專(zhuān)利名稱(chēng)：棱鏡固定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種應(yīng)用于光刻機(jī)離軸對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的成像模塊的進(jìn)光棱鏡固定裝置。
背景技術(shù)：
應(yīng)用于光刻機(jī)離軸對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的成像模塊的棱鏡，其主要作用是按照一定的方向 反射入射光線(xiàn)的光路。為此，要使用棱鏡固定裝置將棱鏡固定?，F(xiàn)有的棱鏡固定裝置，采用一塊固定板，使用時(shí)，將棱鏡粘接在固定板的中心，然 后采用螺釘再將固定板安裝在成像模塊的外殼上。此種結(jié)構(gòu)的棱鏡固定裝置，由于棱鏡粘 接固定板上，因此棱鏡的反射光路的方向是固定不變的。另外，此種結(jié)構(gòu)的棱鏡固定裝置， 是固定安裝在成像模塊的外殼上的，其在安裝時(shí)產(chǎn)生的安裝誤差會(huì)使粘接在固定板上的棱 鏡向Χ、γ、ζ方向中的任何一個(gè)或者多個(gè)方向偏移。因此，入射光纖裝置發(fā)射的入射光線(xiàn)照 射在棱鏡上的入射角就會(huì)出現(xiàn)偏差，根據(jù)光的反射原理，入射角等于反射角，則經(jīng)棱鏡的反 射光路就會(huì)出現(xiàn)偏差，從而影響離軸對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的精度。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是，克服以上不足，提供了一種可調(diào)節(jié)的棱鏡固
定裝置。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種棱鏡固定裝置，包括粘接有棱鏡的 固定板，它還包括與固定板活動(dòng)連接的支架。進(jìn)一步的，所述支架包括水平板，所述水平板的左右兩側(cè)設(shè)置的第一螺紋孔；所述 固定板上設(shè)置有與第一螺紋孔相配的第一通孔；還包括第一鎖緊螺栓，所述第一鎖緊螺栓 穿過(guò)固定板第一通孔緊固連接在水平板的第一螺紋孔內(nèi)；所述第一通孔的直徑大于所述第 一鎖緊螺栓的螺桿部分直徑、小于螺頭部分的直徑；所述第一鎖緊螺栓的周邊設(shè)置有第二 螺紋孔，所述第二螺紋孔內(nèi)安裝有第一調(diào)節(jié)螺栓，所述第一調(diào)節(jié)螺栓穿過(guò)第二螺紋孔抵在 支架的水平板上。進(jìn)一步的，所述支架還包括位于水平板上端的橫梁，所述橫梁的兩端分別設(shè)置有U 形槽孔，所述的U形槽孔內(nèi)安裝有第二鎖緊螺栓；所述U形槽孔的周邊至少設(shè)置有一個(gè)第三 螺紋孔，所述的第三螺紋孔內(nèi)安裝有第二調(diào)節(jié)螺栓。進(jìn)一步的，所述固定板的上端面中間部分為弧形面、兩端部分為平面，所述固定板 的背面中心設(shè)置有腰鼓形凸臺(tái)，所述支架的水平板的中心設(shè)置有與所述的凸臺(tái)相配的第二 通孔，所述支架還包括位于水平板上端的橫梁，所述固定板的上端面的中間部分頂在所述 的橫梁上，所述的橫梁上設(shè)置有兩個(gè)第四螺紋孔，所述的第四螺紋孔內(nèi)安裝有第三調(diào)節(jié)螺 栓，所述的第三調(diào)節(jié)螺栓穿過(guò)第四螺紋孔抵在固定板的上端面的兩端。進(jìn)一步的，所述的第三調(diào)節(jié)螺栓的螺桿部分套有彈簧。進(jìn)一步的，所述固定板的背面中心設(shè)置的凸臺(tái)為圓形，所述的支架的中心設(shè)置有
3與所述的凸臺(tái)相配的第二通孔也為圓形。進(jìn)一步的，所述支架還包括位于水平板上端的橫梁，所述的橫梁上設(shè)置有兩個(gè)第 三通孔，所述的第三通孔內(nèi)均安裝有第三調(diào)節(jié)螺栓，所述的第三調(diào)節(jié)螺栓與所述固定板上 端面的兩端設(shè)置的第五螺紋孔緊固連接；所述的第三調(diào)節(jié)螺栓的螺桿部分套有彈簧。進(jìn)一步的，所述固定板的正面的中心設(shè)置有沉孔，所述沉孔的中心延向固定板的 至少一邊設(shè)置有通光槽。進(jìn)一步的，所述固定板和支架的中心延向四邊均設(shè)置有腰形孔。進(jìn)一步的，所述支架的橫梁上還設(shè)置有定位銷(xiāo)，所述的定位銷(xiāo)一端固定在橫梁上， 另一端為自由端。本實(shí)用新型棱鏡固定裝置，使用時(shí)，將棱鏡粘接在固定板的正面中心位置，再將棱 鏡固定裝置安裝在成像模塊的外殼上。本實(shí)用新型棱鏡固定裝置，由于棱鏡是粘接在棱鏡固定裝置的固定板上，因此，固 定板與棱鏡同步運(yùn)動(dòng)。通過(guò)固定板與支架設(shè)置的第一鎖緊螺栓和第一調(diào)節(jié)螺栓，可以實(shí)現(xiàn) 固定板在Ry方向的自由度調(diào)節(jié)，從而實(shí)現(xiàn)棱鏡在Ry方向的自由度調(diào)節(jié)。即先旋松第一鎖 緊螺栓，再旋緊或旋松第一調(diào)節(jié)螺栓，調(diào)整好位置后，再旋緊第一鎖緊螺栓，通過(guò)改變第一 調(diào)節(jié)螺栓螺桿部分頂在支架的水平板的長(zhǎng)度，改變固定板與水平板之間的間隙，從而實(shí)現(xiàn) 固定板Ry方向自由度的調(diào)節(jié)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)棱鏡在Ry方向自由度的調(diào)節(jié)。本實(shí)用新型棱鏡固定裝置，由于棱鏡是粘接在棱鏡固定裝置的固定板上，因此，固 定板與棱鏡同步運(yùn)動(dòng)。通過(guò)支架的橫梁兩端設(shè)置的第二鎖緊螺栓和第二調(diào)節(jié)螺栓，可以實(shí) 現(xiàn)固定板在Rx方向的自由度調(diào)節(jié)，從而實(shí)現(xiàn)棱鏡Rx方向自由度的調(diào)節(jié)。即先旋松第二鎖緊 螺栓，再旋緊或旋松第二調(diào)節(jié)螺栓，調(diào)整好位置后，再旋緊第二鎖緊螺栓，通過(guò)改變第二調(diào) 節(jié)螺栓的螺桿部分抵在成像模塊外殼的長(zhǎng)度或者旋入成像模塊外殼上設(shè)置的螺紋孔深度， 從而實(shí)現(xiàn)固定板Rx方向的自由度的調(diào)節(jié)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)棱鏡Rx方向的自由度的調(diào)節(jié)。本實(shí)用新型棱鏡固定裝置，由于棱鏡是粘接在棱鏡固定裝置的固定板上，因此，固 定板與棱鏡同步運(yùn)動(dòng)。通過(guò)固定板上端面與支架的橫梁兩端部分緊固連接的第三調(diào)節(jié)螺 栓，可以實(shí)現(xiàn)固定板在Rz方向的自由度調(diào)節(jié)，從而實(shí)現(xiàn)棱鏡在Rz方向的自由度調(diào)節(jié)。即先 旋松固定板上的第一鎖緊螺栓，再旋緊或者旋松橫梁與固定板兩端的第三調(diào)節(jié)螺栓，調(diào)整 好位置后，再旋緊第一鎖緊螺栓，通過(guò)改變的第三調(diào)節(jié)螺栓旋入固定板的深度，使固定板左 端或者右端向上或者向下偏移，從而實(shí)現(xiàn)固定板在Rz方向自由度的調(diào)節(jié)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)棱鏡在 Rz方向自由度的調(diào)節(jié)。本實(shí)用新型棱鏡固定裝置，由于棱鏡是粘接在棱鏡固定裝置的固定板上，因此，固 定板與棱鏡同步運(yùn)動(dòng)。通過(guò)固定板上端面與支架的橫梁兩端設(shè)置的第三調(diào)節(jié)螺栓，以及固 定板與支架的水平板中心的凸臺(tái)和第二通孔，也可以實(shí)現(xiàn)固定板在Rz方向的自由度調(diào)節(jié)。 即先旋松固定板與支架的水平板固定連接的第一鎖緊螺栓，再旋緊或旋松第三調(diào)節(jié)螺栓， 調(diào)整好位置后，再旋緊第一鎖緊螺栓。通過(guò)改變第三調(diào)節(jié)螺栓抵在固定板上端面的高度，使 固定板左端或者右端向上或者向下偏移，從而實(shí)現(xiàn)固定板在Rz方向自由度的調(diào)節(jié)，進(jìn)而實(shí) 現(xiàn)棱鏡在Rz方向自由度的調(diào)節(jié)。本技術(shù)方案中，由于固定板背面中心設(shè)置有凸臺(tái)和支架的 水平板中心相配的第二通孔的作用而使固定板不會(huì)從支架上脫落下來(lái)。以上兩種Rz自由度調(diào)節(jié)的技術(shù)方案中，由于固定板上的第一通孔的直徑大于螺栓的螺桿部分、小于螺栓的螺頭部分，因此，固定板在Rz方向上有調(diào)整的余地。
圖1是本實(shí)用新型棱鏡固定裝置的安裝位置示意圖；圖2是本實(shí)用新型棱鏡固定裝置實(shí)施例1的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型棱鏡固定裝置圖2的拆解結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實(shí)用新型棱鏡固定裝置實(shí)施例1固定板的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是本實(shí)用新型棱鏡固定裝置實(shí)施例1的Ry調(diào)節(jié)狀態(tài)示意圖；圖6是本實(shí)用新型棱鏡固定裝置實(shí)施例1支架的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖7是本實(shí)用新型棱鏡固定裝置實(shí)施列1的固定板正面立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖8是本實(shí)用新型棱鏡固定裝置實(shí)施列1的固定板背面立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖9是本實(shí)用新型棱鏡固定裝置實(shí)施例2的立體結(jié)構(gòu)示意圖。圖中所示:100、棱鏡，200、固定板，201、凸臺(tái)，202、第一通孔，203、第二螺紋孔， 204、沉孔，205、通光槽，206、腰形孔，206、第五螺紋孔，300、支架，301、第二通孔，302、第一 螺紋孔，303、第四螺紋孔，304、U形槽孔，305、第三螺紋孔，306、第三通孔，310、水平板，320、 橫梁，401、第一鎖緊螺栓，402、第一調(diào)節(jié)螺栓，501、第三調(diào)節(jié)螺栓，502、彈簧，601、第二鎖緊 螺栓，602、第二調(diào)節(jié)螺栓，603、定位銷(xiāo)。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述本實(shí)用新型棱鏡固定裝置，使用時(shí)，將棱鏡100粘接在固定板200的正面中心位 置，再將棱鏡固定裝置安裝在成像模塊的外殼上。實(shí)施例1 如圖1、圖2、圖3、圖6、圖7、圖8所示，本實(shí)用新型提供一種棱鏡固定裝置，包括粘 接有棱鏡100的固定板200，它還包括與固定板200活動(dòng)連接的支架300，所述支架300用 于調(diào)節(jié)固定板200的方向，從而調(diào)節(jié)棱鏡100的方向。所述支架300包括水平板310，所述水平板310的左右兩側(cè)設(shè)置的第一螺紋孔 302 ；所述固定板200上設(shè)置有與第一螺紋孔302相配的第一通孔202 ；還包括第一鎖緊螺 栓401，所述第一鎖緊螺栓401穿過(guò)固定板200第一通孔202緊固連接在水平板310的第 一螺紋孔302內(nèi)；所述第一通孔202的直徑大于所述第一鎖緊螺栓401的螺桿部分直徑、小 于螺頭部分的直徑；所述第一鎖緊螺栓401的周邊設(shè)置有第二螺紋孔203，所述的第二螺紋 孔203內(nèi)安裝有第一調(diào)節(jié)螺栓402，所述的第一調(diào)節(jié)螺栓402穿過(guò)第二螺紋孔203抵在支架 300的水平板310上。此種技術(shù)方案中，由于棱鏡100是粘接在棱鏡固定裝置的固定板200上，因此，固 定板200與棱鏡100同步運(yùn)動(dòng)。通過(guò)固定板200與支架300設(shè)置的第一鎖緊螺栓401和第 一調(diào)節(jié)螺栓402，可以實(shí)現(xiàn)固定板200在Ry方向的自由度調(diào)節(jié)，從而實(shí)現(xiàn)棱鏡在Ry方向的 自由度調(diào)節(jié)。即先旋松第一鎖緊螺栓401，再旋緊或旋松第一調(diào)節(jié)螺栓402，調(diào)整好位置后， 再旋緊第一鎖緊螺栓401，通過(guò)改變第一調(diào)節(jié)螺栓402螺桿部分頂在支架300的水平板310 的長(zhǎng)度，改變固定板200與水平板310之間的間隙，從而實(shí)現(xiàn)固定板200在Ry方向自由度的調(diào)節(jié)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)棱鏡100在Ry方向自由度的調(diào)節(jié)。如圖2、圖3、圖6、圖9所示，所述支架300還包括位于水平板310上端的橫梁320， 所述橫梁320的兩端分別設(shè)置有U形槽孔304，所述的U形槽孔304內(nèi)安裝有第二鎖緊螺栓 601 ；所述U形槽孔304的周邊至少設(shè)置有一個(gè)第三螺紋孔305，所述的第三螺紋孔305內(nèi) 安裝有第二調(diào)節(jié)螺栓602。此種技術(shù)方案中，由于棱鏡100是粘接在棱鏡固定裝置的固定板200上，因此，固 定板200與棱鏡100同步運(yùn)動(dòng)。通過(guò)支架300的橫梁兩端設(shè)置的第二鎖緊螺栓601和第二 調(diào)節(jié)螺栓602，可以實(shí)現(xiàn)固定板200在Rx方向的自由度調(diào)節(jié)，從而實(shí)現(xiàn)棱鏡100在Rx方向 自由度的調(diào)節(jié)。即先旋松第二鎖緊螺栓601，再旋緊或旋松第二調(diào)節(jié)螺栓602，調(diào)整好位置 后，再旋緊第二鎖緊螺栓601，通過(guò)改變第二調(diào)節(jié)螺栓602的螺桿部分抵在成像模塊外殼的 長(zhǎng)度或者旋入成像模塊外殼上設(shè)置的螺紋孔深度，從而實(shí)現(xiàn)固定板200在Rx方向自由度的 調(diào)節(jié)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)棱鏡100在Rx方向的自由度的調(diào)節(jié)。如圖2-5，7-8所示，所述固定板200的上端面中間部分為弧形面、兩端部分為平 面，所述固定板200的背面中心設(shè)置有腰鼓形凸臺(tái)201，所述支架300的水平板310的中心 設(shè)置有與所述凸臺(tái)201相配的第二通孔301，所述支架300還包括位于水平板310上端的橫 梁320，所述固定板200的上端面的中間部分頂在所述的橫梁320上，所述的橫梁320上設(shè) 置有兩個(gè)第四螺紋孔303，所述的第四螺紋孔303內(nèi)安裝有第三調(diào)節(jié)螺栓501，所述的第三 調(diào)節(jié)螺栓501穿過(guò)第四螺紋孔303抵在固定板200的上端面的兩端。此種技術(shù)方案中，由于棱鏡100是粘接在棱鏡固定裝置的固定板200上，因此，固 定板200與棱鏡100同步運(yùn)動(dòng)。通過(guò)固定板200上端面與支架300的橫梁320兩端設(shè)置 的第三調(diào)節(jié)螺栓501，以及固定板200與支架300的水平板310中心的凸臺(tái)201和第二通 孔301，也可以實(shí)現(xiàn)固定板200在Rz方向的自由度調(diào)節(jié)。即先旋松固定板200與支架300 的水平板310固定連接的第一鎖緊螺栓401，再旋緊或旋松第三調(diào)節(jié)螺栓501，調(diào)整好位置 后，再旋緊第一鎖緊螺栓401。通過(guò)改變第三調(diào)節(jié)螺栓501抵在固定板200上端面的高度， 使固定板200左端或者右端向上或者向下偏移，從而實(shí)現(xiàn)固定板200在Rz方向自由度的調(diào) 節(jié)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)棱鏡100在Rz方向自由度的調(diào)節(jié)。本技術(shù)方案中，由于固定板200背面中心 設(shè)置有凸臺(tái)201和支架300的水平板310中心相配的第二通孔301的作用而使固定板200 不會(huì)從支架300上脫落下來(lái)。本實(shí)施方案中，第三調(diào)節(jié)螺栓501的螺桿部分還可以套有彈 簧502，彈簧502能增大固定板200與支架300的橫梁320之間的作用力。如圖7所示，所述固定板200的正面中心設(shè)置有沉孔204，所述沉孔204的中心延 向固定板200的至少一邊設(shè)置有通光槽205。此種方式中，在使用時(shí)，可以將棱鏡100粘接 在固定板200正面中心的沉孔204的中心，可以防止棱鏡100被人或其它設(shè)備碰掉，起到一 種保護(hù)作用。如圖2、圖3、圖6、圖7、圖8所示，所述固定板200和支架300的中心延向四邊均 設(shè)置有腰形孔206。其優(yōu)點(diǎn)在于腰形孔206，是為了使其它光線(xiàn)能穿過(guò)棱鏡固定裝置。如圖3、圖9所示，所述支架300的橫梁320上還設(shè)置有定位銷(xiāo)603，所述的定位銷(xiāo) 603 一端固定在橫梁320上，另一端為自由端。其優(yōu)點(diǎn)在于在棱鏡固定裝置與成像模塊的 外殼安裝時(shí)，所述的定位銷(xiāo)603可以實(shí)現(xiàn)棱鏡固定裝置與成像模塊的外殼的定位。以上Rz自由度調(diào)節(jié)的技術(shù)方案中，由于固定板200上的第一通孔202的直徑大于第一鎖緊螺栓401的螺桿部分直徑、小于螺栓的螺頭部分直徑，因此，固定板200在Rz方向 上有調(diào)整的余地。實(shí)施例2 本實(shí)施例2與實(shí)施例1相比，其技術(shù)方案中僅在于棱鏡的Rz的調(diào)節(jié)方案的變化， 其它技術(shù)方案相同。如圖9所示，所述支架300還包括位于水平板310上端的橫梁320，所述的橫梁320 上設(shè)置有兩個(gè)第三通孔306，所述的第三通孔306內(nèi)均安裝有第三調(diào)節(jié)螺栓501，所述的第 三調(diào)節(jié)螺栓501與所述固定板200上端面的兩端設(shè)置的第五螺紋孔207緊固連接。本技術(shù) 方案中，第三調(diào)節(jié)螺栓501的螺桿部分還可以套有彈簧502。此種技術(shù)方案中，由于棱鏡100是粘接在棱鏡固定裝置的固定板200上，因此，固 定板200與棱鏡100同步運(yùn)動(dòng)。通過(guò)固定板200上端面與支架300的橫梁320兩端部分緊 固連接的第三調(diào)節(jié)螺栓501，可以實(shí)現(xiàn)固定板200在Rz方向的自由度調(diào)節(jié)，從而實(shí)現(xiàn)棱鏡 100在Rz方向的自由度調(diào)節(jié)。即先旋松固定板200上的第一鎖緊螺栓401，再旋緊或者旋松 橫梁320與固定板200兩端的第三調(diào)節(jié)螺栓501，調(diào)整好位置后，再旋緊第一鎖緊螺栓401， 通過(guò)改變的第三調(diào)節(jié)螺栓501旋入固定板200的深度，使固定板200左端或者右端向上或 者向下偏移，從而實(shí)現(xiàn)固定板200在Rz方向自由度的調(diào)節(jié)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)棱鏡在Rz方向自由度 的調(diào)節(jié)。
權(quán)利要求1.一種棱鏡固定裝置，包括粘接有棱鏡(100)的固定板000)，其特征在于它還包括 與固定板(200)活動(dòng)連接的支架(300)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的棱鏡固定裝置，其特征在于所述支架(300)包括水平板 (310)，所述水平板(310)的左右兩側(cè)設(shè)置的第一螺紋孔(302)；所述固定板(200)上設(shè)置 有與第一螺紋孔(30 相配的第一通孔O02)；還包括第一鎖緊螺栓G01)，所述第一鎖緊 螺栓(401)穿過(guò)固定板(200)第一通孔(20 緊固連接在水平板(310)的第一螺紋孔(302) 內(nèi)；所述第一通孔O02)的直徑大于所述第一鎖緊螺栓G01)的螺桿部分直徑、小于螺頭 部分的直徑；所述第一鎖緊螺栓G01)的周邊設(shè)置有第二螺紋孔003)，所述第二螺紋孔 (203)內(nèi)安裝有第一調(diào)節(jié)螺栓002)，所述第一調(diào)節(jié)螺栓(40 穿過(guò)第二螺紋孔(20 抵在 支架(300)的水平板(310)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的棱鏡固定裝置，其特征在于所述支架(300)還包括位于水 平板(310)上端的橫梁(320)，所述橫梁(320)的兩端分別設(shè)置有U形槽孔(304)，所述U 形槽孔(304)內(nèi)安裝有第二鎖緊螺栓(601)；所述U形槽孔(304)的周邊至少設(shè)置有一個(gè) 第三螺紋孔(305)，所述第三螺紋孔(305)內(nèi)安裝有第二調(diào)節(jié)螺栓(602)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的棱鏡固定裝置，其特征在于所述固定板(200) 的上端面中間部分為弧形面、兩端部分為平面，所述固定板O00)的背面中心設(shè)置有腰鼓 形凸臺(tái)001)，所述支架(300)的水平板(310)的中心設(shè)置有與所述凸臺(tái)(201)相配的第二 通孔(301)，所述支架(300)還包括位于水平板(310)上端的橫梁(320)，所述固定板(200) 的上端面的中間部分頂在所述橫梁(320)上，所述橫梁(320)上設(shè)置有兩個(gè)第四螺紋孔 (303)，所述第四螺紋孔(30 內(nèi)安裝有第三調(diào)節(jié)螺栓(501)，所述第三調(diào)節(jié)螺栓(501)穿過(guò) 第四螺紋孔(30 抵在固定板Q00)的上端面的兩端。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的棱鏡固定裝置，其特征在于所述第三調(diào)節(jié)螺栓(501)的螺 桿部分套有彈簧(502)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的棱鏡固定裝置，其特征在于所述支架(300)還 包括位于水平板(310)上端的橫梁(320)，所述橫梁(320)上設(shè)置有兩個(gè)第三通孔(306)， 所述第三通孔(306)內(nèi)均安裝有第三調(diào)節(jié)螺栓(501)，所述第三調(diào)節(jié)螺栓(501)與所述固定 板(200)上端面的兩端設(shè)置的第五螺紋孔(207)緊固連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的棱鏡固定裝置，其特征在于所述第三調(diào)節(jié)螺栓(501)的螺 桿部分套有彈簧(502)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的棱鏡固定裝置，其特征在于所述固定板(200)和支架(300) 的中心延向四邊均設(shè)置有腰形孔006)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的棱鏡固定裝置，其特征在于所述固定板O00)的正面中 心設(shè)置有沉孔004)，所述沉孔Q04)的中心延向固定板O00)的至少一邊設(shè)置有通光槽 (205)。
10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的棱鏡固定裝置，其特征在于所述支架(300)的橫梁(320) 上還設(shè)置有定位銷(xiāo)(603)，所述定位銷(xiāo)(60 —端固定在橫梁(320)上，另一端為自由端。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種棱鏡固定裝置，包括粘接有棱鏡(100)的固定板(200)，它還包括與固定板(200)活動(dòng)連接的支架(300)。其優(yōu)點(diǎn)在于所述支架(300)用于調(diào)節(jié)固定板(200)的自由度方向，從而調(diào)節(jié)粘接在固定板(200)上棱鏡(100)的自由度方向。
文檔編號(hào)G02B7/18GK201926802SQ20102064436
公開(kāi)日2011年8月10日 申請(qǐng)日期2010年12月6日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月6日
發(fā)明者程海林, 胡永輝 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司