技術(shù)編號：2751975
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物，特別是通過含有特定的防腐蝕劑來提供防腐蝕效果優(yōu)異的防腐蝕性光致抗蝕劑剝離劑組合物。背景技術(shù)一直以來，為了簡單地剝離涂布在無機(jī)質(zhì)基體上的抗蝕劑，開發(fā)了各種剝離劑。從制造高精度的電路布線的觀點出發(fā)，對于這些剝離劑，要求在剝離時可以在不腐蝕用作金屬布線的鋁或銅、或者無機(jī)質(zhì)基體的情況下剝離抗蝕劑。為了滿足這些要求，研究了添加安息香酸或醋酸等羧酸，螯合物，山梨糖醇等糖類，兒茶酚等多羥基芳香族作為防腐蝕劑的方法。另外，在液晶顯...
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