專利名稱：一種檢測裝置及其工作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及機械技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種檢測裝置及其工作方法。
背景技術(shù)：
電子束矩陣檢測技術(shù)是目前TFT LCD (Thin Film Transistor Liquid CrystalDisplay，薄膜場效應(yīng)晶體管液晶顯示器)行業(yè)最為常用的檢測技術(shù)之一，通常在真空環(huán)境中，通過設(shè)置于測試腔內(nèi)的探針框架對待測基板上的墊片PAD進行信號導(dǎo)入，再對加入信號的像素進行測試而得到檢測結(jié)果。由于不同型號的玻璃基板，其形狀和PAD的分布都有所不同，因此對不同的產(chǎn)品型號，需要更換其對應(yīng)的探針框架，才能對待測玻璃基板實施有效的測試。雖然目前業(yè)界對產(chǎn)品設(shè)計和探針框架結(jié)構(gòu)都做出了許多改進并取得了一定效果，但生產(chǎn)中較為頻繁地安裝或更換探針框架還是不可避免的。 在實現(xiàn)上述探針框架的安裝或更換的過程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在如下問題由于測試腔體積較大，打開測試腔進行安裝或更換探針框架后，再恢復(fù)測試腔中檢測所需的真空環(huán)境要經(jīng)歷較長的時間，因此大大降低了檢測效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的實施例提供了一種檢測裝置及其工作方法，能夠有效提高檢測效率。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實施例采用如下技術(shù)方案一種檢測裝置，包括測試腔和交換腔，所述測試腔和交換腔之間設(shè)置有連通機構(gòu)，所述連通機構(gòu)能夠使所述測試腔和所述交換腔彼此隔離或連通；所述測試腔內(nèi)和交換腔內(nèi)分別設(shè)有用于傳送探針框架的傳動裝置，所述傳動裝置能夠?qū)⑺鎏结樋蚣軓乃鰷y試腔傳送至所述交換腔或者從所述交換腔傳送至所述測試腔。一種檢測裝置的工作方法，包括將所述檢測裝置的交換腔與所述檢測裝置的測試腔相隔離；對所述交換腔進行抽真空操作，使所述交換腔的真空度與所述測試腔的真空度相同； 將所述交換腔與所述測試腔相連通；將探針框架從所述測試腔傳送至所述交換腔或者從所述交換腔傳送至所述測試腔。本發(fā)明實施例提供的檢測裝置及其工作方法，由于檢測裝置包括測試腔和能夠與測試腔連通或隔離的交換腔，因此進行探針框架的更換時，能夠以交換腔作為媒介，對與測試腔隔離的交換腔進行抽真空操作，當(dāng)交換腔的真空度與測試腔相同時，將交換腔與測試腔相連通，將探針框架從所述測試腔傳送至所述交換腔或者從所述交換腔傳送至所述測試腔。這樣，在更換探針框架的過程中，不會破壞測試腔的真空環(huán)境，不需要等待測試腔恢復(fù)真空環(huán)境，因此，減少了更換探針框架所需要的時間，有效提高了檢測效率。


為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I為本發(fā)明實施例提供的檢測裝置的一種俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實施例提供的檢測裝置交換腔的一種俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明實施例提供的檢測裝置的一種側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明實施例提供的檢測裝置的一種卡位裝置和鎖定裝置的接合示意圖；
圖5為本發(fā)明實施例提供的檢測裝置的一種側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為圖5所示的虛線部分的信號線連接部和信號線對接部的連接方式示意圖；圖7為圖6所示的信號線連接部和信號線對接部的具體連接方式示意圖；圖8為本發(fā)明實施例提供的檢測裝置的工作方法的一種流程圖。附圖標(biāo)記I-測試腔，12-信號線連接部，2-交換腔，3-連通機構(gòu)，41-測試腔內(nèi)的傳動裝置，411-測試腔內(nèi)的傳動滾輪，413-傳動部，42-交換腔內(nèi)的傳動裝置，421-交換腔內(nèi)的傳動滾輪，43-導(dǎo)向輪，5-探針框架，52-信號線對接部，6-支撐框架，7-信號線對接針，8-信號線對接孔，9-金屬彈片。
具體實施例方式下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行詳細(xì)描述。應(yīng)當(dāng)明確，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。如圖I所示，本發(fā)明實施例提供了一種檢測裝置，包括測試腔I和交換腔2，測試腔I和交換腔2之間設(shè)置有連通機構(gòu)3，連通機構(gòu)3能夠使測試腔I和交換腔2彼此隔離或連通。測試腔I內(nèi)設(shè)置有傳動裝置41，交換腔2內(nèi)設(shè)置有傳動裝置42，傳動裝置41和傳動裝置42用于傳送探針框架5，能夠?qū)⑻结樋蚣?從測試腔I傳送至交換腔2或者從交換腔2傳送至測試腔I。本發(fā)明實施例提供的檢測裝置，進行檢測工作時，連通機構(gòu)3處于使測試腔I和交換腔2相隔離的關(guān)閉狀態(tài)，探針框架5設(shè)置于測試腔I內(nèi)，被檢測物放置于探針框架5下方，測試腔I抽至檢測所需的真空度，在測試腔I的真空環(huán)境下，對被檢測物進行檢測。當(dāng)需要更換探針框架5時，在保持連通機構(gòu)3的關(guān)閉狀態(tài)的條件下，即交換腔2和測試腔I隔離時，對交換腔2進行抽真空操作，當(dāng)交換腔2的真空度與測試腔I的真空度相同時，使連通機構(gòu)3處于使測試腔I和交換腔2相連通的打開狀態(tài)，將測試腔I和交換腔2相連通，通過傳動裝置41和傳動裝置42將原探針框架5從測試腔I傳送至交換腔2或者將更換的探針框架5從交換腔2傳送至測試腔1，之后，連通機構(gòu)3關(guān)閉，使測試腔I和交換腔2相隔離。這樣，本發(fā)明實施例提供的檢測裝置，在更換探針框架的過程中，能夠以交換腔2作為媒介，不會破壞測試腔I的真空環(huán)境，不需要等待測試腔恢復(fù)真空環(huán)境，因此，減少了更換探針框架所需要的時間，有效提高了檢測效率。優(yōu)選的，交換腔2的容積要小于測試腔I的容積，交換腔2的容積只需能夠保證探針框架能完全放置其中，并能通過傳動裝置42進行傳送即可，以減少對交換腔2進行抽真空操作而達(dá)到與測試腔I相同的真空度的時間，進一步減少更換探針框架所需要的時間，有效提聞檢測效率。 具體的，連通機構(gòu)3可以為閥門，閥門打開時，測試腔I和交換腔2彼此連通，閥門關(guān)閉時，測試腔I和交換腔2彼此隔離。優(yōu)選為密封閥門，以有效保證測試腔I的真空度不受破壞。當(dāng)然，連通機構(gòu)3還可以為其他能夠使測試腔I和交換腔2彼此連通或隔離的結(jié)構(gòu)，例如擋板，本發(fā)明對此不做限定。具體的，傳動裝置41和傳動裝置42可以采用多種方式實現(xiàn)，例如可以采用傳動滾輪或傳送帶實現(xiàn)，傳動滾輪或傳送帶對放置其上的探針框架5既有支撐的作用，又起到運輸傳送的作用，將探針框架5在測試腔I和交換腔2內(nèi)傳送。而且，傳動裝置41和傳動裝置42都具有傳動軌道，對于用傳動滾輪方式實現(xiàn)的傳動裝置，所有傳動滾輪的有序排列組成了其傳動軌道，而對于用傳送帶方式實現(xiàn)的傳動裝置，傳送帶的運行軌跡即為其傳動軌道。探針框架5沿著傳動裝置41和傳動裝置42的傳動軌道由交換腔2運送至測試腔1，或由測試腔I運送至交換腔2。需要說明的是，傳動裝置41的傳動軌道的寬度，可以大于、等于或小于傳動裝置42的傳動軌道的寬度，只要能為放置其上的探針框架5傳動即可，本發(fā)明對此不做限定。雖然由于連通機構(gòu)3的存在而使傳動裝置41和傳動裝置42沒有物理上的連接，但當(dāng)探針框架5沿傳動軌道傳送時，探針框架5的物理尺寸足以使其在脫離傳動裝置41或傳動裝置42中的任一個傳動裝置之前進入另一個，從而保證了探針框架5在測試腔和交換腔之間的安全傳送。進一步的，為了使探針框架5能夠在傳動軌道上運送而不發(fā)生偏離，可選的，可以在傳動裝置41和傳動裝置42的傳動軌道的一側(cè)或兩側(cè)設(shè)有導(dǎo)向裝置，例如導(dǎo)向輪。導(dǎo)向裝置優(yōu)選設(shè)置在傳動軌道的兩側(cè)，對探針框架5進行導(dǎo)向，有效避免探針框架5在傳送過程中的偏移而與其他裝置相碰撞而造成損壞。需要說明的是，導(dǎo)向裝置不僅可以使探針框架5沿直線前進，也能根據(jù)需要使其按照一定的角度轉(zhuǎn)彎，且其安裝位置與個數(shù)都不限。下面以交換腔2內(nèi)的傳動裝置42的一個具體實施例為例，對本發(fā)明檢測裝置所采用的傳動裝置做詳細(xì)說明。如圖2所示，傳動裝置42包括兩列轉(zhuǎn)動滾輪421，設(shè)置于交換腔
2的腔內(nèi)兩側(cè)，傳動滾輪421能夠順時針或逆時針滾動，并依靠靜摩擦力傳動給放置其上的探針框架5，從而使探針框架5在傳動軌道上前進或后退。優(yōu)選的，兩列滾輪的距離，略小于探針框架5的寬度，以便對探針框架5支撐和傳送。當(dāng)然，本實施例中，傳動滾輪421的排列并不限于兩列，任何能將探針框架5傳送到測試腔的傳動滾輪的布局都在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。為了使探針框架5能夠在傳動軌道上運送而不發(fā)生偏離，在傳動軌道的兩側(cè)設(shè)有導(dǎo)向輪43(導(dǎo)向裝置)。其中，導(dǎo)向輪43與探針框架5處于相同的水平位置。當(dāng)探針框架5的運送方向偏離傳動軌道時，探針框架5的一側(cè)會碰觸到導(dǎo)向輪43并在導(dǎo)向輪43的作用下重新回到傳動軌道上。可選的，本實施例中，兩列傳動滾輪可設(shè)置為可伸縮的固定在交換腔2的內(nèi)側(cè)壁上的結(jié)構(gòu)，不工作時鑲嵌在交換腔2的內(nèi)側(cè)壁上，工作時可以從內(nèi)側(cè)壁伸出并停留，這樣即方便靈活調(diào)節(jié)傳動軌道的寬度，又不妨礙交換腔2的其他用途。需要注意的是，本發(fā)明實施例中，圖2所示的傳動裝置42的結(jié)構(gòu)也同樣適用于傳動裝置41，此處不再贅述。在本發(fā)明的一個實施例中，如圖3所示，在測試腔I內(nèi)設(shè)有與探針框架5形狀相適 應(yīng)的支撐框架6，當(dāng)探針框架5被傳動裝置傳送至測試腔I中后，測試腔I內(nèi)的傳動裝置41將探針框架5將安放于支撐框架6上。為了能將探針框架5順利安放至支撐框架6上，本實施例中，傳動裝置41除包括靠近連通機構(gòu)3的傳動滾輪411以及導(dǎo)向輪43外，還包括能夠?qū)⑻结樋蚣?傳送至支撐框架6上的傳動部413(圖3中虛線框內(nèi)部分)。具體的,傳動部413可為設(shè)置于支撐框架6上的傳動滾輪。當(dāng)然，傳動部413的具體結(jié)構(gòu)和安裝位置不限于此，例如，傳動部413還可以為能夠?qū)⑻结樋蚣?安放在支撐框架6上的滑動裝置等?？傊瑐鲃友b置41不僅能夠?qū)⑻结樋蚣?按照預(yù)定的方向傳送，還能夠?qū)⑻结樋蚣?準(zhǔn)確地傳送至支撐框架6上，以進行接下來的檢測工作。優(yōu)選的，為了使探針框架5能夠與支撐框架6牢固的結(jié)合，避免在隨后的檢測步驟中因探針框架5與支撐框架6之間產(chǎn)生相對滑動而降低檢測的精度和可靠性，在本發(fā)明的一個實施例中，在支撐框架6上設(shè)置有卡位裝置，例如夾具等，能夠?qū)⒎胖迷谥慰蚣?上的探針框架5固定?；蛘?，在本發(fā)明的另一個實施例中，支撐框架6上設(shè)有卡位裝置，探針框架5上設(shè)置有與卡位裝置對應(yīng)的鎖定裝置；卡位裝置和鎖定裝置能夠通過各自的機械結(jié)構(gòu)彼此接合，從而將探針框架5固定在支撐框架6上。具體的，如圖4所示，卡位裝置包括凸起，鎖定裝置包括與凸起相適應(yīng)的凹槽，所述凹槽與所述凸起的對接將探針框架固定在支撐框架上；或者，卡位裝置包括凹槽，鎖定裝置包括與所述凹槽相適應(yīng)的凸起，所述凹槽與所述凸起的對接將探針框架5固定在支撐框架6上。通常情況下，除了上述凸起和凹槽外，本發(fā)明實施例提供的卡位裝置和鎖定裝置還可以是鎖定栓、鎖定扣等能將探針框架5固定在支撐框架6上的裝置，本發(fā)明對此不作限定。當(dāng)探針框架5固定在支撐框架6上后，需要通過探針框架5對探針框架5下方的被檢測物進行電信號的輸入，以對該被檢測物進行檢測。具體的，如圖5所示，在測試腔I內(nèi)設(shè)置有可移動的信號線連接部12，探針框架5上設(shè)有用于與信號線連接部12相連接的信號線對接部52 ;當(dāng)探針框架5安放在支撐框架6上后，信號線連接部12向探針框架5移動，并與探針框架5上的信號線對接部52相連接，以進行檢測。具體的，如圖6所示，信號線連接部12包括信號線對接針7，信號線對接部52包括信號線對接孔8，信號線對接針7與信號線對接孔8的接合使信號線連接部12和信號線對接部52相連接；當(dāng)然，信號線對接針7與信號線對接孔8的位置也可以互換，即信號線連接部12包括信號線對接孔8，而信號線對接部52包括信號線對接針7，通過信號線對接孔8與信號線對接針7的接合使信號線連接部12和信號線對接部52相連接。優(yōu)選的，如圖I所示，為了保證信號線對接孔8與信號線對接針I(yè)能夠穩(wěn)定的接合，信號線對接孔8的內(nèi)壁上還設(shè)有金屬彈片9，金屬彈片9能夠在彈力的作用下，與信號線連接部12緊密接合，實現(xiàn)信號線連接部12和信號線對接部52的可靠連接。需要說明的是，雖 然本發(fā)明實施例提供的檢測設(shè)備通常可用于真空環(huán)境下的物品檢測，但本發(fā)明并不限定其具體的使用條件。而且本發(fā)明實施例提供的檢測裝置，其探針框架的傳輸路徑可以是直線也可以是曲線，傳輸方向即可以是水平方向的也可以與水平方向成一夾角，或豎直方向，本發(fā)明對此不作限定。本發(fā)明實施例提供的檢測裝置，由于包括測試腔I和能夠與測試腔連通或隔離的交換腔2，因此進行探針框架的更換時，能夠以交換腔2作為媒介，對與測試腔隔離的交換腔2進行抽真空操作，當(dāng)交換腔2的真空度與測試腔I相同時，將交換腔2與測試腔I相連通，將探針框架5從測試腔I傳送至交換腔2或者從交換腔2傳送至測試腔I。這樣，在更換探針框架5的過程中，不會破壞測試腔I的真空環(huán)境，不需要等待測試腔恢復(fù)真空環(huán)境，因此，減少了更換探針框架所需要的時間，有效提高了檢測效率。與前述的檢測裝置實施例相對應(yīng)，本發(fā)明還提供了一種檢測裝置的工作方法，如圖8所示，所述檢測裝置的工作方法包括S11，將所述檢測裝置的交換腔與所述檢測裝置的測試腔相隔離；S12，對所述交換腔進行抽真空操作；本步驟中，對所述交換腔進行抽真空操作的目的是使所述交換腔的真空度與所述測試腔的真空度相同。需要指出的是，由于技術(shù)和環(huán)境等多方面因素，本實施例中，所述交換腔的真空度與所述測試腔的真空度相同可能不是完全相同，完全相同僅是理想的狀態(tài)，本發(fā)明實施例中，所述交換腔的真空度與所述測試腔的真空度相同也包括大致相同，例如，當(dāng)兩者真空度處于相同的數(shù)量級時，即認(rèn)為兩者真空度相同；S13，將所述交換腔與所述測試腔相連通；S14，將探針框架從所述測試腔傳送至所述交換腔或者從所述交換腔傳送至所述測試腔。本發(fā)明實施例提供的工作方法，先對交換腔抽真空，當(dāng)交換腔的真空度與測試腔接近時，將探針框架從測試腔傳送至交換腔或者從交換腔傳送至測試腔。這樣，在更換探針框架的過程中，不會破壞測試腔的真空環(huán)境，不需要等待測試腔恢復(fù)真空環(huán)境，因此，減少了更換探針框架所需要的時間，有效提高了檢測效率。進一步的，在將探針框架從交換腔傳送至測試腔后，本發(fā)明實施例提供的檢測裝置的工作方法還包括將探針框架鎖定在測試腔內(nèi)的支撐框架上；在探針框架運送到檢測位置后，將探針框架鎖定在支撐框架上能夠避免探針框架移動在隨后的測試中的移動，進一步保證了檢測的精度和可靠性；將所述探針框架與信號線相連接，以通過探針框架為被檢測物提供檢測信號。當(dāng)需要將探針框架從測試腔傳送至交換腔時，如果探針框架鎖定在測試腔內(nèi)的支撐框架上，且和信號線相連接，在將探針框架從測試腔傳送至交換腔前，本發(fā)明實施例提供的檢測裝置的工作方法還包括將探針框架與信號線斷開連接；解除所述探針框架與測試腔內(nèi)的支撐框架的鎖定。從而，避免在將探針框架從測試腔傳送至交換腔時，對信號線和支撐框架的損壞。在將探針框架從所述測試腔傳送至所述交換腔后，需要將測試腔與交換腔再次隔離，打開交換腔取出探針框架即可。以上所述，僅為本發(fā)明的具體實施方式
，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何 熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護范圍應(yīng)所述以權(quán)利要求的保護范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種檢測裝置，其特征在于， 包括測試腔和交換腔，所述測試腔和交換腔之間設(shè)置有連通機構(gòu)，所述連通機構(gòu)能夠使所述測試腔和所述交換腔彼此隔離或連通； 所述測試腔內(nèi)和交換腔內(nèi)分別設(shè)有用于傳送探針框架的傳動裝置，所述傳動裝置能夠?qū)⑺鎏结樋蚣軓乃鰷y試腔傳送至所述交換腔或者從所述交換腔傳送至所述測試腔。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的檢測裝置，其特征在于，所述交換腔的容積小于所述測試腔的容積。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的檢測裝置，其特征在于，所述傳動裝置包括傳動滾輪或傳送帶。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或3所述的檢測裝置，其特征在于，所述傳動裝置包括傳動軌道，所述傳動軌道的至少一側(cè)設(shè)置有導(dǎo)向裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的檢測裝置，其特征在于， 所述測試腔內(nèi)設(shè)有與所述探針框架形狀相適應(yīng)的支撐框架； 所述測試腔內(nèi)的傳動裝置包括將所述探針框架傳送至所述支撐框架上的傳動部。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢測裝置，其特征在于，所述支撐框架設(shè)有卡位裝置，以將所述探針框架固定在所述支撐框架上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢測裝置，其特征在于， 所述探針框架上設(shè)置有與所述卡位裝置對應(yīng)的鎖定裝置； 所述卡位裝置和所述鎖定裝置的接合將所述探針框架固定在所述支撐框架上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢測裝置，其特征在于， 所述卡位裝置包括凸起，所述鎖定裝置包括與所述凸起相適應(yīng)的凹槽，所述凹槽與所述凸起的對接將所述探針框架固定在所述支撐框架上；或者， 所述卡位裝置包括凹槽，所述鎖定裝置包括與所述凹槽相適應(yīng)的凸起，所述凹槽與所述凸起的對接將所述探針框架固定在所述支撐框架上。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的檢測裝置，其特征在于， 所述測試腔內(nèi)設(shè)置有可移動的信號線連接部； 所述探針框架上設(shè)有用于與所述信號線連接部相連接的信號線對接部； 所述探針框架通過所述信號線連接部和所述信號線對接部的連接與信號線相連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的檢測裝置，其特征在于， 所述信號線連接部包括信號線對接針，所述信號線對接部包括信號線對接孔，所述信號線對接針與所述信號線對接孔的接合使所述信號線連接部和所述信號線對接部相連接； 或者 所述信號線連接部包括信號線對接孔，所述信號線對接部包括信號線對接針，所述信號線對接孔與所述信號線對接針的接合使所述信號線連接部和所述信號線對接部相連接。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的檢測裝置，其特征在于，所述信號線對接孔內(nèi)壁上設(shè)有金屬彈片，用于與所述信號線對接針緊密接合。
12.—種檢測裝置的工作方法，其特征在于，包括 將所述檢測裝置的交換腔與所述檢測裝置的測試腔相隔離；對所述交換腔進行抽真空操作，使所述交換腔的真空度與所述測試腔的真空度相同； 將所述交換腔與所述測試腔相連通； 將探針框架從所述測試腔傳送至所述交換腔或者從所述交換腔傳送至所述測試腔。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的工作方法，其特征在于，在將所述探針框架從所述交換腔傳送至所述測試腔后，所述工作方法還包括 將所述探針框架鎖定在所述測試腔內(nèi)的支撐框架上； 將所述探針框架與信號線相連接。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的工作方法，其特征在于，在將探針框架從所述測試腔傳送至所述交換腔前，所述工作方法還包括 將所述探針框架與信號線斷開連接； 解除所述探針框架與所述測試腔內(nèi)的支撐框架的鎖定。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種檢測裝置及其工作方法，涉及機械技術(shù)領(lǐng)域，為提高檢測效率而發(fā)明。本發(fā)明提供的檢測裝置，包括測試腔和交換腔，所述測試腔和交換腔之間設(shè)置有連通機構(gòu)，所述連通機構(gòu)能夠使所述測試腔和所述交換腔彼此隔離或連通；所述測試腔內(nèi)和交換腔內(nèi)分別設(shè)有用于傳送探針框架的傳動裝置，所述傳動裝置能夠?qū)⑺鎏结樋蚣軓乃鰷y試腔傳送至所述交換腔或者從所述交換腔傳送至所述測試腔。本發(fā)明適用于電子束矩陣檢測等檢測設(shè)備中。
文檔編號G02F1/13GK102654656SQ20111010116
公開日2012年9月5日 申請日期2011年4月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月21日
發(fā)明者朱承達(dá), 權(quán)基瑛, 魏振 申請人:京東方科技集團股份有限公司, 合肥京東方光電科技有限公司