專利名稱：柔性透明導(dǎo)電膜和柔性功能性元件以及它們的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在基膜面上具有透明導(dǎo)電層的柔性透明導(dǎo)電膜和使用該柔性透明導(dǎo) 電膜得到的液晶顯示元件、有機(jī)電致發(fā)光元件、無機(jī)分散型電致發(fā)光元件、電子紙?jiān)鹊?柔性功能性元件，特別是，涉及具有阻氣性能和優(yōu)異的柔軟性的柔性透明導(dǎo)電膜和柔性功 能性元件的改良。
背景技術(shù)：
近年來，在以液晶為代表的各種顯示器和移動(dòng)電話等的電子設(shè)備中，輕薄短小化 的傾向越來越加快，與此相伴，正積極開展用塑料膜來代替以往一直使用的玻璃基板的研 究。由于塑料膜輕且柔軟性優(yōu)異，因此，若能夠?qū)⒑穸葹閹孜⒚鬃笥业谋〉乃芰夏な褂糜诶?如液晶顯示元件、有機(jī)電致發(fā)光元件(以下簡(jiǎn)稱為“有機(jī)EL元件”)、無機(jī)分散型電致發(fā)光 元件(以下簡(jiǎn)稱為“無機(jī)分散型EL元件”)、電子紙?jiān)鹊幕迳希瑒t可得到極其輕量且 柔軟的柔性功能性元件。而且，作為使用于上述功能性元件的柔性透明導(dǎo)電膜，眾所周知的是通常利用 濺射法或離子電鍍(ion plating)等的物理氣相沉積法形成銦錫氧化物(以下，簡(jiǎn)稱為 “ΙΤ0”)的透明導(dǎo)電層(以下，簡(jiǎn)稱為“濺射ITO層”)的塑料膜(以下，簡(jiǎn)稱為“濺射ITO 膜”)。上述濺射ITO膜是在聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)等 的透明塑料膜上，通過濺射法等物理氣相沉積法，形成厚度為10 50nm左右的無機(jī)成分即 ITO單獨(dú)層的膜，由此，可得到表面電阻值為100 500Ω/口(歐姆每方塊，以下相同)左 右的低電阻透明導(dǎo)電層。但是，上述濺射ITO層是無機(jī)成分的薄膜，極其脆，因此，存在著容易產(chǎn)生微觀裂 紋(Micro Crack，裂紋)的問題。因此，當(dāng)將基膜厚度小于50 μ m(例如25 μ m)的濺射ITO 膜使用于上述柔性功能性元件上時(shí)，基膜的撓性(柔軟性)過高，在操作過程中或者加工成 功能性元件以后，在濺射ITO層上容易產(chǎn)生裂紋，顯著損害膜的導(dǎo)電性，因此，現(xiàn)狀是無法 實(shí)用于要求高柔軟性的柔性功能性元件中。因此，代替使用濺射法等的物理氣相沉積法來形成ITO層的上述方法，例如在JP 特開平04-237909號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)1)、JP特開平05-036314號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)2)、JP特 開2001-321717號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)3)、JP特開2002-36411號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)4)、以及JP 特開2002-42558號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)5)記載的發(fā)明中，提出了利用透明導(dǎo)電層形成用涂覆 液在基膜面上形成透明導(dǎo)電層的方法。具體地講，將以導(dǎo)電性氧化物微粒子和粘合劑作為 主成分的透明導(dǎo)電層形成用涂覆液涂覆、干燥于基膜上，從而形成涂覆層，接著實(shí)施通過金 屬輥進(jìn)行的壓縮(壓延)處理后，使上述粘合劑成分固化，從而制造具有透明導(dǎo)電層的透明 導(dǎo)電膜的方法。而且，在該方法中，通過金屬輥的壓延處理能夠提高透明導(dǎo)電層中的導(dǎo)電性 微粒子的填充密度，具有能夠大幅提高膜的電(導(dǎo)電)特性以及光學(xué)特性的優(yōu)點(diǎn)。而且，在JP特開2006-202738號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)6)、JP特開2006-202739號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)7)、W02007/039969號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)8)記載的方法中，提出了一種使用透明 導(dǎo)電層形成用涂覆液的透明導(dǎo)電膜，該透明導(dǎo)電膜采用將內(nèi)襯膜貼合在透明導(dǎo)電膜的基膜 側(cè)而成的極薄基膜，且操作性也良好，其中，所述內(nèi)襯膜具有在與基膜的界面能夠剝離的微 粘接層。然而，在使用上述透明導(dǎo)電膜得到的液晶顯示元件、有機(jī)電致發(fā)光元件、無機(jī)分散 型電致發(fā)光元件、電子紙?jiān)热嵝怨δ苄栽?，多?shù)情況下要求必須具有如對(duì)水蒸氣、 氧氣等的阻氣性能(其中，對(duì)無機(jī)分散型電致發(fā)光元件而言，當(dāng)作為熒光體粒子使用防濕 涂層品的情況下，不需要特殊的阻氣性能)。因此，正探討例如將賦予了阻氣性能的市售的 阻氣性塑料膜通過粘接劑層貼合在上述透明導(dǎo)電膜上，從而使其具有阻氣性能的方法。但是，在將阻氣性塑料膜貼合在透明導(dǎo)電膜的方法中，由于增加了阻氣性塑料膜 的厚度和粘接劑層的厚度，因此，與此相應(yīng)地增加了功能性元件的最終厚度，存在著使功能 性元件的柔軟性變差的問題，而且，在將功能性元件組入卡(IC卡、信用卡、預(yù)付卡等)等的 薄型設(shè)備時(shí)，存在著無法應(yīng)對(duì)必須極力變薄元件厚度的要求的問題。另外，在JP特開2006-156250號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)9)記載的方法中，提出了在具有 包含金屬或無機(jī)化合物的阻擋層的基體(基膜)上，設(shè)置含有導(dǎo)電粒子和樹脂的導(dǎo)電層的 透明導(dǎo)電體(透明導(dǎo)電膜)。然而，在專利文獻(xiàn)9記載的發(fā)明中，上述阻擋層的作用是抑制導(dǎo)致基體(基膜)膨 潤(rùn)的水分、溶劑、有機(jī)氣體等對(duì)上述基體的浸入，且專利文獻(xiàn)9記載的發(fā)明的目的，是防止 因基體的膨潤(rùn)引起的導(dǎo)電層的拉伸。即，防止導(dǎo)電層的拉伸，從而防止導(dǎo)電粒子之間接合點(diǎn) 的切斷，抑制在高濕環(huán)境或化學(xué)物質(zhì)的環(huán)境下的導(dǎo)電層電阻值的上升和經(jīng)時(shí)變化。因此，在 專利文獻(xiàn)9記載的發(fā)明中，并沒有對(duì)上述導(dǎo)電體賦予柔軟性，在所有的實(shí)施例中，均使用厚 度為IOOym的PET膜。而且，在專利文獻(xiàn)9記載的發(fā)明中，其目的在于抑制氣體浸入基體(基膜)，實(shí)現(xiàn)透 明導(dǎo)電層的電阻值穩(wěn)定性，從而應(yīng)用于觸摸面板上，并未打算向透明導(dǎo)電膜賦予阻氣性能， 從而使用于各種柔性功能性元件上。而且，在專利文獻(xiàn)9記載的發(fā)明中，關(guān)于將透明導(dǎo)電體 (導(dǎo)電膜)使用于各種柔性功能性元件時(shí)所必須的透明導(dǎo)電膜自身的阻氣性能(例如水蒸 氣透過率)，全然沒有記載具體的數(shù)值，而且，雖然在專利文獻(xiàn)9的0072段落中有將上述導(dǎo) 電層用作壓縮層的記載，但該壓縮層是將預(yù)先實(shí)施了壓縮處理的導(dǎo)電層從后面貼合在具有 阻擋層的基體而成，并沒有記載任何的連同導(dǎo)電層和具有阻擋層的基體(基膜)一起實(shí)施 壓縮處理時(shí)，對(duì)阻擋性能的影響的見解。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題而完成的，其課題在于，提供具有阻氣性能和優(yōu)異的柔軟 性的柔性透明導(dǎo)電膜和柔性功能性元件，以及這些柔性透明導(dǎo)電膜和柔性功能性元件的制 造方法。于是，本發(fā)明人等為了解決上述課題，當(dāng)代替將阻氣性塑料膜貼合在透明導(dǎo)電膜 的上述方法，采用下述方法時(shí)，發(fā)現(xiàn)與當(dāng)初的預(yù)想相反地，并沒有出現(xiàn)因壓縮處理導(dǎo)致的阻 氣性能的劣化，能夠簡(jiǎn)單地得到具有阻氣性能和優(yōu)異的柔軟性的柔性透明導(dǎo)電膜。所述方 法是，將賦予了阻氣性能的厚度為3 50 μ m的塑料膜直接用作基膜，且在該基膜的單面貼合可在與基膜的界面剝離的內(nèi)襯膜的同時(shí)，與該內(nèi)襯膜相反側(cè)的基膜面上涂覆透明導(dǎo)電層 形成用涂覆液而形成涂覆層，而且，對(duì)單面上具有內(nèi)襯膜且形成有上述涂覆層的基膜實(shí)施 壓縮處理，從而直接形成柔軟性優(yōu)異的透明導(dǎo)電層。本發(fā)明是基于上述技術(shù)見解完成的。即，本發(fā)明的柔性透明導(dǎo)電膜，是具有在基膜面上涂覆透明導(dǎo)電層形成用涂覆液 而形成的透明導(dǎo)電層的柔性透明導(dǎo)電膜，其特征在于，由賦予了阻氣性能的厚度為3 50 μ m的塑料膜構(gòu)成上述基膜，在該基膜的單面 具有以能夠在與基膜的界面剝離的方式貼合的內(nèi)襯膜，而且，在與該內(nèi)襯膜相反側(cè)的基膜 面上設(shè)置的上述透明導(dǎo)電層是以導(dǎo)電性氧化物微粒子和粘合劑基質(zhì)(7卜U ？々7 )作為 主成分，且透明導(dǎo)電層是連同上述基膜和內(nèi)襯膜一起被實(shí)施有壓縮處理。另外，本發(fā)明的柔性透明導(dǎo)電膜的制造方法，其特征在于，在由賦予了阻氣性能的 厚度為3 50 μ m的塑料膜構(gòu)成的基膜的單面，貼合可在與基膜的界面剝離的內(nèi)襯膜，而 且，在與該內(nèi)襯膜相反側(cè)的基膜面上，涂覆以導(dǎo)電性氧化物微粒子、粘合劑和溶劑作為主成 分的透明導(dǎo)電層形成用涂覆液，從而形成涂覆層的同時(shí)，對(duì)單面具有內(nèi)襯膜且形成有上述 涂覆層的基膜實(shí)施壓縮處理后，使涂覆層固化而形成透明導(dǎo)電層。另外，本發(fā)明的柔性功能性元件，其特征在于，在上述柔性透明導(dǎo)電膜的與內(nèi)襯膜 的相反側(cè)，形成液晶顯示元件、有機(jī)電致發(fā)光元件、無機(jī)分散型電致發(fā)光元件、電子紙?jiān)?中的任意功能性元件的同時(shí)，在與基膜的界面上剝離去除上述內(nèi)襯膜。另外，本發(fā)明的柔性功能性元件的制造方法，其特征在于，在上述柔性透明導(dǎo)電膜 的與內(nèi)襯膜的相反側(cè)，形成液晶顯示元件、有機(jī)電致發(fā)光元件、無機(jī)分散型電致發(fā)光元件、 電子紙?jiān)械娜我夤δ苄栽谂c基膜的界面上剝離去除上述內(nèi)襯膜。另外，根據(jù)本發(fā)明的柔性透明導(dǎo)電膜，將賦予了阻氣性能的塑料膜直接用作透明 導(dǎo)電膜的基膜，而且，在賦予了阻氣性能的上述塑料膜(基膜)上，通過透明導(dǎo)電層形成用 涂覆液直接形成柔軟性優(yōu)異的透明導(dǎo)電層，因此，具有阻氣性能和優(yōu)異的柔軟性。而且，根據(jù)本發(fā)明的柔性功能性元件，在具有阻氣性能和優(yōu)異的柔軟性的上述柔 性透明導(dǎo)電膜上，形成液晶顯示元件、有機(jī)電致發(fā)光元件、無機(jī)分散型電致發(fā)光元件、電子 紙?jiān)械娜我夤δ苄栽?，可將柔性功能性元件的厚度抑制成較薄，因此，具有優(yōu)異的柔 軟性，可容易地組入如卡等的薄型設(shè)備中，進(jìn)而有助于設(shè)備進(jìn)一步的薄型化。


圖1是表示本發(fā)明的柔性透明導(dǎo)電膜的制造方法之一例的示意圖。
具體實(shí)施例方式下面，詳細(xì)說明本發(fā)明。首先，作為使用本發(fā)明的柔性透明導(dǎo)電膜的柔性功能性元件，可舉出上述液晶顯 示元件、有機(jī)EL元件、無機(jī)分散型EL元件、電子紙?jiān)?。在上述任意功能性元件中，均要求所使用的透明?dǎo)電膜具有阻氣性能(阻 擋氧氣、阻擋水蒸氣等)，例如，在阻擋水蒸氣中，水蒸氣透過率(WVTR =Water Vapor Transmission Rate)必須為 0. lg/m2/day 以下，優(yōu)選為 0. 01g/m2/day 以下(其中，使用了 實(shí)施有防濕涂層的膠囊化熒光體粒子的無機(jī)分散型EL元件中，則沒有必要進(jìn)行如上所述
6的元件的防濕)，通常，采用通過粘接劑將阻氣性塑料膜貼合在各功能性元件的方法。另一 方面，功能性元件的薄型化、輕量化、柔軟性的賦予，則越來越成為重要的課題，要求盡可能 使元件變薄。于是，本發(fā)明是基于下述觀點(diǎn)完成的，即，當(dāng)將薄而柔軟的阻氣性塑料膜(賦予了 阻氣性能的塑料膜)直接用作基膜，而且，使用透明導(dǎo)電層形成用涂覆液在賦予了阻氣性 能的塑料膜(基膜)上直接形成柔軟性優(yōu)異的透明導(dǎo)電層時(shí)，在所得到的透明導(dǎo)電膜中可 兼得阻氣性能的賦予和優(yōu)異的柔軟性，由此能夠解決上述課題。此處，在本發(fā)明的柔性透明導(dǎo)電膜中，如上所述地在賦予了阻氣性能的塑料膜 (基膜)上，通過涂覆法(即，使用透明導(dǎo)電層形成用涂覆液形成透明導(dǎo)電層的方法)形成 以導(dǎo)電性氧化物微粒子和粘合劑基質(zhì)作為主成分的透明導(dǎo)電層。另外，作為向塑料膜賦予阻氣性能的方法，廣泛采用在塑料膜上施加阻氣涂層
r a^r λ y )的方法。例如，作為用于包裝材料、液晶顯示元件中的阻氣性 塑料膜，已知有在膜上蒸鍍了氧化硅的塑料膜(參照J(rèn)P特公昭53-12953號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn) 10)、蒸鍍了氧化鋁的塑料膜(參照J(rèn)P特開昭58-217344號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)11)，但水蒸氣阻 擋性均為lg/m7day左右。但是，近年來隨著有機(jī)EL顯示器和液晶顯示器的大型化和高精 細(xì)化的推進(jìn)，需要膜基材具有更高的阻氣性，以水蒸氣阻擋性為例，必須具有低于0. lg/m2/ day的性能。為了應(yīng)對(duì)該要求，探討通過使用在低壓條件下輝光放電生成的等離子體來形 成薄膜的濺射法或CVD法進(jìn)行的成膜，進(jìn)而，提出了通過真空蒸鍍法或大氣壓附近的放電 等離子法制造具有交替層疊有機(jī)膜和無機(jī)膜的結(jié)構(gòu)的阻擋膜的技術(shù)(參照W02000/026973 號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)12以及JP特開2003-191370號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)13)。另外，作為具有 0. 001g/m2/day以下的水蒸氣阻擋性的實(shí)例，也提出了層疊兩層以上的陶瓷層的阻氣性薄 膜層疊體(參照J(rèn)P特開2007-277631號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)14)。另外，作為本發(fā)明的賦予了阻氣性能(水蒸氣阻擋、氧氣阻擋等)的塑料膜(基 膜)，可使用通過上述專利文獻(xiàn)10 專利文獻(xiàn)14記載的各種方法得到的市售的阻氣性塑 料膜，優(yōu)選阻氣涂層為至少分別層疊一層以上無機(jī)材料的蒸鍍膜和含有有機(jī)材料的涂覆膜 的阻氣涂層。但在層疊了上述蒸鍍膜和涂覆膜的阻氣涂層中，為了兼得阻氣性能和柔軟性， 優(yōu)選蒸鍍膜的厚度為5 lOOnm、涂覆膜的厚度為0. 1 1 μ m。這是因?yàn)?，?dāng)蒸鍍膜和涂覆 膜的厚度過厚時(shí)，柔軟性變差，若過于薄，則阻氣性變差。另外，在本發(fā)明中，阻氣涂層中的 上述蒸鍍膜的概念，廣義上是指通過氣相沉積法形成的膜，包括真空蒸鍍膜，除此之外，還 包括例如濺射膜、化學(xué)氣相沉積膜(CVD膜)等的概念。另外，根據(jù)功能性元件的種類，所需 要的氣體種類和阻氣性能也不同，例如，在有機(jī)EL元件中，要求氧氣阻擋性和水蒸氣阻擋 性的兩方面性能，但在電泳動(dòng)型的電子紙?jiān)校瑒t要求必須具有水蒸氣阻擋性，但不要求 必須具有氧氣阻擋性性。而且，在有機(jī)EL元件和液晶元件中，要求水蒸氣阻擋性為0. Olg/ m2/day以下，更優(yōu)選為0. 001g/m2/day以下。但是，具有高阻氣性能的膜通常為高價(jià)，因此， 可根據(jù)所使用的功能性元件的種類、使用的設(shè)備、設(shè)備的使用環(huán)境和允許壽命等進(jìn)行適當(dāng) 的選擇。本發(fā)明中使用的上述賦予了阻氣性能的塑料膜(基膜)，其厚度為3 50 μ m，優(yōu) 選為6 25ym。若基膜的厚度厚，通常其剛性變高，損害柔性功能性元件的柔軟性。另一 方面，若基膜的厚度薄，雖然柔性功能性元件的柔軟性提高，但制造工序中容易導(dǎo)致操作困難，有時(shí)降低生產(chǎn)率。特別是，當(dāng)基膜的厚度薄得低于3μπι時(shí)，難以得到通常流通的通用 膜，基膜自身的操作變得極其困難，從而后述的通過支撐膜(內(nèi)襯膜)進(jìn)行的內(nèi)襯變得困 難，以及由于基膜自身的強(qiáng)度下降，因此，存在著在柔性功能性元件的包括阻氣層和透明導(dǎo) 電層的元件的構(gòu)成要素中產(chǎn)生損傷等問題，因而不優(yōu)選。另外，上述基膜(賦予了阻氣性能的塑料膜)的材質(zhì)，只要是具有透明性或透光 性，且能夠在其上形成透明導(dǎo)電層的材質(zhì)即可，未作特別的限定，可使用各種塑料膜。具 體地講，可使用聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、尼龍、聚醚砜 (PES)、聚碳酸酯(PC)、聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚氨酯、氟系樹脂等的塑料膜，其中，從廉 價(jià)且強(qiáng)度優(yōu)異、兼具透明性和柔軟性等的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選PET膜。另外，作為上述基膜(賦予了阻氣性能的塑料膜)，也可以使用通過無機(jī)和/或有 機(jī)(塑料)的纖維(也包括針狀、棒狀、晶須微粒子)或片狀微粒子(包括板狀)強(qiáng)化的膜。 這些通過纖維或片狀微粒子強(qiáng)化的基膜，即使是更薄的膜也可以具有良好的強(qiáng)度。另外，為了提高與以導(dǎo)電性氧化物微粒子和粘合劑基質(zhì)作為主成分的透明導(dǎo)電層 的粘著力，對(duì)上述基膜(賦予了阻氣性能的塑料膜)的涂覆透明導(dǎo)電層形成用涂覆液的面， 也可以預(yù)先實(shí)施易粘接處理，具體地講，也可以預(yù)先實(shí)施等離子處理、電暈放電處理、短波 紫外線照射處理等。在此，作為賦予了阻氣性能的塑料膜，當(dāng)使用上述實(shí)施有阻氣涂層的塑料膜的情 況下，可在上述塑料膜的任意面上形成透明導(dǎo)電層。例如，當(dāng)在實(shí)施了阻氣涂層的塑料膜的 阻氣層上形成透明導(dǎo)電層時(shí)，成為上述阻氣層被塑料膜和透明導(dǎo)電層夾住的結(jié)構(gòu)，阻氣層 不會(huì)露出在外部(由塑料膜和透明導(dǎo)電層進(jìn)行保護(hù))，因此，難以產(chǎn)生損傷或因藥品導(dǎo)致的 阻氣層的劣化。其中，將透明導(dǎo)電層形成于實(shí)施了阻氣涂層的塑料膜的阻氣層上時(shí)，考慮到 與在塑料膜上形成透明導(dǎo)電層的情況相比難以確保粘著力的方面、透明導(dǎo)電膜形成用涂覆 液有可能對(duì)阻氣層起到壞影響，因此，有必要根據(jù)使用柔性透明導(dǎo)電膜的設(shè)備的種類及其 使用狀況，進(jìn)行適當(dāng)?shù)倪x擇。另外，也可以貼合多張賦予了阻氣性能的塑料膜而構(gòu)成基膜，從而進(jìn)一步強(qiáng)化基 膜的阻氣性能。例如，當(dāng)貼合兩張水蒸氣阻擋性為0. lg/m2/day的阻氣性塑料膜時(shí)，可得到 0. 05g/m2/day的水蒸氣阻擋性。但是，當(dāng)貼合賦予了阻氣性能的塑料膜時(shí)，基膜的總厚度 相應(yīng)地變厚，柔軟性降低。因此，根據(jù)成本和所使用的功能性元件的厚度、所要求的柔軟性 等，可適當(dāng)?shù)剡x擇是否由高性能的賦予了阻氣性能的單一塑料膜來構(gòu)成上述基膜，或者，將 多張廉價(jià)的阻氣性塑料膜(賦予了阻氣性能的塑料膜)加以貼合而構(gòu)成基膜。另外，在上述基膜(賦予了阻氣性能的塑料膜)的沒有形成透明導(dǎo)電層的面上， 也可實(shí)施表面硬化(Hard coating)涂層、防眩光涂層、低反射涂層(Anti Reflection Coating)。上述沒有形成透明導(dǎo)電層的面，最終成為本發(fā)明柔性功能性元件(柔性透明導(dǎo) 電膜的透明導(dǎo)電層上形成功能性元件的柔性功能性元件)的最外表面而露出在外部，因 此，當(dāng)對(duì)該面實(shí)施表面硬化涂層時(shí)，能夠提高耐擦傷性，例如，可有效地防止因阻氣涂層損 傷而引起的阻氣性能的降低和上述柔性功能性元件的顯示性能的降低等。同樣，當(dāng)實(shí)施有 防眩光涂層、低反射涂層時(shí)，能夠抑制在上述柔性功能性元件的最外層中的外光反射，因 此，可進(jìn)一步提高顯示性能。然而，如上所述地，基膜(賦予了阻氣性能的塑料膜)的厚度為3 50 μ m即很薄，因此，當(dāng)考慮到柔性透明導(dǎo)電膜和柔性功能性元件的制造工序中的操作和生產(chǎn)率時(shí)，有 必要使用支撐膜(內(nèi)襯膜)來內(nèi)襯(加強(qiáng))基膜。例如，通過卷對(duì)卷(Roll-to-roll)的制 造工序生產(chǎn)膜時(shí)，若不使用支撐膜(內(nèi)襯膜)來內(nèi)襯而單獨(dú)使用薄的基膜，膜會(huì)成為蛇行形 狀，或彎曲，從而膜的搬送變得極其困難的同時(shí)，在后述的壓延處理(壓縮處理)中，也產(chǎn)生 膜的變形和皺褶，因而不優(yōu)選。優(yōu)選上述支撐膜(內(nèi)襯膜)在與基膜的接合面上具有粘接 后可剝離的微粘接層。另外，不能說是通常的做法，但當(dāng)支撐膜(內(nèi)襯膜)的材料本身具有 微粘接性時(shí)，由于支撐膜(內(nèi)襯膜)兼具微粘接層的作用，因此，沒有必要在支撐膜(內(nèi)襯 膜)上形成微粘接層。在此，上述支撐膜(內(nèi)襯膜)的厚度為50 μ m以上，優(yōu)選為75 μ m以上，更優(yōu)選為 ΙΟΟμπ 以上。這是因?yàn)?，若支撐?內(nèi)襯膜)的厚度小于50μπ ，則膜的剛性降低，在各種 柔性功能性元件的制造工序的操作中帶來障礙，而且容易產(chǎn)生基材的翹曲(卷曲)問題，形 成功能性元件層(例如，分散型EL元件中熒光體層等的層疊印刷時(shí))等時(shí)容易產(chǎn)生問題。 另一方面，優(yōu)選支撐膜(內(nèi)襯膜)的厚度為200 μ m以下。這是因?yàn)?，若支撐?內(nèi)襯膜) 的厚度超過200 μ m，膜變得硬而重，難以操作，而且在成本方面也不理想的緣故。另外，對(duì)上述支撐膜(內(nèi)襯膜)的材質(zhì)未作特別的限定，可使用各種塑料膜。具體 地講，可使用聚碳酸酯(PC)、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、尼 龍、聚醚砜(PES)、聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚氨酯、氟系樹脂、聚酰亞胺(PI)等的塑料膜， 其中，從廉價(jià)且強(qiáng)度優(yōu)異、兼具柔軟性等的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選PET膜。另外，關(guān)于支撐膜(內(nèi)襯 膜)的透明性，對(duì)柔性功能性元件所要求的透明性沒有直接的關(guān)系，但有時(shí)通過支撐膜進(jìn) 行作為產(chǎn)品的元件的特性檢查(亮度、外觀、顯示性能等)，因此，優(yōu)選具有透明性，從這一 點(diǎn)看，也優(yōu)選PET膜。另外，上述支撐膜(內(nèi)襯膜)在與基膜粘接的狀態(tài)下，經(jīng)過柔性透明導(dǎo)電膜和柔 性功能性元件的制造工序，最終從基膜被剝離。因此，優(yōu)選上述微粘接層具有適度的剝離 性。作為該微粘接層的材料，可舉出丙烯酸系或有機(jī)硅系，其中，從耐熱性優(yōu)異的方面考慮， 優(yōu)選有機(jī)硅系。另外，上述微粘接層所要求的剝離性，具體地講，在180°剝離試驗(yàn)(拉伸 速度=300mm/min)中，與基膜的剝離強(qiáng)度(剝離部中每單位長(zhǎng)度的剝離所需的力)為1 40g/cm，優(yōu)選為2 20g/cm，更優(yōu)選為2 lOg/cm。當(dāng)剝離強(qiáng)度低于lg/cm時(shí)，即使將支撐 膜(內(nèi)襯膜)與基膜粘接，在柔性透明導(dǎo)電膜和柔性功能性元件的制造工序中，有時(shí)容易出 現(xiàn)剝離，因而不優(yōu)選。另一方面，當(dāng)上述剝離強(qiáng)度超過40g/cm時(shí)，支撐膜(內(nèi)襯膜)與基膜 的剝離困難，從支撐膜剝離柔性功能性元件的工序的作業(yè)性變差，因強(qiáng)行剝離導(dǎo)致元件的 拉伸和透明導(dǎo)電層的劣化(龜裂)，微粘接層的一部分粘接在基膜面等的危險(xiǎn)性變高。然而，根據(jù)柔性功能性元件的種類，有時(shí)對(duì)柔性透明導(dǎo)電膜實(shí)施加熱處理工序 (例如，120 140°C左右)而制造。因此，必須使其經(jīng)過加熱處理工序后也保持上述剝離強(qiáng) 度，為此，要求上述微粘接層的材質(zhì)具有耐熱性。進(jìn)而，若制造柔性透明導(dǎo)電膜時(shí)采用紫外 線固化工序，則要求微粘接層的材質(zhì)必須具有耐紫外線性。另外，對(duì)柔性透明導(dǎo)電膜實(shí)施加熱處理工序而制造柔性功能性元件時(shí)，在該加熱 處理工序的前后，上述柔性透明導(dǎo)電膜在縱向(MD)和橫向(TD)的尺寸變化率均為0. 3%以 下，優(yōu)選為0. 15%以下，更優(yōu)選為0. 以下。在此，在塑料膜中，伴隨加熱處理出現(xiàn)的尺寸 變化率通常是指收縮率。其中，不優(yōu)選柔性透明導(dǎo)電膜的縱向(MD)和橫向(TD)中的任意一個(gè)尺寸變化率(收縮率)超過0.3%。其理由如下即，當(dāng)柔性透明導(dǎo)電膜應(yīng)用于例如柔 性分散型EL元件中時(shí)，在柔性透明導(dǎo)電膜上依次層疊熒光體層、電介體層、背面電極層等。 此時(shí)，每形成各層時(shí)，都會(huì)對(duì)形成用膏進(jìn)行圖案印刷、干燥、加熱固化，當(dāng)柔性透明導(dǎo)電膜的 縱向(MD)和橫向(TD)中的任意一個(gè)尺寸變化率(收縮率)超過0. 3%時(shí)，每次對(duì)各層進(jìn)行 加熱固化處理時(shí)，引起尺寸變化(收縮)，從而產(chǎn)生印刷偏差，而該偏差的大小有可能會(huì)超 過分散型EL元件的制造中的允許范圍。作為減少上述尺寸變化率的方法，可采用使用預(yù)先加以熱收縮的低熱收縮型基膜 的方法、使用通過低熱收縮型支撐膜(內(nèi)襯膜)來內(nèi)襯的基膜的方法、或者使上述基膜或通 過支撐膜內(nèi)襯的基膜預(yù)先進(jìn)行熱收縮的方法、連同柔性透明導(dǎo)電膜進(jìn)行熱收縮的方法等。本發(fā)明的透明導(dǎo)電層的形成可如下所述地進(jìn)行。首先，將導(dǎo)電性氧化物微粒子和 成為粘合劑基質(zhì)的粘合劑成分分散于溶劑而制備透明導(dǎo)電層形成用涂覆液，并如圖1所示 地，將該涂覆液涂覆于單面具有可剝離的內(nèi)襯膜5且賦予了阻氣性能的塑料膜(基膜)1 上，并加以干燥，從而形成涂覆層2后，對(duì)該涂覆層2連同基膜1和內(nèi)襯膜5 —起，通過鋼輥 4等進(jìn)行壓縮處理，接著，使壓縮處理后的涂覆層2的粘合劑成分固化而形成上述透明導(dǎo)電 層3。另外，在圖1中，例示了通過紫外線照射進(jìn)行的固化法。作為上述透明導(dǎo)電層形成用涂覆液的涂覆方法，可使用絲網(wǎng)印刷法、刮刀涂覆法、 線棒涂覆法、旋轉(zhuǎn)涂覆法、輥涂法、凹版印刷法、噴墨印刷法等的通用的方法，但并不限定于 這些。另外，由于涂覆透明導(dǎo)電層形成用涂覆液并加以干燥得到的上述涂覆層由導(dǎo)電性 氧化物微粒子和未固化的粘合劑成分構(gòu)成，因此，當(dāng)進(jìn)行上述壓縮處理時(shí)，可大幅提高透明 導(dǎo)電層中的導(dǎo)電性微粒子的填充密度，降低光的散射，從而不僅提高膜的光學(xué)特性，還可以 大幅提高導(dǎo)電性。作為上述壓縮處理，對(duì)涂覆透明導(dǎo)電層形成用涂覆液并加以干燥的基膜， 例如通過鍍硬鉻的金屬輥等進(jìn)行壓延即可，此時(shí)金屬輥的壓延壓力優(yōu)選為線壓29.4 490N/mm(30 500kgf/cm)的條件，更優(yōu)選為 98 294N/mm(100 300kgf/cm)的條件。當(dāng) 線壓低于29.4N/mm(30kgf/cm)的條件下，壓延處理帶來的透明導(dǎo)電層的電阻值改善效果 不充分，另外，線壓超過490N/mm(500kgf/Cm)時(shí)，導(dǎo)致壓延設(shè)備的大型化的同時(shí)，基膜(賦 予了阻氣性能的塑料膜)或支撐膜(內(nèi)襯膜)發(fā)生變形，或有時(shí)基膜的阻氣層遭到破壞而 降低阻氣性能。即，發(fā)現(xiàn)通過上述金屬輥等適度地進(jìn)行壓延處理時(shí)，即使如對(duì)基膜的阻氣層 施加壓縮應(yīng)力，也不會(huì)由此導(dǎo)致阻氣性能的降低，能夠提高透明導(dǎo)電層的透明性和導(dǎo)電性， 從而完成了本發(fā)明。另外，上述金屬輥的壓延處理中的每單位面積的壓延壓力(N/mm2)，是 將線壓除以壓區(qū)寬度(在金屬輥和透明導(dǎo)電膜的接觸部分中透明導(dǎo)電膜被金屬輥擠壓的 區(qū)域的寬度)的值，壓區(qū)寬度因金屬輥的直徑和線壓而異，當(dāng)輥直徑為150mm左右時(shí)，壓區(qū) 寬度為0. 7 2mm左右。雖然在本發(fā)明中使用厚度為3 50 μ m程度的薄的基膜(賦予了阻氣性能的塑料 膜)，但對(duì)該基膜粘貼支撐膜(內(nèi)襯膜)而進(jìn)行內(nèi)襯的情況下，即使對(duì)極其薄的基膜實(shí)施上 述壓延處理，也可以有效地防止基膜的變形或皺褶的產(chǎn)生。進(jìn)而，在由鍍硬鉻的金屬輥進(jìn)行 的壓延處理中，由于該金屬輥是表面凹凸極其小的鏡面輥，因此，可使上述壓延處理后得到 的透明導(dǎo)電層的表面非常平滑。這是因?yàn)?，即使涂覆透明?dǎo)電層形成用涂覆液而得到的涂 覆層上存在凸起部分，可通過由上述金屬輥進(jìn)行的壓延處理來對(duì)該凸起進(jìn)行物理平滑的緣故。而且，當(dāng)透明導(dǎo)電層的表面平滑性良好時(shí)，在上述各功能性元件中，具有防止電極間的 短路和元件缺陷的產(chǎn)生的效果，非常理想。另外，透明導(dǎo)電層形成用涂覆液的涂覆，既可以是整面涂覆(整面印刷)，也可以 是圖案印刷。而且，上述透明導(dǎo)電層的厚度通常為0. 5 1 μ m左右[換算成透明導(dǎo)電層的 透過率(不包括基膜的僅透明導(dǎo)電層的透過率)時(shí)，相當(dāng)于約92 96% ]，相比于基膜(賦 予了阻氣性能的塑料膜)的厚度(3 50 μ m)較薄，因此，即使通過圖案印刷透明導(dǎo)電層具 有圖案，也可以均勻地施加上述壓縮處理時(shí)的壓力。另外，本發(fā)明的透明導(dǎo)電層，是對(duì)實(shí)施了上述壓延處理的涂覆層的粘合劑成分進(jìn) 行固化而得到，該固化方法可根據(jù)透明導(dǎo)電層形成用涂覆液的種類，適當(dāng)?shù)剡x擇加熱處理 (干燥固化、熱固化)、紫外線照射處理(紫外線固化)等即可。作為本發(fā)明中使用的透明導(dǎo)電層形成用涂覆液的導(dǎo)電性氧化物微粒子，是以氧化 銦、氧化錫、氧化鋅中的任意一種以上作為主成分的微粒子，例如，可舉出銦錫氧化物(ITO) 微粒子、銦鋅氧化物(IZO)微粒子、銦-鎢氧化物(IWO)微粒子、銦-鈦氧化物(ITiO)微粒 子、銦鎬氧化物微粒子、錫銻氧化物(ATO)微粒子、氟錫氧化物(FTO)微粒子、鋁鋅氧化物 (AZO)微粒子、鎵鋅氧化物(GZO)微粒子等，只要具有透明性和導(dǎo)電性即可，并不限定于這 些。其中，由于ITO微粒子的特性最高，因而優(yōu)選。另外，上述導(dǎo)電性氧化物微粒子的平均粒徑優(yōu)選為1 500nm，更優(yōu)選為5 lOOnm。當(dāng)平均粒徑小于Inm時(shí)，透明導(dǎo)電層形成用涂覆液的制造困難，而且，有時(shí)所得到的 透明導(dǎo)電層的電阻值變高。另一方面，當(dāng)超過500nm時(shí)，透明導(dǎo)電層形成用涂覆液中導(dǎo)電性 氧化物微粒子容易沉降，操作變得不易的同時(shí)，有時(shí)在透明導(dǎo)電層中難以同時(shí)實(shí)現(xiàn)高透過 率和低電阻值。另外，上述導(dǎo)電性氧化物微粒子的平均粒徑表示通過透過電子顯微鏡(TEM) 觀察的值。另外，透明導(dǎo)電層形成用涂覆液的粘合劑成分，具有使導(dǎo)電性氧化物微粒子之間 結(jié)合而提高膜的導(dǎo)電性和強(qiáng)度的作用、和提高成為基底的基膜與透明導(dǎo)電層的粘著力的作 用。進(jìn)而，防止因在功能性元件的制造工序中通過層疊印刷等形成各種功能性膜時(shí)使用的 各種印刷膏中所包含的有機(jī)溶劑引起的透明導(dǎo)電層的劣化，因此，具有賦予耐溶劑性的作 用。而且，作為上述粘合劑成分，可使用有機(jī)和/或無機(jī)粘合劑，可考慮涂覆透明導(dǎo)電層形 成用涂覆液的基膜、透明導(dǎo)電層的膜形成條件等進(jìn)行適當(dāng)?shù)倪x擇，以滿足上述作用。另外，作為上述有機(jī)粘合劑，不是不可以使用丙烯酸樹脂或聚酯樹脂等熱塑性樹 脂，但通常優(yōu)選具有耐溶劑性，為此，必須是能夠交聯(lián)的樹脂，可從熱固性樹脂、常溫固化性 樹脂、紫外線固化性樹脂、電子射線固化性樹脂等中選定。例如，作為熱固性樹脂，可舉出環(huán) 氧樹脂、氟樹脂等；作為常溫固化性樹脂，可舉出二液型環(huán)氧樹脂、聚氨酯樹脂等；作為紫 外線固化性樹脂，可舉出各種含有低聚物、單體、光引發(fā)劑的樹脂等；作為電子射線固化性 樹脂，可舉出各種含有低聚物、單體的樹脂，但并不限定于這些。另外，作為上述無機(jī)粘合劑，可舉出以硅溶膠、氧化鋁溶膠、氧化鎬溶膠、氧化鈦溶 膠等為主成分的粘合劑。例如，作為上述硅溶膠，可使用向硅酸四烷基酯添加水和酸催化劑 而進(jìn)行水解，并進(jìn)行脫水縮聚的聚合物，或者可使用對(duì)已經(jīng)聚合至4 5聚體的市售的硅酸 四烷基酯溶液進(jìn)一步進(jìn)行水解和脫水縮聚的聚合物等。但是，若過于進(jìn)行脫水縮聚，則溶液 粘度上升而最終發(fā)生固化，因此，關(guān)于脫水縮聚的程度，則調(diào)整為可在基膜(賦予了阻氣性能的塑料膜)上涂覆的上限粘度以下。其中，脫水縮聚的程度只要是上述上限粘度以下的 程度即可，未作特別的限定，但考慮到膜強(qiáng)度、耐氣候性等時(shí)，優(yōu)選以重均分子量為500 50000左右。而且，該硅酸烷基酯水解聚合物(硅溶膠)在涂覆透明導(dǎo)電層形成用涂覆液 并加以干燥后的加熱時(shí)基本完成脫水縮聚反應(yīng)(交聯(lián)反應(yīng))，成為硬的硅酸鹽粘合劑基質(zhì) (以氧化硅為主成分的粘合劑基質(zhì))。上述脫水縮聚反應(yīng)是膜(涂覆層)干燥后馬上開始， 隨著時(shí)間的經(jīng)過，堅(jiān)固地凝固成導(dǎo)電性氧化物微粒子之間不能移動(dòng)的程度，因此，當(dāng)使用無 機(jī)粘合劑時(shí)，優(yōu)選上述壓縮處理是在透明導(dǎo)電層形成用涂覆液的涂覆、干燥后，盡可能迅速 地進(jìn)行。另外，作為粘合劑，也可以使用有機(jī)-無機(jī)的混合粘合劑，例如，可舉出通過有機(jī) 官能團(tuán)對(duì)上述硅溶膠的一部分進(jìn)行修飾的粘合劑、以硅烷偶聯(lián)劑等各種偶聯(lián)劑作為主成分 的粘合劑。另外，使用無機(jī)粘合劑或有機(jī)-無機(jī)混合粘合劑的透明導(dǎo)電層必然具有優(yōu)異的 耐溶劑性，但有必要進(jìn)行適當(dāng)?shù)倪x擇，以不會(huì)使與作為基底的基膜的粘著力、透明導(dǎo)電層的 柔軟性等降低。當(dāng)將導(dǎo)電性氧化物微粒子和粘合劑成分的比重分別假設(shè)為7. 2左右(ΙΤ0的比重) 和1.2左右(通常的有機(jī)樹脂粘合劑的比重)時(shí)，本發(fā)明中使用的透明導(dǎo)電層形成用涂覆 液中的導(dǎo)電性氧化物微粒子和粘合劑成分的比例以重量比為導(dǎo)電性氧化物微粒子粘合 劑成分=85 15 97 3，更優(yōu)選為87 13 95 5。其理由是，在本發(fā)明中，當(dāng)進(jìn)行 涂敷層的壓延處理時(shí)，若粘合劑成分超過85 15，則有時(shí)透明導(dǎo)電層的電阻變得過高，相 反，當(dāng)粘合劑成分低于97 3時(shí)，有時(shí)透明導(dǎo)電層的強(qiáng)度降低的同時(shí)，無法得到充分的與作 為基底的基膜的粘著力的緣故。本發(fā)明中使用的透明導(dǎo)電層形成用涂覆液是通過以下方法制備。首先，將導(dǎo)電性 氧化物微粒子與溶劑和根據(jù)需要添加的分散劑混合后，進(jìn)行分散處理，從而得到導(dǎo)電性氧 化物微粒子分散液。作為上述分散劑，可舉出硅烷偶聯(lián)劑等的各種偶聯(lián)劑、各種高分子分散 劑、陰離子系/非離子系/陽離子系等的各種表面活性劑。這些分散劑可根據(jù)所使用的導(dǎo) 電性氧化物微粒子的種類或分散處理方法適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行選擇。另外，即使完全不使用分散劑， 根據(jù)所使用的導(dǎo)電性氧化物微粒子和溶劑的組合、以及采用怎樣的分散方法，也可得到良 好的分散狀態(tài)。分散劑的使用有可能使膜(透明導(dǎo)電層)的電阻值或耐氣候性變差，因此， 最理想的是不使用分散劑的透明導(dǎo)電層形成用涂覆液。作為分散處理，可采用超聲波處理、 均化器、涂料攪拌機(jī)、珠磨機(jī)等通用的方法。對(duì)所得到的上述導(dǎo)電性氧化物微粒子分散液添加粘合劑成分，進(jìn)而進(jìn)行導(dǎo)電性氧 化物微粒子濃度、溶劑組成等的成分調(diào)整，由此得到透明導(dǎo)電層形成用涂覆液。在此，是將 粘合劑成分添加于導(dǎo)電性氧化物微粒子的分散液中，但也可以在上述導(dǎo)電性氧化物微粒子 的分散工序之前預(yù)先添加，并沒有特別的限定。導(dǎo)電性氧化物微粒子的濃度可根據(jù)所使用 的涂覆方法適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行選擇。作為本發(fā)明中使用的透明導(dǎo)電層形成用涂覆液的溶劑，未作特別的限定，可根據(jù) 涂覆方法、制膜條件、基膜的材質(zhì)等適當(dāng)?shù)剡x擇。例如，可舉出水；甲醇(MA)、乙醇(EA)、 1-丙醇(NPA)、異丙醇(IPA)、丁醇、戊醇、芐醇、二丙酮醇(DAA)等的醇系溶劑；丙酮、甲乙 酮(MEK)、甲基丙基酮、甲基異丁基銅(MIBK)、環(huán)己酮、異佛爾酮等的酮系溶劑；乙酸乙酯、 乙酸丁酯、乙酸異丁酯、甲酸戊酯、乙酸異戊酯、丙酸丁酯、丁酸異丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、羥基乙酸甲酯、羥基乙酸乙酯、羥基乙酸丁酯、甲氧基乙酸甲酯、 甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、3_羥基丙酸甲酯、 3_羥基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙 酸乙酯、2-羥基丙酸甲酯、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧 基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基 丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙 酸乙酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸 甲酯、2_氧代丁酸乙酯等的酯系溶劑；乙二醇單甲醚(MCS)、乙二醇單乙醚(ECS)、乙二醇異 丙基醚(IPC)、乙二醇單丁基醚(BCS)、乙二醇單乙醚乙酸酯、乙二醇單丁基醚乙酸酯、丙二 醇甲醚(PGM)、丙二醇乙醚(PE)、丙二醇甲醚乙酸酯(PGM-AC)、丙二醇乙醚乙酸酯(PE-AC)、 二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁基醚、二乙二醇單甲醚乙酸酯、二乙二醇 單乙醚乙酸酯、二乙二醇單丁基醚乙酸酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇二 丁基醚、二丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙醚、二丙二醇單丁基醚等的二醇衍生物；甲苯、二 甲苯、均三甲基苯、十二烷基苯等的苯衍生物；甲酰胺(FA)、N-甲基甲酰胺、二甲基甲酰胺 (DMF)、二甲基乙酰胺、二甲基亞砜(DMSO)、N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)、γ-丁內(nèi)酯、乙二 醇、二乙二醇、丙二醇、二丙二醇、1，3-丁二醇、戊撐二醇、1，3-辛二醇、四氫呋喃(THF)、氯 仿、礦油精、萜品醇等，但并不限定于這些。下面，說明使用本發(fā)明的柔性透明導(dǎo)電膜的柔性功能性元件。作為該柔性功能性 元件，可舉出如上所述的液晶顯示元件、有機(jī)EL元件、無機(jī)分散型EL元件、電子紙?jiān)取Ｔ诖?，上述液晶顯示元件是廣泛應(yīng)用于移動(dòng)電話、PDA (Personal Digital Assistant)以及PC (Personal Computer)等設(shè)備中的非發(fā)光型的電子顯示元件，有單純矩 陣方式(無源矩陣方式)和有源矩陣方式，從圖像清晰度、應(yīng)答速度方面考慮，優(yōu)選有源矩 陣方式。其基本結(jié)構(gòu)是，用透明電極(對(duì)應(yīng)于本發(fā)明的透明導(dǎo)電層)夾住液晶，并通過電壓 驅(qū)動(dòng)使液晶分子定向而進(jìn)行顯示的結(jié)構(gòu)體，實(shí)際的元件是除了上述透明電極之外，還進(jìn)一 步層疊濾色器、相位差膜、偏振膜等而使用。另外，其他類型的液晶顯示元件還包括窗口等光快門等中使用的高分子分散型液 晶元件(以下簡(jiǎn)稱為“PDLC元件”)和聚合物網(wǎng)絡(luò)液晶元件(以下簡(jiǎn)稱為“PNLC元件”)。 其基本結(jié)構(gòu)均為如上所述地用電極(至少一方為透明電極，對(duì)應(yīng)于本發(fā)明的透明導(dǎo)電層) 夾住液晶層，通過電壓驅(qū)動(dòng)使液晶分子定向，從而產(chǎn)生液晶層的透明/不透明的外觀變化 的結(jié)構(gòu)體，但與上述液晶顯示元件不同地，在實(shí)際的元件中，無需相位差膜、偏振膜，具有可 使元件的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的特征。在此，PDLC元件是在高分子樹脂矩陣中分散微膠囊化的液晶的 結(jié)構(gòu)，PNLC元件是樹脂的網(wǎng)目狀網(wǎng)絡(luò)的網(wǎng)目部分填充液晶的結(jié)構(gòu)，通常，PDLC元件的液晶 層的樹脂含有比例高，因此，需要幾十伏以上(例如為80伏左右)的交流驅(qū)動(dòng)電壓，與此相 對(duì)，能夠使液晶層的樹脂含有比例低的PNLC元件則具有可通過幾伏 15伏左右的交流電 壓來驅(qū)動(dòng)的特征。另外，為了確保上述液晶顯示元件的顯示穩(wěn)定性，必須防止水蒸氣對(duì)液晶的混入， 例如，要求水蒸氣透過率=0. 01g/m2/day以下。另外，與液晶顯示元件不同地，上述有機(jī)EL元件是自發(fā)光元件，可通過低電壓驅(qū) 動(dòng)得到高亮度，因此，期待用作顯示器等的顯示裝置。其結(jié)構(gòu)是，在作為陽極電極層的透明導(dǎo)電層上，依次形成由聚噻吩衍生物等的導(dǎo)電性高分子構(gòu)成的空穴注入層(孔注入層)、有 機(jī)發(fā)光層(通過蒸鍍形成的低分子發(fā)光層或通過涂覆形成的高分子發(fā)光層)、陰極電極層 (對(duì)發(fā)光層的電子注入性良好的、功函數(shù)低的鎂(Mg)、鈣(Ca)、鋁(Al)等的金屬層)、阻氣 涂層(或者是通過金屬或玻璃進(jìn)行的密封處理)的結(jié)構(gòu)。上述阻氣涂層是為了防止有機(jī)EL 元件的劣化而必須的，要求具有氧氣阻擋性和水蒸氣阻擋性，例如，關(guān)于水蒸氣，要求水蒸 氣透過率=10-5g/m2/day程度以下的非常高的阻擋性能。另外，上述無機(jī)分散型EL元件是對(duì)含有熒光體粒子的層施加強(qiáng)的交流電場(chǎng)，從而 使其發(fā)光的自發(fā)光元件，一直以來應(yīng)用于移動(dòng)電話、遙控器等液晶顯示器的背光等中。另 外，作為最近的新用途，例如，作為移動(dòng)電話、遙控器、PDA、便攜式PC等便攜式信息終端等 各種設(shè)備的輸入鍵部件(鍵座)的光源而被組入。在使用于上述鍵座中時(shí)，要求元件盡可 能地薄而柔軟，以確保敲鍵耐久性和鍵盤操作時(shí)的良好的敲擊感。其基本結(jié)構(gòu)是，在作為透 明電極的透明導(dǎo)電層上，通過絲網(wǎng)印刷等至少依次形成熒光體層、電介體層、背面電極層而 成，在實(shí)際的設(shè)備中，通常還形成有銀等的集電電極、絕緣保護(hù)層等。另外，上述電子紙?jiān)?，是自身不發(fā)光的非發(fā)光型的電子顯示元件，具有即使切斷 電源還原封不動(dòng)地保留其顯示的存儲(chǔ)效果，可期待用作顯示文字的顯示器。其顯示方式可 舉出通過電泳動(dòng)法使著色粒子移動(dòng)在電極間的液體中的電泳動(dòng)方式；通過電場(chǎng)使具有雙 色性的粒子旋轉(zhuǎn)，從而使其著色的扭轉(zhuǎn)球方式；例如用透明電極夾住膽留醇液晶并進(jìn)行顯 示的液晶方式；使著色粒子(調(diào)色劑)或電子粉流體(Quick Response Liquid Powder)移 動(dòng)在空氣中而進(jìn)行顯示的粉體系方式；根據(jù)電化學(xué)的氧化、還原作用進(jìn)行發(fā)色的電致變色 方式；通過電化學(xué)的氧化、還原使金屬析出、溶解，通過與此相伴的色的變化進(jìn)行顯示的電 鍍方式。而且，在各種方式的電子紙?jiān)?，為了確保其顯示穩(wěn)定性，必須防止水蒸氣對(duì)顯 示層的混入，雖然因方式而異，但要求例如水蒸氣透過率=0. 01 0. lg/m2/day。另外，上述液晶顯示元件、有機(jī)EL元件、無機(jī)分散型EL元件、電子紙?jiān)械娜我?柔性功能性元件，可通過在本發(fā)明的柔性透明導(dǎo)電膜的透明導(dǎo)電層上分別形成各種功能性 元件而得到，能夠解決功能性元件中所要求的薄型化、輕量化、柔軟性(撓性)的課題。另外，在上述柔性功能性元件中，對(duì)具有顯示功能的液晶元件、有機(jī)EL元件、電子 紙?jiān)?，其顯示方式可以是單純矩陣方式(無源矩陣方式)和有源矩陣方式中的任意 一種。例如，在單純矩陣方式中，通過兩張具有線性圖案電極的帶電極膜，以其線性圖案電 極相互垂直且電極面對(duì)置的方式，夾持功能性層(顯示層)即可，在使用本發(fā)明的柔性透明 導(dǎo)電膜時(shí)，則以線狀形成透明導(dǎo)電層的透明導(dǎo)電膜用于上述兩張帶電極膜中的至少一方即 可。另一方面，在有源矩陣方式中，通過透明導(dǎo)電膜和背面膜(背面板)以電極面對(duì)置的方 式，夾持功能性層(顯示層)即可，其中，所述透明導(dǎo)電膜是整面形成有透明導(dǎo)電層(共集 電極)的透明導(dǎo)電膜，所述背面膜(背面板)是形成有每個(gè)顯示像素都與掃描布線和信號(hào) 布線連接的TFT (薄膜晶體管)以及像素電極的背面膜(背面板)。在使用本發(fā)明的柔性透 明導(dǎo)電膜時(shí)，可將其直接用作共集電極側(cè)的膜，或者將透明導(dǎo)電層形成為像素電極形狀，從 而作為背面膜使用。另外，作為上述TFT，優(yōu)選使用較比硅TFT具有更優(yōu)異的柔軟性的有機(jī) TFT0有機(jī)TFT可在塑料膜上涂覆而形成，因此，從成本方面考慮，也優(yōu)于硅TFT。如上所述地，液晶顯示元件、有機(jī)EL元件、分散型EL元件、電子紙?jiān)鹊谋景l(fā)明 的柔性功能性元件，雖然使用薄的基膜，但由于將具有阻氣性能的柔性透明導(dǎo)電膜用作透明電極材料，因此，具有優(yōu)異的柔軟性，例如，可容易地組入包括卡等的各種薄型設(shè)備中，進(jìn) 而有助于這些設(shè)備的進(jìn)一步薄型化下面，具體說明本發(fā)明的實(shí)施例，但本發(fā)明并不限定于該實(shí)施例的技術(shù)內(nèi)容。[實(shí)施例1]在作為溶劑的24g甲基異丁基酮(MIBK)和36g環(huán)己酮中，混合36g平均粒徑為 0.03 μ m的粒狀I(lǐng)TO微粒子[商品名SUFP-HX，住友金屬礦山(株)制造]，進(jìn)行分散處理 后，添加3. 8g聚氨酯丙烯酸酯系紫外線固化性樹脂粘合劑和0. 2g光引發(fā)劑[商品名-.Ψ α 矢二 7 — 1173, Ciba Japan Ltd.制造]，并攪拌好，由此制備分散有平均粒徑為125nm的 ITO微粒子的透明導(dǎo)電層形成用涂覆液(A液)。接著，在制造柔性透明導(dǎo)電膜之前，將賦予了阻氣性能的厚度約13μπι的塑料膜 [凸版印刷(株)制造，商品名=GX-P-F膜(以下，簡(jiǎn)稱為“GX膜”)，GX膜的構(gòu)成PET膜(厚 度12 μ m)/蒸鍍氧化鋁阻氣層(厚度10 幾十nm)/硅酸鹽 聚乙烯醇混合涂層(涂覆 膜，厚度0. 2 0. 6 μ m)，GX膜的水蒸氣透過率=0. 04g/m2/day,可見光透過率=88.5%, 霧度值=2. 3% ]用作柔性透明導(dǎo)電膜的基膜，在該基膜的形成有上述阻氣層(由氧化鋁阻 氣層和硅酸鹽 聚乙烯醇混合涂層構(gòu)成)的面上，通過耐熱性有機(jī)硅微粘接層，粘貼由厚度 100 μ m的PET膜構(gòu)成的支撐膜(內(nèi)襯膜)。接著，對(duì)上述基膜的與支撐膜相反側(cè)面(即沒有形成阻氣層的PET膜面)進(jìn)行電 暈放電處理后，在該處理面上，通過線棒涂覆法(線徑0. IOmm)涂覆透明導(dǎo)電層形成用涂 覆液(A液)，并在60°C下干燥1分鐘后，實(shí)施由鍍硬鉻的直徑為IOOmm的金屬輥進(jìn)行的壓 延處理(線壓200kgf/cm = 196N/mm，壓區(qū)寬度0. 9mm)，進(jìn)而，通過高壓水銀燈進(jìn)行粘合 劑成分的固化(氮?dú)庵校?00mW/cm2X2秒鐘)，將由致密填充的ITO微粒子和粘合劑基質(zhì)構(gòu) 成的透明導(dǎo)電層(膜厚約0.5μπι)形成于基膜上，得到實(shí)施例1的柔性透明導(dǎo)電膜(帶透 明導(dǎo)電層的基膜的厚度約13. 5 μ m)。另外，實(shí)施例1的柔性透明導(dǎo)電膜具有“支撐膜(內(nèi)襯膜)” / “由GX膜構(gòu)成的基 膜” / “透明導(dǎo)電層”的構(gòu)成，如上所述地，由GX膜構(gòu)成的基膜的厚度約為13μπι，極薄且柔 軟，而且，賦予了阻氣性能的GX膜的各構(gòu)成材料的透明性高，因此，在實(shí)施例1的柔性透明 導(dǎo)電膜中，因基膜的存在引起的可見光吸收極小。另外，通過JIS Κ5600-5-6的膠帶剝離試驗(yàn)(劃格試驗(yàn))，評(píng)價(jià)具有“支撐膜(內(nèi) 襯膜)”/ “由GX膜構(gòu)成的基膜”/ “透明導(dǎo)電層”構(gòu)成的柔性透明導(dǎo)電膜中基膜與透明導(dǎo)電 層的粘著力，其結(jié)果，為25/25 (沒有剝離的數(shù)量/全部數(shù)量[5 X 5 = 25個(gè)])，即良好。但 是，由于在上述膠帶剝離試驗(yàn)(劃格試驗(yàn))中，基膜的厚度約為13μπι即很薄，若直接劃格， 則連同透明導(dǎo)電層一起會(huì)切斷至基膜，因此，先將形成有透明導(dǎo)電層的基膜從支撐膜(內(nèi) 襯膜)剝離，通過環(huán)氧系粘接劑粘貼在厚度ΙΟΟμπι的PET膜后，進(jìn)行評(píng)價(jià)。而且，將實(shí)施例1的柔性透明導(dǎo)電膜的水蒸氣透過率連同支撐膜一起測(cè)定的結(jié) 果，水蒸氣透過率=0. 04g/m2/day，確認(rèn)了沒有因?yàn)橥该鲗?dǎo)電層的形成過程中的電暈放電 處理和壓延處理等產(chǎn)生了水蒸氣透過率的劣化。在此，上述支撐膜是由不具有阻氣性能的 PET膜構(gòu)成，其水蒸氣透過率與賦予了阻氣性能的GX膜的水蒸氣透過率相比，大幾十倍以 上，因此，認(rèn)為連同支撐膜測(cè)定的柔性透明導(dǎo)電膜的水蒸氣透過率，幾乎與從柔性透明導(dǎo)電 膜剝離上述支撐膜得到的“形成有透明導(dǎo)電層的GX膜”的水蒸氣透過率相同。另外，一系列的水蒸氣透過率的測(cè)定，是通過根據(jù)JIS K 7129B法的MOCON法( 二 >法，試驗(yàn)環(huán)境 400C X90% RH)進(jìn)行。另外，上述GX膜除了具有水蒸氣阻擋性以外，還具有氧氣阻擋性，氧氣透過率= 約0. 2cc/m2/day/atm(試驗(yàn)環(huán)境30°C X70% RH)，在實(shí)施例1的柔性透明導(dǎo)電膜中，也具 有同樣的氧氣阻擋性。另外，實(shí)施例1的柔性透明導(dǎo)電膜的“支撐膜(內(nèi)襯膜)”與“由GX膜構(gòu)成的基膜” 之間的剝離強(qiáng)度是5.0g/cm。在此，上述剝離強(qiáng)度是180°剝離強(qiáng)度[以300mm/min的拉伸 速度對(duì)基膜實(shí)施180°的剝離(peel)時(shí)的強(qiáng)度]。另外，上述透明導(dǎo)電層的膜特性是，可見光透過率95.3%、霧度值3.7%、表面 電阻值1000Ω / 口。而且，關(guān)于表面電阻值，由于受到粘合劑固化時(shí)的紫外線照射的影響， 固化剛剛結(jié)束后有暫時(shí)下降的傾向，因此，形成透明導(dǎo)電層一天后進(jìn)行測(cè)定。進(jìn)而，上述透 明導(dǎo)電層的透過率和霧度值是僅透明導(dǎo)電層的數(shù)值，是分別根據(jù)下述計(jì)算式1和2求出。計(jì)算式1:透明導(dǎo)電層的透過率(％)=[(連同透明導(dǎo)電層和內(nèi)襯有支撐膜的基膜測(cè)定的透 過率)/ (內(nèi)襯有支撐膜的基膜的透過率)]X100計(jì)算式2 透明導(dǎo)電層的霧度值(％ )=(連同透明導(dǎo)電層和內(nèi)襯有支撐膜的基膜測(cè)定的霧 度值)_(內(nèi)襯有支撐膜的基膜的霧度值)另外，透明導(dǎo)電層的表面電阻是通過三菱化學(xué)(株)制造的表面電阻儀口 ^ ^ 夕AP(MCP-T400)來測(cè)定。霧度值和可見光透過率是利用日本電色(株)制造的濁度計(jì) (NDH5000)，并根據(jù) JIS K 7136 (霧度值)、JIS K 7361-1 (透過率)測(cè)定。接著，在實(shí)施例1的柔性透明導(dǎo)電膜(稱作“第一透明導(dǎo)電膜”，另外，將該基膜稱 作“第一基膜”，將該透明導(dǎo)電層稱作“第一透明導(dǎo)電層”)的透明導(dǎo)電層(第一透明導(dǎo)電 層)上，形成由含有白色微粒子和黑色微粒子的微膠囊構(gòu)成的電泳動(dòng)方式的顯示層(層厚 為40 μ m)，進(jìn)而，在所形成的上述顯示層上，貼合另一個(gè)實(shí)施例1的柔性透明導(dǎo)電膜(稱作 “第二透明導(dǎo)電膜”，另外，將該基膜稱作“第二基膜”，將該透明導(dǎo)電層稱作“第二透明導(dǎo)電 層”)的透明導(dǎo)電層(第二透明導(dǎo)電層)側(cè)。接著，以上述顯示層為中心，在其兩側(cè)的第一透明導(dǎo)電膜和第二透明導(dǎo)電膜的各 透明導(dǎo)電層(第一透明導(dǎo)電層和第二透明導(dǎo)電層)的一端，利用銀導(dǎo)電膏分別形成電壓施 加用Ag引線后，分別剝離第一透明導(dǎo)電膜和第二透明導(dǎo)電膜的各支撐膜(內(nèi)襯膜)，得到實(shí) 施例1的柔性功能性元件(電子紙?jiān)?(元件厚度約67 μ m)。另外，在電子紙?jiān)校紤]到提高對(duì)比度等，應(yīng)該在一個(gè)電極中使用透明導(dǎo)電 層，而在另一個(gè)電極中則優(yōu)選使用碳膏涂覆膜等黑色導(dǎo)電膜。此時(shí)，涂覆黑色導(dǎo)電膜的基膜 無需透明性，因此，可將不銹鋼等的金屬箔、鋁等金屬蒸鍍塑料膜用作基膜。但在本發(fā)明的 各實(shí)施例和比較例中，為了方便，在對(duì)電子紙?jiān)┘与妷旱膬蓚€(gè)電極的雙方均使用了透 明導(dǎo)電層。另外，實(shí)施例1的厚度約為67 μ m的上述柔性功能性元件(電子紙?jiān)?，具有“賦 予了阻氣性能的厚度約為13 μ m的第一基膜” / “厚度約0，5μπι的第一透明導(dǎo)電層” / “顯 示層(厚度40μπι)”/ “厚度約0.5μπι的第二透明導(dǎo)電層” / “賦予了阻氣性能的厚度約13 μ m的第二基膜”的構(gòu)成。而且，在該柔性功能性元件(電子紙?jiān)?中，為了防止電極之間的短路或觸電 等，在上述透明導(dǎo)電層(第一透明導(dǎo)電層和第二透明導(dǎo)電層)和電壓施加用Ag引線上，利 用絕緣膏形成絕緣保護(hù)層。但是，由于不是關(guān)系到本發(fā)明本質(zhì)的部分，因此省略了詳細(xì)的說 明。另外，在實(shí)施例1的柔性功能性元件的制造工序中，各基膜可在與支撐膜的(內(nèi)襯膜) 的界面上簡(jiǎn)單地進(jìn)行剝離。這是因?yàn)?，如上所述地?shí)施例1的柔性透明導(dǎo)電膜的“支撐膜 (內(nèi)襯膜)”與“由GX膜構(gòu)成的基膜”之間的剝離強(qiáng)度為5. Og/cm的緣故。另外，在實(shí)施例1的柔性功能性元件(電子紙?jiān)?的電壓施加用Ag引線之間， 施加IOV直流電壓，重復(fù)極性的反轉(zhuǎn)，其結(jié)果，重復(fù)了黑白的顯示。[實(shí)施例2]在制造柔性透明導(dǎo)電膜之前，通過粘接劑貼合兩張實(shí)施例1中使用的厚度約 13 μ m的塑料膜[商品名GX膜，凸版印刷(株)制造]的阻氣層(由氧化鋁阻氣層和硅 酸鹽·聚乙烯醇混合涂層構(gòu)成)之間，制造阻氣性能強(qiáng)化膜[膜的構(gòu)成PET膜(厚度 12 μ m)/蒸鍍氧化鋁阻氣層(厚度10 幾十nm)/硅酸鹽 聚乙烯醇混合涂層(涂覆膜， 厚度0. 2 0. 6 μ m) /粘接劑層(約8 μ m) /硅酸鹽·聚乙烯醇混合涂層(涂覆膜，厚度 0. 2 0. 6 μ m) /蒸鍍氧化鋁阻氣層(厚度10 幾十nm) /PET膜(厚度12 μ m)，膜的水 蒸氣透過率低于0. 01g/m2/day(即，膜的水蒸氣透過率< 0. 01g/m2/day)，可見光透過率= 87. 2%，霧度值=4.5% ]，將該阻氣性能強(qiáng)化膜用作柔性透明導(dǎo)電膜的基膜，且在該基膜 (阻氣性能強(qiáng)化膜)的一側(cè)PET膜面，通過耐熱性有機(jī)硅微粘接層，貼合由厚度125 μ m的 PET膜構(gòu)成的支撐膜(內(nèi)襯膜)。接著，對(duì)基膜的與上述支撐膜相反側(cè)面(即另一側(cè)PET膜面)實(shí)施由電暈放電處 理進(jìn)行的易粘接處理后，在該處理面上，通過線棒涂覆法涂覆透明導(dǎo)電層形成用涂覆液(A 液)，除此之外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，將由致密填充的ITO微粒子和粘合劑基質(zhì)構(gòu)成的透 明導(dǎo)電層(膜厚約0.5μπι)形成于基膜上，得到實(shí)施例2的柔性透明導(dǎo)電膜(帶透明導(dǎo)電 層的基膜的厚度約34.5 μ m)。另外，實(shí)施例2的柔性透明導(dǎo)電膜具有“支撐膜(內(nèi)襯膜)”/ “貼合兩張GX膜的 基膜” / “透明導(dǎo)電層”的構(gòu)成，如上所述地，由兩張GX膜構(gòu)成的基膜的厚度約34 μ m,極薄 且柔軟，而且，貼合GX膜的阻氣性能強(qiáng)化膜的各構(gòu)成材料的透明性高，因此，在實(shí)施例2的 柔性透明導(dǎo)電膜中，因基膜的存在引起的可見光吸收極小。另外，通過與實(shí)施例1同樣的方法，評(píng)價(jià)具有“支撐膜(內(nèi)襯膜)”/ “貼合兩張GX 膜的基膜”/ “透明導(dǎo)電層”構(gòu)成的柔性透明導(dǎo)電膜中基膜與透明導(dǎo)電層的粘著力，其結(jié)果， 為25/25 (沒有剝離的數(shù)量/全部數(shù)量[5X5 = 25個(gè)])，即良好。而且，將實(shí)施例2的柔性透明導(dǎo)電膜的水蒸氣透過率連同支撐膜一起測(cè)定的結(jié) 果，水蒸氣透過率<0.01g/m2/day，確認(rèn)了沒有因?yàn)橥该鲗?dǎo)電層的形成過程中的電暈放電 處理和壓延處理等產(chǎn)生了水蒸氣透過率的劣化。在此，上述支撐膜是由不具有阻氣性能的 PET膜構(gòu)成，其水蒸氣透過率與貼合兩張賦予了阻氣性能的GX膜的基膜的水蒸氣透過率相 比，大幾十倍以上，因此，認(rèn)為連同支撐膜測(cè)定的柔性透明導(dǎo)電膜的水蒸氣透過率，幾乎與 從柔性透明導(dǎo)電膜剝離支撐膜得到的“形成有透明導(dǎo)電層且由兩張GX膜構(gòu)成的基膜”的水 蒸氣透過率相同。
另外，上述貼合了兩張GX膜的阻氣性能強(qiáng)化膜，除了具有水蒸氣阻擋性以外，還 具有氧氣阻擋性，其氧氣透過率< 0. lcc/m2/day/atm(試驗(yàn)環(huán)境30°C X70% RH)，在實(shí)施 例2的柔性透明導(dǎo)電膜中，也具有同樣的氧氣阻擋性。另外，實(shí)施例2的柔性透明導(dǎo)電膜的“支撐膜(內(nèi)襯膜)”與“貼合兩張GX膜的基 膜”之間的剝離強(qiáng)度為4.0g/cm。在此，上述剝離強(qiáng)度是與實(shí)施例1同樣地，表示180°剝離 強(qiáng)度[以300mm/min的拉伸速度對(duì)基膜實(shí)施180°的剝離(peel)時(shí)的強(qiáng)度]。另外，上述透明導(dǎo)電層的膜特性是，可見光透過率95. 1%、霧度值3. 5%、表面 電阻值1050Ω / 口。而且，關(guān)于表面電阻值，由于受到粘合劑固化時(shí)的紫外線照射的影響， 固化剛剛結(jié)束后有暫時(shí)下降的傾向，因此，形成透明導(dǎo)電層一天后進(jìn)行測(cè)定。而且，上述透 明導(dǎo)電層的透過率和霧度值是僅透明導(dǎo)電層的數(shù)值，與實(shí)施例1同樣地，是分別根據(jù)上述 計(jì)算式1和2求出。接著，使用實(shí)施例2的柔性透明導(dǎo)電膜，通過與實(shí)施例1略同的方法，得到實(shí)施 例2的柔性功能性元件(電子紙?jiān)?(元件厚度約109 μ m)。而且，實(shí)施例2的厚度約 109 μ m的上述柔性功能性元件(電子紙?jiān)?，具有“具有阻氣性能的厚度約34 μ m的第一 基膜”/ “厚度約0.5μπι的第一透明導(dǎo)電層”/ “顯示層(厚度40μπι)”/ “厚度約0.5μπι 的第二透明導(dǎo)電層” / “具有阻氣性能的厚度約34μπ 的第二基膜”的構(gòu)成。另外，在實(shí)施 例2的柔性功能性元件的制造工序中，各基膜在與支撐膜(內(nèi)襯膜)的界面上可簡(jiǎn)單地剝 罔。另外，在實(shí)施例2的柔性功能性元件(電子紙?jiān)?的電壓施加用Ag引線之間， 施加IOV直流電壓，重復(fù)極性的反轉(zhuǎn)，其結(jié)果，重復(fù)了黑白的顯示。[實(shí)施例3]在作為溶劑的24g甲基異丁基酮(MIBK)和36g環(huán)己酮中，混合36g平均粒徑為 0.03 μ m的粒狀I(lǐng)TO微粒子[商品名SUFP-HX，住友金屬礦山(株)制造]，進(jìn)行分散處理 后，添加4. Og液狀的熱固性環(huán)氧樹脂粘合劑，并攪拌好，由此制備分散有平均粒徑為130nm 的ITO微粒子的透明導(dǎo)電層形成用涂覆液(B液)。接著，在制造柔性透明導(dǎo)電膜之前，將賦予了阻氣性能的厚度約13μπι的塑料膜 [大日本印刷(株)制造，商品名=IB-PET-PXB膜(以下，簡(jiǎn)稱為“IB膜”)，IB膜的構(gòu)成 PET膜(厚度12 μ m)/蒸鍍氧化鋁阻氣層(厚度10 幾十nm)/硅酸鹽·聚乙烯醇混合 涂層(涂覆膜，厚度0. 2 0. 6 μ m)，IB膜的水蒸氣透過率=0. 08g/m2/day,可見光透過率 =88. 5%，霧度值=2.1%]用作柔性透明導(dǎo)電膜的基膜，在該基膜的沒有形成上述阻氣層 (由氧化鋁阻氣層和硅酸鹽 聚乙烯醇混合涂層構(gòu)成)的PET膜面上，通過耐熱性有機(jī)硅微 粘接層，粘貼由厚度100 μ m的PET膜構(gòu)成的支撐膜(內(nèi)襯膜)。接著，對(duì)上述基膜的與支撐膜相反側(cè)的面(即形成有阻氣層的面)上，通過線棒涂 覆法(線徑0. 15mm)涂覆透明導(dǎo)電層形成用涂覆液(B液)，并在60°C下干燥1分鐘后，實(shí) 施由鍍硬鉻的直徑為IOOmm的金屬輥進(jìn)行的壓延處理(線壓200kgf/cm = 196N/mm，壓區(qū) 寬度0. 9mm)，進(jìn)而，在100°C下加熱20分鐘而進(jìn)行粘合劑成分的固化(交聯(lián))，將由致密填 充的ITO微粒子和粘合劑基質(zhì)構(gòu)成的透明導(dǎo)電層(膜厚約1. Ομπι)形成于基膜上，得到實(shí) 施例3的柔性透明導(dǎo)電膜(帶透明導(dǎo)電層的基膜的厚度約14μ m)。另外，實(shí)施例3的柔性透明導(dǎo)電膜具有“支撐膜(內(nèi)襯膜)/ “由IB膜構(gòu)成的基膜”/ “透明導(dǎo)電層”的構(gòu)成，如上所述地，由IB膜構(gòu)成的基膜的厚度約13μπι，極薄且柔軟， 而且，賦予了阻氣性能的IB膜的各構(gòu)成材料的透明性高，因此，在實(shí)施例3的柔性透明導(dǎo)電 膜中，因基膜的存在引起的可見光吸收極小。另外，通過與實(shí)施例1同樣的方法，評(píng)價(jià)具有“支撐膜(內(nèi)襯膜)”/ “由IB膜構(gòu)成 的基膜”/ “透明導(dǎo)電層”構(gòu)成的柔性透明導(dǎo)電膜中基膜與透明導(dǎo)電層的粘著力，其結(jié)果，為 25/25 (沒有剝離的數(shù)量/全部數(shù)量[5 X 5 = 25個(gè)])，即良好。而且，將實(shí)施例3的柔性透明導(dǎo)電膜的水蒸氣透過率連同支撐膜一起測(cè)定的結(jié) 果，水蒸氣透過率=0. 08g/m2/day，確認(rèn)了沒有因?yàn)橥该鲗?dǎo)電層的形成過程中的壓延處理 等產(chǎn)生了水蒸氣透過率的劣化。在此，上述支撐膜是由不具有阻氣性能的PET膜構(gòu)成，其水 蒸氣透過率與賦予了阻氣性能的IB膜的水蒸氣透過率相比，大幾十倍以上，因此，認(rèn)為連 同支撐膜測(cè)定的柔性透明導(dǎo)電膜的水蒸氣透過率，幾乎與從柔性透明導(dǎo)電膜剝離支撐膜得 到的“形成有透明導(dǎo)電層的IB膜”的水蒸氣透過率相同。另外，上述IB膜，除了具有水蒸氣阻擋性以外，還具有氧氣阻擋性，其氧氣透過率 =約0. lcc/m2/day/atm(試驗(yàn)環(huán)境23°C X90% RH)，在實(shí)施例3的柔性透明導(dǎo)電膜中，也 具有同樣的氧氣阻擋性。另外，實(shí)施例3的柔性透明導(dǎo)電膜的“支撐膜(內(nèi)襯膜)”與“由IB膜構(gòu)成的基膜” 之間的剝離強(qiáng)度為4. Og/cm。在此，上述剝離強(qiáng)度也是與實(shí)施例1、2同樣地，表示180°剝
離強(qiáng)度。另外，上述透明導(dǎo)電層的膜特性是，可見光透過率91.0%、霧度值4.4%、表面 電阻值650 Ω / 口。而且，上述透明導(dǎo)電層的透過率和霧度值是僅透明導(dǎo)電層的數(shù)值，與實(shí) 施例1同樣地，是分別根據(jù)上述計(jì)算式1和2求出。接著，使用實(shí)施例3的柔性透明導(dǎo)電膜，通過與實(shí)施例1略同的方法，得到實(shí)施例3 的柔性功能性元件(電子紙?jiān)?(元件厚度約68 μ m)。而且，實(shí)施例3的厚度約68 μ m的 上述柔性功能性元件(電子紙?jiān)?，具有“具有阻氣性能的厚度約13 μ m的第一基膜”/“厚 度約1. O μ m的第一透明導(dǎo)電層”/ “顯示層(厚度40 μ m) ”/ “厚度約1. O μ m的第二透明 導(dǎo)電層”/ “具有阻氣性能的厚度約13 μ m的第二基膜”的構(gòu)成。另外，在實(shí)施例3的柔性 功能性元件的制造工序中，各基膜在與支撐膜(內(nèi)襯膜)的界面上可簡(jiǎn)單地剝離。另外，在實(shí)施例3的柔性功能性元件(電子紙?jiān)?的電壓施加用Ag引線之間， 施加IOV直流電壓，重復(fù)極性的反轉(zhuǎn)，其結(jié)果，重復(fù)了黑白的顯示。[實(shí)施例4]通過實(shí)施例1的柔性透明導(dǎo)電膜(稱作“第一透明導(dǎo)電膜”，另外，將該基膜稱作 “第一基膜”，將該透明導(dǎo)電層稱作“第一透明導(dǎo)電層”)的透明導(dǎo)電層(第一透明導(dǎo)電層) 和另一個(gè)實(shí)施例1的柔性透明導(dǎo)電膜(稱作“第二透明導(dǎo)電膜”，另外，將該基膜稱作“第二 基膜”，將該透明導(dǎo)電層稱作“第二透明導(dǎo)電層”)的透明導(dǎo)電層(第二透明導(dǎo)電層)，夾持 由紫外線固化樹脂和液晶構(gòu)成的聚合物網(wǎng)絡(luò)液晶(PNLC)后，對(duì)上述紫外線固化樹脂進(jìn)行 紫外線固化，從而形成液晶層(層厚約10 μ m)。接著，以上述液晶層為中心，在其兩側(cè)的第一透明導(dǎo)電膜和第二透明導(dǎo)電膜的各 透明導(dǎo)電層(第一透明導(dǎo)電層和第二透明導(dǎo)電層)的一端，利用銀導(dǎo)電膏分別形成電壓施 加用Ag引線后，分別剝離第一透明導(dǎo)電膜和第二透明導(dǎo)電膜的各支撐膜(內(nèi)襯膜)，得到實(shí)施例4的柔性功能性元件(PNLC元件)(元件厚度約37 μ m)。另外，實(shí)施例4的厚度約37 μ m的上述柔性功能性元件(PNLC元件)，具有“賦予 了阻氣性能的厚度約13μπι的第一基膜” / “厚度約0，5μπι的第一透明導(dǎo)電層” / “液晶 層(厚度約ΙΟμπι)”/ “厚度約0.5μπι的第二透明導(dǎo)電層” / “賦予了阻氣性能的厚度約 13 μ m的第二基膜”的構(gòu)成。而且，在該柔性功能性元件(PNLC元件)中，為了防止電極之間的短路或觸電等， 在上述透明導(dǎo)電層(第一透明導(dǎo)電層和第二透明導(dǎo)電層)和電壓施加用Ag引線上，利用絕 緣膏形成絕緣保護(hù)層。但是，由于不是關(guān)系到本發(fā)明本質(zhì)的部分，因此省略了詳細(xì)的說明。 另外，在實(shí)施例4的柔性功能性元件的制造工序中，各基膜可在與支撐膜的(內(nèi)襯膜)的界 面上簡(jiǎn)單地進(jìn)行剝離。這是因?yàn)?，?shí)施例4的柔性透明導(dǎo)電膜的“支撐膜(內(nèi)襯膜)”與“由 GX膜構(gòu)成的基膜”之間的剝離強(qiáng)度為5. Og/cm的緣故。另外，在實(shí)施例4的柔性功能性元件(PNLC元件)的電壓施加用Ag引線之間，重 復(fù)15V交流電壓的開、關(guān)，其結(jié)果，重復(fù)了透明(開)/不透明(關(guān))的外觀變化(即，確認(rèn) 了光快門性能)。另外，實(shí)施例4的柔性功能性元件(PNLC元件)的總厚度約37 μ m即極薄，具有極 柔軟的特性。[比較例1]作為比較例1的柔性透明導(dǎo)電膜的基膜使用厚度25μπι的PET膜，在該基膜上，通 過線棒涂覆法(線徑0. IOmm)涂覆實(shí)施例1中使用的透明導(dǎo)電層形成用涂覆液(Α液)， 并在60°C下干燥1分鐘后，實(shí)施由鍍硬鉻的直徑為IOOmm的金屬輥進(jìn)行的壓延處理(線 壓200kgf/cm = 196N/mm，壓區(qū)寬度0. 9mm)，進(jìn)而，通過高壓水銀燈進(jìn)行粘合劑成分的固 化(氮?dú)庵校?00mW/cm2X2秒鐘)，將由致密填充的ITO微粒子和粘合劑構(gòu)成的透明導(dǎo)電層 (膜厚約0.5 μ m)形成于基膜上。接著，在上述基膜的沒有形成透明導(dǎo)電層的面上，通過粘接劑層(厚度約 20 μ m)，貼合實(shí)施例1中使用的賦予了阻氣性能的厚度約13 μ m的塑料膜[凸版印刷(株) 制造，商品名GX膜，GX膜的構(gòu)成PET膜(厚度12 μ m)/蒸鍍氧化鋁阻氣層(厚度10 幾十nm) /硅酸鹽·聚乙烯醇混合涂層(涂覆膜，厚度0. 2 0. 6 μ m)，GX膜的水蒸氣透過 率=0. 05g/m7day，可見光透過率=88. 5%，霧度值=2. 3% ]，得到比較例1的柔性透明 導(dǎo)電膜(帶透明導(dǎo)電層的基膜的厚度58. 5 μ m)。另外，如上所述地，比較例1的柔性透明導(dǎo)電膜具有“賦予了阻氣性能的厚度約 13 μ m的塑料膜(GX膜)”/ “厚度約20 μ m的粘接劑層，，/ “由厚度25 μ m的PET膜構(gòu)成 的基膜” / “膜厚約0. 5μπι的透明導(dǎo)電層”的構(gòu)成，其總厚度為58. 5 μ m，相比于總厚度為 13. 5μπι的實(shí)施例1的柔性透明導(dǎo)電膜，其柔軟性差。另外，由于由PET膜構(gòu)成的基膜、粘接 劑層、GX膜等的各構(gòu)成材料的透明性高，因此，在比較例1的柔性透明導(dǎo)電膜中，因存在上 述基膜、粘接劑層、GX膜等引起的可見光吸收極小。另外，通過與實(shí)施例1相同的方法，評(píng)價(jià)具有“GX膜”/ “粘接劑層”/ “由PET膜 構(gòu)成的基膜”/ “透明導(dǎo)電層”的構(gòu)成的柔性透明導(dǎo)電膜中基膜與透明導(dǎo)電層的粘著力，其 結(jié)果，為25/25 (沒有剝離的數(shù)量/全部數(shù)量[5 X 5 = 25個(gè)])，即良好。。另外，上述透明導(dǎo)電層的膜特性是，可見光透過率95.0%、霧度值3.8%、表面
20電阻值1000Ω / 口。而且，關(guān)于表面電阻值，由于受到粘合劑固化時(shí)的紫外線照射的影響， 固化剛剛結(jié)束后有暫時(shí)下降的傾向，因此，形成透明導(dǎo)電層一天后進(jìn)行測(cè)定。而且，與實(shí)例 1同樣地，上述透明導(dǎo)電層的透過率和霧度值是僅透明導(dǎo)電層的數(shù)值，是分別根據(jù)下述計(jì)算 式3和4求出。計(jì)算式3:透明導(dǎo)電層的透過率(％ )=[(連同透明導(dǎo)電層和貼合有GX膜的基膜測(cè)定的透 過率)/ (貼合有GX膜的基膜的透過率)]X 100計(jì)算式4:透明導(dǎo)電層的霧度值(％)=(連同透明導(dǎo)電層和貼合有GX膜的基膜測(cè)定的霧度 值)_ (貼合有GX膜的基膜的霧度值)另外，與實(shí)施例1同樣地，透明導(dǎo)電層的表面電阻是通過三菱化學(xué)(株)制造的表 面電阻儀口 > 7夕AP(MCP-T400)測(cè)定。霧度值和可見光透過率也是利用日本電色(株) 制造的濁度計(jì)(NDH5000)，并根據(jù)JIS K 7136來測(cè)定。接著，使用比較例1的柔性透明導(dǎo)電膜，采用與實(shí)施例1略同的方法，得到比較例 1的柔性功能性元件(電子紙?jiān)?。S卩，在比較例1的柔性透明導(dǎo)電膜(稱作“第一透明導(dǎo)電膜”，另外，將該基膜稱作 “第一基膜”，將該透明導(dǎo)電層稱作“第一透明導(dǎo)電層”)的透明導(dǎo)電層(第一透明導(dǎo)電層) 上，形成由含有白色微粒子和黑色微粒子的微膠囊構(gòu)成的電泳動(dòng)方式的顯示層(層厚為 40 μ m)，進(jìn)而，在所形成的上述顯示層上，貼合另一個(gè)比較例1的柔性透明導(dǎo)電膜(稱作“第 二透明導(dǎo)電膜”，另外，將該基膜稱作“第二基膜”，將該透明導(dǎo)電層稱作“第二透明導(dǎo)電層”) 的透明導(dǎo)電層(第二透明導(dǎo)電層)側(cè)。接著，以上述顯示層為中心，在其兩側(cè)的第一透明導(dǎo)電膜和第二透明導(dǎo)電膜的各 透明導(dǎo)電層(第一透明導(dǎo)電層和第二透明導(dǎo)電層)的一端，利用銀導(dǎo)電膏分別形成電壓施 加用Ag引線，得到比較例1的柔性功能性元件(電子紙?jiān)?(元件厚度約157μπι)。另外，比較例1的厚度約為157 μ m的上述柔性功能性元件(電子紙?jiān)?，具 有“賦予了阻氣性能的厚度約13μπι的GX膜” / “厚度約20μπι的粘接劑層” / “由厚度 25μπι的PET膜構(gòu)成的第一基膜”/ “厚度約0.5μπι的第一透明導(dǎo)電層”/ “顯示層(厚度 40μπι)，7 “厚度約0.5μπι的第二透明導(dǎo)電層，，/ “由厚度25μπι的PET膜構(gòu)成的第二基 膜” / “厚度約20 μ m的粘接劑層” / “賦予了阻氣性能的厚度約13μπι的GX膜”的構(gòu)成，相 比于總厚度約67 μ m的實(shí)施例1、總厚度約68 μ m的實(shí)施例3的各柔性功能性元件(電子紙 元件)，其柔軟性差。另外，與實(shí)施例1同樣地，在比較例1的柔性功能性元件(電子紙?jiān)?的電壓施 加用Ag引線之間，施加IOV直流電壓，重復(fù)極性的反轉(zhuǎn)，其結(jié)果，重復(fù)了黑白的顯示。[比較例2]在比較例1中，利用粘接劑層(厚度約20μπι)，在基膜的沒有形成透明導(dǎo)電層的 面上，貼合實(shí)施例2中使用的通過粘接劑貼合GX膜層之間而成的阻氣性能強(qiáng)化膜(厚度約 34 μ m)，從而得到比較例2的柔性透明導(dǎo)電膜(帶透明導(dǎo)電層的基膜的厚度79. 5 μ m)。另外，如上所述地，比較例2的柔性透明導(dǎo)電膜具有“厚度約34 μ m的阻氣性能強(qiáng) 化膜(GX膜/粘接劑層/GX膜)”/ “厚度約20 μ m的粘接劑層”/ “由厚度25 μ m的PET膜構(gòu)成的基膜” / “膜厚約0. 5μπι的透明導(dǎo)電層”的構(gòu)成，其總厚度為79. 5 μ m，相比于總厚度 為34. 5μπι的實(shí)施例2的柔性透明導(dǎo)電膜(帶透明導(dǎo)電層的基膜)，其柔軟性差。另外，由 于由PET膜構(gòu)成的基膜、粘接劑層、GX膜等的各構(gòu)成材料的透明性高，因此，在比較例2的 柔性透明導(dǎo)電膜中，因存在上述基膜、粘接劑層、GX膜等引起的可見光吸收極小。另外，通過與實(shí)施例1相同的方法，評(píng)價(jià)具有“貼合兩張GX膜的膜” / “粘接劑 層，，/ “由PET膜構(gòu)成的基膜”/ “透明導(dǎo)電層”的構(gòu)成的柔性透明導(dǎo)電膜中基膜與透明導(dǎo)電 層的粘著力，其結(jié)果，為25/25 (沒有剝離的數(shù)量/全部數(shù)量[5 X 5 = 25個(gè)])，即良好。。接著，使用比較例2的柔性透明導(dǎo)電膜，通過與實(shí)施例1略同的方法，得到比較例2 的柔性功能性元件(電子紙?jiān)?(元件厚度約199 μ m)。而且，比較例1的厚度約199 μ m 的上述柔性功能性元件(電子紙?jiān)?，具有“厚度約34 μ m的阻氣性能強(qiáng)化膜(GX膜/粘 接劑層/GX膜)” / “厚度約20 μ m的粘接劑層” / “由厚度25 μ m的PET膜構(gòu)成的第一基 膜”/ “厚度約0.5μπι的第一透明導(dǎo)電層”/ “顯示層(厚度40μπι)”/ “厚度約0.5μπι的 第二透明導(dǎo)電層”/ “由厚度25μπι的PET膜構(gòu)成的第二基膜”/ “厚度約20μπι的粘接劑 層”/ “厚度約34 μ m的阻氣性能強(qiáng)化膜(GX膜/粘接劑層/GX膜)”的構(gòu)成，相比于總厚度 為109 μ m的實(shí)施例2的柔性功能性元件(電子紙?jiān)?，其柔軟性差。另外，與實(shí)施例1同樣地，在比較例2的柔性功能性元件(電子紙?jiān)?的電壓施 加用Ag引線之間，施加IOV直流電壓，重復(fù)極性的反轉(zhuǎn)，其結(jié)果，重復(fù)了黑白的顯示。[比較例3]除了在由賦予了阻氣性能的厚度約13μπι的塑料膜(GX膜)構(gòu)成的實(shí)施例1的基 膜上沒有粘貼支撐膜(內(nèi)襯膜)以外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，將由致密填充的ITO微粒子 和粘合劑基質(zhì)構(gòu)成的透明導(dǎo)電層(膜厚約0.5μπι)形成于基膜上，得到比較例3的柔性透 明導(dǎo)電膜(帶透明導(dǎo)電層的基膜的厚度約13. 5 μ m)。另外，比較例3的柔性透明導(dǎo)電膜具有“由GX膜構(gòu)成的基膜” / “透明導(dǎo)電層”的 構(gòu)成，如上所述地，由GX膜構(gòu)成的基膜的厚度約13 μ m,薄且極其柔軟，因此，實(shí)施均勻的壓 延處理極其困難。而且，由于在大面積的壓延處理中產(chǎn)生了“皺褶”等缺陷，因此，難以通過 各實(shí)施例中能夠?qū)嵤┑木韺?duì)卷(Roll-to-roll)來進(jìn)行制造。另外，測(cè)定了比較例3的柔性透明導(dǎo)電膜(能夠較均勻地實(shí)施了壓延處理的部分) 的水蒸氣透過率，結(jié)果，水蒸氣透過率=約1.0g/m2/day (上述GX膜的初期水蒸氣透過率= 0. 04g/m2/day)，確認(rèn)了，由于透明導(dǎo)電層的形成過程中的壓延處理，其水蒸氣透過率出現(xiàn) 了大幅降低。接著，使用比較例3的柔性透明導(dǎo)電膜(能夠較均勻地實(shí)施了壓延處理的部分)， 采用與實(shí)施例1略同的方法，得到比較例3的柔性功能性元件(電子紙?jiān)?(元件厚度 約 67 μ m)。另外，該比較例3的厚度約67 μ m的柔性功能性元件(電子紙?jiān)?，具有“具有阻 氣性能的厚度約13 μ m的第一基膜” / “厚度約0.5μπι的第一透明導(dǎo)電層” / “顯示層(厚 度40μπι) ” / “厚度約0. 5μπι的第二透明導(dǎo)電層” / “具有阻氣性能的厚度約13 μ m的第 二基膜”的構(gòu)成，其柔軟性與總厚度約67 μ m的實(shí)施例1的柔性功能性元件(電子紙?jiān)? 相比，為同等水平。另外，與實(shí)施例1同樣地，在比較例3的柔性功能性元件(電子紙?jiān)?的電壓施加用Ag引線之間，施加IOV直流電壓，重復(fù)極性的反轉(zhuǎn)，其結(jié)果，重復(fù)了黑白的顯示。但是，在上述柔性功能性元件的制造過程中，由于柔性透明導(dǎo)電膜極薄，因此，其 操作非常困難，從而元件的制造效率顯著降低的同時(shí)，所得到的元件性能的偏差(例如，顯 示速度、對(duì)比度等的顯示性能)顯著增大。而且，如上所述地，由于比較例3的柔性透明導(dǎo)電膜的水蒸氣透過率出現(xiàn)大幅劣 化，因此，當(dāng)將所得到的柔性功能性元件長(zhǎng)期放置在大氣中時(shí)，實(shí)施例的柔性功能性元件中 沒有發(fā)現(xiàn)元件性能(顯示速度、對(duì)比度、顯示存儲(chǔ)性等的顯示性能)的變化，與此相比，比較 例3的柔性功能性元件中，則確認(rèn)了元件性能的大幅降低。[比較例4]在厚度IOOym的PET膜單面的整面，通過濺射法形成氧化鋁阻氣層(厚度約 50nm)，且對(duì)沒有形成上述阻氣層的PET膜面實(shí)施電暈放電處理，從而得到賦予了阻氣性能 的厚度約100 μ m的塑料膜。該膜的水蒸氣透過率為0. 02g/m2/day。另外，代替由賦予了阻氣性能的厚度約13 μ m的塑料膜(GX膜)構(gòu)成的實(shí)施例1的 基膜，將賦予了阻氣性能的厚度約100 μ m的上述塑料膜用作基膜，且沒有貼合支撐膜(內(nèi) 襯膜)，除此之外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，得到由致密地填充的ITO微粒子和粘合劑基質(zhì)構(gòu) 成的透明導(dǎo)電層(膜厚約0.5 μ m)形成于基膜上的比較例4的透明導(dǎo)電膜(帶透明導(dǎo)電 層的基膜的厚度約100. 5 μ m)。測(cè)定了所得到的比較例4的透明導(dǎo)電膜的水蒸氣透過率，結(jié)果，水蒸氣透過率= 0. 08g/m2/day，也許是因?yàn)樯鲜鲎铓鈱佑纱嗟臒o機(jī)材料即氧化鋁單體構(gòu)成的緣故，確認(rèn)了 因透明導(dǎo)電層的形成過程中的壓延處理等，其水蒸氣透過率有一些劣化。接著，使用比較例4的透明導(dǎo)電膜，采用與實(shí)施例1略同的方法，得到比較例4的 功能性元件(電子紙?jiān)?(元件厚度約241 μ m)。另外，該比較例4的厚度約241 μ m 的功能性元件(電子紙?jiān)?，具有“賦予了阻氣性能的厚度約IOOym塑料膜” / “厚度約 0.5μπι的第一透明導(dǎo)電層” / “顯示層(厚度40μπι)”/ “厚度約0.5μπι的第二透明導(dǎo)電 層” / “賦予了阻氣性能的厚度約100 μ m的塑料膜”的構(gòu)成，與總厚度約67 μ m的實(shí)施例1 的柔性功能性元件(電子紙?jiān)?相比，其柔軟性顯著降低。另外，與實(shí)施例1同樣地，在比較例4的功能性元件(電子紙?jiān)?的電壓施加用 Ag引線之間，施加IOV直流電壓，重復(fù)極性的反轉(zhuǎn)，其結(jié)果，重復(fù)了黑白的顯示。
0159][比較例5]在厚度75μπι的PET膜單面的整面，通過濺射法形成氧化鋁阻氣層(厚度約 50nm)，且對(duì)沒有形成上述阻氣層的PET膜面實(shí)施電暈放電處理，從而得到賦予了氣體阻擋 性能的厚度約75 μ m的塑料膜。該膜的水蒸氣透過率為0. 02g/m2/day。另外，代替由賦予了阻氣性能的厚度約13μπι的塑料膜(GX膜)構(gòu)成的實(shí)施例1 的基膜，將賦予了阻氣性能的厚度約75μπι的上述塑料膜用作基膜，且沒有貼合支撐膜(內(nèi) 襯膜)，除此之外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，得到由致密地填充的ITO微粒子和粘合劑基質(zhì)構(gòu) 成的透明導(dǎo)電層(膜厚約0.5 μ m)形成于基膜上的比較例5的透明導(dǎo)電膜(帶透明導(dǎo)電 層的基膜的厚度約75.5 μ m)。測(cè)定了所得到的比較例5的透明導(dǎo)電膜的水蒸氣透過率，結(jié)果，水蒸氣透過率= 0. lg/m2/day，也許是因?yàn)樯鲜鲎铓鈱佑纱嗟臒o機(jī)材料即氧化鋁單體構(gòu)成的緣故，確認(rèn)了因透明導(dǎo)電層的形成過程中的壓延處理等，其水蒸氣透過率有一些劣化。接著，使用比較例5的透明導(dǎo)電膜，采用與實(shí)施例1略同的方法，得到比較例5的 功能性元件(電子紙?jiān)?(元件厚度約191 μ m)。另外，該比較例5的厚度約191 μ m的功 能性元件(電子紙?jiān)?，具有“賦予了阻氣性能的厚度約75μπι塑料膜”/“厚度約0.5μπι 的第一透明導(dǎo)電層”/ “顯示層(厚度40 μ m) 7 “厚度約0. 5 μ m的第二透明導(dǎo)電層”/ “賦 予了阻氣性能的厚度約75 μ m的塑料膜”的構(gòu)成，與總厚度約67 μ m的實(shí)施例1的柔性功能 性元件(電子紙?jiān)?的相比，其柔軟性顯著降低。另外，與實(shí)施例1同樣地，在比較例5的功能性元件(電子紙?jiān)?的電壓施加用 Ag引線之間，施加IOV直流電壓，重復(fù)極性的反轉(zhuǎn)，其結(jié)果，重復(fù)了黑白的顯示。工業(yè)實(shí)用性根據(jù)使用本發(fā)明的柔性透明導(dǎo)電膜的液晶顯示元件、有機(jī)電致發(fā)光元件、無機(jī)分 散型電致發(fā)光元件、電子紙?jiān)鹊娜嵝怨δ苄栽?，由于柔性功能性元件的厚度被抑?成較薄，從而具有優(yōu)異的柔軟性，因此，可利用于例如卡等的薄型設(shè)備中，具有工業(yè)實(shí)用性。
2權(quán)利要求
一種柔性透明導(dǎo)電膜，是具有在基膜面上涂覆透明導(dǎo)電層形成用涂覆液而形成的透明導(dǎo)電層的柔性透明導(dǎo)電膜，其特征在于，由賦予了阻氣性能的厚度為3～50μm的塑料膜構(gòu)成上述基膜，在該基膜的單面具有以能夠在與基膜的界面剝離的方式貼合的內(nèi)襯膜，而且，在與該內(nèi)襯膜相反側(cè)的基膜面上設(shè)置的上述透明導(dǎo)電層是以導(dǎo)電性氧化物微粒子和粘合劑基質(zhì)作為主成分，且透明導(dǎo)電層是連同上述基膜和內(nèi)襯膜一起被實(shí)施有壓縮處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性透明導(dǎo)電膜，其特征在于，貼合多張賦予了阻氣性能的 塑料膜來構(gòu)成上述基膜，從而強(qiáng)化基膜的阻氣性能。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的柔性透明導(dǎo)電膜，其特征在于，對(duì)塑料膜施加阻氣涂層， 從而賦予上述阻氣性能。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的柔性透明導(dǎo)電膜，其特征在于，上述阻氣涂層是至少分別層 疊一層以上的無機(jī)材料的蒸鍍膜和含有有機(jī)材料的涂覆膜而成。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的柔性透明導(dǎo)電膜，其特征在于，在施加了上述阻氣涂層的 塑料膜的阻氣涂層上形成透明導(dǎo)電層。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性透明導(dǎo)電膜，其特征在于，上述透明導(dǎo)電層的導(dǎo)電性氧 化物微粒子是以氧化銦、氧化錫、氧化鋅中的任意一種以上作為主成分。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的柔性透明導(dǎo)電膜，其特征在于，上述以氧化銦作為主成分的 導(dǎo)電性氧化物微粒子是銦錫氧化物微粒子。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性透明導(dǎo)電膜，其特征在于，上述透明導(dǎo)電層的粘合劑基 質(zhì)被交聯(lián)，從而對(duì)有機(jī)溶劑具有耐性。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性透明導(dǎo)電膜，其特征在于，上述壓縮處理是通過輥的壓 延處理而進(jìn)行。
10.一種柔性透明導(dǎo)電膜的制造方法，其特征在于，在由賦予了阻氣性能的厚度為3 50 μ m的塑料膜構(gòu)成的基膜的單面，貼合能夠在與 基膜的界面剝離的內(nèi)襯膜，而且，在與該內(nèi)襯膜相反側(cè)的基膜面上，涂覆以導(dǎo)電性氧化物微 粒子、粘合劑和溶劑作為主成分的透明導(dǎo)電層形成用涂覆液，從而形成涂覆層的同時(shí)，對(duì)單 面具有內(nèi)襯膜且形成有上述涂覆層的基膜實(shí)施壓縮處理后，使涂覆層固化而形成透明導(dǎo)電層。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的柔性透明導(dǎo)電膜的制造方法，其特征在于，貼合多張賦予 了阻氣性能的塑料膜來構(gòu)成上述基膜，從而強(qiáng)化基膜的阻氣性能。
12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的柔性透明導(dǎo)電膜的制造方法，其特征在于，對(duì)塑料膜 施加阻氣涂層，從而賦予上述阻氣性能。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的柔性透明導(dǎo)電膜的制造方法，其特征在于，上述壓縮處理 是通過輥的壓延處理而進(jìn)行。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的柔性透明導(dǎo)電膜的制造方法，其特征在于，上述壓延處理 是線壓為29. 4 490N/mm，即30 500kgf/cm的條件下進(jìn)行。
15.一種柔性功能性元件，其特征在于， 在權(quán)利要求1 9中任一項(xiàng)所述的柔性透明導(dǎo)電膜的與內(nèi)襯膜的相反側(cè)，形成有液 晶顯示元件、有機(jī)電致發(fā)光元件、無機(jī)分散型電致發(fā)光元件、電子紙?jiān)械娜我夤δ苄栽?，而且在與基膜的界面上剝離去除了上述內(nèi)襯膜。
16. 一種柔性功能性元件的制造方法，其特征在于，在權(quán)利要求1 9中任一項(xiàng)所述的柔性透明導(dǎo)電膜的與內(nèi)襯膜的相反側(cè)，形成液晶顯 示元件、有機(jī)電致發(fā)光元件、無機(jī)分散型電致發(fā)光元件、電子紙?jiān)械娜我夤δ苄栽?并在與基膜的界面上剝離去除上述內(nèi)襯膜。
全文摘要
本發(fā)明的柔性透明導(dǎo)電膜，是具有在基膜面上涂覆透明導(dǎo)電層形成用涂覆液而形成的透明導(dǎo)電層的柔性透明導(dǎo)電膜，其特征在于，由賦予了阻氣性能的厚度為3～50μm的塑料膜構(gòu)成上述基膜，在基膜的單面具有以能夠剝離的方式貼合的內(nèi)襯膜，而且，在與內(nèi)襯膜相反側(cè)的基膜面上設(shè)置的透明導(dǎo)電層是以導(dǎo)電性氧化物微粒子和粘合劑基質(zhì)作為主成分，且透明導(dǎo)電層是連同基膜和內(nèi)襯膜一起被實(shí)施有壓縮處理。另外，本發(fā)明的柔性功能性元件，其特征在于，在上述柔性透明導(dǎo)電膜上，形成液晶顯示元件、有機(jī)電致發(fā)光元件、無機(jī)分散型電致發(fā)光元件、電子紙?jiān)鹊墓δ苄栽?br> 文檔編號(hào)G02F1/1343GK101939798SQ20098010443
公開日2011年1月5日 申請(qǐng)日期2009年2月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月13日
發(fā)明者村山勇樹, 行延雅也 申請(qǐng)人:住友金屬礦山株式會(huì)社