專利名稱:對準標記的檢測方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及檢測形成于掩模的掩模對準標記和形成于工件的工件對準標記,以使 二者成為預(yù)先設(shè)定的位置關(guān)系的方式進行對位,并經(jīng)掩模對工件照射光的曝光裝置中的用 于檢測工件對準標記的檢測方法,特別是涉及在作為工件對準標記使用形成于印刷基板等 的工件的圓形的凹陷的情況下的工件對準標記的檢測方法。
背景技術(shù):
在利用光刻法制造半導(dǎo)體元件、印刷基板、液晶基板等的圖案的工序中使用曝光 裝置。曝光裝置使形成有掩模圖案的掩模和該圖案所要被轉(zhuǎn)印的工件以預(yù)定的位置關(guān)系對 位(對準),然后,經(jīng)掩模對涂布有抗蝕劑的工件照射曝光光。由此,掩模圖案被轉(zhuǎn)印至工件 (曝光)。曝光裝置中的掩模與工件的對位一般以下述方式進行。(1)利用準直顯微鏡檢測形成于掩模的對準標記(以下稱為掩模標記)和形成于 工件的對準標記(以下稱為工件標記)。(2)在裝置的控制部中對利用準直顯微鏡檢測到的掩模標記和工件標記進行圖像 處理,求出各自的(在準直顯微鏡的視場中的)位置坐標。(3)使掩?;蛘吖ぜ苿?,以使二者的位置成為預(yù)先設(shè)定的位置關(guān)系。另外,掩模和工件必須進行平面內(nèi)的2方向(X方向和Y方向)和旋轉(zhuǎn)方向(8方 向)的對位。因此,掩模標記和工件標記分別形成有2處以上。圖6中示出用于檢測工件標記的準直顯微鏡10的概要結(jié)構(gòu)。另外,如上所述,掩模 標記和工件標記分別形成有2處以上,因此,與此對應(yīng),準直顯微鏡10也設(shè)置有2處以上, 但在該圖中僅示出1個(1處)。準直顯微鏡10由半透半反鏡10a、透鏡L1、L2以及CXD照相機IOb構(gòu)成。11是用 于進行圖像處理等的計算裝置,12是監(jiān)視器,W是形成有工件標記WAM的工件。作為檢測工件標記WAM的方法,公知的方法有基于圖案匹配9 — yn + y ”的檢測和基于邊緣檢測的檢測。另外,此處所說的檢測并不僅僅指取入對準標記圖像, 還包含其位置(坐標)的檢測。例如專利文獻1的0004段 0009段中對圖案匹配進行了簡單的說明。對于該方法,例如利用準直顯微鏡10對工件W的表面進行放大并利用CCD照相機 進行攝像。控制部11在攝像圖像內(nèi)進行掃描,檢測與登記的工件標記的圖像一致的部位 (圖案),并進行求出該部位的位置的圖像處理。邊緣檢測是在攝像圖像內(nèi)將亮度變化大的部分看做圖案的邊緣而檢測圖案的方 法。使用圖7簡單地說明。圖7(a)是利用準直顯微鏡的CXD攝像的工件表面的圖像的例子。如果在工件的 表面形成有圖案,則該部分的照明光的反射率變化,明亮度(亮度)與其他部分不同。圖中 帶有影線的橢圓形的部分是圖案。
如圖7(b)所示,在上述的攝像的圖像中,以一定的間隔在一個方向(圖中箭頭的 方向)對圖像的亮度分布進行微分,以微分值(亮度變化)最大的部分作為圖案的邊緣(圖 中的黑色圓點·)。在攝像圖像整體反復(fù)進行上述作業(yè),如圖7(c)所示,以將求出的邊緣彼此連結(jié)而 得到的圖形作為圖案。進而,計算該圖案的例如重心,并作為圖案的位置。[專利文獻1]日本特開2001-110697號公報在工件為印刷基板的情況下,作為工件標記有時利用通過激光照射形成于基板的 孔(凹陷,以下稱為導(dǎo)通孔(Ι Τ·* — ^))。其原因如下所述。在印刷基板的制造中,為了獲得形成為多層的布線的層間的結(jié)合,通過激光照射 形成有多個大約Φ 100 μ m的導(dǎo)通孔(貫通層間的孔)。因此,如果在形成層間結(jié)合用的導(dǎo) 通孔時順便例如在工件的周邊部形成工件標記,則無需另外的用于形成對準標記的工序。但是,對于印刷基板100,在形成導(dǎo)通孔101之后,如圖8(a)所示,在表面鍍銅102 等金屬,然后,為了進行曝光,如圖8(b)所示,粘貼被稱為干膜抗蝕劑的厚度數(shù)十ym的薄 膜狀的抗蝕劑(抗蝕劑膜)103。因此,作為工件標記形成的導(dǎo)通孔101被抗蝕劑膜103覆蓋。利用準直顯微鏡越過以這種方式粘貼的抗蝕劑膜103觀察作為工件標記的導(dǎo)通 孔。此時,根據(jù)導(dǎo)通孔101的開口部分處的抗蝕劑膜103的下垂的情況不同,準直顯微鏡的 攝像單元(CCD)中的導(dǎo)通孔101的外觀(見λ方)(形狀、明暗或者色調(diào))會發(fā)生各種各樣 的變化。圖9(a) (f)是對由抗蝕劑薄膜覆蓋的導(dǎo)通孔進行攝像的圖像例。如該圖所示, 導(dǎo)通孔看起來為白色、或者看起來為淡灰色至深灰色、或者看起來在白色中帶有黑點,外觀 多種多樣。這樣,當導(dǎo)通孔即工件標記的外觀變化時,在檢索與登記的圖像一致的圖案的圖 案匹配中,有時無法檢測工件標記。因此,在這種工件標記的檢測中,我們考慮并不進行基于圖案匹配的圖案檢測,而 是考慮進行基于邊緣檢測的圖案檢測。這是因為,如果采用邊緣檢測,即便工件標記的外觀 不同,在導(dǎo)通孔的邊緣部分也會產(chǎn)生亮度的變化,因此認為能夠進行工件標記(導(dǎo)通孔)的 檢測。如上所述,在邊緣檢測中,以圖像中的亮度變化最大的部分作為邊緣,并連接該邊 緣以檢測圖案。在圖案像導(dǎo)通孔這樣為圓形的情況下,將檢測到的各個邊緣近似連接為圓 形,計算該圓的中心位置作為圖案的位置。然而,可以清楚,如果直接應(yīng)用現(xiàn)有的邊緣檢測方法,則存在無法檢測工件標記的 準確位置的情況。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明探明了將在使用由抗蝕劑膜覆蓋的導(dǎo)通孔等這樣的根據(jù)狀況不同而外觀 不同的圖案作為工件標記的情況下,在以往的邊緣檢測中無法檢測工件標記等圖案的準確 位置的原因,并基于此提供一種能夠檢測圖案的準確位置的對準標記的檢測方法,本發(fā)明 的目的在于提供一種能夠使用邊緣檢測方法正確地檢測外觀多種多樣的工件標記等圖案的位置的對準標記的檢測方法。對在以往的邊緣檢測中無法檢測工件標記的準確位置的情況進行了銳意研究,結(jié) 果發(fā)現(xiàn),其原因之一為以下的理由。如上所述,以往的基于邊緣檢測的圖案的位置檢測采取以下的步驟作為邊緣檢 測亮度變化最大的部分,連結(jié)檢測到的邊緣并進行圓近似,并計算該圓的中心位置。如圖9所示,導(dǎo)通孔的外觀根據(jù)粘貼在該導(dǎo)通孔上的抗蝕劑膜的不同而各種各 樣,大致上,孔的中間為白色或者淡灰色,工件(基板)的部分為深灰色,導(dǎo)通孔的邊緣的部 分為黑色。此處,如圖10(a)所示,如果覆蓋導(dǎo)通孔101的抗蝕劑膜103以左右均等的狀態(tài)垂 下至孔中,則看起來為白色的部分的中心與導(dǎo)通孔的中心大致一致。但是,如圖10(b)、(c)所示,如果抗蝕劑膜103在導(dǎo)通孔101中偏向于一方而垂 下,則看起來為白色的部分的中心與導(dǎo)通孔的中心不一致。這種現(xiàn)象當抗蝕劑膜103在導(dǎo) 通孔101中褶皺偏離的狀態(tài)下也會產(chǎn)生。如上所述,在邊緣檢測中,作為邊緣檢測亮度變化最大的部分。在看起來如圖10 所示的導(dǎo)通孔(工件標記)101中,亮度變化最大的部分是看起來為白色的部分與看起來為 黑色的部分之間的邊界部分,即,作為工件標記檢測看起來為白色的部分。但是,本來的工件標記的位置是導(dǎo)通孔101的位置,如圖10(a)所示,在導(dǎo)通孔101 的中心與看起來為白色的部分的中心一致的情況下能夠檢測工件標記(導(dǎo)通孔)101的準 確位置,但是,如圖9 (b)、(C)所示,在看起來為白色的部分的中心與導(dǎo)通孔101的中心不一 致的情況下無法檢測工件標記(導(dǎo)通孔)101的準確位置。基于上述的見解,為了解決該問題,我們進一步重復(fù)進行了研究,得出了如下的考 慮。導(dǎo)通孔的邊緣在圖像中最黑,在該導(dǎo)通孔的邊緣與其周邊的基板質(zhì)地的深灰色部分之 間存在微小的亮度變化。因此,例如當觀察從導(dǎo)通孔的中心朝向周邊的顏色變化時,如果以該從黑色變化 為深灰色的部分作為邊緣,并求出與連結(jié)該多個邊緣的位置而形成的閉曲線近似的圓的中 心的話,則能夠準確地檢測導(dǎo)通孔(工件標記)的位置。為了實現(xiàn)該方法,按照以下的步驟進行邊緣檢測。與以往同樣,求出利用準直顯微鏡攝像的工件的圖像的亮度分布,并在預(yù)定的方 向?qū)υ摿炼冗M行微分而求出亮度的變化。但是,并不像以往那樣將亮度變化(微分值)的最大部分作為邊緣,而是針對圖案 的圖像在多個放射方向求出相對于距離的亮度分布,在各個方向分別一個一個地抽出亮度 變化的極大值或者極小值的位置來進行組合。進而,求出多個與通過上述極大值或者極小值的位置的閉曲線近似的圓,選擇該 多個圓內(nèi)的半徑(也可以是直徑)最接近工件對準標記的半徑(也可以是直徑)的圓,并 求出該圓的中心位置。例如,觀察從圖案的圖像的中心附近朝向周邊的顏色的變化,以亮度變化的微分 值在預(yù)先設(shè)定的值以上且向上凸出的部分(設(shè)在黑色一白色變化的情況下微分值為正)的 微分值的位置作為邊緣,并以連結(jié)這樣求出的邊緣彼此的閉曲線作為圖案。進而,如果這樣得到的圖案的大小與工件標記(導(dǎo)通孔)的設(shè)計值的大小大致一致,則以該圖案作為工件標記,并計算求出其中心位置。即,在本發(fā)明中以下述方式解決上述課題。(1)取得形成于工件的圖案的圖像。(2)對從上述取得的圖案的圖像的中心附近開始的多個放射方向、或者朝向中心 方向的多個放射方向求出相對于距離的亮度分布。(3)對上述求出的亮度分布進行微分,求出相對于距離的亮度變化即微分值,并對 上述各個放射方向求出該微分值的極大值或者極小值的位置。(4)求出多個近似為閉曲線的圓,該閉曲線通過分別一個一個地抽出對上述各個 放射方向求出的上述極大值或者極小值的位置而進行組合的位置。(5)對上述多個圓的半徑(直徑)與圓形的工件對準標記的半徑(直徑)進行比 較,從上述多個圓中選擇與工件對準標記的半徑(直徑)最接近的圓。(6)計算上述選擇的圓的中心位置,并以該中心位置作為工件對準標記的位置。發(fā)明效果在本發(fā)明中,由于求出多個與通過亮度變化的微分值的極大值或者極小值的位置 的閉曲線近似的圓,并選擇最接近工件對準標記的大小的圓從而求出工件對準標記的位 置,因此即便在工件上粘貼有抗蝕劑膜也能夠檢測作為工件標記的導(dǎo)通孔的準確位置。
圖1是示出作為本發(fā)明的應(yīng)用對象之一的投影曝光裝置的結(jié)構(gòu)的圖。圖2是示出檢測到的圖像(示意圖)、該圖像的放射方向的亮度分布及其微分值的 圖。圖3是示出與連結(jié)圖像的亮度的微分值的極大值或者極小值的位置的閉曲線近 似的多個圓的圖。圖4是示出顯示在監(jiān)視器上的工件標記像的圖。圖5是說明近似的圓的分數(shù)的圖。圖6是示出用于檢測工件標記的準直顯微鏡10的概要結(jié)構(gòu)的圖。圖7是說明基于邊緣檢測的圖案檢測方法的圖。圖8是示出作為工件標記使用的導(dǎo)通孔的形狀例的圖。圖9是示出對由抗蝕劑膜覆蓋的導(dǎo)通孔進行攝像的圖像例的圖。圖10是說明由抗蝕劑膜覆蓋的導(dǎo)通孔的外觀的圖。標記說明1 光照射裝置;2 投影透鏡;3 掩模載物臺驅(qū)動機構(gòu);4 工件載物臺驅(qū)動機構(gòu); 10 準直顯微鏡;IOa 半透半反鏡;IOb :CCD照相機;IOc 照明單元;11 控制部;Ila 圖像 處理部;lib 存儲部;Ilc 工件標記中心位置檢測部;Ild 對位控制部;lie 登記部;12 監(jiān)視器;Li、L2 透鏡;M 掩模;MS 掩模載物臺;MAM 掩模標記(掩模對準標記);MP 掩模 圖案;W 工件;WS 工件載物臺;WAM 工件標記(工件對準標記)。
具體實施例方式圖1是示出作為本發(fā)明的應(yīng)用對象之一的投影曝光裝置的結(jié)構(gòu)的圖。
在該圖中,MS為掩模載物臺。形成有掩模標記MAM和掩模圖案MP的掩模M放置 并被保持于掩模載物臺MS。從光照射裝置1射出曝光光。射出的曝光光經(jīng)掩模M、投影透鏡2照射到載置于工 件載物臺WS上的涂布有抗蝕劑的工件W上,掩模圖案MP投影到工件W上并被曝光。在投影透鏡2與工件W之間,在2處設(shè)有能夠沿該圖的箭頭方向移動的準直顯微 鏡10。在將掩模圖案MP曝光到工件W上之前,將準直顯微鏡10插入圖示的位置,檢測掩模 標記MAM和形成于工件的工件標記WAM,進行掩模M與工件W的對位。在對位之后,準直顯 微鏡10從工件W上退避。另外,在圖1中僅示出設(shè)有2處的準直顯微鏡中的一方的準直顯 微鏡。如上所述,準直顯微鏡10由半透半反鏡10a、透鏡Li、L2、以及CXD照相機IOb構(gòu) 成。在準直顯微鏡10上設(shè)有用于對攝像的工件W的表面進行照明的照明單元10c。利用準直顯微鏡10的CXD照相機IOb接收到的掩模標記MAM像、工件標記WAM像 等被發(fā)送至控制部11。控制部11具備圖像處理部11a,該圖像處理部Ila用于對由上述CXD照相機IOb 接收到的圖像進行處理;以及存儲部11b,該存儲部lib存儲工件標記的大小、掩模標記的 位置坐標信息、以及用于進行邊緣檢測的參數(shù)等各種參數(shù)。進一步,控制部11還具備工件標記中心位置檢測部11c,該工件標記中心位置檢 測部Ilc從由CXD照相機IOb接收并由圖像處理部Ila進行了圖像處理后的圖像進行邊緣 檢測,對利用邊緣檢測得到的圖案的形狀與預(yù)先登記的工件標記的形狀進行比較評價,判 定該圖案是否是作為工件標記檢測的圖案,并檢測中心位置坐標;對位控制部lld,該對位 控制部Ild使工件載物臺WS或者掩模載物臺MS (或者雙方)移動,以使作為工件標記檢測 到的圖案的位置坐標與存儲于存儲部lib的掩模標記像的位置坐標一致;以及登記部lie, 該登記部lie根據(jù)操作者的指示用于將工件標記的大小或邊緣檢測的條件(后述的微分閾 值)等登記于存儲部lib。工件載物臺WS或者掩模載物臺MS由工件載物臺驅(qū)動機構(gòu)4、掩模載物臺驅(qū)動機 構(gòu)3驅(qū)動而沿XY方向(X、Y 與掩模載物臺MS、工件載物臺WS面平行且彼此正交的2個方 向)移動、并繞與XY平面垂直的軸為中心旋轉(zhuǎn),上述工件載物臺驅(qū)動機構(gòu)4、掩模載物臺驅(qū) 動機構(gòu)3由上述對位控制部Ild控制。在上述控制部11連接有監(jiān)視器12,由上述圖像處理部Ila進行了圖像處理的圖像 例如如圖4所示顯示于監(jiān)視器12的屏幕。使用上述圖4和圖1、圖2、圖3對利用控制部進行的基于邊緣檢測的工件標記檢 測的方法進行說明。另外,圖2示出檢測到的圖像(示意圖,與實際的圖像不同)、該圖像的放射方向的 亮度分布及其微分值,圖3示出與連結(jié)檢測到的圖像的亮度的微分值的極大值或者極小值 的位置的閉曲線近似的多個圓。在圖1中,控制部11從圖4所示的圖像中檢索工件標記。在該檢索中例如使用被 稱作斑點檢測的方法。斑點檢測是為了在2值(黑白)圖像內(nèi)檢測具有相同的濃度的像素 的集合體(例如圓形或四邊形之類的形狀的部分)而通常使用的方法。另外,在檢測工件 標記時也可以使用斑點檢測以外的檢測方法。
S卩,控制部11利用斑點檢測從由準直顯微鏡10檢測到的如圖4所示的圖像中選 出呈現(xiàn)作為工件標記的形狀的圓形的形狀的部分。進而,以使該呈現(xiàn)圓形的形狀的部分位 于準直顯微鏡10的視場的中心的方式移動工件載物臺WS,并且切換準直顯微鏡10的倍率, 對該圖像進行放大并利用CXD照相機IOb接收。圖2 (a)是通過上述方式利用準直顯微鏡10的CXD照相機IOb接收到的作為工件 標記WAM的導(dǎo)通孔(e τ *一& )的圖像的示意圖。在工件粘貼有抗蝕劑膜,該抗蝕劑膜 覆蓋在導(dǎo)通孔上。該圖的白色部分是導(dǎo)通孔的孔的部分,白色部分周圍的顏色濃的部分是導(dǎo)通孔的 邊緣部分,顏色濃的部分周圍的顏色稍淡的部分是工件(基板)的部分。首先,控制部11的工件標記中心位置檢測部Ilc求出如圖2(a)所示的接收到的 圖案的從圖像的中心附近開始沿著該圖的虛線A所示的多個放射方向的相對于距離的圖 像的亮度分布。另外,圖案圖像的大體的中心位置預(yù)先通過上述斑點檢測求出。圖2(b)中示出某一方向的亮度分布。橫軸為放射(掃描)方向的距離,縱軸為亮 度。如該圖所示,導(dǎo)通孔的內(nèi)側(cè)(孔的部分)映照為白色而亮度高。當從內(nèi)側(cè)朝外側(cè)前進 時,當?shù)竭_導(dǎo)通孔的邊緣時變?yōu)楹谏?,亮度急劇下降。當從?dǎo)通孔的邊緣過渡至基板的部分 時,亮度稍稍上升。接著,工件標記中心位置檢測部Ilc對如圖2(b)所示的得到的亮度分布的曲線進 行微分。結(jié)果為圖2(c)。橫軸為放射(掃描)方向的距離,縱軸為微分值、即亮度變化。如該圖所示,亮度的變化在亮度從明變暗(從白色變黑色)的部分(圖中白色邊 緣1 微分值的極小值)最大。以往,作為工件標記(導(dǎo)通孔)的邊緣檢測該亮度變化最大 的白色邊緣1的部分。但是,在本發(fā)明中,并不僅僅檢測該白色邊緣1,還檢測亮度從暗變明(從黑色變 白色)的黑色邊緣。因此進行下述的步驟。為了無視白色邊緣1,預(yù)先在控制部設(shè)定微分值的閾值,無視一定值以下(負值) 的微分值。從白色變黑色的部分的微分值為負。因此,無視白色邊緣。進而,作為邊緣的候補點檢測微分值在閾值以上且向上凸出的極大值的部分、即 亮度從黑色變白色的部分(黑色邊緣)。在圖2(c)中,黑色邊緣(極大值)存在以黑色邊 緣1、2、3所示的3處。圖2(d)中示出圖像中的白色邊緣和黑色邊緣的部位。這樣,求出各個放射方向的黑色邊緣的位置。進而,如圖3所示,針對檢測到的各 個黑色邊緣,連結(jié)彼此最近的黑色邊緣并用圓近似。S卩,在各個放射方向分別一個一個地抽出亮度變化的極大值的位置進行組合,求 出多個與通過上述極大值位置的閉曲線近似的圓。進而,從得到的各個圓計算各個圓的半徑r (或者直徑)??刂撇恐蓄A(yù)先輸入有作 為工件標記的導(dǎo)通孔的半徑(或者直徑)(設(shè)計值),對各個圓的半徑r (或者直徑)與導(dǎo)通 孔的半徑(或者直徑)進行比較,以具有與導(dǎo)通孔的半徑(或者直徑)最接近的值的圓作 為導(dǎo)通孔的邊緣、即工件標記的圖案。進而,求出該圓的中心位置,并以該中心位置作為工 件標記的位置。在圖3中,作為圓示出了連結(jié)黑色邊緣1的圓Cl、連結(jié)黑色邊緣2的圓C2、以及連 結(jié)黑色邊緣3的圓C3這3種圓,但是,并不僅限于這3種圓,有時也例如如該圖所示描繪圓Cl C3以外的圓C4、C5等。這是因為,如該圖所示,存在例如無法檢測黑色邊緣1 3內(nèi)的一部分、或者作為 黑色邊緣檢測到圖像上的噪聲等未必能夠在各個放射方向求出正確的黑色邊緣1 3的位 置的情況。因此,在各個放射方向分別一個一個地抽出亮度變化的極大值的位置進行組合并 如上所述地近似多個圓,并針對各個圓如上所述地求出如以下的(a)所述的半徑分數(shù)從而 推定表示邊緣位置的圓。并且,根據(jù)需要求出如以下的(b) (d)所述的分數(shù)并進行總計,并推定分數(shù)最高 的圓為表示工件標記(導(dǎo)通孔)的邊緣位置的圓。(a)半徑分數(shù)如上所述,以圓的半徑r以何種程度接近設(shè)計值作為指標求出半徑分數(shù)。即,如果 半徑r與設(shè)計值相同則評價為1分,如果在預(yù)定值以上則評價為0分。具體地說例如利用 下式求出半徑分數(shù)。半徑分數(shù)=1-I近似圓半徑-設(shè)計半徑I /a(b)邊緣數(shù)分數(shù)以使用幾個邊緣進行圓近似作為指標求出邊緣數(shù)分數(shù)。即,使用的邊緣數(shù)越多則 分數(shù)越高。具體地說例如利用下式求出邊緣數(shù)分數(shù)。邊緣數(shù)分數(shù)=近似的邊緣數(shù)/b(c)邊緣位置范圍分數(shù)以邊緣從近似圓的圓周離開何種程度作為指標求出邊緣位置范圍分數(shù)。例如如圖 5(a)所示,當所有的邊緣都在圓周上的情況下分數(shù)為滿分,如圖5(b)所示,當邊緣不在圓 周上的情況下分數(shù)低。具體地說例如利用下式求出邊緣位置范圍分數(shù)。邊緣位置范圍分數(shù)=1_(離開圓周的最大距離與離開圓周的最小距離之差)/c(d)邊緣對稱性分數(shù)以能夠以何種程度檢測到相對的邊緣作為指標求出邊緣對稱性分數(shù)。例如在放射 方向為6方向的情況下,如圖5 (c)所示,如果3個對全都存在則分數(shù)高,如圖5 (d)所示,在 不存在對的情況下分數(shù)低。具體地說例如利用下式求出邊緣對稱性分數(shù)。邊緣對稱性分數(shù)=(α +檢測到雙方的對數(shù)/ β +檢測到單方的對數(shù)/ Y ) /d另外,在上述圖2(c)中示出了從白色到黑色的變化為極小值、從黑色到白色的變 化為極大值的例子,但是,也可以改變亮度變化的捕捉方法,使從白色到黑色的變化為極小 值、從黑色到白色的變化為極小值。在該情況下,作為白色邊緣的位置檢測極大值的位置, 作為黑色邊緣的位置檢測極小值的位置。在圖1的裝置中,在工件標記中心位置檢測部Ilc中以上述的方式求出工件標記 的位置,并基于此進行掩模M與工件W的對位。掩模M與工件W的對位以下述方式進行。(1)從光照射裝置1或者未圖示的對準光源對掩模M照射照明光,利用準直顯微鏡 10的CXD照相機IOb接收掩模標記MAM像,并發(fā)送至控制部11??刂撇?1的圖像處理部 Ila將上述掩模標記MAM像轉(zhuǎn)換成位置坐標并存儲于存儲部lib。另外,掩模標記的檢測方法提出有各種方法,需要的話例如可以參照專利文獻1等。
(2)接著,從準直顯微鏡10的照明單元IOc對工件W照射照明光,如上所述地進行 邊緣檢測,檢測工件W上的工件標記WAM,控制部11求出工件標記WAM的位置坐標。(3)控制部11以使存儲的掩模標記MAM的位置坐標與檢測到的工件標記WAM的 位置坐標成為預(yù)定的位置關(guān)系的方式使工件載物臺WS (或者掩模載物臺MS、或者雙方)移 動,進行掩模M與工件W的對位。
權(quán)利要求
1. 一種工件對準標記的檢測方法,檢測形成于工件上的圓形的凹陷來作為工件對準標 記,該工件對準標記的檢測方法的特征在于,包括 第一工序,取得形成于工件的圖案的圖像;第二工序,對從上述取得的圖案的圖像的中心附近開始的多個放射方向、或者朝向中 心方向的多個放射方向,求出相對于距離的亮度分布;第三工序,對上述求出的亮度分布進行微分,求出相對于距離的亮度變化即微分值,并 對上述各個放射方向求出該微分值的極大值或者極小值的位置;第四工序,分別一個一個地抽出對上述各個放射方向求出的上述極大值或者極小值的 位置而進行組合,求出多個近似的圓;第五工序,對上述多個圓的半徑或者直徑與圓形的工件對準標記的半徑或者直徑進行 比較,從上述多個圓中選擇與工件對準標記的半徑或者直徑最接近的圓;以及第六工序,計算上述選擇的圓的中心位置,并以該中心位置作為工件對準標記的位置。
全文摘要
一種對準標記的檢測方法,能夠通過進行邊緣檢測正確地檢測外觀多種多樣的工件對準標記(工件標記)的圖案的位置。利用準直顯微鏡接收工件標記的圖案的圖像,并將該圖像發(fā)送至控制部。在控制部求出從取得的圖案的圖像的中心附近開始在多個放射方向的相對于距離的亮度分布。對求出的亮度分布微分,求出相對于距離的亮度變化即微分值,對各個放射方向求出微分值的極大值的位置。分別一個一個地抽出求出的極大值的位置而進行組合,求出多個與通過極大值的位置的閉曲線近似的圓。對該多個圓的半徑與工件對準標記的半徑進行比較,從上述多個圓中選擇半徑最接近的圓,并以該圓的中心位置作為工件對準標記的位置。
文檔編號G03F9/00GK102063016SQ201010530078
公開日2011年5月18日 申請日期2010年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月16日
發(fā)明者松田僚三, 笹部高史 申請人:優(yōu)志旺電機株式會社