專利名稱：一種全息光柵顯影過程實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電路的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于光電檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域中涉及的一種全息光柵顯影監(jiān)測(cè)電路。
技術(shù)背景-
由于全息光柵具有獨(dú)特的色散特性，在光譜儀器、測(cè)量、光學(xué)信息處 理和通訊等諸多領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。傳統(tǒng)的全息光柵制作方法需要進(jìn)行 大量的工藝實(shí)驗(yàn)研究，通過反復(fù)校正工藝參數(shù)以獲得最佳的工藝條件。全 息光柵的制作過程包括基底處理、涂膠、前烘、全息曝光、顯影、后烘、 熱熔、離子束刻蝕、清潔處理、鍍膜。其中顯影是全息光柵制作過程中重 要的一個(gè)環(huán)節(jié)。顯影就是將經(jīng)過全息曝光后的基底放入到顯影液中，基底 上面的膠按曝光的程度溶解于顯影液中，曝光越強(qiáng)的溶解得越快，反之就 越慢。隨著時(shí)間的延長，經(jīng)過曝光的明條紋部分首先溶解到顯影液中，隨 后未經(jīng)過曝光的暗條紋部分也會(huì)逐漸溶解到顯影液中。因此，顯影時(shí)間的 長短直接決定了基底上面膠層掩膜的厚度及形狀，只有合適的顯影程度才 能得到合適的掩膜，才能進(jìn)一步通過離子束刻蝕得到期望的全息光柵槽型。 因此顯影過程的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備對(duì)于全息光柵的制作是十分必要的。
傳統(tǒng)的全息光柵制作過程中，顯影的程度是通過顯影的時(shí)間長短來控 制的。但是基底的狀況并不完全相同，每塊基底的膠層厚度、曝光程度都 不相同，所以導(dǎo)致通過顯影時(shí)間的長短來控制的顯影程度與期望之間有很 大差距。因此需要對(duì)顯影過程進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)以獲得最佳的顯影量。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，精確控制顯影過程，以獲得最佳的顯影量，得到最 佳的全息光柵槽型。
本發(fā)明要解決的問題是提供一種全息光柵顯影過程實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電路。解 決技術(shù)問題的方案如圖l所示，包括光電池l、前置放大器2、輸出調(diào)零放 大器3、濾波放大器4、 A/D轉(zhuǎn)換器5，單片機(jī)6、串行接口電路7。光電池l的 輸出端與前置放大器2的輸入端連接，前置放大器2的輸出端與輸出調(diào)零放大器3的輸入端連接，輸出調(diào)零放大器3的輸出端與濾波放大器4的輸入端連 接，濾波放大器4的輸出端與A/D轉(zhuǎn)換器5的輸入端連接，A/D轉(zhuǎn)換器5的輸出 端與單片機(jī)6的輸入端連接，單片機(jī)6的輸出端與串行接口電路7的輸入端連 接，串行接口電路7的輸出端為整個(gè)電路的輸出端口，與兼容UART232接口 的計(jì)算機(jī)連接，提供顯示功能。
光電池l接收外部的潛像光柵的衍射光，光電池l通過光電轉(zhuǎn)換將照射到 光電池l表面的衍射光強(qiáng)度信號(hào)轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)，該電壓信號(hào)既包含毛胚曝 光的程度信息，隨著曝光的程度變化，這個(gè)電壓信號(hào)也會(huì)發(fā)生相應(yīng)的強(qiáng)弱 變化；將該信號(hào)送入前置放大器2，信號(hào)被初步放大后傳送到輸出調(diào)零放大 器3，在顯影過程中，當(dāng)本地輸出不為零時(shí)，經(jīng)過調(diào)零使系統(tǒng)的輸出為零； 信號(hào)繼續(xù)傳送到濾波放大器4，濾除信號(hào)中的噪聲，提高信號(hào)的信噪比，信 號(hào)傳送到A/D轉(zhuǎn)換器5，將模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)，送入單片機(jī)6，單片機(jī) 6再將得到的數(shù)據(jù)通過串行接口電路7發(fā)送到本電路外部的計(jì)算機(jī)中進(jìn)行顯 示。
本發(fā)明的積極效果記錄并顯示經(jīng)過曝光的毛胚在顯影過程中衍射光光 強(qiáng)度發(fā)生的變化。解決了以往通過時(shí)間估算顯影量，而造成顯影過量或顯 影不足的問題。減少了全息光柵制作過程中顯影試驗(yàn)次數(shù)，提高了顯影過 程的成功率。


圖l是本發(fā)明的電路原理結(jié)構(gòu)框圖。
圖2是按本發(fā)明電路原理框圖，具體實(shí)施的電路結(jié)構(gòu)示意圖。 具體實(shí)施方案
本發(fā)明按圖1和圖2所示的電路結(jié)構(gòu)示意圖實(shí)施，其中 光電池1采用2DU10芯片；
前置放大器2、輸出調(diào)零放大器3、濾波放大器4均采用采用microchip公 司生產(chǎn)的mcp604組成；
A/D轉(zhuǎn)換器5采用tlc2543芯片；
單片機(jī)6采用的89C2051;
串行接口電路7采用的max3232組成。
權(quán)利要求
1、一種全息光柵顯影過程實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電路，其特征在于包括光電池(1)、前置放大器(2)、輸出調(diào)零放大器(3)、濾波放大器(4)、A/D轉(zhuǎn)換器(5)，單片機(jī)(6)、串行接口電路(7)。光電池(1)的輸出端與前置放大器(2)的輸入端連接，前置放大器(2)的輸出端與輸出調(diào)零放大器(3)的輸入端連接，輸出調(diào)零放大器(3)的輸出端與濾波放大器(4)的輸入端連接，濾波放大器(4)的輸出端與A/D轉(zhuǎn)換器(5)的輸入端連接，A/D轉(zhuǎn)換器(5)的輸出端與單片機(jī)(6)的輸入端連接，單片機(jī)(6)的輸出端與串行接口電路(7)的輸入端連接，串行接口電路(7)的輸出端為整個(gè)電路的輸出端口，與兼容UART232接口的計(jì)算機(jī)連接。
全文摘要
一種全息光柵顯影過程實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電路，屬于光電檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域中涉及的一種全息光柵顯影監(jiān)測(cè)電路。要解決的技術(shù)問題是提供一種全息光柵顯影過程實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電路。解決技術(shù)問題的方案包括光電池、前置放大器、輸出調(diào)零放大器、濾波放大器、A/D轉(zhuǎn)換器，單片機(jī)、串行接口電路。光電池的輸出端與前置放大器的輸入端連接，前置放大器的輸出端與輸出調(diào)零放大器的輸入端連接，輸出調(diào)零放大器的輸出端與濾波放大器的輸入端連接，濾波放大器的輸出端與A/D轉(zhuǎn)換器的輸入端連接，A/D轉(zhuǎn)換器的輸出端與單片機(jī)的輸入端連接，單片機(jī)的輸出端與串行接口電路的輸入端連接，串行接口電路的輸出端為整個(gè)電路的輸出端口，與兼容UART232接口的計(jì)算機(jī)連接，提供顯示功能。
文檔編號(hào)G03F7/30GK101441287SQ20081018761
公開日2009年5月27日 申請(qǐng)日期2008年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月29日
發(fā)明者于宏柱, 唐玉國, 李文昊 申請(qǐng)人:中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所