專利名稱：用于氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于太陽能光伏技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種氫化爐中的測溫視鏡，特別是涉
及一種用于氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡。
背景技術(shù)：
近幾年來，國內(nèi)多晶硅生產(chǎn)技術(shù)高速發(fā)展，然而現(xiàn)在生產(chǎn)多晶硅80 %采用西門子法，西門子法制備多晶硅的同時，也生成了大量副產(chǎn)物SiC^、 SiCl4不僅浪費原材料，處理不當(dāng)還會造成嚴(yán)重的環(huán)境污染問題，為了降低生產(chǎn)成本，循環(huán)利用生產(chǎn)原料，防止環(huán)境污染，急需能夠有效處理SiCl4的氫化爐。 氫化爐運作時需要通過觀察爐內(nèi)溫度對各工藝口進行控制，以保持設(shè)備穩(wěn)定高效的運行，這就需要在氫化爐中設(shè)置一個或幾個測溫視鏡。 目前，還沒有氫化爐的專用視鏡，常用視鏡結(jié)構(gòu)簡單，而氫化爐是夾套結(jié)構(gòu)，需要設(shè)置引出管連接視鏡和設(shè)備，由于設(shè)備內(nèi)部反應(yīng)溫度很高，筒體和夾套溫差很大，造成引出管周期性的受熱膨脹并導(dǎo)致焊縫疲勞破壞而出現(xiàn)裂縫，而且視鏡玻璃的耐熱溫度有限，故而需要采用新的結(jié)構(gòu)，既能對視鏡的關(guān)鍵部位進行冷卻，又能防止焊縫疲勞破壞。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種用于氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡，用于解決氫化爐設(shè)備內(nèi)筒體和夾套溫差過大，而導(dǎo)致視鏡引出管受熱膨脹引起的焊縫疲勞破壞的技術(shù)問題，同時還要解決視鏡玻璃的冷卻問題。 為了實現(xiàn)本實用新型的目的，本實用新型的用于氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡，其依次包括固定相連接的外法蘭、外視鏡玻璃、中間法蘭、內(nèi)視鏡玻璃和內(nèi)法蘭，所述內(nèi)法蘭通過引出管與氫化爐的內(nèi)筒體相連接。所述引出管外套設(shè)有與其同軸心的波紋管，所述波紋管一端與所述內(nèi)法蘭相連，另一端與所述夾套筒體相連。 其中，所述外視鏡玻璃、所述中間法蘭和所述內(nèi)視鏡玻璃形成一水冷卻室，所述中
間法蘭外側(cè)分別設(shè)有冷卻水進水管和冷卻水出水管，并與所述水冷卻室相通。 所述冷卻水進水管與冷卻水出水管均沿徑向固定在中間法蘭外側(cè)。 所述波紋管與所述內(nèi)法蘭內(nèi)端通過短節(jié)連接，與所述夾套筒體通過外鍛件管連接。 所述引出管與所述內(nèi)筒體通過內(nèi)鍛件管連接。 所述的外法蘭、外視鏡玻璃、中間法蘭、內(nèi)視鏡玻璃和內(nèi)法蘭通過緊固螺栓和螺母連接。 本實用新型用于氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡的工作原理是氫化爐工作時，引出管受熱膨脹，夾套筒體中的冷卻水流經(jīng)波紋管和引出管之間的間隙對引出管進行冷卻，減少熱膨脹量，并由波紋管吸收剩余膨脹量。冷卻水經(jīng)進出水管通過水冷卻室對視鏡玻璃進行冷卻。[0013] 本實用新型和已有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點 1.本實用新型在引出管外套設(shè)波紋管，利用波紋管和引出管之間的間隙填充冷卻水，對引出管和內(nèi)法蘭進行冷卻，并且利用波紋管吸收引出管的熱膨脹，避免了溫度變化產(chǎn)生的疲勞破壞，保證了設(shè)備的安全運行。 2.在內(nèi)外層視鏡之間設(shè)置水冷卻室，通過外接管路通入冷卻水對視鏡玻璃進行冷卻，并且雙層視鏡玻璃提高了視鏡的安全性。

圖1是本實用新型的用于氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡結(jié)構(gòu)示意圖。[0017] 圖中，1是外鍛件管、2是波紋管、3是短節(jié)、4是內(nèi)法蘭、5是冷卻水進水管、6是中間法蘭、7是外法蘭、8是外視鏡玻璃、9是緊固螺栓、10是螺母、11是冷卻水出水管、12是內(nèi)視鏡玻璃、13是引出管、14是內(nèi)鍛件管、15是夾套筒體、16是內(nèi)筒體。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體結(jié)構(gòu)作進一步描述。 如圖1所示，本實用新型用于氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡包括外法蘭7、中間法蘭6、內(nèi)法蘭4、外視鏡玻璃8、內(nèi)玻璃視鏡12、引出管13、波紋管2、短節(jié)3、外鍛件管1、內(nèi)鍛件管14、進水管11、出水管5、螺栓9和螺母10。 其中外法蘭7、外視鏡玻璃8、中間法蘭6、內(nèi)視鏡玻璃12和內(nèi)法蘭4依次排布，并用緊固螺栓9和螺母IO連接。外視鏡玻璃8、中間法蘭6和內(nèi)視鏡玻璃12圍成了一個水冷卻室。冷卻水由進水管11進入水冷卻室，吸收內(nèi)視鏡玻璃12和外視鏡玻璃8的熱量后從出水管5流出，進水管11與出水管5均沿徑向焊接在中間法蘭6外側(cè)。[0021] 內(nèi)法蘭4與引出管13焊接連接，內(nèi)筒體16與引出管13通過內(nèi)鍛件管14焊接連接，并且在引出管13外套設(shè)有與其同心的波紋管2。波紋管2通過短節(jié)3與內(nèi)法蘭4焊接連接，通過外鍛件管1與夾套筒體15焊接連接。引出管13與波紋管2之間留有間隙，夾套筒體內(nèi)的冷卻水可以流入間隙中對引出管13和內(nèi)法蘭4進行冷卻。 本實施例用于氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡的工作過程是夾套筒體15冷卻水流經(jīng)波紋管2和引出管13之間的間隙，外部冷卻水通過進水管5和出水管11流經(jīng)由外視鏡玻璃8、中間法蘭6和內(nèi)視鏡玻璃12組成的水冷卻室。 氫化爐工作時，引出管13受熱，波紋管2和引出管13之間的冷卻水對引出管13和內(nèi)法蘭4進行冷卻，并由波紋管2吸收引出管13的熱膨脹，避免了溫度變化引起的疲勞破壞，保證了設(shè)備的安全運行。 進水口 5流入的冷卻水對外視鏡玻璃8和內(nèi)視鏡玻璃12進行冷卻，雙層視鏡玻璃也提高了視鏡安全性。
權(quán)利要求一種用于氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡，其特征在于，其依次包括固定相連接的外法蘭(7)、外視鏡玻璃(8)、中間法蘭(6)、內(nèi)視鏡玻璃(12)和內(nèi)法蘭(4)，所述內(nèi)法蘭(4)通過引出管(13)與氫化爐的內(nèi)筒體(16)相連接，所述引出管(13)外套設(shè)有與其同軸心的波紋管(2)，所述波紋管(2)一端與所述內(nèi)法蘭(4)相連，另一端與所述夾套筒體(15)相連。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡，其特征在于，所述外視鏡玻璃(8)、所述中間法蘭(6)和所述內(nèi)視鏡玻璃(12)形成一水冷卻室，所述中間法蘭(6)外側(cè)分別設(shè)有冷卻水進水管(11)和冷卻水出水管(5)，并與所述水冷卻室相通。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡，其特征在于，所述冷卻水進水管(5)與冷卻水出水管(11)均沿徑向固定在中間法蘭(6)外側(cè)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l-3任意一項所述的用于氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡，其特征在于，所述波紋管(2)與所述內(nèi)法蘭(4)內(nèi)端通過短節(jié)(3)連接，與所述夾套筒體(15)通過外鍛件管(1)連接。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡，其特征在于，所述引出管(13)與所述內(nèi)筒體(16)通過內(nèi)鍛件管(14)連接。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡，其特征在于，所述的外法蘭(7)、外視鏡玻璃(8)、中間法蘭(6)、內(nèi)視鏡玻璃(12)和內(nèi)法蘭(4)通過緊固螺栓(9)和螺母(10)連接。
專利摘要本實用新型提供了一種用于氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡，其依次包括固定相連接的外法蘭、外視鏡玻璃、中間法蘭、內(nèi)視鏡玻璃和內(nèi)法蘭，所述內(nèi)法蘭通過引出管與氫化爐的內(nèi)筒體相連接，所述引出管外套設(shè)有與其同軸心的波紋管，所述波紋管一端與所述內(nèi)法蘭相連，另一端與所述夾套筒體相連。本實用新型利用波紋管和引出管之間的間隙填充冷卻水，對引出管和內(nèi)法蘭進行冷卻，并且利用波紋管吸收引出管的熱膨脹，避免了溫度變化產(chǎn)生的疲勞破壞，保證了設(shè)備的安全運行。
文檔編號G02B7/00GK201514504SQ20092021000
公開日2010年6月23日 申請日期2009年9月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月24日
發(fā)明者吳海龍, 李東曦, 石蘭, 茅陸榮 申請人:上海森松壓力容器有限公司