專利名稱：防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，特別是通過含有特定的防腐蝕劑來提供防腐蝕效果優(yōu)異的防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物。
背景技術(shù)：
一直以來，為了簡單地剝離涂布在無機(jī)質(zhì)基體上的抗蝕劑，開發(fā)了各種剝離劑。從制造高精度的電路布線的觀點出發(fā)，對于這些剝離劑，要求在剝離時可以在不腐蝕用作金屬布線的鋁或銅、或者無機(jī)質(zhì)基體的情況下剝離抗蝕劑。為了滿足這些要求，研究了添加安息香酸或醋酸等羧酸，螯合物，山梨糖醇等糖類，兒茶酚等多羥基芳香族作為防腐蝕劑的方法。另外，在液晶顯示器中多采用鋁布線，但隨著近年來的液晶顯示器的大型化，從成本方面或電視的薄型化的觀點出發(fā)，正在研究采用電阻值比鋁小的銅布線。為此，期望有不僅對鋁而且對銅也具有優(yōu)異的防腐蝕效果的光致抗蝕劑剝離劑。但是，到目前為止還未發(fā)現(xiàn)使用對銅和鋁兩者均能發(fā)揮充分的防腐蝕效果的防腐蝕處方的剝離劑。專利文獻(xiàn)1中記載了作為防腐蝕劑的各種物質(zhì)，雖然有可以并用芳香族羥基化合物和糖類的記載，但是并無該防腐蝕劑處方的具體的實施例。此外，作為具體的防腐蝕處方，僅記載有使用2，3-二羥基萘(2，3-DHN)和安息香酸及鄰苯二甲酸或磷酸(螯合物)。并且，雖然可確認(rèn)出對鋁的防腐蝕效果，但并未確認(rèn)出對銅的防腐蝕效果。專利文獻(xiàn)2中記載了使用糖(直鏈多元醇)或芳香族羥基化合物作為腐蝕防止劑， 但實施例等中并未具體公開并用芳香族羥基化合物和糖而成的剝離液組合物。此外，專利文獻(xiàn)3中雖然公開了含有糖類的剝離液組合物，但沒有任何關(guān)于使用芳香族羥基化合物的記載。此外，專利文獻(xiàn)7雖然有關(guān)于含有極性有機(jī)溶劑和有機(jī)羥基化胺化合物等的非水性洗滌組合物、關(guān)于糖類或在芳香環(huán)上直接鍵合2個以上羥基而成的芳基化合物等的記載，但實施例等中并未具體公開并用芳香族羥基化合物和糖而成的剝離劑組合物。專利文獻(xiàn)1:日本特開2005-70230號公報專利文獻(xiàn)2:日本特開2005-43874號公報
專利文獻(xiàn)3:日本特開2000-241991號公報專利文獻(xiàn)4:日本特開平9-319098號公報專利文獻(xiàn)5:日本特開2007-514983號公報專利文獻(xiàn)6:日本特開平8462746號公報專利文獻(xiàn)7:日本特表2007-514983號公報。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述課題而完成的，其目的在于提供在寬泛的溫度區(qū)域內(nèi)并且在水存在條件下及不存在條件下，對銅和鋁這兩者均表現(xiàn)出優(yōu)異的防腐蝕效果的防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物。本發(fā)明人等為了實現(xiàn)上述目的反復(fù)進(jìn)行了研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過使用防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，可以解決上述課題，所述防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物使用芳香族多羥基化合物和糖類作為防腐蝕劑，從而完成了本發(fā)明。gp，本發(fā)明提供以下。1.防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，其含有極性有機(jī)溶劑(A)、有機(jī)胺化合物 (B)以及防腐蝕劑(C)，所述防腐蝕劑(C)由芳香族多羥基化合物和糖類的組合構(gòu)成；
2.根據(jù)上述1所述的防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，其含有極性有機(jī)溶劑(A)、有機(jī)胺化合物(B)、防腐蝕劑(C)以及水，所述防腐蝕劑(C)由芳香族多羥基化合物和糖類的組合構(gòu)成；
3.根據(jù)上述1或2所述的防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，其僅由極性有機(jī)溶劑 (A)、有機(jī)胺化合物(B)、防腐蝕劑(C)以及水構(gòu)成，所述防腐蝕劑(C)由芳香族多羥基化合物和糖類的組合構(gòu)成；
4.根據(jù)上述1 3中任一項所述的防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，其中，所述極性有機(jī)溶劑(A)為酰胺系溶劑；
5.根據(jù)上述1 4中任一項所述的防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，其中，所述有機(jī)胺化合物(B)為選自單乙醇胺、N-甲基乙醇胺及N，N-二甲基乙醇胺中的一種以上；
6.根據(jù)上述1 5中任一項所述的防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，其中，所述芳香族多羥基化合物如下述通式(a)所示；
Rm-Ar- (OH)n... (a)
(式中，R為烷基或芳基，Ar為芳香烴結(jié)構(gòu)，m為0 4的整數(shù)，η為2 6的整數(shù)。)
7.根據(jù)上述1 6中任一項所述的防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，其中，所述糖類為選自木糖醇、山梨糖醇、阿糖醇、甘露糖醇、葡萄糖及半乳糖中的一種以上；
8.根據(jù)上述1 7中任一項所述的防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，其中，所述防腐蝕劑(C)以質(zhì)量比9:1 1:9的比例含有芳香族多羥基化合物和糖類；和
9.根據(jù)上述1 8中任一項所述的防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，其含有所述極性有機(jī)溶劑(A) 19 95質(zhì)量％、所述有機(jī)胺化合物(B) 4 80質(zhì)量％和所述防腐蝕劑(C) 0. 001 10質(zhì)量％。根據(jù)本發(fā)明，能夠提供在寬泛的溫度區(qū)域內(nèi)并且在水存在條件下及不存在條件下，對銅和鋁這兩者均表現(xiàn)出優(yōu)異的防腐蝕效果的防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物。


圖1為表示實施例1和2以及比較例1 3中制備得到的(防腐蝕性)光致抗蝕劑剝離劑組合物的各水添加量與銅腐蝕速度的相關(guān)性的圖(表2)。圖2為表示實施例1和2以及比較例1 3中制備得到的(防腐蝕性)光致抗蝕劑剝離劑組合物的各水添加量與鋁腐蝕速度的相關(guān)性的圖(表3)。圖3為表示實施例1以及比較例3、4和7中制備得到的(防腐蝕性)光致抗蝕劑剝離劑組合物在各溫度下的Cu腐蝕速度的圖(表4)。圖4為表示實施例1以及比較例3、4和7中制備得到的(防腐蝕性)光致抗蝕劑剝離劑組合物在各溫度下的Al腐蝕速度的圖(表4)。
具體實施例方式本發(fā)明的防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物含有極性有機(jī)溶劑(A)、有機(jī)胺化合物(B)以及防腐蝕劑(C)，所述防腐蝕劑(C)由芳香族多羥基化合物和糖類的組合構(gòu)成。作為所述極性有機(jī)溶劑(A)，只要是能夠均勻溶解有機(jī)胺化合物及芳香族多羥基化合物和糖類的極性有機(jī)溶劑，則沒有特別的限制，可列舉出酰胺系溶劑、醚醇系溶劑、 醇系溶劑、酯系溶劑、二甲基亞砜(DMSO)等。作為酰胺系溶劑的具體例，可列舉出N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP )、二甲基甲酰胺(DMF )、下述通式(1)所示的化合物等。尤其優(yōu)選下述通式的酰胺系溶劑，具體而言，更優(yōu)選3-甲氧基-N，N-二甲基丙酰胺、3-丁氧基-N，N-二甲基丙酰胺。[化1]
權(quán)利要求
1.防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，其含有極性有機(jī)溶劑(A)、有機(jī)胺化合物(B) 以及防腐蝕劑(C)，所述防腐蝕劑(C)由芳香族多羥基化合物和糖類的組合構(gòu)成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，其含有極性有機(jī)溶劑 (A)、有機(jī)胺化合物(B)、防腐蝕劑(C)以及水，所述防腐蝕劑(C)由芳香族多羥基化合物和糖類的組合構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，其僅由極性有機(jī)溶劑 (A)、有機(jī)胺化合物(B)、防腐蝕劑(C)以及水構(gòu)成，所述防腐蝕劑(C)由芳香族多羥基化合物和糖類的組合構(gòu)成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，其中，所述極性有機(jī)溶劑(A)為酰胺系溶劑。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，其中，所述有機(jī)胺化合物(B)為選自單乙醇胺、N -甲基乙醇胺及N，N - 二甲基乙醇胺中的1種以上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，其中，所述芳香族多羥基化合物如下述通式(a)所示；Rm-Ar- (OH)n (a)式中，R為烷基或芳基，Ar為芳香烴結(jié)構(gòu)，m為0 4的整數(shù)，η為2 6的整數(shù)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，其中，所述糖類為選自木糖醇、山梨糖醇、阿糖醇、甘露糖醇、葡萄糖及半乳糖中的1種以上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，其中，所述防腐蝕劑 (C)以質(zhì)量比9:1 1:9的比例含有芳香族多羥基化合物和糖類。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，其中，相對于所述極性有機(jī)溶劑(Α)、有機(jī)胺化合物(B)及防腐蝕劑(C)的總量，含有所述極性有機(jī)溶劑(A) 19 95質(zhì)量％、所述有機(jī)胺化合物(B) 4 80質(zhì)量％及所述防腐蝕劑(C) 0. 001 10質(zhì)量％。
全文摘要
本發(fā)明提供防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，通過含有極性有機(jī)溶劑(A)、有機(jī)胺化合物(B)以及由芳香族多羥基化合物和糖類的組合構(gòu)成的防腐蝕劑(C)的該防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，從而在寬泛的溫度區(qū)域內(nèi)并且在水存在條件下及不存在條件下對銅和鋁這兩者均表現(xiàn)出優(yōu)異的防腐蝕效果。
文檔編號G03F7/42GK102301282SQ200980155620
公開日2011年12月28日 申請日期2009年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月28日
發(fā)明者山崎勇人, 藤岡東洋藏 申請人:出光興產(chǎn)株式會社