專利名稱：一種分離顯影液廢液與di水的分離裝置及分離方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其涉及一種分離顯影液廢液與DI水的分離裝置 及分離方法。
背景技術(shù)：
光阻覆蓋顯影機(jī)需要顯影液來(lái)實(shí)現(xiàn)顯影，但是實(shí)現(xiàn)顯影之后將會(huì)產(chǎn)生顯影液廢 液，同時(shí)，為了清理多余的顯影液還需要DI水來(lái)進(jìn)行清洗。現(xiàn)有的光阻顯影系統(tǒng)中的顯影 液廢液與沖洗用的DI水是經(jīng)由一根排放管道排放到廠務(wù)系統(tǒng)中去的，如圖1所示,在圖1
中，管道i與管道2中是:[):i:水，管道3中是顯影液廢液，這三個(gè)管道中的液體都先經(jīng)過(guò)同一
個(gè)管道4，再經(jīng)過(guò)排放管道5排出。這使得兩種液體混在一起，無(wú)疑增加了廠務(wù)處理廢液的 成本，也增加了 DI水回收的成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的上述問(wèn)題，提供--種可將顯影液廢液與DI水 分離的分離裝置及分離方法。 本發(fā)明提供了一種分離顯影液廢液與DI水的分離裝置，該裝置包含一個(gè)自動(dòng)阻 尼器，該自動(dòng)阻尼器與系統(tǒng)中的顯影液廢液管道和DI:水管道相連；一個(gè)液體隔離裝置，該 液體隔離裝置位于上述阻尼器下方，用于接收從上述自動(dòng)阻尼器流下的液體；且該液體隔 離裝置具有第一隔間和第二隔間；第一排放管道，該第一排放管道位于--匕述第一隔間下方， 且與上述第一隔間連通；第二排放管道,該第二排放管道位于上述第二隔間下方,且與上述 第二隔間連通。 上述自動(dòng)阻尼器可以根據(jù)系統(tǒng)的工作狀態(tài)進(jìn)行旋轉(zhuǎn),將其下端分別指向上述第一 隔間或第二隔間。 上述自動(dòng)阻尼器的旋轉(zhuǎn)角度是45 135度，優(yōu)選為90度。 本發(fā)明還提供了一種利用上述分離裝置的分離方法，當(dāng)光阻顯影系統(tǒng)處于第一工 作狀態(tài)時(shí)，上述分離裝置中的自動(dòng)阻尼器的下端指向上述第-隔間，并通過(guò)第一隔間下端 的第一排放管道將廢液排出；當(dāng)光阻顯影系統(tǒng)處于第二工作狀態(tài)時(shí)，上述分離裝置中的自 動(dòng)阻尼器的下端指向上述第二隔間，并通過(guò)第二隔間下端的第二排放管道將廢液排出。
光阻顯影系統(tǒng)由控制信號(hào)控制進(jìn)入第二工作狀態(tài),該控制信號(hào)同步控制上述自動(dòng) 阻尼器，使其下端指向上述第二隔間。 上述第一廢液是顯影液廢液；上述第二廢液是DI水。 采用本發(fā)明所述的分離裝置和分離方法可以最大限度的使顯影液廢液和DI水分 開排放，有利于廠務(wù)處理廢液，節(jié)約成本，促進(jìn)環(huán)保。


圖1表示現(xiàn)有的現(xiàn)有顯影裝置系統(tǒng)中顯影液廢液與DI水的流向及排放方式 圖2表示本發(fā)明所述的分離裝置在-一個(gè)工作狀態(tài)下的示意圖；
圖3表示本發(fā)明所述的分離裝置在另一個(gè)工作狀態(tài)下的示意圖；
圖4表示本發(fā)明所述的分離裝置處于整個(gè)光阻顯影系統(tǒng)中的示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明所述的一種分離顯影液廢液與DI水的分 離裝置及分離方法作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。 如圖2所示,本發(fā)明所述的分離裝置包含一個(gè)自動(dòng)阻尼器6和一個(gè)液體隔離裝置 7,自動(dòng)阻尼器6位于上方，與系統(tǒng)中的顯影液廢液管道和DI水管道相連，液體隔離裝置7 位于上述自動(dòng)阻尼器6下方，用于接收自動(dòng)阻尼器6流下的液體，且液體隔離裝置7分為兩 個(gè)隔間71和72,兩個(gè)隔間下端分別接有兩個(gè)排放管道8、9，分別用于排放顯影液廢液和DI 水。圖2所示是正常工作狀態(tài)下本分離裝置中自動(dòng)阻尼器6所處的位置。所謂正常工作狀 態(tài)是指此時(shí)尚未用DI水進(jìn)行清洗，只是用顯影液進(jìn)行噴涂。這時(shí)，自動(dòng)阻尼器6的下端指 向液體隔離裝置7的隔間71，使得顯影液廢液可以通過(guò)隔間71 F端的排放管道8排出。
而當(dāng)顯影裝置系統(tǒng)中利用DI水進(jìn)行沖洗時(shí)，控制DI水噴涂的電信號(hào)可以同步控 制本發(fā)明所述的分離裝置中的自動(dòng)阻尼器6旋轉(zhuǎn)，使得該阻尼器6由圖2中的位置順時(shí)針 旋轉(zhuǎn)45 135度、例如是90度，到達(dá)圖3所示的位置。這時(shí)自動(dòng)阻尼器6的下端指向液體 隔離裝置7的隔間72，使得DI水可以通過(guò)隔間72下端的排放管道9排出。 一旦電信號(hào)結(jié) 束，DI水噴涂結(jié)束，則分離裝置將回歸圖2中的位置。 圖4所示是本發(fā)明所述的分離裝置處于整個(gè)光阻顯影系統(tǒng)中的示意圖。在正常工 作狀態(tài)下，顯影液廢液經(jīng)管道3、管道4、管道10后流向本發(fā)明所述的分離裝置，然后通過(guò)自 動(dòng)阻尼器6的調(diào)節(jié)，使得顯影液廢液通過(guò)管道8排出；而在利用DI水進(jìn)行沖洗時(shí)，DI水經(jīng) 過(guò)管道1或2、管道4、管道10流向本發(fā)明所述的分離裝置，然后通過(guò)自動(dòng)阻尼器6的調(diào)節(jié)， 使得D]:水通過(guò)管道9排出。 本發(fā)明的分離裝置和分離方法還可用于其他的在不同工作狀態(tài)下使用不同液體 的其他裝置中來(lái)分離不同的液體。 采用本發(fā)明所述的分離裝置和分離方法可以最大限度的使顯影液廢液和DI水分 開排放，有利于廠務(wù)處理廢液,節(jié)約成本，促進(jìn)環(huán)保。
[酬 以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并非用來(lái)限定本發(fā)明的實(shí)施范圍；如果不脫 離本發(fā)明的精神和范圍，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行修改或者等同替換的，均應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的權(quán)利要 求的保護(hù)范圍當(dāng)中。
權(quán)利要求
一種分離顯影液廢液與DI水的分離裝置，其特征在于該裝置包含一個(gè)自動(dòng)阻尼器，該自動(dòng)阻尼器與系統(tǒng)中的顯影液廢液管道和DI水管道相連；一個(gè)液體隔離裝置，該液體隔離裝置位于上述阻尼器下方，用于接收從上述自動(dòng)阻尼器流下的液體；且該液體隔離裝置具有第一隔間和第二隔間；第一排放管道，該第一排放管道位于上述第一隔間下方，且與上述第一隔間連通；第二排放管道，該第二排放管道位于上述第二隔間下方，且與上述第二隔間連通。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的分離裝置，其特征在于在....匕述自動(dòng)阻尼器可以根據(jù)系統(tǒng)的工 作狀態(tài)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，將其下端分別指向上述第一隔間或第二隔間。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的分離裝置，其特征在于上述自動(dòng)阻尼器的旋轉(zhuǎn)角度是45 135度。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的分離裝置，其特征在于....匕述自動(dòng)阻尼器的旋轉(zhuǎn)角度是90度。
5. 一種利用權(quán)利要求1所述分離裝置的分離方法,其特征在于當(dāng)光阻顯影系統(tǒng)處于第一工作狀態(tài)時(shí)，上述分離裝置中的自動(dòng)阻尼器的下端指向上述第-一隔間，并通過(guò)第一隔間下端的第一排放管道將第一廢液排出；當(dāng)光阻顯影系統(tǒng)處于第二工作狀態(tài)時(shí)，....匕述分離裝置中的自動(dòng)阻尼器的下端指向上述第二隔間，并通過(guò)第二隔間下端的第二排放管道將第二廢液排出。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于光阻顯影系統(tǒng)由控制信號(hào)控制進(jìn)入第二工 作狀態(tài)，該控制信號(hào)同步控制上述自動(dòng)阻尼器,使其下端指向上述第二隔間。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于上述第一廢液是顯影液廢液；....匕述第二廢液是DI水。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種分離顯影液廢液與DI水的分離裝置及分離方法，該裝置包含一個(gè)自動(dòng)阻尼器、一個(gè)液體隔離裝置和兩個(gè)排放管道。在正常工作狀態(tài)下，上述阻尼器的下端指向液體隔離裝置的一個(gè)隔間，并通過(guò)該隔間下方的排放管道排出顯影液廢液；而當(dāng)利用DI水進(jìn)行清洗時(shí)，上述阻尼器將進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使其下端指向液體隔離裝置的另一個(gè)隔間，并通過(guò)該另一隔間下方的排放管道排出DI水。采用本發(fā)明所述的分離裝置和分離方法可以最大限度的使顯影液廢液和DI水分開排放，有利于廠務(wù)處理廢液，節(jié)約成本，促進(jìn)環(huán)保。
文檔編號(hào)G03F7/30GK101794086SQ20091000564
公開日2010年8月4日 申請(qǐng)日期2009年2月2日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月2日
發(fā)明者胡清強(qiáng), 陳曉琪, 陳耀, 魯旭光 申請(qǐng)人:和艦科技(蘇州)有限公司