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光波導的制造方法

文檔序號:2743702閱讀:176來源:國知局

專利名稱::光波導的制造方法
技術領域
:本發(fā)明涉及包含芯和覆蓋芯的外包層的光波導的制造方法。
背景技術
:由于光波導質輕且能夠高速傳輸信號,因此被期望用于各種電子器件。作為這種光波導的制造方法,已知有一種以覆蓋形成圖案的芯的方式流延液狀的樹脂而形成外包層的方法(專利文獻l)。專利文獻l:日本特開2005-165138號7>才艮
發(fā)明內容發(fā)明要解決的問題現(xiàn)有的制造方法中所獲得的光波導具有如下問題通過芯的光的散射大,光傳輸效率低。本發(fā)明的目的是提供通過芯的光的散射小、光傳輸效率高的光波導的制造方法。用于解決問題的方案本發(fā)明人進行了深入研究,結果明確了由現(xiàn)有制造方法制作的光波導的光傳輸效率低的原因是由于在芯的表面附著有氣泡的緣故。該氣泡是在芯的表面流延液狀的樹脂而形成外包層時在芯的周圍附著氣泡并殘留的。在芯的周圍存在氣泡時,通過芯的光由于氣泡而散射,光傳輸效率降低。圖l是光波導以往的制造方法的示意圖。圖l之(a)示出了芯12圖案形成于下包層11上的狀態(tài)。在以往的制造方法中,接著,如圖l之(b)所示,以包埋芯12的方式在下包層11上流延高粘度的液狀樹脂,形成樹脂層13。使用高粘度的液狀樹脂是為了增大樹脂層13的膜厚。此時,氣泡14容易附著于芯12的周圍。由于樹脂層13的粘度高,因此附著的氣泡14很難從芯12的周圍移動。因此,在將樹脂層13固化而形成外包層15時,如圖l之(c)所示,氣泡14殘留在芯12的周圍。圖2是本發(fā)明的制造光波導的方法的示意圖。圖2之(a)示出了芯22圖案形成于下包層21上的狀態(tài)。在本發(fā)明的制造方法中,在形成外包層時,如圖2之(b)所示,首先,以包埋芯22的方式在下包層21上流延粘度低(例如800mPa.s以下)的第一液狀才對脂而形成第一樹脂層23。由于第一液狀樹脂的粘度低,因此,第一樹脂層23的厚度薄。此時,與以往同樣,氣泡24容易附著在芯22的周圍。因此,在加熱第一樹脂層23時,第一樹脂層23的粘度進一步降低,另一方面,氣泡24膨脹。由此,如圖2之(c)所示,氣泡24從芯22的周圍移動,脫離到第一樹脂層23的外部。這樣,可以除去芯22周圍的氣泡24的一大部分。此時,第一樹脂層23的粘度低是有效的。第一液狀樹脂例如是紫外線固化樹脂,不因力口熱而固。接著,如圖2之(d)所示,在第一樹脂層23上流延粘度高(例如1000mPa.s以上)的第二液狀樹脂,形成第二樹脂層25。第二液狀樹脂由于粘度高,不過度地涂得到處都是,形成一定厚度(例如500jum以上)的第二樹脂層25。由于第二液狀樹脂的粘度比第一液狀樹脂高,因此第二樹脂層25的厚度比第一樹脂層23要厚。接著,如圖2之(e)所示,在第一樹脂層23和第二樹脂層25上照射例如紫外線,將它們固化,形成外包層26。如上所述,通過本發(fā)明的制造方法可以制作光波導20。本發(fā)明的要旨如下所述。(1)本發(fā)明的光波導的制造方法,其特征在于,其為包含芯和覆蓋芯的外包層的光波導的制造方法,其中,光波導的制造方法包括如下工序工序A,其為以包埋芯的方式流延第一液狀樹脂而形成第一樹脂層的工序;工序B,其為在加熱第一樹脂層后或在加熱第一樹脂層的同時,在第一樹脂層上流延粘度比第一液狀樹脂高的第二液狀樹脂而形成第二樹脂層的工序;工序C,其為將第一樹脂層和前述第二樹脂層固化而形成外包層的工序。(2)本發(fā)明的光波導的制造方法,其特征在于,第二樹脂層的厚度比第一樹脂層的厚度厚。(3)本發(fā)明的光波導的制造方法,其特征在于,第一樹脂層和第二樹脂層包含活性能量射線固化樹脂。(4)本發(fā)明的光波導的制造方法,其特征在于,在工序B兩方成形為透4竟形狀。(5)本發(fā)明的光波導的制造方法,其特征在于,在外包層的端部成形的透鏡形狀部分的與光波導的長軸垂直的截面為大致l/4圓弧的長條透鏡形狀。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明的制造方法,可以獲得光傳輸效率高的光波導。進一步,通過將外包層端的光出射部成形為透鏡形狀,可以獲得從其前端出射平行光的光波導器件。另外,通過將外包層端的光入射部成形為透鏡形狀,可以獲得將從其前端入射的光聚集到芯的光波導器件。5圖l是光波導以往的制造方法的示意圖。圖2是本發(fā)明的光波導制造方法的示意圖。圖3是本發(fā)明的光波導制造方法的示意圖。圖4是通過本發(fā)明的制造方法獲得的光波導的示意圖。圖5是光學式觸摸面板(touchpanel)的示意圖。附圖標記i兌明11下包層12芯13樹脂層14氣泡15外包層20光波導21下包層22芯23第一樹脂層24氣泡25第二樹脂層26外包層30光波導31下包層32芯33第一樹脂層34氣泡35凹型注塑才莫35a通氣孔36第二樹脂層37外包層38紫外線40光波導41芯42外包層42a前端部43下包層44平行光線50光學式觸摸面板51光波導52發(fā)光元件53光波導54受光元件55坐標l俞入?yún)^(qū)i或具體實施例方式本發(fā)明的光波導的制造方法
技術領域
:本發(fā)明是包含芯和覆蓋芯的外包層的光波導的制造方法。本發(fā)明的光波導的制造方法包括如下工序工序A,其為以包埋芯的方式流延第一液狀樹脂而形成第一樹脂層的工序;工序B,其為在加熱第一樹脂層后或在加熱第一樹脂層的同時,在第一樹脂層上流延粘度比第一液狀樹脂高的第二液狀樹脂而形成第二樹脂層的工序;工序C,其為將第一樹脂層和第二樹脂層固化而形成外包層的工序。根據(jù)本發(fā)明的制造方法,由于能夠有效地除去在芯的周圍附著的氣泡,可以獲得光散射少的芯和包層。結果,可以制作光傳輸效率高的光波導。在現(xiàn)有制造方法中,液狀樹脂的粘度越高(例如1000mPa.s以上),另外,后來成為外包層的樹脂層的厚度越厚(例如500)iiin以上),則芯的周圍附著的氣泡越難以除去。本發(fā)明的制造方法尤其在這種條件下具有優(yōu)良的氣泡去除效果。圖3是本發(fā)明的光波導制造方法的優(yōu)選實施方案的示意圖。圖3之(a)示出了芯32圖案形成于下包層31上的狀態(tài)。在本發(fā)明的制造方法中,在形成外包層時,首先如圖3之(b)所示,以包埋芯32的方式在下包層31上流延粘度^f氐(例如800mPa.s以下)的第一液狀樹脂,形成第一樹脂層33。此時,與以往相同,氣泡34容易附著于芯32的周圍。在加熱第一樹脂層33時,第一樹脂層33的粘度進一步降低,另一方面,氣泡34膨脹。由此,如圖3之(c)所示,氣泡34從芯32的周圍移動,脫離到第一樹脂層33的外部。這樣,可以除去芯32的周圍的氣泡34的一大部分。此時,第一樹脂層33的粘度低和膜厚薄是有效的。第一液狀樹脂例如是紫外線固化樹脂,不因加熱而固化。接著,如圖3之(d)所示,在第一樹脂層33上覆蓋在凹部具有通向外部的通氣孔35a的透明凹型注塑才莫35,乂人通氣孔35a向凹型注塑模35內流延粘度高(例如1000mPa.s以上)的第二液狀樹脂,形成第二樹脂層36。第二液狀樹脂由于粘度高,因此不過度地涂得到處都是,形成一定厚度(例如500jum以上)的第二樹脂層36。接著,如圖3之(e)所示,通過凹型注塑模35,對第一樹脂層33和第二樹脂層36照射例如紫外線38,將它們固化,形成外包層37。最后,如圖3之(f)所示,除去凹型注塑模35,制作光波導30。本發(fā)明的制造方法的優(yōu)選實施方案包括下述工序(1)~(4)。工序(1):在下包層上形成芯的工序。工序(2):以包埋芯的方式在下包層上流延粘度低的第一液狀樹脂而形成第一樹脂層的工序。第一樹脂層優(yōu)選由通過紫外線等活性能量射線進行固化的樹脂構成。工序(3):在加熱第一樹脂層后或在加熱第一樹脂層的同時除去芯周邊的氣泡,然后,流延粘度高的第二液狀樹脂而形成第二樹脂層的工序。第二樹脂層也優(yōu)選由通過紫外線等活性能量射線進行固化的樹脂構成。工序(4):對第一樹脂層和第二樹脂層照射紫外線等活性能量射線,將它們固化而形成外包層的工序。工序A在本發(fā)明的工序A中,流延粘度低的第一液狀樹脂,形成包埋芯的第一樹脂層。第一液狀樹脂包含折射率低于芯的樹脂。對第一液狀樹脂沒有特定限制,優(yōu)選活性能量射線固化樹脂?;钚阅芰可渚€固化樹脂由于在后述加熱處理時難以進行固化,因此對于氣泡去除是有利的。在本說明書中,"活性能量射線固化樹脂"是指由于紅外線、紫外線、電子射線等作用進行交聯(lián)從而改變?yōu)殡y溶難熔的穩(wěn)定狀態(tài)的樹脂。活性能量射線固化樹脂優(yōu)選是紫外線固化樹脂。固化前的紫外線固化樹脂通常包含由于光化學作用而聚合的光聚合性預聚物,除此以外還可以包含反應性稀釋劑、光聚合引發(fā)劑、溶劑、流平劑等。從附著在芯周圍的氣泡容易移動的觀點考慮,第一液狀樹脂的粘度優(yōu)選為lmPa.s800mPa.s,進一步優(yōu)選為lmPa.s~500mPa.s,最優(yōu)選為2mPa.s~300mPa.s。這些粘度是用實施例中所述測定方法測定的。第一樹脂層是以包埋芯的方式流延第一液狀樹脂而獲得的層。第一樹脂層的厚度根據(jù)芯的高度來適宜地決定,但優(yōu)選為15|am~150pm。對流延第一液狀樹脂的方法沒有特定限制,可以列舉出旋轉涂布法、浸漬法、澆注(casting)法等。通過折射率高于外包層的材料形成芯。形成芯的材料優(yōu)選是圖案形成性優(yōu)異的紫外線固化樹脂。作為紫外線固化樹脂,可以優(yōu)選地列舉出丙烯酸系紫外線固化樹脂、環(huán)氧系紫外線固化樹脂、硅氧烷系紫外線固化樹脂、降冰片烯系紫外線固化樹脂、聚酰亞胺系紫外線固化樹脂等。對圖案形成芯的方法沒有特定限制,可以使用千蝕刻法、轉印法、曝光和顯影法、光漂白法等。芯通常制作在基材或下包層的表面上。通常,基材和下包層的折射率比芯低。對于芯的與長軸垂直的截面的形狀沒有特定限制,優(yōu)選是梯形或四邊形。芯的寬度優(yōu)選為10|um~500jum,芯的高度優(yōu)選為10|iim~100pm。在芯為梯形的情況下,芯的寬度是下底的長度,芯的高度是連接上底的中點與下底的中點的線段的長度。工序B在本發(fā)明的工序B中,在加熱由工序A獲得的第一樹脂層后或在加熱由工序A獲得的第一樹脂層的同時除去芯周邊的氣泡,然后,在第一樹脂層上流延粘度高的第二液狀樹脂,形成厚度大于第一樹脂層的第二樹脂層。第一樹脂層的加熱是為了除去附著在芯的周圍的氣泡而進行的。在加熱第一樹脂層時,第一樹脂層的粘度進一步降低,氣泡膨脹。因此,氣泡變得容易從芯的周圍移動,并且容易脫離到第一樹脂層的外部。由于第一液狀樹脂的粘度低,第一樹脂層的厚度變薄,氣泡容易脫離到外部。加熱第一樹脂層的溫度例如在第一樹脂層中含有溶劑的情況下根據(jù)溶劑的沸點而定,但優(yōu)選為40。C~120°C,進一步優(yōu)選為60。C~100°C。10只要第二液狀樹脂粘度高于第一液狀樹脂,第二液狀樹脂就可以是與第一液狀樹脂相同的材質,也可以是與第一液狀樹脂不同的材質。第二液狀樹脂的粘度優(yōu)選為1000mPa.s~6000mPa-s,進一步優(yōu)選為1000mPa.s~糊OmPa's。如果使用該粘度的第二液狀樹脂,例如可以形成厚度為50ium5mm的外包層。對第二液狀樹脂沒有特定限制,優(yōu)選是活性能量射線固化樹脂,進一步優(yōu)選是與第一液狀樹脂同樣的紫外線固化樹脂。紫外線固化樹脂的粘度可以通過適當調節(jié)反應性稀釋劑或溶劑的含量來增加或減小。工序C在使用液狀的活性能量射線固化樹脂作為第一液狀樹脂和第二液狀樹脂的情況下,第一樹脂層和第二樹脂層在照射活性能量射線之前處于未固化狀態(tài)。未固化的第一樹脂層和第二樹脂層優(yōu)選通過照射活性能量射線而固化。作為活性能量射線,紫外線是優(yōu)選的。紫外線的照射量優(yōu)選為1000mJ/cm2~8000mJ/cm2。只要在該條件范圍內,可以充分固化第一樹脂層和第二樹脂層。固化第一樹脂層和第二樹脂層而獲得的外包層可以是第一樹脂層和第二樹脂層具有明確界面的多層結構,也可以是第一樹脂層和第二樹脂層渾然一體化的單層結構。單層結構具有優(yōu)異的光傳輸效率,因此是優(yōu)選的。在一個實施方案中,根據(jù)本發(fā)明的制造方法,如圖3之(d)、圖3之(e)所示,在形成第一樹脂層33之后,將凹型注塑模35覆蓋在第一樹脂層33上,向該凹型注塑模35的內部流延第二液狀樹脂,可以形成第二樹脂層36。根據(jù)該制造方法,可以形成厚度更厚(例如800nm以上)的外包層37。另夕卜,通過控制凹型注塑模35的內部形狀,可以將外包層37成形為具有所需功能的形狀(例如透鏡形狀)。光波導圖4之(a)是通過本發(fā)明的制造方法獲得的光波導的示意性立體圖。圖4之(b)是正面圖和側面圖。通過本發(fā)明的制造方法獲得的光波導40包含芯41和覆蓋芯41的外包層42。優(yōu)選如圖4所示,光波導40包含下包層43和在下包層43上形成的外包層42。外包層42優(yōu)選是其前端部42a成形為透鏡形狀的透鏡一體型外包層。透鏡一體型外包層是通過在工序B、C中將外包層的前端部成形為透鏡形狀而得到的。這種具有透鏡一體型外包層的光波導與例如發(fā)光元件、受光元件等光元件結合,可以作為光波導器件使用。在包層包含下包層43和外包層42的情況下,下包層43的厚度優(yōu)選為5pm10mm。夕卜包層42的厚度優(yōu)選為lOpm~10mm的范圍,下包層43設定為更厚。透鏡形狀部在外包層42的前端部42a上一體成形時,透鏡形狀部優(yōu)選是凸透鏡形狀,更優(yōu)選是與光波導的長軸垂直的截面為大致1/4圓弧狀的凸透鏡形狀(沿著長軸將柱狀透鏡(Lenticularlens)切成一半的形狀)。其曲率半徑優(yōu)選為300jLim5mm,進一步優(yōu)選為500,~3mm。在本發(fā)明中,所述"大致l/4圓弧,,是指90度±IO度的圓弧。在外包層42的前端部42a成形為凸透鏡形狀的情況下,如圖4之(b)所示,從芯41出射的光線通過凸透鏡形狀部而變成平行光線44,不擴散地前進。另外,雖然沒有圖示,但入射到外包層的前端部的光線通過凸透鏡形狀部變成會聚到芯的光線,因此有效地入射到芯。用途對通過本發(fā)明的制造方法制造的光波導的用途沒有限制,但可以適當?shù)赜糜诶绻饩€路板、光連接器、光電混載基板、光學式觸摸面板等。實施例實施例1包層形成用清漆的制備將下列成分混合,制備包層形成用清漆。(成分A)具有脂環(huán)骨架的環(huán)氧系紫外線固化樹脂(ADEKACORPORATION制造,EP4080E)100重量份(成分B)光致產(chǎn)酸劑(SAN-APROLTD.制造,CPI-200K)2重量份芯形成用清漆的制備將下列成分混合,制備芯形成用清漆。(成分C)含有芴骨架的環(huán)氧系紫外線固化樹脂(OsakaGasChemicalsCo.,Ltd.制造,OGSOLEG)40重量份(成分D)含有芴骨架的環(huán)氧系紫外線固化樹脂(NagaseChemteXCorporation制造,EX-1040)30重量^f分(成分E)1,3,3-三(4_(2-(3-氧雜環(huán)丁烷基)丁氧基苯基)丁烷(制法如后述)30重量份-上述成分Bl重量4分-乳酸乙酯41重量份1,3,3-三(4-(2-(3-氣雜環(huán)丁烷基))丁氧基苯基)丁烷的制法在具備溫度計、冷卻管和攪拌裝置的200ml的三口燒瓶中,投入6.68g(20mmol)l,3,3-三(4-羥苯基)丁烷和25mlN-甲基-2-吡咯烷酮,一邊在氮氣氛圍下加熱至80。C一邊攪拌至完全溶解。溶解后,添力p23.46g(72mmol)碳酸銫,進一步攪拌30分鐘。向其中添加17.84g(66mmol)預先合成的2-(3-氮雜環(huán)丁烷基)丁基曱苯磺酸酯,在氮氣氛圍下在8(TC攪拌20小時。反應結束后,冷卻到室溫,然后添加100ml醋酸乙酯和50ml蒸餾水,此后放置,分離為水相與有機相。萃取這樣分離的有機相,萃取物進一步用水洗滌,用無水石克酸4美干燥一晚。此后,過濾出石克酸4美,進一步蒸餾掉溶劑,由此獲得反應粗產(chǎn)物。通過硅膠柱色譜法(洗脫劑正己烷/丙酮)分離提純該粗產(chǎn)物,獲得12.20g(收率97%)無色透明的半固體。并且,使用^-NMR和"C-NMR(均由日本電子公司制造)分析這樣獲得的化合物,結果確認是1,3,3-三(4-(2-(3-氧雜環(huán)丁烷基))丁氧基苯基)丁烷。光波導的制作在厚度188lam的聚萘二甲酸乙二醇酯薄膜的表面上涂布包層形成用清漆,照射1000mJ/cn^紫外線之后,在80。C下加熱處理5分鐘,形成厚度20inm的下包層。下包層在波長830nm下的折射率為1.510。在下包層的表面涂布芯形成用清漆,在100。C下加熱處理5分鐘,形成芯層。用光掩模覆蓋芯層(間隙100iam),照射2500mJ/cm2紫外線,進一步在100°C下加熱處理IO分鐘。用y-丁內酯水溶液溶解除去芯層的紫外線未照射部分,在120。C下加熱處理5分鐘,圖案形成芯寬度20jiim、芯高度50pm的芯。芯的折射率在830nm波長下為1.592。以覆蓋芯的方式涂布粘度2mPa.s的包層形成用清漆(第一液狀樹脂),形成厚度60)iim的第一樹脂層。將第一樹脂層在80。C下加熱5分鐘,除去芯周邊存在的氣泡。此后,將石英制的凹型注塑模按壓在第一樹脂層上,向凹型注塑模的內部流延粘度為3000mPa.s的包層形成用清漆(第二液狀樹脂),形成第二樹脂層。另外,包層形成用清漆的粘度通過適當增減作為稀釋劑使用的曱乙酮的量來調節(jié)。通過凹型注塑模對第一樹脂層和第二樹脂層照射2000mJ/cm2紫外線,在80°C下加熱處理5分鐘,將第一樹脂層和第二樹脂層固化,形成外包層。此后,剝離凹型注塑模。這樣形成了厚度lmm的外包層,所述外包層在前端部具備與光波導長軸垂直的截面的形狀為大致1/4圓弧的長條凸透鏡(柱狀透鏡在長軸方向上切成一半的形狀)。凸透鏡的曲率半徑為1.5mm,外包層在波長830nm下的折射率為1.510。這樣獲得的光波導具備下包層(厚度20pm)、在下包層的表面上圖案形成的芯(寬度20ium、高度50pm)、以覆蓋芯的方式在下包層上形成的外包層(厚度lmm)。實施例2除了用于形成第一樹脂層的包層形成用清漆(第一液狀樹脂)的粘度為200mPa.s以外,與實施例1同樣地制作出光波導。實施例3除了用于形成第一樹脂層的包層形成用清漆(第一液狀樹脂)的粘度為500mPa.s以外,與實施例1同樣地制作出光波導。比較例除了用于形成第一樹脂層的包層形成用清漆(第一液狀樹脂)的粘度為3000mPa.s以外,與實施例1同樣地制作出光波導。評價各準備2個實施例1~3、比較例中所制作的具有透鏡一體型外包層的L字型光波導。如圖5所示,將出射波長850nm光的發(fā)光元件52(OptowellCo.,Ltd.制造,VECSEL)與一個光波導51的末端結合,將受光元件54(TAOS公司制造,CMOS線形陣列傳感器)與另一光波導53結合。各光波導51、53以使得隔著坐標輸入?yún)^(qū)域55相對的方式配置,制作對角3英寸的光學式觸摸面板50。從發(fā)光元件52出射強度5mW的光,用受光元件54測定受光強度。結果在表l中示出。可以看出,實施例的光波導的受光強度大于比較例,因此,實施例的光波導的光傳輸效率高。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>測定方法粘度使用應力流變儀(ThermoHAAKE公司制造,HAKKERheoStress600)在溫度25。C下測定。折射率通過旋轉涂布法在^5圭晶片(siliconwafer)上分別用包層形成用清漆和芯形成用清漆成膜,制作折射率測定用試樣,使用棱鏡耦合器(Cylon公司制造)來測定。芯寬度、芯高度使用劃片(Dicer)式切斷機(DISCO公司制造,DAD522)將所制作的光波導斷面切斷,使用激光顯微鏡(KEYENCECORPORATION制造)觀測切斷面。1權利要求1.一種光波導的制造方法,其特征在于,其為包含芯和覆蓋前述芯的外包層的光波導的制造方法,其中,光波導的制造方法包括如下工序工序A,其為以包埋前述芯的方式流延第一液狀樹脂而形成第一樹脂層的工序;工序B,其為在加熱前述第一樹脂層后或在加熱前述第一樹脂層的同時,在前述第一樹脂層上流延粘度比前述第一液狀樹脂高的第二液狀樹脂而形成第二樹脂層的工序;工序C,其為將前述第一樹脂層和前述第二樹脂層固化而形成外包層的工序。2.根據(jù)權利要求l所述的光波導的制造方法,其特征在于,前述第二樹脂層的厚度比前述第一樹脂層的厚度厚。3.根據(jù)權利要求1或2所述的光波導的制造方法,其特征在于,前述第一樹脂層和第二樹脂層包含活性能量射線固化樹脂。4.根據(jù)權利要求1或2所述的光波導的制造方法,其特征在于,在前述工序B和C中,將前述外包層的端部的光出射部和光入射部的任何一方或兩方成形為透鏡形狀。5.根據(jù)權利要求3所述的光波導的制造方法,其特征在于,在前述工序B和C中,將前述外包層的端部的光出射部和光入射部的任何一方或兩方成形為透#;形狀。6.根據(jù)權利要求4所述的光波導的制造方法,其特征在于,在前述外包層的端部成形的透鏡形狀部分的與光波導的長軸垂直的截面為大致l/4圓弧的長條透鏡形狀。7.根據(jù)權利要求5所述的光波導的制造方法,其特征在于,在前述外包層的端部成形的透鏡形狀部分的與光波導的長軸垂直的截面為大致1/4圓弧的長條透鏡形狀。全文摘要本發(fā)明提供光波導的制造方法。通過以往的制造方法制作的光波導的光傳輸效率低。原因是在芯的表面流延液狀樹脂而形成外包層時,氣泡在芯的周圍附著并殘留。一種光波導的制造方法,其包括如下工序工序A,其為以包埋芯(22)的方式流延第一液狀樹脂而形成第一樹脂層(23)的工序;工序B,其為在加熱第一樹脂層(23)后或在加熱第一樹脂層(23)的同時,在第一樹脂層(23)上流延粘度比第一液狀樹脂高的第二液狀樹脂而形成第二樹脂層(25)的工序;工序C,其為將第一樹脂層(23)和第二樹脂層(25)固化而形成外包層(26)的工序。文檔編號G02B6/13GK101650453SQ20091016109公開日2010年2月17日申請日期2009年8月11日優(yōu)先權日2008年8月11日發(fā)明者內藤龍介申請人:日東電工株式會社
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