專利名稱：：感光性樹脂組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物。
背景技術(shù)：
：提出了在構(gòu)成液晶顯示裝置或觸摸屏等顯示裝置的濾色器與陣列基板之間，通過使用感光性樹脂組合物的光刻法形成間隔體(光間隔體photospacer)的技術(shù)方案。根據(jù)該方法，可以在任意的場(chǎng)所形成間隔體。作為這種感光性樹脂組合物，已知含有作為不飽和羧酸和/或不飽和羧酸酐與脂肪族多環(huán)環(huán)氧化合物的共聚物的粘合劑樹脂、光聚合性化合物、光聚合引發(fā)劑和溶劑的樹脂組合物(專利文獻(xiàn)1)。專利文獻(xiàn)1:日本特開2008-181087號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容但是，利用上述感光性樹脂組合物時(shí)，得到的圖案的分辨率未必充分。本發(fā)明的目的在于，提供可以形成表現(xiàn)出充分的分辨率、高的透光率的圖案的感光性樹脂組合物。本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，在含有將不飽和羧酸和/或不飽和羧酸酐(A-a)、可以與該(A-a)共聚的單體(A-b)和/或具有碳原子數(shù)為24的環(huán)狀醚基的單體(A-c)聚合而成的粘合劑樹脂(A)，光聚合性化合物(C)以及光聚合引發(fā)劑(D)的感光性樹脂組合物中，通過使用選自羧酸酐和具有至少2個(gè)羧基的化合物中的至少1種化合物(B)，得到的圖案的分辨率提高。艮卩，本發(fā)明提供以下的[1][11]。[l].感光性樹脂組合物，其含有粘合劑樹脂(A)、選自羧酸酐和具有至少2個(gè)羧基的化合物中的至少1種化合物(B)、光聚合性化合物(C)以及光聚合引發(fā)劑(D)，粘合劑樹脂(A)為將選自不飽和羧酸和不飽和羧酸酐(A-a)中的至少1種單體、與選自可以與該(A-a)共聚的單體(A-b)和具有碳原子數(shù)為24的環(huán)狀醚基的單體(A-c)中的至少1種單體聚合而成的粘合劑樹脂。[2].[1]中記載的感光性樹脂組合物，其中，粘合劑樹脂(A)為將選自不飽和羧酸和不飽和羧酸酐(A-a)中的至少1種單體、與具有碳原子數(shù)為24的環(huán)狀醚基的單體(A-c)聚合而成的粘合劑樹脂。[3].[1]或[2]中記載的感光性樹脂組合物，其中，具有碳原子數(shù)為24的環(huán)狀醚基的單體(A-c)為具有環(huán)氧基的單體。[4].[3]中記載的感光性樹脂組合物，其中，具有環(huán)氧基的單體為具有脂肪族多環(huán)環(huán)氧基的單體。[5].[4]中記載的感光性樹脂組合物，其中，具有脂肪族多環(huán)環(huán)氧基的單體為選自式(I)所示的化合物和式(II)所示的化合物中的至少l種化合物。R，0IIIH7C=C—C-0-X(I)督。R20H2C-C""C-0-X20D[式(I)和式(II)中，&和R2分別獨(dú)立地表示氫原子或碳原子數(shù)為14的烷基。該烷基中含有的氫原子可以被羥基取代。&和X2分別獨(dú)立地表示單鍵或可以含有雜原子的碳原子數(shù)為16的亞烷基。][6].[1][5]中的任意一項(xiàng)記載的感光性樹脂組合物，其中，選自不飽和羧酸和不飽和羧酸酐(A-a)中的至少l種單體為脂肪族不飽和羧酸、脂肪族不飽和羧酸酐、或脂肪族不飽和羧酸和脂肪族不飽和羧酸酐。[7].[5]或[6]中記載的感光性樹脂組合物，其中，選自式(I)所示的化合物和式(II)所示的化合物中的至少l種化合物為選自式(I')所示的化合物和式(II')所示的化合物中的至少l種化合物。0[式(I')和式(II')中，R/和R2'分別獨(dú)立地表示氫原子或碳原子數(shù)為14的烷基。該烷基中含有的氫原子可以被羥基取代。][8].[1][7]中的任意一項(xiàng)記載的感光性樹脂組合物，其中，選自羧酸酐和具有至少2個(gè)羧基的化合物中的至少1種化合物(B)為羧酸酐。[9].用于形成涂膜或圖案的[1][8]中的任意一項(xiàng)記載的感光性樹脂組合物的應(yīng)用。[10].涂膜或圖案，其是使用[1][8]中的任意一項(xiàng)記載的感光性樹脂組合物形成的。[ll].顯示裝置，其含有[10]中記載的涂膜或圖案。具體實(shí)施例方式以下對(duì)本發(fā)明進(jìn)行具體的說明。本發(fā)明的感光性樹脂組合物，含有粘合劑樹脂(A)、選自羧酸酐和具有至少2個(gè)羧基的化合物中的至少1種化合物(B)、光聚合性化合物(C)以及光聚合引發(fā)劑(D)，粘合劑樹脂(A)為至少將不飽和羧酸和/或不飽和羧酸酐(A-a)、可以與該(A_a)共聚的單體(A-b)和/或具有碳原子數(shù)為24的環(huán)狀醚基的單體(A-c)聚合而成的粘合劑樹脂。作為本發(fā)明的感光性樹脂組合物中使用的粘合劑樹脂(A)，可以舉出粘合劑樹脂(Al)、粘合劑樹脂(A2)。粘合劑樹脂(Al)表現(xiàn)出堿溶解性，粘合劑樹脂(A2)表現(xiàn)出堿溶解性以及通過光和熱中的至少任意一種作用而實(shí)現(xiàn)的反應(yīng)性。作為粘合劑樹脂(Al)，可以舉出選自不飽和羧酸和不飽和羧酸酐中的至少1種(A-a)(以下有時(shí)稱為"(A-a)")與可以與(A_a)共聚的單體(A_b)(其中(A_a)除外)(以下有時(shí)稱為"(A-b)")的共聚物等。作為(A-a)，可以舉出例如，脂肪族不飽和羧酸和/或脂肪族不飽和羧酸酐等，具體地說，可以舉出例如丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸等不飽和單羧酸類，馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸、衣康酸等不飽和二羧酸類，以及上述不飽和二羧酸類的酸酐，琥珀酸單[2_(甲基)丙烯酰氧基乙基]酉旨、鄰苯二甲酸單[2_(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯等二元以上多元羧酸的不飽和單[(甲基)丙烯酰氧基烷基]酯類，a-(羥甲基)丙烯酸等的同一分子中含有羥基和羧基的不飽和丙烯酸酯類等。其中，從共聚反應(yīng)性方面、堿溶解性方面考慮，優(yōu)選使用丙烯酸、甲基丙烯酸或馬來酸酐等。它們單獨(dú)或組合使用。作為(A-b)，可以舉出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯等(甲基)丙烯酸烷基酯類，(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸2_甲基環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸三環(huán)[5.2.1.026]癸烷-8-基酯(該
技術(shù)領(lǐng)域：
中，作為慣用名，稱為(甲基)丙烯酸雙環(huán)戊酯)、(甲基)丙烯酸雙環(huán)戊氧基乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯等(甲基)丙烯酸環(huán)狀烷基酯類，丙烯酸環(huán)己酯、丙烯酸2_甲基環(huán)己酯、丙烯酸三環(huán)[5.2.1.(f6]癸烷-8-基酯(該
技術(shù)領(lǐng)域：
中，作為慣用名，稱為丙烯酸雙環(huán)戊酯)、丙烯酸雙環(huán)戊氧基乙酯、丙烯酸異冰片酯等丙烯酸環(huán)狀烷基酯類，(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯等(甲基)丙烯酸芳基酯類，丙烯酸苯酯、丙烯酸苯甲酯等丙烯酸芳基酯類，馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯、衣康酸二乙酯等二羧酸二酯，(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯等羥基烷基酯類，二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5_甲基二環(huán)[2.2.1]庚_2-烯、5_乙基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-(2'-羥乙基)二環(huán)[2.2.1]庚-2_烯、5_甲氧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-乙氧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二羥基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二羧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(羥甲基)二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(2'-羥乙基)二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二甲氧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二乙氧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基-5-甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5_羥基-5-乙基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基二環(huán)[2.2.1]庚_2_烯、5-羥甲基-5-甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-乙基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二羧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯酐(降冰片烯二羧酸酐(/、4S'7々酸無水物))、5-叔丁氧基羰基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-環(huán)己氧基羰基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-苯氧基羰基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(叔丁氧基羰基)二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(環(huán)己氧基羰基)二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯等二環(huán)不飽和化合物類，N-苯基馬來酰亞胺、N-環(huán)己基馬來酰亞胺、N-芐基馬來酰亞胺、N-琥珀酰亞胺基_3-馬來酰亞胺苯甲酸酯、N-琥珀酰亞胺基-4-馬來酰亞胺丁酸酯、N-琥珀酰亞胺基-6-馬來酰亞胺己酸酯J-琥珀酰亞胺基-3-馬來酰亞胺丙酸酯J-(9-吖啶基)馬來酰亞胺等二羰基酰亞胺衍生物類，苯乙烯、a-甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對(duì)甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對(duì)甲氧基苯乙烯、丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、乙酸乙烯酯、1，3_丁二烯、異戊二烯、2，3-二甲基-1，3-丁二烯等。其中，從共聚反應(yīng)性和堿溶解性方面考慮，優(yōu)選為苯乙烯、N-苯基馬來酰亞胺、N-環(huán)己基馬來酰亞胺、N-芐基馬來酰亞胺、二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯等。(A-a)和(A-b)單獨(dú)或組合使用。本說明書中，(甲基)丙烯酸酯指的是丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯。在將(A-a)和(A-b)共聚得到的共聚物中，由各自導(dǎo)入的構(gòu)成成分的比率，在構(gòu)成上述共聚物的構(gòu)成成分的總計(jì)摩爾數(shù)為100摩爾％時(shí)，按照摩爾分?jǐn)?shù)優(yōu)選在以下的范圍。由(A-a)導(dǎo)入的構(gòu)成單元240摩爾％由(A-b)導(dǎo)入的構(gòu)成單元6098摩爾％此外，若上述構(gòu)成成分的比率在以下的范圍則更優(yōu)選。由(A-a)導(dǎo)入的構(gòu)成單元535摩爾％若上述構(gòu)成比率在上述范圍，則有保存穩(wěn)定性、顯影性和耐溶劑性變得良好的趨勢(shì)。粘合劑樹脂(Al)例如可以參考文獻(xiàn)《高分子合成的實(shí)驗(yàn)法》(大津隆行著發(fā)行所(株)化學(xué)同人第1版第1刷1972年3月1日發(fā)行)中記載的方法和該文獻(xiàn)中記載的引用文獻(xiàn)來制備。具體地說，將構(gòu)成共聚物的單元(A-a)和(A-b)的規(guī)定量、聚合引發(fā)劑和溶劑加入到反應(yīng)容器中，用氮置換氧，由此在氧不存在的條件下，進(jìn)行攪拌、加熱、保溫，從而得到聚合物。而且，對(duì)于得到的共聚物，可以直接使用反應(yīng)后的溶液，也可以使用濃縮或稀釋的溶液，還可以使用通過再沉淀等方法以固體(粉末)形式得到的物質(zhì)。粘合劑樹脂(Al)的聚苯乙烯換算重均分子量優(yōu)選為3000100000，更優(yōu)選為500050000。若具有堿溶解性的樹脂(Al)的重均分子量在上述范圍，則存在涂布性變得良好的趨勢(shì)，此外在顯影時(shí)不易產(chǎn)生膜損傷(膜減15)，進(jìn)而存在在顯影時(shí)非像素部分的脫離性(抜W性)變得良好的趨勢(shì)，所以優(yōu)選。粘合劑樹脂(Al)的分子量分布[重均分子量(Mw)/數(shù)均分子量(Mn)]優(yōu)選為1.16.O，更優(yōu)選為1.24.0。若分子量分布在上述范圍，則由于存在顯影性優(yōu)異的趨勢(shì)而優(yōu)選?？梢杂糜诒景l(fā)明的感光性樹脂組合物中的粘合劑樹脂(Al)的含量，相對(duì)于感光性樹脂組合物中的固體成分，按照質(zhì)量分?jǐn)?shù)，優(yōu)選為590質(zhì)量％，更優(yōu)選為1070質(zhì)量％。若粘合劑樹脂(Al)的含量在上述范圍，則在顯影液中的溶解性充分，在非像素部分的基板上不易產(chǎn)生顯影殘?jiān)?，此外，在顯影時(shí)不易產(chǎn)生曝光部的像素部分的膜損傷，存在非曝光部分的脫離性變得良好的趨勢(shì)，所以優(yōu)選。作為表現(xiàn)出堿溶解性以及通過光和熱中的至少一種作用而實(shí)現(xiàn)的反應(yīng)性的粘合劑樹脂(A2)，可以舉出(A2-l)(A2-3)。粘合劑樹脂(A2-l)為(A-a)、(A_b)與具有碳原子數(shù)為24的環(huán)狀醚基的單體(A-c)(以下有時(shí)稱為"(A-c)")的共聚物。粘合劑樹脂(A2-2)為使(A-a)與(A_b)的共聚物中的來自(A_a)的羧基的一部分與來自(A-c)的碳原子數(shù)為24的環(huán)狀醚基反應(yīng)得到的共聚物。粘合劑樹脂(A2-3)為(A-a)與(A_c)的共聚物。(A-c)例如指的是具有選自碳原子數(shù)為24的環(huán)狀醚基(例如，環(huán)氧基、氧雜環(huán)丁基和四氫呋喃基)中的至少l種基團(tuán)的聚合性化合物。(A-c)優(yōu)選為具有選自碳原子數(shù)為24的環(huán)狀醚基中的至少1種基團(tuán)且具有不飽和鍵的化合物。更優(yōu)選為具有選自具有碳原子數(shù)為24的環(huán)狀醚結(jié)構(gòu)的基團(tuán)中的至少1種基團(tuán)且具有丙烯酰基或甲基丙烯?；幕衔?。作為(A-c)，可以舉出例如，具有環(huán)氧基的單體、具有氧雜環(huán)丁基的單體、具有四氫呋喃基的單體等。上述具有環(huán)氧基的單體例如指的是具有選自脂肪族環(huán)氧基和脂環(huán)環(huán)氧基中的至少1種基團(tuán)的聚合性化合物。該具有環(huán)氧基的單體優(yōu)選為具有選自脂肪族環(huán)氧基和脂環(huán)環(huán)氧基中的至少1種基團(tuán)且具有不飽和鍵的化合物。作為上述具有環(huán)氧基的單體中具有脂肪族環(huán)氧基的化合物，具體地說，可以舉出(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸P_甲基縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸P_乙基縮水甘油酯、縮水甘油基乙烯基醚、日本特開平7-248625號(hào)公報(bào)中記載的下式所示的化合物等。(式中，R11R13分別獨(dú)立地為氫原子或碳原子數(shù)為110的烷基，m為15的整數(shù))。作為上式所示的化合物，可以舉出例如，鄰乙烯基芐基縮水甘油基醚、間乙烯基芐基縮水甘油基醚、對(duì)乙烯基芐基縮水甘油基醚、a-甲基-鄰乙烯基芐基縮水甘油基醚、a_甲基-間乙烯基節(jié)基縮水甘油基醚、a_甲基_對(duì)乙烯基節(jié)基縮水甘油基醚、2，3-二縮水甘油基氧基甲基苯乙烯、2，4-二縮水甘油基氧基甲基苯乙烯、2，5-二縮水甘油基氧基甲基苯乙烯、2，6-二縮水甘油基氧基甲基苯乙烯、2，3，4_三縮水甘油基氧基甲基苯乙烯、2，3，5-三縮水甘油基氧基甲基苯乙烯、2，3，6-三縮水甘油基氧基甲基苯乙烯、3，4，5-三縮水甘油基氧基甲基苯乙烯、2，4，6-三縮水甘油基氧基甲基苯乙烯等。作為上述具有環(huán)氧基的單體中具有脂環(huán)環(huán)氧基的單體，可以舉出例如，具有脂肪族單環(huán)環(huán)氧基的單體、具有脂肪族多環(huán)環(huán)氧基的單體等。上述具有脂肪族單環(huán)環(huán)氧基的單體指的是在脂肪族單環(huán)化合物的環(huán)上具有環(huán)氧基的聚合性化合物。該具有脂肪族單環(huán)環(huán)氧基的單體優(yōu)選為在脂肪族單環(huán)化合物的環(huán)上具有環(huán)氧基且具有不飽和鍵的化合物，更優(yōu)選具有單環(huán)的脂環(huán)式烴的環(huán)與環(huán)氧環(huán)稠合而成的結(jié)構(gòu)、且具有丙烯?；蚣谆；幕衔?。作為該脂肪族單環(huán)化合物，可以舉出例如，環(huán)戊烷、環(huán)己烷、環(huán)庚烷、環(huán)辛烷等，其中，優(yōu)選碳原子數(shù)為57的化合物。作為該具有脂肪族單環(huán)環(huán)氧基的單體，具體地說，可以舉出一氧化乙烯基環(huán)己烯1，2-環(huán)氧-4-乙烯基環(huán)己烷(例如，七口*寸^卜'2000，夕'^七^化學(xué)工業(yè)(株)制)、丙烯酸3，4-環(huán)氧環(huán)己基甲基酯(例如，寸^夕口7—A400，夕"^七^化學(xué)工業(yè)(株)制)、甲基丙烯酸3，4-環(huán)氧環(huán)己基甲基酯(例如，寸^夕口7—M100，夕"^七^化學(xué)工業(yè)(株)制)等。上述具有脂肪族多環(huán)環(huán)氧基的單體指的是在脂肪族多環(huán)化合物的環(huán)上具有環(huán)氧基的聚合性化合物。該具有脂肪族多環(huán)環(huán)氧基的單體優(yōu)選為在脂肪族多環(huán)化合物的環(huán)上具有環(huán)氧基且具有不飽和鍵的化合物，更優(yōu)選具有多環(huán)的脂環(huán)式烴的環(huán)與環(huán)氧環(huán)稠合而成的結(jié)構(gòu)、且具有丙烯?；蚣谆；幕衔?。作為該脂肪族多環(huán)化合物，可以舉出例如，雙環(huán)戊烷、三環(huán)癸烷、降冰片烷、異降冰片烷、雙環(huán)辛烷、雙環(huán)壬烷、雙環(huán)十一烷、三環(huán)十一烷、雙環(huán)十二烷、三環(huán)十二烷等，其中，優(yōu)選碳原子數(shù)為812的化合物。作為上述具有脂肪族多環(huán)環(huán)氧基的單體，可以舉出例如丙烯酸3，4-環(huán)氧降冰片酯、甲基丙烯酸3，4-環(huán)氧降冰片酯、選自式(I)所示的化合物和式(II)所示的化合物中的至少l種化合物等。式(I)和式(II)中，&和R2分別獨(dú)立地表示氫原子或可以被羥基取代的碳原子數(shù)為14的烷基。&和X2分別獨(dú)立地表示單鍵或可以含有雜原子的碳原子數(shù)為16的亞烷基。作為1^和12，具體地說，可以舉出氫原子，甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基等烷基，羥甲基、l-羥基乙基、2-羥基乙基、l-羥基正丙基、2-羥基正丙基、3-羥基正丙基、1-羥基異丙基、2_羥基異丙基、1-羥基正丁基、2_羥基正丁基、3_羥基正丁基、4_羥基正丁基等含羥基的烷基。其中，優(yōu)選舉出氫原子、甲基、羥甲基、l-羥基乙基、2-羥基乙基，更優(yōu)選舉出氫原子、甲基。作為&和^，具體地說，可以舉出單鍵，亞甲基、亞乙基、亞丙基等亞烷基，氧基亞甲基、氧基亞乙基、氧基亞丙基、硫基亞甲基、硫基亞乙基、硫基亞丙基、氨基亞甲基、氨基亞乙基、氨基亞丙基等含雜原子的亞烷基等。其中，優(yōu)選舉出單鍵、亞甲基、亞乙基、氧基亞甲基、氧基亞乙基，更優(yōu)選舉出單鍵、氧基亞乙基。作為選自式(I)所示的化合物和式(II)所示的化合物中的至少1種化合物，優(yōu)選為選自下述式(I')所示的化合物和式(II')所示的化合物中的至少1種化合物。Rj'0H2C=C-ft-0-H2C:式(I，)和式(11，)中，R/禾nR/的定義分別與上述Ri和R2相同。作為式(i)所示的化合物，具體地說，可以舉出例如，式(1-1)式(1-15)所示的化合物等，優(yōu)選舉出式(I-l)、式(I-3)、式(I-5)、式(I-7)、式(I-9)、式(H1)式(I-15)，更優(yōu)選舉出式(1-1)、式(I-7)、式(1-9)、式(1-15)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage10</formula>作為式(II)所示的化合物，具體地說，可以舉出例如，式(II-l)式(11-15)所示的化合物等，優(yōu)選舉出式(11-1)、式(11-3)、式(11-5)、式(II-7)、式(11-9)、式(ii-ii)式(n-i5)，更優(yōu)選舉出式(n-i)、式(n-7)、式(n-9)、式(n-i5)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage11</formula>選自式(i)所示的化合物和式(ii)所示的化合物中的至少1種化合物可以分別單獨(dú)使用，也可以以任意的比率混合?；旌蠒r(shí)，其混合比率按照摩爾比優(yōu)選為式(1):式(11)為5:9595:5，更優(yōu)選為10:9090:10，進(jìn)一步優(yōu)選為20:8080:20。上述具有氧雜環(huán)丁基的單體例如指的是具有選自脂肪族氧雜環(huán)丁基和脂環(huán)氧雜環(huán)丁基中的至少1種基團(tuán)的聚合性化合物。該具有氧雜環(huán)丁基的單體優(yōu)選為具有選自脂肪族氧雜環(huán)丁基和脂環(huán)氧雜環(huán)丁基中的至少1種基團(tuán)且具有不飽和鍵的化合物。作為該具有氧雜環(huán)丁基的單體，具體地說，可以舉出3-甲基-3_甲基丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷、3_甲基_3-丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷、3-乙基-3_甲基丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷、3_乙基_3-丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷、3-甲基-3_甲基丙烯酰氧基乙基氧雜環(huán)丁烷、3-甲基-3-丙烯酰氧基乙基氧雜環(huán)丁烷、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧基乙基氧雜環(huán)丁烷或3-乙基-3-丙烯酰氧基乙基氧雜環(huán)丁烷等。它們單獨(dú)或組合使用。上述具有四氫呋喃基的單體例如指的是具有選自脂肪族四氫呋喃基和脂環(huán)四氫呋喃基中的至少1種基團(tuán)的聚合性化合物。該具有四氫呋喃基的單體優(yōu)選為具有選自脂肪族四氫呋喃基和脂環(huán)四氫呋喃基中的至少1種基團(tuán)且具有不飽和鍵的化合物。作為該具有四氫呋喃基的單體，具體地說，可以舉出丙烯酸四氫糠基酯(例如，e》-一卜Vftl50、大阪有機(jī)化學(xué)工業(yè)(株)制)、甲基丙烯酸四氫糠基酯等。它們單獨(dú)或組合使用。在粘合劑樹脂(A2-l)中，由各自導(dǎo)入的構(gòu)成成分的比率，相對(duì)于構(gòu)成粘合劑樹脂(A2-l)的構(gòu)成成分的總計(jì)摩爾數(shù)，按照摩爾分?jǐn)?shù)優(yōu)選在以下的范圍。由(A-a)導(dǎo)入的構(gòu)成單元240摩爾％由(A-b)導(dǎo)入的構(gòu)成單元165摩爾％由(A-c)導(dǎo)入的構(gòu)成單元295摩爾％此外，若上述構(gòu)成成分的比率在以下的范圍則更優(yōu)選。由(A-a)導(dǎo)入的構(gòu)成單元535摩爾％由(A-b)導(dǎo)入的構(gòu)成單元160摩爾％由(A-c)導(dǎo)入的構(gòu)成單元580摩爾％若上述構(gòu)成比率在上述范圍，則保存穩(wěn)定性、顯影性、耐溶劑性、耐熱性和機(jī)械強(qiáng)度有變得良好的趨勢(shì)。粘合劑樹脂(A2-l)例如可以參考文獻(xiàn)《高分子合成的實(shí)驗(yàn)法》(大津隆行著發(fā)行所(株)化學(xué)同人第1版第1刷1972年3月1日發(fā)行)中記載的方法和該文獻(xiàn)中記載的引用文獻(xiàn)來制備。具體地說，將導(dǎo)入構(gòu)成共聚物的單元(A-a)、(A-b)和(A-c)的化合物的規(guī)定量、聚合引發(fā)劑和溶劑加入到反應(yīng)容器中，用氮置換氧，由此在氧不存在的條件下，進(jìn)行攪拌、加熱、保溫，從而得到聚合物。而且，得到的共聚物可以直接使用反應(yīng)后的溶液，也可以使用濃縮或稀釋的溶液，還可以使用通過再沉淀等方法以固體(粉末)形式得到的物質(zhì)。制備粘合劑樹脂(A2-2)時(shí)，首先使(A-a)和(A_b)共聚來制備共聚物。由各自導(dǎo)入的構(gòu)成成分的比率，相對(duì)于構(gòu)成上述共聚物的構(gòu)成成分的總計(jì)摩爾數(shù)，按照摩爾分?jǐn)?shù)優(yōu)選在以下的范圍。由(A-a)導(dǎo)入的構(gòu)成單元550摩爾％由(A-b)導(dǎo)入的構(gòu)成單元5095摩爾％此外，若上述構(gòu)成成分的比率在以下的范圍則更優(yōu)選。由(A-a)導(dǎo)入的構(gòu)成單元1045摩爾％由(A-b)導(dǎo)入的構(gòu)成單元5590摩爾％接著為了使其具有通過光、熱的作用而實(shí)現(xiàn)的反應(yīng)性，使來自將(A-a)和(A-b)共聚得到的共聚物的(A-a)的羧酸和羧酸酐的一部分，與來自(A-c)的環(huán)氧基、氧雜環(huán)丁基或四氫呋喃基反應(yīng)。(A-c)的摩爾數(shù)，相對(duì)于(A-a)的摩爾數(shù)為580摩爾％，優(yōu)選為1075摩爾％，更優(yōu)選為1570摩爾％。若構(gòu)成比率在上述范圍，則保存穩(wěn)定性、顯影性、耐溶劑性、耐熱性、機(jī)械強(qiáng)度和靈敏度的綜合性能有變得良好的趨勢(shì)。粘合劑樹脂(A2-2)可以經(jīng)過兩階段的步驟來制備。例如可以參考文獻(xiàn)《高分子合成的實(shí)驗(yàn)法》(大津隆行著發(fā)行所(株)化學(xué)同人第1版第1刷1972年3月1日發(fā)行)中記載的方法、日本特開2001-89533號(hào)公報(bào)中記載的方法來制備。具體地說，首先對(duì)第一階段的步驟進(jìn)行說明。將導(dǎo)出構(gòu)成將(A-a)和(A-b)共聚得到的共聚物(即粘合劑樹脂)的單元(A-a)和(A-b)的化合物的規(guī)定量、聚合引發(fā)劑和溶劑加入到反應(yīng)容器中，用氮置換氧，由此在氧不存在的條件下，進(jìn)行攪拌、加熱、保溫，從而得到粘合劑樹脂。而且，得到的樹脂可以直接使用反應(yīng)后的溶液、也可以使用濃縮或稀釋的溶液、還可以使用通過再沉淀等方法以固體(粉末)形式得到的物質(zhì)。上述樹脂的聚苯乙烯換算重均分子量優(yōu)選為3000100000，更優(yōu)選為500050000。若樹脂的重均分子量在上述范圍，則存在涂布性變得良好的趨勢(shì)，此外在顯影時(shí)不易產(chǎn)生膜損傷，進(jìn)而存在在顯影時(shí)非像素部分的脫離性良好的趨勢(shì)，所以優(yōu)選。上述樹脂的分子量分布[重均分子量(Mw)/數(shù)均分子量(Mn)]優(yōu)選為1.16.0，更優(yōu)選為1.24.0。若分子量分布在上述范圍，則由于存在涂布性或顯影性優(yōu)異的趨勢(shì)，所以優(yōu)選。接著，對(duì)第二階段的步驟進(jìn)行說明。接著，將燒瓶內(nèi)氛圍氣體由氮置換為空氣，將相對(duì)于構(gòu)成成分(A-a)的摩爾數(shù)為580摩爾％的構(gòu)成成分(A-c)，相對(duì)于單體(A_a)(A-c)的總量按照質(zhì)量基準(zhǔn)為0.0015%的作為羧基與環(huán)氧基、氧雜環(huán)丁基或四氫呋喃基的反應(yīng)催化劑的例如三(二甲基氨基)甲基苯酚，以及相對(duì)于單體(A-a)(A-c)的總量按照質(zhì)量基準(zhǔn)為0.0015%的作為聚合抑制劑的例如氫醌加入到燒瓶內(nèi)，在60130°C下持續(xù)反應(yīng)110小時(shí)，由此可以使上述樹脂與構(gòu)成成分(A-c)反應(yīng)。而且，與聚合條件同樣地，可以考慮制備設(shè)備、聚合產(chǎn)生的放熱量等來適當(dāng)調(diào)整加入方法或反應(yīng)溫度。在粘合劑樹脂(A2-3)中，由各自導(dǎo)入的構(gòu)成成分的比率，相對(duì)于構(gòu)成粘合劑樹脂(A2-3)的構(gòu)成成分的總計(jì)摩爾數(shù)，按照摩爾分?jǐn)?shù)，優(yōu)選在以下的范圍。由(A-a)導(dǎo)入的構(gòu)成單元595摩爾％由(A-c)導(dǎo)入的構(gòu)成單元595摩爾％此外，若上述構(gòu)成成分的比率在以下的范圍則更優(yōu)選。由(A-a)導(dǎo)入的構(gòu)成單元1090摩爾％由(A-c)導(dǎo)入的構(gòu)成單元1090摩爾％若上述構(gòu)成比率在上述范圍，則保存穩(wěn)定性、顯影性、耐溶劑性、耐熱性和機(jī)械強(qiáng)度有變得良好的趨勢(shì)。粘合劑樹脂(A2-3)例如可以參考文獻(xiàn)《高分子合成的實(shí)驗(yàn)法》(大津隆行著發(fā)行所(株)化學(xué)同人第1版第1刷1972年3月1日發(fā)行)中記載的方法和該文獻(xiàn)中記載的引用文獻(xiàn)來制備。具體地說，將導(dǎo)出構(gòu)成共聚物的單元(A-a)和(A-c)的化合物的規(guī)定量、聚合引發(fā)劑和溶劑加入到反應(yīng)容器中，用氮置換氧，由此在氧不存在的條件下，進(jìn)行攪拌、加熱、保溫，從而得到聚合物。而且，得到的共聚物可以直接使用反應(yīng)后的溶液，也可以使用濃縮或稀釋的溶液，還可以使用通過再沉淀等方法以固體(粉末)形式得到的物質(zhì)。作為本發(fā)明的感光性樹脂組合物中含有的選自羧酸酐和具有至少2個(gè)羧基的化合物中的至少l種化合物(B)，可以舉出例如，多元羧酸酐、多元羧酸等。作為上述多元羧酸酐，可以舉出例如，衣康酸酐、琥珀酸酐、檸康酸酐、十二碳烯基琥珀酸酐、丙三羧酸酐、馬來酸酐、六氫鄰苯二甲酸酐、甲基四氫鄰苯二甲酸酐、降冰片烯二羧酸、降冰片烯二羧酸酐等脂肪族二羧酸酐，1，2，3，4-丁烷四羧酸二酐、環(huán)戊烷四羧酸二酐等脂肪族多元羧酸二酐，苯二甲酸酐、均苯四酸酐、偏苯三酸酐、二苯甲酮四羧酸酐等芳族多元羧酸酐，乙二醇二偏苯三酸酯、甘油三偏苯三酸酯等含酯鍵的酸酐等。其中，從透明性高、分辨率高方面考慮，優(yōu)選為鄰苯二甲酸酐、偏苯三酸酐。此外，作為該羧酸酐，可以合適地使用市售的無色的含有酸酐的環(huán)氧樹脂固化劑。具體地說，可以舉出7亍"力/、一卜'f一EH-700(商品名(以下相同)、旭電化工業(yè)(株)制)，'J力-〉7卜'一HH、'J力-〉7卜'一MH-700(新日本理化(株)制)，二匕°*二7126、二匕°*二7YH-306、二匕°*二7DX-126(油化-〉二A二水*-〉(株)制)等。作為上述多元羧酸，可以舉出例如，琥珀酸、戊二酸、己二酸、丁烷四羧酸、馬來酸、衣康酸等脂肪族多元羧酸，六氫鄰苯二甲酸、l，2-環(huán)己烷羧酸、l，2，4-環(huán)己烷三羧酸、環(huán)戊烷四羧酸等脂環(huán)族多元羧酸，鄰苯二甲酸、間苯二甲酸、對(duì)苯二甲酸、偏苯三酸、均苯四酸、l，4，5，8-萘四羧酸、二苯甲酮四羧酸等芳族多元羧酸等。其中，從透明性高、分辨率高方面考慮，優(yōu)選為鄰苯二甲酸、偏苯三酸。這些多元羧酸酐和多元羧酸可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上并用。本發(fā)明的感光性樹脂組合物中的化合物(B)的含量，相對(duì)于粘合劑樹脂(A)和光聚合性化合物(C)的總量按照質(zhì)量分?jǐn)?shù)，優(yōu)選為0.120質(zhì)量％，更優(yōu)選為115質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為210質(zhì)量％，進(jìn)一步更優(yōu)選為28質(zhì)量％。化合物(B)的含量小于0.1質(zhì)量％時(shí)，分辨率有可能降低。另一方面，化合物(B)的含量超過20質(zhì)量％時(shí)，殘膜率有可能降低。作為本發(fā)明的感光性樹脂組合物中含有的光聚合性化合物(C)，可以舉出單官能單體、雙官能單體或其它3官能以上的多官能單體等。作為單官能單體的具體例子，可以舉出壬基苯基卡必醇(甲基)丙烯酸酯、2-羥基-3-苯氧基丙基(甲基)丙烯酸酯、2-乙基己基卡必醇(甲基)丙烯酸酯、2-羥乙基(甲基)丙烯酸酯、月桂基(甲基)丙烯酸酯、硬脂基(甲基)丙烯酸酯、2_(2-乙氧基乙氧基)乙基(甲基)丙烯酸酯、四氫糠基(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化壬基苯酚(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化壬基苯酚(甲基)丙烯酸酯或N-乙烯基吡咯烷酮等。此外，作為雙官能單體的具體例子，可以舉出1，3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，3-丁二醇(甲基)丙烯酸酯、1，6_己二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、雙酚A的二(丙烯酰氧基乙基)醚、乙氧基化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯或3-甲基戊二醇二(甲基)丙烯酸酯等。作為其它的3官能以上的多官能單體的具體例子，可以舉出三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥乙基)異氰脲酸酯三(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應(yīng)物、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應(yīng)物、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯與酸酐己內(nèi)酯改性三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性三(2-羥乙基)異氰脲酸酯三(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性三季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應(yīng)物、己內(nèi)酯改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應(yīng)物、或己內(nèi)酯改性三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯與酸酐等。而且，本說明書中，己內(nèi)酯改性指的是在(甲基)丙烯酸酯化合物的來自醇的部位與(甲基)丙烯酰氧基之間，導(dǎo)入己內(nèi)酯的開環(huán)體或開環(huán)聚合物。特別優(yōu)選使用2官能以上的多官能單體。這些光聚合性化合物(C)可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上并用。光聚合性化合物(C)的含量，相對(duì)于粘合劑樹脂(A)和光聚合性化合物(C)的總量按照質(zhì)量分?jǐn)?shù)優(yōu)選為170質(zhì)量％，更優(yōu)選為560質(zhì)量％。若光聚合性化合物(C)的含量在上述范圍，則存在靈敏度、涂膜和圖案的強(qiáng)度、平滑性、可靠性和機(jī)械強(qiáng)度變得良好的趨勢(shì)，所以優(yōu)選。作為本發(fā)明的感光性樹脂組合物中含有的光聚合引發(fā)劑(D)，為通過光或熱的作用引發(fā)聚合的化合物，優(yōu)選為聯(lián)咪唑(e^$夕''/一^)類化合物、苯乙酮類化合物、三嗪類化合物、?；趸㈩惢衔锘螂款惢衔?，聯(lián)咪唑類化合物由于靈敏度優(yōu)異而特別優(yōu)選。作為上述聯(lián)咪唑化合物，可以舉出2，2'_二(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基聯(lián)咪唑、2，2'-二(2，3-二氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基聯(lián)咪唑(例如參照日本特開平6-75372號(hào)公報(bào)、日本特開平6-75373號(hào)公報(bào)等)，2，2'-二(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基聯(lián)咪唑、2，2'-二(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四(烷氧基苯基)聯(lián)咪唑、2，2'-二(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四(二烷氧基苯基)聯(lián)咪唑、2，2'-二(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四(三烷氧基苯基)聯(lián)咪唑(例如參照日本特公昭48-38403號(hào)公報(bào)、日本特開昭62-174204號(hào)公報(bào)等)，4，4'，5，5'-位的苯基被烷氧羰基取代的咪唑化合物(例如參照日本特開平7-10913號(hào)公報(bào)等)等，優(yōu)選舉出2，2'-二(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基聯(lián)咪唑、2，2'-二(2，3_二氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基聯(lián)咪唑、2，2'-二(2，4-二氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基聯(lián)咪唑。作為上述苯乙酮類化合物，可以舉出二乙氧基苯乙酮、2-羥基-2-甲基-l-苯基丙烷-l-酮、安息香雙甲醚(《，A少夕一^)、2-羥基-l-[4-(2-羥基乙氧基)苯基]-2-甲基丙烷-1-酮、2-羥基-1-{4-[4-(2-羥基-2-甲基-丙酰基)_節(jié)基]_苯基}-2-甲基-丙烷-1-酮、1_羥基環(huán)己基苯基酮、2-甲基-1-(4-甲基硫基苯基)-2-嗎啉代基丙烷-1-酮、2_節(jié)基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代基苯基)丁烷-1-酮、2-(2-甲基節(jié)基)-2-二甲基氨基-l-(4-嗎啉代基苯基)丁酮、2-(3-甲基節(jié)基)-2-二甲基氨基-l-(4-嗎啉代基苯基)丁酮、2-(4-甲基節(jié)基)-2-二甲基氨基-l-(4-嗎啉代基苯基)丁酮、2-(2-乙基節(jié)基)-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代基苯基)丁酮、2-(2-丙基節(jié)基)-2-二甲基氨基-1_(4-嗎啉代基苯基)丁酮、2-(2-丁基節(jié)基)_2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代基苯基)丁酮、2-(2，3-二甲基節(jié)基)-2-二甲基氨基-l-(4-嗎啉代基苯基)丁酮、2-(2，4_二甲基節(jié)基)-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代基苯基)丁酮、2-(2-氯節(jié)基)-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代基苯基)丁酮、2-(2-溴節(jié)基)-2-二甲基氨基-l-(4-嗎啉代基苯基)丁酮、2-(3-氯節(jié)基)-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代基苯基)丁酮、2-(4-氯節(jié)基)-2-二甲基氨基-l-(4-嗎啉代基苯基)丁酮、2-(3-溴節(jié)基)-2-二甲基氨基-l-(4-嗎啉代基苯基)丁酮、2-(4-溴節(jié)基)-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代基苯基)丁酮、2-(2-甲氧基節(jié)基)-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代基苯基)丁酮、2-(3-甲氧基節(jié)基)-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代基苯基)丁酮、2-(4-甲氧基節(jié)基)-2-二甲基氨基-l-(4-嗎啉代基苯基)丁酮、2-(2-甲基-4-甲氧基節(jié)基)-2-二甲基氨基-l-(4-嗎啉代基苯基)丁酮、2-(2-甲基-4-溴節(jié)基)-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代基苯基)丁酮、2-(2-溴-4-甲氧基節(jié)基)-2-二甲基氨基-l-(4-嗎啉代基苯基)丁酮、2-羥基-2-甲基-l-[4-(l-甲基乙烯基)苯基]丙烷-l-酮的低聚物等。作為上述三嗪類化合物，可以舉出2，4-二(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯基)-1，3，5-三嗪、2，4-二(三氯甲基)-6-(4-甲氧基萘基)-l，3，5-三嗪、2，4-二(三氯甲基)-6-胡椒基-l，3，5-三嗪、2，4-二(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯乙烯基)-l，3，5-三嗪、2，4-二(三氯甲基)-6-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-l，3，5-三嗪、2，4-二(三氯甲基)-6-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-l，3，5-三嗪、2，4-二(三氯甲基)_6-[2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-l，3，5-三嗪、2，4-二(三氯甲基)-6-[2-(3，4-二甲氧基苯基)乙烯基]-l，3，5-三嗪等。作為上述?；趸㈩愐l(fā)劑，可以舉出2，4，6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦等。作為上述肟化合物，可以舉出0-乙氧基羰基-a-氧基亞氨基-l-苯基丙烷-i-酮、式(IV)所示的化合物、式(V)所示的化合物等。(IV)若為不損害本發(fā)明效果的程度則可以進(jìn)一步并用光聚合引發(fā)劑等，作為該光聚合引發(fā)劑，可以舉出例如苯偶姻類化合物、二苯甲酮類化合物或噻噸酮類化合物等。更具體地說，可以舉出以下化合物，它們可以分別單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。作為上述苯偶姻類化合物，可以舉出例如，苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻異丙基醚或苯偶姻異丁基醚等。作為上述二苯甲酮類化合物，可以舉出例如，二苯甲酮、鄰苯甲?；郊姿峒柞?、4-苯基二苯甲酮、4-苯甲?；?4'-甲基二苯基硫醚、3，3'，4，4'-四(叔丁基過氧羰基)二苯甲酮或2，4，6-三甲基二苯甲酮等。作為上述噻噸酮類化合物，可以舉出例如，2-異丙基噻噸酮、4-異丙基噻噸酮、2，4-二乙基噻噸酮、2，4-二氯噻噸酮或1-氯-4-丙氧基噻噸酮等。此外，可以舉出10-丁基-2-氯吖啶酮、2-乙基蒽醌、聯(lián)苯酰、9，10-菲醌、樟腦醌、苯基乙醛酸甲酯或二茂鈦化合物等作為光聚合弓I發(fā)劑。此外，作為具有可以引起鏈轉(zhuǎn)移的基團(tuán)的光聚合引發(fā)劑，可以使用日本特表2002-544205號(hào)公報(bào)中記載的光聚合引發(fā)劑。作為上述具有可以引起鏈轉(zhuǎn)移的基團(tuán)的光聚合引發(fā)劑，可以舉出例如下式(5)下式(10)的光聚合引發(fā)劑。此外，可以使用光和/或熱陽離子聚合引發(fā)劑。光和/或熱陽離子聚合引發(fā)劑，可以使用由鎗陽離子和來自路易斯酸的陰離子構(gòu)成的聚合引發(fā)劑。作為上述鎗陽離子的具體例子，可以舉出二苯基碘鎗、二(對(duì)甲苯基)碘鎗、二(對(duì)叔丁基苯基)碘鎗、二(對(duì)辛基苯基)碘鎗、二(對(duì)十八烷基苯基)碘鎗、二(對(duì)辛氧基苯基)碘鎗、二(對(duì)十八烷氧基苯基)碘鎗、苯基(對(duì)十八烷氧基苯基)碘鎗、(對(duì)甲苯基)(對(duì)異丙基苯基)碘鎗、三苯基锍、三(對(duì)甲苯基)锍、三(對(duì)異丙基苯基)锍、三(2，6-二甲基苯基)锍、三(對(duì)叔丁基苯基)锍、三(對(duì)氰基苯基)锍、三(對(duì)氯苯基)锍、二甲基(甲氧基)锍、二甲基(乙氧基)锍、二甲基(丙氧基)锍、二甲基(丁氧基)锍、二甲基(辛氧基)锍、二甲基(十八烷氧基)锍、二甲基(異丙氧基)锍、二甲基(叔丁氧基)锍、二甲基(環(huán)戊氧基)锍、二甲基(環(huán)己氧基)锍、二甲基(氟甲氧基)锍、二甲基(2-氯乙氧基)锍、二甲基(3-溴丙氧基)锍、二甲基(4-氰基丁氧基)锍、二甲基(8-硝基辛氧基)锍、二甲基(18-三氟甲基十八烷氧基)锍、二甲基(2-羥基異丙氧基)锍或二甲基(三(三氯甲基)甲基)锍等。作為優(yōu)選的鎗陽離子，可以舉出二(對(duì)甲苯基)碘鎗、(對(duì)甲苯基)(對(duì)異丙基苯基)碘鎗、二(對(duì)叔丁基苯基)碘鎗、三苯基锍或三(對(duì)叔丁基苯基)锍等。作為上述來自路易斯酸的陰離子的具體例子，可以舉出六氟磷酸鹽、六氟砷酸鹽、六氟銻酸鹽或四(五氟苯基)硼酸鹽等。作為優(yōu)選的來自路易斯酸的陰離子，可以舉出六氟銻酸鹽或四(五氟苯基)硼酸鹽。上述鎗陽離子和來自路易斯酸的陰離子可以任意組合。作為陽離子聚合引發(fā)劑的具體例子，可以舉出六氟磷酸二苯基碘鎗、六氟磷酸二(對(duì)甲苯基)碘鎗、六氟磷酸二(對(duì)叔丁基苯基)碘鎗、六氟磷酸二(對(duì)辛基苯基)碘鎗、六氟磷酸二(對(duì)十八烷基苯基)碘鎗、六氟磷酸二(對(duì)辛氧基苯基)碘鎗、六氟磷酸二(對(duì)十八烷氧基苯基)碘鎗、六氟磷酸苯基(對(duì)十八烷氧基苯基)碘鎗、六氟磷酸(對(duì)甲苯基)(對(duì)異丙基苯基)碘鎗、六氟磷酸甲基萘基碘鎗、六氟磷酸乙基萘基碘鎗、六氟磷酸三苯基锍、六氟磷酸三(對(duì)甲苯基)锍、六氟磷酸三(對(duì)異丙基苯基)锍、六氟磷酸三(2，6_二甲基苯基)锍、六氟磷酸三(對(duì)叔丁基苯基)锍、六氟磷酸三(對(duì)氰基苯基)锍、六氟磷酸三(對(duì)氯苯基)锍、六氟磷酸二甲基萘基锍、六氟磷酸二乙基萘基锍、六氟磷酸二甲基(甲氧基)锍、六氟磷酸二甲基(乙氧基)锍、六氟磷酸二甲基(丙氧基)锍、六氟磷酸二甲基(丁氧基)锍、六氟磷酸二甲基(辛氧基)锍、六氟磷酸二甲基(十八烷氧基)锍、六氟磷酸二甲基(異丙氧基)锍、六氟磷酸二甲基(叔丁氧基)锍、六氟磷酸二甲基(環(huán)戊氧基)锍、六氟磷酸二甲基(環(huán)己氧基)锍、六氟磷酸二甲基(氟甲氧基)锍、六氟磷酸二甲基(2_氯乙氧基)锍、六氟磷酸二甲基(3-溴丙氧基)锍、六氟磷酸二甲基(4-氰基丁氧基)锍、六氟磷酸二甲基(8-硝基辛氧基)锍、六氟磷酸二甲基(18-三氟甲基十八烷氧基)锍、六氟磷酸二甲基(2-羥基異丙氧基)锍、六氟磷酸二甲基(三(三氯甲基)甲基)锍，六氟砷酸二苯基碘鎗、六氟砷酸二(對(duì)甲苯基)碘鎗、六氟砷酸二(對(duì)叔丁基苯基)碘鎗、六氟砷酸二(對(duì)辛基苯基)碘鎗、六氟砷酸二(對(duì)十八烷基苯基)碘鎗、六氟砷酸二(對(duì)辛氧基苯基)碘鎗、六氟砷酸二(對(duì)十八烷氧基苯基)碘鎗、六氟砷酸苯基(對(duì)十八烷氧基苯基)碘鎗、六氟砷酸(對(duì)甲苯基)(對(duì)異丙基苯基)碘鎗、六氟砷酸甲基萘基碘鎗、六氟砷酸乙基萘基碘鎗、六氟砷酸三苯基锍、六氟砷酸三(對(duì)甲苯基)锍、六氟砷酸三(對(duì)異丙基苯基)锍、六氟砷酸三(2，6-二甲基苯基)锍、六氟砷酸三(對(duì)叔丁基苯基)锍、六氟砷酸三(對(duì)氰基苯基)锍、六氟砷酸三(對(duì)氯苯基)锍、六氟砷酸二甲基萘基锍、六氟砷酸二乙基萘基锍、六氟砷酸二甲基(甲氧基)锍、六氟砷酸二甲基(乙氧基)锍、六氟砷酸二甲基(丙氧基)锍、六氟砷酸二甲基(丁氧基)锍、六氟砷酸二甲基(辛氧基)锍、六氟砷酸二甲基(十八烷氧基)锍、六氟砷酸二甲基(異丙氧基)锍、六氟砷酸二甲基(叔丁氧基)锍、六氟砷酸二甲基(環(huán)戊氧基)锍、六氟砷酸二甲基(環(huán)己氧基)锍、六氟砷酸二甲基(氟甲氧基)锍、六氟砷酸二甲基(2-氯乙氧基)锍、六氟砷酸二甲基(3-溴丙氧基)锍、六氟砷酸二甲基(4-氰基丁氧基)锍、六氟砷酸二甲基(8-硝基辛氧基)锍、六氟砷酸二甲基(18-三氟甲基十八烷氧基)锍、六氟砷酸二甲基(2-羥基異丙氧基)锍、六氟砷酸二甲基(三(三氯甲基)甲基)锍，六氟銻酸二苯基碘鎗、六氟銻酸二(對(duì)甲苯基)碘鎗、六氟銻酸二(對(duì)叔丁基苯基)碘鎗、六氟銻酸二(對(duì)辛基苯基)碘鎗、六氟銻酸二(對(duì)十八烷基苯基)碘鎗、六氟銻酸二(對(duì)辛氧基苯基)碘鎗、六氟銻酸二(對(duì)十八烷氧基苯基)碘鎗、六氟銻酸苯基(對(duì)十八烷氧基苯基)碘鎗、六氟銻酸(對(duì)甲苯基)(對(duì)異丙基苯基)碘鎗、六氟銻酸甲基萘基碘鎗、六氟銻酸乙基萘基碘鎗、六氟銻酸三苯基锍、六氟銻酸三(對(duì)甲苯基)锍、六氟銻酸三(對(duì)異丙基苯基)锍、六氟銻酸三(2，6-二甲基苯基)锍、六氟銻酸三(對(duì)叔丁基苯基)锍、六氟銻酸三(對(duì)氰基苯基)锍、六氟銻酸三(對(duì)氯苯基)锍、六氟銻酸二甲基萘基锍、六氟銻酸二乙基萘基锍、六氟銻酸二甲基(甲氧基)锍、六氟銻酸二甲基(乙氧基)锍、六氟銻酸二甲基(丙氧基)锍、六氟銻酸二甲基(丁氧基)锍、六氟銻酸二甲基(辛氧基)锍、六氟銻酸二甲基(十八烷氧基)锍、六氟銻酸二甲基(異丙氧基)锍、六氟銻酸二甲基(叔丁氧基)锍、六氟銻酸二甲基(環(huán)戊氧基)锍、六氟銻酸二甲基(環(huán)己氧基)锍、六氟銻酸二甲基(氟甲氧基)锍、六氟銻酸二甲基(2-氯乙氧基)锍、六氟銻酸二甲基(3-溴丙氧基)锍、六氟銻酸二甲基(4-氰基丁氧基)锍、六氟銻酸二甲基(8-硝基辛氧基)锍、六氟銻酸二甲基(18-三氟甲基十八烷氧基)锍、六氟銻酸二甲基(2-羥基異丙氧基)锍、六氟銻酸二甲基(三(三氯甲基)甲基)锍，四(五氟苯基)硼酸二苯基碘鎗、四(五氟苯基)硼酸二(對(duì)甲苯基)碘鎗、四(五氟苯基)硼酸二(對(duì)叔丁基苯基)碘鎗、四(五氟苯基)硼酸二(對(duì)辛基苯基)碘鎗、四(五氟苯基)硼酸二(對(duì)十八烷基苯基)碘鎗、四(五氟苯基)硼酸二(對(duì)辛氧基苯基)碘鎗、四(五氟苯基)硼酸二(對(duì)十八烷氧基苯基)碘鎗、四(五氟苯基)硼酸苯基(對(duì)十八烷氧基苯基)碘鎗、四(五氟苯基)硼酸(對(duì)甲苯基)(對(duì)異丙基苯基)碘鎗、四(五氟苯基)硼酸甲基萘基碘鎗、四(五氟苯基)硼酸乙基萘基碘鎗、四(五氟苯基)硼酸三苯基锍、四(五氟苯基)硼酸三(對(duì)甲苯基)锍、四(五氟苯基)硼酸三(對(duì)異丙基苯基)锍、四(五氟苯基)硼酸三(2，6-二甲基苯基)锍、四(五氟苯基)硼酸三(對(duì)叔丁基苯基)锍、四(五氟苯基)硼酸三(對(duì)氰基苯基)锍、四(五氟苯基)硼酸三(對(duì)氯苯基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基萘基锍、四(五氟苯基)硼酸二乙基萘基锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(甲氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(乙氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(丙氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(丁氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(辛氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(十八烷氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(異丙氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(叔丁氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(環(huán)戊氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(環(huán)己氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(氟甲氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(2-氯乙氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(3-溴丙氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(4-氰基丁氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(8-硝基辛氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(18-三氟甲基十八烷氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(2-羥基異丙氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(三(三氯甲基)甲基)锍等，優(yōu)選為六氟磷酸二(對(duì)甲苯基)碘鎗、六氟磷酸(對(duì)甲苯基)(對(duì)異丙基苯基)碘鎗、六氟磷酸二(對(duì)叔丁基苯基)碘鎗、六氟磷酸三苯基锍、六氟磷酸三(對(duì)叔丁基苯基)锍、六氟砷酸二(對(duì)甲苯基)碘鎗、六氟砷酸(對(duì)甲苯基)(對(duì)異丙基苯基)碘鎗、六氟砷酸二(對(duì)叔丁基苯基)碘鎗、六氟砷酸三苯基锍、六氟砷酸三(對(duì)叔丁基苯基)锍、六氟銻酸二(對(duì)甲苯基)碘鎗、六氟銻酸(對(duì)甲苯基)(對(duì)異丙基苯基)碘鎗、六氟銻酸二(對(duì)叔丁基苯基)碘鎗、六氟銻酸三苯基锍、六氟銻酸三(對(duì)叔丁基苯基)锍、四(五氟苯基)硼酸二(對(duì)甲苯基)碘鎗、四(五氟苯基)硼酸(對(duì)甲苯基)(對(duì)異丙基苯基)碘鎗、二(對(duì)叔丁基苯基)碘鎗、四(五氟苯基)硼酸三苯基锍、四(五氟苯基)硼酸三(對(duì)叔丁基苯基)锍等，更優(yōu)選為六氟銻酸二(對(duì)甲苯基)碘鎗、六氟銻酸(對(duì)甲苯基)(對(duì)異丙基苯基)碘鎗、六氟銻酸二(對(duì)叔丁基苯基)碘鎗、六氟銻酸三苯基锍、六氟銻酸三(對(duì)叔丁基苯基)锍、四(五氟苯基)硼酸二(對(duì)甲苯基)碘鎗、四(五氟苯基)硼酸(對(duì)甲苯基)(對(duì)異丙基苯基)碘鎗、四(五氟苯基)硼酸二(對(duì)叔丁基苯基)碘鎗、四(五氟苯基)硼酸三苯基锍或四(五氟苯基)硼酸三(對(duì)叔丁基苯基)锍等。此外，在不損害本發(fā)明效果的程度下，還可以在光聚合引發(fā)劑(D)中組合光聚合引發(fā)助劑(D-l)來使用，可以組合多種聚合引發(fā)助劑來使用。作為光聚合引發(fā)助劑(D-l)，可以舉出胺化合物、羧酸化合物、多官能硫醇化合物、式(III)所示的化合物、式(A-l)或式(A-2)所示的化合物等。作為上述胺化合物，可以舉出三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三異丙醇胺等脂肪族胺化合物，4-二甲基氨基苯甲酸甲酯、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸異戊酯、4_二甲基氨基苯甲酸-2-乙基己酉旨、苯甲酸2-二甲基氨基乙酯、N，N-二甲基對(duì)甲苯胺、4，4'-二(二甲基氨基)二苯甲酮(通稱米蚩酮)或4，4'-二(二乙基氨基)二苯甲酮等芳香族胺化合物。作為上述羧酸化合物，可以舉出硫代乙酸苯酯、硫代乙酸甲基苯酯、硫代乙酸乙基苯酯、硫代乙酸甲基乙基苯酯、硫代乙酸二甲基苯酯、硫代乙酸甲氧基苯酯、硫代乙酸二甲氧基苯酯、硫代乙酸氯苯酯、硫代乙酸二氯苯酯、N-苯基甘氨酸、苯氧基乙酸、硫代乙酸萘酯、N-萘基甘氨酸或萘氧基乙酸等芳族雜乙酸(芳香族^口酢酸)類。上述多官能硫醇化合物為分子內(nèi)具有兩個(gè)以上硫醇基的化合物。其中，具有兩個(gè)以上脂肪族硫醇基的化合物由于提高本發(fā)明的感光性樹脂組合物的靈敏度而更優(yōu)選。作為多官能硫醇化合物，具體地說，可以舉出己二硫醇、癸二硫醇、1，4-二甲基巰基苯、丁二醇二硫代丙酸酯、丁二醇二巰基乙酸酯、乙二醇二巰基乙酸酯、三羥甲基丙烷三巰基乙酸酯、丁二醇二硫代丙酸酯、三羥甲基丙烷三硫代丙酸酯、三羥甲基丙烷三巰基乙酸酯、季戊四醇四硫代丙酸酯、季戊四醇四巰基乙酸酯、三羥乙基三硫代丙酸酯、季戊四醇四(3-巰基丁酸酯)或l，4-二(3-巰基丁酰氧基)丁烷等。多官能硫醇化合物的含量相對(duì)于光聚合引發(fā)劑(D)的總量，按照質(zhì)量分?jǐn)?shù)優(yōu)選為0.520質(zhì)量％，更優(yōu)選為115質(zhì)量％。若多官能硫醇化合物的含量在上述范圍，則靈敏度升高，此外存在顯影性變得良好的趨勢(shì)，所以優(yōu)選。多官能硫醇化合物的含量相對(duì)于粘合劑樹脂(A)和光聚合性化合物(C)的總量，按照質(zhì)量分?jǐn)?shù)優(yōu)選為0.120質(zhì)量％，更優(yōu)選為110質(zhì)量％。若多官能硫醇化合物的含量在上述范圍，則靈敏度升高，此外存在顯影性變得良好的趨勢(shì)，所以優(yōu)選。作為光聚合引發(fā)助劑(D-l)，可以使用下式(III)所示的化合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula>式(III)中，X所示的虛線表示可以被鹵原子取代的碳原子數(shù)為6Y表示氧原子、硫原子。12的芳環(huán)cR21表示碳原子數(shù)為16的烷基。R22表示可以被鹵原子取代的碳原子數(shù)為112的烷基或可以被鹵原子取代的芳基。作為鹵原子，可以舉出氟原子、氯原子、溴原子等。作為碳原子數(shù)為612的芳環(huán)，可以舉出苯環(huán)、萘環(huán)等。作為可以被鹵原子取代的碳原子數(shù)為612的芳環(huán)，可以舉出苯環(huán)、甲基苯環(huán)、二甲基苯環(huán)、乙基苯環(huán)、丙基苯環(huán)、丁基苯環(huán)、戊基苯環(huán)、己基苯環(huán)、環(huán)己基苯環(huán)、氯苯環(huán)、二氯苯環(huán)、溴苯環(huán)、二溴苯環(huán)、苯基苯環(huán)、氯苯基苯環(huán)、溴苯基苯環(huán)、萘環(huán)、氯萘環(huán)、溴萘環(huán)等。作為碳原子數(shù)為16的烷基，可以舉出甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、1-甲基正丙基、2_甲基正丙基、叔丁基、正戊基、1_甲基正丁基、2_甲基正丁基、3_甲基正丁基、1，1-二甲基正丙基、1，2_二甲基正丙基、2，2_二甲基正丙基、正己基、環(huán)己基等。作為可以被鹵原子取代的碳原子數(shù)為112的烷基，可以舉出甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、1_甲基正丙基、2_甲基正丙基、叔丁基、正戊基、1_甲基正丁基、2_甲基正丁基、3_甲基正丁基、1，1-二甲基正丙基、1，2_二甲基正丙基、2，2_二甲基正丙基、正己基、環(huán)己基、1_氯正丁基、2_氯正丁基、3_氯正丁基等。作為可以被鹵原子取代的芳基，可以舉出苯基、氯苯基、二氯苯基、溴苯基、二溴苯基、氯溴苯基、聯(lián)苯基、氯聯(lián)苯基、二氯聯(lián)苯基、溴苯基、二溴苯基、萘基、氯萘基、二氯萘基、溴萘基、二溴萘基等。作為式(ni)所示的化合物，具體地說，可以舉出2-苯甲?；鶃喖谆?3-甲基-萘并[2，l-d]噻唑啉、2-苯甲酰基亞甲基-3_甲基-萘并[1，2-d]噻唑啉、2-苯甲?；鶃喖谆?3-甲基-萘并[2，3-d]噻唑啉、2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3-甲基苯并噻唑啉、2-(l-萘甲?；鶃喖谆?-3-甲基苯并噻唑啉、2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3-甲基-5-苯基苯并噻唑啉、2-(1-萘甲?；鶃喖谆?-3-甲基-5-苯基苯并噻唑啉、2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3-甲基_5-氟苯并噻唑啉、2-(1-萘甲?；鶃喖谆?_3-甲基-5-氟苯并噻唑啉、2-(2-萘甲酰基亞甲基)-3-甲基-5-氯苯并噻唑啉、2-(1-萘甲?；鶃喖谆?-3-甲基-5-氯苯并噻唑啉、2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3-甲基-5-溴苯并噻唑啉、2-(l-萘甲?；鶃喖谆?-3-甲基_5-溴苯并噻唑啉、2-(4-聯(lián)苯甲?；鶃喖谆?-3-甲基苯并噻唑啉、2-(4-聯(lián)苯甲?；鶃喖谆?-3-甲基-5-苯基苯并噻唑啉、2-(2-萘甲酰基亞甲基)-3-甲基-萘并[2，l-d]噻唑啉、2-(2-萘甲酰基亞甲基)-3-甲基-萘并[1，2-d]噻唑啉、2-(4-聯(lián)苯甲酰基亞甲基)-3-甲基-萘并[2，l-d]噻唑啉、2-(4-聯(lián)苯甲?；鶃喖谆?-3-甲基-萘并[1，2-d]噻唑啉、2-(對(duì)氟苯甲?；鶃喖谆?-3-甲基-萘并[2，l-d]噻唑啉、2-(對(duì)氟苯甲?；鶃喖谆?-3-甲基-萘并[1，2-d]噻唑啉、2-苯甲?；鶃喖谆?3-甲基-萘并[2，l-d]噁唑啉、2-苯甲?；鶃喖谆?3-甲基-萘并[1，2-d]噁唑啉、2-苯甲?；鶃喖谆?3-甲基-萘并[2，3-d]噁唑啉、2-(2-萘甲酰基亞甲基)-3-甲基苯并噁唑啉、2-(l-萘甲?；鶃喖谆?-3-甲基苯并噁唑啉、2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3-甲基-5-苯基苯并噁唑啉、2-(l-萘甲?；鶃喖谆?-3-甲基-5-苯基苯并噁唑啉、2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3-甲基-5-氟苯并噁唑啉、2-(1-萘甲酰基亞甲基)-3-甲基-5-氟苯并噁唑啉、2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3-甲基_5-氯苯并噁唑啉、2-(1-萘甲?；鶃喖谆?-3-甲基-5-氯苯并噁唑啉、2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3-甲基-5-溴苯并噁唑啉、2-(1-萘甲酰基亞甲基)-3-甲基-5-溴苯并噁唑啉、2_(4-聯(lián)苯甲?；鶃喖谆?-3-甲基苯并噁唑啉、2-(4-聯(lián)苯甲?；鶃喖谆?-3-甲基-5-苯基苯并噁唑啉、2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3_甲基-萘并[2，l-d]噁唑啉、2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3-甲基-萘并[1，2-d]噁唑啉、2-(4-聯(lián)苯甲?；鶃喖谆?-3-甲基-萘并[2，l-d]噁唑啉、2-(4-聯(lián)苯甲?；鶃喖谆?-3-甲基-萘并[1，2-d]噁唑啉、2-(對(duì)氟苯甲?；鶃喖谆?-3-甲基-萘并[2，l-d]噁唑啉、2-(對(duì)氟苯甲?；鶃喖谆?-3-甲基-萘并[1，2-d]噁唑啉等。其中，優(yōu)選為式(III-l)所示的2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3_甲基苯并噻唑啉、式(III-2)所示的2-苯甲酰基亞甲基-3_甲基-萘并[1，2-d]噻唑啉和式(III-3)所示的2_(4-聯(lián)苯甲酰基亞甲基)-3-甲基-萘并[1，2-d]噻唑啉。作為光聚合引發(fā)助劑(D-l)，還可以使用選自式(A-l)和式(A-2)中的至少l種所示的化合物。[式(A-l)和式(A-2)中，環(huán)X31和環(huán)X32分別獨(dú)立地表示碳原子數(shù)為612的芳環(huán)。Y31和Y32表示氧原子或硫原子。R31和R32表示碳原子數(shù)為112的烷基或碳原子數(shù)為612的芳基。該芳環(huán)、該烷基或芳基中含有的碳原子可以被氧原子、氮原子、硫原子或鹵原子取代。]作為鹵原子，可以舉出例如氟原子、氯原子、溴原子等。作為碳原子數(shù)為612的芳環(huán)，可以舉出苯環(huán)、甲基苯環(huán)、二甲基苯環(huán)、乙基苯環(huán)、丙基苯環(huán)、丁基苯環(huán)、戊基苯環(huán)、己基苯環(huán)、環(huán)己基苯環(huán)、氯苯環(huán)、二氯苯環(huán)、溴苯環(huán)、二溴苯環(huán)、苯基苯環(huán)、氯苯基苯環(huán)、溴苯基苯環(huán)、萘環(huán)、氯萘環(huán)、溴萘環(huán)、菲環(huán)、窟環(huán)、熒蒽環(huán)、苯并[a]芘環(huán)、苯并[e]芘環(huán)、茈環(huán)及它們的衍生物等。X32)(A-2)作為碳原子數(shù)為112的烷基，可以舉出甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、1-甲基正丙基、2_甲基正丙基、叔丁基、正戊基、1_甲基正丁基、2_甲基正丁基、3_甲基正丁基、l，l-二甲基正丙基、l，2-二甲基正丙基、2，2-二甲基正丙基、正己基、環(huán)己基、l-氯正丁基、2_氯正丁基、3_氯正丁基等。作為碳原子數(shù)為612的芳基，可以舉出苯基、氯苯基、二氯苯基、溴苯基、二溴苯基、氯溴苯基、羥基苯基、烷氧基苯基、聯(lián)苯基、氯聯(lián)苯基、二氯聯(lián)苯基、溴苯基、二溴苯基、萘基、氯萘基、二氯萘基、溴萘基、二溴萘基、羥基萘基等。作為式(A-l)或式(A-2)所示的化合物，具體地可以舉出二甲氧基萘、二乙氧基萘、二丙氧基萘、二異丙氧基萘、二丁氧基萘等二烷氧基萘類，二甲氧基蒽、二乙氧基蒽、二丙氧基蒽、二異丙氧基蒽、二丁氧基蒽、二戊氧基蒽、二己氧基蒽、甲氧基乙氧基蒽、甲氧基丙氧基蒽、甲氧基異丙氧基蒽、甲氧基丁氧基蒽、乙氧基丙氧基蒽、乙氧基異丙氧基蒽、乙氧基丁氧基蒽、丙氧基異丙氧基蒽、丙氧基丁氧基蒽、異丙氧基丁氧基蒽等二烷氧基蒽類，二甲氧基并四苯、二乙氧基并四苯、二丙氧基并四苯、二異丙氧基并四苯、二丁氧基并四苯等二烷氧基并四苯類等，但是不限于此。光聚合引發(fā)劑(D)的含量相對(duì)于粘合劑樹脂(A)和光聚合性化合物(C)的總量，按照質(zhì)量分?jǐn)?shù)，優(yōu)選為0.140質(zhì)量％，更優(yōu)選為130質(zhì)量％。此外，光聚合引發(fā)助劑(D-l)的含量按照與上述相同的基準(zhǔn)，優(yōu)選為0.0150質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.140質(zhì)量％。選自式(A-l)和式(A-2)中的至少1種所示的化合物的含量相對(duì)于光聚合引發(fā)助劑(D-l)的含量，優(yōu)選為50100%，更優(yōu)選為60100%，進(jìn)一步優(yōu)選為65100%。若選自式(A-l)和式(A-2)中的至少1種所示的化合物的含量在上述范圍，則使用含有其的感光性樹脂組合物形成涂膜時(shí)，涂膜的透明性良好，所以優(yōu)選。若光聚合引發(fā)劑(D)的總量在上述范圍，則感光性樹脂組合物靈敏度高，有使用上述感光性樹脂組合物形成的涂膜或圖案的強(qiáng)度、上述涂膜或圖案表面的平滑性變得良好的趨勢(shì)，所以優(yōu)選。除此之外，若光聚合引發(fā)助劑(D-l)的量在上述范圍，則得到的感光性樹脂組合物的靈敏度進(jìn)一步提高，有使用上述感光性樹脂組合物形成的圖案的生產(chǎn)性提高的趨勢(shì)，所以優(yōu)選。本發(fā)明的感光性樹脂組合物根據(jù)需要可以含有溶劑(E)。作為該溶劑(E)，可以舉出感光性樹脂組合物領(lǐng)域中使用的各種有機(jī)溶劑，作為其具體例子，可以舉出乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、乙二醇單丙基醚和乙二醇單丁基醚等乙二醇單烷基醚類，二甘醇二甲基醚、二甘醇二乙基醚、二甘醇乙基甲基醚、二甘醇二丙基醚、二甘醇二丁基醚等二甘醇二烷基醚類，甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、乙二醇單丁基醚乙酸酯、乙二醇單乙基醚乙酸酯等乙二醇烷基醚乙酸酯類，丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯、丙二醇單丙基醚乙酸酯、甲氧基丁基乙酸酯、甲氧基戊基乙酸酯等亞烷基二醇烷基醚乙酸酯類，丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇單丙基醚、丙二醇單丁基醚等丙二醇單烷基醚類，丙二醇二甲基醚、丙二醇二乙基醚、丙二醇乙基甲基醚、丙二醇二丙基醚、丙二醇丙基甲基醚、丙二醇乙基丙基醚等丙二醇二烷基醚類，丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙基醚丙酸酯、丙二醇丙基醚丙酸酯、丙二醇丁基醚丙酸酯等丙二醇烷基醚丙酸酯類，甲氧基丁醇、乙氧基丁醇、丙氧基丁醇、丁氧基丁醇等丁二醇單烷基醚類，甲氧基丁基乙酸酯、乙氧基丁基乙酸酯、丙氧基丁基乙酸酯、丁氧基丁基乙酸酯等丁二醇單烷基醚乙酸酯類，甲氧基丁基丙酸酯、乙氧基丁基丙酸酯、丙氧基丁基丙酸酯、丁氧基丁基丙酸酯等丁二醇單烷基醚丙酸酯類，二丙二醇二甲基醚、二丙二醇二乙基醚、二丙二醇甲基乙基醚等二丙二醇二烷基醚類、苯、甲苯、二甲苯、均三甲苯等芳烴類，甲基乙基酮、丙酮、甲基戊基酮、甲基異丁基酮、環(huán)己酮等酮類，乙醇、丙醇、丁醇、己醇、環(huán)己醇、乙二醇、甘油等醇類，乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2_羥基丙酸乙酯、2_羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2_甲基丙酸乙酯、羥基乙酸甲酯、羥基乙酸乙酯、羥基乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羥基丙酸甲酯、3_羥基丙酸乙酯、3_羥基丙酸丙酯、3_羥基丙酸丁酯、2_羥基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2_甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸乙酯、2-丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯、3-丁氧基丙酸丁酯等酯類，四氫呋喃、吡喃等環(huán)狀醚基類，Y_丁內(nèi)酯等環(huán)狀酯類等。上述溶劑中，從涂布性、干燥性方面考慮，優(yōu)選舉出上述溶劑中的沸點(diǎn)為10020(TC的有機(jī)溶劑。作為沸點(diǎn)為10020(TC的有機(jī)溶劑，具體地說，可以舉出亞烷基二醇烷基醚乙酸酯類、甲氧基丁醇和乙氧基丁醇等醇類、環(huán)己酮等酮類、3_乙氧基丙酸乙酯和3_甲氧基丙酸甲酯等酯類，進(jìn)一步優(yōu)選舉出丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯、環(huán)己酮、甲氧基丁醇、甲氧基丁基乙酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯和3-甲氧基丙酸甲酯。這些溶劑(E)可以分別單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用。本發(fā)明的感光性樹脂組合物中的溶劑(E)的含量相對(duì)于感光性樹脂組合物，按照質(zhì)量分?jǐn)?shù)優(yōu)選為6090質(zhì)量％，更優(yōu)選為6585質(zhì)量％。若溶劑(E)的含量在上述范圍，則通過旋涂機(jī)、狹縫&旋涂機(jī)、狹縫涂布機(jī)(有時(shí)也稱為模涂機(jī)、幕涂機(jī))、噴墨、輥涂機(jī)、浸涂機(jī)等涂布裝置涂布時(shí)，涂布性有可能變得良好，所以優(yōu)選。本發(fā)明的感光性樹脂組合物實(shí)質(zhì)上不含有顏料和染料等著色劑。S卩，在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，著色劑相對(duì)于組合物整體的含量，例如按照質(zhì)量分?jǐn)?shù)小于10質(zhì)量％，優(yōu)選小于1質(zhì)量％。本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，根據(jù)需要，還可以并用填充劑、其它的高分子化合物、均化劑、粘合促進(jìn)劑、抗氧化劑、紫外線吸收劑、光穩(wěn)定性、抗絮凝材料、鏈轉(zhuǎn)移劑等添加劑(F)。作為填充劑，具體地說，可以舉出玻璃、二氧化硅、氧化鋁等。作為其它的高分子化合物，具體地說，可以舉出環(huán)氧樹脂、馬來酰亞胺樹脂等固化性樹脂，或聚乙烯醇、聚丙烯酸、聚乙二醇單烷基醚、聚氟烷基丙烯酸酯、聚酯、聚氨酯等熱塑性樹脂等。作為均化劑，可以使用市售的表面活性劑，具體地說，可以舉出例如硅氧烷類、氟類、酯類、陽離子類、陰離子類、非離子類、兩性等表面活性劑等，可以分別單獨(dú)使用或?qū)?種以上組合使用。作為上述表面活性劑，可以列舉聚氧乙烯烷基醚類、聚氧乙烯烷基苯基醚類、聚乙二醇二酯類、脫水山梨糖醇脂肪酸酯類、脂肪酸改性聚酯類、叔胺改性聚氨酯類、聚亞乙基亞胺(*。'J二，^XS>)類等之外，還可以舉出例如商品名為KP(信越化學(xué)工業(yè)(株)制)、水'J7口一(共榮化學(xué)(株)制)、二7卜7:/(卜一少厶:/口夕"夕7社制)、乂力777夕(大日本4>3化學(xué)工業(yè)(株)制)、7口，一卜'(住友,J一二厶(株)制)、7寸匕力'一卜'、寸一7口>(以上由旭硝子(株)制)、乂&^"一^(七才、力(株)制)、EFKA(EFKACHEMICALS公司制)、PB821(味^素(株)制)等。作為粘合促進(jìn)劑，優(yōu)選硅烷類化合物，具體地說，可以舉出乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N_(2-氨基乙基)_3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3_氨基丙基三乙氧基硅烷、3_環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3，4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-巰基丙基三甲氧基硅烷等。作為抗氧化劑，具體地可以舉出2-叔丁基-6-(3-叔丁基-2-羥基-5_甲基節(jié)基)-4-甲基苯基丙烯酸酯、2-[l-(2-羥基-3，5-二叔戊基苯基)乙基]-4，6-二叔戊基苯基丙烯酸酯、6_[3-(3-叔丁基-4-羥基-5-甲基苯基)丙氧基]-2，4，8，10-四叔丁基二苯并[d，f][1，3，2]二氧雜磷雜環(huán)庚烷(-才*寸7才7二匕°>)、3，9-二[2_{3_(3_叔丁基-4-羥基-5-甲基苯基)丙酰氧基}-1，1-二甲基乙基]_2，4，8，10-四氧雜螺[5，5]i^一烷、2，2'-亞甲基二(6-叔丁基-4-甲基苯酚)、4，4'-亞丁基二(6-叔丁基-3-甲基苯酚)、4，4'-硫代二(2-叔丁基-5-甲基苯酚)、2，2'-硫代二(6-叔丁基-4-甲基苯酚)、二月桂基3，3'硫代二丙酸酯、二肉豆蔻基3，3'_硫代二丙酸酯、二硬脂基3，3'-硫代二丙酸酯、季戊四醇基四(3-月桂基硫代丙酸酯)、l，3，5-三(3，5-二叔丁基-4-羥基芐基)-l，3，5-三嗪-2，4，6(lH，3H，5H)-三酮、3，3'，3"，5，5'，5"-六叔丁基-a，a'，a"-(均三甲苯-2，4，6-三基)三對(duì)甲酚、季戊四醇四[3-(3，5-二叔丁基-4-羥基苯基)丙酸酯]、2，6-二叔丁基-4-甲基苯酚等。作為紫外線吸收劑，具體地可以舉出2-(2-羥基-5-叔丁基苯基)-2H-苯并三唑、辛基-3-[3-叔丁基-4-羥基-5-(5-氯-2H-苯并三唑-2-基)苯基]丙酸酯、2-[4-[(2-羥基-3-十二烷氧基丙基)氧基]-2-羥基苯基]-4，6-二(2，4-二甲基苯基)-1，3，5-三嗪、2-[4-[(2-羥基-3-(2'-乙基)己基)氧基]-2-羥基苯基]-4，6-二(2，4_二甲基苯基)-l，3，5-三嗪、2，4-二(2-羥基-4-丁氧基苯基)-6-(2，4-二-丁氧基苯基)-l，3，5-三嗪、2-(2-羥基-4-[1-辛氧基羰基乙氧基]苯基)-4，6-二(4-苯基苯基)-1，3，5-三嗪、2-(2H-苯并三唑-2-基)-4，6-二(1-甲基-l-苯基乙基)苯酚、2-(2H-苯并三唑-2-基)-6-(l-甲基-l-苯基乙基)-4-(l，l，3，3-四甲基丁基)苯酚、2-(3-叔丁基-2-羥基-5-甲基苯基)-5-氯苯并三唑或烷氧基二苯甲酮等。作為光穩(wěn)定劑，具體地說，可以舉出由琥珀酸和(4-羥基-2，2，6，6_四甲基哌啶-l-基)乙醇形成的高分子，N，N'，N"，N'"-四(4，6-二(丁基-(N-甲基-2，2，6，6-四甲基哌啶-l-基)氨基)三嗪-2-基)-4，7-二氮雜癸烷-l，10-二胺，癸二酸、二(2，2，6，6-四甲基-1-(辛氧基)-4-哌啶基)酯與1，1-二甲基乙基氫過氧化物，二(1，2，2，6，6-五甲基-4-哌啶基)-[[3，5-二(1，1-二甲基乙基)-4-羥基苯基]甲基]丁基丙二酸酯，2，4_二[^丁基-^(1-環(huán)己氧基-2，2，6，6-四甲基哌啶-4-基)氨基]-6-(2-羥基乙基胺)-l，3，5-三嗪，二(1，2，2，6，6-五甲基-4-哌啶基)癸二酸酯或甲基(1，2，2，6，6-五甲基-4-哌啶基)癸二酸酯等。作為抗絮凝材料，可以舉出聚丙烯酸鈉等。此外，作為鏈轉(zhuǎn)移劑，可以舉出十二烷硫醇、2，4-二苯基-4_甲基-l-戊烯等。本發(fā)明的感光性樹脂組合物若填充到光路長lcm的石英池中，使用分光光度計(jì)，在測(cè)定波長400700nm的條件下測(cè)定透光率，則透光率為70%以上，優(yōu)選為80%以上。對(duì)在基材表面上涂布本發(fā)明的感光性樹脂組合物的方法不特別限定，例如，可以通過旋涂機(jī)、狹縫&旋涂機(jī)、狹縫涂布機(jī)(有時(shí)也稱為模涂機(jī)、幕涂機(jī))、噴墨、輥涂機(jī)、浸涂機(jī)等涂布裝置涂布。本發(fā)明的感光性樹脂組合物，若對(duì)于加熱固化(例如，100250°C、5分鐘3小時(shí))后的3iim厚度的涂膜，使用分光光度計(jì)，在測(cè)定波長400700nm的條件下測(cè)定透光率，則透光率為90%以上，優(yōu)選為95%以上。由此，可以提供透明性優(yōu)異的涂膜。本發(fā)明的感光性樹脂組合物如下涂布在玻璃基板或膜基板、形成濾色器或驅(qū)動(dòng)電路的基材上，進(jìn)行光固化和顯影，可以形成涂膜或圖案。首先，將該感光性樹脂組合物涂布在基板(通常為玻璃)或先前形成的由感光性樹脂組合物的固體成分形成的層之上，通過前烘由涂布的感光性樹脂組合物層除去溶劑等揮發(fā)成分，得到平滑的未固化涂膜。此時(shí)的未固化涂膜的厚度約為l6ym。對(duì)如此得到的未固化涂膜，通過用于形成目的圖案的掩模，照射由汞燈或發(fā)光二極管產(chǎn)生的紫外線。此外，在圖案形成中，其線寬可以通過掩模尺寸進(jìn)行適當(dāng)控制。利用近年的曝光機(jī)，將小于350nm的光使用截?cái)嘣摬ㄩL區(qū)域的過濾器截?cái)?，?36nm附近、408nm附近、365nm附近的波長的光使用取出該波長區(qū)域的帶通濾波器選擇性地取出，對(duì)曝光部整體均一地照射平行光線。此時(shí)優(yōu)選使用掩模校準(zhǔn)儀或步進(jìn)器(》于'7")等裝置以進(jìn)行掩模與基板的正確的位置配合。進(jìn)一步地，此后使光照射結(jié)束的涂膜與堿水溶液接觸溶解非曝光部，進(jìn)行顯影，由此得到目的的涂膜或圖案。顯影方法可以為液池法、浸漬法或噴霧法等中的任意一種。進(jìn)一步可以在顯影時(shí)使基板傾斜任意的角度。形成圖案并曝光后的顯影中使用的顯影液通常為含有堿性化合物和表面活性劑的水溶液。堿性化合物可以為無機(jī)或有機(jī)的堿性化合物中的任意一種。作為無機(jī)堿性化合物的具體例子，可以舉出氫氧化鈉、氫氧化鉀、磷酸氫二鈉、磷酸二氫鈉、磷酸氫二銨、磷酸二氫銨、磷酸二氫鉀、硅酸鈉、硅酸鉀、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氫鈉、碳酸氫鉀、硼酸鈉、硼酸鉀或氨等。此外，作為有機(jī)堿性化合物的具體例子，可以舉出四甲基氫氧化銨、2-羥基乙基三甲基氫氧化銨、單甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單異丙基胺、二異丙基胺或乙醇胺等。這些無機(jī)和有機(jī)堿性化合物，可以分別單獨(dú)使用或?qū)?種以上組合使用。堿顯影液中的堿性化合物的濃度優(yōu)選為0.0110質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.035質(zhì)量％。此外，堿顯影液中的表面活性劑，可以為非離子類表面活性劑、陰離子類表面活性劑或陽離子類表面活性劑中的任意一種。作為非離子類表面活性劑的具體例子，可以舉出聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯芳基醚、聚氧乙烯烷基芳基醚、其它的聚氧乙烯衍生物，環(huán)氧乙烷/環(huán)氧丙烷嵌段共聚物，脫水山梨糖醇脂肪酸酯，聚氧乙烯脫水山梨糖醇脂肪酸酯，聚氧乙烯山梨糖醇脂肪酸酯，甘油脂肪酸酯，聚氧乙烯脂肪酸酯，聚氧乙烯烷基胺等。作為陰離子類表面活性劑的具體例子，可以舉出月桂醇硫酸酯鈉、油醇硫酸酯鈉等高級(jí)醇硫酸酯鹽類，月桂基硫酸鈉或月桂基硫酸銨等烷基硫酸鹽類，十二烷基苯磺酸鈉或十二烷基萘磺酸鈉等烷基芳基磺酸鹽類等。作為陽離子類表面活性劑的具體例子，可以舉出硬脂胺鹽酸鹽或十二烷基三甲基氯化銨等胺鹽或季銨鹽等。這些表面活性劑可以分別單獨(dú)使用或?qū)?種以上組合使用。堿顯影液中的表面活性劑的濃度優(yōu)選為0.0110質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.058質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為0.15質(zhì)量％。顯影后，進(jìn)行水洗，進(jìn)一步地，根據(jù)需要可以在15023(TC下實(shí)施10分鐘180分鐘的后烘。使用本發(fā)明的感光性樹脂組合物，經(jīng)過上述各步驟，可以在基板上或?yàn)V色器基板上形成涂膜或圖案。該涂膜或圖案作為液晶顯示裝置中使用的光間隔體或可以形成圖案的罩面層(*一"一-一卜)是有用的。此外，若在對(duì)未固化涂膜形成圖案并曝光時(shí)，使用孔形成用光掩模，則可以形成孔，用作層間絕緣膜。進(jìn)一步地，在對(duì)未固化涂膜進(jìn)行曝光時(shí)，可以不使用光掩模而進(jìn)行整體曝光以及加熱固化或僅通過加熱固化來形成透明膜，該透明膜可用作罩面層，此外還可以用于觸摸屏中。通過將如此得到的涂膜或圖案組入液晶顯示裝置等顯示裝置中，可以以高的收率制造優(yōu)異品質(zhì)的顯示裝置。根據(jù)本發(fā)明的感光性樹脂組合物，可以形成表現(xiàn)出充分的分辨率的高的透光率的圖案。實(shí)施例以下通過實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行具體的說明，但是本發(fā)明不被這些實(shí)施例所限定。例中，表示含量或用量的％和份只要不特別說明則指的是質(zhì)量基準(zhǔn)。[合成例1]向具有回流冷凝器、滴液漏斗和攪拌機(jī)的1L的燒瓶內(nèi)流通0.02L/分鐘氮作為氛圍氣體，加入3_甲氧基-l-丁醇200質(zhì)量份和3-甲氧基丁基乙酸酯105質(zhì)量份，攪拌的同時(shí)加熱至70°C。然后，溶解在甲基丙烯酸60質(zhì)量份、3，4-環(huán)氧基三環(huán)[5.2.1.026]癸基丙烯酸酯(式(I-1)所示的化合物和式(II-1)所示的化合物按照摩爾比以50:50混合)240質(zhì)量份和3-甲氧基丁基乙酸酯140質(zhì)量份中制備溶液，將該溶解液使用滴液漏斗用4小時(shí)，滴加到保溫在7(TC的燒瓶內(nèi)。另一方面，將聚合引發(fā)劑2，2'-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)30質(zhì)量份溶解在3-甲氧基丁基乙酸酯225質(zhì)量份中而得到的溶液，使用另外的滴液漏斗用4小時(shí)滴加到燒瓶內(nèi)。滴加聚合引發(fā)劑溶液結(jié)束后，保持在70°C4小時(shí)，然后冷卻至室溫，得到固體成分32.6質(zhì)量％、酸值110mg-K0H/g(換算為固體成分)的共聚物(樹脂Aa)的溶液。得到的樹脂Aa的重均分子量Mw為1.3X104，分子量分布(Mw/Mn)為2.50。(分子量的測(cè)定)對(duì)于樹脂Aa的重均分子量(Mw)和數(shù)均分子量(Mn)的測(cè)定，使用GPC法，在以下的條件下進(jìn)行。裝置K2479((株)島津制作所制)色譜柱SHIMADZUShim-packGPC-80M柱溫40。C溶劑THF(四氫呋喃)流速1.0ml/min檢測(cè)器RI將上述得到的聚苯乙烯換算的重均分子量和數(shù)均分子量的比作為分子量分布(Mw/Mn)。[實(shí)施例1]將合成例1中得到的含有樹脂Aa的樹脂溶液(A)153份(換算為固體成分50份)、鄰苯二甲酸酐(B)3份、二季戊四醇六丙烯酸酯(C)50份、2，2'-二(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基聯(lián)咪唑(0)4份、2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3-甲基苯并噻唑啉(D)0.5份、季戊四醇四硫代丙酸酯(D)3份、IRGAN0X3114(CibaSpecialtyChemicals公司制)(F)0.8份、丙二醇單甲基醚乙酸酯58份、3-乙氧基乙基丙酸酯42份、3-甲氧基1-丁醇7份和3-甲氧基丁基乙酸酯9份混合，得到感光性樹脂組合物1。〈組合物的平均透光率>對(duì)于感光性樹脂組合物l，使用紫外可見分光光度計(jì)(V-650DS，日本分光(株)制)(石英池，光路長lcm)，測(cè)定400700nm下的平均透光率(％)?！茨さ钠骄腹饴省凳褂酶泄庑詷渲M合物l，在以下的條件下制造固化膜，使得固化后的膜厚為3iim。將2英寸見方的玻璃基板(#1737，-一二>夕"社制)依次用中性洗劑、水和醇洗滌后干燥。在該玻璃基板上旋涂感光性樹脂組合物l，使得用200mJ/cm2的曝光量(405nm)進(jìn)行曝光，進(jìn)行顯影、水洗、后烘后的膜厚為3.0iim，然后在潔凈烘箱中，在9(TC下前烘3分鐘。對(duì)于得到的固化膜，使用顯微分光測(cè)光裝置(0SP-SP200，OLYMPUS公司制)，測(cè)定400700nm下的平均透光率(％)。透光率提高意味著吸收減小。[圖案1的制造]將2英寸見方的玻璃基板(#1737，-一二>夕"社制)依次用中性洗劑、水和醇洗滌后干燥。在該玻璃基板上旋涂感光性樹脂組合物l，使得用200mJ/cm2的曝光量(405nm)進(jìn)行曝光，進(jìn)行顯影、水洗、后烘后的膜厚為3.0iim，然后在潔凈烘箱中，在9(TC下前烘3分鐘。冷卻后，使涂布該感光性樹脂組合物1的基板與石英玻璃制光掩模的間隔為lOym，使用曝光機(jī)(TEM-150RSK，卜7°->(株)制，光源超高壓汞燈)，在大氣氛圍氣體下用100mJ/cm2的曝光量(405nm基準(zhǔn))進(jìn)行光照射。而且，此時(shí)對(duì)感光性樹脂組合物1的照射，使來自超高壓汞燈的放射光通過光學(xué)過濾器(LU0400，朝日分光(株)制)，將400nm以下的光截?cái)鄟硎褂?。此外，作為光掩模，使用圖案(具有邊長為20ym的正方形的透光部，該正方形的間隔為100iim)形成在同一平面上的光掩模。光照射后，在25t:下將上述涂膜浸漬在含有非離子類表面活性劑0.12%和氫氧化鉀0.04%的水系顯影液中100秒進(jìn)行顯影，進(jìn)行水洗后，在烘箱中在22(TC下進(jìn)行20分鐘后烘，得到圖案l?！淳€寬>得到的圖案用三維非接觸表面形狀測(cè)定系統(tǒng)(Microm即匪527N-PS-M100，(株)菱化)》于A社制)測(cè)定。對(duì)于圖案高度，將距離基板面5%的部分作為線寬。線寬的數(shù)值越小則分辨率越高而優(yōu)選。[(X301][實(shí)施例2]得到表1所示組成的感光性樹脂組合物，與實(shí)施例1同樣地對(duì)其進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果如表l所示。[實(shí)施例3]得到表i所示組成的感光性樹脂組合物，與實(shí)施例1同樣地對(duì)其進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果如表l所示。[比較例1]得到表1所示組成的感光性樹脂組合物，與實(shí)施例1同樣地對(duì)其進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果如表l所示。[表1]<table>tableseeoriginaldocumentpage30</column></row><table>由表1所示的實(shí)施例13的結(jié)果可知，通過使用特定的化合物，可以形成表現(xiàn)出優(yōu)異的分辨率的圖案。而比較例1中，不能得到具有充分的分辨率的圖案。產(chǎn)業(yè)實(shí)用性本發(fā)明的感光性樹脂組合物，由于可以形成表現(xiàn)出優(yōu)異的分辨率的高的透光率的圖案，可以合適地用于罩面層、光掩模、絕緣膜、液晶定向控制用突起、用于配合著色圖案的膜厚的涂層等顯示裝置中使用的涂膜或圖案的形成中。權(quán)利要求感光性樹脂組合物，其含有粘合劑樹脂(A)、選自羧酸酐和具有至少2個(gè)羧基的化合物中的至少1種化合物(B)、光聚合性化合物(C)以及光聚合引發(fā)劑(D)，粘合劑樹脂(A)為將選自不飽和羧酸和不飽和羧酸酐(A-a)中的至少1種單體、與選自可以與該(A-a)共聚的單體(A-b)和具有碳原子數(shù)為2～4的環(huán)狀醚基的單體(A-c)中的至少1種單體聚合而成的粘合劑樹脂。2.如權(quán)利要求l所述的感光性樹脂組合物，其中，粘合劑樹脂(A)為將選自不飽和羧酸和不飽和羧酸酐(A-a)中的至少1種單體、與具有碳原子數(shù)為24的環(huán)狀醚基的單體(A-c)聚合而成的粘合劑樹脂。3.如權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中，具有碳原子數(shù)為24的環(huán)狀醚基的單體(A-c)為具有環(huán)氧基的單體。4.如權(quán)利要求3所述的感光性樹脂組合物，其中，具有環(huán)氧基的單體為具有脂肪族多環(huán)環(huán)氧基的單體。5.如權(quán)利要求4所述的感光性樹脂組合物，其中，具有脂肪族多環(huán)環(huán)氧基的單體為選自式(I)所示的化合物和式(II)所示的化合物中的至少1種化合物，[式(I)和式(II)中，&和R2分別獨(dú)立地表示氫原子或碳原子數(shù)為14的烷基，該烷基中含有的氫原子可以被羥基取代，&和X2分別獨(dú)立地表示單鍵或可以含有雜原子的碳原子數(shù)為16的亞烷基。]6.如權(quán)利要求15中的任意一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其中，選自不飽和羧酸和不飽和羧酸酐(A-a)中的至少l種單體為脂肪族不飽和羧酸、脂肪族不飽和羧酸酐、或脂肪族不飽和羧酸和脂肪族不飽和羧酸酐。7.如權(quán)利要求5或6所述的感光性樹脂組合物，其中，選自式(I)所示的化合物和式(II)所示的化合物中的至少1種化合物為選自式(I')所示的化合物和式(II')所示的化合物中的至少l種化合物，[式(I')和式(II')中，V和V分別獨(dú)立地表示氫原子或碳原子數(shù)為14的烷基，該烷基中含有的氫原子可以被羥基取代]。8.如權(quán)利要求17中的任意一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其中，選自羧酸酐和具有至少2個(gè)羧基的化合物中的至少1種化合物(B)為羧酸酐。9.用于形成涂膜或圖案的權(quán)利要求18中的任意一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物的應(yīng)用。10.涂膜或圖案，其為使用權(quán)利要求18中的任意一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物形成的。11.顯示裝置，其含有權(quán)利要求10所述的涂膜或圖案'全文摘要本發(fā)明提供感光性樹脂組合物，該感光性樹脂組合物含有粘合劑樹脂(A)、選自羧酸酐和具有至少2個(gè)羧基的化合物中的至少1種化合物(B)、光聚合性化合物(C)以及光聚合引發(fā)劑(D)，粘合劑樹脂(A)為將選自不飽和羧酸和不飽和羧酸酐(A-a)中的至少1種單體、與選自可以與該(A-a)共聚的單體(A-b)和具有碳原子數(shù)為2～4的環(huán)狀醚基的單體(A-c)中的至少1種單體聚合而成的粘合劑樹脂。文檔編號(hào)G03F7/032GK101727001SQ20091020814公開日2010年6月9日申請(qǐng)日期2009年10月28日優(yōu)先權(quán)日2008年10月30日發(fā)明者井上勝治申請(qǐng)人:住友化學(xué)株式會(huì)社