專利名稱：垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，尤其涉及一種運(yùn)動平穩(wěn)的垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
一種現(xiàn)有技術(shù)是美國專利US005204712A公開的一種3自由度的微動臺，該臺的基 本原理是通過三組凸輪機(jī)構(gòu)，分布在三個(gè)點(diǎn)上，三個(gè)驅(qū)動點(diǎn)通過一個(gè)柔性機(jī)構(gòu)連接到承片 臺上，并用簧片導(dǎo)向，共同驅(qū)動承片臺，從而實(shí)現(xiàn)調(diào)平和調(diào)焦功能。該臺的3個(gè)自由度調(diào)節(jié) 量不大，尤其是Z向自由度不能實(shí)現(xiàn)大行程調(diào)節(jié)。另一種現(xiàn)有技術(shù)是中國專利CN2580470公開的一種三自由度超精密定位平臺，該 臺體內(nèi)部呈等邊三角形固定有三組各自獨(dú)立的壓電陶瓷預(yù)緊機(jī)構(gòu)。該臺結(jié)構(gòu)緊湊，精度較 高，但是調(diào)節(jié)范圍小，壓電陶瓷易發(fā)熱，也不易進(jìn)行恒溫控制。還有一種現(xiàn)有技術(shù)是中國專利申請200810145049. 0公開的一種具有大行程調(diào)節(jié) 功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，包含小行程調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)和設(shè)置在該小行程調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)下部的大 行程調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，Z向大行程由獨(dú)立的楔形塊機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)，Z向微量調(diào)節(jié)由楔形塊機(jī)構(gòu)驅(qū)動，簧 片導(dǎo)向來實(shí)現(xiàn)。但是其微調(diào)楔形塊采用螺桿螺母結(jié)構(gòu)驅(qū)動，螺桿容易磨損，易發(fā)熱，壽命不 長，運(yùn)動平穩(wěn)性不好。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，運(yùn)動平穩(wěn)性好，磨損小，使用 壽命長。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型提供一種垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)包括承片臺、底板、 導(dǎo)向簧片、數(shù)個(gè)設(shè)置在底板上的位移傳感器、承載板、數(shù)組粗調(diào)機(jī)構(gòu)和數(shù)組微調(diào)機(jī)構(gòu)；所述 承載板設(shè)置在承片臺下方，該承載板與承片臺連接，帶動承片臺垂向運(yùn)動；所述導(dǎo)向簧片設(shè) 置在承片臺和承載板之間，該導(dǎo)向簧片與承載板連接；所述數(shù)組微調(diào)機(jī)構(gòu)均布在底板上； 所述數(shù)組粗調(diào)機(jī)構(gòu)與數(shù)組微調(diào)機(jī)構(gòu)一一對應(yīng)，所述粗調(diào)機(jī)構(gòu)連接承載板與微調(diào)機(jī)構(gòu)，所述 微調(diào)機(jī)構(gòu)的垂向運(yùn)動帶動粗調(diào)機(jī)構(gòu)垂向運(yùn)動，所述粗調(diào)機(jī)構(gòu)又帶動承載板垂向運(yùn)動，最終 帶動承片臺垂向運(yùn)動；所述數(shù)個(gè)位移傳感器與數(shù)組微調(diào)機(jī)構(gòu)一一對應(yīng)，設(shè)置在微調(diào)機(jī)構(gòu)的 一側(cè)。上述垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其中，所述微調(diào)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動機(jī)構(gòu)和V形塊機(jī)構(gòu)，所述驅(qū) 動機(jī)構(gòu)驅(qū)動V形塊機(jī)構(gòu)作水平向運(yùn)動。上述垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其中，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動電機(jī)、與驅(qū)動電機(jī)連接的滾 珠絲杠、固定在滾珠絲杠上的連接塊。上述垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其中，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)還包括消隙水平拉簧，該消隙水平拉 簧的兩端分別與底板和連接塊連接。上述垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其中，所述V形塊機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)軌、V形塊、滾子和滾子座； 所述導(dǎo)軌固定在底板上；所述V形塊與導(dǎo)軌滑動連接，該V形塊與驅(qū)動機(jī)構(gòu)連接，在驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動下，所述V形塊沿導(dǎo)軌作水平向運(yùn)動；所述V形塊的上表面呈“V”字型；所述滾子 安裝在滾子座的底部，該滾子與V形塊的上表面滾動連接，當(dāng)V形塊沿導(dǎo)軌水平滑動時(shí)，所 述滾子在V形塊的上表面上滾動，將水平向運(yùn)動轉(zhuǎn)化為垂向運(yùn)動。上述垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其中，所述粗調(diào)機(jī)構(gòu)包括楔形塊、頂絲和頂絲座；所述楔 形塊設(shè)置在微調(diào)機(jī)構(gòu)與承載板之間，該楔形塊與微調(diào)機(jī)構(gòu)的連接面為斜面；所述頂絲插入 頂絲座，所述頂絲一端頂在楔形塊的側(cè)壁上，該頂絲旋轉(zhuǎn)時(shí)，推動楔形塊相對微調(diào)機(jī)構(gòu)移 動；所述頂絲座固定在承載板的底部。上述垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其中，所述楔形塊設(shè)有一個(gè)長圓孔，插入螺釘和導(dǎo)向銷 釘，所述螺釘和導(dǎo)向銷釘?shù)念^部均固定在承載板內(nèi)，該螺釘和導(dǎo)向銷釘穿過楔形塊的長圓 孔插入微調(diào)機(jī)構(gòu)內(nèi)。上述垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其中，還包括數(shù)個(gè)消隙垂向拉簧，所述消隙垂向拉簧的兩 端分別連接承載板和底板。上述垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其中，所述承載板為三角板，該三角板的三個(gè)頂角處各設(shè) 有一突臺，所述承片臺固定在突臺的上表面。上述垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其中，所述導(dǎo)向簧片呈三角星形，所述導(dǎo)向簧片的三個(gè)角 分別與三角板的三個(gè)突臺連接，所述導(dǎo)向簧片與三角板的連接位置低于承片臺與三角板的 連接位置。本實(shí)用新型垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)的數(shù)組驅(qū)動機(jī)構(gòu)同步性好，運(yùn)動平穩(wěn)，且磨損小，使 用壽命長；通過粗調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)可進(jìn)行垂向粗調(diào)節(jié)，能彌補(bǔ)零件加工和裝配給結(jié)構(gòu)帶來的誤差， 增加了微調(diào)機(jī)構(gòu)的調(diào)平調(diào)焦行程，確保微調(diào)機(jī)構(gòu)的行程和精度能達(dá)到工作需求；通過微調(diào) 機(jī)構(gòu)可進(jìn)行垂向精確調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)垂向調(diào)平調(diào)焦功能；V形塊機(jī)構(gòu)可對沒有自鎖功能的驅(qū)動 機(jī)構(gòu)進(jìn)行掉電保護(hù)，當(dāng)驅(qū)動電機(jī)掉電時(shí)，滾子回復(fù)到V形塊的最低點(diǎn)，從而避免了滾子偏離 位移傳感器的工作范圍，提高了整個(gè)機(jī)構(gòu)的調(diào)節(jié)精度和可靠性。

本實(shí)用新型的垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1是本實(shí)用新型垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實(shí)用新型中數(shù)組粗調(diào)機(jī)構(gòu)和數(shù)組微調(diào)機(jī)構(gòu)在底板上分布的俯視圖。圖3是本實(shí)用新型中粗調(diào)機(jī)構(gòu)和微調(diào)機(jī)構(gòu)的俯視圖。圖4是本實(shí)用新型中粗調(diào)機(jī)構(gòu)和微調(diào)機(jī)構(gòu)的側(cè)視圖。圖5是本實(shí)用新型垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)(不包含承片臺和導(dǎo)向簧片時(shí))的側(cè)視圖。圖6是本實(shí)用新型中粗調(diào)機(jī)構(gòu)和微調(diào)機(jī)構(gòu)的剖視圖。
具體實(shí)施方式
以下將結(jié)合圖1 圖6對本實(shí)用新型的垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。本實(shí)用新型的垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)包括承片臺、導(dǎo)向簧片、承載板、數(shù)組粗調(diào)機(jī)構(gòu)、 數(shù)組微調(diào)機(jī)構(gòu)、底板和數(shù)個(gè)位移傳感器；所述承載板設(shè)置在承片臺下方，該承載板與承片臺連接，帶動承片臺垂向運(yùn)動；所述導(dǎo)向簧片設(shè)置在承片臺和承載板之間，該導(dǎo)向簧片與承載板連接；
4[0028]所述數(shù)組微調(diào)機(jī)構(gòu)均布在底板上；所述數(shù)組粗調(diào)機(jī)構(gòu)與數(shù)組微調(diào)機(jī)構(gòu)一一對應(yīng)，所述粗調(diào)機(jī)構(gòu)連接承載板與微調(diào)機(jī) 構(gòu)，所述微調(diào)機(jī)構(gòu)的垂向運(yùn)動帶動粗調(diào)機(jī)構(gòu)垂向運(yùn)動，所述粗調(diào)機(jī)構(gòu)又帶動承載板垂向運(yùn) 動，最終帶動承片臺垂向運(yùn)動；所述數(shù)個(gè)位移傳感器設(shè)置在底板上，該數(shù)個(gè)位移傳感器與數(shù)組微調(diào)機(jī)構(gòu)一一對 應(yīng)，設(shè)置在微調(diào)機(jī)構(gòu)的一側(cè)，實(shí)時(shí)監(jiān)控微調(diào)機(jī)構(gòu)?，F(xiàn)以一較佳實(shí)施例詳細(xì)說明本實(shí)用新型的垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)。參照圖1，垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)包括承片臺1、導(dǎo)向簧片2、三角板6(即承載板)、三 組粗調(diào)機(jī)構(gòu)、三組微調(diào)機(jī)構(gòu)、底板3和三個(gè)位移傳感器(17a、17b、17c)。所述三角板6的三個(gè)頂角處各設(shè)有一突臺61，所述承片臺1通過螺釘固定在突臺 61的上表面，實(shí)現(xiàn)承片臺1與三角板6的連接，所述三角板6的運(yùn)動將帶動承片臺1作相應(yīng) 運(yùn)動。所述導(dǎo)向簧片2呈三角星形，該導(dǎo)向簧片2的中央設(shè)有固定部件21，該固定部件 21固定設(shè)置在底板3上，使所述導(dǎo)向簧片2無法作水平向運(yùn)動，所述導(dǎo)向簧片2的三個(gè)角分 別與三角板6的三個(gè)突臺61連接，所述導(dǎo)向簧片2與三角板6的連接位置低于承片臺1與 三角板6的連接位置。為了方便導(dǎo)向簧片2固定設(shè)置在底板3上，所述三角板6的中央設(shè)有一孔，方便導(dǎo) 向簧片2的固定部件21穿過三角板6。參見圖2，所述三組微調(diào)機(jī)構(gòu)均布在底板3上，所述三組粗調(diào)機(jī)構(gòu)與三組微調(diào)機(jī)構(gòu) 一一對應(yīng)，所述三個(gè)位移傳感器(17a、17b、17c)設(shè)置在底板上，分別位于三組微調(diào)機(jī)構(gòu)的 一側(cè)，實(shí)時(shí)監(jiān)控微調(diào)機(jī)構(gòu)。在本實(shí)施例中，垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)形成三個(gè)調(diào)節(jié)點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)整個(gè)承片臺垂向調(diào)平調(diào)
焦o參見圖3 圖5，以其中一組為例，所述微調(diào)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動機(jī)構(gòu)和V形塊機(jī)構(gòu)，所述 驅(qū)動機(jī)構(gòu)與V形塊機(jī)構(gòu)連接，該驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動V形塊機(jī)構(gòu)作水平向運(yùn)動。所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動電機(jī)7a、與驅(qū)動電機(jī)7a連接的滾珠絲杠14a、固定在滾珠 絲杠14a上的連接塊15a以及兩端分別與底板3和連接塊15a連接的消隙水平拉簧16a。所述消隙水平拉簧16a消除連接塊15a的回程間隙，提高定位精度。三組驅(qū)動機(jī)構(gòu)同步性好，運(yùn)動平穩(wěn)，且磨損小，使用壽命長。所述V形塊機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)軌5a、V形塊4a、滾子13a和滾子座11a ；所述導(dǎo)軌5a固定在底板3上；所述V形塊4a與導(dǎo)軌5a滑動連接，該V形塊4a與驅(qū)動機(jī)構(gòu)的連接塊15a連接， 在驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動下，所述連接塊15a帶動V形塊4a沿導(dǎo)軌5a作水平運(yùn)動；所述V形塊4a的上表面呈“V”字型；所述滾子13a安裝在滾子座11a的底部，該滾子13a與V形塊4a的上表面滾動連 接，當(dāng)V形塊4a沿導(dǎo)軌5a水平滑動時(shí)，所述滾子13a在V形塊4a的上表面上滾動，將水平 向運(yùn)動轉(zhuǎn)化為垂向運(yùn)動。上述V形塊機(jī)構(gòu)能對沒有自鎖功能的驅(qū)動機(jī)構(gòu)進(jìn)行掉電保護(hù)，當(dāng)驅(qū)動電機(jī)7a掉電 時(shí)，滾子13a回復(fù)到V形塊4a的最低點(diǎn)，從而避免了滾子13a偏離位移傳感器17a的工作范圍，提高了整個(gè)機(jī)構(gòu)的調(diào)節(jié)精度和可靠性。所述粗調(diào)機(jī)構(gòu)包括楔形塊10a、頂絲8a和頂絲座9a ；所述楔形塊10a設(shè)置滾子座11a與承載板6之間，該楔形塊10a與滾子座11a的 連接面為斜面，所述楔形塊10a可相對滾子座11a移動。參見圖6，所述楔形塊10a設(shè)有一個(gè)長圓孔，可插入螺釘101a和導(dǎo)向銷釘102a，所 述螺釘101a和導(dǎo)向銷釘102a的頭部均固定在承載板6內(nèi)，該螺釘101a和導(dǎo)向銷釘102a 穿過楔形塊10a的長圓孔進(jìn)入滾子座11a，最后該螺釘101a和導(dǎo)向銷釘102a的底部均插在 滾子座11a內(nèi)。所述頂絲8a插入頂絲座9a，所述頂絲8a —端(該端為尖頭)頂在楔形塊10a的 側(cè)壁上，旋轉(zhuǎn)該頂絲8a時(shí)，可使楔形塊10a相對滾子座11a移動；所述頂絲座9a固定在三 角板6的底部。為了消除三角板6的回程間隙，提高定位精度，在三角板6和底板3之間可設(shè)數(shù)個(gè) 消隙垂向拉簧。本實(shí)施例中，在三角板6的頂角的兩側(cè)各設(shè)一消隙垂向拉簧(12al和12a2)，所述 消隙垂向拉簧12al和消隙垂向拉簧12a2的兩端分別連接三角板6和底板3。本實(shí)用新型的垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)的工作原理是，先根據(jù)實(shí)際工作狀況調(diào)節(jié)承片臺 垂向初始位置(即垂向粗調(diào)節(jié))，具體方法是調(diào)節(jié)頂絲座上的頂絲，使楔形塊相對滾子座移 動，從而帶動三角板垂向運(yùn)動，進(jìn)而帶動承片臺垂向運(yùn)動，由于導(dǎo)向銷釘?shù)淖饔?，調(diào)節(jié)過程 中滾子座只能相對三角板做垂向運(yùn)動而不能做水平移動，調(diào)節(jié)好后，擰緊螺釘，使承載板和 滾子座把楔形塊壓緊固定在中間，導(dǎo)向簧片則保證承片臺垂向運(yùn)動時(shí)的水平中心不偏離， 完成承片臺垂向初始位置的調(diào)節(jié)，該垂向粗調(diào)節(jié)步驟可以彌補(bǔ)零件加工和裝配給結(jié)構(gòu)帶來 的誤差，增加了微調(diào)機(jī)構(gòu)的調(diào)平調(diào)焦行程，確保微調(diào)機(jī)構(gòu)的行程和精度能達(dá)到工作需求；再 進(jìn)行垂向微調(diào)節(jié)，具體方法是驅(qū)動電機(jī)通過滾珠絲杠和連接塊驅(qū)動V形塊沿導(dǎo)軌作水平運(yùn) 動，V形塊的水平向運(yùn)動通過固定在滾子座滾子座上的滾子轉(zhuǎn)變?yōu)榇瓜蜻\(yùn)動，滾子通過楔形 塊帶動三角板垂向運(yùn)動，進(jìn)而帶動承片臺垂向運(yùn)動，位移傳感器測量垂向的位移，完成調(diào)平 調(diào)焦目的，在垂向微調(diào)節(jié)過程中，楔形塊相對滾子座靜止。在調(diào)平調(diào)焦過程中，若驅(qū)動電機(jī) 掉電時(shí)，滾子回復(fù)到V形塊的最低點(diǎn)，從而避免其跑出傳感器的精確測量范圍。
權(quán)利要求一種垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，包括承片臺、底板、導(dǎo)向簧片和數(shù)個(gè)設(shè)置在底板上的位移傳感器，其特征在于，還包括承載板、數(shù)組粗調(diào)機(jī)構(gòu)和數(shù)組微調(diào)機(jī)構(gòu)；所述承載板設(shè)置在承片臺下方，該承載板與承片臺連接，帶動承片臺垂向運(yùn)動；所述導(dǎo)向簧片設(shè)置在承片臺和承載板之間，該導(dǎo)向簧片與承載板連接；所述數(shù)組微調(diào)機(jī)構(gòu)均布在底板上；所述數(shù)組粗調(diào)機(jī)構(gòu)與數(shù)組微調(diào)機(jī)構(gòu)一一對應(yīng)，所述粗調(diào)機(jī)構(gòu)連接承載板與微調(diào)機(jī)構(gòu)，所述微調(diào)機(jī)構(gòu)的垂向運(yùn)動帶動粗調(diào)機(jī)構(gòu)垂向運(yùn)動，所述粗調(diào)機(jī)構(gòu)又帶動承載板垂向運(yùn)動，最終帶動承片臺垂向運(yùn)動；所述數(shù)個(gè)位移傳感器與數(shù)組微調(diào)機(jī)構(gòu)一一對應(yīng)，設(shè)置在微調(diào)機(jī)構(gòu)的一側(cè)。
2.如權(quán)利要求1所述的垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述微調(diào)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動機(jī)構(gòu) 和V形塊機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動V形塊機(jī)構(gòu)作水平向運(yùn)動。
3.如權(quán)利要求2所述的垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動電機(jī)、 與驅(qū)動電機(jī)連接的滾珠絲杠、固定在滾珠絲杠上的連接塊。
4.如權(quán)利要求3所述的垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)還包括消隙水 平拉簧，該消隙水平拉簧的兩端分別與底板和連接塊連接。
5.如權(quán)利要求2所述的垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述V形塊機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)軌、V 形塊、滾子和滾子座；所述導(dǎo)軌固定在底板上；所述V形塊與導(dǎo)軌滑動連接，該V形塊與驅(qū)動機(jī)構(gòu)連接，在驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動下，所述V 形塊沿導(dǎo)軌作水平向運(yùn)動；所述V形塊的上表面呈“V”字型；所述滾子安裝在滾子座的底部，該滾子與V形塊的上表面滾動連接，當(dāng)V形塊沿導(dǎo)軌水 平滑動時(shí)，所述滾子在V形塊的上表面上滾動，將水平向運(yùn)動轉(zhuǎn)化為垂向運(yùn)動。
6.如權(quán)利要求1所述的垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述粗調(diào)機(jī)構(gòu)包括楔形塊、頂 絲和頂絲座；所述楔形塊設(shè)置在微調(diào)機(jī)構(gòu)與承載板之間，該楔形塊與微調(diào)機(jī)構(gòu)的連接面為斜面；所述頂絲插入頂絲座，所述頂絲一端頂在楔形塊的側(cè)壁上，該頂絲旋轉(zhuǎn)時(shí)，推動楔形塊 相對微調(diào)機(jī)構(gòu)移動；所述頂絲座固定在承載板的底部。
7.如權(quán)利要求6所述的垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述楔形塊設(shè)有一個(gè)長圓孔， 插入螺釘和導(dǎo)向銷釘，所述螺釘和導(dǎo)向銷釘?shù)念^部均固定在承載板內(nèi)，該螺釘和導(dǎo)向銷釘 穿過楔形塊的長圓孔插入微調(diào)機(jī)構(gòu)內(nèi)。
8.如權(quán)利要求1所述的垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括數(shù)個(gè)消隙垂向拉簧，所 述消隙垂向拉簧的兩端分別連接承載板和底板。
9.如權(quán)利要求1所述的垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述承載板為三角板，該三角 板的三個(gè)頂角處各設(shè)有一突臺，所述承片臺固定在突臺的上表面。
10.如權(quán)利要求9所述的垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)向簧片呈三角星形， 所述導(dǎo)向簧片的三個(gè)角分別與三角板的三個(gè)突臺連接，所述導(dǎo)向簧片與三角板的連接位置 低于承片臺與三角板的連接位置。
專利摘要本實(shí)用新型的垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)包括承片臺、底板、導(dǎo)向簧片、數(shù)個(gè)設(shè)置在底板上的位移傳感器、承載板、數(shù)組粗調(diào)機(jī)構(gòu)和數(shù)組微調(diào)機(jī)構(gòu)；所述承載板設(shè)置在承片臺下方，該承載板與承片臺連接，帶動承片臺垂向運(yùn)動；所述導(dǎo)向簧片設(shè)置在承片臺和承載板之間，該導(dǎo)向簧片與承載板連接；所述數(shù)組微調(diào)機(jī)構(gòu)均布在底板上；所述數(shù)組粗調(diào)機(jī)構(gòu)與數(shù)組微調(diào)機(jī)構(gòu)一一對應(yīng)，所述粗調(diào)機(jī)構(gòu)連接承載板與微調(diào)機(jī)構(gòu)；所述數(shù)個(gè)位移傳感器與數(shù)組微調(diào)機(jī)構(gòu)一一對應(yīng)，設(shè)置在微調(diào)機(jī)構(gòu)的一側(cè)，實(shí)時(shí)監(jiān)控微調(diào)機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型的垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，運(yùn)動平穩(wěn)性好，磨損小，使用壽命長。
文檔編號G03F7/20GK201583784SQ20092020771
公開日2010年9月15日 申請日期2009年8月11日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月11日
發(fā)明者周清華, 繆俊杰 申請人:上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機(jī)械工程有限公司