專利名稱：液晶顯示裝置的tft完成基板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種半導(dǎo)體元件，尤其涉及薄膜晶體管液晶顯示裝置的TFT基 板，該TFT基板上設(shè)置有多個液晶顯示面板單元和面板外圍區(qū)域，經(jīng)切割后可以 形成多個獨(dú)立的液晶顯示器TFT基板。
背景技術(shù)：
液晶顯示器(liquid crystal display, LCD)是目前最被廣泛使用的一種平面顯 示器，具有低功耗、外型薄、重量輕以及低驅(qū)動電壓等特征。液晶顯示器模塊主 要由液晶顯示面板和背光模塊所構(gòu)成。其中，液晶顯示面板通常是由薄膜晶體管 陣列基板(TFT基板)、彩色濾光膜基板(CF基板)以及設(shè)置于兩者之間的液晶 層所構(gòu)成。而背光模塊用以提供上述液晶顯示面板所需的面光源，以使液晶顯示 模塊達(dá)到顯示的效果。TFT基板可分為顯示區(qū)域(display Area)和外圍電路 (peripheral circuit area)，其中顯示區(qū)域包含以陣列結(jié)構(gòu)排列的多個子像素單元， 每個子像素單元包括一個或者多個薄膜晶體管以及與之連接的像素電極。此外， 在外圍電路與顯示區(qū)域內(nèi)設(shè)置有多條掃描線與數(shù)據(jù)線，其中每一個像素單元的薄 膜晶體管由對應(yīng)的掃描線與數(shù)據(jù)線所控制。液晶顯示面板通常會因為外在因素，例如連續(xù)的制程操作以及搬運(yùn)或者環(huán)境變 化等，而在面板內(nèi)產(chǎn)生靜電積累的現(xiàn)象。由于玻璃本身是絕緣物質(zhì)，因此除非有 適當(dāng)?shù)姆烹娡ǖ溃駝t靜電荷會一直停留在基板表。如此一來，當(dāng)靜電電荷積累 到一定數(shù)量以后，便可能因為靜電放電，而導(dǎo)致TFT基板上的電路或者是薄膜晶 體管本身遭到破壞。如何以靜電放電防護(hù)的措施解決基板帶電的問題，是液晶面 板制程特別是大尺寸液晶面板制程當(dāng)中非常重要的課題。如圖1所示，是公知技術(shù)中關(guān)于制作陣列基板時靜電防護(hù)措施之一種。如圖 所示，是對陣列基板的薄膜晶體管像素進(jìn)行電性檢測的一種布線結(jié)構(gòu)，同時也可 以起到預(yù)防靜電的效果。具體方式為利用多條測試電路線(第一、第二數(shù)據(jù)短路 線l、 2，第一、第二柵極短路線3、 4)分別連接奇數(shù)條之柵極配線、偶數(shù)條之柵 極配線、奇數(shù)條之?dāng)?shù)據(jù)配線、偶數(shù)條之?dāng)?shù)據(jù)配線，并且由測試電路之輸入端(array test pad)輸入測試信號，再以非接觸式的電光模塊作為信號接收端，以判斷薄膜 晶體管是否工作正常。這些測試用的電路線分別并聯(lián)柵極配線和數(shù)據(jù)配線的奇數(shù) 條以及偶數(shù)條，在一定程度上可以分?jǐn)傡o電帶來的影響，減少靜電破壞的發(fā)生。靜電防護(hù)方面，這樣的電路面板切斷之后就會被去除，因此這樣的措施對陣列階 段之后的制程缺少靜電防護(hù)作用；即使在陣列階段，這些測試線由于要與柵極線 和數(shù)據(jù)線跨接，需要做在不同的層別上，因此彼此之間的導(dǎo)通需要到最后打孔之 后的ITO金屬成膜之后才能完成，也就是說，在最后一道制程ITO成膜之前，陣 列工藝制程對于靜電破壞處于完全無防護(hù)狀態(tài)。如圖2所示，是公知技術(shù)中關(guān)于制作陣列基板時靜電防護(hù)措施之另一種。如 圖所示，在陣列基板的有效顯示區(qū)域和周邊電路之間放置內(nèi)部抗靜電環(huán)(inner short ring) 20或者外部抗靜電環(huán)(out short ring)，通過兩個反向的二極管結(jié)構(gòu)把發(fā)生 在局部區(qū)域的靜電疏導(dǎo)到整個面板回路當(dāng)中去，以降低靜電破壞發(fā)生的概率。但 是這種防護(hù)措施也有其缺陷，因為它是靠兩個反向的晶體管來工作，因此其靜電 防護(hù)必須在晶體管的整體結(jié)構(gòu)完成之后才能生效，也就是說，與前一種制程技術(shù) 相似，在ITO金屬成膜之前的整個陣列制程中，這種結(jié)構(gòu)并不能防止靜電破壞的 產(chǎn)生。如圖3所示，是公知技術(shù)中關(guān)于制作陣列基板時靜電防護(hù)措施之一種。如圖 所示，把掃描線和數(shù)據(jù)線的末端制作成尖銳的形狀，并于掃描線或者數(shù)據(jù)線的末 端相對處放置一梳齒型金屬帶5，梳形金屬帶5—般采取浮置方式，金屬帶5的梳 齒末端也制作成尖銳的形狀，并于掃描線或者數(shù)據(jù)線的尖銳末端相對。末端制作 成尖銳形狀的作用是可以將玻璃基板上存在的靜電荷，通過尖端處易于放電的效 應(yīng)，將靜電電荷自玻璃基板上釋放出來，從而達(dá)到靜電放電防護(hù)的效果。其更進(jìn) 一步的做法是在兩尖端相對處放置一半導(dǎo)體襯底6以代替原來的絕緣膜，以此來 增大導(dǎo)通電流，改善放電效果。但是這樣的防護(hù)方式也有其缺點(diǎn)，就是兩個尖端 之間的距離不好控制，距離太遠(yuǎn)導(dǎo)致放電困難，失去防護(hù)效果，距離太近會發(fā)生 配線之間的短路，而造成面板的不良。實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種新的顯示裝置的TFT完成基板， 利用靜電保護(hù)走線與信號配線的直接疊合連接，有效增加液晶顯示裝置制造過程 中的靜電保護(hù)。本實用新型為解決上述技術(shù)問題而采用的技術(shù)方案是 一種液晶顯示裝置的 TFT完成基板，包括一玻璃基板，設(shè)置有多個液晶顯示面板單元和面板外圍區(qū)域， 在液晶顯示面板單元以及面板外圍區(qū)域的第一、第二金屬層內(nèi)分別設(shè)置有信號配線和靜電保護(hù)走線，在隔層的靜電保護(hù)走線和延伸至面板外圍區(qū)域信號配線 重疊處兩者之間不設(shè)置絕緣層和半導(dǎo)體層，而直接疊合電連接。這樣上述結(jié)構(gòu)的TFT完成基板在制作過程中，只要在第二金屬層沉積之后， 就可以形成靜電保護(hù)回路，當(dāng)面板內(nèi)有靜電產(chǎn)生時，即可通過這些靜電保護(hù)用配 線上下導(dǎo)通，并發(fā)散到對應(yīng)連線的整個面板回路中。所述的靜電保護(hù)走線可以由設(shè)置于外圍測試電路區(qū)的短路棒走線充任，所述 TFT完成基板設(shè)置有多個液晶顯示面板單元和外圍測試電路區(qū)，該外圍測試電路 區(qū)內(nèi)設(shè)置有分別與奇數(shù)條和偶數(shù)條之柵極配線隔層直接疊合電連接的第一、第二 柵極短路棒走線以及分別與奇數(shù)條和偶數(shù)條之?dāng)?shù)據(jù)配線隔層直接疊合電連接的第 一、第二數(shù)據(jù)短路棒走線。這種結(jié)構(gòu)利用了 TFT基板的外圍測試電路，使其同時 起到靜電短路配線的作用，節(jié)省了靜電保護(hù)的專用配線。所述TFT基板上的每個面板的短路棒走線連接到各自的陣列測試焊盤組，進(jìn) 一步的其結(jié)構(gòu)可以是每個面板的陣列測試焊盤組彼此獨(dú)立；也可以是通過輔助用 保護(hù)配線把所有TFT基板上不同面板的陣列測試焊盤組的測試端子按順序互相連 接。這樣在靜電產(chǎn)生瞬間，最大限度地把局部的靜電電荷擴(kuò)散到整塊大玻璃基板 當(dāng)中去；同時陣列測試可以都使用同一套探針，節(jié)省了工序和成本。作為另一種結(jié)構(gòu)方式，所述的靜電保護(hù)走線也可以是一網(wǎng)絡(luò)狀第一金屬層走 線，其相互連接成網(wǎng)絡(luò)狀并與每一個面板的柵極配線相連接，并且與每一個面板 的數(shù)據(jù)配線隔層直接疊合電連接。這樣的結(jié)構(gòu)，同樣在陣列制程第二層金屬成膜的時候即通過該網(wǎng)絡(luò)狀金屬層 走線把所有的上下層面板金屬回路一起導(dǎo)通，把局部區(qū)域產(chǎn)生的靜電電荷最大限 度地擴(kuò)散到整塊玻璃基板上下層的金屬回路中，防止出現(xiàn)靜電電荷積累而發(fā)生靜 電破壞。進(jìn)一步地，上述結(jié)構(gòu)中可以在所述的柵極配線和數(shù)據(jù)配線的端子部分別設(shè)置 有靜電保護(hù)環(huán)，這樣在陣列制程完成、面板切割之后，依然可以使用面板內(nèi)的靜 電防護(hù)環(huán)來防護(hù)靜電，達(dá)到了在所有制程工序中都防護(hù)靜電的目的?？傊?，靜電破壞現(xiàn)象多數(shù)是由于上下兩層金屬之間積累的靜電電荷過多，擊 穿上下金屬之間的耦合電容而造成不同金屬層之間的短路或者同一金屬層之間的 開路。本實用新型TFT完成基板的制造過程中，在第二金屬層成膜的時候，就會 直接與第一層金屬互連而共享同一電位，并且彼此之間互相分擔(dān)積累的靜電電荷， 防止了在上下兩層金屬之間的放電現(xiàn)象。提前了有效靜電防護(hù)形成的時間。


為讓本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對本 實用新型的具體實施方式
作詳細(xì)說明，其中圖1為公知技術(shù)中關(guān)于制作陣列基板時靜電防護(hù)措施之一種； 圖2為公知技術(shù)中關(guān)于制作陣列基板時靜電防護(hù)措施之另一種； 圖3為公知技術(shù)中關(guān)于制作陣列基板時靜電防護(hù)措施之另一種； 圖4為本實用新型TFT完成基板的結(jié)構(gòu)示意圖之一；圖5為本實用新型TFT完成基板制造方法的步驟示意圖，其中A為圖3中A處 (即短路棒走線與數(shù)據(jù)線隔層疊合連接處)的截面示意圖，A'為液晶顯示面板晶體管 溝道處的界面示意圖；圖6為本實用新型TFT完成基板實施例3的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖7為本實用新型TFT完成基板實施例4的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖中1 、 2.第一、第二數(shù)據(jù)短路棒走線 3、 4.第一、第二柵極短路棒走線 5.梳形金屬帶 6.半導(dǎo)體襯底29.面板切割線 31.陣列測試焊盤組 33.網(wǎng)絡(luò)狀靜電保護(hù)走線 38.第一金屬層(柵極金屬層) 40.半導(dǎo)體層 42.氮化硅絕緣層20.抗靜電環(huán)30.輔助用保護(hù)配線32.總陣列測試焊盤組37.玻璃基板39.柵絕緣層41.光刻膠層具體實施方式實施例1一種液晶顯示裝置的TFT完成基板設(shè)置有多個液晶顯示面板單元和外圍測試 電路區(qū)(參見圖4)，設(shè)置于外圍測試電路區(qū)的短路棒走線同時作為靜電保護(hù)走線， 該外圍測試電路區(qū)內(nèi)設(shè)置有分別與奇數(shù)條和偶數(shù)條之柵極配線隔層直接疊合電連 接的第一、第二柵極短路棒走線3、 4以及分別與奇數(shù)條和偶數(shù)條之?dāng)?shù)據(jù)配線隔層 直接疊合電連接的第一、第二數(shù)據(jù)短路棒走線1、 2。每個面板的第一、第二柵極 短路棒走線3、 4以及第一、第二數(shù)據(jù)短路棒走線1、 2分別連接至該面板的陣列 測試焊盤組31。而每個面板的陣列測試焊盤組31彼此獨(dú)立。當(dāng)面板內(nèi)有靜電產(chǎn)生時，即可通過這些短路棒走線上下導(dǎo)通，并發(fā)散到對應(yīng) 連線的整個面板回路中。實施例2一種液晶顯示裝置的TFT完成基板，其結(jié)構(gòu)與實施例1基本相同之外，還在 柵極配線和數(shù)據(jù)配線的端子部分別設(shè)置有靜電保護(hù)環(huán)20。通過這些靜電保護(hù)環(huán)20 內(nèi)的Guard晶體管的導(dǎo)通效應(yīng)實現(xiàn)全部陣列制程結(jié)束后的面板內(nèi)靜電防護(hù)，在陣 列制程完成，面板切割之后，依然可以使用面板內(nèi)的靜電防護(hù)環(huán)20來防護(hù)靜電， 達(dá)到了在所有制程工序中都防護(hù)靜電的目的。實施例3一種液晶顯示裝置的TFT完成基板，其結(jié)構(gòu)與實施例1基本相同，短路棒走 線分別連接至各面板的陣列測試焊盤31，并通過輔助用保護(hù)配線30把所有TFT 基板上不同面板的陣列測試焊盤組的測試端子按順序互相連接，并連結(jié)至總陣列 測試焊盤組32。這樣，可以在靜電產(chǎn)生瞬間，最大限度地把局部的靜電電荷擴(kuò)散到整塊大玻 璃基板當(dāng)中去；同時，由于這種面板間互連的陣列測試結(jié)構(gòu)，可使不同產(chǎn)品的陣 列測試都使用同一套探針，省去探針開發(fā)的費(fèi)用，并可在很大程度上縮短產(chǎn)品開 發(fā)的時程。實施例4一種液晶顯示裝置的TFT完成基板，設(shè)置有多個液晶顯示面板單元和面板外 圍區(qū)域，在面板外圍區(qū)域內(nèi)設(shè)置有一網(wǎng)絡(luò)狀第一金屬層走線33作為靜電保護(hù)走線， 其相互連接成網(wǎng)絡(luò)狀并與每一個面板的柵極配線相連接，每一個面板的數(shù)據(jù)配線 延伸至面板外圍在與網(wǎng)絡(luò)狀靜電保護(hù)走線33重疊處不設(shè)置絕緣層、半導(dǎo)體層而直 接疊合電連接。這樣的結(jié)構(gòu)，可以在陣列制程第二層金屬成膜的時候即可通過網(wǎng)絡(luò)狀金屬走 線33把所有的上下層面板金屬回路一起導(dǎo)通，把局部區(qū)域產(chǎn)生的靜電電荷最大限 度地擴(kuò)散到整塊玻璃基板上下層的金屬回路中，防止出現(xiàn)靜電電荷積累而發(fā)生靜 電破壞。
權(quán)利要求1.一種液晶顯示裝置的TFT完成基板，包括一玻璃基板，設(shè)置有多個液晶顯示面板單元和面板外圍區(qū)域，在液晶顯示面板單元以及面板外圍區(qū)域的第一、第二金屬層內(nèi)分別設(shè)置有信號配線和靜電保護(hù)走線，在隔層的靜電保護(hù)走線和延伸至面板外圍區(qū)域信號配線重疊處兩者之間不設(shè)置絕緣層和半導(dǎo)體層，而直接疊合電連接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示裝置的TFT完成基板，其特征在于所述 的靜電保護(hù)走線由設(shè)置于外圍測試電路區(qū)的短路棒走線充任，所述TFT完成基板 設(shè)置有多個液晶顯示面板單元和外圍測試電路區(qū)，該外圍測試電路區(qū)內(nèi)設(shè)置有分 別與奇數(shù)條和偶數(shù)條之柵極配線隔層直接疊合電連接的第一、第二柵極短路棒走 線以及分別與奇數(shù)條和偶數(shù)條之?dāng)?shù)據(jù)配線隔層直接疊合電連接的第一、第二數(shù)據(jù) 短路棒走線。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的液晶顯示裝置的TFT完成基板，其特征在于所述TFT基板上的每個面板的短路棒走線連接到各自的陣列測試焊盤組，而每個面板 的陣列測試焊盤組彼此獨(dú)立。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的液晶顯示裝置的TFT完成基板，其特征在于所述 TFT基板上的每個面板的短路棒走線連接到各自的陣列測試焊盤組，并通過輔助 用保護(hù)配線把所有TFT基板上不同面板的陣列測試焊盤組的測試端子按順序互相 連接。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示裝置的TFT完成基板，其特征在于所述 的靜電保護(hù)走線為一網(wǎng)絡(luò)狀第一金屬層走線，其相互連接成網(wǎng)絡(luò)狀并與每一個面 板的柵極配線相連接，并且與每一個面板的數(shù)據(jù)配線隔層直接疊合電連接。
6. 根據(jù)權(quán)利要求3、 4或5所述的液晶顯示裝置的TFT完成基板，其特征在 于所述的柵極配線和數(shù)據(jù)配線的端子部分別設(shè)置有靜電保護(hù)環(huán)。
專利摘要本實用新型涉及一種液晶顯示裝置的TFT完成基板，在靜電保護(hù)回路中隔層線路的重疊連接處，兩層金屬層之間不設(shè)置絕緣層和半導(dǎo)體層，使該處兩層金屬層直接疊合電連接。這樣結(jié)構(gòu)和制造方法，使得在第二金屬層成膜的時候，就會直接與第一層金屬互連而共享同一電位，并且彼此之間互相分擔(dān)積累的靜電電荷，防止了在上下兩層金屬之間的放電現(xiàn)象。提前了有效靜電防護(hù)形成的時間。
文檔編號G02F1/1362GK201174016SQ20082005646
公開日2008年12月31日 申請日期2008年3月21日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月21日
發(fā)明者徐華偉 申請人:上海廣電光電子有限公司