專利名稱：：濾色器及其制造方法以及液晶顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及濾色器(colorfilter)及其制造方法以及液晶顯示裝置。
背景技術(shù)：
：濾色器是液晶顯示器(LiquidCrystalDisplay:LCD)和固體攝像元件中不可缺少的構(gòu)成部件。例如，液晶顯示器逐漸應(yīng)用于電視機(jī)，液晶顯示器用濾色器與目前的筆記本電腦(laptopcomputer)用或監(jiān)視器(monitor)用濾色器相比，要求具有更高品質(zhì)的畫質(zhì)。另外，為了生產(chǎn)大型TV，基板尺寸擴(kuò)大，對(duì)合格率提高及成本削減的需求變大。關(guān)于上述畫質(zhì)的提高，在濾色器制造時(shí)存在以下問題在黑矩陣(blackmatrix)與著色像素的邊界部分著色圖案凸起，因?yàn)V色器不平坦而導(dǎo)致畫質(zhì)下降(例如參照日本專利特開平9-113721號(hào)公報(bào))。上述邊界部分的凸起有時(shí)會(huì)引起對(duì)比度(contrast)下降、顏色不均等。因此，以往在像素制作后對(duì)濾色器的表面進(jìn)行研磨或在像素上形成保護(hù)(overcoat)層(以下有時(shí)也稱為"OC層")來應(yīng)對(duì)。但是，若進(jìn)行研磨或形成OC層，則濾色器的制造工序增加，成本提高。此外，在研磨時(shí)，有時(shí)會(huì)產(chǎn)生濾色器受損等弊端，謀求能省略研磨工序和/或OC層形成工序的方法。針對(duì)于此，嘗試了通過減少黑矩陣的錐角(taperangle)來解決上述邊界部分凸的問題(例如參照日本專利特開平9-113721號(hào)公報(bào)和日本專利特開2003-161826號(hào)公報(bào))。在日本專利特開2003-161826號(hào)公報(bào)中，還通過噴墨(inkjet)法僅在黑矩陣框內(nèi)賦予著色組合物。但是，若采用日本專利特開平9-113721號(hào)公報(bào)中所述的方法，則需要大量工序以得到具有上述錐角的黑矩陣。具體而言，將黑矩陣形成用感光性黑色組合物在基板上涂布干燥后，再涂布正型抗蝕劑(positiveresist),調(diào)節(jié)該感光性黑色組合物與正型抗蝕劑的顯影速度比，是費(fèi)時(shí)費(fèi)力的方法。若為了減小錐角而增加底切(undercut)的長(zhǎng)度，則顯影中底切的顯影條件依存性變大，反之若使底切不太大，則黑矩陣的線寬的顯影條件依存性變大，在任一種情況下均存在難以穩(wěn)定生產(chǎn)的問題。此外，僅通過底切來調(diào)節(jié)錐角時(shí)，抑制著色圖案凸起的效果并不充分。而且，該技術(shù)并非針對(duì)lmxlm以上的大型基板。另一方面，在日本專利特開2003-161826號(hào)公報(bào)中，由于通過噴墨法將著色組合物賦予基板來形成著色廚案，因此不適于抑制在通過著色組合物的涂布和/或轉(zhuǎn)印等來形成著色圖案時(shí)產(chǎn)生的黑矩陣與著色圖案相重疊的重疊部分的著色圖案的凸起。在黑矩陣與著色像素的邊界部分，黑矩陣高于著色像素而產(chǎn)生高度差，濾色器不平坦，會(huì)產(chǎn)生同樣的畫質(zhì)下降問題。
發(fā)明內(nèi)容鑒于上述情況，本發(fā)明的目的在于提供無需追加研磨或設(shè)置OC層等工序、用成本低且簡(jiǎn)易的方法形成精度良好的黑矩陣、抑制在黑矩陣與著色像素的邊界部分的著色圖案凸起而得到高品質(zhì)圖像的濾色器及其制造方法以及液晶顯示裝置。<1〉一種濾色器的制造方法，其具有黑矩陣形成工序和著色圖案形成工序，所述黑矩陣形成工序包含使用感光性黑色組合物在基板上形成感光性黑色組合物層，將上述感光性黑色組合物層曝光，以及通過將曝光后的上述感光性黑色組合物層顯影，來形成具有底切的黑矩陣圖案，然后將形成的黑矩陣圖案烘烤，其中，該底切的長(zhǎng)度在黑矩陣寬度方向上為-2.0(am5.0|im，所述著色圖案形成工序包含在烘烤后的形成了黑矩陣的上述基板上，使用感光性著色組合物形成感光性著色組合物層；將上述感光性著色組合物層曝光；將曝光后的上述感光性著色組合物層顯影；以及，通過將顯影后的上述感光性著色組合物層烘烤，來形成著色圖案，其中，該烘烤5后的該著色圖案與上述黑矩陣相重疊的重疊部在黑矩陣寬度方向上的長(zhǎng)度為2.0拜9.0)im。<2>根據(jù)<1>所述的濾色器的制造方法，其中，在上述基板上形成的上述感光性黑色組合物層的厚度為0.2pm2.2nm。<3>根據(jù)<1〉所述的濾色器的制造方法，其中，在上述黑矩陣形成工序中的上述顯影中，顯影液的溫度為2(TC3(TC。<4>根據(jù)<1>所述的濾色器的制造方法，其中，上述黑矩陣形成工序中，在上述感光性黑色組合物層的形成后并在上述曝光前還包含預(yù)烘烤。<5>根據(jù)<4>所述的濾色器的制造方法，其中，上述預(yù)烘烤中的預(yù)烘烤溫度為6(TC140。C。<6〉根據(jù)<4>所述的濾色器的制造方法，其中，上述預(yù)烘烤中的預(yù)烘烤時(shí)間為30秒300秒。<7>根據(jù)<1>所述的濾色器的制造方法，其中，上述感光性著色組合物層的層厚為1.8pm2.8^im。<8〉根據(jù)<1〉所述的濾色器的制造方法，其中，在上述著色圖案形成工序中的上述曝光中，通過掩模圖案進(jìn)行曝光，曝光圖案與黑矩陣的交疊部分在黑矩陣寬度方向上的長(zhǎng)度為2.0pm9.(^m。<9>根據(jù)<8>所述的濾色器的制造方法，其中，在上述著色圖案形成工序中的上述顯影中，顯影溫度為2(TC35T:，顯影時(shí)間為20秒120秒。<10>根據(jù)<8>所述的濾色器的制造方法，其中，上述重疊部分在黑矩陣寬度方向上的長(zhǎng)度為2.0nm8.0pm，上述顯影溫度為21。C30。C，上述顯影時(shí)間為25秒80秒。<11>根據(jù)<8>所述的濾色器的制造方法，其中，上述重疊部分在黑矩陣寬度方向上的長(zhǎng)度為2.0lam7.0(im，上述顯影溫度為22°C26°C，上述顯影時(shí)間為35秒75秒。<12>—種濾色器，其是用<1〉<11>中任一項(xiàng)所述的濾色器的制造方法制造的濾色器，具有黑矩陣與著色圖案相重疊的重疊部，上述重疊部在黑矩陣寬度方向的長(zhǎng)度為2.0(im9.0|Lim。<13>根據(jù)<12>所述的濾色器，其中，上述著色圖案的表面中，上述重疊部距離基板表面最遠(yuǎn)的部分與上述重疊部以外的部分之間在基板法線6方向上的距離為0.50pm以下。<14〉一種液晶顯示裝置，其具有<12>所述的濾色器。<15>—種液晶顯示裝置，其具有<13>所述的濾色器。本發(fā)明能提供無需追加研磨或設(shè)置OC層等工序、用成本低且簡(jiǎn)易的方法形成精度良好的黑矩陣、抑制在黑矩陣與著色像素的邊界部分的凸起而得到高品質(zhì)圖像的濾色器及其制造方法以及液晶顯示裝置。圖1是設(shè)有底切的黑矩陣基板的局部剖面圖。圖2是設(shè)有底切的黑矩陣基板的局部剖面圖。圖3是形成了重疊部的濾色器的局部剖面圖。圖4是在重疊部具有角的濾色器的局部剖面圖。圖5是用于求角高度的測(cè)定方法的概念圖。圖6是本發(fā)明的濾色器的剖面圖。具體實(shí)施例方式以下，對(duì)本發(fā)明的濾色器及其制造方法以及液晶顯示裝置進(jìn)行詳細(xì)說明。濾色器的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明的濾色器的制造方法具有黑矩陣形成工序和著色圖案形成工序，根據(jù)需要還可以具有保護(hù)層形成工序、液晶取向輔助圖案形成工序、柱狀間隔物(columnspacer)形成工序等其他工序。在任一工序中，關(guān)于向玻璃基板的成膜而言，可以在玻璃基板上直接涂布感光性組合液來形成，或者也可以在臨時(shí)支撐體上涂布感光性組合液后轉(zhuǎn)印到玻璃基板。以下，對(duì)黑矩陣形成工序和著色圖案形成工序分別進(jìn)行說明。黑矩陣形成工序在本發(fā)明的黑矩陣形成工序中，至少通過使用感光性黑色組合物在基板上形成感光性黑色組合物層(感光性黑色組合物層形成工序)、將上述感光性黑色組合物層曝光的工序(曝光工序)以及將上述曝光后的上述感7光性黑色組合物層顯影(顯影工序)，形成在黑矩陣的寬度方向的底切的長(zhǎng)度為-2.0拜5.0,的黑矩陣圖案，然后，通過將形成的黑矩陣圖案烘烤(烘烤工序)來形成黑矩陣。在黑矩陣形成工序中，除上述工序外，還可以根據(jù)需要具有其他工序。黑矩陣在本發(fā)明中，黑矩陣的光學(xué)濃度(OD值)優(yōu)選為2.08.0，更優(yōu)選為2.58.0'進(jìn)一步優(yōu)選為3.56.0。若光學(xué)濃度為2.0以上，則能抑制對(duì)比度下降等顯示裝置顯示品質(zhì)的下降。另外，這里所謂的光學(xué)濃度是指ISOVisual(視覺)透射光學(xué)濃度。作為能在ISOVisual透射光學(xué)濃度的測(cè)定中使用的測(cè)定器，可以列舉例如SAKATAINXENG.Co"Ltd.的X-Rite361T(V)。黑矩陣的線寬(夾于著色圖案間的、與黑矩陣長(zhǎng)度方向正交的方向上的長(zhǎng)度)為5pm3(Vm，其從高開口率能確保亮度的觀點(diǎn)出發(fā)成為優(yōu)選。關(guān)于黑矩陣的厚度(黑矩陣在基板法線方向的長(zhǎng)度)，從減小在黑矩陣與著色圖案相交疊的重疊部的凸起(優(yōu)選為0.50pm以下)的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為0.2pm2.2)im，進(jìn)一步優(yōu)選為0.2pm1.6|am，更優(yōu)選為0.7(im1.3^m。若在該厚度范圍內(nèi)，則設(shè)有黑矩陣的基板的凹凸即黑矩陣的形成區(qū)域與非形成區(qū)域的高度差適宜，在黑矩陣形成后能以高精度在其上形成RGB等著色圖案(著色像素)。感光性黑色組合物層形成工序在本工序中，使用感光性黑色組合物在基板上形成感光性黑色組合物層。作為能在本工序中使用的基板，可以列舉例如在液晶顯示元件等中使用的無堿玻璃、鈉鈣玻璃、PYREX(注冊(cè)商標(biāo))玻璃、石英玻璃及粘附透明導(dǎo)龜膜的上述玻璃、以及在固體攝像元件等中使用的光電轉(zhuǎn)換元件基板例如硅基板等。此外，還可以使用塑料基板。其中，從耐試劑性和耐熱性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選無堿玻璃。在這些基板上首先形成格子狀等黑矩陣以隔離各像素，然后在格子的空缺部分形成著色像素。另外，在這些基板上，還可以根據(jù)需要設(shè)置底涂層以改善與上部層之間的密合性、防止物質(zhì)擴(kuò)散或使基板表面平坦化。從進(jìn)一步發(fā)揮本發(fā)明效果的觀點(diǎn)出發(fā)，基板優(yōu)選為大型(一邊約為lm以上)基板。作為在基板上形成感光性黑色組合物層的方法，例如有通過涂布等在基板上賦予感光性黑色組合物的方法。作為在基板上賦予感光性黑色組合物的方法，可以使用狹縫涂布(slitcoating)、噴墨法、旋轉(zhuǎn)涂布、流延涂布(castcoating)、輥涂布(rollcoating)、絲網(wǎng)印刷法(screenprinting)等各種賦予方法。其中，從精度和速度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選狹縫涂布。從提高涂布性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選在進(jìn)行這些涂布前使用紫外線或各種洗滌液將基板洗滌。此外，還可以使用將事先在臨時(shí)支撐體上用上述賦予方法形成的涂膜轉(zhuǎn)印到基板上的方法。關(guān)于轉(zhuǎn)印方法，本發(fā)明可以優(yōu)選使用日本專利特開2006-23696號(hào)公報(bào)的段落編號(hào)、或日本專利特開2006-47592號(hào)公報(bào)的段落編號(hào)中記載的制作方法。作為轉(zhuǎn)印中使用的層壓機(jī)(laminator)，可以優(yōu)選使用WO2006-4225的圖24中記載的大型雙貼層壓機(jī)(日語(yǔ)原文二丁貼，S氺一夕)或國(guó)際申請(qǐng)?zhí)朖P2007/069132號(hào)公報(bào)中記載的層壓機(jī)。使用這些層壓機(jī)能得到高成產(chǎn)率。將感光性黑色組合物賦予基板上時(shí)的厚度(例如涂布厚度)可以根據(jù)所形成的黑矩陣的厚度的設(shè)計(jì)值來做適當(dāng)調(diào)整，為了抑制著色圖案的突起，以薄為宜。一般優(yōu)選為0.2pm2.2)im，進(jìn)一步優(yōu)選為0.2)im1.6)am，最優(yōu)選為0.7jim1.3|im。曝光工序在曝光工序中，將在上述感光性黑色組合物層形成工序中形成的感光性黑色組合物層通過規(guī)定的掩模圖案(maskpattern)曝光，形成圖案(patterning)(負(fù)型組合物(negativecomposition)時(shí)，僅使被光照射的涂布膜部分固化)。作為能在曝光中使用的放射線，特別優(yōu)選使用g線、h線、i線、j線或k線等紫外線。照射量?jī)?yōu)選為5500mJ/cm2，進(jìn)一步優(yōu)選為10300mJ/cm2，最優(yōu)選為10200mJ/cm2。曝光機(jī)可以采用接近(proximity)方式的曝光機(jī)，也可以使用鏡面投影(mirrorprojection)方式、步進(jìn)(stepper)方式的曝光機(jī)。9顯影工序接著，通過進(jìn)行堿顯影處理，例如當(dāng)感光性黑色組合物為負(fù)型時(shí)，能使上述曝光中的光未照射部分溶于堿水溶液，僅殘留光固化的部分。作為顯影液，采用有機(jī)堿顯影液或無機(jī)堿顯影液或其混合溶液。作為顯影液中使用的堿劑，可以列舉例如氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、碳酸氫鈉、硅酸鈉、偏硅酸鈉、氨水、乙基胺、二乙基胺、二甲基乙醇胺、四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、膽堿(choline)、吡咯(pyrrole)、哌啶(piperidine)以及1，8-二氮雜雙環(huán)-[5、4、0]-7-十一碳烯(1,8-diazabicyclo-[5,4，0]-7-undecene)等有機(jī)堿性化合物。優(yōu)選將這些堿劑用純水稀釋至0.001質(zhì)量％10質(zhì)量％、優(yōu)選為0.01質(zhì)量％1質(zhì)量％得到的堿性水溶液作為顯影液使用。另外，當(dāng)使用由上述堿性水溶液形成的顯影液時(shí)，一般在顯影后用純水洗滌(rinse)。這里，若洗滌不充分，則易殘留未固化的殘?jiān)?，易產(chǎn)生不均，因此本發(fā)明優(yōu)選進(jìn)行高壓水洗。本發(fā)明在該顯影工序后、在后述的烘烤工序前，形成底切長(zhǎng)度為-2.0拜5.0拜的黑矩陣圖案。黑矩陣圖案的剖面形狀、特別是底切的形狀可以通過曝光、顯影以及后述的預(yù)烘烤的各條件來控制。為此，首先對(duì)底切進(jìn)行詳細(xì)說明。在黑矩陣的形成工序中，在將曝光后的感光性黑色組合物層顯影時(shí)，與感光性黑色組合物層的表面(指不與基板相接的面；以下，在黑矩陣中也同樣)以及接近該表面的層內(nèi)部(以下也稱為"感光性黑色組合物層上部"，在黑矩陣中稱為"黑矩陣上部")相比，感光性黑色組合物層的背面(指與基板相接的面；以下，在黑矩陣中也同樣)以及接近該背面的層內(nèi)部(以下稱為"感光性黑色組合物層下部"，在黑矩陣中稱為"黑矩陣下部")的顯影為更進(jìn)一步。此時(shí)，感光性黑色組合物層下部為被挖空的狀態(tài)，將形成有感光性黑色組合物層(黑矩陣)的基板沿黑矩陣的寬度方向切斷時(shí)，感光性黑色組合物層的形狀例如為圖1或圖2所示的倒錐形(reversetaper)。將這種狀態(tài)稱為具有底切的狀態(tài)。通過在感光性黑色組合物層(黑矩陣)上設(shè)置底切，當(dāng)在后續(xù)工序中在形成了黑矩陣的基板(以下也稱為"黑矩陣基板")上涂布感光性著色組合物等來設(shè)置著色像素時(shí)，能使黑矩陣與著色像素的邊界部分不易凸起。10籍此，在制作濾色器進(jìn)行圖像顯示時(shí)，能抑制液晶取向紊亂和/或漏光，能得到高品質(zhì)的圖像。以下，用圖對(duì)底切進(jìn)行更詳細(xì)的說明。圖1和圖2是表示在黑矩陣(感光性黑色組合物層)具有底切的狀態(tài)的黑矩陣基板的剖面圖。如圖1所示，底切的長(zhǎng)度a作為下述的距離而求出，所述距離為感光性黑色組合物層4的寬度方向的一端P、與在感光性黑色組合物層4的下部之中感光性黑色組合物層4被挖空且沒有感光性黑色組合物的部分中的距離上述一端P沿上述寬度方向最遠(yuǎn)的部分Q之間的距離。距離上述一端P沿上述寬度方向最遠(yuǎn)的部分不限于圖1所示的感光性黑色組合物層4表面與基板2的切點(diǎn)。例如如圖2所示那樣在感光性黑色組合物層4的厚度方向的上端(表面)與下端(底面)之間的中間部分被挖空的情況下，底切的長(zhǎng)度a為從上述一端P到感光性黑色組合物層4中被挖空的部分中距離上述一端P沿上述寬度方向最遠(yuǎn)的部分R之間的距離。與上述底切的形成相反，在顯影進(jìn)行過程的早期，有時(shí)厚度方向下端的顯影進(jìn)度慢于上端。此時(shí)，感光性黑色組合物層下部與感光性黑色組合物層上部相比為伸出的狀態(tài)，將形成有感光性黑色組合物層(黑矩陣)的基板沿黑矩陣的寬度方向切斷時(shí)，感光性黑色組合物層的形狀為錐形(正基座形狀)。在本發(fā)明中，將上述與感光性黑色組合物層上部的一端相比感光性黑色組合物層下部沿上述寬度方向伸出的狀態(tài)定義為底切為負(fù)(-)。負(fù)的底切的長(zhǎng)度為從感光性黑色組合物層上部的寬度方向一端到感光性黑色組合物層中伸出部分的距離上述一端沿上述寬度方向最遠(yuǎn)的部分之間的距離。從減少線寬和底切的顯影液溫度依存性的觀點(diǎn)出發(fā)，底切的長(zhǎng)度優(yōu)選為-2.0pm5.0|im，進(jìn)一步優(yōu)選為-2.0nm4.0jim，最優(yōu)選為-1.5iam3.O(im。為了以良好的精度形成黑矩陣，適當(dāng)調(diào)節(jié)曝光和/或顯影的條件很重要，特別是通過改變顯影的條件，能調(diào)節(jié)線寬和底切的長(zhǎng)度。概念上講，在略強(qiáng)于常用的顯影條件的條件下進(jìn)行顯影，能增加底切量(底切的長(zhǎng)度)。但是，若采用強(qiáng)顯影條件，則微小的工序條件的改變也會(huì)使底切量發(fā)生較大變化。若使顯影條件向更強(qiáng)的方向改變，則容易產(chǎn)生缺口。因此，必須將曝光和/或顯影的條件設(shè)定在更穩(wěn)定的方向。下面，對(duì)本發(fā)明的濾色器的制造方法的優(yōu)選曝光條件進(jìn)行說明。若只有感光性黑色組合物層(例如黑色抗蝕劑(blackresist)層)的表面固化，則有時(shí)不能穩(wěn)定地通過控制顯影條件來控制底切量。因此，j線和/或k線的比率相對(duì)于i線、h線和/或g線優(yōu)選為不對(duì)層整體的固化度產(chǎn)生不利影響的較低程度。接著，對(duì)優(yōu)選的顯影條件進(jìn)行說明。關(guān)于底切部分的形成，由于對(duì)顯影條件、特別是液體溫度(顯影液的溫度)、液體濃度(顯影液的濃度)以及液體疲勞度的感受性高，因此優(yōu)選使用將液體溫度、液體濃度和液體疲勞度保持一定的顯影系統(tǒng)。作為將液體濃度和液體疲勞度保持一定的方法，可以列舉例如一邊監(jiān)測(cè)液體濃度一邊自動(dòng)補(bǔ)充新液或補(bǔ)充液的方法、或間隔一定時(shí)間或每處理一定枚數(shù)就補(bǔ)充新液或補(bǔ)充液的方法等。關(guān)于液體溫度，為了抑制溫度變動(dòng)，優(yōu)選設(shè)定成接近周圍環(huán)境溫度的溫度。具體而言，優(yōu)選為20°C30°C，進(jìn)一步優(yōu)選為2rC27。C，最優(yōu)選為22'C25t:。關(guān)于洗滌時(shí)的噴淋壓，從能防止感光性黑色組合物層(例如黑矩陣)缺陷的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為0.01MPa0.5MPa，進(jìn)一步優(yōu)選為0.05MPa0.4MPa，更優(yōu)選為0.05MPa0.3MPa。烘烤工序接著，對(duì)黑矩陣圖案實(shí)施稱為烘烤處理(后烘烤)的加熱處理。烘烤是用于使感光性黑色組合物完全固化的顯影后的加熱處理，通常進(jìn)行150。C26(TC的熱固化處理。烘烤溫度優(yōu)選為150°C260°C，進(jìn)一步優(yōu)選為180°C260°C，最優(yōu)選為200°C250°C。烘烤時(shí)間優(yōu)選為10分鐘150分鐘，進(jìn)一步優(yōu)選為15分鐘120分鐘，更優(yōu)選為20分鐘90分鐘，最優(yōu)選為20分鐘60分鐘。通過在上述條件范圍內(nèi)將感光性黑色組合物層烘烤，在形成了黑矩陣的基板上形成著色像素時(shí)，能抑制黑矩陣與著色像素的重疊部的凸起。12關(guān)于烘烤處理，可以在上述條件下使用加熱板(hotplate)、對(duì)流烤箱(convectionoven)(熱風(fēng)循環(huán)式干燥機(jī))或高頻加熱機(jī)等加熱裝置以連續(xù)式或間歇式對(duì)顯影后的感光性黑色組合物層進(jìn)行烘烤處理。其他工序在本發(fā)明的黑矩陣形成工序中，在上述感光性黑色組合物層形成工序后、上述曝光工序前，還可以加入預(yù)烘烤工序，在上述顯影工序后、上述烘烤(后烘烤)工序前，還可以根據(jù)需要含有通過曝光將形成的黑矩陣固化的工序。感光性黑色組合物層的預(yù)烘烤溫度優(yōu)選為60°C140°C，進(jìn)一步優(yōu)選為8(TC120。C。預(yù)烘烤時(shí)間優(yōu)選為30秒300秒，進(jìn)一步優(yōu)選為80秒200秒。著色圖案形成工序在本發(fā)明的著色圖案形成工序中，至少通過在形成了烘烤后的感光性黑色組合物層(黑矩陣)的基板上使用感光性著色組合物形成感光性著色組合物層(感光性著色組合物層形成工序)、將上述感光性著色組合物層曝光(著色層曝光工序)、將曝光后的上述感光性著色組合物層顯影(著色層顯影工序)、以及將顯影后的上述感光性著色組合物層烘烤(著色層烘烤工序)，來形成該烘烤后的上述著色圖案與上述黑矩陣相交疊的重疊部在黑矩陣寬度方向的長(zhǎng)度為2.0pm9.0)im的著色圖案。在本發(fā)明中，從抑制重疊部分的凸起的觀點(diǎn)出發(fā)，感光性著色組合物層的層厚越薄越好。具體而言，優(yōu)選為1.8pm2.^m，進(jìn)一步優(yōu)選為1.8|ara~2.5|im。著色圖案形成工序除了上述各工序外還可以根據(jù)需要設(shè)置預(yù)烘烤等其他工序。首先，對(duì)上述"重疊"進(jìn)行說明。重疊在形成了黑矩陣的基板上涂布感光性著色組合物等來形成著色圖案(著色像素)時(shí)，為避免在黑矩陣與著色像素之間產(chǎn)生間隙，通常以感光性著色組合物與黑矩陣交疊的方式使感光性著色組合物略微覆蓋(重疊)黑矩陣來形成著色像素。本發(fā)明不僅對(duì)上述底切進(jìn)行調(diào)節(jié)，還將感光性著13色圖案與黑矩陣相交疊的重疊部的長(zhǎng)度調(diào)節(jié)到2..(^m9.0nm，能得到高品質(zhì)的濾色器和/或液晶顯示裝置。上述"重疊部的長(zhǎng)度"是指使用感光性著色組合物層而形成的著色圖案與黑矩陣相重疊的重疊部在黑矩陣寬度方向的長(zhǎng)度。用圖對(duì)其進(jìn)行更詳細(xì)的說明。圖3是表示在形成了黑矩陣4的基板2上涂布感光性著色組合物等形成感光性著色組合物層6而由黑矩陣4與感光性著色組合物層6交疊形成重疊部8的狀態(tài)的濾色器的局部剖面圖。這里，重疊部8為長(zhǎng)度b的區(qū)域，重疊部8的長(zhǎng)度b可以作為黑矩陣4的寬度方向上與感光性著色組合物層6對(duì)峙的一側(cè)的最外端S與以與黑矩陣4重疊的方式設(shè)置的感光性著色組合物層6位于黑矩陣4上的最外端T之間的黑矩陣4寬度方向的距離(長(zhǎng)度)來求出。實(shí)際上，在求重疊部8的長(zhǎng)度b時(shí)，可以將濾色器沿與黑矩陣4的圖案的長(zhǎng)度方向垂直的方向切割，從其剖面來測(cè)定。在本發(fā)明中，從減小重疊部的凸起(優(yōu)選為0.50pm以下)的觀點(diǎn)出發(fā)，上述重疊部的長(zhǎng)度優(yōu)選為2.0pm9.(Hmi，進(jìn)一步優(yōu)選為2.0nm8都m，最優(yōu)選為2,0|am7.0|im。使上述重疊部的長(zhǎng)度為9.0Mm以下，能在大型基板(一邊的長(zhǎng)度為lm以上)上穩(wěn)定地制造濾色器和顯示裝置。通過改變感光性著色組合物層的曝光圖案位置和/或顯影條件，能調(diào)節(jié)重疊的長(zhǎng)度。具體而言，曝光圖案與黑矩陣的交疊量越少，能使重疊量越少，顯影條件越弱，例如顯影溫度越低或顯影時(shí)間越短，可以使重疊量越大。更具體而言，為了使上述重疊部的長(zhǎng)度為2.0nm9.(Him，優(yōu)選將曝光圖案與黑矩陣的交疊部分在黑矩陣寬度方向的長(zhǎng)度設(shè)為2.0pm9.(^m。顯影溫度優(yōu)選為2(TC35。C，進(jìn)一步優(yōu)選為2rC3(TC，最優(yōu)選為22°C26°C。顯影時(shí)間優(yōu)選為20秒120秒，進(jìn)一步優(yōu)選為25秒80秒，最優(yōu)選為35秒75秒。作為上述各條件的優(yōu)選組合，優(yōu)選曝光圖案與黑矩陣的交疊部分的長(zhǎng)度為2.0|_im9.0(im、顯影溫度為20。C35。C、顯影時(shí)間為20秒120秒的組合。更優(yōu)選的組合為曝光圖案與黑矩陣的交疊部分的長(zhǎng)度為2.(Him8.0pm、顯影溫度為2rC30'C、顯影時(shí)間為25秒80秒的組合。最優(yōu)選的組合為曝光圖案與黑矩陣的交疊部分的長(zhǎng)度為2.(Vm7.0pm、顯影溫度為22。C26。C、顯影時(shí)間為35秒75秒的組合。如上所述，在黑矩陣與感光性著色組合物層的重疊部，以黑矩陣與感光性著色組合物層一部份交疊的方式使感光性著色組合物覆蓋黑矩陣，因此該部分為凸起的狀態(tài)。通過減小該重疊部的凸起程度，能抑制液晶取向紊亂和/或漏光，得到高品質(zhì)的圖像。用圖對(duì)重疊部的凸起進(jìn)行說明。圖4是表示在形成了黑矩陣4的基板2上涂布感光性著色組合物等形成感光性著色組合物層、進(jìn)行曝光和顯影等，形成著色圖案6、在黑矩陣4與著色圖案6相交疊的重疊部8產(chǎn)生凸起的狀態(tài)的濾色器的局部剖面圖。上述"重疊部的凸起程度"更具體而言是指著色圖案6的表面中上述重疊部8距離基板2表面(基板2的與黑矩陣4和著色圖案6接觸的面)最遠(yuǎn)的部分與上述重疊部8以外的平坦表面部分之間的基板法線方向上的距離。換言之，上述"重疊部的凸起程度"是指從距離c減去距離d而得到的距離e，距離c是基板2表面與著色圖案6的表面中重疊部8距離基板2表面最遠(yuǎn)部分之間的基板法線方向的距離，距離d是基板2表面與著色圖案6的表面中重疊部8以外的部分之間的基板法線方向的距離。以下，為了方便，可將上述重疊部的凸起稱為"角(hom)"，將上述距離e稱為"角的高度"。從獲得高品質(zhì)圖像的觀點(diǎn)出發(fā)，角的高度優(yōu)選為0.50pm以下，更優(yōu)選為0.4)im以下，最優(yōu)選為0.3pm以下。角的高度可以通過適當(dāng)設(shè)定上述底切的長(zhǎng)度和重疊部的長(zhǎng)度、黑矩陣的厚度來進(jìn)行調(diào)節(jié)。上述底切的長(zhǎng)度與重疊部的長(zhǎng)度以及黑矩陣的厚度的優(yōu)選組合優(yōu)選為底切長(zhǎng)度為-2.0pm5.0)Lim、重疊部的長(zhǎng)度為2.0|im9.(^m、黑矩陣的厚度為0.2)Lim2.2,。更優(yōu)選的組合為底切長(zhǎng)度為-2.(^m4.0pm、重疊部的長(zhǎng)度為2.(^m8.0|im、黑矩陣的厚度為0.2pm1.6)am。最優(yōu)選的組合為底切長(zhǎng)度為-1.5)im3.0nm、重疊部的長(zhǎng)度為2.(Vm157.0|im、黑矩陣的厚度為0.7pm1.3|im。接著，對(duì)在本發(fā)明的著色圖案形成工序中進(jìn)行的各種工序進(jìn)行說明。感光性著色組合物層形成工序在感光性著色組合物層形成工序中，在形成了烘烤后的感光性黑色組合物層(黑矩陣)的基板上，使用感光性著色組合物形成感光性著色組合物層。作為在形成了黑矩陣的基板上形成感光性著色組合物層的方法，可以使用與在基板上形成感光性黑色組合物層的方法相同的方法即涂布方法或轉(zhuǎn)印方法。其中，從能進(jìn)一步發(fā)揮本發(fā)明效果的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使用狹縫涂布器(slitcoater)等在形成了黑矩陣的基板面上涂布感光性著色組合物的方法。為了獲得充分的色重現(xiàn)區(qū)域并獲得充分的面板亮度，感光性著色組合物層的層厚優(yōu)選為0.5pm3.(Vm，進(jìn)一步優(yōu)選為1.(Him2.5pm的范圍。著色層曝光工序在著色層曝光工序中，將上述感光性著色組合物層曝光。關(guān)于感光性著色組合物層的曝光處理，可以與感光性黑色組合物層的曝光工序同樣地進(jìn)行。當(dāng)形成多種顏色的著色圖案時(shí)，通過各色的規(guī)定掩模圖案(maskpattern),按各色進(jìn)行曝光，圖案形成(patterning)光照射后的各色感光性著色組合物層(負(fù)型組合物(negativecomposition)時(shí)僅使光照射部分固化)。著色層顯影工序在著色層顯影工序中，將曝光后的上述感光性著色組合物層顯影。關(guān)于曝光后的感光性著色組合物層的顯影處理，可以進(jìn)行與感光性黑色組合物層的顯影工序的說明中所述的操作相同的操作，可以優(yōu)選使用在上述顯影工序中所述的顯影液。作為顯影條件，為了調(diào)節(jié)在黑矩陣與著色像素的重疊部產(chǎn)生的重疊部的長(zhǎng)度和角的高度，優(yōu)選在上述重疊的說明中所述的顯影條件下將感光性著色組合物層顯影。著色層烘烤工序16在著色層烘烤工序中，將顯影后的上述感光性組合物層烘烤。關(guān)于將顯影后的感光性著色組合物層烘烤的方法，可以采用與將上述感光性黑色組合物層烘烤的烘烤工序同樣的方法。另外，當(dāng)形成RGB(紅、綠、藍(lán))3色相等多種色相的著色圖案時(shí)，可以按所需的色相數(shù)反復(fù)進(jìn)行感光性著色組合物層的形成、曝光、顯影和烘烤的循環(huán)，也可以按各色相進(jìn)行感光性組合物層的形成、曝光和顯影后，最后對(duì)全部色相一起進(jìn)行烘烤。由此，制作具有黑矩陣和由所需色相形成的著色像素的濾色器。其他工序在著色圖案形成工序中，也可以在感光性著色組合物層形成工序后、且著色層曝光工序前設(shè)置將感光性著色組合物層預(yù)烘烤的工序(著色層預(yù)烘烤工序)以使感光性著色組合物干燥。感光性著色組合物層的預(yù)烘烤溫度優(yōu)選為6(TC14(TC，進(jìn)一步優(yōu)選為80°C120°C。預(yù)烘烤時(shí)間優(yōu)選為30秒300秒，進(jìn)一步優(yōu)選為80秒200秒。接著，對(duì)本發(fā)明的濾色器制造方法中使用的感光性著色組合物以及感光性黑色組合物進(jìn)行詳細(xì)說明。感光性著色組合物本發(fā)明的濾色器的著色圖案形成用感光性著色組合物是放射線敏感性組合物(例如為負(fù)型組合物時(shí)，為通過光照射而固化的放射線敏感性組合物)，優(yōu)選含有(A-l)著色劑、(B)粘合劑聚合物、(C-l)聚合性化合物、(D)光聚合引發(fā)劑和(E)溶劑，還可以根據(jù)需要含有高分子分散劑或表面活性劑等其他添加物。在本發(fā)明中，優(yōu)選對(duì)用于形成著色圖案的感光性著色組合物的物性進(jìn)行調(diào)節(jié)以抑制與形成的黑矩陣重疊的部分的厚度。例如，液體粘度越低越好，干燥工序中的液體的流動(dòng)性越高越好。(A-l)著色劑著色劑可以從染料和顏料中適當(dāng)選擇。作為著色劑使用的顏料可以是無機(jī)顏料，也可以是有機(jī)顏料，考慮到優(yōu)選為高透射率時(shí)，優(yōu)選粒子尺寸盡量小的顏料。平均粒子尺寸優(yōu)選為10nm100nm，更優(yōu)選為10nm50rnn的范圍。通過在本發(fā)明使用的感光性著色組合物中使用后述的高分子分散劑，即使在著色劑的尺寸小的情況下，顏料分散性和分散穩(wěn)定性也很好，因此即使膜厚較薄也能形成色純度優(yōu)異的著色像素。作為能用作著色圖案(著色像素)形成用著色劑的無機(jī)顏料的例子，可以列舉金屬氧化物和金屬絡(luò)合物等金屬化合物。作為具體例子，可以列舉鐵、鈷、鋁、鎘、鉛、銅、鈦、鎂、鉻、鋅、銻等的金屬氧化物以及上述金屬的復(fù)合氧化物等。作為有機(jī)顏料的例子，可以列舉C.I.顏料黃(C.I.PigmentYellow)11、24、31、53、83、93、99、108、109、110、138、139、147、150、151、154、155、167、180、185、199;C.I.顏料橙36、38、43、71;C.I.顏料紅81、105、122、149、〗50、155、171、175、176、177、209、220、224、242、254、255、264、270;C丄顏料紫19、23、32、37、39;C.I.顏料藍(lán)1、2、15、15:1、15:3、15:6、16、22、60、66;C.I.顏料綠7、36、37;C.I.顏料棕25、28;C丄顏料黑1等。本發(fā)明進(jìn)一步優(yōu)選下述顏料，但并無特殊限制C.I.顏料黃ll、24、108、109、110、138、139、150、151、154、167、180、185;C.I.顏料橙36、71;C.I.顏料紅122、150、171、175、177、209、224、242、254、255、264;C.I.顏料紫19、23、37;C丄顏料藍(lán)15:1、15:3、15:6、16、22、60、66;C丄顏料綠7、36、37。這些有機(jī)顏料可以單獨(dú)使用或?yàn)榱颂岣呱兌榷喾N組合使用。組合的具體例子如下所示。例如，作為紅色相(R)用顏料，可以單獨(dú)使用蒽醌(anthraquinone)18顏料、茈(perylene)顏料、二酮基吡咯并吡咯(diketopyrrolopyrrole)顏料或使用它們中的至少1種與雙偶氮(bisazo)黃色顏料、異吲哚啉(isoindoline)黃色顏料和奎酞酮(quinophthalone)黃色顏料中的至少1種和/或茈(perylene)紅色顏料的混合等。例如，作為蒽醌顏料，可以列舉C.I.顏料紅177，作為茈顏料，可以列舉C丄顏料紅155或C.I.顏料紅224，作為二酮基吡咯并吡咯顏料，可以列舉C丄顏料紅254，從色重現(xiàn)性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選它們中的至少1種與C.I.顏料黃139的混合。另外，從得到充分的色純度以及抑制從NTSC(NationalTelevisionSystemCommittee)基準(zhǔn)的色相偏離的觀點(diǎn)出發(fā)，紅色顏料與黃色顏料的質(zhì)量比(紅色顏料-黃色顏料)優(yōu)選為100:5100:50。作為上述質(zhì)量比，特別優(yōu)選100:10100:30的范圍。另外，當(dāng)為紅色顏料之間的組合時(shí)，可以根據(jù)色度進(jìn)行調(diào)節(jié)。作為綠色相(G)用顏料，可以單獨(dú)使用鹵化酞菁顏料，或使用其與雙偶氮黃色顏料、奎酞酮黃色顏料、甲亞胺(azomethine)黃色顏料或異吲哚啉黃色顏料的混合。例如，作為這樣的例子，優(yōu)選C.I.顏料綠7、36或37和C丄顏料黃83、C.I.顏料黃138、C丄顏料黃139、C.I.顏料黃150、C丄顏料黃180或C.I.顏料黃185的混合。從得到充分的色純度以及抑制從NTSC基準(zhǔn)的色相偏離的觀點(diǎn)出發(fā)，綠色顏料與黃色顏料的質(zhì)量比(綠色顏料黃色顏料)優(yōu)選為100:5100:150。作為上述質(zhì)量比，特別優(yōu)選100:30100:120的范圍。作為藍(lán)色相(B)用顏料，可以單獨(dú)使用酞菁顏料或使用其與二噁嗪紫色顏料的混合。例如，優(yōu)選C丄顏料藍(lán)15:6與C.I.顏料紫23的混合。藍(lán)色顏料與紫色顏料的質(zhì)量比(藍(lán)色顏料:紫色顏料)優(yōu)選為100:0100:50，進(jìn)一步優(yōu)選為100:5100:30。關(guān)于本發(fā)明使用的感光性著色組合物層中的(A-l)著色劑(顏料)的含量，相對(duì)于該組合物的總固體成分(質(zhì)量)，優(yōu)選為25質(zhì)量％75質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為32質(zhì)量％70質(zhì)量％。若(A-l)著色劑(顏料)的含量在上述范圍內(nèi)，則色濃度充分并能有效地確保優(yōu)異的色特性。(B)粘合劑聚合物為了提高被膜特性和賦予顯影特性等，本發(fā)明的上述感光性著色組合19物優(yōu)選含有粘合劑聚合物。作為粘合劑聚合物，可以使用下述堿可溶性樹脂。作為本發(fā)明使用的堿可溶性樹脂，可以從直鏈狀有機(jī)高分子聚合物且分子(優(yōu)選以丙烯酸類共聚物或苯乙烯共聚物為主鏈的分子)中具有至少1個(gè)促進(jìn)堿可溶性的基團(tuán)(例如羧基、磷酸基、磺酸基或羥基等)的堿可溶性樹脂中適當(dāng)選擇。作為上述堿可溶性樹脂的更優(yōu)選的例子，可以列舉側(cè)鏈具有羧酸的聚合物例如日本專利特開昭59-44615號(hào)公報(bào)、日本專利特公昭54-34327號(hào)公報(bào)、日本專利特公昭58-12577號(hào)公報(bào)、日本專利特公昭54-25957號(hào)公報(bào)、日本專利特開昭59-53836號(hào)公報(bào)以及日本專利特開昭59-71048號(hào)公報(bào)的各公報(bào)中記載的甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸共聚物、衣康酸共聚物、丁烯酸共聚物、馬來酸共聚物以及部分酯化馬來酸共聚物等、以及側(cè)鏈具有羧酸的酸性纖維素衍生物以及具有羥基的聚合物與酸酐的加成物等的丙烯酸共聚物。上述堿可溶性樹脂的酸值為10200mgKOH/g，優(yōu)選為30180mgKOH/g，更優(yōu)選為50150mgKOH/g的范圍。作為堿可溶性樹脂的具體的結(jié)構(gòu)單元，特別優(yōu)選(甲基)丙烯酸和能與其共聚的其他單體的共聚物。作為上述能與(甲基)丙烯酸共聚的其他單體的例子，可以列舉(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸芳基酯以及乙烯基化合物等。這里，烷基和芳基的氫原子可以被取代基取代。作為上述(甲基)丙烯酸烷基酯和(甲基)丙烯酸芳基酯的例子，可以列舉由CH產(chǎn)C(R1)(COOR3)表示的化合物，這里，R'表示氫原子或碳原子數(shù)為15的烷基，W表示碳原子數(shù)為18的烷基或碳原子數(shù)為612的芳烷基。作為具體例子，可以列舉(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸甲苯酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸羥基烷基酯(烷基是碳原子數(shù)為18的垸基)、甲基丙烯酸羥基縮水甘油酯和甲基丙烯酸四氫呋喃酯等。另外，分子側(cè)鏈具有聚氧化烯鏈的樹脂也可以作為堿可溶性樹脂的優(yōu)選例子來列舉。作為上述聚氧化烯鏈，可以采用聚環(huán)氧乙垸鏈、聚環(huán)氧丙烷鏈或聚四亞甲基二醇鏈或?qū)⑺鼈兒嫌?，末端為氫原子、直鏈或支鏈的垸基。聚環(huán)氧乙烷鏈和/或聚環(huán)氧丙烷鏈的重復(fù)單元的數(shù)目?jī)?yōu)選為120，進(jìn)一步優(yōu)選為212。作為側(cè)鏈具有聚氧化烯鏈的丙烯酸共聚物的例子，可以列舉以聚乙二醇(甲基)丙烯酸一酯、聚丙二醇(甲基)丙烯酸一酯、聚(乙二醇-丙二醇)(甲基)丙烯酸一酯等以及它們的末端OH基被烷基封鏈后的化合物，例如甲氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸一酯、乙氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸一酯以及甲氧基聚(乙二醇-丙二醇)(甲基)丙烯酸一酯等為共聚成分的丙烯酸共聚物。作為上述乙烯基化合物的例子，可以列舉由CH尸CR1112表示的化合物，這里，R'表示氫原子或碳原子數(shù)為15的烷基，W表示碳原子數(shù)為610的芳香族烴環(huán)。作為具體例子，可以列舉苯乙烯、a-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、丙烯腈、乙酸乙烯酯、N-乙烯基吡咯烷酮、聚苯乙烯大分子單體、聚甲基丙烯酸甲酯大分子單體等。能共聚的其他單體可以單獨(dú)使用l種，或2種以上組合使用。其中，特別優(yōu)選(甲基)丙烯酸芐酯/(甲基)丙烯酸共聚物以及由(甲基)丙烯酸芐酯/(甲基)丙烯酸/其他單體形成的多元共聚物。如上所述，丙烯酸類樹脂具有20200mgKOH/g的范圍的酸值。若酸值在200以下，則丙烯酸類樹脂在堿中的溶解性不會(huì)過大，能防止顯影適宜范圍(顯影寬容度(latitude))變窄。另一方面，若在20以上，則在堿中的溶解性不易減小，因而能防止顯影時(shí)間較長(zhǎng)。關(guān)于丙烯酸類樹脂的重均分子量Mw(用GPC法(凝膠滲透色譜法)測(cè)定的聚苯乙烯換算值)，為了實(shí)現(xiàn)易于在涂布等工序上使用感光性著色組合物的粘度范圍，并確保膜強(qiáng)度，優(yōu)選為2000100000，進(jìn)一步優(yōu)選為300050000。為了提高本發(fā)明的感光性著色組合物的交聯(lián)效率，可以單獨(dú)使用通過賦予堿可溶性樹脂聚合性基團(tuán)而得到的樹脂或與不含聚合性基團(tuán)的堿可溶性樹脂合用。作為通過賦予堿可溶性樹脂聚合性基團(tuán)而得到的樹脂的例21子，可以列舉側(cè)鏈含有芳基、(甲基)丙烯基或芳氧基烷基等的聚合物等。具有聚合性雙鍵的堿可溶性樹脂能在堿顯影液中顯影，還具有光固性和熱固性。這些含有聚合性基團(tuán)的聚合物的例子如下所示，只要在1分子中含有COOH基或OH基等堿可溶性基團(tuán)和碳-碳不飽和鍵即可，不限于下述物質(zhì)。(1)事先使異氰酸酯基與OH反應(yīng)并殘留1個(gè)未發(fā)應(yīng)的異氰酸酯基且含有至少1個(gè)(甲基)丙烯酰基的化合物與含有羧基的丙烯酸樹脂反應(yīng)得到的氨基甲酸乙酯改性的含聚合性雙鍵丙烯酸樹脂；(2)含有羧基的丙烯酸樹脂與分子內(nèi)具有環(huán)氧基和聚合性雙鍵的化合物的反應(yīng)得到的含不飽和基的丙烯酸樹脂；(3)ACID-PENDANT型環(huán)氧丙烯酸酯樹脂；(4)含有OH基的丙烯酸樹脂與具有聚合性雙鍵的二元酸酐反應(yīng)而得到的含聚合性雙鍵的丙烯酸樹脂。上述樹脂中特別優(yōu)選(1)和(2)的樹脂。作為具體例子，可以使用例如使具有OH基的丙烯酸-2-羥乙酯與例如含有COOH基的甲基丙烯酸、能與它們共聚的丙烯酸化合物或乙烯基化合物等單體的共聚物與含有對(duì)OH基具有反應(yīng)性的環(huán)氧環(huán)和碳碳不飽和鍵的化合物(例如丙烯酸縮水甘油酯等化合物)而反應(yīng)得到的化合物等。在與OH基的反應(yīng)中，除環(huán)氧環(huán)外，還可以使用酸酐、具有異氰酸酯基或丙烯?；幕衔?。另外，還可以使用日本專利特開平6-102669號(hào)公報(bào)、日本專利特開平6-1938號(hào)公報(bào)中記載的由具有環(huán)氧環(huán)的化合物和丙烯酸之類的不飽和羧酸反應(yīng)而得到的化合物與飽和或不飽和多元酸酐反應(yīng)得到的反應(yīng)物。作為兼具COOH基之類的堿可溶性基團(tuán)和碳碳不飽和基團(tuán)的化合物的例子，可以列舉DIANALNR系列(三菱麗陽(yáng)株式會(huì)社(MitsubishiRayonCo.,Ltd.)制)；Photomer6173(含COOH基的聚氨酯丙烯酸低聚物、DiamondShamrockCo丄td.制)；VISCOTER-264、KS抗蝕劑106(均為大阪有機(jī)化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社(OsakaOrganicChemicalIndustryLtd.)制)；CYCLOMERP系列、PLACCELCF200系歹U(均為大賽璐化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社(DICELChemicalIndustries,Ltd.)制)；Ebecryl3800(DAICEL-CYTECCOMPANYLtd.制)等。堿可溶性樹脂的添加量?jī)?yōu)選為感光性著色組合物層的總固體成分中的3質(zhì)量％30質(zhì)量％的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選為5質(zhì)量％20質(zhì)量°/。。在感光性著色組合物的制備時(shí)，作為粘合劑聚合物，除上述堿可溶性樹脂外，優(yōu)選進(jìn)一步添加下述環(huán)氧樹脂。作為環(huán)氧樹脂，可以列舉雙酚(bisphenol)A型環(huán)氧樹脂、甲酚線型酚醛(cresolnovolac)型環(huán)氧樹脂、聯(lián)苯(biphenyl)型環(huán)氧樹脂以及脂環(huán)式環(huán)氧化合物等在分子中具有2個(gè)以上環(huán)氧環(huán)的化合物。例如，作為雙酚A型環(huán)氧樹脂的例子，可以列舉EPOTOHTOYD-115、YD-118T、YD陽(yáng)127、YD-128、YD匿134、YD-8125、YD-7011R、ZX-1059、YDF-8170、YDF-170等(以上均為東都化成株式會(huì)社(TohtoKaseiCo.,Ltd.)制)、DENACOLEX-1101、EX-1102、EX-1103等(以上均為NagaseChemteXCorporation制)、PLACCELGL-61、GL-62、G101、G102(以上均為大賽璐化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制)等。此外，作為可以使用的環(huán)氧樹脂，還可以列舉與它們類似的雙酚F型環(huán)氧樹脂以及雙酚S型環(huán)氧樹脂。另外，也可以使用Ebecryl3700、3701、600(以上均為DAICEL-CYTECCOMPANYLtd.制)等環(huán)氧丙烯酸酯。作為甲酚線型酚醛型環(huán)氧樹脂的例子，可以列舉EPOTOHTOYDPN-638、YDPN-701、YDPN-702、YDPN-703、YDPN—704等(以上均為東都化成株式會(huì)社制)、DENACOLEM-125等(以上為長(zhǎng)瀨化成制)。作為聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂的例子，可以列舉3，5，3'，5'-四甲基-4，4，-二縮水甘油基聯(lián)苯等。作為脂環(huán)式環(huán)氧化合物的例子，可以列舉CELLOXIDE2021、2081、2083、2085、EPOLEADGT-301、GT-302、GT-40KGT-403、EHPE-3105(以上為大賽璐化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制)、SANTOHTOST-3000、ST-4000、ST-5080、ST-5100等(以上為東都化成株式會(huì)社制)、Epiclon430、同673、同695、同850S、同4032(以上為大日本油墨化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社(DICCorporation)制)等。另外，還可以使用1，1，2，2-四(對(duì)氧化縮水甘油基苯基)乙烷、三(對(duì)氧化縮水甘油基苯基)甲垸、三縮水甘油基三(羥乙基)異氰酸酯、鄰苯二甲酸二縮水甘油酯、對(duì)苯二甲酸二縮水甘油酯、作為胺型環(huán)氧樹脂的EPOTOHTOYH-434和YH-434L以及在雙酚A型環(huán)氧樹脂的骨架中進(jìn)行二聚酸改性的23縮水甘油酯等。其中，優(yōu)選的樹脂為"分子量/環(huán)氧環(huán)的數(shù)目"為100以上的樹脂，進(jìn)一步優(yōu)選為130500。若"分子量/環(huán)氧環(huán)的數(shù)目"小，則固化性高，固化時(shí)的收縮大，若過大，則固化性不足，可靠性欠佳，平坦性變差。作為優(yōu)選的化合物的具體例子，可以列舉EPOTOHTOYD-115、118T、127、YDF-170、YDPN-638、YDPN-701、PLACCELGL-61、GL-62、3，5，3，，5，-四甲基-4，4，-二縮水甘油基聯(lián)苯、CELLOXIDE2021、2081、EPOLEADGT-302、GT隱403、EHPE-3105等。(C-l)聚合性化合物本發(fā)明使用的感光性著色組合物優(yōu)選含有(C-l)聚合性化合物。本發(fā)明能使用的聚合性化合物從具有至少1個(gè)烯屬不飽和雙鍵的加聚性化合物且具有至少1個(gè)、優(yōu)選2個(gè)以上末端烯屬不飽和鍵的化合物中選擇。這種化合物組在本領(lǐng)域廣為人知，在本發(fā)明中均可以使用而無特殊限制。它們例如可以是單體、預(yù)聚物(即二聚物或三聚物)以及低聚物或它們的混合物以及它們的共聚物等化學(xué)形態(tài)。作為單體及其共聚物的例子，可以列舉不飽和羧酸(例如丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、丁烯酸、異丁烯酸、馬來酸等)及其酯類和酰胺類。優(yōu)選使用不飽和羧酸與脂肪族多元醇化合物的酯類、或不飽和羧酸與脂肪族多元胺化合物的酰胺類。另外，還優(yōu)選使用具有羥基、氨基或巰基等親核性取代基的不飽和羧酸酯類或酰胺類與單官能或多官能異氰酸酯類或單官能或多官能環(huán)氧類的加成反應(yīng)產(chǎn)物以及上述不飽和羧酸酯類或酰胺類與單官能或多官能羧酸的脫水縮合反應(yīng)產(chǎn)物等。另外，還優(yōu)選具有異氰酸酯基或環(huán)氧基等親電性取代基的不飽和羧酸酯類或酰胺類與單官能或多官能醇類、胺類或硫醇類的加成反應(yīng)物以及具有鹵基或甲苯磺酰氧基等離去性取代基的不飽和羧酸酯類或酰胺類與單官能或多官能醇類、胺類或硫醇類的取代反應(yīng)物。作為其他例子，還可以使用將上述不飽和羧酸置換成不飽和膦酸、苯乙烯或乙烯基醚等而得到的化合物組。作為脂肪族多元醇化合物與不飽和羧酸的酯的單體的具體例子，作為丙烯酸酯，可以列舉乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、1，3-丁二醇二丙烯酸酯、四亞甲基二醇二丙烯酸酯、丙二醇二丙烯酸酯、新戊二醇24二丙烯酸酯、三羥甲基丙垸三丙烯酸酯、三羥甲基丙垸三(丙烯酰氧基丙基)醚、三羥甲基乙烷三丙烯酸酯、己二醇二丙烯酸酯、1，4-環(huán)己二醇二丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、季戊四醇二丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇二丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、山梨糖醇三丙烯酸酯、山梨糖醇四丙烯酸酯、山梨糖醇五丙烯酸酯、山梨糖醇六丙烯酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)異氰酸酯、聚酯丙烯酸酯低聚物以及三聚異氰酸EO改性三丙烯酸酯等；作為甲基丙烯酸酯，可以列舉四亞甲基二醇二甲基丙烯酸酯、三乙二醇二甲基丙烯酸酯、新戊二醇二甲基丙烯酸酯、三羥甲基丙垸三甲基丙烯酸酯、三羥甲基乙垸三甲基丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、1，3-丁二醇二甲基丙烯酸酯、己二醇二甲基丙烯酸酯、季戊四醇二甲基丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、二季戊四醇二甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、山梨糖醇三甲基丙烯酸酯、山梨糖醇四甲基丙烯酸酯、雙〔對(duì)_(3-甲基丙烯酰氧基-2-羥基丙氧基)苯基)二甲基甲烷以及雙〔對(duì)-(甲基丙烯酰氧基乙氧基)苯基)二甲基甲垸等；作為衣康酸酯，可以列舉乙二醇二衣康酸酯、丙二醇二衣康酸酯、1，3-丁二醇二衣康酸酯、1，4-丁二醇二衣康酸酯、四亞甲基二醇二衣康酸酯、季戊四醇二衣康酸酯以及山梨糖醇四衣康酸酯等；作為丁烯酸酯，可以列舉乙二醇二丁烯酸酯、四亞甲基二醇二丁烯酸酯、季戊四醇二丁烯酸酯以及山梨糖醇四丁烯酸酯等；作為異丁烯酸酯，可以列舉乙二醇二異丁烯酸酯、季戊四醇二異丁烯酸酯以及山梨糖醇四異丁烯酸酯等；作為馬來酸酯，可以列舉乙二醇二馬來酸酯、三乙二醇二馬來酸酯、季戊四醇二馬來酸酯以及山梨糖醇四馬來酸酯等。作為其他酯的例子，優(yōu)選使用例如日本專利特公昭51-47334號(hào)公報(bào)、曰本專利特開昭57-196231號(hào)公報(bào)中記載的脂肪族醇系酯類、日本專利特開昭59-5240號(hào)公報(bào)、日本專利特開昭59-5241號(hào)公報(bào)、日本專利特開平2-226149號(hào)公報(bào)中記載的具有芳香族系骨架的酯、日本專利特開平1-165613號(hào)公報(bào)中記載的含有氨基的酯等。此外，上述酯單體還可以作為混合物使用。25作為脂肪族多元胺化合物與不飽和羧酸的酰胺的單體的具體例子，可以列舉亞甲基雙丙烯酰胺、亞甲基雙甲基丙烯酰胺、1，6-六亞甲基雙丙烯酰胺、1，6-六亞甲基雙甲基丙烯酰胺、二亞乙基三胺三丙烯酰胺、亞二甲苯基雙丙烯酰胺以及亞二甲苯基雙甲基丙烯酰胺等。作為其他優(yōu)選的酰胺類單體的例子，可以列舉日本專利特公昭54-21726號(hào)公報(bào)中記載的具有亞環(huán)己基結(jié)構(gòu)的酰胺。另外，還優(yōu)選用異氰酸酯與羥基的加成反應(yīng)而制造的氨基甲酸乙酯類加聚性化合物，作為其具體例子，可以列舉例如日本專利特公昭48-41708號(hào)公報(bào)中記載的1分子中具有2個(gè)以上異氰酸酯基的聚異氰酸酯化合物與下述通式(V)表示的含有羥基的乙烯基單體加成而得到的1分子中含有2個(gè)以上聚合性乙烯基的乙烯基氨基甲酸乙酯化合物等。CH2=C(R4)COOCH2CH(R5)OH(V)(其中，W和RS分別獨(dú)立地表示H或CH3。)優(yōu)選日本專利特開昭51-37193號(hào)公報(bào)、日本專利特公平2-32293號(hào)公報(bào)、日本專利特公平2-16765號(hào)公報(bào)中記載的氨基甲酸乙酯丙烯酸酯類、曰本專利特公昭58-49860號(hào)公報(bào)、日本專利特公昭56-17654號(hào)公報(bào)、日本專利特公昭62-39417號(hào)公報(bào)、日本專利特公昭62-39418號(hào)公報(bào)中記載的具有環(huán)氧乙垸類骨架的氨基甲酸乙酯化合物類。此外，通過使用日本專利特開昭63-277653號(hào)公報(bào)、日本專利特開昭63-260909號(hào)公報(bào)、日本專利特開平1-105238號(hào)公報(bào)中記載的分子內(nèi)具有氨基結(jié)構(gòu)或硫化物結(jié)構(gòu)的加聚性化合物類，能得到感光速度快的光聚合性組合物。作為其他例子，可以列舉日本專利特開昭48-64183號(hào)公報(bào)、日本專利特公昭49-43191號(hào)公報(bào)、日本專利特公昭52-30490號(hào)公報(bào)的各公報(bào)中記載的聚酯丙烯酸酯類、環(huán)氧樹脂與(甲基)丙烯酸反應(yīng)而得到的環(huán)氧丙烯酸酯類等多官能丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯。另外，還可以列舉日本專利特公昭46-43946號(hào)公報(bào)、日本專利特公平1-40337號(hào)公報(bào)、日本專利特公平1-40336號(hào)公報(bào)中記載的特定的不飽和化合物、日本專利特開平2-25493號(hào)公報(bào)中記載的乙烯基膦酸類化合物等。在某些情況下，優(yōu)選使用日本專利特開昭61-22048號(hào)公報(bào)中記載的含有全氟垸基的結(jié)構(gòu)。此外，還可以使用在日本膠粘協(xié)會(huì)志(JournaloftheAdhesionSocietyofJapan)vol.20、No.7、300308頁(yè)(1984年)中記載的光固性單體和低聚物。關(guān)于這些聚合性化合物的結(jié)構(gòu)、單獨(dú)使用還是合用、添加量等使用方法的詳細(xì)內(nèi)容可以根據(jù)最終的感光性材料的性能設(shè)計(jì)來任意設(shè)定。例如，可以基于以下的觀點(diǎn)來選擇。在靈敏度方面，優(yōu)選每一分子的不飽和基團(tuán)含量多的結(jié)構(gòu)，多數(shù)情況下優(yōu)選2官能以上。為了提高著色圖像部即感光性著色組合物層的強(qiáng)度，以3官能以上為宜。此外，通過合用不同官能數(shù)和/或不同聚合性基團(tuán)(例如丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、苯乙烯類化合物、乙烯基醚類化合物)的聚合性化合物來調(diào)節(jié)靈敏度和強(qiáng)度這兩者的方法也很有效。從固化靈敏度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使用含有2個(gè)以上(甲基)丙烯酸酯結(jié)構(gòu)的化合物，進(jìn)一步優(yōu)選使用含有3個(gè)以上的化合物，最優(yōu)選使用含有4個(gè)以上的化合物。從固化靈敏度以及未曝光部的顯影性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選含有EO改性體。從固化靈敏度以及曝光部強(qiáng)度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選含有脲烷鍵。對(duì)于與感光性著色組合物層中的其他成分(例如粘合劑聚合物、引發(fā)劑、著色劑(顏料或染料等))的相溶性和/或分散性，加聚化合物的選擇和使用方法是重要因素。例如，使用低純度化合物或2種以上合用有時(shí)能提高相溶性。另外，為了提高與基板的密合性，還可以選擇特定的結(jié)構(gòu)。基于以上觀點(diǎn)，作為優(yōu)選的例子，可以列舉雙酚A二丙烯酸酯、雙酚A二丙烯酸酯EO改性體、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(丙烯酰氧基丙基)醚、三羥甲基乙烷三丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、季戊四醇二丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、山梨糖醇三丙烯酸酯、山梨糖醇四丙烯酸酯、山梨糖醇五丙烯酸酯、山梨糖醇六丙烯酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)異氰酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯EO改性體以及二季戊四醇六丙烯酸酯EO改性體等。作為市售品，優(yōu)選氨基甲酸乙酯低聚物(urethaneoligomer)UAS-IO、UAB-140(日本制紙化學(xué)株式會(huì)社(NipponPaperChemicals)制)、DPHA(日本化藥公司(NipponKayakuCo.,Ltd.)制)、UA-306H、UA-306T、UA-306I、AH-600、T-600、AI-600(共榮社化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社(KyoeishaChemicalCo.，Ltd.)希ij)。其中，進(jìn)一步優(yōu)選雙酚A二丙烯酸酯EO改性體、季戊四醇三丙烯酸27酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)異氰酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯EO改性體、二季戊四醇六丙烯酸酯EO改性體以及作為市售品的DPHA(日本化藥公司制)、UA-306H、UA-306T、UA-306I、AH-600、T-600、AI-600(共榮社化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制)。(C-l)聚合性化合物的含量?jī)?yōu)選為本發(fā)明的感光性著色組合物層中的總固體成分中的5質(zhì)量％55質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為10質(zhì)量％50質(zhì)量％，更優(yōu)選為15質(zhì)量％45質(zhì)量％。(D)光聚合引發(fā)劑本發(fā)明的感光性著色組合物優(yōu)選含有(D)光聚合引發(fā)劑。上述光聚合引發(fā)劑是在光的作用下分解并引發(fā)和促進(jìn)上述(C-l)聚合性化合物聚合的化合物，優(yōu)選在波長(zhǎng)300nm500nm的區(qū)域有吸收。上述光聚合引發(fā)劑可以單獨(dú)使用或2種以上合用。作為上述光聚合引發(fā)劑，可以列舉例如有機(jī)鹵化物、噁二唑(oxidiazole)化合物、羰基化合物、縮酮(ketal)化合物、苯偶姻(benzoin)化合物、吖啶(acridine)化合物、有機(jī)過氧化物、偶氮化合物、香豆素(coumarin)化合物、疊氮(azide)化合物、茂金屬(metallocene)化合物、六芳基雙咪唑(hexaarylbiimidazole)化合物、有機(jī)硼酸化合物、二磺酸化合物、肟酯(oximeester)化合物、鐵鹽(oniumsalt)化合物、酰基膦(氧化物)(acylphosphineoxide)化合物。作為有機(jī)鹵化物的具體例子，可以列舉在若林等"BullChem.SocJapan"42、2924(1969)、美國(guó)專利第3905815號(hào)說明書、日本專利特公昭46-4605號(hào)公報(bào)、日本專利特開昭48-36281號(hào)公報(bào)、日本專利特開昭55-32070號(hào)公報(bào)、日本專利特開昭60-239736號(hào)公報(bào)、日本專利特開昭61-169835號(hào)公報(bào)、日本專利特開昭61-169837號(hào)公報(bào)、日本專利特開昭62-58241號(hào)公報(bào)、日本專利特開昭62-212401號(hào)公報(bào)、日本專利特開昭63-70243號(hào)公報(bào)、日本專利特開昭63-298339號(hào)公報(bào)、M.P.Hutt"JoumalofHeterocyclicChemistry"1(No3)，(1970)"中記載的化合物，特別是三鹵代甲基取代的噁二唑化合物、s-三嗪化合物。作為s-三嗪化合物的例子，更優(yōu)選在s-三嗪環(huán)上結(jié)合至少1個(gè)一鹵代、28二鹵代或三鹵代甲基的S-三嗪衍生物。作為具體例子，可以列舉2，4，6-三(一氯甲基)-s-三嗪、2，4，6-三(二氯甲基)-s-三嗪、2，4，6-三(三氯甲基)-s-三嗪、2-甲基-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2—正丙基-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(a，a，p-三氯乙基)-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-苯基-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(對(duì)甲氧基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(3，4-環(huán)氧基苯基)-4、6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(對(duì)氯苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-〔1-(對(duì)甲氧基苯基)-2，4-丁二烯基〕-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-苯乙烯基-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(對(duì)甲氧基苯乙烯基)-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(對(duì)異丙基氧基苯乙烯基)-4、6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(對(duì)甲苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-甲氧基萘基)-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-苯基硫代-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-芐基硫代-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、4-(o-溴-p-N，N-(二乙氧基羰基氨基)-苯基)-2，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2，4，6-三(二溴甲基)-s-三嗪、2，4，6-三(三溴甲基)-s-三嗪、2-甲基-4，6-雙(三溴甲基)-s-三嗪以及2-甲氧基-4，6-雙(三溴甲基)-s-三嗪等。作為噁二唑化合物的例子，可以列舉2-三氯甲基-5-苯乙烯基-l，3，4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(氰基苯乙烯基)-1，3，4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(萘-l-基)-1，3，4-噁二唑以及2-三氯甲基-5-(4-苯乙烯基)苯乙烯基-1，3，4-噁二唑等。作為羰基化合物的例子，可以列舉二苯甲酮(benzophenone)、米氏酮(Michler'sketone)、2-甲基二苯甲酮、3-甲基二苯甲酮、4-甲基二苯甲酮、2-氯二苯甲酮、4-溴二苯甲酮以及2-羧基二苯甲酮等二苯甲酮衍生物、2，2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2，2-二乙氧基苯乙酮、1-羥基環(huán)己基苯基酮、a-羥基-2-甲基苯基丙酮、l-羥基-l-甲基乙基-(p-異丙基苯基)酮、1-羥基-1-(p-十二烷基苯基)酮、2-甲基陽(yáng)1-(4，-(甲基硫代)苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮、2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮-l、2，4，S-三甲基苯甲酰-二苯基-膦氧化物、1，1，l-三氯甲基-(p-丁基苯基)酮以及2-節(jié)基_2_二甲基氨基_4-嗎啉代苯丁酮等苯乙酮衍生物、噻噸酮(thioxanthone)、2-乙基噻噸酮、2-異丙基噻噸酮、2-氯噻噸酮、2，4-二甲29基噻噸酮、2，4-二乙基噻噸酮以及2，4-二異丙基噻噸酮等噻噸酮衍生物、以及p-二甲基氨基苯甲酸乙酯和p-二乙基氨基苯甲酸乙酯等苯甲酸酯衍生物等。作為縮酮化合物的例子，可以列舉芐基二甲基縮酮和芐基-(3-甲氧基乙基乙基縮醛等。作為苯偶姻化合物的例子，可以列舉間苯偶姻異丙基醚、苯偶姻異丁基醚、苯偶姻甲基醚和鄰苯偶姻苯甲酸甲酯等。作為吖啶化合物的例子，可以列舉9-苯基吖啶、9-吡啶基吖啶、9-吡嗪基吖啶、1，2-二(9-吖啶基)乙烷、1，3-二(9-吖啶基)丙垸、1，4-二(9-吖啶基)丁烷、1，5-二(9-吖啶基)戊烷、1，6-二(9-吖啶基)己烷、1，7-二(9-吖啶基)庚烷、1，8-二(9-吖啶基)辛垸、1，9-二(9-吖啶基)壬烷、1，10-二(9-吖啶基)癸垸、1，11-二(9-吖啶基)十一烷和l，12-二(9-吖啶基)十二烷等二(9-吖啶基)烷等。作為有機(jī)過氧化物的例子，可以列舉三甲基環(huán)己酮過氧化物、乙酰丙酮過氧化物、1，1-雙(叔丁基過氧化)-3，3，5-三甲基環(huán)己烷、1，1-雙(叔丁基過氧化)環(huán)己烷、2，2-雙(叔丁基過氧化)丁烷、叔丁基過氧化氫、過氧化氫異丙苯(cumenehydroperoxide)、二異丙基苯過氧化物、2，5-二甲基己垸-2，5-二過氧化氫、1，1，3，3-四甲基丁基過氧化氫、過氧化叔丁基異丙苯、過氧化二異丙苯(dicumylperoxide)、2，5-二甲基-2，5-二(叔丁基過氧化)己垸、2，5-才年廿/,Av^—才年廿,K、、過氧化琥珀酸、過氧化苯甲酰、2，4-二氯苯甲酰過氧化物、過氧化二碳酸二異丙酯、過氧化二碳酸二-2-乙基己酯、過氧化二碳酸二-2-乙氧基乙酯、過氧化碳酸二甲氧基異丙酯、過氧化二碳酸二(3-甲基-3-甲氧基丁基)酯、過氧化乙酸叔丁酯、過氧化新戊酸叔丁酯(tert-butylperoxypivalate)、過氧化新癸酸叔丁酯、過氧化辛酸叔丁酯、過氧化月桂酸叔丁酯、夕一、乂，力一求才、一卜、3，3'，4，4，-四(叔丁基過氧化羰基)二苯甲酮、3，3'，4，4'-四(叔己基過氧化羰基)二苯甲酮、3，3，，4，4'-四(p-異丙基異丙苯基過氧化羰基)二苯甲酮、羰基二(叔丁基過氧化二氫二鄰苯二甲酸酯)以及羰基二(叔己基過氧化二氫二鄰苯二甲酸酯)等。作為偶氮化合物的例子，可以列舉日本專利特開平8-108621號(hào)公報(bào)中記載的偶氮化合物等。作為香豆素化合物的例子，可以列舉3-甲基-5-氨基-((S-三嗪-2-基)氨基)-3-苯基香豆素、3-氯-5-二乙基氨基-((s-三嗪-2-基)氨基)-3-苯基香豆素以及3-丁基-5-二甲基氨基-((s-三嗪-2-基)氨基)-3-苯基香豆素等。作為疊氮化合物的例子，可以列舉在美國(guó)專利第2848328號(hào)說明書、美國(guó)專利第2852379號(hào)說明書以及美國(guó)專利第2940853號(hào)說明書中記載的有機(jī)疊氮化合物、2，6-雙(4-疊氮苯亞甲基)-4-乙基環(huán)己酮(BAC-E)等。作為茂金屬化合物的例子，可以列舉在日本專利特開昭59-152396號(hào)公報(bào)、日本專利特開昭61-151197號(hào)公報(bào)、日本專利特開昭63-41484號(hào)公報(bào)、日本專利特開平2-249號(hào)公報(bào)、日本專利特開平2-4705號(hào)公報(bào)、日本專利特開平5-83588號(hào)公報(bào)中記載的各種二茂鈦(titanocene)化合物例如二環(huán)戊二烯基-Ti-聯(lián)苯、二環(huán)戊二烯基-Ti-雙-2，6-二氟苯-l-基、二環(huán)戊二烯基-Ti-雙-2，4-二-氟苯-l-基、二環(huán)戊二烯基-Ti-雙-2，4，6-三氟苯-1-基、二環(huán)戊二烯基-Ti-雙-2，3，5，6-四氟苯-l-基、二環(huán)戊二烯基-Ti-雙-2，3，4，5，6-五氟苯-l-基、二-甲基環(huán)戊二烯基-Ti-雙-2，6-二氟苯-l-基、二陽(yáng)甲基環(huán)戊二烯基-Ti-雙-2，4，6-三氟苯-l-基、二-甲基環(huán)戊二烯基-Ti-雙-2，3，5，6-四氟苯-l-基、二-甲基環(huán)戊二烯基-Ti-雙-2，3，4，5，6-五氟苯-1-基、以及在日本專利特開平1-304453號(hào)公報(bào)和日本專利特開平1-152109號(hào)公報(bào)中記載的鐵-芳烴(arene)絡(luò)合物等。作為六芳基雙咪唑化合物的例子，可以列舉日本專利特公平6-29285號(hào)公報(bào)、美國(guó)專利第3479185號(hào)、美國(guó)專利第4311783號(hào)、美國(guó)專利第4622286號(hào)等各說明書中記載的各種化合物，作為具體例子，可以列舉2，2，-雙(o-氯苯基)-4，4，，5，5，-四苯基雙咪唑、2，2，-雙(o-溴苯基)4，4，，5，5，-四苯基雙咪唑、2，2,-雙(o，p-二氯苯基)-4，4，，5，5，-四苯基雙咪唑、2，2，-雙(o-氯苯基)-4，4，，5，5，-四(m-甲氧基苯基)雙咪唑、2,2，-雙(o，o，-二氯苯基)-4，4，，5，5，-四苯基雙咪唑、2，2，-雙(o-硝基苯基)-4，4，，5，5，-四苯基雙咪唑、2，2，-雙(o-甲基苯基)-4，4，，5，5，-四苯基雙咪唑以及2，2，-雙(o-三氟苯基)-4，4，，5，5，-四苯基雙咪唑等。作為有機(jī)硼酸鹽化合物的例子，可以列舉日本專利特開昭62-M304431號(hào)公報(bào)、日本專利特開昭62-150242號(hào)公報(bào)、日本專利特開平9-188685號(hào)公報(bào)、日本專利特開平9-188686號(hào)公報(bào)、日本專利特開平9-188710號(hào)公報(bào)、日本專利特開2000-131837號(hào)公報(bào)、日本專利特開2002-107916號(hào)公報(bào)、專利第2764769號(hào)公報(bào)、日本專利特開2002-116539號(hào)公報(bào)等各公報(bào)以及Kunz，Martin"RadTech，98.ProceedingApril19-22，1998，Chicago"等中記載的有機(jī)硼酸鹽、日本專利特開平6-157623號(hào)公報(bào)、日本專利特開平6-175564號(hào)公報(bào)以及日本專利特開平6-175561號(hào)公報(bào)中記載的有機(jī)硼锍絡(luò)合物或有機(jī)硼氧锍(boronoxosulfonium)絡(luò)合物、日本專利特開平6-175554號(hào)公報(bào)以及日本專利特開平6-175553號(hào)公報(bào)中記載的有機(jī)硼碘鐵(boroniodonium)絡(luò)合物、日本專利特開平9-188710號(hào)公報(bào)中記載的有機(jī)硼轔(boronphosphonium)絡(luò)合物、以及日本專利特開平6-348011號(hào)公報(bào)、日本專利特開平7-128785號(hào)公報(bào)、日本專利特開平7-140589號(hào)公報(bào)、日本專利特開平7-306527號(hào)公報(bào)和日本專利特開平7-292014號(hào)公報(bào)等中記載的有機(jī)硼過渡金屬配位絡(luò)合物等。作為二磺酸化合物的例子，可以列舉日本專利特開昭61-166544號(hào)公報(bào)和日本專利特開2002-328465號(hào)說明書等中記載的化合物等。作為肟酯(oximeester)化合物的例子，可以列舉在J,C.S.PerkinII(1979)1653-1660、J.C.S.PerkinII(1979)156-162、JournalofPhotopolymerScienceandTechnology(1995)202-232以及日本專利特開2000-66385號(hào)公報(bào)中記載的化合物、以及在日本專利特開2000-80068號(hào)公報(bào)和日本專利特表2004-534797號(hào)公報(bào)中記載的化合物等。作為具體例子，優(yōu)選汽巴精化公司制的IRGACUREOXE-01以及OXE-02等。作為鎗鹽化合物的例子，可以列舉在S.I.Schlesinger，Photogr.Sci.Eng.，18，387(1974)以及T.S.Baletal，Polymer,21，423(1980)中記載的重氮鹽(diazonium)、美國(guó)專利第4069055號(hào)說明書以及日本專利特開平4-365049號(hào)公報(bào)等中記載的銨鹽、美國(guó)專利第406卯55號(hào)說明書和美國(guó)專利第4069056號(hào)說明書等各說明書中記載的轔鹽、歐洲專利第104143號(hào)說明書、日本專利特開平2-150848號(hào)公報(bào)以及日本專利特開平2-296514號(hào)公報(bào)的各公報(bào)中記載的碘錄鹽等。本發(fā)明能優(yōu)選使用的碘鐵鹽是二芳基碘鑰鹽，從穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，32優(yōu)選被2個(gè)以上垸基、烷氧基或芳氧(aryk)xy)基等給電子基取代。作為本發(fā)明能優(yōu)選使用的锍鹽的例子，可以列舉在歐洲專利第370693號(hào)說明書、歐洲專利第390214號(hào)說明書、歐洲專利第233567號(hào)說明書、歐洲專利第297443號(hào)說明書、歐洲專利第297442號(hào)說明書、美國(guó)專利第4933377號(hào)說明書、美國(guó)專利第4760013號(hào)說明書、美國(guó)專利第4734444號(hào)說明書、美國(guó)專利第2833827號(hào)說明書、德國(guó)專利第2904626號(hào)說明書、德國(guó)專利第3604580號(hào)說明書、德國(guó)專利第3604581號(hào)說明書的各說明書中記載的锍鹽。從穩(wěn)定性和靈敏度的觀點(diǎn)出發(fā)，該锍鹽優(yōu)選被吸電子基取代。吸電子基的哈密特值優(yōu)選大于0。作為優(yōu)選的吸電子基的例子，可以列舉鹵原子和羧酸等。作為其他優(yōu)選的锍鹽的例子，可以列舉三芳基锍鹽的一個(gè)取代基具有香豆素結(jié)構(gòu)或蒽醌結(jié)構(gòu)且具有300nm以上吸收的锍鹽。作為另一優(yōu)選锍鹽的例子，還可以列舉三芳基锍鹽具有芳氧(aryloxy)基或芳硫基作為取代基且具有300nm以上吸收的锍鹽。作為鎗鹽化合物的例子，可以列舉在J.V.Crivelloetal，Macromolecules，10(6)，1307(1977)以及J.V.Crivelloetal，J.PolymerSci.，PolymerChem.Ed.，17，1047(1979)中記載的硒鎗(selenonium)鹽以及在C.S.Wenetal，Teh，Proc.Conf.Rad.CuringASIA,p478Tokyo,Oct(1988)中記載的紳(arsonium)鹽等鎿鹽等。作為?；?氧化物)化合物的例子，可以列舉汽巴精化公司制的IRUGACURE819、DAROCURE4265、DAROCURETPO等。作為(D)光聚合引發(fā)劑的例子，從曝光靈敏度的觀點(diǎn)出發(fā)，可以列舉三卣代甲基三嗪化合物、節(jié)基二甲基縮酮化合物、a-羥基酮化合物、cc-氨基酮化合物、?；㈩惢衔铩⒀趸⒒衔?、茂金屬化合物、肟化合物、三芳基咪唑二聚物(triarylimidazoledimer)、鎿鹽化合物、苯并噻唑化合物、二苯甲酮化合物、苯乙酮化合物及其衍生物、環(huán)戊二烯-苯-鐵絡(luò)合物及其鹽、鹵代甲基噁二唑化合物以及3-芳基取代香豆素化合物。更優(yōu)選三鹵代甲基三嗪化合物、a-氨基酮化合物、?；⒒衔铩⒀趸⒒衔铩㈦炕衔?、三芳基咪唑二聚物、鎗鹽化合物、二苯甲酮化合物、苯乙酮化合物，最優(yōu)選選自三鹵代甲基三嗪化合物、(x-氨基酮化合物、月虧化合物、三芳基咪唑二聚物、二苯甲酮化合物中的至少l種化合物。(D)光聚合引發(fā)劑的含量相對(duì)于感光性著色組合物層中的總固體成分優(yōu)選為0.1質(zhì)量％20質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為0.5質(zhì)量％15質(zhì)量％，特別優(yōu)選為1質(zhì)量％10質(zhì)量％。在該范圍內(nèi)，可以得到良好的靈敏度和圖案形成性。(E)溶劑本發(fā)明使用的感光性著色組合物一般可以使用溶劑來制備。作為溶劑的例子，可以列舉酯類，例如乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、甲酸戊酯、乙酸異戊酯、乙酸異丁酯、丙酸丁酯、丁酸異丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、烷基酯類、乳酸甲酯、乳酸乙酯、羥基乙酸甲酯、羥基乙酸乙酯、羥基乙酸丁酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯以及乙氧基乙酸乙酯；3-羥基丙酸甲酯以及3-羥基丙酸乙酯等3-羥基丙酸垸基酯(例如3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯等)；2-羥基丙酸甲酯、2-羥基丙酸乙酯以及2-羥基丙酸丙酯等2-羥基丙酸垸基酯類(例如2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-氧基-2-甲基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯等)；丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸甲酯、2-氧代丁酸乙酯以及l(fā)，3-丁二醇二乙酸酯等；醚類，例如二甘醇二甲基醚、四氫呋喃(tetrahydrofuran)、乙二醇一甲基醚、乙二醇一乙基醚、甲基溶纖劑乙酸酯(methylcellosolveacetate)、乙基溶纖劑乙酸酯、二甘醇一甲基醚、二甘醇一乙基醚、二甘醇一丁基醚、丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯、二甘醇二乙基醚、二甘醇一乙基醚乙酸酯、二甘醇一丁基醚、二甘醇一丁基醚乙酸酯、丙二醇正丙基醚乙酸酯、丙二醇二乙酸酯、丙二醇正丁基醚乙酸酯、丙二醇苯基醚、丙二醇苯基醚乙酸酯、二丙二醇一甲基醚乙酸酯、二丙二醇正丙基醚乙酸酯、二丙二醇正丁基醚乙酸酯、三丙二醇一正丁基醚以及三丙二醇甲基醚乙酸酯等；酮類，例如丙酮、甲乙酮、環(huán)己酮(cydohexanone)、2-庚酮以及3-34庚酮等；醇類，例如乙醇、異丙醇、丙二醇甲基醚、丙二醇一正丙基醚以及丙二醇一正丁基醚；以及芳香族烴類，例如甲苯和二甲苯等。其中，優(yōu)選3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙基溶纖劑乙酸酯、乳酸乙酯、二甘醇二甲基醚、乙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、2-庚酮、環(huán)己酮、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇甲基醚、丙二醇甲基醚乙酸酯以及丙二醇乙基醚乙酸酯等。溶劑可以單獨(dú)使用，也可以2種以上組合使用。其他添加物另外，在本發(fā)明使用的感光性著色組合物中，除上述成分外，還可以根據(jù)目的使用各種公知的添加劑。以下，對(duì)這樣的添加劑進(jìn)行說明。分散劑本發(fā)明的感光性著色組合物優(yōu)選含有高分子分散劑。該高分子分散劑是重均分子量在3000100000范圍內(nèi)的樹脂。此外，優(yōu)選酸值為20300mg/g。以下有時(shí)將這種特定的高分子分散劑簡(jiǎn)稱為"分散樹脂"。本發(fā)明的分散樹脂是作為在上述(A-l)著色劑中列舉的顏料的分散劑或后述的黑矩陣形成用感光性黑色組合物中的作為遮光劑(黑矩陣形成用顏料)的分散劑而起作用的化合物。分散樹脂由于必須具有特定的酸值，因而優(yōu)選為具有酸性基的高分子化合物。作為該高分子化合物的高分子骨架，優(yōu)選選自乙烯基單體的聚合物、乙烯基單體的共聚物、酯聚合物、醚聚合物、氨基甲酸乙酯聚合物、酰胺聚合物、環(huán)氧聚合物及有機(jī)硅(silicone)聚合物以及它們的改性物或共聚物[例如包含聚醚/聚氨酯共聚物、聚醚/乙烯基單體聚合物的共聚物等(無規(guī)共聚物、嵌段共聚物、接枝共聚物中的任一種)]中的至少1種。進(jìn)一步優(yōu)選選自乙烯基單體的聚合物、乙烯基單體的共聚物、酯聚合物、醚聚合物、氨基甲酸乙酯聚合物以及它們的改性物或共聚物中的至少l種，特別優(yōu)選乙烯基單體的聚合物和乙烯基單體的共聚物。35作為在上述高分子骨架中導(dǎo)入酸性基的方法，可以列舉例如在上述高分子骨架聚合時(shí)使含有酸性基的單體共聚的方法、或在上述高分子骨架聚合后通過高分子反應(yīng)導(dǎo)入的方法。作為含有酸性基的單體的例子，可以列舉(甲基)丙烯酸、丁烯酸(crotonicacid)、衣康酸(itaconicacid)、馬來酸(maleicacid)、富馬酸(phmalicacid)、肉桂酸(cinnamicacid)、丙烯酸二聚體(acrylicaciddimer)、乙烯基苯甲酸、苯乙烯磺酸、2-丙烯酰胺-2-甲基丙垸磺酸、磷酸一(甲基)丙烯?；阴セ蚣谆┧?2-羥乙酯等含醇性羥基的單體以及通過使馬來酸酐或富馬酸酐等環(huán)狀酸酐等反應(yīng)而得到的單體等。此外，具有酸性基的高分子化合物還可以含有乙烯基單體成分作為共聚成分。作為上述乙烯基單體的例子，沒有特殊限制，可以列舉(甲基)丙烯酸酯類、丁烯酸酯類、乙烯基酯類、馬來酸二酯類、富馬酸二酯類、衣康酸二酯類、(甲基)丙烯酰胺類、乙烯基醚類、乙烯基醇的酯類、苯乙烯類以及(甲基)丙烯腈等。作為上述"酸性基"的優(yōu)選例子，可以列舉羧酸基、磺酸基、一硫酸酯基、磷酸基、一磷酸酯基以及硼酸基，進(jìn)一步優(yōu)選羧酸基、磺酸基、一硫酸酯基、磷酸基以及一磷酸酯基，特別優(yōu)選羧酸基、磺酸基以及磷酸基。為了提高分散性，本發(fā)明的感光性著色組合物還優(yōu)選含有具有堿性氮原子(basicnitrogenatom)的基團(tuán)。作為上述具有堿性氮原子的基團(tuán)的例子，可以優(yōu)選列舉氨基(-NH2)、取代亞氨基(-NHRS或-NR9111其中，R8、W和R"分別獨(dú)立地表示碳原子數(shù)為120的垸基、碳原子數(shù)為6以上的芳基或碳原子數(shù)為7以上的芳烷基)、下述化學(xué)式(al)表示的胍基(guanidyl)或下述化學(xué)式(a2)表示的脒基(amidinyl)等。上述化學(xué)式(al)中，R"和R^分別獨(dú)立地表示碳原子數(shù)為120的烷基、碳原子數(shù)為6以上的芳基或碳原子數(shù)為7以上的芳烷基。N卜N—(a1)NHH(a2)36上述化學(xué)式U2)中，R^和R"分別獨(dú)立地表示碳原子數(shù)為120的垸基、碳原子數(shù)為6以上的芳基或碳原子數(shù)為7以上的芳垸基。其中，氨基(-NH2)、取代亞氨基(-NHR8或-NR9r1、其中，R8、R9和R"分別獨(dú)立地表示碳原子數(shù)為110的垸基、苯基或芐基)、上述化學(xué)式(al)表示的胍基[化學(xué)式(al)中，R"和R12分別獨(dú)立地表示碳原子數(shù)為110的垸基、苯基或芐基]、上述化學(xué)式(a2)表示的脒基[化學(xué)式(a2)中，R's和R"分別獨(dú)立地表示碳原子數(shù)為110的垸基、苯基或芐基]等還含有由1200個(gè)氫原子以及020個(gè)硫原子形成的基團(tuán)，它們可以是未取代，也可以進(jìn)一步具有取代基。其他的分散劑本發(fā)明使用的感光性著色組合物還可以將上述分散樹脂和目前公知的分散劑(顏料分散劑)合用。作為公知的分散劑(顏料分散劑)的例子，可以列舉高分子分散劑(例如聚酰胺胺及其鹽、高分子量不飽和酸酯、改性聚氨酯、改性聚酯、改性聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸類共聚物)、聚環(huán)氧乙烷烷基磷酸酯、聚環(huán)氧乙烷烷基胺、垸醇胺以及顏料衍生物等。高分子分散劑從其結(jié)構(gòu)上可以進(jìn)一步分為直鏈狀高分子、末端改性型高分子、接枝型高分子(graftpolymer)以及嵌段型高分子(blockpolymer)。高分子分散劑吸附于顏料的表面，起防止再凝集的作用。因此，作為優(yōu)選的結(jié)構(gòu)，可以列舉具有針對(duì)顏料表面的錨定(anchor)部位的末端改性型高分子、接枝型高分子或嵌段型高分子。另一方面，顏料衍生物具有通過對(duì)顏料表面進(jìn)行改性來促進(jìn)高分子分散劑吸附的效果。作為本發(fā)明能使用的公知的分散劑(顏料分散劑)的具體例子，可以列舉BYKChemie公司制的Disperbyk-107(羧酸酯)、130(聚酰胺)、161、162、163、164、165、166、170(高分子共聚物)、EFKA公司制的EFKA4047、4050、4010、4165(聚氨酯類)、EFKA4330、4340(嵌段共聚物)、4400、4402(改性聚丙烯酸酯)、5010(聚酯酰胺)、6220(脂肪酸聚酯)、6745(酞菁衍生物)、6750(偶氮顏料衍生物)、味之素精細(xì)化學(xué)公司(AjinomotoFine-TechnoCo.，Inc.)制的AJISPERPB821、PB822、共榮社化學(xué)公司(KyoeishaChemicalCo.,Ltd,)制的FLOWLENTG-710(氨基37甲酸乙酯低聚物)、POLYFLOWNo.50E、No.300(丙烯酸類共聚物)、楠本化成公司(KusumotoChemicalsLtd.)制的DISPARLON弁7004(聚醚酯)、DA-703-50、DA-705、DA-725、花王公司(KAOCorporation)制的EMULGEN920、930、935、985(聚環(huán)氧化烯壬基苯基醚)、ACETAMIN86(十八烷胺乙酸酯)、路博潤(rùn)公司(TheLubrizolCorporation)制的SOLSPERSE5000(酞菁衍生物)、22000(偶氮顏料衍生物)、13240(聚酯胺)、3000、17000、27000(末端部具有功能部的高分子)、24000、28000、32000、38500(接枝型高分子)、日光化學(xué)公司(NikkoChemicalsCo.,Ltd.)制的NIKKOLT106(聚氧乙烯山梨糖醇酐單油酸酯)、MYS-IEX(聚氧乙烯單硬脂酸酯)等。上述公知的分散劑可以根據(jù)需要在相對(duì)于分散樹脂為10質(zhì)量％100質(zhì)量％即分散劑/分散樹脂=1/101/1(等量)的范圍內(nèi)使用。表面活性劑若顏料濃度增大，則涂布液的觸變性(thixotr叩y)—般會(huì)變大，因此在基板上涂布或轉(zhuǎn)印感光性著色組合物而形成感光性著色組合物層(著色層涂膜)后的膜厚易產(chǎn)生不均。特別是通過狹縫涂布法形成感光性著色組合物層(著色層涂膜)時(shí)，感光性著色組合物層形成用涂布液在干燥前流平形成均一厚度的涂膜很重要。因此，上述感光性著色組合物優(yōu)選含有合適的表面活性劑。作為上述表面活性劑的例子，可以列舉日本專利特開2003-337424號(hào)公報(bào)、日本專利特開平11-133600號(hào)公報(bào)中公開的表面活性劑。作為用于提高涂布性的表面活性劑的例子，可以列舉非離子型(廳ionic)表面活性劑、氟類表面活性劑、有機(jī)硅類(silicone)表面活性劑等。作為非離子型表面活性劑的例子，可以列舉聚氧乙烯二醇類、聚氧丙烯二醇類、聚氧乙烯烷基醚類、聚氧乙烯烷基芳基醚類、聚氧乙烯烷基酯類、聚氧丙烯烷基醚類、聚氧丙烯烷基芳基醚類、聚氧丙烯烷基酯類、失水山梨醇烷基酯類以及一甘油烷基酯類等。作為非離子型表面活性劑的具體例子，可以列舉聚氧乙烯二醇、聚氧丙烯二醇等聚氧化烯二醇類；聚氧乙烯十二垸基醚、聚氧丙烯十八烷基醚、38聚氧乙烯油基醚等聚氧化烯烷基醚類；聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯聚苯乙烯化醚、聚氧乙烯三芐基苯基醚、聚氧乙烯-丙烯聚苯乙烯化醚、聚氧乙烯壬基苯基醚等聚氧乙烯芳基醚類；聚氧乙烯二月桂酸酯、聚氧乙烯二硬脂酸酯等聚氧化烯二垸基酯；失水山梨醇脂肪酸酯；以及聚氧化烯山梨糖醇酐脂肪酸酯類等。作為它們的更具體的例子，可以列舉艾德科PLURONIC系列、艾德科NOL系列、TETRONIC系列(以上為艾德科株式會(huì)社制)、EMULGEN系列、RHEODOL系列(以上為花王株式會(huì)社制)、ELEMINOL系列、NONIPOL系列、OCTAPOL系列、DODECAPOL系列、NEWPOL系列(以上為三洋化成株式會(huì)社制)、PIONIN系列(竹本油脂株式會(huì)社制)、NISSANNONION系列(日本油脂株式會(huì)社制)等?？梢赃m當(dāng)使用它們的市售品。優(yōu)選的HLB(Hydrophile-LipophileBalance:親水親油平衡值)值為820，更優(yōu)選為1017。作為氟類表面活性劑的例子，可以列舉在末端、主鏈和側(cè)鏈中的至少任一部位具有氟代烷基或氟代亞烷基的化合物。作為具體的市售品的例子，可以列舉MEGAFACF142D、MEGAFACF172、MEGAFACF173、MEGAFACF176、MEGAFACF177、MEGAFACF183、MEGAFAC780、MEGAFAC781、MEGAFACR30、MEGAFACR08(大日本油墨株式會(huì)社(Diecorporation)制)、FLUORADFC-135、FLUORADFC-170C、FLUORADFC-430、FLUORADFC-431(住友3M株式會(huì)社制)、SURPLONS-112、SURFLONS-113、SURFLONS-131、SURFLONS-141、SURFLONS-145、SURFLONS-382、SURFLONSC-101、SURFLONSC-102、SURFLONSC-103、SURFLONSC-104、SURFLONSC-105、SURFLONSC-106(旭硝子株式會(huì)社制)、EFTOPEF351、EFTOP352、EFTOP801、EFTOP802(JEMCO株式會(huì)社制)等。作為有機(jī)硅類表面活性劑的例子，可以列舉ToraySiliconeDC3PA、ToraySiliconeDC7PA、ToraySiliconeSHllPA、ToraySiliconeSH21PA、ToraySiliconeSH28PA、ToraySiliconeSH29PA、ToraySiliconeSH30PA、ToraySiliconeSH-190、ToraySiliconeSH-193、ToraySiliconeSZ-6032、ToraySiliconeSF-8428、ToraySiliconeDC-57、ToraySiliconeDC-190(以上為東39麗道康寧有機(jī)硅株式會(huì)社(DowCorningToraySiliconeCo.,Ltd.)制)、TSF-4440、TSF陽(yáng)4300、TSF-4445、TSF-4446、TSF-4460、TSF-4452(以上為MomentivePerformanceMaterialsJapan制)等。這些表面活性劑的量相對(duì)于用于形成感光性著色組合物層的涂布液100質(zhì)量份優(yōu)選為5質(zhì)量份以下，進(jìn)一步優(yōu)選為2質(zhì)量份以下。當(dāng)表面活性劑的量超過5質(zhì)量份時(shí)，涂布干燥時(shí)易使表面粗糙，平滑性容易下降。為了促進(jìn)未固化部的堿溶解性以進(jìn)一步提高光固性組合物的顯影性，可以添加有機(jī)羧酸、優(yōu)選重均分子量為1000以下的低分子量有機(jī)羧酸。作為該有機(jī)羧酸的具體例子，可以列舉甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、戊酸、特戊酸、己酸、二乙基乙酸、庚酸(enanthicacid)、辛酸等脂肪族一元羧酸；草酸、丙二酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、庚二酸(pimelicacid)、辛二酸(subericacid)、壬二酸(azelaicacid)、癸二酸(sebacicacid)、巴西基酸(brasylicacid)、甲基丙二酸(methylmalonicacid)、乙基丙二酸、二甲基丙二酸、甲基琥珀酸、四甲基琥珀酸、檸康酸(citraconicacid)等脂肪族二元羧酸；丙三酸(tricarballylicacid)、烏頭酸(aconiticacid)、樟腦三酸(camphoronicacid)等脂肪族三元羧酸；苯甲酸、甲苯酸(toluicacid)、枯酸(cuminicacid)、2，3-二甲基苯甲酸(hemelliticacid)、均三甲苯酸(mesityleneacid)等芳香族一元羧酸；鄰苯二甲酸、間苯二甲酸、對(duì)苯二甲酸、偏苯三甲酸(trimelliticacid)、均苯三甲酸(trimesicacid)、偏苯四甲酸(mellophanicacid)、均苯四甲酸(pyromelliticacid)等芳香族多元羧酸；苯基乙酸、苯氧基乙酸、甲氧基苯氧基乙酸、氫化阿托酸(hydratropicacid)、氫化肉桂酸(hydrocinnamicacid)、扁桃酸(mandelicacid)、苯基琥珀酸、阿托酸(a加picacid)、肉桂酸、肉桂酸甲酯、肉桂酸芐酉旨、亞肉桂基乙酸(cinnamylideneacetate)、香豆酸(cumaricacid)、傘形酸(umbdlicacid)等其他羧酸。烷氧基硅烷(alkoxysilane)化合物從提高與基板的密合性等觀點(diǎn)出發(fā)，本發(fā)明使用的感光性著色組合物還可以含有烷氧基硅烷化合物、具體為硅垸偶聯(lián)劑。硅烷偶聯(lián)劑優(yōu)選具有烷氧基甲硅垸基作為能與無機(jī)材料化學(xué)結(jié)合的水解性基團(tuán)，作為更優(yōu)選的硅烷偶聯(lián)劑的例子，可以列舉能與有機(jī)樹脂相互作用或成鍵而顯示親和性的、(甲基)丙烯?；?、苯基、巰基、環(huán)氧基硅垸，作為特別優(yōu)選的例子，可以列舉(甲基)丙烯?；籽趸柰閛使用硅垸偶聯(lián)劑時(shí)的添加量?jī)?yōu)選為在使用于本發(fā)明的感光性著色組合物層中的總固體成分中的0.25.0質(zhì)量％的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選為0.53.0質(zhì)量％。共增感劑本發(fā)明使用的感光性著色組合物還優(yōu)選根據(jù)需要含有共增感劑。本發(fā)明的共增感劑具有進(jìn)一步提高增感色素和/或引發(fā)劑對(duì)活性放射線的靈敏度或抑制氧對(duì)聚合性化合物的聚合抑制等作用。作為該共增感劑的例子，可以列舉胺類例如M.R.Sander等著《JournalofPolymerSociety》第10巻3173頁(yè)(1972)、日本專利特公昭44-20189號(hào)公報(bào)、日本專利特開昭51-82102號(hào)公報(bào)、日本專利特開昭52-134692號(hào)公報(bào)、日本專利特開昭59-138205號(hào)公報(bào)、日本專利特開昭60-84305號(hào)公報(bào)、日本專利特開昭62-18537號(hào)公報(bào)、日本專利特開昭64-33104號(hào)公報(bào)、ResearchDisclosure33825號(hào)記載的化合物等，作為具體例子，可以列舉三乙醇胺、對(duì)二甲基氨基苯甲酸乙酯、對(duì)甲?；谆桨?、對(duì)甲基硫代二甲基苯胺等。作為共增感劑的其他例子，可以列舉硫醇和硫醚類，例如日本專利特開昭53-702號(hào)公報(bào)、日本專利特公昭55-500806號(hào)公報(bào)、日本專利特開平5-142772號(hào)公報(bào)記載的硫醇化合物、日本專利特開昭56-75643號(hào)公報(bào)的二硫醚化合物等。作為具體的例子，可以列舉2-巰基苯并噻唑、2-巰基苯并噁唑、2-巰基苯并咪唑、2-巰基-4(3H)-喹唑啉、(3-巰基萘等。作為共增感劑的其他例子，可以列舉氨基酸化合物(例如N-苯基甘氨酸等)、日本專利特公昭48-42965號(hào)公報(bào)記載的有機(jī)金屬化合物(例如乙酸三丁基錫(tributyltinacetate)等)、日本專利特公昭55-34414號(hào)公報(bào)記載的供氫體、日本專利特開平6-308727號(hào)公報(bào)記載的硫化合物(例如三噻烷等)等。從提高聚合成長(zhǎng)速度和鏈轉(zhuǎn)移平衡的固化速度的觀點(diǎn)出發(fā)，這些共增感劑的含量?jī)?yōu)選為固化性組合物的總固體成分的質(zhì)量的0.130質(zhì)量％的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選為125質(zhì)量％的范圍，更優(yōu)選為0.520質(zhì)量5%的范41圍。聚合抑制劑在本發(fā)明中，在感光性著色組合物的制造中或保存中，為了阻止具有能聚合的烯屬性不飽和雙鍵的化合物的不必要的熱聚合，優(yōu)選在感光性著色組合物中添加少量熱聚合抑制劑。作為本發(fā)明能使用的熱聚合抑制劑的例子，可以列舉氫醌(hydroquinone)、對(duì)甲氧基苯酚、二叔丁基對(duì)甲酚、鄰苯三酚(pyrogallol)、叔丁基兒茶酚(t-butylcatechol)、苯醌(benzoquinone)、4，4，-硫代雙(3-甲基-6-叔丁基苯酚)、2，2，-亞甲基雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、N-亞硝基苯基羥胺亞鈰鹽等。熱聚合抑制劑的添加量?jī)?yōu)選為相對(duì)于感光性著色組合物層中的質(zhì)量為約0.01質(zhì)量％約5質(zhì)量％。另外，還可以根據(jù)需要添加二十二垸酸(behenicacid)或二十二烷酰胺等高級(jí)脂肪酸衍生物等以防止由氧引起的聚合抑制，在涂布后的干燥過程中偏聚于感光層的表面。高級(jí)脂肪酸衍生物的添加量?jī)?yōu)選為總組合物的約0.5質(zhì)量％約10質(zhì)量％。增塑劑在本發(fā)明中，還可以添加無機(jī)填充劑或增塑劑以改善感光性著色組合物層的物性或添加能提高感光層表面的油墨著壁性的感脂化劑等。作為增塑劑的例子，可以列舉鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二(十二烷基)酯、三甘醇二辛酸酯、二甲基二醇鄰苯二甲酸酯、磷酸三甲酚酯(tricresylphosphate)、己二酸二辛酯、癸二酸二丁酯、三乙酸甘油酯等。在使用粘合劑的情況下，可以添加相對(duì)于具有烯屬性不飽和雙鍵的化合物和粘合劑的總質(zhì)量為10質(zhì)量％以下的增塑劑。通過使用上述成分，本發(fā)明的感光性著色組合物以高靈敏度固化且保存穩(wěn)定性也很好。另外，還顯示對(duì)基板的高密合性。因此，含有上述各種成分的感光性著色組合物可以優(yōu)選用于濾色器。感光性黑色組合物本發(fā)明使用的感光性黑色組合物優(yōu)選含有(A-2)遮光劑、(B)粘合劑聚合物、(C-2)聚合性化合物、(D)光聚合引發(fā)劑以及(E)溶劑，還可以根據(jù)需要含有分散劑或表面活性劑等其他添加劑。42(A-2)遮光劑作為(A-2)遮光劑的例子，除上述(A-l)著色劑外，還可以列舉炭黑(carbonblack)、鈦黑(titaniumblack)、金屬微粒、金屬氧化物、硫化物的微粒等。其中，特別優(yōu)選遮光性和成本的平衡良好的炭黑。它們可以根據(jù)需要單獨(dú)使用或多種組合使用。例如，可炭黑單獨(dú)使用，或與有機(jī)顏料混合，或?qū)⑻亢谂c有機(jī)顏料合用等。作為遮光用材料，一直以來將至少2種以上作為黑色著色劑的屏蔽可見光區(qū)域的顏料合用。作為這些顏料的例子，可以列舉日本專利特開2005-17716號(hào)公報(bào)、日本專利特開2005-17521號(hào)公報(bào)中記載的顏料，關(guān)于使用這些顏料形成遮光層的方法，公開在日本專利特開平7-271020等中。為了進(jìn)一步增強(qiáng)遮光效果，在日本專利特開2000-147240、日本專利特開2000-143985、日本專利特開2005-338328、日本專利特開2006-154849等中開發(fā)了炭黑、鈦黑或石墨等作為理想的遮光材料。在本發(fā)明中，從遮光性和成本的觀點(diǎn)出發(fā)，炭黑是遮光材料的優(yōu)選例子。作為炭黑的例子，優(yōu)選顏料黑(PigmentBlack)7(炭黑)。作為炭黑，可以列舉例如三菱化學(xué)公司(MitsubishiChemicalCorporation)制的炭黑(CarbonBlack)#2400、#2350、#2300、#2200、#1000、#980、#970、#960、#950、#900、#850、MCF88、#650、MA600、MA7、MA8、MAll、MAIOO、MA220、IL30B、IL31B、IL7B、IL11B、IL52B、#4000、#4010、#55、#52、#50、#47、#45、#44、#40、#33、#32、#30、#20、#10、#5、CF9、#3050、#3150、#3250、#3750、#3950、DIABLACKA、DIABLACKN220M、DIABLACKN234、DIABLACKI、DIABLACKLI、DIABLACKII、DIABLACKN339、DIABLACKSH、DIABLACKSHA、DIABLACKLH、DIABLACKH、DIABLACKHA、DIABLACKSF、DIABLACKN55OM、DIABLACKE、DIABLACKG、DIABLACKR、DIABLACKN760M、DIABLACKLP;EvonikDegussaJapan制的炭黑ColorBlackFW200、ColorBlackFW2、ColorBlackFWl、ColorBlackFW18、ColorBlackS170、ColorBlackS160、SpecialBlack6、SpecialBlack5、SpecialBlack4、SpecialBlack4A、PrintexU、PrintexV、Printex140U、Printex140V、Printex35;CabotCorporation制的炭黑REGAL400、REGAL400R、REGALXC72、VULCANXC72R、MOGULL、MONARCH1400、MONARCH1000、BLACKPEARLSI400;AsahiCarbonCo.,Ltd.制的炭黑SUNBLACK900、SUNBLACK910、SUNBLACK930、SUNBLACK960、SUNBLACK970等。為了增大電阻，作為優(yōu)選的例子還可以列舉將這些炭黑用高分子化合物覆蓋后的物質(zhì)。這些炭黑的優(yōu)選單粒子的大小為10nm100nm，進(jìn)一步優(yōu)選為10nm50nm。(C-2)聚合性化合物作為黑矩陣形成用感光性黑色組合物中的(C-2)聚合性化合物，也可以優(yōu)選列舉在上述感光性著色組合物中使用的(C-l)聚合性化合物，特別優(yōu)選下述化合物。作為感光性黑色組合物中的聚合性化合物，優(yōu)選具有2個(gè)以上烯屬性性不飽和雙鍵并在光的照射下加聚的單體或低聚物。作為這樣的單體和低聚物的例子，可以列舉分子中具有至少1個(gè)加聚性烯屬不飽和基團(tuán)且常壓下的沸點(diǎn)為10(TC以上的化合物。作為其具體例子，可以列舉聚乙二醇一(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇一(甲基)丙烯酸酯及苯氧基乙基(甲基)丙烯酸酯等單官能丙烯酸酯和單官能甲基丙烯酸酯；聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基乙烷三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙垸三(丙烯酰氧基丙基)醚、三(丙烯酰氧基乙基)異氰酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)異氰酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯；以及三羥甲基丙烷或甘油等多官能醇與環(huán)氧乙垸或環(huán)氧丙烷加成后(甲基)丙烯酸酯化得到的物質(zhì)等多官能丙烯酸酯或多官能甲基丙烯酸酯。作為優(yōu)選的例子，還可以列舉酸性多官能光固性化合物。作為酸性多官能光固性化合物的例子，可以列舉(1)通過用二元酸酐將具有羥基和3個(gè)以上光固性官能團(tuán)的單體或低聚物改性而導(dǎo)入羧基而得到的化合物、(2)通過使具有羥基和3個(gè)以上光固性官能團(tuán)的單體或低聚物與具有縮44水甘油基或異氰酸酯基和COOH基的化合物等加成來導(dǎo)入羧基而得到的化合物、或(3)通過用濃硫酸或發(fā)煙硫酸將具有3個(gè)以上光固性官能團(tuán)的芳香族化合物改性來導(dǎo)入磺酸基而得到的化合物等。另外，還可以將含有酸性多官能光固性化合物單體作為重復(fù)單元的低聚物作為酸性多官能光固性化合物使用。作為酸性多官能光固性化合物的優(yōu)選例子，可以列舉下述通式(i)或通式(ii)表示的化合物。另外，在通式(i)和通式(ii)中，當(dāng)T或G為氧化烯基時(shí)，碳原子側(cè)的末端與R、X或W結(jié)合。"2—(T)n—RR—(T)n—CH2—<p—CH2—(T)n—X(i)ch2—mn—R『2—(G)「W"2-(G)「WW-(G)P-CH2—<j^~CH2—Z—CH2—(p~CH2-(G)p—W(ij)CH2—(G)rWCH2—(G)rW通式(i)中，R表示(甲基)丙烯酰氧基，X表示-C00H基或-OP03H2基。T表示氧化烯基，這里，亞垸基的碳原子數(shù)為14。n為020。通式(ii)中，W與通式(i)中的R或X同義，6個(gè)W中有3個(gè)以上的W與R同義。G與通式(i)中的T同義。Z表示-0-或-OOONH(CH2)qNHCOO-。p為020，q為l8。一分子內(nèi)多個(gè)存在的R、T、G、W可以分別相同，也可以不同。作為通式(i)和通式(ii)表示的酸性多官能光固性化合物的市售品的例子，可以列舉東亞合成株式會(huì)社制的含羧基的3官能丙烯酸酯TO-756以及含羧基的5官能丙烯酸酯TO-1382等。作為更具體的例子，可以列舉日本專利特公昭48-41708號(hào)公報(bào)、曰本專利特公昭50-6034號(hào)公報(bào)以及日本專利特開昭51-37193號(hào)公報(bào)中記載的氨基甲酸乙酯丙烯酸酯類；日本專利特開昭48-64183號(hào)公報(bào)、日本專利特公昭49-43191號(hào)公報(bào)以及日本專利特公昭52-30490號(hào)公報(bào)中記載的聚酯45丙烯酸酯類；作為環(huán)氧樹脂與(甲基)丙烯酸的反應(yīng)產(chǎn)物的環(huán)氧丙烯酸酯類等多官能丙烯酸酯和多官能甲基丙烯酸酯。其中，優(yōu)選三羥甲基丙垸三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、上述含羧基的5官能丙烯酸酯等。此外，優(yōu)選的例子還有日本專利特開平11-133600號(hào)公報(bào)中記載的"聚合性化合物B"。黑矩陣形成用感光性黑色組合物中的(C-2)聚合性化合物的含量?jī)?yōu)選為感光性黑色組合物層的總固體成分中的5質(zhì)量％50質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為7質(zhì)量％40質(zhì)量％，更優(yōu)選為10質(zhì)量％35質(zhì)量％。感光性黑色組合物中使用的(B)粘合劑聚合物、(D)聚合引發(fā)劑、(E)溶劑、其他添加劑等與上述著色圖案形成用的感光性著色組合物中的相同，優(yōu)選的含量也相同。本發(fā)明的濾色器是用本發(fā)明的濾色器制造方法制造的濾色器，具有黑矩陣與著色圖案相重疊的重疊部，上述重疊部的黑矩陣寬度方向的長(zhǎng)度為2.0|im9.0|im。使用上述感光性著色組合物和感光性黑色組合物并用本發(fā)明的濾色器制造方法制造的本發(fā)明的濾色器，其角的高度被抑制得較低，且重疊部的長(zhǎng)度適宜，能進(jìn)行高品質(zhì)顯示。優(yōu)選上述重疊部的長(zhǎng)度為2.(Him9.0(mi，上述角的高度為0.50pm以下。液晶顯示裝置本發(fā)明的液晶顯示裝置是具備本發(fā)明濾色器的液晶顯示裝置。因此，能顯示高品質(zhì)的圖像。隔離件可以優(yōu)選采用利用涂布的制作方法或利用轉(zhuǎn)印的制作方法。從工序簡(jiǎn)單的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選利用涂布的制作方法。從隔離件高度的均一性好的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選利用轉(zhuǎn)印的制作方法。關(guān)于利用轉(zhuǎn)印的制作方法，特別優(yōu)選日本專利特開2008-146018號(hào)中記載的方法。關(guān)于顯示裝置的定義和各顯示裝置的說明，例如在"電子顯示器(佐佐木昭夫著、株式會(huì)社工業(yè)調(diào)查會(huì)1990年發(fā)行)""顯示器(伊吹順章著、產(chǎn)業(yè)圖書株式會(huì)社、1989年發(fā)行)"等中有記載。另外，關(guān)于液晶顯示裝置，例如在"次世代液晶顯示技術(shù)(內(nèi)田龍男編輯、株式會(huì)社工業(yè)調(diào)查會(huì)1994年發(fā)行)"中有記載。對(duì)于能使用本發(fā)明的液晶顯示裝置沒有特殊限制，例如可以適用于上述"次世代液晶顯示技術(shù)"中記載的各種方式的液晶顯示裝置。其中，本發(fā)明對(duì)于彩色TFT(ThinFilmTransistor)方式的液晶顯示裝置特別有效。關(guān)于彩色TFT方式的液晶顯示裝置，例如在"彩色TFT液晶顯示器(共立出版株式會(huì)社1996年發(fā)行)"中有記載。此外，本發(fā)明還可以適用于IPS(In-PlaneSwitching)等的橫向電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)方式、MVA(Multi-domainVerticalAlignment)等的像素分割方式等視角擴(kuò)大的液晶顯示裝置、STN(Super-twistedNematic)、TN(TwistedNematic)、VA(VerticalAlignment)、OCS(OnChipSpacer)、FFS(FringeFieldSwitching)以及R-OCR(ReflectiveOpticallyCompensatedBend)等。這些方式例如在"EL(Electro-Luminescence)、PDP(PlasmaDisplayPanel)、LCD(LiquidCrystalDisplay)顯示器-技術(shù)與市場(chǎng)的最新動(dòng)向-(東麗研究中心(TorayResearchCenterInc.)調(diào)查研究部門2001年發(fā)行)"的第43頁(yè)中有記載。液晶顯示裝置除濾色器以外還由電極基板、偏振膜、相位差膜、背光源(backlight)、隔離件(spacer)、視角保障膜等各種部件構(gòu)成。本發(fā)明的帶遮光膜的基板可以應(yīng)用于用這些公知的部件構(gòu)成的液晶顯示裝置。關(guān)于這些部件，例如在"94液晶顯示器周邊材料'化學(xué)的市場(chǎng)(島健太郎、株式會(huì)社CMC(CMCPublishingCo.,Ltd.)1994年發(fā)行)"、"2003液晶相關(guān)市場(chǎng)的現(xiàn)狀與未來展望(下巻)(表良吉、株式會(huì)社富士總研(FujiChimeraResearchInstituteInc.)2003年發(fā)行)"中有記載。關(guān)于背光源，在SIDmeetingDigest1380(2005)(A.Konnoet.al)、顯示器月刊2005年12月號(hào)的1824頁(yè)(島康裕)、同2530頁(yè)(八木隆明)等中有記載。本發(fā)明的濾色器與目前公知的冷陰極管的三波長(zhǎng)管組合時(shí)，能實(shí)現(xiàn)高對(duì)比度(contrast)。此外，使用紅、綠和藍(lán)的LED光源(RGB-LED)作為背光源，能提供亮度高且色純度高的色重現(xiàn)性好的液晶顯示裝置。另一方面，液晶顯示裝置所要求的性能是圖像響應(yīng)速度的提高。為了提高響應(yīng)速度，對(duì)液晶的取向速度進(jìn)行改良。另一方面，從單元(cell)47的結(jié)構(gòu)方面考慮，為降低成本也需要減少液晶層的厚度。減少液晶層厚度所需的另一技術(shù)是減少在著色像素與黑矩陣的邊界部分的液晶取向紊亂。因此，力求減少在著色像素與黑矩陣的邊界部分的凸起(角)。在用本發(fā)明的濾色器制造方法制造的濾色器中，在黑矩陣形成用感光性黑色組合物層設(shè)有-2.0um5.0^im的底切，著色圖案(著色像素)形成用感光性著色組合物層與黑矩陣的重疊部的長(zhǎng)度為2.0pm9.(^m，能減小角。如上所述，本發(fā)明的濾色器由于角小，因而能減少上述重疊部的液晶取向的紊亂，圖像顯示時(shí)的視覺辨認(rèn)性也提高。在本發(fā)明的液晶顯示裝置由于使用本發(fā)明的濾色器，能使各著色像素與黑矩陣的重疊部平坦，若平坦性良好，則液晶層變薄，在敷設(shè)透明電極ITO前，無需研磨或賦予平坦化層，有助于工序的合理化以及成本下降和批量生產(chǎn)。[實(shí)施例]下面，列舉實(shí)施例來更具體地說明本發(fā)明。下述實(shí)施例所示的材料、試劑、比例、儀器、操作等只要不脫離本發(fā)明的范圍均可作適當(dāng)變更。因此，本發(fā)明的范圍不限于下述具體例子。另外，以下的實(shí)施例中，在無特殊說明的前提下，"％"和"份"表示"質(zhì)量％"和"質(zhì)量份"，分子量表示重均分子量。"wt。/。"表示"質(zhì)量。/。"。實(shí)施例1l.感光性黑色組合物的制備炭黑分散液(K-l)的制備按下述處方來制備炭黑分散液(K-O。-炭黑(Degussa公司制的COLORBLACKFW2)…26.7份-分散劑(楠本化成制DISPARLONDA7500(酸值26;胺值40))…3.3份-甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸共聚物(=72/28[摩爾比]共聚物、分子量30000、丙二醇一甲基醚乙酸酯的50%溶液)10份-丙二醇一甲基醚乙酸酯...60份將上述各成分在3000rpm的條件下使用勻質(zhì)機(jī)(homogenizer)攪拌148小時(shí)。將得到的混合溶液在采用0.3mm鋯珠(zirconiumbeads)的珠分散機(jī)(商品名DESPERMAT、格茨曼公司(VMA-格茨曼GMBH)制)中實(shí)施8小時(shí)微分散處理，得到炭黑分散液(K-l)。使用得到的炭黑分散液(K-l)，按下述表1的處方來制備感光性黑色組合物涂布液CK-1、CK-3和CK-4。表l中的數(shù)值表示質(zhì)量比。<table>tableseeoriginaldocumentpage49</column></row><table>表1中的各成分的詳細(xì)情況如下所述。.樹脂溶液C-2:甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸共聚物(=85/15[摩爾比]共聚物、MwlOOOO、丙二醇一甲基醚乙酸酯的50wt。/。溶液).UV固化性樹脂C-3:商品名CYCLOMERPACA-250大賽璐化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制[側(cè)鏈具有脂環(huán)基、COOH基和丙烯?；谋┧犷惞簿畚?、丙二醇一甲基醚乙酸酯溶液(固體成分50%)].聚合性化合物C-5:商品名TO-1382(東亞合成株式會(huì)社制)(以二季戊四醇五丙烯酸酯的末端OH基的一部分被COOH基取代的5官能的具有丙烯?；膯误w為主要成分)-引發(fā)劑。7:商品名"OXE-02"(汽巴精化公司制).表面活性劑C-8:商品名"MEGAFACR30"(大日本油墨化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制)-溶劑PGMEA-丙二醇一甲基醚乙酸酯EEP二3-乙氧基乙基丙酸酯2.利用涂布形成黑矩陣感光性黑色組合物層形成工序使用狹縫涂布機(jī)(slitcoater)(型號(hào)HC6000、平田機(jī)工株式會(huì)社(HirataCorporation)制)、調(diào)節(jié)狹縫與玻璃基板之間的間距以及噴出量以使后烘烤后的膜厚為l.lpm并以涂布速度120mm/秒將得到的感光性黑色組合物CK-1涂布于洗滌后的玻璃基板(ComingIncorporated制的MILLENIUM、厚0.7mm)。預(yù)烘烤工序和曝光工序接著，使用加熱板(hotplate),在9(TC下加熱120秒(預(yù)烘烤處理)后，使用接近(proximity)方式曝光機(jī)(型號(hào)LE5565A、株式會(huì)社日立高科技公司(HitachiHigh-TechnologiesCorporation)制)，在60mJ/cm2下曝光。顯影工序然后，用水平運(yùn)送型顯影裝置進(jìn)行顯影。即，采用氫氧化鉀顯影液CDK-1(富士膠片電子材料株式會(huì)社(FUJIFILMElectronicMaterialsCo.,Ltd.)制)的1.0%顯影液(即，含有CDK-1l質(zhì)量份和純水99質(zhì)量份的稀釋液；23°C)，設(shè)定噴淋壓為0.10MPa，顯影55秒，用純水洗滌，得到顯影后的黑矩陣。這里，使用顯微測(cè)長(zhǎng)儀測(cè)定黑矩陣的線寬，結(jié)果為23.4pm。使用SEM(ScanningElectronMicroscope:掃描電子顯微鏡)拍攝剖面照片，測(cè)定底切的長(zhǎng)度，結(jié)果為l.(Him。關(guān)于SEM攝影，在黑矩陣的格子的長(zhǎng)邊的中央附近，沿黑矩陣的寬度方向并與基板表面垂直地將黑矩陣與基板一起切割來進(jìn)行。此外，將顯影溫度分別改為22。C和24°C(23°C±rC)來進(jìn)行顯影，分別測(cè)定在這些顯影條件下的線寬和底切的長(zhǎng)度(底切量)。將各溫度下的線寬之差作為△線寬，將各溫度下的底切量之差作為A底切。烘烤工序接著，在220。C的潔凈烘箱(cleanoven)中進(jìn)行40分鐘后烘烤處理，形成著色像素形成的區(qū)域的開口為9(Vmx200pm、黑矩陣的厚度為1.2pm、黑矩陣的線寬約為25jim的格子狀黑矩陣基板。50使用X-Rite361T(V)(SAKATAINXENG.Co.,Ltd.制)測(cè)定制得的黑矩陣的光學(xué)濃度(OD)，結(jié)果為4.1。3.感光性著色組合物的制備3-1.紅色(R)用感光性著色組合物涂布液CR-1的制備按下述處方來制備紅色(R)用分散液(R-l)。-顏料紅254(SEM觀察下的平均粒徑為43nm)...11份-顏料紅177(SEM觀察下的平均粒徑為58nm)…4份-下述分散樹脂^3...5份-分散劑(商品名:Disperbyk-161、日本畢克化學(xué)公司制)(丙二醇一甲基醚乙酸酯的30%溶液)...3份.堿可溶性樹脂甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸共聚物(=75/25[摩爾比]共聚物、分子量30000、丙二醇一甲基醚乙酸酯溶液(固體成分50%))…9份-溶劑B:丙二醇一甲基醚乙酸酯...68份將上述各成分在3000rpm的條件下使用勻質(zhì)機(jī)攪拌1小時(shí)。將得到的混合溶液在采用0.3mm鋯珠的珠分散機(jī)(商品名DESPERMAT、格茨曼公司制)中實(shí)施4小時(shí)微分散處理，得到紅色(R)用分散液(R-l)。用SEM觀察，結(jié)果平均粒徑為36nm。使用得到的紅色(R)用分散液(R-O，按下述處方來制備紅色(R)用感光性著色組合物涂布液CR-1。-紅色(R)用分散液(R-l)…100份-環(huán)氧樹脂(商品名EHPE3150大賽璐化學(xué)工業(yè)公司制)...2份聚合性化合物DPHA日本化藥(株式會(huì)社)制…8份-聚合引發(fā)劑4-(鄰溴對(duì)-N，N-二(乙氧基羰基甲基))氨基-苯基-2，6-二(三氯甲基)-s-三嗪…l份.聚合引發(fā)劑2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮-1…l份.聚合引發(fā)劑二乙基噻噸酮...0.5份-聚合抑制劑對(duì)甲氧基苯酚...0.001份51-氟類表面活性劑(商品名MEGAFACR30大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制)...0.01份-非離子型表面活性劑(商品名TETRONICR150艾德科公司制)...0.2份-溶劑丙二醇正丁基醚乙酸酯...30份-溶劑丙二醇一甲基醚乙酸酯...100份將上述成分混合攪拌，得到紅色(R)用感光性著色組合物涂布液CR-1。3-2.綠色(G)用感光性著色組合物涂布液CG-1的制備按下述處方來制備綠色(G)用分散液(G-l)。-顏料綠36(SEM觀察下的平均粒徑為47nm)...11份-顏料黃150(SEM觀察下的平均粒徑為39nm)…7份-下述分散樹脂^3…5份-分散劑(商品名Disperbyk-161、日本畢克化學(xué)公司制30%溶液)…3份-堿可溶性樹脂甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸共聚物(=85/15[摩爾比]共聚物、分子量30000、丙二醇一甲基醚乙酸酯溶液(固體成分50%))…11份.溶劑丙二醇一甲基醚乙酸酯…70份將上述各成分在3000rpm的條件下使用勻質(zhì)機(jī)攪拌1小時(shí)。將得到的混合溶液在采用0.3mm鋯珠的珠分散機(jī)(商品名DESPERMAT、格茨曼公司制)中實(shí)施8小時(shí)微分散處理，得到綠色(G)用分散液(G-l)。使用得到的綠色(G)用分散液(G-l)，按下述處方來制備綠色(G)用感光性著色組合物涂布液CG-1。用SEM觀察，結(jié)果平均粒徑為32nm。-綠色(G)用分散液(G-l)...100份-環(huán)氧樹脂(商品名EHPE3150大賽璐化學(xué)工業(yè)公司制)…2份聚合性化合物DPHA日本化藥(株式會(huì)社)制…8份-聚合性化合物季戊四醇的四(乙氧基丙烯酸酯)…2份-聚合引發(fā)劑1，3-雙三鹵代甲基-5-苯并四氫呋喃三52嗪...2份-聚合引發(fā)劑2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮-1…l份-聚合引發(fā)劑二乙基噻噸酮...0.5份-聚合抑制劑對(duì)甲氧基苯酚...0.001份-氟類表面活性劑(商品名MEGAFACR08大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制)...0.02份-非離子型表面活性劑(商品名EMALGNEA-60花王公司制)…0.5份.溶劑丙二醇一甲基醚乙酸酯...120份-溶劑丙二醇正丁基醚乙酸酯...30份將上述組成混合攪拌，得到綠色(G)用感光性著色組合物涂布液CG-1。3-3.藍(lán)色(B)用感光性著色組合物涂布液CB-1的制備按下述處方來制備藍(lán)色(B)用分散液(B-l)。-顏料藍(lán)15:6(SEM觀察下的平均粒徑為55nm)...14份-顏料紫23(SEM觀察下的平均粒徑為61nm)...1份.下述分散樹脂A-3…5份-分散劑(商品名Disperbyk-161、日本畢克化學(xué)公司制30%溶液)…3份-堿可溶性樹脂甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸共聚物(=80/20[摩爾比]共聚物、分子量30000、丙二醇一甲基醚乙酸酯溶液(固體成分50質(zhì)量%))…4份-溶劑丙二醇一甲基醚乙酸酯…73份將上述各成分在3000rpm的條件下使用勻質(zhì)機(jī)攪拌1小時(shí)。將得到的混合溶液在采用0.3mm鋯珠的珠分散機(jī)(商品名DESPERMAT、格茨曼公司制)中實(shí)施4小時(shí)微分散處理，得到藍(lán)色(B)用分散液(B-l)。用SEM觀察，結(jié)果平均粒徑為39nm。使用得到的藍(lán)色(B)用分散液(B-l)，按下述處方來制備藍(lán)色(B)用感光性著色組合物涂布液CB-153-藍(lán)色(B)用分散液(B-l)…100份-堿可溶性樹脂甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸共聚物(=80/20[摩爾比]共聚物、分子量30000、丙二醇一甲基醚乙酸酯溶液(固體成分50質(zhì)量%))…7份-環(huán)氧樹脂(商品名CELLOXIDE2080大賽璐化學(xué)工業(yè)公司制)…2份UV固化性樹脂(商品名廿<夕口7—PACA-250大賽璐化學(xué)工業(yè)公司制)(側(cè)鏈具有脂環(huán)基、COOH基和丙烯?；谋┧犷惞簿畚铩⒈家患谆岩宜狨ト芤?固體成分50質(zhì)量％))…4份聚合性化合物DPHA日本化藥(株式會(huì)社)制...12份-聚合引發(fā)劑:1-(9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰)—9H-咔唑-3-基)-1-(鄰乙?；?乙烷…3份-聚合抑制劑對(duì)甲氧基苯酚...0.001份.氟類表面活性劑(商品名MEGAFACR08大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制)...0.02傷、-非離子型表面活性劑(商品名EMALGNEA-60花王公司制)…1.0份-溶劑3-乙氧基丙酸乙酯...20份.溶劑丙二醇一甲基醚乙酸酯...150份將上述成分混合攪拌，得到藍(lán)色(B)用感光性著色組合物涂布液CB-1。4.分散樹脂A-3的合成4-l.鏈轉(zhuǎn)移劑A3的合成將二季戊四醇六(3-巰基丙酸酯)[DPMP;堺化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社(SakaiChemicalIndustryCo.,Ltd.)制](下述化合物(33))7.83份以及具有吸附部位且具有碳-碳雙鍵的下述化合物(m-6)4.55份溶解于丙二醇一甲基醚28.90份，在氮?dú)饬飨录訜嶂?(TC。向其中加入2，2，-偶氮雙(2，4-二甲基戊腈)[V-65、和光純藥工業(yè)株式會(huì)社(WakepurechemicalIndustriesLtd.)制]0.04份，加熱3小時(shí)。然后，加入0.04份V-65，在氮?dú)饬飨?，?0°C54反應(yīng)3小時(shí)。冷卻至室溫，得到下示硫醇(mercaptan)化合物(連轉(zhuǎn)移劑A3)的30%溶液。4-2.分散樹脂A-3的合成將上述得到的鏈轉(zhuǎn)移劑A3的30%溶液4.99份、甲基丙烯酸甲酯19.0份、甲基丙烯酸1.0份以及丙二醇一甲基醚4.66份的混合溶液在氮?dú)饬飨录訜嶂?0。C。一邊攪拌該混合溶液，一邊花2.5小時(shí)滴加2，2'-偶氮二異丁酸二甲酯[V-601、和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制]0.139份、丙二醇一甲基醚5.36份以及丙二醇一甲基醚乙酸酯9.40份的混合溶液。滴加結(jié)束后，在9(TC下反應(yīng)2.5小時(shí)，然后加入2，2'-偶氮二異丁酸二甲酯0.046份和丙二醇一甲基醚乙酸酯4.00份的混合溶液，再反應(yīng)2小時(shí)。向反應(yīng)液加入丙二醇一甲基醚1.52份和丙二醇一甲基醚乙酸酯21.7份后，冷卻至室溫，得到特定分散樹脂A-3(以聚苯乙烯換算的重均分子量為24000)的溶液(含有特定分散樹脂30質(zhì)量％、丙二醇一甲基醚21質(zhì)量％、丙二醇一甲基醚乙酸酯49質(zhì)量％)。該特定分散樹脂A-3的酸值為48mgKOH/g。分散樹脂A-3的結(jié)構(gòu)如下所示。oHS.CH2-CH2-6—O—CH:HS-CH2-CH2-C—0—'CH;O濾色器的制作感光性著色組合物層形成工序55將得到的紅色(R)用感光性著色組合物涂布液CR-1涂布在上述黑矩陣基板的黑矩陣形成面?zhèn)?。具體而言，與感光性黑色組合物層形成的情況相同，調(diào)節(jié)狹縫與黑矩陣基板之間的間距以及噴出量以使后烘烤后的感光性著色組合物層的層厚為約2.4pm并以涂布速度120mm/秒進(jìn)行涂布。著色層預(yù)烘烤工序和著色層曝光工序接著，使用加熱板，在IO(TC下加熱120秒(預(yù)烘烤處理)后，使用接近方式曝光機(jī)(型號(hào)LE5565A、株式會(huì)社日立高科技公司制)，在60mJ/cm2下曝光。對(duì)掩模圖案和曝光機(jī)進(jìn)行設(shè)定使曝光圖案與黑矩陣的交疊(曝光重疊量)為4,5,。著色層顯影工序和著色層烘烤工序然后，采用氫氧化鉀類顯影液CDK-1(富士膠片電子材料株式會(huì)社制)的1.0%顯影液(含有1質(zhì)量份的CDK-1和99質(zhì)量份的純水的稀釋液、25°C)，設(shè)定噴淋壓為0.2MPa，顯影45秒，用純水洗滌。接著，在22(TC的潔凈烘箱內(nèi)后烘烤處理30分鐘，形成經(jīng)熱處理的紅色像素。然后，除了將上述感光性著色組合物層形成工序、著色層預(yù)烘烤工序、著色層曝光工序、著色層顯影工序以及著色層烘烤工序中的紅色(R)用感光性著色組合物涂布液CR-1改為綠色(G)用感光性著色組合物涂布液CG-1夕卜，其余均同樣操作來形成綠色像素。然后，除了將紅色(R)用感光性著色組合物涂布液CR-1改為藍(lán)色(B)用感光性著色組合物涂布液CB-1夕卜，其余均同樣操作來形成藍(lán)色像素，得到濾色器。拍攝隨機(jī)選擇的IO像素SEM剖面照片，測(cè)定感光性著色組合物層與黑矩陣的重疊部在黑矩陣寬度方向的長(zhǎng)度，算術(shù)平均值為4，5pm。關(guān)于上述SEM剖面照片，對(duì)在黑矩陣的長(zhǎng)邊的中央附近與長(zhǎng)邊方向成直角的剖面進(jìn)行SEM攝影。使用接觸式表面粗糙度儀P-IO(KLATencorJapan制)，測(cè)定隨機(jī)選擇的IOO個(gè)著色圖案的"角"的高度，算術(shù)平均值為0.25pm。關(guān)于角的高度測(cè)定，如圖5所示，在黑矩陣IO的格子長(zhǎng)邊的中央附近，使觸針12沿上述黑矩陣10的寬度方向(A方向)移動(dòng)來進(jìn)行。56關(guān)于各色著色圖案與黑矩陣形成的角的高度，求出著色圖案的表面中重疊部距離基板表面最遠(yuǎn)的部分與重疊部以外的平坦表面部分之間在基板法線方向上的距離。液晶顯示裝置的制作在上述得到的濾色器的R像素、G像素和B像素以及黑矩陣上進(jìn)一步通過濺射(sputtering)形成ITO(IndiumTinOxide:氧化銦錫)透明電極。另行準(zhǔn)備玻璃基板作為對(duì)置基板，同樣通過濺射來形成ITO透明電極。然后，在相當(dāng)于上述ITO透明電極上的隔板的上方的部分設(shè)置柱狀光感應(yīng)隔離件(photospacer)，在其上進(jìn)一步設(shè)置由聚酰亞胺形成的取向膜。然后，在相當(dāng)于包圍濾色器的著色像素組周圍而設(shè)置的黑矩陣外框的位置上，利用定量噴出方式涂布紫外線固化樹脂的密封劑，滴加TN模式用液晶，與對(duì)置基板貼合。將貼合的基板進(jìn)行UV照射后，熱處理使密封劑固化。由此得到液晶單元。在該液晶單元的兩面貼附SANRITZCorporation制偏振片HLC2-2518，然后配置在構(gòu)成冷陰極管的背光源并成為設(shè)有上述偏振片的液晶單元的背面一側(cè)，制作液晶顯示裝置。液晶顯示裝置的畫質(zhì)評(píng)價(jià)將液晶顯示裝置通電，肉眼觀察各種顯示圖像，按下述評(píng)價(jià)基準(zhǔn)進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果如表3所示。評(píng)價(jià)基準(zhǔn)無斑，顯示非常鮮艷生動(dòng)。o:無斑，顯示鮮艷生動(dòng)。無斑，顯示不生動(dòng)。x:有斑，泛白，無法觀賞。實(shí)施例2實(shí)施例9和比較例1比較例4除了將實(shí)施例1中的黑矩陣底切量以及著色圖案形成工序中的重疊量用表2所示的值代替外，均與實(shí)施例l同樣操作，制作濾色器。然后使用制作的濾色器，與實(shí)施例1同樣操作來制作液晶顯示裝置。[表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage58</column></row><table>對(duì)在上述實(shí)施例2實(shí)施例9以及比較例1比較例4中制作的各液晶顯示裝置，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行畫質(zhì)評(píng)價(jià)。結(jié)果如表3所示。另外，在比較例3中，由于產(chǎn)生諸如在黑矩陣與像素之間產(chǎn)生局部間隙等漏白現(xiàn)象，因此為不適合后述評(píng)價(jià)和制作顯示裝置的濾色器。[表3]<table>tableseeoriginaldocumentpage59</column></row><table>表3中，底切量、重疊量、角的高度、A線寬以及A底切的單位均為>，，。由表3可知實(shí)施例1實(shí)施例9的濾色器的凸起高度和顯示不均得到抑制，使用這些濾色器的液晶顯示裝置具有高品質(zhì)的畫質(zhì)。尤其是用本發(fā)明的制造方法制作的實(shí)施例1實(shí)施例9的濾色器得到抑制顯示不均這一預(yù)想不到的效果。權(quán)利要求1.一種濾色器的制造方法，其具有黑矩陣形成工序，包括通過使用感光性黑色組合物在基板上形成感光性黑色組合物層、將所述感光性黑色組合物層曝光以及將曝光后的所述感光性黑色組合物層顯影來形成具有底切的黑矩陣圖案，然后將所形成的黑矩陣圖案烘烤，其中，該底切的長(zhǎng)度在黑矩陣寬度方向上為-2.0μm～5.0μm；著色圖案形成工序，包括通過使用感光性著色組合物在烘烤后的形成有黑矩陣的所述基板上形成感光性著色組合物層、將所述感光性著色組合物層曝光、將曝光后的所述感光性著色組合物層顯影以及將顯影后的所述感光性著色組合物層烘烤來形成著色圖案，其中，該烘烤后的該著色圖案與所述黑矩陣相重疊的重疊部在黑矩陣寬度方向上的長(zhǎng)度為2.0μm～9.0μm。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾色器的制造方法，其中，在所述基板上形成的所述感光性黑色組合物層的厚度為0.2^n2.2pm。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾色器的制造方法，其中，在所述黑矩陣形成工序中的所述顯影中，顯影液的溫度為2(TC3(TC。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾色器的制造方法，其中，所述黑矩陣形成工序中，在形成所述感光性黑色組合物層之后、所述曝光之前還包括預(yù)烘烤。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的濾色器的制造方法，其中，所述預(yù)烘烤中的預(yù)烘烤溫度為60。C14(TC。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的濾色器的制造方法，其中，所述預(yù)烘烤中的預(yù)烘烤時(shí)間為30秒300秒。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾色器的制造方法，其中，所述感光性著色組合物層的層厚為1.^m2.8(im。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾色器的制造方法，其中，在所述著色圖案形成工序中的所述曝光中，隔著掩模圖案進(jìn)行曝光，曝光圖案與黑矩陣的交疊部分在黑矩陣寬度方向上的長(zhǎng)度為2.0pm9.(^m。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的濾色器的制造方法，其中，在所述著色圖案形成工序中的所述顯影中，顯影溫度為20°C35°C，顯影時(shí)間為20秒120秒。10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的濾色器的制造方法，其中，所述重疊部分在黑矩陣寬度方向上的長(zhǎng)度為2.0|iim8.(Hmi，所述顯影溫度為21°C30°C，所述顯影時(shí)間為25秒80秒。11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的濾色器的制造方法，其中，所述重疊部分在黑矩陣寬度方向上的長(zhǎng)度為2.(Him7.0pm，所述顯影溫度為22°C26°C，所述顯影時(shí)間為35秒75秒。12.—種濾色器，其是用權(quán)利要求111中任一項(xiàng)所述的濾色器的制造方法制造的濾色器，具有黑矩陣與著色圖案相重疊的重疊部，所述重疊部在黑矩陣寬度方向的長(zhǎng)度為2.(^m9.0pm。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的濾色器，其中，在所述著色圖案的表面，所述重疊部距離基板表面最遠(yuǎn)的部分與所述重疊部以外的部分之間在基板法線方向上的距離為0.50pm以下。14.一種液晶顯示裝置，其具有權(quán)利要求12所述的濾色器。15.—種液晶顯示裝置，其具有權(quán)利要求13所述的濾色器。全文摘要本發(fā)明提供一種濾色器的制造方法，其具有黑矩陣形成工序，包括通過使用感光性黑色組合物在基板上形成感光性黑色組合物層、將所述感光性黑色組合物層曝光以及將曝光后的所述感光性黑色組合物層顯影來形成具有底切的黑矩陣圖案，其中，該底切的長(zhǎng)度在黑矩陣寬度方向上為-2.0μm～5.0μm，然后將形成的黑矩陣圖案烘烤；著色圖案形成工序，包括通過使用感光性著色組合物在烘烤后的形成了黑矩陣的所述基板上形成感光性著色組合物層、將所述感光性著色組合物層曝光、將曝光后的所述感光性著色組合物層顯影以及將顯影后的所述感光性著色組合物層烘烤來形成著色圖案，其中，該烘烤后的該著色圖案與所述黑矩陣相重疊的重疊部在黑矩陣寬度方向上的長(zhǎng)度為2.0μm～9.0μm。文檔編號(hào)G03F7/00GK101493648SQ20091000278公開日2009年7月29日申請(qǐng)日期2009年1月22日優(yōu)先權(quán)日2008年1月25日發(fā)明者吉野晴彥申請(qǐng)人:富士膠片株式會(huì)社