(wù)是提高耐熱性。另一方面，為了減少施加在塑料基板上的熱應(yīng)力，研究柔性顯示器的制造工藝的低溫化。在制造柔性顯示器后，在要求最高溫度的工藝中，包括加熱隔片、保護(hù)膜、層間絕緣膜進(jìn)行燒制的工序，要求該加熱工序低溫化。基于上述問題，在日本特開2009-4394號公報中公開了通過在180°C以下燒制可以低溫固化的聚酰亞胺前體，可以得到耐溶劑性、電阻率、半導(dǎo)體移動度等方面優(yōu)異的柔性顯示器用柵極絕緣膜。但是，上述文獻(xiàn)的含聚酰亞胺前體的涂布液是化學(xué)的固化體系，沒有曝光顯影的圖像形成能，所以不能形成微細(xì)圖案。另外，在使用含有這種聚酰亞胺前體的涂布液形成絕緣膜時，具有加熱、燒制固化膜需要1小時以上的時間的問題，此外無法解決固化膜的低線性膨脹化、提高電壓保持率等實用上的各種問題。因此，為了適合用于制造柔性顯示器用絕緣膜，強(qiáng)烈要求開發(fā)出一種樹脂組合物，該樹脂組合物可以低溫且短時間內(nèi)加熱、燒制，而且具有可以簡單的制膜以及形成微細(xì)的圖案的放射線敏感性。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1日本特開2001-3M822號公報專利文獻(xiàn)2日本特開2000-162769號公報專利文獻(xiàn)3日本特開平6-43643號公報專利文獻(xiàn)4日本特開2009-36858號公報專利文獻(xiàn)5日本特開2009-4394號公報

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是基于上述問題提出的，其目的在于提供一種放射線敏感性樹脂組合物， 該樹脂組合物由于可以在低溫且短時間內(nèi)加熱、燒制，而且具有高的放射線靈敏度，得到的固化膜具有低的線性膨脹系數(shù)，所以適合用于形成柔性顯示器的隔片、保護(hù)膜、層間絕緣膜等。為了解決上述問題而提出的本發(fā)明，通過一種顯示元件用放射線敏感性樹脂組合物實現(xiàn)，其特征在于包含，(A)具有(al)含羧基的結(jié)構(gòu)單元以及(a2)含環(huán)氧基的結(jié)構(gòu)單元的共聚物，以及(B)具有乙烯基不飽和鍵的聚合性化合物，(C)放射線敏感性聚合引發(fā)劑，(D)選自下述式⑴和(2)所示的化合物的至少一種。
權(quán)利要求
1. 一種顯示元件用放射線敏感性樹脂組合物，其特征在于包含，(A)具有(al)含羧基的結(jié)構(gòu)單元以及(a2)含環(huán)氧基的結(jié)構(gòu)單元的共聚物，以及(B)具有乙烯基不飽和鍵的聚合性化合物，(C)放射線敏感性聚合引發(fā)劑，⑶選自下述式⑴和⑵所示的化合物的至少一種，
2.根據(jù)權(quán)利要求1所記載的顯示元件用放射線敏感性樹脂組合物，其特征在于前述 (C)放射線敏感性聚合引發(fā)劑是選自乙酰苯化合物和0-?；炕衔锏闹辽僖环N。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所記載的顯示元件用放射線敏感性樹脂組合物，其用于形成層間絕緣膜、保護(hù)膜和隔片。
4.一種層間絕緣膜、保護(hù)膜或隔片的形成方法，其特征在于包含以下順序記載的以下工序，(1)在基板上形成權(quán)利要求3所記載的放射線敏感性樹脂組合物的涂膜的工序，(2)對工序(1)中形成的涂膜的至少一部分照射放射線的工序，(3)使工序O)中照射了放射線的涂膜顯影的工序，以及(4)通過加熱工序(3)中顯影的涂膜而燒制的工序。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所記載的方法，其中工序的燒制溫度是200°C以下。
6.由權(quán)利要求1 3任一項所記載的放射線敏感性樹脂組合物形成的層間絕緣膜、保護(hù)膜和隔片。
7.—種顯示元件，該顯示元件具有權(quán)利要求6的層間絕緣膜、保護(hù)膜和隔片中的至少一種。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種顯示元件用放射線敏感性樹脂組合物、層間絕緣膜、保護(hù)膜和隔片以及它們的形成方法。提供一種放射線敏感性樹脂組合物，該樹脂組合物可以在低溫且短時間內(nèi)加熱、燒制，而且具有高的放射線靈敏度，顯示出低線性膨脹系數(shù)，適合用于形成柔性顯示器的隔片、保護(hù)膜、層間絕緣膜等。通過一種顯示元件用放射線敏感性樹脂組合物實現(xiàn)，其特征在于包含，(A)具有(a1)含羧基的結(jié)構(gòu)單元以及(a2)含環(huán)氧基的結(jié)構(gòu)單元的共聚物，以及(B)具有乙烯基不飽和鍵的聚合性化合物，(C)放射線敏感性聚合引發(fā)劑，(D)選自通式(1)和(2)所示的化合物的至少一種。
文檔編號G03F7/00GK102236259SQ20111011212
公開日2011年11月9日 申請日期2011年4月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月28日
發(fā)明者兒玉誠一郎, 豬俁克巳, 米田英司, 西信弘 申請人:Jsr株式會社