專(zhuān)利名稱(chēng)：：樹(shù)脂制薄膜的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種邊緣部分的剖面形狀有特點(diǎn)的樹(shù)脂制薄膜的制造方法。
背景技術(shù)：
：液晶用濾色片是通過(guò)在透明基板上以矩陣狀或條狀配置分別僅使藍(lán)色光、綠色光、紅色光等基本色光、進(jìn)一步根據(jù)需要而附加的黃色光或其他色光透過(guò)的微小的微型濾色片而形成的。微型濾色片除了用使用了顏色抗蝕劑的光刻法或染色法、印刷法等來(lái)形成外，還可用噴墨法等來(lái)形成。在形成上述微型濾色片之前，先在透明基板上形成具有與液晶單元的像素排列對(duì)應(yīng)的格子狀圖案的遮光性黑底。構(gòu)成黑底的多個(gè)格子框?qū)⑽⑿蜑V色片的各外周邊緣包圍來(lái)進(jìn)行劃分，顯示彩色像素時(shí)能避免相鄰像素間的滲色而提高對(duì)比度。例如可通過(guò)在透明基板上真空蒸鍍鉻等遮光性?xún)?yōu)異的金屬薄膜來(lái)形成黑底，但考慮到降低成本的要求和液晶顯示元件的大畫(huà)面化等情況，越來(lái)越多地使用專(zhuān)利文獻(xiàn)l、2中公開(kāi)的樹(shù)脂制材料。專(zhuān)利文獻(xiàn)l:日本專(zhuān)利特許第3228139號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)2:日本專(zhuān)利特開(kāi)2003-161826號(hào)公報(bào)微型濾色片形成為填埋由黑底的格子框劃分而成的各個(gè)開(kāi)口，為了避免光從格子框的開(kāi)口邊緣與微型濾色片的外周邊緣之間漏出，微型濾色片越過(guò)開(kāi)口邊緣而局部與格子框的一部分重疊地形成。但是，例如微型濾色片也會(huì)采用混合有著色用顏料的合成樹(shù)脂材料，當(dāng)與黑底一樣用光刻法形成時(shí)，若黑底的開(kāi)口邊緣的剖面形狀為從透明基板的表面峭立的形狀，則在用微型濾色片的外周邊緣覆蓋時(shí)該部分會(huì)隆起，從而顯著損壞濾色片的平面性。從上述專(zhuān)利文獻(xiàn)中也可得知，在濾色片的上層還形成取向膜、透明電極膜，當(dāng)在濾色片上存在超過(guò)允許范圍的凹凸時(shí)，在形成取向膜和透明電極膜之前，需有形成填埋這些凹凸的透明層并對(duì)該表面進(jìn)行磨削使其平坦化的工序，從而不可避免地增加成本。為了解決此問(wèn)題，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1、2所述的方法中，均使黑底的開(kāi)口邊緣的剖面形狀線(xiàn)從透明基板的表面以較緩的角度立起，防止層疊微型濾色片時(shí)重疊部分極度隆起。此外，據(jù)專(zhuān)利文獻(xiàn)2的記載，即使特別用噴墨法形成微型濾色片，通過(guò)使格子框的幵口邊緣的剖面形狀線(xiàn)從透明基板的表面以20°55。的范圍緩慢立起，也能有效地消除黑底與微型濾色片的邊界部的高度差。
發(fā)明內(nèi)容但是，若使分隔黑底的開(kāi)口的開(kāi)口邊緣的剖面形狀線(xiàn)從透明基板以較緩的角度立起，則無(wú)法擴(kuò)大與微型濾色片重疊的寬容度，越靠近開(kāi)口邊緣，格子框的膜厚越薄，遮光性下降。因此，若形成微型濾色片時(shí)的重疊量不充分，則在微型濾色片的周緣部會(huì)產(chǎn)生漏光，導(dǎo)致彩色像素的對(duì)比度下降。因此，在微型濾色片的層疊時(shí)，為了不發(fā)生上述漏光而必須確保與格子框之間的重疊量，且必須防止微型濾色片的外周緣在格子框的上表面較大程度隆起。此外，若在開(kāi)口緣部分格子框的膜厚過(guò)薄，則與透明基板間的密合性減弱，容易產(chǎn)生剝落故障，在制造效率和成品率上存在問(wèn)題。上述問(wèn)題不僅存在于上述使微型濾色片與先形成的黑底部分重疊的情況，也存在于反之先在透明基板上相互隔著一定間距依次形成各色微型濾色片后再形成黑底來(lái)填埋微型濾色片間的間隙的情況。即，在使樹(shù)脂制的異種薄膜局部重疊地進(jìn)行層疊時(shí)，通常要求盡量抑制重疊部分的隆起，并使各薄膜直至其邊緣部分均與基板或下層的薄膜牢固地密合。本發(fā)明鑒于上述情況而完成，其目的在于提供以如下方式制造第1薄膜層的方法，即在透明基板等的基底面上形成具有規(guī)定圖案的樹(shù)脂制第1薄膜層后，與該第1薄膜層部分重疊地形成第2薄膜層的情況下，確保第1薄膜層的邊緣部分與基底面的牢固密合性的同時(shí)避免與第2薄膜層的重疊部分較大突出。當(dāng)制造液晶顯示元件中使用的濾色片時(shí)，在透明基板上形成黑底作為上述第1薄膜層，在該黑底上以局部重疊的方式形成微型濾色片作為上述第2薄膜層，在上述黑底的制造時(shí)可有效地使用本發(fā)明。本發(fā)明的特征在于，將以規(guī)定膜厚形成于基底面的感光性著色樹(shù)脂組合物用光刻法制成具有規(guī)定平面圖案的樹(shù)脂制薄膜時(shí)，依次進(jìn)行以下工序在7012(TC下、對(duì)在基底面上以規(guī)定膜厚形成的感光性著色樹(shù)脂組合物進(jìn)行預(yù)烘培的第一工序；第一工序后，在40200mJ的曝光量下用規(guī)定的平面圖案對(duì)上述感光性著色樹(shù)脂組合物進(jìn)行圖案曝光的第二工序；第二工序后，使用濃度0.040.05y。的以KOH為主要成分的顯影處理液，在顯影時(shí)間4070秒、顯影溫度23r27r、顯影液壓力0.010.2Mpa下進(jìn)行顯影處理來(lái)除去未曝光的感光性著色組合物的第三工序；以及進(jìn)行后烘培的第四工序。在上述工序中，作為制造條件，更優(yōu)選第一工序中的預(yù)烘培溫度為S010(TC，上述第二工序中的顯影時(shí)間為5060秒，顯影溫度為25。C27°C。此外，本發(fā)明方法的另一特征在于，通過(guò)采用上述第一第三工序，殘留于基底表面上的感光性著色樹(shù)脂組合物具有從其端緣朝進(jìn)深方向使其與基底表面之間產(chǎn)生間隙的底切部。如此形成的底切部?jī)?yōu)選進(jìn)深方向長(zhǎng)度在2.5pm8.0nm的范圍。制造液晶用濾色片所必須的黑底時(shí)，優(yōu)選使用上述第一第四工序。黑底的平面圖案構(gòu)成劃分矩形狀開(kāi)口的遮光性格子框，因此進(jìn)一步加入以覆蓋上述矩形狀開(kāi)口并與上述格子框局部重疊的方式依次按各顏色形成透過(guò)光顏色分別不同的多種樹(shù)脂制濾色膜的濾色片形成工序，由此本發(fā)明可有效地用作多種樹(shù)脂制薄膜組合而成的液晶用濾色片的高效制造方法。此時(shí)，上述格子框與上述樹(shù)脂制濾色薄膜的局部疊加長(zhǎng)度優(yōu)選在1.0pm12[im的范圍。根據(jù)本發(fā)明，液晶用濾色片的黑底的開(kāi)口邊緣附近的剖面形狀線(xiàn)得以改善，不會(huì)損壞在開(kāi)口邊緣部分與透明基板的密合性，且即使在開(kāi)口邊緣附近以重疊的方式層疊微型濾色片，也不會(huì)產(chǎn)生極端的凹凸。另外，并不限于液晶用濾色片的黑底，在基底面形成部分層疊第2薄膜層的第1薄膜層時(shí)，利用本發(fā)明可得到在確?；酌媾c第1薄膜層的邊緣部分間的牢固密合性的同時(shí)使兩薄膜層不會(huì)在重疊區(qū)域產(chǎn)生極端凹凸的效果。圖1是液晶用濾色片的局部放大剖面圖。圖2是表示黑底的制造工序的說(shuō)明圖。圖3是表示黑底與微型濾色片的邊界部分的局部放大剖面圖。圖4是形成于薄膜材料層的底切部分的示意圖。圖5是表示液晶顯示元件的結(jié)構(gòu)的概略模式圖。圖中3—透明基板，6—液晶層，IO—黑底，12—微型濾色片，20—薄膜材料層，21—底切部分，Pl，P2，P3—曲線(xiàn)部分。具體實(shí)施例方式圖5表示使用了本發(fā)明的液晶顯示元件的基本結(jié)構(gòu)的模示圖。在作為支撐體的光學(xué)玻璃制的透明基板2、3的表面一側(cè)分別接合作為起偏鏡的偏振板4、作為檢偏鏡的偏振板5。多個(gè)透明電極8以透明基板2的背面為基底面按一定的圖案排列形成，以覆蓋這些透明電極8的方式形成有取向膜9。透明電極8呈矩陣狀排列，各自用于根據(jù)像素單位驅(qū)動(dòng)液晶層6內(nèi)的液晶分子。將另一塊透明基板3的背面為基底面，形成黑底IO、微型濾色片12，并形成將其覆蓋的透明電極13、取向膜14。黑底10以下述方式形成，即具有與按像素單位設(shè)置的各透明電極8相對(duì)的區(qū)域?yàn)殚_(kāi)口的格子狀圖案，且微型濾色片12將該開(kāi)口堵塞的方式。微型濾色片12有藍(lán)色光透過(guò)濾色片、綠色光透過(guò)濾色片、紅色光透過(guò)濾色片這3種，每個(gè)開(kāi)口被其中的任一種微型濾色片堵塞。圖5的模式圖中，圖示的黑底10與微型濾色片12的邊界呈直線(xiàn)，但如圖1放大所示，實(shí)際上黑底10與微型濾色片12局部重疊地形成。圖1放大表示了在透明基板3上形成黑底10后再層疊微型濾色片12而得到的液晶用濾色片的一像素部分，通過(guò)上述那樣地局部重疊，在黑底10的開(kāi)口邊緣10a與微型濾色片12的前端部12a之間不會(huì)產(chǎn)生間隙。為了使黑底10與微型濾色片12局部重疊并抑制微型濾色片12向上方的突出量，黑底10中，從劃分與透明電極8相對(duì)的開(kāi)口的開(kāi)口邊緣10a向膜厚大致一定的平坦部10b延伸的邊緣部分成為圖示的膜厚逐漸增加的剖面形狀線(xiàn)。為了得到這樣的剖面形狀線(xiàn)，黑底IO采用合成樹(shù)脂制的材料，用光刻法賦予格子狀圖案，即從上方觀察透明基板3時(shí)所見(jiàn)的平面圖案。關(guān)于構(gòu)成黑底10的樹(shù)脂制的薄膜材料，例如在被賦予了光固化性的堿可溶性合成樹(shù)脂基材中混入作為遮光用著色劑的炭黑等黑色顏料，并通過(guò)添加有機(jī)溶劑來(lái)賦予流動(dòng)性。作為薄膜材料，從物性上考慮，釆用具有如下性質(zhì)的材料在顯影溫度25。C、濃度0.04。/。0.05。/。的以KOH為主要成分的顯影液中在未曝光的狀態(tài)保持不變而進(jìn)行浸漬顯影時(shí)，在3045秒內(nèi)溶解的性質(zhì)。將透明基板3進(jìn)行清洗處理后，將該薄膜材料例如用狹縫式涂布機(jī)以1.02.(Vm范圍內(nèi)的大致一定的膜厚均勻地涂布于基底面。另外，作為涂布的方法，也可釆用噴墨法和絲網(wǎng)印刷法等。薄膜材料涂布后進(jìn)行真空干燥處理，使部分過(guò)剩的有機(jī)溶劑揮發(fā)。接著進(jìn)行預(yù)烘培處理使有機(jī)溶劑進(jìn)一步蒸發(fā)，此時(shí)的預(yù)烘培溫度控制在較低溫度以免有機(jī)溶劑完全蒸發(fā)。通常，普通的預(yù)烘培處理是為了使薄膜材料與基底面密合而進(jìn)行的，相對(duì)于此，在本發(fā)明中將預(yù)烘培溫度控制在70。C12(TC、更優(yōu)選80。C100。C這樣的較低溫度，以使有機(jī)溶劑從薄膜材料的表面?zhèn)瘸浞终舭l(fā)的同時(shí)使一部分有機(jī)溶劑殘留于基底面?zhèn)?。另外，通過(guò)控制預(yù)烘培溫度和預(yù)烘培時(shí)間，能調(diào)節(jié)殘留在薄膜材料的基底面?zhèn)鹊挠袡C(jī)溶劑的量。然后，為了在黑底10上賦予格子狀的平面圖案，采用具有格子狀的透光圖案的曝光掩模從薄膜材料的表面?zhèn)冗M(jìn)行圖案曝光。圖案曝光用的光源釆用高壓汞燈，除普通的圖案曝光中使用的g射線(xiàn)(436nm)、i射線(xiàn)(365nm)、h射線(xiàn)(405nm)夕卜，還積極采用通常被濾色片屏蔽的j射線(xiàn)(313謹(jǐn))、k射線(xiàn)(393nm)。在圖案曝光中，以40200mJ/cm2的曝光量對(duì)薄膜材料進(jìn)行曝光，被曝光的部分的薄膜材料固化。利用這種圖案曝光處理，光能甚至可抵達(dá)本身因黑色顏料的混合而遮光性較高的薄膜材料的基底面附近，從而在深度方向上具有充分的固化作用。但是，由于在基底面附近的薄膜材料中殘留有有機(jī)溶劑，因此該固化作用被抑制。然后，使用濃度0.040.05%的以KOH為主要成分的堿水溶液進(jìn)行顯影處理。由此，在上述圖案曝光中未被曝光的部分在堿水溶液中溶出。該顯影處理是通過(guò)將薄膜材料用堿水溶液噴淋洗滌的方式來(lái)進(jìn)行的，通過(guò)調(diào)節(jié)顯影處理時(shí)間、噴淋壓力、每單位時(shí)間的堿水溶液供給量、環(huán)境溫度，可控制顯影的強(qiáng)度。對(duì)于該薄膜材料，顯影時(shí)間優(yōu)選4070秒，更優(yōu)選5060秒，顯影溫度為23°C27°C，更優(yōu)選25°C27°C，顯影液壓力(噴淋壓力)優(yōu)選0.010.2MPa。通過(guò)在上述的顯影條件下進(jìn)行顯影處理，在圖2(A)所示的圖案曝光后的薄膜材料層20上，如同圖(B)所示那樣產(chǎn)生從其端部朝向內(nèi)部的底切部分21。該底切部分21的高度和進(jìn)深長(zhǎng)度不僅可由顯影條件來(lái)調(diào)節(jié)，還可以根據(jù)前述預(yù)烘培條件的設(shè)定以及圖案曝光條件的設(shè)定來(lái)調(diào)節(jié)。特別是由于通過(guò)上述預(yù)烘培處理在基底面?zhèn)葰埩粲杏袡C(jī)溶劑，因此即使事先將顯影處理時(shí)的噴淋壓力調(diào)得較低，也能形成底切部分21而幾乎不留殘?jiān)?。另外，圖2中雖然只顯示了其一部分，但底切部分21在包圍黑底10的矩形狀開(kāi)口的格子框的各邊上幾乎同時(shí)且同等程度地形成。接著進(jìn)行后烘培處理。后烘培處理是用于使殘存于薄膜材料中的有機(jī)溶劑蒸發(fā)而使薄膜材料充分固化的加熱處理，在20024(TC的溫度下進(jìn)行2040分鐘。通過(guò)進(jìn)行該后烘培處理，從底切部分21的上方呈房檐狀伸出的薄膜材料發(fā)生熱變形，如圖2(C)所示，成為與透明基板3相接并密合的狀態(tài)。其結(jié)果是，得到具有圖I所示的剖面線(xiàn)形狀的黑底IO。如圖2(C)所示，黑底10的膜厚從開(kāi)口邊緣10a向平坦部10b逐漸增加，不僅如此，其剖面形狀線(xiàn)為包含上凸曲線(xiàn)部分Pl、下凸曲線(xiàn)部分P2、上凸曲線(xiàn)部分P3的形狀，在下凸曲線(xiàn)部分P2的兩側(cè)含有至少2個(gè)拐點(diǎn)。在圖示的剖面形狀中，在上凸曲線(xiàn)部分P1與下凸曲線(xiàn)部分P2之間包含厚度幾乎均一的直線(xiàn)部分，有利于擴(kuò)大與微型濾色片12的重疊部分的寬容度S，即如圖3所示，確保不會(huì)在微型濾色片12與幵口邊緣10a之間產(chǎn)生間隙的最小的重疊寬度T的前提下，在與黑底10的重疊部分能使微型濾色片12不會(huì)較大程度隆起且擴(kuò)大重疊寬容度S，因此有利。為了擴(kuò)大重疊寬容度S，有效的方法是從黑底10的開(kāi)口邊緣10a到平坦部10b的膜厚漸增區(qū)域中使膜厚成為其剖面形狀線(xiàn)不越出切線(xiàn)Q。利用上述后烘培處理時(shí)的加熱變形，在開(kāi)口邊緣10b附近以及在與平坦部10b的邊界部產(chǎn)生上凸的曲線(xiàn)部分Pl、P3，上述切線(xiàn)Q是與這些曲線(xiàn)部分Pl、P3共同相切的切線(xiàn)。只要保持膜厚漸增區(qū)域的剖面形狀線(xiàn)為不越過(guò)該切線(xiàn)Q的形狀，即可保持層疊微型濾色片12時(shí)的較寬的重疊寬容度S。如上所述，為了向黑底10的膜厚漸增區(qū)域的剖面形狀線(xiàn)賦予獨(dú)特的形狀，如圖4模式所示，在顯影處理后、進(jìn)行后烘培處理前的階段中，在薄膜材料層20形成底切部分21。該底切部分21的進(jìn)深長(zhǎng)度L基本上可利用顯影處理的強(qiáng)弱來(lái)調(diào)節(jié)。施加的顯影處理越強(qiáng)，底切長(zhǎng)度L越長(zhǎng)，薄膜材料層20的端緣(圖中的左端)的厚度越薄。圖4中實(shí)線(xiàn)所示的薄膜材料層20的底切長(zhǎng)度L1是進(jìn)行最強(qiáng)的顯影處理后的長(zhǎng)度，雙點(diǎn)劃線(xiàn)所示的薄膜材料層的底切長(zhǎng)度L2、L3是依次進(jìn)行相對(duì)較弱的顯影處理后的長(zhǎng)度。若采用底切長(zhǎng)度Ll的薄膜材料層，則薄膜材料層20的端緣的膜厚過(guò)薄，在黑底所要求的遮光性上容易出現(xiàn)問(wèn)題，反之若采用底切長(zhǎng)度L3的薄膜材料層，則在使微型濾色片局部重疊時(shí)，在該部分會(huì)產(chǎn)生角狀的突出部。由此可知，在后烘培前的狀態(tài)下，薄膜材料層20的底切長(zhǎng)度有合適的范圍，當(dāng)平坦部的黑底10的厚度在1.5拜2.0,的范圍時(shí)，薄膜材料層20上形成的底切長(zhǎng)度L優(yōu)選在2.5^im8.0pm的范圍，若在該范圍內(nèi)，則可將使微型濾色片重疊時(shí)的角高度控制在0.5pm以?xún)?nèi)，并使重疊寬容度S至少擴(kuò)大為3fim左右。薄膜材料層20上形成的底切長(zhǎng)度L在后烘培溫度以及顯影處理?xiàng)l件的影響下發(fā)生何種程度變化的確認(rèn)結(jié)果如表1、表2、表3所示。關(guān)于顯影處理?xiàng)l件，使顯影溫度按25。C、23°C、27。C這三個(gè)階段變化，使顯影處理時(shí)間以10秒為間隔從30秒變到80秒。使預(yù)烘培溫度按7(TC、80°C、卯。C、IO(TC、12(TC這五個(gè)階段變化，利用這些條件的組合來(lái)測(cè)定底切長(zhǎng)度L的變化。<table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>另外，作為薄膜材料層20的具體的樹(shù)脂材料，采用富士膠片電子材料株式會(huì)社制的"CK-9910L(商品名)"，該樹(shù)脂材料具有如下物性在顯影溫度為25'C、濃度0.04%0.05%的以KOH為主要成分的顯影液中在未曝光的狀態(tài)不變的情況下進(jìn)行浸漬顯影時(shí)，在3045秒內(nèi)溶解。如上所述在40200mJ的曝光量下進(jìn)行圖案曝光。顯影處理液采用富士膠片電子材料株式會(huì)社制的"CDK-1(商品名)"，該顯影處理液是濃度0.040.05%的以KOH為主要成分的顯影處理液的一個(gè)例子。由以上結(jié)果可知，預(yù)烘培溫度、顯影處理液溫度以及顯影時(shí)間成為調(diào)節(jié)底切長(zhǎng)度L的要素，在以顯影溫度23"C27'C進(jìn)行顯影處理為前提的情況下，適合批量生產(chǎn)的條件為預(yù)烘培溫度為7(TC120。C、優(yōu)選80°CIO(TC的范圍，顯影時(shí)間調(diào)節(jié)到4070秒的范圍。如上所述，根據(jù)本發(fā)明，即使為防止顯影處理液劣化而將顯影溫度控制在23"C27。C的范圍內(nèi)，也可通過(guò)調(diào)節(jié)顯影時(shí)間和預(yù)烘培溫度，在后烘培前的薄膜材料層20上形成具有合適范圍的底切長(zhǎng)度的底切部分。因此，在形成黑底10后，用樹(shù)脂制薄膜通過(guò)光刻法來(lái)層疊微型濾色片12時(shí)，可根據(jù)該層疊工序或圖案曝光工序中能確保何種程度的精度來(lái)調(diào)節(jié)黑底10的邊緣部分的形狀，從而使液晶用濾色片的制造變得容易，能大幅度提高成品率。以上，基于液晶用濾色片中使用的黑底10對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明不限于黑底，也可適用于其他的樹(shù)脂制薄膜。例如，用樹(shù)脂制薄膜通過(guò)光刻法來(lái)形成微型濾色片時(shí)，微型濾色片與黑底間的區(qū)別僅在于技術(shù)上在合成樹(shù)脂基材中混入遮光性顏料還是著色用顏料。因此，當(dāng)在透明基板上首先以矩陣狀離散地排列形成3種微型濾色片，然后用黑底填埋微型濾色片之間的間隙時(shí)，本發(fā)明同樣適用于微型濾色片的形成。權(quán)利要求1.一種樹(shù)脂制薄膜的制造方法，其特征在于，依次進(jìn)行以下工序在70～120℃下，對(duì)在基底面上以規(guī)定膜厚形成的感光性著色樹(shù)脂組合物進(jìn)行預(yù)烘培的第一工序；第一工序后，在40～200mJ的曝光量下以規(guī)定的平面圖案對(duì)所述感光性著色樹(shù)脂組合物進(jìn)行圖案曝光的第二工序；第二工序后，使用濃度0.04～0.05％的以KOH為主要成分的顯影處理液，在顯影時(shí)間40～70秒、顯影溫度23℃～27℃、顯影液壓力0.01～0.2MPa下進(jìn)行顯影處理來(lái)除去未曝光的感光性著色組合物的第三工序；以及進(jìn)行后烘培的第四工序，從而在所述基底面上形成具有所述平面圖案的樹(shù)脂制薄膜。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的樹(shù)脂制薄膜的制造方法，其特征在于，所述第一工序中的預(yù)烘培溫度為80100°C，所述第二工序中的顯影時(shí)間為5060秒，顯影溫度為25°C27°C。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的樹(shù)脂制薄膜的制造方法，其特征在于，在所述第三工序中殘留于基底表面上的感光性著色樹(shù)脂組合物具有在從其端緣朝進(jìn)深方向，與基底表面之間產(chǎn)生間隙的底切部。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的樹(shù)脂制薄膜的制造方法，其特征在于，所述底切部的進(jìn)深方向長(zhǎng)度為2.5um8.0um。5.根據(jù)權(quán)利要求14中任一項(xiàng)所述的樹(shù)脂制薄膜的制造方法，其特征在于，在所述第四工序中得到的樹(shù)脂制薄膜是構(gòu)成用于劃分矩形狀開(kāi)口的遮光性格子框的黑底。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的樹(shù)脂制薄膜的制造方法，其特征在于，包括濾色片形成工序，所述濾色片形成工序中，以覆蓋所述矩形狀開(kāi)口并與所述格子框部分地疊加的方式，依次按各顏色形成透過(guò)光顏色各自不同的多種樹(shù)脂制濾色膜。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的樹(shù)脂制薄膜的制造方法，其特征在于，所述格子框與所述樹(shù)脂制濾色薄膜的部分疊加長(zhǎng)度為1.01im12pm。全文摘要本發(fā)明提供一種樹(shù)脂制薄膜的制造方法。在該制造方法中，在透明基板(3)上形成黑底(10)，在其上以與其部分重疊的方式形成微型濾色片(12)。調(diào)節(jié)黑底(10)的剖面形狀，以避免在兩者的重疊部分產(chǎn)生較大的突起，并防止在黑底的端緣遮光性劣化或膜剝落。為了進(jìn)行該調(diào)節(jié)，設(shè)定預(yù)烘培溫度以及圖案曝光后的顯影處理?xiàng)l件，以使在后烘培前的薄膜材料層形成具有適宜的進(jìn)深長(zhǎng)度的底切部分。本發(fā)明的樹(shù)脂制薄膜的制造方法提高液晶用濾色片的制造效率，提高成品率。文檔編號(hào)G03F7/20GK101387713SQ20081021286公開(kāi)日2009年3月18日申請(qǐng)日期2008年9月10日優(yōu)先權(quán)日2007年9月10日發(fā)明者黑木信宏申請(qǐng)人:富士膠片株式會(huì)社