專利名稱：一種光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種環(huán)境控制系統(tǒng)，具體的講是涉及一種光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)。
技術(shù)背景
在半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域，硅片曝光是光刻設(shè)備將掩模版上的集成電路圖形印刷到硅片上的過(guò)程。曝光過(guò)程中，光刻設(shè)備運(yùn)行時(shí)對(duì)其內(nèi)部的溫度恒定性和空氣潔凈度有嚴(yán)格的要求。如果光刻設(shè)備運(yùn)行時(shí)，其內(nèi)部的溫度產(chǎn)生漂移，則使半導(dǎo)體芯片的套刻精度降低；而光刻設(shè)備的空氣潔凈度低時(shí)，直接影響半導(dǎo)體芯片的良品率。
為此，要采用溫度控制系統(tǒng)對(duì)光刻設(shè)備進(jìn)行恒溫控制。現(xiàn)有技術(shù)的溫度控制系統(tǒng)， 如圖1所示，該溫度控制系統(tǒng)由熱源箱210和冷源箱220組成?？蓪?duì)熱源箱210和冷源箱 220溫度分別進(jìn)行設(shè)定，如設(shè)定熱源箱210溫度為30°C，設(shè)定冷源箱220溫度為18°C。冷熱液體在管道2 處混合，使得管道226的液體溫度介于冷源箱220和熱源箱210的溫度之間。管道2 輸出兩條支路，第一條支路，通過(guò)第三調(diào)節(jié)閥240流經(jīng)被控對(duì)象M2，從控制對(duì)象M2中流出的水源回流給熱源箱210，從而控制被控對(duì)象M2的溫度；第二條支路，通過(guò)第四調(diào)節(jié)閥246回流給冷源箱220。溫度傳感器2 采集混合后管道2 的液體溫度，將溫度數(shù)據(jù)傳給溫度控制器230，溫度控制器230根據(jù)輸出端負(fù)載支路的期望值，通過(guò)第二調(diào)節(jié)閥2M來(lái)調(diào)節(jié)冷源箱220的液體流量，直到管道2 混合后的液體溫度達(dá)到負(fù)載支路的期望值。第一調(diào)節(jié)閥214可對(duì)熱源箱210的液體流量進(jìn)行手動(dòng)調(diào)節(jié)。
該溫度控制系統(tǒng)，通過(guò)兩種不同溫度的液體混合方式，使被控對(duì)象達(dá)到預(yù)期的溫度值，其缺點(diǎn)在于同時(shí)采用冷源箱220和熱源箱210，使其系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜、體積較大；當(dāng)冷源箱220和熱源箱210的溫度差別較大時(shí)，由于管道2 混合后的水沒(méi)有經(jīng)過(guò)任何溫度混合裝置進(jìn)行混合，因此，管道2 輸出的水的溫度不均勻。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供了一種通過(guò)制冷和加熱方式精確控制被控單元溫度的光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)。
為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案是一種光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)，包括被控單元，為被控對(duì)象；冷卻水輸送單元，提供冷卻水源，并將冷卻水輸出；溫度控制單元， 將冷卻水輸送單元輸出的冷卻水源進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)后，去控制被控單元的溫度；空氣輸送單元，用于輸送空氣給被控單元。
進(jìn)一步的，所述被控單元包括光刻設(shè)備，所述光刻設(shè)備包括腔體、以及安裝在腔體內(nèi)的物鏡，所述物鏡的出水口通過(guò)第八冷卻水管與冷卻水輸送單元管路連接。
進(jìn)一步的，所述腔體的進(jìn)風(fēng)口處設(shè)置有靜壓腔。
進(jìn)一步的，所述冷卻水輸送單元包括水箱，與水箱管路連接的水泵，與水泵連通的第一冷卻水管。
進(jìn)一步的，所述溫度控制單元包括與冷卻水輸送單元管路連接的制冷器、與制冷器通過(guò)第二冷卻水管管路連接的第一水閥，與第一水閥通過(guò)第三冷卻水管管路連接的第一加熱器，所述第一加熱器通過(guò)第四冷卻水管連接到被控單元的物鏡的進(jìn)水口 ；所述第二冷卻水管上安裝有第一溫度傳感器；所述第一加熱器通過(guò)第一 PID控制器電連接有第二溫度傳感器，所述第二溫度傳感器安裝在被控單元的物鏡上。進(jìn)一步的，所述制冷器通過(guò)第二冷卻水管還連接有第二水閥、與第二水閥通過(guò)第五冷卻水管管路連接有第二加熱器，所述第二加熱器通過(guò)第六冷卻水管管路連接有水-空氣熱交換器，所述水-空氣熱交換器通過(guò)第七冷卻水管、第八冷卻水管連接到冷卻水輸送單元的水箱上；所述第二加熱器通過(guò)第二 PID控制器電連接有第三溫度傳感器，所述第三溫度傳感器安裝在被控單元的腔體內(nèi)。進(jìn)一步的，所述空氣輸送單元包括與被控單元的腔體連通的通風(fēng)管道，所述通風(fēng)管道的進(jìn)風(fēng)管道內(nèi)安裝有風(fēng)機(jī)，所述風(fēng)機(jī)下端的通風(fēng)管道與溫度控制單元的水-空氣熱交換器連接。進(jìn)一步的，所述通風(fēng)管道的進(jìn)風(fēng)口內(nèi)安裝有初效過(guò)濾器。進(jìn)一步的，所述被控單元的腔體的靜壓腔內(nèi)安裝有高效過(guò)濾器。進(jìn)一步的，所述通風(fēng)管道的進(jìn)風(fēng)管道上還安裝有加濕器，所述加濕器通過(guò)第三PID 控制器與濕度傳感器電連接，所述濕度傳感器安裝在被控單元的腔體內(nèi)。進(jìn)一步的，所述通風(fēng)管道的進(jìn)風(fēng)管道上還安裝有第三加熱器，所述第三加熱器通過(guò)第四PID控制器與第四溫度傳感器電連接，所述第四溫度傳感器安裝在被控單元的腔體內(nèi)。本發(fā)明的有益效果是水泵將水從水箱中抽出，通過(guò)第一冷卻水管輸送給制冷器， 給制冷器設(shè)定一個(gè)溫度值，制冷器開(kāi)始制冷，第一溫度傳感器用于采集制冷器輸出的冷卻水溫度。調(diào)節(jié)第一水閥，改變第三冷卻水管的水流量，使冷卻水流過(guò)第一加熱器，經(jīng)過(guò)第一加熱器后的冷卻水通過(guò)第四冷卻水管輸送到物鏡的進(jìn)水口，物鏡被冷卻水冷卻。使用過(guò)的冷卻水經(jīng)第八冷卻水管輸送給冷卻水輸送單元的水箱。第二溫度傳感器設(shè)置在物鏡上，第二溫度傳感器采集物鏡的溫度傳送給第一 PID控制器，當(dāng)?shù)诙囟葌鞲衅鞑杉臏囟戎档陀谖镧R的期望值時(shí)，第一 PID控制器調(diào)節(jié)其占空比來(lái)控制第一加熱器的加熱時(shí)間，從而使經(jīng)過(guò)第一加熱器的冷卻水溫度達(dá)到物鏡的期望溫度值。當(dāng)?shù)诙囟葌鞲衅鞑杉臏囟雀哂谖镧R的溫度期望值時(shí)，第一 PID控制器控制第一加熱器不工作，此時(shí)，調(diào)低制冷器的設(shè)定值，使制冷器輸出的冷卻水溫度降低，然后經(jīng)由第一加熱器加熱后輸送給物鏡。由此可知，以上光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)是通過(guò)制冷和加熱的方式實(shí)現(xiàn)溫度控制的，冷卻水在加熱器之后的管道中進(jìn)行充分混合，不會(huì)出現(xiàn)溫度不均勻的問(wèn)題。光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)僅采用一個(gè)水箱，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積較小。本發(fā)明光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)，設(shè)置有空氣輸送單元，新空氣從進(jìn)風(fēng)口進(jìn)入空氣輸送單元的通風(fēng)管道與出風(fēng)管道的回風(fēng)空氣混合，風(fēng)機(jī)通過(guò)通風(fēng)管道將混合后的空氣送入水-空氣熱交換器進(jìn)行熱交換，出來(lái)的空氣被送入被控單元的腔體內(nèi)，腔體內(nèi)的溫度得到控制。由于空氣中存在顆粒，因此，在通風(fēng)管道的進(jìn)風(fēng)口內(nèi)設(shè)置有初效過(guò)濾器，用于過(guò)濾空氣中的顆粒。為了進(jìn)一步凈化空氣，在腔體的靜壓腔內(nèi)設(shè)置有高效過(guò)濾器。即空氣輸送單元經(jīng)過(guò)兩次過(guò)濾得到潔凈的空氣。在腔體內(nèi)設(shè)置有靜壓腔，靜壓腔用于穩(wěn)定出口空氣的壓力。
本發(fā)明光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)，由于在通風(fēng)管道上設(shè)置有加濕器，因此，還可以控制通風(fēng)管道內(nèi)的空氣濕度，從而控制被控單元的空氣濕度。綜上所述，本發(fā)明光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)具有溫度控制、空氣潔凈度和空氣濕度控制的功能。


圖1是現(xiàn)有技術(shù)控制系統(tǒng)的控制原理圖；圖2是光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)實(shí)施例1的控制原理圖；圖3是光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)實(shí)施例2的控制原理圖；圖4是光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)實(shí)施例3的控制原理圖；圖5是一段時(shí)間內(nèi)腔體和物鏡的溫度變化圖。現(xiàn)有技術(shù)圖示210、熱源箱，214、第一調(diào)節(jié)閥，220、冷源箱，2M、第二調(diào)節(jié)閥，2沈、 管道，228、溫度傳感器，230、溫度控制器，對(duì)0、第三調(diào)節(jié)閥，242、被控對(duì)象，M6、第四調(diào)節(jié)閥。本發(fā)明圖示1、制冷器，3、第一水閥，4、第二水閥，5、水泵，6、水箱，7、第二加熱器， 8、第一加熱器，9、風(fēng)機(jī)，10、通風(fēng)管道，11、水-空氣交換器，12、靜壓腔，13、第一溫度傳感器，14、第三溫度傳感器，15、第二溫度傳感器，16、第二 PID控制器，17、第一 PID控制器，18、 物鏡，19、腔體，20、初效過(guò)濾器，21、高效過(guò)濾器，22、加濕器，23、第三加熱器，24、第三PID 控制器，25、濕度傳感器，沈、第四PID控制器，27、第四溫度傳感器，觀、進(jìn)風(fēng)口，四、進(jìn)風(fēng)管道，30、出風(fēng)管道，101、第一冷卻水管、102、第二冷卻水管，103、第三冷卻水管，104、第四冷卻水管，105、第五冷卻水管，106、第六冷卻水管，107、第七冷卻水管，108、第八冷卻水管。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述實(shí)施例1 如圖2所示，本發(fā)明光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)，包括被控單元，為被控對(duì)象；冷卻水輸送單元，提供冷卻水源，并將冷卻水輸出；溫度控制單元，將冷卻水輸送單元輸出的冷卻水源進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)后，去控制被控單元的溫度；空氣輸送單元，用于輸送空氣給被控單元。所述被控單元包括光刻設(shè)備，所述光刻設(shè)備包括腔體19、以及安裝在腔體19內(nèi)的物鏡18，所述物鏡18的出水口通過(guò)第八冷卻水管108與冷卻水輸送單元管路連接。所述腔體19的進(jìn)風(fēng)口處設(shè)置有靜壓腔12。所述冷卻水輸送單元包括水箱6，與水箱6管路連接的水泵5，與水泵5連通的第一冷卻水管101。所述溫度控制單元包括與冷卻水輸送單元的第一冷卻水管101管路連接的制冷器1、與制冷器1通過(guò)第二冷卻水管102管路連接的第一水閥3，與第一水閥3通過(guò)第三冷卻水管103管路連接的第一加熱器8，所述第一加熱器8通過(guò)第四冷卻水管104連接到被控單元的物鏡18的進(jìn)水口 ；所述第二冷卻水管102上安裝有第一溫度傳感器13，用于采集制冷器1的制冷溫度；所述第一加熱器8通過(guò)第一 PID控制器17電連接有第二溫度傳感器 15，所述第二溫度傳感器15安裝在被控單元的物鏡18上，用于采集被控單元的物鏡18的溫度。所述制冷器1通過(guò)第二冷卻水管102還連接有第二水閥4、與第二水閥4通過(guò)第五冷卻水管105管路連接有第二加熱器7，所述第二加熱器7通過(guò)第六冷卻水管106管路連接有水-空氣熱交換器11，所述水-空氣熱交換器11通過(guò)第七冷卻水管107、第八冷卻水管 108連接到冷卻水輸送單元的水箱6上；所述第二加熱器7通過(guò)第二 PID控制器16電連接有第三溫度傳感器14，所述第三溫度傳感器14安裝在被控單元的腔體19內(nèi)，用于采集被控單元的腔體19的溫度。所述空氣輸送單元包括與被控單元的腔體19連通的通風(fēng)管道10，所述通風(fēng)管道 10的進(jìn)風(fēng)管道四內(nèi)安裝有風(fēng)機(jī)9，所述風(fēng)機(jī)9下端的通風(fēng)管道10與溫度控制單元的水-空氣熱交換器11連接。所述通風(fēng)管道10包括進(jìn)風(fēng)口 28，與進(jìn)風(fēng)口觀連通的進(jìn)風(fēng)管道四和出風(fēng)管道30。實(shí)施例2 如圖3所示，本實(shí)施例是在實(shí)施例1的基礎(chǔ)上改進(jìn)而成，其區(qū)別是在通風(fēng)管道10 的進(jìn)風(fēng)口觀內(nèi)安裝有初效過(guò)濾器20。在被控單元的靜壓腔12內(nèi)安裝有高效過(guò)濾器21。實(shí)施例3 如圖4所示，本實(shí)施例是在實(shí)施例2的基礎(chǔ)上改進(jìn)而成，其區(qū)別是所述空氣輸送單元的通風(fēng)管道10的進(jìn)風(fēng)管道四上還安裝有加濕器22，所述加濕器22通過(guò)第三PID控制器M與濕度傳感器25電連接，所述濕度傳感器25安裝在被控單元的腔體19內(nèi)。在空氣輸送單元的通風(fēng)管道10的進(jìn)風(fēng)管道四上安裝有第三加熱器23，第三加熱器23通過(guò)第四 PID控制器沈與第四溫度傳感器27電連接，第四溫度傳感器27安裝在被控單元的腔體19 內(nèi)。本發(fā)明的工作原理如下水泵5將水從水箱6中抽出，通過(guò)第一冷卻水管101輸送給制冷器1，給制冷器1設(shè)定一個(gè)溫度值，制冷器1開(kāi)始制冷，第一溫度傳感器13用于采集制冷器1輸出的冷卻水溫度。調(diào)節(jié)第一水閥3，改變第三冷卻水管103的水流量，使冷卻水流過(guò)第一加熱器8，經(jīng)過(guò)第一加熱器8后的冷卻水通過(guò)第四冷卻水管104輸送到物鏡18的進(jìn)水口，物鏡18被冷卻水冷卻。使用過(guò)的冷卻水經(jīng)第八冷卻水管108輸送給冷卻水輸送單元的水箱6。第二溫度傳感器15設(shè)置在物鏡18上，第二溫度傳感器15采集物鏡18的溫度傳送給第一 PID控制器17，當(dāng)?shù)诙囟葌鞲衅?5采集的溫度值低于物鏡18的期望值時(shí)， 第一 PID控制器17調(diào)節(jié)其占空比來(lái)控制第一加熱器8的加熱時(shí)間，從而使經(jīng)過(guò)第一加熱器 8的冷卻水溫度達(dá)到物鏡18的期望溫度值。當(dāng)?shù)诙囟葌鞲衅?5采集的溫度高于物鏡18 的溫度期望值時(shí)，第一 PID控制器17控制第一加熱器8不工作，此時(shí)，調(diào)低制冷器1的設(shè)定值，使制冷器1輸出的冷卻水溫度降低，然后經(jīng)由第一加熱器8加熱后輸送給物鏡18。由此可知，以上光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)是通過(guò)制冷和加熱的方式實(shí)現(xiàn)溫度控制的，冷卻水在加熱器之后的管道中進(jìn)行充分混合，不會(huì)出現(xiàn)溫度不均勻的問(wèn)題。光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)僅采用一個(gè)水箱6，使其系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積較小。本發(fā)明光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)，設(shè)置有空氣輸送單元，新空氣從進(jìn)風(fēng)口觀進(jìn)入空氣輸送單元的通風(fēng)管道10與出風(fēng)管道30的回風(fēng)空氣混合，風(fēng)機(jī)9通過(guò)通風(fēng)管道10將混合后的空氣送入水-空氣熱交換器11進(jìn)行熱交換，出來(lái)的空氣被送入被控單元的腔體19內(nèi)， 腔體19內(nèi)的溫度得到控制。由于空氣中存在顆粒，因此，在通風(fēng)管道10的進(jìn)風(fēng)口觀內(nèi)設(shè)置有初效過(guò)濾器20，用于過(guò)濾空氣中的顆粒。為了進(jìn)一步凈化空氣，在腔體19的靜壓腔12CN 102540750 A
內(nèi)設(shè)置有高效過(guò)濾器21。即空氣輸送單元經(jīng)過(guò)兩次過(guò)濾得到潔凈的空氣。在腔體19內(nèi)設(shè)置有靜壓腔12，靜壓腔12用于穩(wěn)定出口空氣的壓力。本發(fā)明光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)，由于在通風(fēng)管道10上設(shè)置有加濕器22，因此，還可以控制通風(fēng)管道10內(nèi)的空氣濕度，從而控制被控單元的空氣濕度。其中，第一水閥3、第二水閥4的作用相同，都是調(diào)節(jié)水的流量；第一加熱器8、第二加熱器7、第三加熱器23的工作原理相同，控制方式相同，分別采用第一 PID控制器17、第二 PID控制器16、第四PID控制器沈輸出占空比信號(hào)，從而控制其加熱時(shí)間；加濕器22通過(guò)第三PID控制器M輸出占空比信號(hào)，從而控制加濕器22的加熱時(shí)間，使其輸出不同濕度的空氣。濕度傳感器25用于采集被控單元的腔體19內(nèi)的濕度，傳給第三PID控制器M。圖5是本發(fā)明光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)一段時(shí)間內(nèi)腔體19和物鏡18的溫度變化圖，其中縱軸代表溫度值，橫軸代表時(shí)間值。圖5中上面的曲線為腔體19 一段時(shí)間內(nèi)的溫度變化值；下面的曲線為物鏡18 —段時(shí)間的溫度變化值。從圖5中可以看出，在一段時(shí)間內(nèi)腔體19和物鏡18的溫度變化值很小，因此，采用本發(fā)明光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)能精確控制被控單元的溫度。綜上所述，本發(fā)明光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)具有溫度控制、空氣潔凈度和空氣濕度控制的功能。
權(quán)利要求
1.一種光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)，其特征在于包括被控單元，為被控對(duì)象；冷卻水輸送單元，提供冷卻水源，并將冷卻水輸出；溫度控制單元，將冷卻水輸送單元輸出的冷卻水源進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)后，去控制被控單元的溫度；空氣輸送單元，用于輸送空氣給被控單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)，其特征在于所述被控單元包括光刻設(shè)備，所述光刻設(shè)備包括腔體(19)、以及安裝在腔體(19)內(nèi)的物鏡(18)，所述物鏡(18) 的出水口通過(guò)第八冷卻水管(108)與冷卻水輸送單元管路連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)，其特征在于所述腔體(19)的進(jìn)風(fēng)口處設(shè)置有靜壓腔(12)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)，其特征在于所述冷卻水輸送單元包括水箱(6)，與水箱(6)管路連接的水泵(5)，與水泵( 連通的第一冷卻水管(101)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)，其特征在于所述溫度控制單元包括與冷卻水輸送單元管路連接的制冷器(1)、與制冷器(1)通過(guò)第二冷卻水管(10 管路連接的第一水閥(3)，與第一水閥( 通過(guò)第三冷卻水管(10 管路連接的第一加熱器(8)， 所述第一加熱器⑶通過(guò)第四冷卻水管(104)連接到被控單元的物鏡(18)的進(jìn)水口 ；所述第二冷卻水管(10 上安裝有第一溫度傳感器(1 ；所述第一加熱器(8)通過(guò)第一 PID控制器(17)電連接有第二溫度傳感器(15)，所述第二溫度傳感器(1 安裝在被控單元的物鏡(18)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)，其特征在于所述制冷器(1)通過(guò)第二冷卻水管(10 還連接有第二水閥G)、與第二水閥(4)通過(guò)第五冷卻水管(10 管路連接有第二加熱器(7)，所述第二加熱器(7)通過(guò)第六冷卻水管(106)管路連接有水-空氣熱交換器(11)，所述水-空氣熱交換器(11)通過(guò)第七冷卻水管(107)、第八冷卻水管(108) 連接到冷卻水輸送單元的水箱(6)上；所述第二加熱器(7)通過(guò)第二 PID控制器(16)電連接有第三溫度傳感器(14)，所述第三溫度傳感器(14)安裝在被控單元的腔體(19)內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)，其特征在于所述空氣輸送單元包括與被控單元的腔體(19)連通的通風(fēng)管道(10)，所述通風(fēng)管道(10)的進(jìn)風(fēng)管道09)內(nèi)安裝有風(fēng)機(jī)(9)，所述風(fēng)機(jī)(9)下端的通風(fēng)管道(10)與溫度控制單元的水-空氣熱交換器 (11)連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)，其特征在于所述通風(fēng)管道(10)的進(jìn)風(fēng)口 0 內(nèi)安裝有初效過(guò)濾器00)。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)，其特征在于所述被控單元腔體 (19)的靜壓腔(12)內(nèi)安裝有高效過(guò)濾器01)。
10.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)，其特征在于所述通風(fēng)管道 (10)的進(jìn)風(fēng)管道09)上還安裝有加濕器(22)，所述加濕器0 通過(guò)第三PID控制器04) 與濕度傳感器0 電連接，所述濕度傳感器0 安裝在被控單元的腔體(1 內(nèi)。
11.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)，其特征在于所述通風(fēng)管道 (10)的進(jìn)風(fēng)管道09)上還安裝有第三加熱器(23)，所述第三加熱器通過(guò)第四PID控制器06)與第四溫度傳感器(XT)電連接，所述第四溫度傳感器(XT)安裝在被控單元的腔體(19)內(nèi)。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)，包括被控單元，為被控對(duì)象；冷卻水輸送單元，提供冷卻水源，并將冷卻水輸出；溫度控制單元，將冷卻水輸送單元輸出的冷卻水源進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)后，去控制被控單元的溫度；空氣輸送單元，用于輸送空氣給被控單元。本發(fā)明光刻設(shè)備環(huán)境控制系統(tǒng)，能夠通過(guò)制冷和加熱方式精確控制被控單元的溫度。
文檔編號(hào)G03F7/20GK102540750SQ20101061842
公開(kāi)日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2010年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月30日
發(fā)明者俞蕓, 楊志斌, 江家瑋, 王飛, 聶宏飛, 趙濱 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司