專利名稱：：防反射用光學(xué)元件以及原盤的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：元件的原盤的制造方法。尤其涉及一種在表面上以小于等于可一見光波長(zhǎng)的細(xì)微間隔配置有多個(gè)由凸部或凹部構(gòu)成的構(gòu)造體的防反射用光學(xué)元件。
背景技術(shù)：
：現(xiàn)有技術(shù)中，存在以下方法在采用了玻璃、塑料等透光性基材的光學(xué)元件中，進(jìn)行用于抑制光的表面反射的表面處理。作為這種表面處理，存在在光學(xué)元件表面形成孩t小且致密的凹凸(蛾眼(motheye))形狀的方法(例如參照"光4支術(shù)4妻觸"「光技術(shù)〕>夕夕卜」Vol.43，No.ll(2005),630-637)。一般，當(dāng)在光學(xué)元件表面設(shè)置周期的凹凸形狀的情況下，光透過這里時(shí)會(huì)發(fā)生衍射，透過光的直線傳播成分會(huì)大幅度減少。但是，當(dāng)凹凸形狀的間隔短于透過光的波長(zhǎng)的情況下，不會(huì)發(fā)生衍射，比如當(dāng)凹凸形狀為下文中描述的矩形時(shí)，對(duì)于其間隔或深度等所對(duì)應(yīng)的單一波長(zhǎng)的光，則可以獲得有效的防反射效果。作為采用電子束曝光制作的蛾眼(^"77一)構(gòu)造體，公開有孩吏小帳狀的蛾眼構(gòu)造體(間隔約300nm，深度約400nm)(參照NTT先進(jìn)技術(shù)(抹)、"無波長(zhǎng)依存性的防止反射體(蛾眼)用成形金屬才莫原盤，，、online、平成20年2月27日4企索、網(wǎng)全各<URL:http〃keytech.ntt-at.co.jp/nano/prd—0033.html〉)(NTTT卜、、^乂7亍夕乂口^(株)、"波長(zhǎng)依存性0&V、反射防止體(乇7了一)用成形金型原盤"、[online]、[平成19年8月20日検索]、O夕一氺、乂卜<URL:http〃keytech.ntt-at.co.jp/nano/prd—0016.html〉參照)。該蛾眼構(gòu)造體可以獲得反射率小于等于1%的高性能防反射特性。但是，近年來，為了提高液晶顯示裝置等各種顯示裝置的可一見性，渴望實(shí)現(xiàn)更卓越的防反射特性。
發(fā)明內(nèi)容因此，本發(fā)明的目的在于提供防反射特性卓越的防反射用光學(xué)為了解決上述問題，本發(fā)明第一方面的防反射用光學(xué)元件，其包括基體；以及多個(gè)凸?fàn)罨虬紶畹臉?gòu)造體，以小于等于可視光的波長(zhǎng)的細(xì)微間隔被配置在基體的表面，其中，各個(gè)構(gòu)造體被配置成在基體表面構(gòu)成多列軌跡，且形成六邊形格子圖案、準(zhǔn)六邊形格子圖案、四邊形格子圖案或準(zhǔn)四邊形格子圖案，構(gòu)造體是沿軌跡的延伸方向具有長(zhǎng)軸方向的橢圓錐或橢圓錐臺(tái)形狀。本發(fā)明第二方面的防反射用光學(xué)元件，其包括基體；以及多個(gè)由凸部或凹部構(gòu)成的構(gòu)造體，以小于等于可光的波長(zhǎng)的細(xì)樣吏間隔被配置在基體的表面，其中，各個(gè)構(gòu)造體^皮配置成在基體表面構(gòu)成多列專九跡，且形成準(zhǔn)六邊形4各子圖案、四邊形才各子圖案或準(zhǔn)四邊形格子圖案，構(gòu)造體對(duì)基體表面的填充率大于等于65%。本發(fā)明第三方面的防反射用光學(xué)元件，其包括基體；以及多個(gè)由凸部或凹部構(gòu)成的構(gòu)造體，以小于等于可一見光的波長(zhǎng)的細(xì)樣殳間隔被配置在基體的表面，其中，各個(gè)構(gòu)造體被配置成在基體表面構(gòu)成多列軌跡，且形成準(zhǔn)六邊形格子圖案，當(dāng)將相同軌跡內(nèi)的構(gòu)造體的配置間隔設(shè)定為Pl，并將構(gòu)造體底面在軌跡方向上的直徑設(shè)定為2r時(shí)，直徑2r對(duì)配置間隔Pl的比率((2r/Pl)xi00)大于等于85%。本發(fā)明第四方面的防反射用光學(xué)元件，其包括基體；以及多個(gè)由凸部或凹部構(gòu)成的構(gòu)造體，以小于等于可視光的波長(zhǎng)的細(xì)纟殷間隔:故配置在基體的表面，其中，各個(gè)構(gòu)造體被配置成在基體表面構(gòu)成多列軌跡，且形成四邊形才各子圖案或準(zhǔn)四邊形4各子圖案，當(dāng)習(xí)夸相同軌跡內(nèi)的構(gòu)造體的配置間隔設(shè)定為Pl，并將構(gòu)造體底面在軌跡方向上的直徑i殳定為2r時(shí)，直徑2r對(duì)配置間隔Pl的比率((2r/Pl)xlOO)大于等于90%。本發(fā)明第五方面的用于制作防反射用光學(xué)元件的原盤的制造方法，其包括在圓柱狀或圓筒狀的原盤的周面上形成抗蝕層的步驟；使形成有抗蝕層的原盤旋轉(zhuǎn)，并在使激光的光點(diǎn)以平行于圓柱狀或圓筒狀的原盤的中心軸的方式進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)，對(duì)抗蝕罷間歇性地照射激光，以短于可一見光波長(zhǎng)的間隔形成潛^f象的步驟；佳:抗蝕層顯影，在原盤的表面形成抗蝕圖案的步驟；以及通過實(shí)施以抗蝕圖案作為掩模的蝕刻處理，從而在原盤的表面形成凹狀或凸?fàn)畹臉?gòu)造體的步驟，其中，在潛像的形成步驟中，潛像被配置成在原盤表面構(gòu)成多列軌跡，且形成六邊形才各子圖案、準(zhǔn)六邊形4各子圖案、四邊形格子圖案或準(zhǔn)四邊形才各子圖案，潛像是沿專九跡的延伸方向具有長(zhǎng)軸方向的橢圓形狀。本發(fā)明第六方面的用于制作防反射用光學(xué)元件的原盤的制造方法，其包括在圓柱狀或圓筒狀的原盤的周面上形成抗蝕層的步驟；使形成有抗蝕層的原盤旋轉(zhuǎn)，并在4吏激光的光點(diǎn)以平行于圓柱狀或圓筒狀的原盤的中心軸的方式進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)，對(duì)抗蝕層間歇性地照射激光，以短于可視光波長(zhǎng)的間隔形成潛像的步驟；使抗蝕層顯影，在原盤的表面形成抗蝕圖案的步驟；以及通過實(shí)施以抗蝕圖案作為掩模的蝕刻處理，從而在原盤的表面形成凹狀或凸?fàn)畹臉?gòu)造體的步驟，其中，在潛像的形成步驟中，潛傳4皮配置成在原盤表面構(gòu)成多列軌跡，且形成準(zhǔn)六邊形格子圖案、四邊形格子圖案或準(zhǔn)四邊形格子圖案，構(gòu)造體對(duì)原盤表面的填充率大于等于65%。本發(fā)明第七方面的用于制作防反射用光學(xué)元件的原盤的制造方法，其包括在圓柱狀或圓筒狀的原盤的周面上形成抗蝕層的步驟；使形成有抗蝕層的原盤旋轉(zhuǎn)，并在使激光的光點(diǎn)以平4于于圓柱狀或圓筒狀的原盤的中心軸的方式進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)，對(duì)抗蝕層間歇性地照射激光，/人而以短于可一見光波長(zhǎng)的間隔形成潛像的步驟；-使抗蝕層顯影，在原盤的表面形成抗蝕圖案的步驟；以及通過實(shí)施以抗蝕圖案作為掩模的蝕刻處理，從而在原盤的表面形成凹狀或凸?fàn)畹臉?gòu)造體的步驟，其中，在潛像的形成步驟中，潛像被配置成在原盤表面構(gòu)成多列軌跡，且形成準(zhǔn)六邊形才各子圖案，當(dāng)將相同軌跡內(nèi)的構(gòu)造體的配置間隔設(shè)定為Pl，并將構(gòu)造體在軌跡方向上的直徑i殳定為2r時(shí)，直徑2r對(duì)配置間隔Pl的比率((2r/Pl)xl00)在大于等于85%的范圍內(nèi)。本發(fā)明第八方面的用于制作防反射用光學(xué)元件的原盤的制造方法，其包括在圓柱狀或圓筒狀的原盤的周面上形成抗蝕層的步驟；使形成有抗蝕層的原盤旋轉(zhuǎn)，并在使激光的光點(diǎn)以平行于圓柱狀或圓筒狀的原盤的中心軸的方式進(jìn)4亍相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)，對(duì)抗蝕層間歇性地照射激光，以短于可一見光波長(zhǎng)的間隔形成潛l象的步驟；4吏抗蝕層顯影，在原盤的表面形成抗蝕圖案的步驟；以及通過實(shí)施以抗蝕圖案作為纟奄才莫的蝕刻處理，/人而在原盤的表面形成凹狀或凸?fàn)畹臉?gòu)造體的步驟，其中，在潛l象的形成步驟中，潛像#1配置成在原盤表面構(gòu)成多列軌跡，且形成四邊形才各子圖案或準(zhǔn)四邊形格子圖案，當(dāng)將相同軌跡內(nèi)的構(gòu)造體的配置間隔設(shè)定為Pl，并將構(gòu)造體在4九跡方向上的直徑i殳定為2r時(shí)，直徑2r對(duì)配置間隔Pl的比率((2r/Pl)xl00)在大于等于127%的范圍內(nèi)。在本發(fā)明中，優(yōu)選將主構(gòu)造體周期性地配置成四邊形格子狀或準(zhǔn)四邊形一各子狀。這里，所謂四邊形一各子是指正四邊形的格子。準(zhǔn)四邊形才各子不同于正四邊形的才各子，是指歪曲的正四邊形的才各子。例如，當(dāng)構(gòu)造體^皮配置在直線上時(shí)，準(zhǔn)四邊形才各子是指沿直線狀的排列方向(軌跡方向)拉伸正四邊形的格子使其歪曲所得到的四邊形才各子。而當(dāng)構(gòu)造體蛇形排列時(shí)，準(zhǔn)四邊形格子是指通過構(gòu)造體的蛇形排列使正四邊形的格子歪曲所得到的四邊形格子?；蛘?，準(zhǔn)四邊形格子是指沿直線狀的排列方向(軌跡方向)拉伸正四邊形的格子使其歪曲、且通過構(gòu)造體的蛇形排列使正四邊形的格子歪曲所得到的四邊形才各子。在本發(fā)明中，優(yōu)選將構(gòu)造體周期性地配置成六邊形格子狀或準(zhǔn)六邊形格子狀。這里，所謂六邊形格子是指正六邊形的格子。準(zhǔn)六邊形格子不同于正六邊形的格子，是指歪曲的正六邊形的格子。例如，當(dāng)構(gòu)造體被配置在直線上時(shí)，準(zhǔn)六邊形格子是指沿直線狀的排列方向(軌跡方向)拉伸正六邊形的格子使其歪曲所得到的六邊形格子。而當(dāng)構(gòu)造體蛇形排列時(shí)，準(zhǔn)六邊形格子是指通過構(gòu)造體的蛇形排列4吏正六邊形的4各子歪曲所得到的六邊形4各子?；蛘?，準(zhǔn)六邊形格子是指沿直線狀的排列方向(軌跡方向)拉伸正六邊形的格子使其歪曲、且通過構(gòu)造體的蛇形排列使正六邊形的格子歪曲所得到的六邊形格子。在本發(fā)明中，橢圓不4又包括數(shù)學(xué)上所定義的完整橢圓，還包才舌—皮賦予少許歪斜的橢圓。圓形不4又包括數(shù)學(xué)上所定義的完整圓形(正圓)，還包括被賦予少許歪斜的圓形。在本發(fā)明中，優(yōu)選相同軌跡內(nèi)的構(gòu)造體的配置間隔Pl長(zhǎng)于鄰接的兩個(gè)軌跡間的構(gòu)造體的配置間隔P2。這樣，可以提高具有橢圓錐形狀或橢圓錐臺(tái)形狀的構(gòu)造體的填充率，因此可以提高防反射特性。在本發(fā)明中，當(dāng)各構(gòu)造體在基體表面形成六邊形格子圖案或準(zhǔn)六邊形格子圖案的情況下，當(dāng)將相同軌跡內(nèi)的構(gòu)造體的配置間隔設(shè)定為Pl,并將鄰接的兩個(gè)軌跡間的構(gòu)造體的配置間隔設(shè)定為P2時(shí)，優(yōu)選比率Pl/P2滿足1.00《P1/P2《1.1或1.00<P1/P2《1.1的關(guān)系。通過i殳定為這樣的凄t值范圍，從而可以4是高具有橢圓錐形狀或橢圓錐臺(tái)形狀的構(gòu)造體的填充率，因此可以提高防反射特性。在本發(fā)明中，優(yōu)選在各構(gòu)造體在基體表面形成六邊形格子圖案或準(zhǔn)六邊形格子圖案的情況下，各構(gòu)造體為在軌跡延伸方向具有長(zhǎng)軸方向且中央部的傾斜比頂部以及底部的傾斜形成得更急劇的橢圓錐形狀或橢圓錐臺(tái)形狀。通過i殳置成這樣的形狀，乂人而可以沖是高防反射特性和透過特性。在本發(fā)明中，優(yōu)選在各構(gòu)造體在基體表面形成六邊形格子圖案或準(zhǔn)六邊形格子圖案的情況下，軌跡延伸方向上的構(gòu)造體的高度或深度小于軌跡的列方向上的構(gòu)造體的高度或深度。如果不滿足這一關(guān)系，則需要拉長(zhǎng)軌跡延伸方向上的配置間隔，因而軌跡延伸方向上的構(gòu)造體的填充率降^f氐。一旦填充率如此降j氐，將導(dǎo)致反射特性降低。在本發(fā)明中，優(yōu)選在構(gòu)造體在基體表面形成四邊形格子圖案或準(zhǔn)四邊形格子圖案的情況下，相同軌跡內(nèi)的構(gòu)造體的配置間隔PI長(zhǎng)于鄰接的兩個(gè)軌跡間的構(gòu)造體的配置間隔P2。這樣，可以提高具有橢圓錐形狀或橢圓錐臺(tái)形狀的構(gòu)造體的填充率，因此可以提高防反射特性。優(yōu)選當(dāng)構(gòu)造體在基體表面形成四邊形格子圖案或準(zhǔn)四邊形才各子圖案的情況下，當(dāng)將相同軌跡內(nèi)的構(gòu)造體的配置間隔設(shè)定為Pl,并將鄰4妾的兩個(gè)4九跡間的構(gòu)造體的配置間隔_沒定為P2時(shí)，比率Pl/P2滿足1.4<Pl/P2《1.5的關(guān)系。通過設(shè)定為這樣的數(shù)值范圍，從而可以提高具有橢圓錐形狀或橢圓錐臺(tái)形狀的構(gòu)造體的填充率，因此可以提高防反射特性。優(yōu)選當(dāng)各構(gòu)造體在基體表面形成四邊形才各子圖案或準(zhǔn)四邊形格子圖案的情況下，各構(gòu)造體為在軌跡延伸方向具有長(zhǎng)軸方向且中央部的傾斜比頂部以及底部的傾斜形成得更急劇的橢圓錐形狀或橢圓錐臺(tái)形狀。通過設(shè)置成這樣的形狀，從而可以提高防反射特性和透過特性。優(yōu)選當(dāng)構(gòu)造體在基體表面形成四邊形格子圖案或準(zhǔn)四邊形格子圖案的情況下，相對(duì)于軌跡45。方向或約45。方向上的構(gòu)造體的高度或深度小于軌跡的列方向上的構(gòu)造體的高度或深度。如果不滿足這樣的關(guān)系，則需要延長(zhǎng)相對(duì)于軌跡45。方向或約45。方向上的配置間隔，因而相對(duì)于軌跡45。方向或約45。方向上的構(gòu)造體的填充率降低。一旦填充率如此降低，將導(dǎo)致反射特性降低。在本發(fā)明中，以細(xì)微間隔配置在基體表面的多個(gè)構(gòu)造體構(gòu)成多列軌跡，且在鄰接的三列軌跡之間形成六邊形格子圖案、準(zhǔn)六邊形格子圖案、四邊形格子圖案或準(zhǔn)四邊形格子圖案。因此，可以提高表面上的構(gòu)造體的填充密度，由此，可以提高可視光的防反射效率，從而獲得防反射特性卓越的透過率極高的光學(xué)元件。此外，當(dāng)將光盤的記錄技術(shù)用于構(gòu)造體的制作時(shí)，可以短時(shí)間且高效地制造光學(xué)元件制作用原盤，并且可以應(yīng)對(duì)基體的大型化，由此，可以實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件的生產(chǎn)率的提高。此外，當(dāng)構(gòu)造體的細(xì)微排列不只設(shè)置在光射入面上，也設(shè)置在光射出面上時(shí)，可以進(jìn)一步^是高透過特性。發(fā)明效果如上所述，根據(jù)本發(fā)明，可以實(shí)現(xiàn)防反射性卓越的光學(xué)元件。圖1A是示出本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的光學(xué)元件的一個(gè)結(jié)構(gòu)例的概要俯視圖，圖1B是放大示出圖1A所示的光學(xué)元件的一部分的俯視圖，圖1C是圖1B中的軌跡T1、T3…的剖面圖，圖1D是圖1B中的軌跡T2、T4…的剖面圖，圖1E是示出用于形成與圖1B中的軌跡T1、T3…相對(duì)應(yīng)的潛像的激光的調(diào)制波形的略線圖，圖1F是示出用于形成與圖1B中的4九跡T2、T4…相對(duì)應(yīng)的潛^象的激光的調(diào)制波形的略線圖2是方文大示出圖1A所示的光學(xué)元件的一部分的立體圖3A是圖1A所示的光學(xué)元件沿軌跡延伸方向的剖面圖，圖3B是圖1A所示的光學(xué)元件l沿e方向的剖面圖4是放大示出圖1A所示的光學(xué)元件1的一部分的立體圖5是方文大示出圖1A所示的光學(xué)元件1的一部分的立體圖6是放大示出圖1A所示的光學(xué)元件1的一部分的立體圖；圖7是構(gòu)造體的邊界不明確時(shí)的構(gòu)造體底面的設(shè)定方法的說明圖8A至圖8D是改變構(gòu)造體底面的橢圓率時(shí)的底面形狀的示意圖9A是具有圓錐形狀或圓錐臺(tái)形狀的構(gòu)造體的一個(gè)配置例的示意圖，圖9B是具有橢圓錐形狀或橢圓錐臺(tái)形狀的構(gòu)造體3的一個(gè)配置例的示意圖IOA是示出用于制作光學(xué)元件的輥狀原盤的一個(gè)結(jié)構(gòu)例的立體圖，圖IOB是示出用于制作光學(xué)元件的輥狀原盤的一個(gè)結(jié)構(gòu)例的^f府一見圖11是示出輥狀原盤曝光裝置的一個(gè)結(jié)構(gòu)例的概要圖12A至圖12C是用于說明本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的光學(xué)元件的制造方法的步驟圖13A至圖13C是用于說明本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的光學(xué)元件的制造方法的步-驟圖14A是示出本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的光學(xué)元件的一個(gè)結(jié)構(gòu)例的概要俯視圖，圖14B是放大示出圖14A所示的光學(xué)元件的一部分的俯一見圖，圖14C是圖14B中的4九跡T1、T3…的剖面圖，圖14D是圖14B中的4九跡T2、T4…的剖面圖，圖14E是示出用于形成與圖14B中的軌跡T1、T3…相對(duì)應(yīng)的潛像的激光的調(diào)制波形的略線圖，圖14F是示出用于形成與圖14B中的4九跡T2、T4…相對(duì)應(yīng)的潛<象的激光的調(diào)制波形的略線圖；圖15A是示出用于制作光學(xué)元件的輥狀原盤的一個(gè)結(jié)構(gòu)例的立體圖，圖15B是示出用于制作光學(xué)元件的輥狀原盤的一個(gè)結(jié)構(gòu)例的<府—見圖16A是示出本發(fā)明的第三實(shí)施方式所涉及的光學(xué)元件的一個(gè)結(jié)構(gòu)例的概要俯視圖，圖16B是放大示出圖16A所示的光學(xué)元件的一部分的俯一見圖17A是示出本發(fā)明的第四實(shí)施方式所涉及的光學(xué)元件的一個(gè)結(jié)構(gòu)例的概要俯視圖，圖17B是放大示出圖17A所示的光學(xué)元件的一部分的俯一見圖，圖17C是圖14B中的4九跡T1、T3…的剖面圖，圖17D是圖17B中的4九跡T2、T4…的剖面圖18是方文大示出圖17所示的光學(xué)元件的一部分的俯—見圖19是本發(fā)明的第五實(shí)施方式所涉及的液晶顯示裝置的結(jié)構(gòu)示意圖20是本發(fā)明的第六實(shí)施方式所涉及的液晶顯示裝置的結(jié)構(gòu)示意圖21是示出實(shí)施例1中的光學(xué)元件的反射率的波長(zhǎng)依存性的坐標(biāo)圖22是示出實(shí)施例2中的光學(xué)元件的反射率的波長(zhǎng)依存性的坐標(biāo)圖23是示出實(shí)施例3中的光學(xué)元件的透過率的波長(zhǎng)依存性的坐標(biāo)圖；圖24是示出實(shí)施例4中的光學(xué)元件的透過率的波長(zhǎng)依存性的坐標(biāo)圖25是示出實(shí)施例5中的光學(xué)元件的反射率的波長(zhǎng)依存性的坐標(biāo)圖26是示出實(shí)施例6中的光學(xué)元件的頂視圖(TopView)的SEM照片；圖27是示出實(shí)施例7中的光學(xué)元件的頂一見圖(TopView)的SEM照片；圖28是示出實(shí)施例8中的光學(xué)元件的頂—見圖(TopView)的SEM照片；圖29是示出試驗(yàn)例1中的^f莫擬結(jié)果的坐標(biāo)圖30是示出試驗(yàn)例2中的模擬結(jié)果的坐標(biāo)圖31是示出試驗(yàn)例3中的模擬結(jié)果的坐標(biāo)圖32是示出試驗(yàn)例4中的模擬結(jié)果的坐標(biāo)圖33是示出試驗(yàn)例5中的模擬結(jié)果的坐標(biāo)圖34是示出試驗(yàn)例6中的模擬結(jié)果的坐標(biāo)圖35是示出試驗(yàn)例5中的模擬結(jié)果的坐標(biāo)圖36A是示出試驗(yàn)例7中的模擬結(jié)果的坐標(biāo)圖，圖36B是示出試驗(yàn)例8中的才莫擬結(jié)果的坐標(biāo)圖；圖37A是示出試驗(yàn)例9中的模擬結(jié)果的坐標(biāo)圖，圖37B是示出試驗(yàn)例10中的模擬結(jié)果的坐標(biāo)圖38A是示出試驗(yàn)例11中的模擬結(jié)果的坐標(biāo)圖，圖38B是示出試-瞼例12中的才莫擬結(jié)果的坐標(biāo)圖39A是構(gòu)造體排列成六邊形格子狀時(shí)的填充率的說明圖，圖39B是構(gòu)造體排列成四邊形格子狀時(shí)的填充率的說明圖40是示出試驗(yàn)例15中的模擬結(jié)果的坐標(biāo)圖；以及圖41是改變構(gòu)造體底面的橢圓率時(shí)的底面形狀的示意圖。具體實(shí)施例方式根據(jù)下列順序?qū)Ρ景l(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。另外，在下述實(shí)施方式的所有附圖中，對(duì)相同或相應(yīng)的部分標(biāo)以相同的標(biāo)記。1、第一實(shí)施方式(將構(gòu)造體二維排列成六邊形才各子狀的實(shí)施例)2、第二實(shí)施方式(將構(gòu)造體二維排列成四邊形格子狀的實(shí)施例)3、第三實(shí)施方式(蛇行排列構(gòu)造體的實(shí)施例)4、第四實(shí)施方式(將凹形狀的構(gòu)造性形成在基體表面的實(shí)施例)5、第五實(shí)施方式(對(duì)顯示裝置的第一應(yīng)用例)6、第六實(shí)施方式(對(duì)顯示裝置的第二應(yīng)用例)<1、第一實(shí)施方式〉圖1A是示出本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的光學(xué)元件的一個(gè)結(jié)構(gòu)例的概要俯視圖。圖1B是放大示出圖1A所示的光學(xué)元件的一部分的俯一見圖。圖1C是圖1B中的軌跡(track)Tl、T3…的剖面圖。圖1D是圖1B中的軌跡T2、T4…的剖面圖。圖1E是示出用于形成與圖1B中的軌跡T1、T3…相對(duì)應(yīng)的潛像的激光的調(diào)制波形的略線圖。圖1F是示出用于形成與圖1B中的4九跡T2、T4…相只于應(yīng)的潛像的激光的調(diào)制波形的略線圖。圖2、圖4、圖5、圖6是放大示出圖1A所示的光學(xué)元件1的一部分的立體圖。圖3A是圖1A所示的光學(xué)元件沿軌跡的延伸方向(X方向(下面也適當(dāng)稱作4九跡方向))的剖面圖。圖3B是圖1A所示的光學(xué)元件沿e方向的剖面圖。該光學(xué)元件K尤選適用于顯示器、光電裝置(photoelectronics)、光通信(光纖)、太陽(yáng)電池以及照明裝置等各種光學(xué)設(shè)備。比如，射基才反或?qū)Ч獠欧?。而且，還可以適用于具有與入射光的入射角相7寸應(yīng)的透過率的濾光器以及采用該濾光器的背光裝置。第一實(shí)施方式所涉及的光學(xué)元件1具有在基體2的表面上以與可一見光的波長(zhǎng)同等程度的間隔(pitch)配置有多個(gè)作為凸部的構(gòu)造體3的結(jié)構(gòu)。該光學(xué)元件l具有防止沿圖2中的Z方向透過基體2的光在構(gòu)造體3與其周圍的空氣之間的界面上發(fā)生反射的功能。這里，所謂"小于等于可一見光的波長(zhǎng)"表示約小于等于400nm的波長(zhǎng)。基體2為具有透光性的透明基體，比如以聚石友酸酯(PC)或聚對(duì)苯二甲酸乙酯(PET)等透明合成樹脂、玻璃等為主要成分?；w2的形狀可以是薄膜狀、片(sheet)狀、板狀、塊狀，但不限于這些形狀。優(yōu)選才艮據(jù)顯示器、光電裝置、光通信、太陽(yáng)電池以及照明裝置等需要規(guī)定的防反射功能的各種光學(xué)設(shè)備的主體部分的形狀等來選擇基體2的形狀。此外，優(yōu)選根據(jù)這些光學(xué)設(shè)備上所安裝的片狀或薄膜狀的防反射功能部件的形狀等來選擇確定基體2的形狀。光學(xué)元件1的各構(gòu)造體3具有在基體2的表面上形成多列軌跡Tl、T2、T3…(以下總稱為"4九跡T")的配置形態(tài)。在本發(fā)明中，軌跡是指構(gòu)造體3成列連成直線狀的部分。另外，列方向是指在基體2的成形面上與4九跡的延4申方向(X方向)正交的方向。對(duì)于各構(gòu)造體3，在鄰接的兩個(gè)軌跡T之間，在排列在一列軌跡(例如Tl)上的各構(gòu)造體3的中間位置(錯(cuò)開半間隔的位置)上，配置有另一列軌跡(例如T2)的構(gòu)造體3。其結(jié)果是，如圖1B所示，以如下方式配置各構(gòu)造體3:在鄰4妾的三列4九跡(TlT3)之間，形成構(gòu)造體3的中心位于al~a7各點(diǎn)的六邊形格子(lattice)圖像或準(zhǔn)六邊形格子圖案。在本發(fā)明中，所謂的準(zhǔn)六邊形格子圖案不同于正六邊形格子圖案，是指沿軌跡的延伸方向(X方向)被拉伸歪曲了的六邊形格子圖案。如圖1B所示，通過以形成上述的準(zhǔn)六邊形格子圖案的方式配置各構(gòu)造體3，相同軌跡(例如Tl)內(nèi)的各構(gòu)造體3的配置間隔Pl(侈'H口al~a2之間的3巨離)比^N妄的兩個(gè)4九跡(仿'H口Tl及T2)之間的構(gòu)造體3的配置間隔長(zhǎng)。即比P2長(zhǎng)，其中，P2是相對(duì)于軌跡延伸方向約士60。方向上的構(gòu)造體3的配置間隔(例如al~a7、a2~a7之間的距離)。通過如此配置構(gòu)造體3,從而可以進(jìn)一步提高構(gòu)造體3的填充密度。如圖2和圖4所示，構(gòu)造體3優(yōu)選為其底面為具有長(zhǎng)軸和短軸的橢圓形、長(zhǎng)圓形或卵形的錐體結(jié)構(gòu)且頂部為曲面的橢圓錐形狀?；蛘呷鐖D5所示，優(yōu)選其底面為具有長(zhǎng)軸和短軸的橢圓形、長(zhǎng)圓形或卵形的4,體結(jié)構(gòu)且頂部平坦的橢圓4,臺(tái)形習(xí)犬。這是因?yàn)槿绻沁@樣的形狀，則可以提高列方向的填充率。此外，若基于提高反射特性以及透過特性的觀點(diǎn)，則優(yōu)選構(gòu)造體3為中央部的傾斜比底部以及頂部更急劇的橢圓錐形狀(參照?qǐng)D2),或者頂部平坦的橢圓錐臺(tái)形狀(參照?qǐng)D5)。如果構(gòu)造體3具有橢圓錐形狀或橢圓錐臺(tái)形狀，則其底面的長(zhǎng)軸方向優(yōu)選平行于軌跡延伸方向。圖1中，各構(gòu)造體3分別具有相同的形狀，^旦構(gòu)造體3的形狀并不限于此，可以在基體表面形成兩種形一犬以上的構(gòu)造體3。此外，構(gòu)造體3也可以與基體2—體形成。此外，如圖2、圖4至圖6所示，優(yōu)選在構(gòu)造體3周圍的一部分或整體上設(shè)置突出部4。這是因?yàn)檫@樣的話，即使構(gòu)造體3的填充率很低的情況下，也可以較低地抑制反射率。具體來講，比如如圖2、圖4以及圖5所示，突出部4設(shè)置在相鄰的構(gòu)造體3之間。另外，如圖6所示，細(xì)長(zhǎng)的突出部4可以設(shè)置在構(gòu)造體3的整個(gè)周圍。作為突出部4的形狀，可以列舉剖面三角形狀以及剖面四邊形狀等，但并不限于這些形狀，可以通過考慮成形的容易度來選擇突出部4的形狀。此外，也可以在構(gòu)造體3周圍的一部分或整個(gè)表面上形成粗糙的形狀。具體地，比如可以在相鄰的構(gòu)造體3之間的表面上形成相4造形狀。構(gòu)造體3并不僅限于圖示的凸部形狀，也可以由形成在基體2表面的凹部構(gòu)成。構(gòu)造體3的高度并沒有特別的限定，例如可以在420nm禾呈度(左右)，具體為415nm~421nm。jt匕夕卜，^口果沖勾造體3為凹部形狀，則為構(gòu)造體3的深度。軌跡延伸方向上的構(gòu)造體3的高度H1優(yōu)選小于列方向上的構(gòu)造體3的高度H2。即，構(gòu)造體3的高度Hl和H2優(yōu)選滿足Hl<H2的關(guān)系。這是因?yàn)槿绻詽M足H&H2的關(guān)系的方式來排列構(gòu)造體3,則需要拉長(zhǎng)軌跡延伸方向上的配置間隔Pl，從而軌跡延伸方向上的構(gòu)造體3的填充率降低。一旦填充率如此降低，將導(dǎo)致反射特性降低。另夕卜，并不僅限于構(gòu)造體3的縱橫尺寸比為全部相同的情況，也可以構(gòu)成為各構(gòu)造體3具有一定的高度分布(例如縱4黃尺寸比為0.83~1.46左右的范圍)。通過設(shè)置具有高度分布的構(gòu)造體3，從而可以降低反射特性的波長(zhǎng)依存性。因此，可以實(shí)現(xiàn)具有卓越的防反射特性的光學(xué)元件1。這里，高度分布是指具有兩種以上的高度(深度)的構(gòu)造體3被設(shè)置在基體2表面。即，意味著具有作為基準(zhǔn)的高度的構(gòu)造體3、以及具有和該構(gòu)造體3不同高度的構(gòu)造體3^皮i殳置在基體2表面。具有和基準(zhǔn)不同的高度的構(gòu)造體3例如被周期性地或非周期性(隨機(jī))地設(shè)置在基體2的表面。作為其周期性的方向，例如可以列舉有專九跡延伸方向、列方向等。優(yōu)選在構(gòu)造體3的周邊部i殳置4君狀部(skirtportion)3a。這是因?yàn)榭梢栽诠鈱W(xué)元件的制作步驟中，易于從金屬模等剝離光學(xué)元件。此外，若基于上述剝離特性的觀點(diǎn)，則優(yōu)選裙?fàn)畈?a為高度平穩(wěn)降低的曲面狀。此外，裙?fàn)畈?a可以只設(shè)置在構(gòu)造體3的周邊部的一部分上，但是，若基于上述提高剝離特性的觀點(diǎn)，則優(yōu)選裙?fàn)畈?ai殳置在構(gòu)造體3的周邊部的整體上。此外，當(dāng)構(gòu)造體3為凹部時(shí)，一君狀部3a為祐沒置在作為構(gòu)造體3的凹部的開口周邊上的曲面。構(gòu)造體3的高度(深度)并沒有特別的限定，可以根據(jù)透過的光的波長(zhǎng)區(qū)域而進(jìn)4亍適當(dāng)?shù)豬殳定，例如可以i殳定在236nm450nm程度的范圍。優(yōu)選構(gòu)造體3的縱橫尺寸比(高度/配置間隔)被設(shè)定為0.81~1.46的范圍，更4尤選為0.94~1.28的范圍。這是因?yàn)槿绻∮?.81,則會(huì)有反射特性以及透過特性降低的傾向，如果大于1.46,則會(huì)有以下傾向在光學(xué)元件的制作時(shí)，剝離特性降低，從而無法漂亮地獲耳又復(fù)制品的復(fù)制。此外，若基于進(jìn)一步提高反射特性的觀點(diǎn)，則優(yōu)選構(gòu)造體3的縱橫尺寸比被設(shè)定為0.94-1.46的范圍。而且，若基于進(jìn)一步提高透過特性的觀點(diǎn)，則優(yōu)選構(gòu)造體3的縱橫尺寸比被設(shè)定為0.81~1.28的范圍。此外，在本發(fā)明中，通過以下的式(1)來定義縱4黃尺寸比。》人才黃尺寸比=H/P...(1)其中，H:構(gòu)造體的高度，P:平均配置間隔(平均周期)這里，通過以下的式(2)定義平均配置間隔P。平均配置間隔P-(Pl+P2+P2)/3...(2)其中，Pl:軌跡延伸方向的配置間隔(軌跡延伸方向周期)、P2:相乂于于4九跡延伸方向，±e方向(其中，0=60°-5，這里，5優(yōu)選為0°<5￡11。，更優(yōu)選3。^S^6。)的配置間隔(e方向周期)。此外，將構(gòu)造體3的高度H設(shè)定為構(gòu)造體3的列方向的高度。構(gòu)造體3的4九跡延伸方向(X方向)的高度小于列方向(Y方向)的高度，此外，由于構(gòu)造體3的軌跡延伸方向以外的部分的高度與列方向的高度大致相同，因此，由列方向的高度來^表亞波長(zhǎng)構(gòu)造體的深度。但是，當(dāng)構(gòu)造體3為凹部時(shí)，上述式(1)中的構(gòu)造體的高度H則為構(gòu)造體的深度H。當(dāng)將相同軌跡內(nèi)的構(gòu)造體3的配置間隔設(shè)定為Pl,并將鄰接的兩個(gè)4九跡間的構(gòu)造體3的配置間隔i殳定為P2時(shí)，優(yōu)選比率P1/P2滿足1.0CKP1/P2《1.1或1.00<Pl/P2《1.1的關(guān)系。通過"i殳定為這樣的數(shù)值范圍，從而可以提高具有橢圓錐形狀或橢圓錐臺(tái)形狀的構(gòu)造體3的填充率，因此可以提高防反射特性?；w表面的構(gòu)造體3的填充率以100%為上限，且為大于等于65%,伊乙選為大于等于73%,更4尤選為大于等于86%的范圍內(nèi)。通過將填充率i殳定在這樣的范圍內(nèi)，乂人而可以才是高防反射特性。為了提高填充率，優(yōu)選接合鄰接的構(gòu)造體3的下部彼此、或調(diào)整構(gòu)造體底面的橢圓率等使構(gòu)造體3產(chǎn)生歪斜。這里，構(gòu)造體3的填充率(平均填充率)為如下求出的值。首先，用掃描型電子顯樣i4竟(SEM:ScanningElectronMicroscope)以頂一見圖(TopView)拍才聶光學(xué)元件1的表面。然后，,人所拍4聶的SEM照片中隨才幾選出單4立格子Uc，測(cè)定該單4立沖各子Uc的配置間隔Pl和軌跡間隔Tp(參見圖1)。然后，通過圖l象處理對(duì)位于該單位格子Uc的中央的構(gòu)造體3的底面面積S進(jìn)行測(cè)定。隨后，用所測(cè)定的配置間隔P1、軌跡間隔Tp以及底面面積S根據(jù)下面的式(3)求出填充率?！氛娉渎?(S(hex.)/S(unit))xlOO...(3)單位才各子面積S(unit)=P1x2Tp存在于單位格子中的構(gòu)造體的底面面積s(hex.)=2S對(duì)從所拍4聶的SEM照片中隨才幾選出的十處單位才各子進(jìn)4亍上述的填充率計(jì)算處理。然后，簡(jiǎn)單地平均(算術(shù)平均)測(cè)定值，求出填充率的平均率，并將其作為基體表面的構(gòu)造體3的填充率。對(duì)于構(gòu)造體3重疊時(shí)或構(gòu)造體3之間存在突出部4等副構(gòu)造體時(shí)的填充率，可以通過將構(gòu)造體3的高度中的5%的高度所對(duì)應(yīng)的部分作為閾值來判定面積比的方法來求得填充率。圖7是構(gòu)造體3的邊界不明確時(shí)的填充率計(jì)算方法的說明圖。當(dāng)構(gòu)造體3的邊界不明確時(shí)，如圖7所示，通過剖面SEM觀察將相當(dāng)于構(gòu)造體3的高度h的5%(=(d/h)xl00)的部分作為閾值，并用其高度d換算構(gòu)造體3的直徑，乂人而求出填充率。如果構(gòu)造體3的底面為橢圓，則用長(zhǎng)4由和^豆軸進(jìn)^f亍相同的處理。圖8是改變構(gòu)造體3的底面的橢圓率時(shí)的底面形狀的示意圖。圖8A至圖8D所示的橢圓的橢圓率分別為100%、110%、120%詳口141%。通過如此改變橢圓率，乂人而可以改變基體表面的構(gòu)造體3的填充率。當(dāng)構(gòu)造體3形成準(zhǔn)六邊形格子圖案時(shí)，優(yōu)選構(gòu)造體底面的橢圓率e在100%<e<150%以下。這是因?yàn)橥ㄟ^將橢圓率ei殳定在這一范圍內(nèi)，從而可以提高構(gòu)造體3的填充率，得到卓越的防反射特性。這里，當(dāng)將構(gòu)造體底面的4九跡方向(X方向)上的直徑i殳定為a、并將與其垂直的列方向(Y方向)上的徑長(zhǎng)i殳定為b時(shí)，橢圓率e由(a/b)xl00來定義。另外，構(gòu)造體3的直徑a、b為通過如下方法求出的^f直。用掃描型電子顯獨(dú)。鏡(SEM:ScanningElectronMicroscope)以頂-f見圖(TopView)拍才聶光學(xué)元件1的表面，乂人所拍才聶的SEM照片中隨機(jī)才是取10個(gè)構(gòu)造體3。然后，測(cè)定所提取的構(gòu)造體3各自的底面直徑a、b。接著，分別簡(jiǎn)單地平均(算術(shù)平均)測(cè)定值a、b，求出直徑a、b的平均率，并將其作為構(gòu)造體3的直徑a、b。圖9A示出了具有圓錐形狀或圓錐臺(tái)形狀的構(gòu)造體3的一個(gè)配置例。圖9B示出了具有橢圓錐形狀或橢圓錐臺(tái)形狀的構(gòu)造體3的一個(gè)配置例。如圖9A和圖9B所示，伊C選"I妄合構(gòu)造體3以4吏其下部重疊。具體地，優(yōu)選將構(gòu)造體3的下部與處于鄰接關(guān)系的構(gòu)造體3的一部分或整個(gè)下部4妄合。更具體地，優(yōu)選在4九跡方向、e方向或這兩個(gè)方向上將構(gòu)造體3的下部相互接合。更具體地，優(yōu)選在軌跡方向、0方向或這兩個(gè)方向上將構(gòu)造體3的下部相互4妾合。圖9A和圖9B中示出了接合處于鄰接關(guān)系的構(gòu)造體3的整個(gè)下部的例子。通過像這樣接合構(gòu)造體3，從而可以提高構(gòu)造體3的填充率。優(yōu)選根據(jù)考慮了折射率的光路長(zhǎng)度在使用環(huán)境下的光的波段最大值的1/4以下的部分將構(gòu)造體相互接合。這樣，可以獲得卓越的防反射特性。如圖9B所示，當(dāng)具有橢圓錐形狀或橢圓錐臺(tái)形狀的構(gòu)造體3的下部相互接合的情況下，比如接合部的高度按照接合部a、b、c的順序遞減。直徑2r與配置間隔P2的比率((2r/Pl)xl00)大于等于85%，優(yōu)選大于等于90%,更優(yōu)選大于等于95%。這是因?yàn)橥ㄟ^"i殳定成這樣的范圍，從而可以提高構(gòu)造體3的填充率，提高防反射特性。如果比率((2r/Pl)xl00)增大，乂人而構(gòu)造體3的重疊過大，則將出現(xiàn)防反射特性降低的傾向。因此，優(yōu)選設(shè)定比率((2r/Pl)xl00)的上限值，以便根據(jù)考慮了折射率的光路長(zhǎng)度在使用環(huán)境下的光的波段的最大值的1/4以下的部分將構(gòu)造體相互接合。這里，配置間隔Pl是構(gòu)造體3在軌跡方向上的配置間隔，直徑2r是構(gòu)造體底面在軌跡方向上的直徑。另外，如果構(gòu)造體底面為圓形，直徑2r為直徑，如果構(gòu)造體底面為橢圓形，直徑2r則為長(zhǎng)徑。(輥狀原盤(rollmaster)的結(jié)構(gòu))圖10示出了用于制作具有上述結(jié)構(gòu)的光學(xué)元件的輥狀原盤的一個(gè)結(jié)構(gòu)例。如圖10所示，輥狀原盤11具有在原盤12的表面以與可—見光的波長(zhǎng)同等程度的間隔設(shè)置有多個(gè)作為凹部的構(gòu)造體13的結(jié)構(gòu)。原盤12具有圓柱形或圓筒形的形狀。原盤12的材料比如可以采用玻璃，但并不^f又限于這種材料。采用后述的輥狀原盤曝光裝置使二維圖案(pattern)空間地連接，對(duì)應(yīng)每一個(gè)軌跡使極性反轉(zhuǎn)格式器(formatter)信號(hào)和記錄裝置的旋轉(zhuǎn)控制器(controller)同步地產(chǎn)生信號(hào)，才艮據(jù)CAV以適當(dāng)?shù)妮斔烷g隔來形成圖案。這樣，可以記錄六邊形格子圖案或準(zhǔn)六邊形才各子圖案。通過適當(dāng)設(shè)定極性反轉(zhuǎn)才各式器信號(hào)的頻率以及輥的旋轉(zhuǎn)lt,乂人而在希望的記錄區(qū)域上形成空間頻率一樣的4各子圖案。[光學(xué)元件的制造方法]下面，參照?qǐng)D11至圖13對(duì)如上構(gòu)成的光學(xué)元4牛1的制造方法進(jìn)行說明。成抗蝕層的抗蝕成膜步驟、用輥狀原盤曝光裝置在抗蝕膜上形成蛾眼圖案的潛像的曝光步驟、使形成有潛像的抗蝕層顯影的顯影步驟、釆用等離子蝕刻法制作輥狀原盤的蝕刻步驟以及用紫外線硬化樹脂制作復(fù)制基板的復(fù)制步驟。(曝光裝置的結(jié)構(gòu))首先，參照?qǐng)D11對(duì)用于蛾眼圖案的曝光步驟的輥狀原盤曝光裝置的結(jié)構(gòu)進(jìn)行描述。該輥狀原盤曝光裝置是以光盤記錄裝置為基石出而片勾成的。OpticalModulator)22。透過光電元4牛22的激光15被反射器23反射，并被導(dǎo)向調(diào)制光學(xué)系統(tǒng)25。反射器23由1"扁4展分光器(polarizedbeamsplitter)才勾成，其具有反射一部分的偏光成分且透過其它偏光成分的功能。透過反射器23的偏光成分被光電二極管24接收，根據(jù)該接收信號(hào)來控制光電元件22，并進(jìn)行激光15的相位調(diào)制。在調(diào)制光學(xué)系統(tǒng)25中，由聚光透4竟26將激光15聚光于包括-石英(Si02)等的聲光元4牛(AOM:acousto-opticmodulator)27。激光15被聲光元件27強(qiáng)度調(diào)制并發(fā)散后，被透鏡28變?yōu)槠叫泄馐?。從調(diào)制光學(xué)系統(tǒng)25射出的激光15被反射器31反射，從而水平且平4亍地一皮導(dǎo)向移動(dòng)光學(xué)臺(tái)(table)32。移動(dòng)光學(xué)臺(tái)32包括光束擴(kuò)展器33以及對(duì)物透4竟(objectivelens)34。導(dǎo)向移動(dòng)光學(xué)臺(tái)32的激光15凈皮光束擴(kuò)展器33整形為希望的光束形狀后，通過對(duì)物透4竟34,向原盤12上的抗蝕層進(jìn)4亍照射。原盤12被放置在與主軸電動(dòng)機(jī)35連接的轉(zhuǎn)臺(tái)(turntable)36上。此外，使原盤12旋轉(zhuǎn)，同時(shí)，使激光15沿原盤12的高度方向移動(dòng)，并向抗蝕層間歇性地照射激光15，從而進(jìn)4于抗蝕層的曝光步驟。形成的潛4象為在圓周方向具有長(zhǎng)軸的大致橢圓形。通過移動(dòng)光學(xué)臺(tái)32向箭頭R方向的移動(dòng)來移動(dòng);敫光15。曝光裝置包括用于對(duì)抗蝕層形成潛^像的控制才幾構(gòu)37,其中，該潛像對(duì)應(yīng)于如圖1B所示的六邊形4各子或準(zhǔn)六邊形才各子的二維圖案?？刂茩C(jī)構(gòu)37包括格式器(formatter)29和驅(qū)動(dòng)器30。格式器29包括極性反轉(zhuǎn)部，該極性反轉(zhuǎn)部用于控制對(duì)抗蝕層照射激光15的定時(shí)(timing)。驅(qū)動(dòng)器30用于接收極性反轉(zhuǎn)部的輸出并控制聲光元件27。在該輥狀原盤曝光裝置中，對(duì)應(yīng)每一個(gè)軌跡使極性反轉(zhuǎn)格式器信號(hào)和記錄裝置的旋轉(zhuǎn)控制器同步地產(chǎn)生信號(hào)，以使二維圖案空間地連接，并通過聲光元件27進(jìn)行強(qiáng)度調(diào)制。通過以角速度(CAV)恒定的方式以適當(dāng)?shù)男D(zhuǎn)數(shù)和適當(dāng)?shù)恼{(diào)制頻率以及適當(dāng)?shù)妮斔烷g隔來形成圖案，可以記錄六邊形格子圖案或準(zhǔn)六邊形格子圖案。例如，如圖IOB所示，為了將圓周方向的周期設(shè)為315nm，將相對(duì)于圓周方向約60。方向(約-60°方向)的周期i殳為300nm，只要將豐#送間隔設(shè)為251nm即可(畢達(dá)哥拉斯定理)。極性反轉(zhuǎn)格式器信號(hào)的頻率才艮據(jù)輥的旋轉(zhuǎn)凄t(1800rpm、900rpm、450rpm)而變化(參見表1)。在希望的^己錄區(qū)i或上空間頻率(圓周315nm周期、圓周方向約60度方向(約-60。方向)300nm周期)一至丈的準(zhǔn)六邊形才各子圖案通過下述方法來獲得通過移動(dòng)光學(xué)臺(tái)32上的光束擴(kuò)展器(BEX)33將遠(yuǎn)紫外線激光放大為5倍的光徑，然后通過開口數(shù)(NA)0.9的對(duì)物透鏡34將其照射于原盤12上的抗蝕層，形成微細(xì)的潛1象。(表1)<table>tableseeoriginaldocumentpage31</column></row><table>下面，依次對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的光學(xué)元件的制造方法的各個(gè)步z腺進(jìn)^s兌明。(抗蝕劑成膜步驟)首先，如圖12A所示，準(zhǔn)備一個(gè)圓;f主形的原盤12。該原盤12比如為^皮璃原盤。然后，如圖12B所示，在原盤12的表面形成4元等的過渡金屬的金屬氧化物(曝光步驟)然后，如圖12C所示，用上述輥狀原盤曝光裝置使原盤12旋轉(zhuǎn)，同時(shí)將激光(曝光光束)15照射于抗蝕層14。此時(shí)，通過使激光15向原盤12的高度方向(與圓柱形或圓筒形的原盤12的中心軸平行的方向)移動(dòng)，同時(shí)間歇性地照射激光，從而使整個(gè)抗蝕層14曝光。由此，在抗蝕層14的整個(gè)面上以與可一見光波長(zhǎng)同等禾呈度的間隔形成與激光15的軌跡相對(duì)應(yīng)的潛像16。潛像16比如配置成在原盤表面構(gòu)成多列軌跡，并形成六邊形才各子圖案或準(zhǔn)六邊形才各子圖案。潛^象16比如是在4九跡延伸方向具有長(zhǎng)軸方向的橢圓形狀。(顯影步驟)然后，旋轉(zhuǎn)原盤12，同時(shí)將顯影液滴在抗蝕層14上，如圖13A所示，對(duì)抗蝕層14進(jìn)行顯影處理。如圖所示，當(dāng)抗蝕層14由正型(positive)抗蝕劑形成時(shí)，經(jīng)過激光15曝光的曝光部與非曝光部相比較，相對(duì)于顯影液的溶解速度增加，因此，與潛像(曝光部)16相對(duì)應(yīng)的圖案凈皮形成在4元蝕層14上。(蝕刻步驟)接下來，將形成在原盤12上的抗蝕層14的圖案(抗蝕圖案)作為掩模(mask)，對(duì)原盤12的表面進(jìn)行蝕刻處理。從而，如圖13B所示，可以得到在軌跡延伸方向具有長(zhǎng)軸方向的橢圓錐形狀或橢圓錐臺(tái)形狀的凹部、即構(gòu)造體13。蝕刻方法比如通過干式蝕刻進(jìn)行。這時(shí)，通過交互進(jìn)行蝕刻處理和拋光(ashing)處理，從而可以形成比如錐體狀的構(gòu)造體13的圖案。同時(shí)可以制作抗蝕層14的三倍以上深度(選擇比為3以上)的玻璃原盤(master),并可實(shí)現(xiàn)構(gòu)造體3的高縱4黃尺寸比化。根據(jù)上述處理，可以得到具有深度比如為200nm左右至350nm左右的凹形的六邊形格子圖案或準(zhǔn)六邊形格子圖案的輥狀原盤11。(復(fù)制步驟)接著，比如將輥狀原盤11緊貼于涂敷有轉(zhuǎn)印材料的片(sheet)等基體2，并在照射紫外線Y吏其石更化的同時(shí)進(jìn)行剝離。由此，如圖13C所示，可以制作想要的蛾眼紫外線石更化復(fù)制片等光學(xué)元件1。轉(zhuǎn)印材料比如由紫外線硬化材料和引發(fā)劑(initiator)構(gòu)成，根據(jù)需要，可以包括填充劑或功能性添加劑等。紫外線硬化材料比如由單官能團(tuán)單體、雙官能團(tuán)單體、多官能團(tuán)單體等構(gòu)成，具體為混合有單個(gè)或多個(gè)下述材料的物質(zhì)。作為單官能團(tuán)單體，可以列舉例如羧酸類(丙烯酸)、羥基類(丙烯酸-2-羥基乙酯、丙烯酸-2-羥基丙酯、丙烯酸-4-羥基丁酯)、烷基類、脂環(huán)類(丙烯酸異丁酯、丙烯酸^又丁酯、丙烯酸異辛酯、丙烯酸十二酯、丙烯酸十八酯、丙烯酸異)水片酯(isobonylacrylate)、丙烯酸環(huán)己基酯)、其它功能性單體(2-曱氧基乙基丙烯酸酯、曱氧基乙二西f丙歸酉交酉旨(methoxyethyleneglycolaerylate)、2-乙氧基乙基丙烯酸酯、丙烯酸四氫4康基酯、丙烯酸千酯、乙卡必醇丙烯酸酯、苯氧基乙基丙烯酸酯、丙烯酸二曱胺基乙酯、二曱胺基丙基丙烯酰胺、N,N-二甲基丙烯酰胺、丙埽酰嗎啉、n-異丙基丙烯酰胺、N，N-二乙基丙烯酰胺、N-乙烯基吡咯烷酮、2-(全氟辛基)乙基丙烯酸酯、3-全氟己基-2-羥基丙基丙烯酸酯、3-全氟辛基-2-羥基丙基丙烯酸酯、2-全氟癸基丙烯酸乙酯、2-(全氟-3-曱基丁基)乙基丙烯酸酯、2，4，6-三溴苯酚丙晞酸酯、2,4,6-三溴苯盼曱基丙烯酸酯、2-(2,4，6-三溴苯氧基)乙基丙烯酸酯)、和丙烯酸-2-乙基己酯等。作為雙官能團(tuán)單體，可以列舉例如二縮三丙二醇二丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二烯丙基醚、聚氨酯丙烯酸酯等。作為多官能團(tuán)單體，可以列舉例如三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、雙季戊四醇五丙歸酸酯、乂又季戊四醇六丙烯酸酯以及雙三羥曱基丙烷四丙烯酸酯等。作為引發(fā)劑，可以列舉例如2，2-二曱氧基-1,2-二苯基乙-1-酮、1—羥基環(huán)己基苯基甲酮、2-羥基-2-甲基-l-苯基丙-l-酮等。作為填充劑比如可以采用無才幾樣i粒及有才幾纟效粒中的任一種。作為無機(jī)孩i?？梢粤信e例如，Si02、Ti02、Zr02、Sn02、A1203等金屬氧化物微粒。作為功能性添加劑，可以列舉例如勻染劑、表面調(diào)整劑、消泡劑等。作為基體2的材料，可以列舉例如，甲基丙烯酸曱酯(共)聚合物、聚碳酸酯、苯乙烯(共)聚合物、曱基丙烯酸甲酯-苯乙烯共聚物、二醋酸纖維素、三醋酸纖維素、醋酸丁酸纖維素、聚酯、聚酰胺、聚酰亞胺、聚醚石風(fēng)、聚石風(fēng)、聚丙烯、聚曱基戊烯、聚氯乙烯、聚乙烯醇縮乙醛、聚醚酮、聚氨酯、和玻璃等?；w2的成形方法沒有特定限定，可以是射出成形體，也可以是擠出成形體，還可以是鑄造成形體。根據(jù)需要，也可以對(duì)基體表面進(jìn)ft電暈(corona)處理等表面處理。<2.第二實(shí)施方式〉圖14A是示出本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的光學(xué)元件的一個(gè)結(jié)構(gòu)例的概要俯視圖。圖14B是放大示出圖14A所示的光學(xué)元件的一部分的俯一見圖。圖14C是圖14B中的專九跡T1、T3…的剖面圖。圖14D是圖14B中的4九跡T2、T4…的剖面圖。圖14E是示出用于形成與圖14B中的軌跡T1、T3…相對(duì)應(yīng)的潛像的激光的調(diào)制波形的略線圖。圖14F是示出用于形成與圖14B中的專九跡T2、T4…相對(duì)應(yīng)的潛像的激光的調(diào)制波形的略線圖。第二實(shí)施方式所涉及的光學(xué)元4牛1與第一實(shí)施方式的光學(xué)元件的區(qū)別在于各構(gòu)造體3在鄰接的三列軌跡之間構(gòu)成四邊形格子圖案或準(zhǔn)四邊形格子圖案。在本發(fā)明中，所謂的準(zhǔn)四邊形格子圖案不同于正四邊形格子圖案，其是指沿軌跡的延伸方向(X方向)被拉伸歪曲了的四邊形才各子圖案。構(gòu)造體3的高度或深度并沒有特別的限定，例如可以在159nm312nm程度(左右)。相對(duì)于軌跡(約)45。方向上的間隔P2例力口為275nm~297nm左右。構(gòu)造體3的》從才黃尺寸比(高度/西己置間隔)例如為0.54~1.13左右。另夕卜，并不僅限于各構(gòu)造體3的縱橫尺寸比為全部相同的情況，也可以構(gòu)成為各構(gòu)造體3具有一定的高度分布。優(yōu)選相同軌跡內(nèi)的構(gòu)造體3的配置間隔Pl大于鄰4妄的兩個(gè)專九跡間的構(gòu)造體3的配置間隔P2。此夕卜，當(dāng)將相同軌跡內(nèi)的構(gòu)造體3的配置間隔設(shè)定為Pl,并將鄰接的兩個(gè)軌跡間的構(gòu)造體3的配置間隔i殳定為P2時(shí)，優(yōu)選Pl/P2滿足1.4<P1/P2《1.5的關(guān)系。通過i殳定為這樣的數(shù)值范圍，從而可以提高具有橢圓錐形狀或橢圓錐臺(tái)形狀的構(gòu)造體3的填充率，因此可以提高防反射特性。另外，優(yōu)選相對(duì)于軌跡45。方向或約45。方向上的構(gòu)造體3的高度或深度小于軌跡延伸方向上的構(gòu)造體3的高度或深度。優(yōu)選相對(duì)于專九跡延伸方向傾殺+的構(gòu)造體3的排列方向(e方向)上的高度H2小于軌跡延伸方向上的構(gòu)造體3的高度H1。即，優(yōu)選滿足構(gòu)造體3的高度Hl和H2滿足Hl〉H2的關(guān)系。圖41是改變構(gòu)造體3的底面的橢圓率時(shí)的底面形狀的示意圖。橢圓率3,、32、33分別為100%、141%和163.3%。通過如此改變橢圓率，從而可以改變基體表面的構(gòu)造體3的填充率。當(dāng)構(gòu)造體3形成四邊形才各子或準(zhǔn)四邊形才各子圖案時(shí)，伊C選構(gòu)造體底面的橢圓率e為150%《e<180%。這是因?yàn)橥ㄟ^將橢圓率e設(shè)定在這一范圍內(nèi)，從而可以提高構(gòu)造體3的填充率，得到卓越的防反射特性。基體表面的構(gòu)造體3的填充率以100%為上限，且為大于等于65%,4尤選為大于等于73%，更伊乙選為大于等于86%的范圍內(nèi)。通過將填充率i殳定在這樣的范圍內(nèi)，乂人而可以4是高防反射特性。這里，構(gòu)造體3的填充率(平均填充率)為如下求出的值。首先，用掃4笛型電子顯4效4竟(SEM:ScanningElectronMicroscope)以頂一見圖(TopView)拍才聶光學(xué)元件l的表面。然后，A人所拍才聶的SEM照片中隨才幾選出單4立才各子Uc，測(cè)定該單位j各子Uc的配置間隔PI和軌跡間隔Tp(參見圖24B)。然后，通過圖像處理只于該單^立才各子Uc中所包含的四個(gè)構(gòu)造體3中的4壬意一個(gè)構(gòu)造體3的底面面積S進(jìn)行測(cè)定。隨后，用所測(cè)定的配置間隔P1、軌跡間隔Tp以及底面面積S根據(jù)下面的式(2)求出填充率?！氛娉渎?(S(tetra)/S(unit))x100…(2)單^f立才各子面積S(unit)=2x((PlxTp)x(l/2))=PlxTp存在于單位格子中的構(gòu)造體的底面面積S(tetra)=S對(duì)從所拍攝的SEM照片中隨機(jī)選出的10處單位格子進(jìn)行上述的填充率計(jì)算處理。然后，簡(jiǎn)單地平均(算術(shù)平均)測(cè)定值，求出填充率的平均率，并將其作為基體表面的構(gòu)造體3的填充率。直徑2r與配置間隔P2的比率((2r/Pl)xl00)大于等于127%,優(yōu)選大于等于137%,更優(yōu)選大于等于146%。這是因?yàn)橥ㄟ^設(shè)定成這樣的范圍，從而可以提高構(gòu)造體3的填充率，提高防反射特性。這里，配置間隔Pl是構(gòu)造體3在軌跡方向上的配置間隔，直徑2r是構(gòu)造體底面在專九跡方向上的直徑。另外，如果構(gòu)造體底面為圓形，則直徑2r為直徑，如果構(gòu)造體底面為橢圓形，則直徑2r為長(zhǎng)徑。一個(gè)結(jié)構(gòu)例。該輥狀原盤與第一實(shí)施方式中的輥狀原盤的區(qū)別在于在其表面上，凹狀的構(gòu)造體13構(gòu)成了四邊形格子圖案或準(zhǔn)四邊形格子圖案。采用輥狀原盤曝光裝置使二維圖案空間地連接，對(duì)應(yīng)每一個(gè)軌跡使極性反轉(zhuǎn)格式器信號(hào)和記錄裝置的旋轉(zhuǎn)控制器同步地產(chǎn)生信號(hào)，才艮據(jù)CAV以適當(dāng)?shù)妮斔烷g隔來形成圖案。這樣，可以記錄四邊形格子圖案或準(zhǔn)四邊形格子圖案。優(yōu)選通過適當(dāng)設(shè)定極性反轉(zhuǎn)格式器信號(hào)的頻率以及輥的^走轉(zhuǎn)fc乂人而利用激光的照射在原盤12上的抗蝕劑上形成在希望的記錄區(qū)域上空間頻率一致的格子圖案。<3.第三實(shí)施方式>圖16A是示出本發(fā)明的第三實(shí)施方式所涉及的光學(xué)元件的一個(gè)結(jié)構(gòu)例的概要俯視圖。圖16B是放大示出圖16A所示的光學(xué)元件的一部分的俯一見圖。第三實(shí)施方式所涉及的光學(xué)元件1與第一實(shí)施方式中的光學(xué)元件的區(qū)別在于構(gòu)造體3排列在蛇形的軌跡(下面稱之為擺動(dòng)(wobble)軌跡)上。優(yōu)選基材2上的各軌跡的擺動(dòng)同步。即，優(yōu)選擺動(dòng)是同步擺動(dòng)。通過{象這樣4吏擺動(dòng)同步，從而可以保持六邊形格子或準(zhǔn)六邊形格子的單位格子形狀，保持很高的填充率。作為擺動(dòng)軌跡的波形，可以列舉如正弦波、三角波等。擺動(dòng)軌跡的波形并不^f又限于周期性的波形，也可以是非周期性的波形。4罷動(dòng)4九跡的沖罷動(dòng)才展幅例如一皮選4奪在士10iam左右。在該第三實(shí)施方式中，上述以外的內(nèi)容是與第一實(shí)施方式相同的。才艮據(jù)第三實(shí)施方式，由于將構(gòu)造體3排列在擺動(dòng)4九跡上，因此可以抑制外7見上的不均。<4.第四實(shí)施方式>圖17A是示出本發(fā)明的第四實(shí)施方式所涉及的光學(xué)元件的一個(gè)結(jié)構(gòu)例的概要俯視圖。圖17B是放大示出圖17A所示的光學(xué)元件的一部分的俯視圖。圖17C是圖17B中的軌跡T1、T3…的剖面圖。圖17D是圖17B中的軌跡T2、T4…的剖面圖。圖18是放大示出圖17所示的光學(xué)元^f牛的一部分的立體圖。第四實(shí)施方式所涉及的光學(xué)元件1與第一實(shí)施方式的光學(xué)元件的區(qū)別在于多個(gè)作為凹部的構(gòu)造體3排列在基體表面上。該構(gòu)造體3的形狀是將第一實(shí)施方式中的構(gòu)造體3的凸形反轉(zhuǎn)所成的凹形。另外，當(dāng)如上所述地將構(gòu)造體3作為凹部的情況下，作為凹部的構(gòu)造體3的開口部(凹部中的入口部分)^皮定義為下部，在基體2的深度方向上的最下部(凹部中最深的部分)^皮定義為頂部。即，通過作為非實(shí)體空間的構(gòu)造體3來定義頂部和下部。jt匕外，在第四實(shí)施方式中，由于構(gòu)造體3為凹部，因此式(1)等中的構(gòu)造體3的高度H變成構(gòu)造體3的深度H。在該第四實(shí)施方式中，上述以外的內(nèi)容是與第一實(shí)施方式相同的。該第四實(shí)施方式由于是將第一實(shí)施方式中的凸形構(gòu)造體3的形狀反轉(zhuǎn)所成凹形，因此可以獲得與第一實(shí)施方式相同的效果。<5.第五實(shí)施方式>圖19示出了本發(fā)明的第五實(shí)施方式所涉及的液晶顯示裝置的一個(gè)結(jié)構(gòu)例。如圖19所示，該液晶顯示裝置包^^舌用于射出光線的背光53以及用于對(duì)從背光53射出的光進(jìn)行時(shí)間空間的調(diào)制從而顯示圖i象的液晶面纟反51。液晶面一反51的兩個(gè)面上分別i殳有作為光學(xué)部件的偏光器51a、51b。設(shè)置在液晶面板51的顯示面?zhèn)壬系钠馄?1b上^殳有光學(xué)元件1。這里，將在一個(gè)主面上i殳有光學(xué)元件1的偏光器51b稱為帶防反射功能偏光器52。帶防反射功能偏光器52是帶防反射功能光學(xué)部件的一例。下面，依次對(duì)用于構(gòu)成液晶顯示裝置的背光53、'液晶面^反51、偏光器51a、51b以及光學(xué)元件1進(jìn)行描述。(背光)作為背光(backlight)53，例如可以采用直下型背光、邊緣型背光以及平面光源型背光。背光53例如包括光源、反射板以及光學(xué)月莫等。作為光源，例如可以采用冷陰才及熒光管(ColdCathodeFluorescentLamp:CCFL)、熱陰極熒光管(HotCathodeFluorescentLamp:HCFL)、有機(jī)電致發(fā)光(OrganicElectroLuminescence:OEL)、無機(jī)電致發(fā)光(InorganicElectroLuminescence:IEL)以及發(fā)光二極管(LightEmittingDiode:LED)等。C液晶面板)作為液晶面才反51，可以采用i者如4丑曲向列(TwistedNematic:TN)才莫式、超4丑曲向列(SuperTwistedNematic:STN)才莫式、垂直耳又向(VerticallyAligned:VA)才莫式、平面4爭(zhēng)4灸(In-PlaneSwitching:IPS)才莫式、光學(xué)一卜4嘗彎曲4非列(OpticallyCompensatedBirefringence:OCB)才莫式、4失電液晶(FerroelectricLiquidCrystal:FLC)才莫式、高分子分散型液晶(PolymerDispersedLiquidCrystal:PDLC)才莫式以及相變賓主型(PhaseChangeGuestHost:PCGH)模式等顯示模式。(偏光器)例如，偏光器51a、51b以其透過軸相互垂直的方式i殳置在'液晶面板51的兩個(gè)面上。偏光器51a、51b是用于僅使入射光中的垂直的偏光成分中的一部分通過，并通過吸收而遮蔽另一部分的部件。偏光器51a、51b可以使用使諸如聚乙烯醇類膜、部分縮曱醛化聚乙烯醇類膜、乙烯-醋酸乙烯共聚物類部分皂化膜等的親水性高分子膜吸附碘或者二色性染料等的二色性物質(zhì)并使其單軸延伸后所得的膜。優(yōu)選在偏光器51a、51b的兩個(gè)面上i殳置三醋酸纖維素(TAC)膜等保護(hù)層。當(dāng)像這樣設(shè)置保護(hù)層時(shí)，優(yōu)選光學(xué)元件1的基體2為兼作保護(hù)層的結(jié)構(gòu)。這是因?yàn)橥ㄟ^設(shè)置成這樣的結(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)帶防反射功能偏光器52的薄型化。(光學(xué)元件)光學(xué)元件1與上述第一至第四實(shí)施方式中的任意一個(gè)實(shí)施方式相同，因J:匕省略i兌明。根據(jù)第五實(shí)施方式，由于在液晶顯示裝置的顯示面上設(shè)置了光學(xué)元件1，因此可以提高液晶顯示裝置的顯示面的防反射功能。從而，可以4是高液晶顯示裝置的可一見性。<第六實(shí)施方式〉圖20示出了本發(fā)明的第六實(shí)施方式所涉及的液晶顯示裝置的一個(gè)結(jié)構(gòu)例。該液晶顯示裝置與第五實(shí)施方式中液晶顯示裝置的區(qū)別在于在液晶面一反51的前面?zhèn)染哂星懊娌?牛54，并且在'液晶面氺反51的前面、前面部件54的前面以及背面的至少一個(gè)面上具有光學(xué)元件1。圖20示出了在液晶面板51的前面以及前面部件54的前面和背面的所有面上都具有光學(xué)元件1的例子。在液晶面板51和前面部件54之間例如i殳有空氣層。對(duì)與上述第五實(shí)施方式相同的部分標(biāo)上相同的標(biāo)i己，并省略"i兌明。jt匕夕卜，在本發(fā)明中，前面是指作為顯示面的一側(cè)的面、即作為》見察者側(cè)的面，背面是指與顯示面沖目反的一個(gè)寸的面。前面部件54是基于機(jī)械保護(hù)、熱保護(hù)以及耐氣候保護(hù)和外觀:沒計(jì)性的目的而用于液晶顯示51的前面()(見察者側(cè))的前々反等。前面部件54例如具有片狀、膜狀或板狀。作為前面部件54的材料，例如可以-使用^皮璃、三醋酸纖維素(TAC)、聚酯(TPEE)、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚酰亞胺(PI)、聚酰胺(PA)、芳香族聚酰胺纖維、聚乙烯(PE)、聚丙烯酸酯、聚醚石風(fēng)、聚石風(fēng)、聚丙烯(PP)、二醋酸纖維素、聚氯乙烯、丙烯酸樹脂(PMMA)、聚碳酸酯(PC)等，但并不僅限于這些材料，只要是具有透光性的材料，就可以使用。根據(jù)第六實(shí)施方式，與第五實(shí)施方式一樣，可以4是高液晶顯示裝置的可視性。下面，利用實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行具體說明，但本發(fā)明并不僅限于這些實(shí)施例。(實(shí)施例1)首先，準(zhǔn)備外徑為126mm的玻璃輥狀原盤，通過下述方法將抗蝕劑成膜在該3皮璃原盤的表面上。即用稀釋劑將光致抗蝕劑(photoresist)稀釋成1/10，利用浸漬(dip)將該稀釋抗蝕劑以130nm左右的厚度涂敷在玻璃輥狀原盤的圓柱面上，從而使抗蝕劑成膜。然后，通過將作為記錄介質(zhì)的玻璃原盤輸送到圖11所示的輥狀原盤曝光裝置上，曝光抗蝕劑，從而在抗蝕劑上形成圖案(patterning)連接成一個(gè)螺旋狀，同時(shí)在鄰接的三列軌跡之間構(gòu)成六邊形才各子圖案的潛像。具體地，對(duì)需要形成六邊形格子圖案的區(qū)域照射用于曝光至玻璃輥狀原盤表面的能量(power)為0.50mj/m的激光，乂人而形成凹狀的準(zhǔn)六邊形才各子圖案。另外，如圖13A所示，專九跡列的列方向上的抗蝕劑厚度為120nm左右，軌跡延伸方向上的抗蝕劑厚度為IOO腿左右。接著，對(duì)玻璃輥狀原盤上的抗蝕劑進(jìn)行顯影處理，從而^f吏曝光部分的抗蝕劑融化以進(jìn)行顯影。具體地，將未顯影的玻璃輥狀原盤放置在未圖示的顯影機(jī)的轉(zhuǎn)臺(tái)上，在每次使轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，將顯影液滴到玻璃輥狀原盤的表面，從而使其表面的抗蝕劑顯影。這樣，可以得到抗蝕層向準(zhǔn)六邊形才各子圖案開口的抗蝕玻璃原盤。隨后，通過輥式等離子蝕刻(rollplasmaetching)進(jìn)行CHF3氣體環(huán)境下的等離子蝕刻。這樣，在玻璃輥狀原盤的表面，僅對(duì)從抗蝕劑層露出的準(zhǔn)六邊形才各子圖案的部分進(jìn)行蝕刻，而其他區(qū)域由于光致抗蝕劑形成掩才莫，而不^皮蝕刻，乂人而可以得到橢圓錐形狀的凹部。此時(shí)的圖案中的蝕刻量(深度)才艮據(jù)蝕刻時(shí)間而變化。最后，通過02拋光(ashing)完全除去光致抗蝕劑，從而可以得到凹狀的六邊形格子圖案的蛾眼玻璃輥狀原盤。列方向上的凹部的深度大于軌跡延伸方向上的凹部的深度。通過將上述蛾眼玻璃輥狀原盤緊貼于涂敷有紫外線硬化樹脂的丙烯酸片(acrylicsheet),并照射紫外線使其硬化并剝離，從而制成光學(xué)元件(圖13C)。(實(shí)施例2)通過對(duì)應(yīng)每一個(gè)軌跡調(diào)整極性反轉(zhuǎn)格式器信號(hào)的頻率、輥的旋轉(zhuǎn)數(shù)以及合適的輸送間隔來對(duì)抗蝕層形成圖案，從而在抗蝕層上記錄準(zhǔn)六邊形才各子圖案。除此以外均與實(shí)施例1同樣地來制作光學(xué)元件。(實(shí)施例3)通過對(duì)應(yīng)每一個(gè)軌跡調(diào)整極性反轉(zhuǎn)格式器信號(hào)的頻率、輥的旋4爭(zhēng)凄t以及合適的lt送間隔來對(duì)4元蝕層形成圖案，乂人而在抗蝕層上i己錄四邊形才各子圖案。除此以外均與實(shí)施例1同才羊;也來制作光學(xué)元件。(實(shí)施例4)通過對(duì)應(yīng)每一個(gè)4九跡調(diào)整一及性反轉(zhuǎn)^各式器信號(hào)的頻率、輥的凝:轉(zhuǎn)數(shù)以及合適的輸送間隔來對(duì)抗蝕層形成圖案，從而在抗蝕層上記錄準(zhǔn)四邊形才各子圖案。除此以外均與實(shí)施例1同樣地來制作光學(xué)元件。(形狀的評(píng)價(jià))用原子力顯樣吏4竟(AFM:AtomicForceMicroscope)只于通過上述方法制作的實(shí)施例1至4中的光學(xué)元件進(jìn)行觀察。并且，根據(jù)AFM的剖面圖求出各實(shí)施例中的構(gòu)造體的高度。結(jié)果如表2和表3所示。(表2)<table>tableseeoriginaldocumentpage44</column></row><table>(表3)<table>tableseeoriginaldocumentpage45</column></row><table>實(shí)施例1和2中的光學(xué)元件的蛾眼形狀為六邊形才各子和準(zhǔn)六邊形格子的凸?fàn)顧E圓推臺(tái)(橢圓錐)。由上述AFM剖面形狀測(cè)定可知，軌跡延伸方向上的構(gòu)造體的高度小于軌跡列方向上的構(gòu)造體的高度。而且，由于軌跡延伸方向以外的構(gòu)造體的高度幾乎與軌跡列方向上的構(gòu)造體的高度相同，因此以軌跡列方向上的高度來代表構(gòu)造體的高度。實(shí)施例3和4中的光學(xué)元件的蛾眼形狀為四邊形才各子和準(zhǔn)四邊形格子的凸?fàn)顧E圓推臺(tái)(橢圓錐)。由上述AFM剖面形狀測(cè)定可知，相對(duì)于軌跡延伸方向45。方向上的構(gòu)造體的高度小于豸九跡列方向上的構(gòu)造體的高度。而且，由于相對(duì)于4九跡延伸方向45。方向以外的構(gòu)造體的高度幾乎與軌跡列方向上的構(gòu)造體的高度相同，因此以軌跡列方向上的高度來代表構(gòu)造體的高度。(反射率/透過率的評(píng)Y介)采用日本分光公司制造的評(píng)價(jià)裝置(V-550)來評(píng)價(jià)實(shí)施例1至4中的光學(xué)元件的反射率和透過率。圖21和圖22分別示出了實(shí)施例1和實(shí)施例2中的光學(xué)元件的反射率的波長(zhǎng)依存性。圖23和圖24分別示出了實(shí)施例3和實(shí)施例4中的光學(xué)元件的透過率的波長(zhǎng)依存性。在實(shí)施例1和2的光學(xué)元件中，雖然存在反射率的波長(zhǎng)依存性，但無蛾眼的基板的反射率為4.5%，而在UV光到可視光(波長(zhǎng)350nm~800nm)區(qū)域，平均反射率為0.15%，該<直非常4氐?？梢源_認(rèn)軌跡延伸方向上的構(gòu)造體的高度較低的光學(xué)元件能夠得到充分的防反射歲文果。實(shí)施例3和4中，在可視光(波長(zhǎng)~800nm)區(qū)域，可以得到了98%~99%的充分的透過特性。而入射角到30度時(shí)，波長(zhǎng)650nm、540nm、460nm的RGB光的透過率為99%，角度依存性也4艮充分?？梢源_i人相對(duì)于4九跡延伸方向(約)45。方向上的構(gòu)造體的高度較低的光學(xué)元件能夠得到充分的透過特性。如上所述，上述光學(xué)元件的蛾眼形狀為六邊形格子、準(zhǔn)六邊形格子或四邊形格子、準(zhǔn)四邊形才各子的凸?fàn)顧E圓錐臺(tái)(橢圓錐)，在尺寸縱橫比為0.94-1.14的光學(xué)元件中，能夠得到充分的防反射特性。而且，可以確認(rèn)蛾眼玻璃原盤中也存在凹狀的橢圓錐槽。(實(shí)施例5)首先，和實(shí)施例2—樣地得到蛾眼玻璃原盤。然后，在蛾眼玻璃原盤上涂lt紫外線石更化樹脂后，將丙烯酸片(厚0.20mm)緊貼在紫外線硬化樹脂上，照射紫外線使其硬化并進(jìn)行剝離，從而得到蛾眼紫外線^^更化復(fù)制片。然后，將蛾眼紫外線硬化復(fù)制片緊貼于①25mm的平凸透鏡(焦距為70mm)的凸面。接著，在80。C的熱水中用透鏡架(lensholder)使平凸透鏡和蛾眼紫外線硬化復(fù)制片進(jìn)一步緊貼，同時(shí)將蛾眼紫外線復(fù)制片彎曲成凸透鏡形狀。隨后，放入熱水幾分鐘后取出，拆除透鏡架，制成彎曲成凸透鏡形狀的蛾眼紫外線硬化復(fù)制片。才妻著，通過無電鍍法(electrolessplatingmethod)等在彎曲成凸透鏡形狀的蛾眼紫外線硬化復(fù)制片的凹凸圖案上形成由鎳皮膜構(gòu)成的導(dǎo)電膜。然后，將形成有導(dǎo)電膜的光盤原盤安裝在電鑄裝置上，通過電4t法在導(dǎo)電膜上形成厚度在300±5(pm)左右的4臬鍍層。接著，用切割機(jī)(cutter)等將鎳鍍層從蛾眼紫外線硬化復(fù)制片上剝離，并用丙酮(acetone)等洗凈該4臬鍍層4言號(hào)形成面上的光致抗蝕劑，從而制成彎曲成凸透鏡形狀的蛾眼Ni金屬原盤。隨后，通過下述方法來制作彎曲成凸透鏡形狀的蛾眼成形復(fù)制基板。將上述彎曲成凸透鏡形狀的蛾眼Ni金屬原盤設(shè)置在金屬模上，采用聚碳酸酯(折射率1.59)的透明初t脂通過射出成形來成形基板。這樣，形成在信號(hào)形成面上的大致六邊形格子圖案被轉(zhuǎn)印到透明樹脂上，制成彎曲成凸透鏡形狀的蛾眼成形復(fù)制基板。(反射率/透過率的評(píng)價(jià))采用日本分光公司制造的評(píng)價(jià)裝置(V-550)來評(píng)價(jià)實(shí)施例5中的光學(xué)元件的反射率。圖25示出了實(shí)施例5中的光學(xué)元4牛的反射率的波長(zhǎng)依存性。(實(shí)施例6)通過對(duì)應(yīng)每一個(gè)軌跡調(diào)整極性反轉(zhuǎn)格式器信號(hào)的頻率、輥的旋轉(zhuǎn)凄t以及合適的輸送間隔來對(duì)抗蝕層形成圖案，乂人而在抗蝕層上記錄準(zhǔn)六邊形才各子圖案。除此以外均與實(shí)施例1同沖羊i也來制作光學(xué)元件。(實(shí)施<列7)通過對(duì)應(yīng)每一個(gè)軌跡調(diào)整極性反轉(zhuǎn)格式器信號(hào)的頻率、輥的旋轉(zhuǎn)凄t以及合適的輸送間隔來對(duì)抗蝕層形成圖案，從而在抗蝕層上記錄四邊形才各子圖案。除此以外均與實(shí)施例1同樣地來制作光學(xué)元件。(實(shí)施例8)通過對(duì)應(yīng)每一個(gè)軌跡調(diào)整極性反轉(zhuǎn)才各式器信號(hào)的頻率、輥的旋轉(zhuǎn)數(shù)以及合適的輸送間隔來對(duì)抗蝕層形成圖案，乂人而在抗蝕層上記錄四邊形4各子圖案。除此以外均與實(shí)施例1同樣地來制作光學(xué)元件。(形狀的評(píng)價(jià))通過掃4苗型電子顯孩吏4免(SEM:ScanningElectronMicroscope)以頂—見圖(TopView)對(duì)利用上述方法制成的實(shí)施例6至8中的光學(xué)元件進(jìn)行觀察。結(jié)果如表4所示。(表4)<table>tableseeoriginaldocumentpage48</column></row><table>由圖26可知，在實(shí)施例6中，構(gòu)造體排列成準(zhǔn)六邊形才各子狀。而且還可以看出構(gòu)造體的底面形d犬為橢圓形習(xí)犬。由圖27和圖28可知，在實(shí)施例7和8中，構(gòu)造體排列成四邊形格子狀。而且還可以看出構(gòu)造體的底面形狀為橢圓形狀。而且，在實(shí)施例8中可以看出構(gòu)造體的下部^:此重疊配置。4妻下來，通過RCWA(RigorousCoupledWaveAnalysis嚴(yán)才各井禺合波分析)模擬(simulation)對(duì)構(gòu)造體的高度與反射率之間的關(guān)系進(jìn)行研究。(試'驗(yàn)例1)將構(gòu)造體的底面徑(直徑)2ri殳為配置間隔Pl的85%、90%、95%、99%的大小，然后進(jìn)行RCWA模擬。其結(jié)果如圖29所示。模擬條件如下所示構(gòu)造體形狀吊鐘型偏光二無偏光折射率1.48專九跡間隔Tp:320nm才勾造體的高度365nm*從才黃尺寸比1.14構(gòu)造體的排列六邊形格子由圖29可知，當(dāng)構(gòu)造體的底面徑的大小改變，且填充率下降時(shí)，反射率惡化。(試驗(yàn)例2)除了在軌跡方向上的構(gòu)造體之間設(shè)置縱橫尺寸比為0.3的低突出部以外，其余與試驗(yàn)例1一樣地進(jìn)行RCWA模擬。其結(jié)果如圖30所示。從圖30可以看出當(dāng)軌跡方向上的構(gòu)造體之間存在低突出部時(shí)，即使填充率下降，也可以較低地抑制反射率。(試驗(yàn)例3)在軌跡方向上的構(gòu)造體之間設(shè)置高度為構(gòu)造體的高度的1/4的低突出部，改變構(gòu)造體的高度，根據(jù)下述條件進(jìn)行RCWA模擬。其結(jié)果如圖31所示。構(gòu)造體形狀吊鐘型偏光二無偏光折射率1.48軌跡間隔Tp:320nm構(gòu)造體的底面徑軌跡間隔Tp的90%纟從沖黃尺寸比0.93、1.00、1.14、1.30(-罙度分另'J為0.27(Vm、0.320,、0.385,、0.415拜)構(gòu)造體的排列六邊形格子(試驗(yàn)例4)將使試驗(yàn)例3中的各個(gè)高度的構(gòu)造體以相同的比例存在，并使其具有深度分布時(shí)的結(jié)果(Ave.)增加到試驗(yàn)例3的坐標(biāo)圖中，則如圖32所示。從圖31和圖32可以看出當(dāng)在軌跡方向上的構(gòu)造體之間設(shè)置低突出部，并使構(gòu)造體具有高度分布時(shí)，可以得到波長(zhǎng)依存性較低的低反射特性。(試驗(yàn)例5)通過改變軌跡間隔來進(jìn)4亍RCWA才莫擬。其結(jié)果如圖33和圖35所示。才莫擬條件如下所示構(gòu)造體形狀吊鐘型偏光無偏光格子配置六邊形格子折射率1.48軌跡間隔Tp:0.09~0.30,構(gòu)造體的高度0.09~0.30jam鈔人沖黃尺寸比統(tǒng)一為1.0構(gòu)造體的底面徑4九跡間隔Tp的99%的大小"真充率幾乎為最大)(試驗(yàn)例6)除了在構(gòu)造體周圍設(shè)置微細(xì)的突出部以外，其余與試驗(yàn)例5—樣地進(jìn)行RCWA模擬。其結(jié)果如圖34所示。由圖33和圖34可知，當(dāng)4九跡間隔Tp4交大時(shí)，雖然在構(gòu)造體周圍設(shè)置微細(xì)的突出部會(huì)有反射率降低的傾向，但如果構(gòu)造體本身很小，相反會(huì)有反射率惡化的傾向(尤其參照?qǐng)D34中的區(qū)域R1和區(qū)域R2)。此夕卜，由圖35可知，當(dāng)軌跡間隔Tp為0.3|am時(shí)，可知存在波長(zhǎng)400nm上的書于射抑制降^[氐的傾向。(試驗(yàn)例7)將4九跡間隔i殳為0.25(am,并改變構(gòu)造體的高度和縱4黃尺寸比，從而來進(jìn)4亍RCWA才莫擬。其結(jié)果如圖36所示。模擬條件如下所示構(gòu)造體形狀吊鐘型偏光無偏光格子配置六邊形格子折射率1.48專九跡間隔Tp:0.25|im4勾造體的高度0.15nm、0.2nm、0.25nm、0.3nm纟從斗黃尺寸比0.6、0.8、1.0、1.2構(gòu)造體的底面徑4九跡間隔Tp的99%(試驗(yàn)例8)除了在構(gòu)造體周圍設(shè)置樣i細(xì)的突出部之外，其余與試-驗(yàn)例7—樣地進(jìn)行RCWA模擬。其結(jié)果如圖36B所示。(試驗(yàn)例9)將軌跡間隔設(shè)為0.15pm,將構(gòu)造體的高度設(shè)為0.09pm、0.12pm、0.15pm、0.18(am,并^j尋^U黃尺寸比i殳為0.6、0.8、1.0、1.2,除此以外，其余與試驗(yàn)例7—樣地進(jìn)行RCWA模擬。其結(jié)果如圖37A所示。(試驗(yàn)例10)除了在構(gòu)造體周圍設(shè)置微細(xì)的突出部之外，其余與試驗(yàn)例9一樣地進(jìn)行RCWA才莫擬。其結(jié)果如圖37B所示。(試-驗(yàn)例11)將軌跡間隔設(shè)為0.09pm，將構(gòu)造體的高度設(shè)為0.072fim、0.09拜、0.108,、0.126jmi、0.144(am,并將縱橫尺寸比設(shè)為0.8、1.0、1.2、1.4、1.6，除此以外，其余與試驗(yàn)例7—樣地進(jìn)行RCWA^=莫擬。其結(jié)果如圖38A所示。(試驗(yàn)例12)除了在構(gòu)造體周圍設(shè)置微細(xì)的突出部之外，其余與試驗(yàn)例11一樣地進(jìn)行RCWA^^擬。其結(jié)果如圖38B所示。由圖36至圖38可以認(rèn)為為了將反射率R抑制到小于等于1%左右，4九跡間隔Tp為0.15pm以及的至從4黃尺寸比為l.O是才及卩艮。此外，可以看出即偵:設(shè)置了孩史細(xì)的突出部，如果專九跡間隔Tp較窄，也會(huì)出現(xiàn)反射率抑制效果降低的傾向。下面，通過RCWA(RigorousCoupledAnalysis嚴(yán)才各l禺合波分析)模擬對(duì)比率((2r/P1)x100)與防反射特性之間的關(guān)系進(jìn)行研究。(試驗(yàn)例13)圖39A是構(gòu)造體排列成六邊形格子狀時(shí)的填充率的說明圖。如圖39A所示，當(dāng)構(gòu)造體排列成六邊形格子狀時(shí)，通過下面的式(2)來求出改變比率((2r/Pl)xioo)(其中，Pl:相同軌跡內(nèi)的構(gòu)造體的配置間隔；r:構(gòu)造體底面的半徑)時(shí)的填充率。填充率<formula>formulaseeoriginaldocumentpage54</formula>單^f立才各子面積、<formula>formulaseeoriginaldocumentpage54</formula>存在于單位格子內(nèi)的構(gòu)造體的底面面積S(hex.)=2x兀r2(其中，當(dāng)2r>Pl時(shí)，通過作圖來計(jì)算)比如，當(dāng)配置間隔P1二2、構(gòu)造體的底面半徑r=l時(shí)，S(hex.)、S(unit)、比率((2r/Pl)xl00)以及填充率的值如下所示S(unit)=6.9282S(hex.)=6.28319(2r/Pl)x100=100.0%填充率(S(hex.)/S(unit))x100=90.7%表5示出了通過上述式(2)求出的填充率與比率((2r/Pl)xl00)之間的關(guān)系。(表5)<table>tableseeoriginaldocumentpage55</column></row><table>(試驗(yàn)例14)圖39B是構(gòu)造體排列成四邊形格子狀時(shí)的填充率的i兌明圖。如圖39B所示，當(dāng)構(gòu)造體排列成四邊形格子狀時(shí)，通過下面的式(3)來求出改變比率((2r/Pl)x100)、比率((2r/P2)xl00)(其中，Pl:相同專九跡內(nèi)的構(gòu)造體的配置間隔；P2:相對(duì)于專九跡45。方向上的配置間隔；r:構(gòu)造體底面的半徑)時(shí)的填充率。填充率氣S(tetra)/S(unit))x100...(3)單^立才各子面積S(unit)=2rx2r存在于單位格子內(nèi)的構(gòu)造體的底面面積S(tetra)-兀r2(其中，當(dāng)2r>Pl時(shí)，通過作圖來計(jì)算)比如，當(dāng)配置間隔P2:2、構(gòu)造體的底面半徑r-l時(shí)，S(unit)、S(tetra)、比率((2r/Pl)xl00)、比率((2r/P2)xl00)以及》真充率的^jj口下戶斤示S(unit)=4S(tetra)=3.14159(2r/Pl)xl00=141.4%(2r/P2)x100=100.0%填充率^S(tetra)/S(unit))x100=78.5%表6示出了通過上述式(3)求出的填充率與比率((2r/Pl)x100)、比率((2r/P2)xl00)之間的關(guān)系。而且，四方才各子的配置間隔P1和P2之間的關(guān)系為P1=a/2xP2。(表6)<table>tableseeoriginaldocumentpage57</column></row><table>(試驗(yàn)例15)將構(gòu)造體的底面直徑2r與配置間隔Pl之間的比率((2r/Pl)xl00)的大小i殳為80%、85%、90%、95%、99%，然后才艮l居以下條件通過模擬來求出反射率。其結(jié)果坐標(biāo)圖如圖40所示。構(gòu)造體形狀吊鐘型偏光二無偏光折射率1.48配置間隔P1:320nm構(gòu)造體的高度415nm纟從4黃尺寸比1.30構(gòu)造體的4非列六邊形一各子由圖40可知，如果比率((2r/Pl)xlOO)大于等于85%,則在可視光波段(0.4^im0.7jam)，平均反射率R〈0.5。/。，可以得到充分的防反射效果。此時(shí)，底面的填充率大于等于65%。而如果比率((2r/Pl)xl00)大于等于90%，則在可^L光波萃殳，平均反射率R<0.3%,可以得到更高性能的防反射效果。此時(shí)，底面的填充率大于等于73%,以100%為上限，填充率越高，性能越好。當(dāng)構(gòu)造體彼此重疊時(shí)，構(gòu)造體高度被認(rèn)為是從最低位置起的高度。而且，還確i人了四方4各子中的填充率和反射率的傾向也是同樣的。例才艮據(jù)本發(fā)明的纟支術(shù)方案可以進(jìn)4于各種變形。并不限于上述實(shí)施方式和實(shí)施例，可以才艮據(jù)本發(fā)明的4支術(shù)方案進(jìn)4亍各種變形。例如，上述實(shí)施方式和實(shí)施例中所列舉的結(jié)構(gòu)、方法、形狀、材料以及數(shù)值等都只是示例，才艮據(jù)需要，可以采用與此不同的結(jié)構(gòu)、方法、形狀、材料和數(shù)值等。而且，上述實(shí)施方式中的各個(gè)結(jié)構(gòu)可以在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)相互組合。此外，在上述實(shí)施方式中，以本發(fā)明應(yīng)用于液晶顯示裝置的情況為例進(jìn)行了說明，^旦本發(fā)明還可以應(yīng)用于液晶顯示裝置以外的其4也各種顯示裝置。例3口，本發(fā)明還可以應(yīng)用于CRT(CathodeRayTube:陰極射線管)顯示器、等離子顯示器(PlasmaDisplayPanel:PDP)、電纟丈發(fā)光(ElectroLuminescence:EL)顯示器、表面4專導(dǎo)電子發(fā)射顯示器(Surface-conductionElectron-emitterDisplay:SED)等各種顯示裝置。此夕卜，在上述實(shí)施方式中，以將本發(fā)明應(yīng)用于偏光器乂人而構(gòu)成帶防反射功能偏光器的情況為例進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不僅限于此例。除了偏光器之外，還可以將本發(fā)明應(yīng)用于透鏡、導(dǎo)光板、窗材、顯示元件、照相機(jī)鏡筒等從而構(gòu)成帶防反射功能光學(xué)部件。此外，本發(fā)明還可以應(yīng)用于光學(xué)部件以外的其他器4牛，例如，本發(fā)明可以應(yīng)用于太陽(yáng)電〉也。此夕卜，在上述實(shí)施方式中，可以通過適當(dāng)改變構(gòu)造體的間隔從而在從正面傾斜的方向上產(chǎn)生衍射光，從而使光學(xué)元件帶有防窺視功肯b(peep-preventingfunction)。另夕卜，在上述實(shí)施方式中，可以在形成有構(gòu)造體的基體表面上進(jìn)一步形成低折射率層。低折射率層優(yōu)選以具有比構(gòu)成基體和構(gòu)造體的材料低的折射率的材料為主要成分。作為這種低折射率層的材料，可以列舉例如氟類沖對(duì)脂等有4幾類材坤+或LiF、MgF2等無才幾類^氐折射率材料。在上述實(shí)施方式中，以采用感光樹脂來制造光學(xué)元件的情況為例進(jìn)行了說明，但光學(xué)元件的制造方法并不限于此例。例如，可以通過熱轉(zhuǎn)印或射出成形來制造光學(xué)元件。此外，在上述實(shí)施方式中，以在圓柱形或圓筒形的原盤的外周面上形成凹狀或凸?fàn)畹臉?gòu)造體的情況為例進(jìn)行了說明，但當(dāng)原盤為圓筒形時(shí)，也可以在原盤的內(nèi)周面上形成凹狀或凸?fàn)畹臉?gòu)造體。權(quán)利要求1.一種防反射用光學(xué)元件，其特征在于，包括基體；以及多個(gè)凸?fàn)罨虬紶畹臉?gòu)造體，以小于等于可視光的波長(zhǎng)的細(xì)微間隔被配置在所述基體的表面，其中，所述各個(gè)構(gòu)造體被配置成在所述基體表面構(gòu)成多列軌跡，且形成六邊形格子圖案、準(zhǔn)六邊形格子圖案、四邊形格子圖案或準(zhǔn)四邊形格子圖案，所述構(gòu)造體是沿所述軌跡的延伸方向具有長(zhǎng)軸方向的橢圓錐或橢圓錐臺(tái)形狀。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防反射用光學(xué)元件，其特征在于，所述各個(gè)構(gòu)造體^皮配置為構(gòu)成具有直線狀的多列軌跡，且形成準(zhǔn)六邊形格子圖案，所述軌跡的延伸方向上的所述構(gòu)造體的高度或深度小于所述軌跡的列方向上的所述構(gòu)造體的高度或深度。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防反射用光學(xué)元件，其特征在于，所述各個(gè)構(gòu)造體凈皮配置為構(gòu)成具有直線狀的多列軌跡，且形成四邊形4各子圖案或準(zhǔn)四邊形格子圖案，造體的高度或深度小于所述軌跡的延伸方向上的所述構(gòu)造體的高度或深度。4.4艮據(jù);f又利要求1所述的防反射用光學(xué)元件，其特^正在于，相同軌跡內(nèi)的所述構(gòu)造體的配置間隔P1長(zhǎng)于鄰4妄的兩個(gè)軌跡間的所述構(gòu)造體的配置間隔P2。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防反射用光學(xué)元件，其特征在于，所述各個(gè)構(gòu)造體在所述基體表面形成六邊形格子圖案或準(zhǔn)六邊形格子圖案，當(dāng)將相同軌跡內(nèi)的所述構(gòu)造體的配置間隔設(shè)定為Pl，并將鄰4妾的兩個(gè)4九跡間的所述構(gòu)造體的配置間隔設(shè)定為P2時(shí)，比率Pl/P2滿足1.00《P1/P2<1.1或.00<P1/P2《1.1的關(guān)系。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防反射用光學(xué)元件，其特征在于，所述構(gòu)造體在所述基體表面形成四邊形才各子圖案或準(zhǔn)四邊形格子圖案，當(dāng)將相同軌跡內(nèi)的所述構(gòu)造體的配置間隔設(shè)定為Pl，并將鄰接的兩個(gè)軌跡間的所述構(gòu)造體的配置間隔設(shè)定為P2時(shí)，比率Pl/P2滿足1.4<P1/P2《1.5的關(guān)系。7.—種防反射用光學(xué)元件，其特征在于，包括基體；以及多個(gè)由凸部或凹部構(gòu)成的構(gòu)造體，以小于等于可一見光的波長(zhǎng)的細(xì)微間隔被配置在所述基體的表面，其中，各個(gè)所述構(gòu)造體被配置成在所述基體表面構(gòu)成多列軌跡，且形成準(zhǔn)六邊形格子圖案、四邊形4各子圖案或準(zhǔn)四邊形格子圖案，所述構(gòu)造體對(duì)所述基體表面的填充率大于等于65%。8.沖艮據(jù)一又利要求7所述的防反射用光學(xué)元件，其特4正在于，所述構(gòu)造體對(duì)所述基體表面的填充率大于等于73%。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的防反射用光學(xué)元件，其特征在于，所述構(gòu)造體對(duì)所述基體表面的填充率大于等于86%。10.—種防反射用光學(xué)元件，其特征在于，包括基體；以及多個(gè)由凸部或凹部構(gòu)成的構(gòu)造體，以小于等于可^L光的波長(zhǎng)的細(xì)微間隔被配置在所述基體的表面，其中，各個(gè)所述構(gòu)造體被配置成在所述基體表面構(gòu)成多列4九跡，且形成準(zhǔn)六邊形4各子圖案，當(dāng)將相同軌跡內(nèi)的所述構(gòu)造體的配置間隔設(shè)定為Pl,并將所述構(gòu)造體底面在軌跡方向上的直徑i殳定為2r時(shí)，所述直徑2r對(duì)所述配置間隔Pl的比率((2r/Pl)xioo)大于等于85%。11.才艮據(jù)^又利要求IO所述的防反射用光學(xué)元件，其特;f正在于，所述直徑2r只于所述配置間隔Pl的比率((2r/Pl)xl00)大于等于90%。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的防反射用光學(xué)元件，其特征在于，所述直徑2r^f所述配置間隔Pl的比率((2r/Pl)xl00)大于等于95%。13.—種防反射用光學(xué)元件，其特;f正在于，包括基體；以及多個(gè)由凸部或凹部構(gòu)成的構(gòu)造體，以小于等于可3見光的波長(zhǎng)的細(xì)孩史間隔-故配置在所述基體的表面，其中，所述各個(gè)構(gòu)造體被配置成在所述基體表面構(gòu)成多列軌跡，且形成四邊形格子圖案或準(zhǔn)四邊形才各子圖案，當(dāng)將相同軌跡內(nèi)的所述構(gòu)造體的配置間隔設(shè)定為Pl，并將所述構(gòu)造體底面在軌跡方向上的直徑設(shè)定為2r時(shí)，所述直徑2r對(duì)所述配置間隔Pl的比率((2r/Pl)xl00)大于等于127%。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的防反射用光學(xué)元件，其特征在于，所述直徑2r又十所述配置間隔Pl的比率((2r/Pl)xl00)大于等于137%。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的防反射用光學(xué)元件，其特征在于，所述直徑2r對(duì)所述配置間隔Pl的比率((2r/Pl)xl00)大于等于146%。16.—種顯示裝置，其特征在于，包括權(quán)利要求1至15中的任一項(xiàng)所述的防反射用光學(xué)元件。17.—種用于制作防反射用光學(xué)元件的原盤的制造方法，其特征在于，包括在圓柱狀或圓筒狀的原盤的周面上形成抗蝕層的步驟；使形成有所述抗蝕層的所述原盤旋轉(zhuǎn)，并在4吏激光的光點(diǎn)以平行于所述圓柱狀或圓筒狀的原盤的中心軸的方式進(jìn)4亍相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)，對(duì)所述抗蝕層間歇性地照射激光，以短于可牙見光波長(zhǎng)的間隔形成;昝l象的步驟；z使所述抗蝕層顯影，在所述原盤的表面形成抗蝕圖案的步4聚；以及通過實(shí)施以所述抗蝕圖案作為掩4莫的蝕刻處理，乂人而在所述原盤的表面形成凹狀或凸?fàn)畹臉?gòu)造體的步艱《，其中，在所述潛像的形成步驟中，所述潛傳4皮配置成在所述原盤表面構(gòu)成多列軌跡，且形成六邊形格子圖案、準(zhǔn)六邊形格子圖案、四邊形格子圖案或準(zhǔn)四邊形格子圖案，所述潛<象是沿4九跡的延伸方向具有長(zhǎng)軸方向的橢圓形狀。18.—種用于制作防反射用光學(xué)元件的原盤的制造方法，其特4正在于，包括在圓柱狀或圓筒狀的原盤的周面上形成抗蝕層的步驟；使形成有所述抗蝕層的所述原盤旋轉(zhuǎn)，并在使激光的光點(diǎn)以平行于所述圓柱狀或圓筒狀的原盤的中心軸的方式進(jìn)4亍相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)，對(duì)所述抗蝕層間歇性;也照射激光，以短于可—見光波長(zhǎng)的間隔形成潛J象的步驟；使所述抗蝕層顯影，在所述原盤的表面形成抗蝕圖案的步艱《；以及通過實(shí)施以所述抗蝕圖案作為掩才莫的蝕刻處理，從而在所述原盤的表面形成凹狀或凸?fàn)畹臉?gòu)造體的步驟，其中，在所述潛像的形成步驟中，所述潛像-波配置成在所述原盤表面構(gòu)成多列4九跡，且形成準(zhǔn)六邊形格子圖案、四邊形格子圖案或準(zhǔn)四邊形格子圖案，所述構(gòu)造體對(duì)所述原盤表面的填充率大于等于65%。619.一種用于制作防反射用光學(xué)元件的原盤的制造方法，其特征在于，包括在圓柱狀或圓筒狀的原盤的周面上形成抗蝕層的步驟；<吏形成有所述抗蝕層的所述原盤旋轉(zhuǎn)，并在<吏激光的光點(diǎn)以平行于所述圓柱狀或圓筒狀的原盤的中心軸的方式進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)，對(duì)所述抗蝕層間歇性地照射激光，從而以短于可-見光波長(zhǎng)的間隔形成潛^f象的步駛《；使所述抗蝕層顯影，在所述原盤的表面形成抗蝕圖案的步-銀；以及通過實(shí)施以所述抗蝕圖案作為掩才莫的々蟲刻處理，從而在所述原盤的表面形成凹狀或凸?fàn)畹臉?gòu)造體的步驟，其中，在所述潛^象的形成步驟中，所述潛像凈皮配置成在所述原盤表面構(gòu)成多列軌跡，且形成準(zhǔn)六邊形格子圖案，當(dāng)將相同軌跡內(nèi)的所述構(gòu)造體的配置間隔設(shè)定為Pl,并將所述構(gòu)造體在4九跡方向上的直徑i殳定為2r時(shí)，所述直徑2r乂于所述配置間隔Pl的比率((2r/Pl)xlOO)在大于等于85%的范圍內(nèi)。20.—種用于制作防反射用光學(xué)元件的原盤的制造方法，其特征在于，包括在圓柱狀或圓筒狀的原盤的周面上形成抗蝕層的步驟；使形成有所述抗蝕層的所述原盤旋轉(zhuǎn)，并在使激光的光點(diǎn)以平行于所述圓柱狀或圓筒狀的原盤的中心軸的方式進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)，對(duì)所述抗蝕層間歇性;也照射激光，以短于可:枧光波長(zhǎng)的間隔形成潛4象的步駛纟；^f吏所述抗蝕層顯影，在所述原盤的表面形成抗蝕圖案的步-驟；以及通過實(shí)施以所述抗蝕圖案作為掩才莫的蝕刻處理，從而在所述原盤的表面形成凹狀或凸?fàn)畹臉?gòu)造體的步驟，其中，在所述潛像的形成步驟中，所述潛像:故配置成在所述原盤表面構(gòu)成多列軌跡，且形成四邊形才各子圖案或準(zhǔn)四邊形格子圖案，當(dāng)將相同軌跡內(nèi)的所述構(gòu)造體的配置間隔設(shè)定為Pl，并將所述構(gòu)造體在庫(kù)九跡方向上的直徑，沒定為2r時(shí)，所述直徑2r對(duì)所述配置間隔Pl的比率((2r/Pl)x100)在大于等于127%的范圍內(nèi)。全文摘要本發(fā)明提供了防反射用光學(xué)元件以及用于制造該防反射用光學(xué)元件的原盤的制造方法。本發(fā)明的光學(xué)元件通過在基體表面以小于等于可視光的波長(zhǎng)的細(xì)微間隔配置多個(gè)由凸部或凹部構(gòu)成的構(gòu)造體而形成。各構(gòu)造體被配置成在基體表面構(gòu)成多列軌跡，且形成六邊形格子圖案或準(zhǔn)六邊形格子圖案。構(gòu)造體為在軌跡的延伸方向具有長(zhǎng)軸方向的橢圓錐形狀或橢圓錐臺(tái)形狀。文檔編號(hào)G02B1/10GK101680969SQ200980000284公開日2010年3月24日申請(qǐng)日期2009年2月27日優(yōu)先權(quán)日2008年2月27日發(fā)明者林部和彌,遠(yuǎn)藤惣銘申請(qǐng)人:索尼株式會(huì)社