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垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2749179

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本實(shí)用新型涉及調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu),尤其涉及一種運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)的垂向調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)。 背景技術(shù)一種現(xiàn)有技術(shù)是美國(guó)專(zhuān)利US005204712A公開(kāi)的一種3自由度的微動(dòng)臺(tái),該臺(tái)的基 本原理是通過(guò)三組凸輪機(jī)構(gòu),分布在三個(gè)點(diǎn)上,三個(gè)驅(qū)動(dòng)點(diǎn)通過(guò)一個(gè)柔性機(jī)構(gòu)連接到承片 臺(tái)上,并用簧片導(dǎo)向,共同驅(qū)動(dòng)承片臺(tái),從而實(shí)現(xiàn)調(diào)平和調(diào)焦功能。該臺(tái)的3個(gè)自由度調(diào)節(jié) 量不大,尤其是Z向自由度不能實(shí)現(xiàn)大行程調(diào)節(jié)。另一種現(xiàn)有技術(shù)是中國(guó)專(zhuān)利CN2580470公開(kāi)的一種三自由度超精密定位平臺(tái),該 臺(tái)體內(nèi)部呈等...
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