專利名稱：顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶顯示裝置等顯示裝置。
背景技術(shù)：
目前，液晶顯示裝置活用薄型且低能耗之類的特征，作為個(gè)人計(jì)算機(jī)等OA (OfficeAutomation :辦公自動(dòng)化)設(shè)備、便攜式電話以及PDA (Personal Digital Assistant :個(gè)人數(shù)字助理)等便攜式信息設(shè)備的顯示器被廣泛應(yīng)用。 液晶顯示裝置具備TFT (Thin Film Transistor :薄膜晶體管)基板、與TFT基板相對(duì)配置的相對(duì)基板、在這些TFT基板和相對(duì)基板之間由矩形框狀的密封材料所封入的液晶層。 在相對(duì)基板上TFT基板側(cè)形成有共用電極層。在TFT基板上形成有多個(gè)配線層，包括多個(gè)源極配線層、多個(gè)柵極配線層、和用于向共用電極層供給信號(hào)的共用配線層等。而且，多數(shù)情況下在TFT基板上形成有疊層絕緣膜，該疊層絕緣膜包括以覆蓋上述多個(gè)配線層的方式依次層疊的無機(jī)絕緣膜和有機(jī)絕緣膜。 但是，因TFT基板和相對(duì)基板利用密封材料而固定，所以希望這些TFT基板及相對(duì)基板與密封材料之間的粘接性高。 例如，作為提高TFT基板與密封材料的粘接性的方法，在專利文獻(xiàn)1中公開有，通過一部分地除去有機(jī)絕緣膜，使密封材料直接與對(duì)密封材料的粘接性比較高的無機(jī)絕緣膜粘接。 圖13是將現(xiàn)有液晶顯示裝置的密封材料115的角部放大而概略地表示的平面圖。
另外，圖14是沿圖13的X IV-X IV線的密封材料115的角部的剖面圖。 液晶顯示裝置如圖14所示，為TFT基板100及相對(duì)基板110通過矩形框狀的密封
材料115相互貼合而形成。 相對(duì)基板IIO在玻璃基板111上形成有多個(gè)彩色濾光片層(省略圖示)、劃分各彩色濾光片層的黑矩陣層112，共用電極層113被形成為覆蓋這些各彩色濾光片層及黑矩陣層112。 TFT基板100在玻璃基板101表面形成有絕緣膜102，在絕緣膜102上形成有用于向共用電極層113供給信號(hào)的共用配線層103。共用配線層103具有第一共用配線層103a和第二共用配線層103b。 第一共用配線層103a如圖13所示，在絕緣膜102上形成為與密封材料115的角部重疊，如圖14所示，被形成有接觸孔105的無機(jī)絕緣膜104a覆蓋。第二共用配線層103b通過接觸孔105與第一共用配線層103a連接，如圖13所示，沿密封材料115延伸。
如圖14所示，在無機(jī)絕緣膜104a的一部分上層疊有有機(jī)絕緣膜104b。為了抑制在將TFT基板100和相對(duì)基板110貼合時(shí)密封材料115被擠壓而向外側(cè)擴(kuò)展，該有機(jī)絕緣膜104b在配置有密封材料115的區(qū)域被除去一部分。由此，無機(jī)絕緣膜104a具有從有機(jī)絕緣膜104b露出的露出部106。
另外，在疊層絕緣膜104上，用于將共用配線層103與共用電極層113電連接的共用電極端子層107形成為與密封材料115重疊。該共用電極端子層107通過形成于疊層絕緣膜104的接觸孔109與共用配線層103連接。而且，共用電極端子層107通過密封材料115中的導(dǎo)電顆粒116與共用電極層113連接。 這樣，按照在TFT基板100上確保配置驅(qū)動(dòng)電路的區(qū)域的觀點(diǎn)，優(yōu)選將露出部106及共用電極端子層107設(shè)置在密封材料115的角部。 但是，如圖中所示，在設(shè)置有密封材料115的區(qū)域內(nèi)包括設(shè)置有露出部106的區(qū)域120和設(shè)置有共用電極端子層107的區(qū)域121重疊的區(qū)域(在圖13中用斜線表示的區(qū)域)122時(shí)，在該區(qū)域122中從有機(jī)絕緣膜104b露出的無機(jī)絕緣膜104a被共用電極端子層107覆蓋，密封材料115的粘接面成為共用電極端子層107。共用電極端子層107是由ITO(Indium Tin Oxide :氧化銦錫)等形成的透明導(dǎo)電層，相對(duì)密封材料115的粘接性比較低。因而，導(dǎo)致TFT基板100和密封材料115的粘接性降低。 另外，即使利用專利文獻(xiàn)1的方法，如上所述在設(shè)置有密封材料的區(qū)域包括已除
去有機(jī)絕緣膜的區(qū)域和形成有共用電極端子層的區(qū)域重疊的區(qū)域時(shí)，即使特意除去有機(jī)
絕緣膜，在除去了有機(jī)絕緣膜的區(qū)域的一部分，密封材料也會(huì)與共用電極端子層粘接，因此
TFT基板和密封材料的粘接性也降低。 專利文獻(xiàn)1 :(日本)特開2006-91434號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于這類問題點(diǎn)而創(chuàng)立的，其目的在于，提高形成有用于向相對(duì)的基板的電極層供給信號(hào)的透明導(dǎo)電層的基板與密封材料的粘接性。 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，在該發(fā)明中使從有機(jī)絕緣膜露出的無機(jī)絕緣膜的露出部的整體從透明導(dǎo)電層露出，且在露出部，在與透明導(dǎo)電層連接的配線層形成貫通孔，并將無機(jī)絕緣膜設(shè)置為覆蓋該貫通孔。 具體地說，本發(fā)明提供一種顯示裝置，其包括相互相對(duì)配置的第一基板和第二基板；和將上述第一基板和上述第二基板相互粘接的矩形框狀的密封材料，其中，上述第一基板具有以與上述密封材料的角部重疊的方式設(shè)置的配線層；包括以與該配線層重疊的方式依次層疊的無機(jī)絕緣膜和有機(jī)絕緣層的疊層絕緣膜；和設(shè)置在該疊層絕緣膜上，通過形成于該疊層絕緣膜的接觸孔與上述配線層連接的透明導(dǎo)電層，上述第二基板具有通過上述密封材料含有的導(dǎo)電顆粒與上述透明導(dǎo)電層連接的電極層，上述無機(jī)絕緣膜在上述密封材料的角部具有從上述有機(jī)絕緣膜露出的露出部，其中，上述露出部整體從上述透明導(dǎo)電層露出，在上述露出部中，在上述配線層形成有貫通孔，并且上述無機(jī)絕緣膜以覆蓋該貫通孔的方式設(shè)置。 優(yōu)選上述露出部設(shè)置在上述密封材料的四個(gè)角部。 也可以在上述第一基板與上述第二基板之間具有被封入在框狀的密封材料內(nèi)側(cè)
的液晶層。-作用- 下面，對(duì)本發(fā)明的作用進(jìn)行說明。 首先，參照?qǐng)D9及圖10，對(duì)為了測定密封材料相對(duì)于構(gòu)成顯示裝置的取向膜、透明
4導(dǎo)電膜、有機(jī)絕緣膜、無機(jī)絕緣膜和玻璃基板的粘接性而進(jìn)行的十字剝離強(qiáng)度試驗(yàn)進(jìn)行說 明。圖9及圖10是概略地表示用于十字剝離強(qiáng)度試驗(yàn)的試驗(yàn)裝置及其動(dòng)作的立體圖。
在該十字剝離強(qiáng)度試驗(yàn)中，測定密封材料(環(huán)氧類樹脂)相對(duì)于分別與取向膜、透 明導(dǎo)電層、有機(jī)絕緣膜及無機(jī)絕緣膜對(duì)應(yīng)的PI(Polylmide :聚酰亞胺)膜、IT0膜、丙烯酸類 樹脂膜及SiN膜、以及玻璃基板(Si0)的剝離強(qiáng)度。在此，所謂剝離強(qiáng)度是指為了將密封材
料從粘接有密封材料的上述各膜及玻璃基板上剝離所需要的力的大小。
如圖9所示，該試驗(yàn)使用十字剝離強(qiáng)度試驗(yàn)裝置進(jìn)行，該十字剝離強(qiáng)度試驗(yàn)裝置 具有固定設(shè)置的載物臺(tái)40、和配置于載物臺(tái)40上的壓緊旋轉(zhuǎn)夾具41。在載物臺(tái)40上載放 試驗(yàn)體43。壓緊旋轉(zhuǎn)夾具41如圖10所示，構(gòu)成為可以對(duì)載放于載物臺(tái)40上的試驗(yàn)體43 向載物臺(tái)40側(cè)施加重量，同時(shí)以與載物臺(tái)40的表面垂直的軸41a為旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，向試 驗(yàn)體43施加旋轉(zhuǎn)方向的力。圖10的箭頭47表示壓緊旋轉(zhuǎn)夾具41向試驗(yàn)體43施加重量 的方向。箭頭48表示壓緊旋轉(zhuǎn)夾具41旋轉(zhuǎn)的方向。 上述試驗(yàn)體43形成為一對(duì)基板45、46通過一個(gè)點(diǎn)狀的密封材料44以相互十字交 差的方式重疊。在測定密封材料44相對(duì)于PI膜、ITO膜、丙烯酸類樹脂膜及SiN膜的剝離 強(qiáng)度時(shí)，分別制作在兩基板45、46的表面以夾入密封材料44的方式形成有各膜(PI膜、IT0 膜、丙烯樹脂膜及SiN膜)的試驗(yàn)體43，對(duì)這些試驗(yàn)體43進(jìn)行試驗(yàn)。另外，測定密封材料 44相對(duì)于玻璃基板的剝離強(qiáng)度時(shí)，制作將兩基板45、46作為玻璃基板，并以玻璃基板的表 面夾入密封材料44的試驗(yàn)體43，對(duì)該試驗(yàn)體43進(jìn)行試驗(yàn)。 而且，利用該試驗(yàn)，根據(jù)壓緊旋轉(zhuǎn)夾具41施加在試驗(yàn)體43的重量及旋轉(zhuǎn)方向的 力、密封材料44的直徑、基板45、46相對(duì)于密封材料44的位移量，測定各膜及玻璃基板與 密封材料44的剝離強(qiáng)度，將這些剝離強(qiáng)度分別作為各膜及玻璃基板與密封材料44的粘接 性。 圖11表示這樣得到的密封材料(環(huán)氧類樹脂)相對(duì)于PI膜、IT0膜、丙烯酸類樹 脂膜、SiN膜及玻璃基板的剝離強(qiáng)度(粘接性)。 如圖11所示，測得密封材料相對(duì)于SiN膜及玻璃基板(SiO)的剝離強(qiáng)度為比密封 材料相對(duì)于其他膜(PI膜、ITO膜及丙烯酸類樹脂膜)的任何一個(gè)的剝離強(qiáng)度大4倍以上 的值。特別是測得密封材料相對(duì)于SiN膜的剝離強(qiáng)度為比密封材料相對(duì)于ITO膜及丙烯酸 類樹脂膜的剝離強(qiáng)度大10倍以上的值。 如上操作，利用十字剝離強(qiáng)度試驗(yàn)，通過多次測定密封材料相對(duì)于構(gòu)成顯示裝置 的取向膜、透明導(dǎo)電層、有機(jī)絕緣膜、無機(jī)絕緣膜及玻璃基板的剝離強(qiáng)度，可以得到如圖12 所示的結(jié)果。圖12是表示密封材料相對(duì)于構(gòu)成顯示裝置的取向膜、透明導(dǎo)電層、有機(jī)絕緣 膜、無機(jī)絕緣膜及玻璃基板的粘接性的關(guān)系的圖。密封材料相對(duì)于無機(jī)絕緣膜的粘接性如 圖12所示，比密封材料相對(duì)于有機(jī)絕緣膜及透明導(dǎo)電層的粘接性明顯地高。
因此，在本發(fā)明的顯示裝置中，將從有機(jī)絕緣膜露出的無機(jī)絕緣膜的露出部的整 體從透明導(dǎo)電層露出。由此，在與密封材料重疊的露出部的整體，密封材料直接與無機(jī)絕緣 膜粘接。 不僅如此，通過在露出部中，在配線層形成貫通孔，將無機(jī)絕緣膜設(shè)置為覆蓋該貫 通孔，使無機(jī)絕緣膜覆蓋貫通孔的部分呈凹部，所以與密封材料粘接的無機(jī)絕緣膜的表面 積增加。另外，從第一基板側(cè)對(duì)密封材料進(jìn)行曝光時(shí)，被配線層遮蔽的光減少，所以提高上述曝光對(duì)密封材料的光的透過率，因此密封材料更可靠地固化。因而，第一基板和密封材料的粘接性提高。 特別是在密封材料的四個(gè)角部設(shè)置有露出部時(shí)，與在密封材料的四個(gè)角部全都沒有設(shè)置露出部時(shí)相比，密封材料粘接的無機(jī)絕緣膜的表面積增大，并且從第一基板側(cè)曝光的對(duì)密封材料的光的透過率提高，因此，第一基板和密封材料的粘接性進(jìn)一步提高。
在第一基板和第二基板之間具有被封入在框狀的密封材料內(nèi)側(cè)的液晶層時(shí)，也具體地起到本發(fā)明的作用效果。 根據(jù)本發(fā)明，在從有機(jī)絕緣膜露出的無機(jī)絕緣膜的露出部的與密封材料重疊的區(qū)域整體，能夠?qū)⒚芊獠牧吓c無機(jī)絕緣膜直接地粘接。不僅如此，而且能夠使與密封材料粘接的無機(jī)絕緣膜的表面積增大，提高從第一基板側(cè)的曝光對(duì)密封材料的光的透過率，而使密封材料進(jìn)一步可靠地固化。其結(jié)果是，可以提高第一基板與密封材料的粘接性。


圖1是概略地表示實(shí)施方式1的液晶顯示裝置的平面 圖2是概略地表示圖1的II-II線剖面的 圖3是概略地表示液晶顯示裝置的密封材料的角部的平面 圖4是概略地表示圖3的IV-IV線剖面的圖； 圖5是將形成有柵極絕緣膜的狀態(tài)的玻璃基板的形成密封材料的角部的區(qū)域放大而概略地表示的剖面圖； 圖6是將形成有無機(jī)絕緣膜的狀態(tài)的玻璃基板的形成密封材料的角部的區(qū)域放大而概略地表示的剖面圖； 圖7是將形成有第二共用配線層的狀態(tài)的玻璃基板的形成密封材料的角部的區(qū)域放大而概略地表示的剖面圖； 圖8是將形成有共用電極端子層的狀態(tài)的玻璃基板的密封材料的角部放大而概略地表示的剖面圖； 圖9是概略地表示配置有試驗(yàn)體的十字剝離強(qiáng)度試驗(yàn)裝置的立體 圖10是概略地表示十字剝離試驗(yàn)裝置的動(dòng)作的立體圖； 圖11是表示密封材料(環(huán)氧類樹脂)相對(duì)于PI膜、IT0膜、丙烯酸類樹脂膜、SiN膜及玻璃基板(Si0)的剝離強(qiáng)度(粘接性)的圖； 圖12是表示密封材料相對(duì)于構(gòu)成液晶顯示裝置(顯示裝置)的取向膜、透明導(dǎo)電層、有機(jī)絕緣膜、無機(jī)絕緣膜及玻璃基板的粘接性的關(guān)系的圖； 圖13是將現(xiàn)有的液晶顯示裝置的密封材料的角部放大而概略地表示的平面 圖14是概略地表示圖13的X IV-X IV線剖面的圖。
符號(hào)說明 (S)液晶顯示裝置(顯示裝置)[OO54] (A)密封材料的角部
(10) TFT基板(第一基板)[OO56] (13)共用配線層(配線層)[OO57] (13a)第一共用配線層(配線層)[OO58] (13b)第二共用配線層(配線層) (14)疊層絕緣膜 (14a)無機(jī)絕緣膜 (14b)有機(jī)絕緣膜 (16)露出部 (17)貫通孔 (18)接觸孔 (19)共用電極端子層(透明導(dǎo)電層)(30)相對(duì)基板(第二基板) (33)共用電極層(電極層)
(34)密封材料
(35)導(dǎo)電顆粒
具體實(shí)施例方式
下面，根據(jù)附圖詳細(xì)地說明本發(fā)明的實(shí)施方式。另外，本發(fā)明并不限定于下面的各 實(shí)施方式。(發(fā)明的實(shí)施方式l) 圖1 圖8表示本發(fā)明的實(shí)施方式1。圖1是概略地表示液晶顯示裝置S的平面 圖。圖2是沿圖1的II-II線概略地表示液晶顯示裝置S的剖面圖。圖3是將液晶顯示裝 置S的密封材料34的角部的區(qū)域A放大而概略地表示的平面圖。圖4是沿圖3的IV-IV 線概略地表示區(qū)域A的剖面圖。另外，在圖4中省略偏光板39、40的圖示。
顯示裝置即液晶顯示裝置S如圖1及圖2所示，具備相互相對(duì)配置的第一基板即 矩形狀的TFT(Thin Film Transistor :薄膜晶體管)基板10及第二基板即矩形狀的相對(duì) 基板30、和將這些TFT基板10及相對(duì)基板30相互粘接的矩形框狀的密封材料34。在TFT 基板10和相對(duì)基板30之間形成有被封入密封材料34的內(nèi)側(cè)的液晶層36。
TFT基板10及相對(duì)基板30在比密封材料34更靠近內(nèi)側(cè)的液晶層36側(cè)的表面分 別形成有由PI(Ploy Imide :聚酰亞胺)樹脂構(gòu)成的取向膜37、38，并且，在與液晶層36相 反側(cè)的表面分別設(shè)置有偏光板39、40。該液晶顯示裝置S具有設(shè)置在密封材料34的內(nèi)側(cè)的 多個(gè)像素構(gòu)成的顯示區(qū)域、和顯示區(qū)域外側(cè)的非顯示區(qū)域。 上述相對(duì)基板30如圖4所示，具有由Si(^等形成的玻璃基板31。在玻璃基板31 上，顯示區(qū)域形成有多個(gè)彩色濾光片層(省略圖示)及劃分各彩色濾光片層、由樹脂材料構(gòu) 成的黑矩陣層32。而且，電極層即共用電極層33形成為覆蓋這些各彩色濾光片層及黑矩陣 層32。共用電極層33由ITO (Indium Tin Oxide :氧化銦錫)形成。 上述TFT基板10具有由Si02等形成的玻璃基板11 ，在玻璃基板11上省略了圖示， 在顯示區(qū)域形成有多個(gè)柵極配線層及多個(gè)源極配線層。各柵極配線層和各源極配線層相互 交差延伸，在這些各柵極配線層及各源極配線層的交差部形成有多個(gè)TFT。各TFT例如是頂 柵型TFT。 另外，如圖3及圖4所示，TFT基板10具有配線層即共用配線層13，其用于對(duì)上 述共用電極層32施加電壓；疊層絕緣膜14，其包括以與該共用配線層13重疊的方式依次層疊的無機(jī)絕緣膜14a及有機(jī)絕緣膜14b ;和透明導(dǎo)電層即共用電極端子層19，其設(shè)置在該疊層絕緣膜14上。 共用配線層13沿密封材料34形成矩形環(huán)狀，如圖3所示，設(shè)置為與密封材料34的四個(gè)角部重疊。該共用配線層13具有第一共用配線層13a及第二共用配線層13b。
第一共用配線層13a由Al、MoW合金或Cr等金屬材料形成，如圖3及圖4所示，在形成于玻璃基板11上的上述各TFT的柵極絕緣膜12上以與密封材料34的各角部重疊的方式形成有多個(gè)。如圖4所示，在各第一共用配線層13a上層疊有無機(jī)絕緣膜14a。
無機(jī)絕緣膜14a例如由TEOS(Tetra-Ethyl-Ortho-Silicate :四乙基原硅酸鹽)或SiN,等形成。該無機(jī)絕緣膜14a省略圖示，形成為覆蓋上述各柵極配線層，在各柵極配線層和各源極配線層的交差部，將這些各柵極配線層和各源極配線層絕緣。另外，如圖4所示，在無機(jī)絕緣膜14a上形成有多個(gè)接觸孔15，在底部露出各第一共用配線層13a。
第二共用配線層13b由Al、MoW合金或Cr等金屬材料形成，在各第一共用配線層13a之間，如圖3所示，以沿密封材料34延伸的方式形成有多個(gè)。各第二共用配線層13b —端部通過形成于無機(jī)絕緣膜14a的接觸孔15，與這些各第二共用配線層13b所沿的密封材料34的一側(cè)的角部的第一共用配線層13a連接。而且，各第二共用配線層13b的另一端部通過接觸孔15與這些各第二共用配線層13b所沿的密封材料34的另一側(cè)的角部的各第一共用配線層13a連接。這樣，各第二共用配線層13b設(shè)置為將密封材料34的相互不同的角部的各第一共用配線13a相互電連接。這些各第二共用配線層13b如圖4所示，和上述各源極配線層一起被有機(jī)絕緣膜14b覆蓋。 有機(jī)絕緣膜14b由丙烯酸類樹脂等形成。該有機(jī)絕緣膜14b在TFT基板10的大致整個(gè)面形成，在密封材料34的各角部，如圖3及圖4所示，與密封材料34的外緣部分重疊的區(qū)域被除去一部分。由此，無機(jī)絕緣膜14a在與密封材料34的各角部的外緣部分重疊的區(qū)域具有從有機(jī)絕緣膜14b露出的露出部16。 在該露出部16，在第一共用配線層14a上形成有多個(gè)貫通孔17，無機(jī)絕緣膜14a設(shè)置為覆蓋這些各貫通孔17。另外，在第一共用配線層13a上，也在被有機(jī)絕緣膜14b覆蓋的區(qū)域形成有多個(gè)貫通孔17。 共用電極端子層19以與密封材料34的各角部重疊的方式在有機(jī)絕緣膜14b的表面形成有多個(gè)。在疊層絕緣膜14上形成有多個(gè)接觸孔18，在底部露出各第一共用配線層13a，各共用電極端子層19通過各接觸孔18與共用配線層(第一共用配線層13a) 13連接。
各共用電極端子層19在有機(jī)絕緣膜14b被除去的區(qū)域即無機(jī)絕緣膜14a的露出部16不形成，而在露出部16以外的其他區(qū)域形成。即如圖4所示，設(shè)置有露出部16的區(qū)域20和設(shè)置有各共用電極端子層19的區(qū)域21是TFT基板10的不同的區(qū)域，露出部16整體從共用電極端子層19露出。 另外，在有機(jī)絕緣膜14b上省略圖示，形成有多個(gè)接觸孔，在底部露出各TFT的漏極電極，矩陣狀設(shè)置有通過各接觸孔分別與TFT連接的多個(gè)像素電極層。這些各像素電極層被取向膜37覆蓋。 上述密封材料34由環(huán)氧類樹脂等形成，含有導(dǎo)電顆粒35。導(dǎo)電顆粒35適于采用例如，利用鎳或金等導(dǎo)電性材料覆蓋由具有彈性的樹脂材料等構(gòu)成的球狀顆粒的表面等而形成的鍍鎳顆?；蝈兘痤w粒、碳顆粒、銀顆粒等。而且，共用電極層33通過密封材料34含
8有的導(dǎo)電顆粒35與共用電極端子層19連接。 這樣，液晶顯示裝置S構(gòu)成為，通過共用配線層13向共用電極層33供給規(guī)定的信號(hào)，并且向各源極配線層及各柵極配線層供給規(guī)定的信號(hào)，由此通過各TFT的漏極電極在各像素電極層寫入規(guī)定的電荷，從而在各像素電極層和共用電極層33之間對(duì)液晶層36施加規(guī)定的電壓，由此控制液晶分子的取向，進(jìn)行所希望的顯示。
-制造方法_ 下面，對(duì)TFT基板10的制作方法及液晶顯示裝置S的制造方法進(jìn)行說明。
要制造液晶顯示裝置S，首先，在分別制作出TFT基板10及相對(duì)基板30后，通過密封材料34將這兩個(gè)基板10、30相互貼合，并且利用該密封材料34在TFT基板10和相對(duì)基板30之間封入液晶層36，并從TFT基板10側(cè)曝光使密封材料34固化。其后，在兩基板10、30上分別設(shè)置偏光板39、40。本發(fā)明的液晶顯示裝置S特別是在TFT基板10的結(jié)構(gòu)上具有特征，所以對(duì)TFT基板10的制作方法，下面參照?qǐng)D5 圖8進(jìn)行詳述。圖5 圖8是用于說明TFT基板10的制作工序的圖，是將玻璃基板11的形成密封材料34的角部的區(qū)域放大而概略地表示的剖面圖。 制作TFT基板10時(shí)，省略圖示，首先，在事先洗凈的玻璃基板11上利用CVD(Chemical V即or D印osition :化學(xué)氣相沉積)法等形成由非晶硅等構(gòu)成的半導(dǎo)體膜。接著，利用激光退火法等使半導(dǎo)體膜結(jié)晶化后，利用蝕刻等對(duì)該半導(dǎo)體膜進(jìn)行圖案化，由此形成多個(gè)半導(dǎo)體層。接著，利用CVD法等以覆蓋各半導(dǎo)體層的方式形成柵極絕緣膜12。這時(shí)，如圖5所示，在形成密封材料34的角部的區(qū)域也形成柵極絕緣膜12。
接著，利用濺射法等成膜Al、MoW合金或Cr等的金屬膜后，利用蝕刻等對(duì)金屬膜進(jìn)行圖案化，如圖6所示，形成第一共用配線層13a，并且形成各柵極配線層及各柵極電極。接著，利用離子注入法等以各柵極配線層作為掩模向各半導(dǎo)體層注入雜質(zhì)。其后，利用CVD法等將無機(jī)絕緣膜14a形成為覆蓋第一共用配線層13a、各柵極配線層及各柵極電極。
接著，如圖7所示，利用蝕刻等在無機(jī)絕緣膜14a上形成各接觸孔15、18a，并且對(duì)柵極絕緣膜12及無機(jī)絕緣膜14a在各柵極電極的兩側(cè)形成各半導(dǎo)體層在底部分別露出的一對(duì)接觸孔。其后，利用濺射法等形成Al、MoW合金或Cr等的金屬膜，并利用蝕刻等對(duì)該金屬膜進(jìn)行圖案化，從而形成第二共用配線層13b，并且形成各源極配線層、各源極電極及各漏極電極。 接著，以覆蓋無機(jī)絕緣膜14a及各源極配線層的方式涂敷有機(jī)絕緣材料而形成有機(jī)絕緣膜后，如圖8所示，在形成密封材料34的角部的區(qū)域，利用蝕刻等除去一部分有機(jī)絕緣膜，從而形成有機(jī)絕緣膜14b，并且在無機(jī)絕緣膜14a上設(shè)置露出部16。這時(shí)，對(duì)有機(jī)絕緣膜14b，形成上述各漏極電極在底部露出的多個(gè)接觸孔，并且形成各第一共用配線層13在底部露出的多個(gè)接觸孔18b，在疊層絕緣膜14形成接觸孔18。 接著，利用濺射法在疊層絕緣膜14上成膜IT0膜后，利用蝕刻等對(duì)該IT0膜進(jìn)行圖案化，從而形成各共用電極端子層19，并且形成各像素電極層。這時(shí)，除去形成于露出部16的IT0膜，使露出部16的整體從共用電極端子層19露出。這樣，制作露出部16的整體從共用電極端子層19露出的TFT基板10。
-實(shí)施方式1的效果- 圖12是表示密封材料34相對(duì)于構(gòu)成液晶顯示裝置S的取向膜37、38、共用電極端子層19、共用電極層33、有機(jī)絕緣膜14b、無機(jī)絕緣膜14a及玻璃基板11、31的粘接性的 關(guān)系的圖。密封材料34相對(duì)于無機(jī)絕緣膜13a的粘接性如圖12所示，比密封材料34相對(duì) 于有機(jī)絕緣膜13b及共用電極端子層19的粘接性明顯地高。根據(jù)該實(shí)施方式1，由于從有 機(jī)絕緣膜14a露出的無機(jī)絕緣膜14b的露出部16的整體從共用電極端子層19露出，所以 如圖3及圖4所示，在與密封材料34重疊的露出部16的區(qū)域(在圖3中用斜線所示的區(qū) 域)25整體，能夠?qū)⒚芊獠牧?4與無機(jī)絕緣膜13a直接粘接。 不僅如此，在露出部16中，在第一共用配線層13a形成有多個(gè)貫通孔17，通過將無 機(jī)絕緣膜14a設(shè)置為覆蓋這些各貫通孔17，如圖4所示，由于用無機(jī)絕緣膜14a覆蓋貫通孔 17的部分呈凹部，所以可以使與密封材料34粘接的無機(jī)絕緣膜14a的表面積增大。另外， 從TFT基板10側(cè)對(duì)密封材料34進(jìn)行曝光時(shí)，可以使第一共用配線層13a遮住的光減少，由 于能夠提高上述曝光對(duì)密封材料34的光的透過率，所以可以進(jìn)一步可靠地使密封材料34 固化。其結(jié)果是可以提高TFT基板10和密封材料34的粘接性。此外，露出部16設(shè)置在密封材料34的四個(gè)角部，所以和在密封材料34的四個(gè)角 部全都沒有設(shè)置露出部16的情況相比，可以使密封材料34所粘接的無機(jī)絕緣膜14a的表 面積增大，并且可以進(jìn)一步提高從TFT基板10側(cè)曝光的對(duì)密封材料34的光的透過率，所以 可以進(jìn)一步提高TFT基板10和密封材料34的粘接性。
《其他的實(shí)施方式》 在上述實(shí)施方式1中，無機(jī)絕緣膜14a的露出部16設(shè)置在密封材料34的四個(gè)角 部，但本發(fā)明并不限定于此，露出部16只要設(shè)置在密封材料34的各角部的至少任一個(gè)即可。 在上述實(shí)施方式1中，對(duì)液晶顯示裝置S進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限定于此，也可
以是有機(jī)場致發(fā)光顯示裝置等其他顯示裝置，可以適用于一對(duì)基板通過密封材料相互貼合
而成的顯示裝置。 產(chǎn)生上的可利用性 如上述說明，本發(fā)明對(duì)顯示裝置是有用的，特別是適于要求提高形成有透明導(dǎo)電 層的基板與密封材料的粘接性的顯示裝置，其中該透明導(dǎo)電層用于向相對(duì)的基板的電極層 供給信號(hào)。
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權(quán)利要求
一種顯示裝置，其包括相互相對(duì)配置的第一基板和第二基板；和將所述第一基板和所述第二基板相互粘接的矩形框狀的密封材料，其中，所述第一基板具有以與所述密封材料的角部重疊的方式設(shè)置的配線層；包括以與該配線層重疊的方式依次層疊的無機(jī)絕緣膜和有機(jī)絕緣膜的疊層絕緣膜；和設(shè)置在該疊層絕緣膜上，通過形成于該疊層絕緣膜的接觸孔與所述配線層連接的透明導(dǎo)電層，所述第二基板具有通過所述密封材料含有的導(dǎo)電顆粒與所述透明導(dǎo)電層連接的電極層，所述無機(jī)絕緣膜在所述密封材料的角部具有從所述有機(jī)絕緣膜露出的露出部，所述顯示裝置的特征在于所述露出部整體從所述透明導(dǎo)電層露出，在所述露出部中，在所述配線層形成有貫通孔，并且所述無機(jī)絕緣膜以覆蓋該貫通孔的方式設(shè)置。
2. 如權(quán)利要求l所述的顯示裝置，其特征在于所述露出部設(shè)置在所述密封材料的四個(gè)角部。
3. 如權(quán)利要求l所述的顯示裝置，其特征在于在所述第一基板與所述第二基板之間具有被封入在框狀的密封材料內(nèi)側(cè)的液晶層。
全文摘要
本發(fā)明涉及顯示裝置，其包括相互相對(duì)的第一基板和第二基板；和將第一基板和第二基板粘接的矩形框狀的密封材料，第一基板具有與密封材料的角部重疊的配線層；包括依次層疊在配線層上的無機(jī)絕緣膜和有機(jī)絕緣膜的疊層絕緣膜；和設(shè)置在疊層絕緣膜上，通過形成于該疊層絕緣膜的接觸孔與配線層連接的透明導(dǎo)電層，第二基板具有與透明導(dǎo)電層電連接的電極層，無機(jī)絕緣膜具有在密封材料的角部從有機(jī)絕緣膜露出的露出部，露出部整體從透明導(dǎo)電層露出，在露出部中，在配線層形成有貫通孔，無機(jī)絕緣膜以覆蓋該貫通孔的方式設(shè)置。
文檔編號(hào)G02F1/1339GK101765871SQ200880101149
公開日2010年6月30日 申請(qǐng)日期2008年8月7日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月6日
發(fā)明者喜多誠 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社