專利名稱：：感光性樹脂組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物，更詳細(xì)地說，本發(fā)明涉及一種感光性樹脂組合物，該感光性樹脂組合物能夠?qū)崿F(xiàn)在顯影后的平整度、分辨率、耐熱性、透過率等性能優(yōu)異的有機(jī)絕緣膜，特別是能夠?qū)崿F(xiàn)靈敏度高的有機(jī)絕緣膜，由此通過縮短工序時(shí)間而能夠提高生產(chǎn)率，不僅如此，同時(shí)該感光性樹脂組合物能夠使膜柔軟而提高其耐沖擊性。
背景技術(shù)：
：在TFT型液晶顯示元件和集成電路元件中使用有機(jī)絕緣膜以使配置于層間的配線之間絕緣。最近，由于顯示屏市場(chǎng)的擴(kuò)大而迫切要求提高生產(chǎn)率和降低成本?，F(xiàn)在應(yīng)用于顯示屏制造工序的有機(jī)絕緣膜在提高數(shù)值孔徑等各方面是有利的，但工序時(shí)間長(zhǎng)、靈敏度低這樣的缺點(diǎn)一直被視為問題。因而，實(shí)際情況是更加需要對(duì)用于顯示屏工序的高靈敏度的有機(jī)絕緣膜進(jìn)行開發(fā)研究。
發(fā)明內(nèi)容為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)問題，本發(fā)明的目的在于提供一種感光性樹脂組合物，該感光性樹脂組合物能夠?qū)崿F(xiàn)顯影后的平整度、分辨率、耐熱性、透過率等性能優(yōu)異的有機(jī)絕緣膜，特別是能夠?qū)崿F(xiàn)靈敏度高的有機(jī)絕緣膜，由此通過縮短工序時(shí)間而能夠提高生產(chǎn)率，不僅如此，同時(shí)該感光性樹脂組合物能夠使膜柔軟而提高其耐沖擊性。此外，本發(fā)明的目的在于提供一種顯示屏圖案形成方法和包含上述感光性樹脂組合物的固化物作為有機(jī)絕緣膜的顯示屏，其中在所述顯示屏圖案形成方法中，利用上述感光性樹脂組合物能夠?qū)崿F(xiàn)顯影后的平整度、分辨率、耐熱性、透過率等性能優(yōu)異的有機(jī)絕緣膜，特別是能夠?qū)崿F(xiàn)靈敏度高的有機(jī)絕緣膜，由此通過縮短工序時(shí)間而能夠提高生產(chǎn)率。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物，其特征在于，在感光性樹脂組合物中包含0.1重量％10重量％的選自由鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二異壬酯、己二酸二辛酯、磷酸三甲苯酯以及2，2，4-三甲基-1,3-戊二醇單異丁酸酯組成的組中的一種以上的化合物作為靈敏度增強(qiáng)劑。此外，本發(fā)明提供利用了上述感光性樹脂組合物的顯示屏圖案形成方法。此外，本發(fā)明提供包含上述感光性樹脂組合物的固化物作為有機(jī)絕緣膜的顯示屏。本發(fā)明的感光性樹脂組合物能夠?qū)崿F(xiàn)顯影后的平整度、分辨率、耐熱性、透過率等性能優(yōu)異的有機(jī)絕緣膜，特別是能夠?qū)崿F(xiàn)靈敏度高的有機(jī)絕緣膜，由此通過縮短工序時(shí)間而能夠提高生產(chǎn)率，不僅如此，同時(shí)該感光性樹脂組合物能夠使膜柔軟而提高耐沖擊性。具體實(shí)施例方式下面，詳細(xì)說明本發(fā)明本發(fā)明人為了增強(qiáng)有機(jī)絕緣膜的靈敏度而進(jìn)行了研究，在研究期間確認(rèn)了如下內(nèi)容，從而完成了本發(fā)明使有機(jī)絕緣膜用感光性樹脂組合物包含選自由鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二異壬酯、己二酸二辛酯、磷酸三甲苯酯以及2,2，4-三甲基-l，3-戊二醇單異丁酸酯組成的組中的一種以上的化合物作為靈敏度增強(qiáng)劑時(shí)，有機(jī)絕緣膜的靈敏度顯著增加，顯影后的平整度、分辨率、耐熱性、透過率等性能優(yōu)異，同時(shí)能夠使膜柔軟而提高耐沖擊性。本發(fā)明的感光性樹脂組合物的特征在于，其包含O.l重量％10重量％的選自由鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二異壬酯、己二酸二辛酯、磷酸三甲苯酯以及2,2，4-三甲基-l，3-戊二醇單異丁酸酯組成的組中的一種以上的化合物作為靈敏度增強(qiáng)劑。上述鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二異壬酯、己二酸二辛酯、磷酸三甲苯酯以及2，2，4-三甲基-l，3-戊二醇單異丁酸酯以往用作增塑劑或溶劑，但是在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中起到靈敏度增強(qiáng)劑的作用，優(yōu)選的是，以使用2，2，4-三甲基-l，3-戊二醇單異丁酸酯為宜。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中含有0.1重量。％10重量％所述靈敏度增強(qiáng)劑，當(dāng)所述靈敏度增強(qiáng)劑的含量小于0.1重量％時(shí)，靈敏度降低，難以期待通過縮短工序時(shí)間來提高生產(chǎn)率；當(dāng)所述靈敏度增強(qiáng)劑的含量大于10重量％時(shí)，會(huì)有耐熱性降低，成本上升這樣的問題。優(yōu)選的是，以在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中含有2重量％10重量％所述靈敏度增強(qiáng)劑為宜，所述靈敏度增強(qiáng)劑在所述范圍內(nèi)時(shí)，不僅在靈敏度方面能夠令人滿意，而且在平整度、分辨率、耐熱性、透過率、耐沖擊性方面也能同時(shí)令人滿意。優(yōu)選的是，本發(fā)明的感光性樹脂組合物由a)5重量％40重量％丙烯酸系共聚物；b)1重量％20重量％的1，2-醌二疊氮-5-磺酸酯化合物；c)O.l重量％10重量％的上述靈敏度增強(qiáng)劑；和d)余量的溶劑構(gòu)成。上述a)丙烯酸系共聚物起到的作用是，能夠容易地形成顯影時(shí)未產(chǎn)生膜渣(scum)的預(yù)定圖案。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，上述a)丙烯酸系共聚物的含量以5重量％40重量Q/^為宜。當(dāng)該含量在所述范圍內(nèi)時(shí)，不僅在靈敏度方面能夠令人滿意，而且在平整度、分辨率、耐熱性、透過率、耐沖擊性也能同時(shí)令人滿意。作為一個(gè)具體實(shí)例，上述a)丙烯酸系共聚物可如下得到以i)不飽和羧酸或其酸酐、ii)含有環(huán)氧基的不飽和化合物以及iii)烯烴系不飽和化合物為單體，在溶劑和聚合引發(fā)劑的存在下進(jìn)行自由基反應(yīng)，然后，通過沉淀和過濾并經(jīng)真空干燥(VacuumDrying)工序來除去未反應(yīng)單體，得到所述a)丙烯酸系共聚物。作為本發(fā)明所使用的上述a)中i)不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或它們的混合物，可以單獨(dú)使用或混合兩種以上使用如下物質(zhì)丙烯酸、甲基丙烯酸等不飽和一元羧酸；馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸(乂夕->酸)、衣康酸等不飽和二元羧酸；或這些不飽和二元羧酸的酸酐等，特別是從共聚反應(yīng)性和在作為顯影液的堿性水溶液中的溶解性方面出發(fā)，更優(yōu)選使用丙烯酸、甲基丙烯酸或者馬來酸酐。優(yōu)選在所有單體中包含15重量份45重量份上述不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或它們的混合物。其含量在所述范圍內(nèi)時(shí)，在堿性水溶液中的溶解性是最理想的。作為本發(fā)明所使用的上述a)中ii)含有環(huán)氧基的不飽和化合物，可以使用丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、a-乙基丙烯酸縮水甘油酯、a-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、a-正丁基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸-p-甲基縮水甘油酯、甲基丙烯酸-|3-甲基縮水甘油酯、丙烯酸-|3-乙基縮水甘油酯、甲基丙烯酸-|3-乙基縮水甘油酯、丙烯酸-3，4-環(huán)氧丁酯、甲基丙烯酸-3，4-環(huán)氧丁酯、丙烯酸-6,7-環(huán)氧庚酯、甲基丙烯酸-6，7-環(huán)氧庚酯、oc-乙基丙烯酸-6,7-環(huán)氧庚酯、鄰乙烯基芐基縮水甘油醚、間乙烯基芐基縮水甘油醚或?qū)σ蚁┗S基縮水甘油醚、甲基丙烯酸-3,4-環(huán)氧環(huán)己酯等，并可以單獨(dú)使用所述化合物或者混合兩種以上所述化合物來使用。特別是，從提高共聚反應(yīng)性和所得到的圖案的耐熱性的角度出發(fā)，作為上述含有環(huán)氧基的不飽和化合物，更優(yōu)選使用甲基丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸-|3-甲基縮水甘油酯、甲基丙烯酸-6，7-環(huán)氧庚酯、鄰乙烯基芐基縮水甘油醚、間乙烯基芐基縮水甘油醚或者對(duì)乙烯基芐基縮水甘油醚、甲基丙烯酸-3，4-環(huán)氧環(huán)己酯等。優(yōu)選在所有單體中包含15重量份45重量份上述含有環(huán)氧基的不飽和化合物。所述含有環(huán)氧基的不飽和化合物的含量在所述范圍內(nèi)時(shí)，可以同時(shí)使有機(jī)絕緣膜的耐熱性和感光性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性令人滿意o作為本發(fā)明所使用的上述a)中iii)烯烴系不飽和化合物，可以使用甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸異丙酯、甲基丙烯酸環(huán)己酯、甲基丙烯酸-2-甲基環(huán)己酯、丙烯酸二環(huán)戊烯基酯、丙烯酸二環(huán)戊酯、甲基丙烯酸二環(huán)戊烯基酯、甲基丙烯酸二環(huán)戊酯、丙烯酸-l-金剛垸基酯、甲基丙烯酸-1-金剛垸基酯、甲基丙烯酸二環(huán)戊基氧基乙酯、甲基丙烯酸異冰片酯、丙烯酸環(huán)己酯、丙烯酸2-甲基環(huán)己酯、丙烯酸二環(huán)戊基氧基乙酯、丙烯酸異冰片酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸芐酯、甲基丙烯酸-2-羥乙酯、苯乙烯、鄰甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對(duì)甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對(duì)甲氧基苯乙烯、1,3-'丁二烯、異戊二烯或者2，3-二甲基-l,3-丁二烯等，并可以單獨(dú)使用所述化合物或者混合兩種以上來使用。特別是從共聚反應(yīng)性和在作為顯影液的堿性水溶液中的溶解性方面出發(fā)，作為上述烯烴系不飽和化合物，更優(yōu)選使用苯乙烯、甲基丙烯酸二環(huán)戊酯或者對(duì)甲氧基苯乙烯。優(yōu)選在所有單體中包含25重量份70重量份上述烯烴系不飽和化合物，進(jìn)一步優(yōu)選包含25重量份45重量份上述烯烴系不飽和化合物。所述烯烴系不飽和化合物的含量在所述范圍內(nèi)時(shí)，能夠使顯影后不發(fā)生膨脹，并且能夠理想地維持在作為顯影液的堿性水溶液中的溶解性。作為用于使如上所述的單體進(jìn)行溶液聚合(solutionpolymerization)而使用的溶劑，可以使用甲醇、四氫呋喃、甲苯、二氧六環(huán)等。對(duì)于用于使如上所述的單體進(jìn)行溶液聚合而使用的聚合引發(fā)劑，可以使用自由基聚合引發(fā)劑，具體地說，可以使用2，2-偶氮二異丁腈、2,2-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、2,2-偶氮二(4-甲氧基-2，4-二甲基戊腈)、l，l-偶氮二(環(huán)己烷-1-甲腈)或者二甲基-2，2，-偶氮二異丁酸酯等。使如上所述的單體在溶劑和聚合引發(fā)劑的存在下發(fā)生自由基反應(yīng)，通過沉淀和過濾以及真空干燥工序除去未反應(yīng)單體，從而得到a)丙烯酸系共聚物，優(yōu)選所述a)丙烯酸系共聚物的聚苯乙烯換算重均分子量(Mw)為5，00020,000。上述聚苯乙烯換算重均分子量小于5，000時(shí)，有機(jī)絕緣膜存在顯影性、殘膜率等可能會(huì)降低，或者圖案顯影、耐熱性等可能會(huì)劣化這樣的問題，所述聚苯乙烯換算重均分子量大于20,000時(shí)，有機(jī)絕緣膜存在靈敏度可能會(huì)降低，或者圖案顯影可能會(huì)劣化這樣的問題。此外，本發(fā)明所使用的上述b)l,2-醌二疊氮-5-磺酸酯化合物可以通過在弱堿下使萘醌二疊氮磺酰鹵化合物和酚化合物反應(yīng)來制造。作為上述酚化合物，可以使用2，3，4-三羥基二苯甲酮、2，4，6-三羥基二苯甲酮、2,2'-二羥基二苯甲酮、4,4'-二羥基二苯甲酮、2,3,4,3，-四羥基二苯甲酮、2,3,4,4，-四羥基二苯甲酮、2，3，4，2，-四羥基-4'-甲基二苯甲酮、2，3，4，4，-四|5基-3，-甲氧基二苯甲酮、2,3，4,2，-四|5基二苯甲酮、2,3，4，6，畫四羥基二苯甲酮、2，4,6,3'-四羥基二苯甲酮、2，4，6，4'-四羥基二苯甲酮、2,4，6，5'-四羥基二苯甲酮、3，4，5,3'-四羥基二苯甲酮、3，4，5,4，-四羥基二苯甲酮、3，4，5,5，-四羥基二苯甲酮、雙(2，4-二羥基苯基)甲烷、雙(對(duì)羥基苯基)甲烷、三(對(duì)羥基苯基)甲院、l，l，l-三(對(duì)羥基苯基)乙烷、雙(2，3，4-三羥基苯基)甲垸、2，2-雙(2,3，4-三羥基苯基)丙烷、1，1,3-三(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-3-苯基丙垸、4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚或者雙(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷等，并可以單獨(dú)使用所述化合物或者混合兩種以上來使用。利用如上所述的酚化合物和萘醌二疊氮磺酰鹵化合物合成醌二疊氮化合物時(shí)，酯化度優(yōu)選為50%85%。當(dāng)酯化度在所述范圍內(nèi)時(shí)，顯示出殘膜率和穩(wěn)定性同時(shí)優(yōu)異的效果。優(yōu)選在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中包含1重量％20重量％上述b)l，2-醌二疊氮-5-磺酸酯化合物。所述b)l，2-醌二疊氮-5-磺酸酯化合物的含量在所述范圍內(nèi)時(shí)，具有如下優(yōu)點(diǎn)容易形成圖案，在作為顯影液的堿性水溶液中的溶解度是理想的。本發(fā)明所使用的上述c)靈敏度增強(qiáng)劑如以上記載。此外，本發(fā)明所使用的上述d)溶劑使有機(jī)絕緣膜平整并使其不發(fā)生涂布沾污(3—r—乂7'染^)，以及形成均勻的圖案輪廓(Pattemprofile)。上述溶劑包括甲醇、乙醇、苯甲醇、己醇等醇類；乙二醇甲醚乙酸酯、乙二醇乙醚乙酸酯等乙二醇垸基醚乙酸酯類；乙二醇甲醚丙酸酯、乙二醇乙醚丙酸酯等乙二醇烷基醚丙酸酯類；乙二醇甲醚、乙二醇乙醚等乙二醇單烷基醚類；二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚等二乙二醇烷基醚類；丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇乙醚乙酸酯、丙二醇丙醚乙酸酯等丙二醇烷基醚乙酸酯類；丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯等丙二醇烷基醚丙酸酯類；丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、丙二醇丙醚、丙二醇丁醚等丙二醇單垸基醚類；二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚等二丙二醇垸基醚類；丁二醇單甲醚、丁二醇單乙醚等丁二醇單烷基醚類；二丁二醇二甲醚、二丁二醇二乙醚等二丁二醇烷基醚類等。上述溶劑的含量為全部感光性樹脂組合物的余量，優(yōu)選包含50重量％90重量％所述溶劑。當(dāng)上述溶劑的含量在所述范圍內(nèi)時(shí)，能夠同時(shí)使感光性樹脂組合物的涂布性和穩(wěn)定性得到提高。包含上述組分的本發(fā)明的感光性樹脂組合物必要時(shí)可以進(jìn)一步包含e)環(huán)氧樹脂、f)粘結(jié)劑、g)丙烯酸類化合物以及h)表面活性劑。上述e)環(huán)氧樹脂起到提高由感光性樹脂組合物得到的圖案的耐熱性、靈敏度等的作用。作為上述環(huán)氧樹脂，可以使用雙酚A型環(huán)氧樹脂、線型酚醛型環(huán)氧樹脂、甲酚線型酚醛型環(huán)氧樹脂、環(huán)狀脂肪族環(huán)氧樹脂、縮水甘油酯型環(huán)氧樹脂、縮水甘油胺型環(huán)氧樹脂、雜環(huán)型環(huán)氧樹脂或者可以使用將與a)丙烯酸系共聚物不同的甲基丙烯酸縮水甘油酯(共)聚合得到的樹脂等，特別優(yōu)選使用雙酚A型環(huán)氧樹脂、甲酚線型酚醛型環(huán)氧樹脂或者縮水甘油酯型環(huán)氧樹脂。優(yōu)選在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中包含0.01重量。％10重量％上述環(huán)氧樹脂，所述環(huán)氧樹脂的含量在所述范圍內(nèi)時(shí)，能夠提高涂布性和粘結(jié)性。此外，上述f)粘結(jié)劑起到提高與基板的粘結(jié)性的作用，優(yōu)選在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中包含0.01重量％10重量％所述f)粘結(jié)劑。作為上述粘結(jié)劑，可以使用具有羧基、甲基丙烯?；?、異氰酸酯基或者環(huán)氧基等這樣的反應(yīng)性取代基的硅垸偶合劑等。具體地說，可以使用，甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙酰氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、，異氰酸酯丙基三乙氧基硅垸、Y-(2,3-環(huán)氧丙氧基)丙基三甲氧基硅垸或者(3-(3，4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷等。此外，上述g)丙烯酸類化合物起到提高由感光性樹脂組合物得到的圖案的透過率、耐熱性、靈敏度等的作用。優(yōu)選的是，上述丙烯酸類化合物為以如下化學(xué)式1表示的化合物為宜。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage11</formula>(化學(xué)式1)在上述化學(xué)式1中，R為氫原子、碳原子數(shù)為15的烷基、碳原子數(shù)為15的垸氧基或者碳原子數(shù)為15的烷?；琹<a<6，a+b=6。優(yōu)選在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中包含0.01重量份10重量份上述丙烯酸類化合物，進(jìn)一步優(yōu)選包含0.1重量％5重量％上述丙烯酸類化合物。所述丙烯酸類化合物的含量在所述范圍內(nèi)時(shí)，在提高圖案的透過率、耐熱性、靈敏度等方面更好。此外，上述h)表面活性劑起到提高感光性組合物的涂布性和顯影性的作用。作為上述表面活性劑，可以使用聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、F171、F172、F173(商品名大日本油墨社)、FC430、FC431(商品名住友3M社)、或KP341(商品名信越化學(xué)工業(yè)社)等。優(yōu)選在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中包含0.0001重量％2重量％上述表面活性劑，所述表面活性劑的含量在所述范圍內(nèi)時(shí)，在提高感光性組合物的涂布性和顯影性方面更好。包含上述組分的本發(fā)明的感光性樹脂組合物的固體成分濃度優(yōu)選為10重量％50重量％,具有所述濃度范圍的固體成分的組合物在利用0.1|im0.2fim的微孔過濾器等過濾后進(jìn)行使用為宜。此外，本發(fā)明提供利用了上述感光性樹脂組合物的顯示屏圖案形成方法和包含所述感光性樹脂組合物的固化物作為有機(jī)絕緣膜的顯示屏。本發(fā)明的在顯示屏工序中形成圖案的方法是將感光性樹脂組合物制成有機(jī)絕緣膜之后來形成圖案，以在顯示屏工序中形成圖案的方法，該方法的特征在于，使用所述感光性樹脂組合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage11</formula>具體地說，利用上述感光性樹脂組合物在顯示屏工序中形成圖案的方法如下。首先，利用噴霧法、輥涂法、旋轉(zhuǎn)涂布法等將本發(fā)明的感光性樹脂組合物涂布到基板表面上，通過預(yù)烘干除去溶劑，形成涂布膜。此時(shí)，優(yōu)選上述預(yù)烘干在80。C115。C的溫度實(shí)施1分鐘15分鐘。其后，利用預(yù)先準(zhǔn)備好的圖案并使可見光線、紫外線、遠(yuǎn)紫外線、電子射線、x射線等照射到上述形成的涂布膜上，用顯影液進(jìn)行顯影，除去不需要的部分，由此形成預(yù)定的圖案。上述顯影液以使用堿性水溶液為宜，具體地說，可以使用氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉等無機(jī)堿類；乙胺、正丙胺等伯胺類；二乙胺、二正丙胺等仲胺類；三甲胺、甲基二乙胺、二甲基乙胺、三乙胺等叔胺類；二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺、三乙醇胺等醇胺類；或四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨等季銨鹽的水溶液等。此時(shí)，作為上述顯影液，可以使用以0.1重量％10重量％的濃度使堿性化合物溶解而成的顯影液，也可以添加適量的如甲醇、乙醇等水溶性有機(jī)溶劑和表面活性劑。此外，利用如上所述的顯影液進(jìn)行顯影后，利用超純水清洗30秒90秒，除去不需要的部分，進(jìn)行干燥，形成圖案，并對(duì)所述形成的圖案照射紫外線等光后，利用烘箱等加熱裝置在15(TC25(TC的溫度對(duì)圖案進(jìn)行3090分鐘的加熱處理，從而能夠得到最終圖案。本發(fā)明的感光性樹脂組合物能夠?qū)崿F(xiàn)顯影后的平整度、分辨率、耐熱性、透過率等性能優(yōu)異的有機(jī)絕緣膜，特別是能夠?qū)崿F(xiàn)靈敏度高的有機(jī)絕緣膜，由此通過縮短工序時(shí)間而能夠提高生產(chǎn)率，不僅如此，同時(shí)該感光性樹脂組合物能夠使膜柔軟而提高耐沖擊性。下面，為了理解本發(fā)明，給出優(yōu)選的實(shí)施例，但是下述實(shí)施例只不過是例示本發(fā)明，本發(fā)明的范圍并不限于下述實(shí)施例。實(shí)施例實(shí)施例1(丙烯酸系共聚物的制造)在備有冷凝管和攪拌機(jī)的燒瓶中放入10重量份2,2'-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、400重量份四氫呋喃、30重量份甲基丙烯酸、45重量份甲基丙烯酸縮水甘油酯、25重量份苯乙烯，進(jìn)行氮?dú)庵脫Q后，緩慢進(jìn)行攪拌。將所述反應(yīng)溶液升溫到62°C，維持該溫度IO小時(shí)，同時(shí)進(jìn)行自由基反應(yīng)，從而制造出聚合物溶液。為了除去聚合物溶液中的未反應(yīng)單體，使IO重量份上述聚合物溶液在lOO重量份正己垸(n-Hexane)中沉淀。沉淀后，通過利用篩網(wǎng)(Mesh)的過濾(Filtering)工序除去溶解有未反應(yīng)物的不良溶齊lJ(PoorSolvent)。其后，為了除去在過濾工序后還殘留的包含著未反應(yīng)單體的溶劑(Solvent)，在3(TC以下通過真空干燥，來完全除去未反應(yīng)單體，從而制造出丙烯酸系共聚物。上述丙烯酸系共聚物的重均分子量為IO，OOO。該重均分子量為使用GPC測(cè)定得到的聚苯乙烯換算平均分子量。(1,2-醌二疊氮化合物的制造)使1摩爾的4，4，-[l-[4-[l-[4-羥基苯基]-l-甲基乙基]苯萄亞乙基]雙酚和2摩爾的1,2-萘醌二疊氮-5-磺酰氯發(fā)生縮合反應(yīng)，從而制造出4，4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯。(感光性樹脂組合物的制造)將15重量％上述制造的丙烯酸系共聚物、4重量％的4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-l-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚-l,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯以及3重量％鄰苯二甲酸二辛酯混合。使所述混合物溶解在二乙二醇二甲醚中至所述混合物的固體成分含量達(dá)到20重量％，然后利用0.2pm的微孔過濾器進(jìn)行過濾，從而制造出感光性樹脂組合物。實(shí)施例2如上述實(shí)施例1，其中，在制造感光性樹脂組合物時(shí)使用己二酸二辛酯代替鄰苯二甲酸二辛酯，除此以外，利用與上述實(shí)施例1相同的方法實(shí)施，制造出感光性樹脂組合物。實(shí)施例3如上述實(shí)施例1，其中，在制造感光性樹脂組合物時(shí)使用磷酸三甲苯酯代替鄰苯二甲酸二辛酯，除此以外，利用與上述實(shí)施例1相同的方法實(shí)施，制造出感光性樹脂組合物。實(shí)施例4如上述實(shí)施例l，其中，在制造感光性樹脂組合物時(shí)使用2,2，4-三甲基-l，3-戊二醇單異丁酸酯代替鄰苯二甲酸二辛酯，除此以外，利用與上述實(shí)施例1相同的方法實(shí)施，制造出感光性樹脂組合物。比較例1如上述實(shí)施例1，其中，在制造感光性樹脂組合物時(shí)不使用鄰苯二甲酸二辛酯，除此以外，利用與上述實(shí)施例1相同的方法實(shí)施，制造出感光性樹脂組合物。比較例2如上述實(shí)施例l，其中，在制造感光性樹脂組合物時(shí)使用15重量％鄰苯二甲酸二辛酯，除此以外，利用與上述實(shí)施例1相同的方法實(shí)施，制造出感光性樹脂組合物。對(duì)上述實(shí)施例14和比較例12的感光性樹脂組合物的物理性質(zhì)進(jìn)行如下測(cè)定，并列于下表l。使用旋轉(zhuǎn)涂布儀，將在上述實(shí)施例14和比較例12中制造的感光性樹脂組合物涂布在玻璃(glass)基板上，然后，在加熱板上于90。C對(duì)其預(yù)烘干2分鐘，形成厚度為3.0的膜。I)顯影后的平整度——使用橢圓計(jì)(Ellipsometer)來測(cè)定如上形成的膜在顯影后的平整度(unifomiity)。此時(shí)，基于整個(gè)基板，平整度大于95%時(shí)以〇表示，平整度為卯％95%時(shí)以^表示，平整度小于90%時(shí)以X表示。II)靈敏度——使用預(yù)定的圖案掩模(Pattemmask)，以靈敏度為10pm行間隔(line&space)1:1CD基準(zhǔn)照射量(Dose)，向上述I)中形成的膜照射435nm的強(qiáng)度為20mW/cm2的紫外線，然后用2.38重量％四甲基氫氧化銨的水溶液于23'C顯影1分鐘，隨后利用超純水清洗1分鐘。其后，對(duì)上述顯影得到的圖案照射500mJ/cm2的強(qiáng)度為20mW/cm2的435nm紫外線，在烘箱中于230°C固化60分鐘，從而得到圖案膜。III)分辨率——以上述II)的靈敏度測(cè)定時(shí)形成的圖案膜的最小尺寸進(jìn)行測(cè)定。iv)耐熱性——測(cè)定上述n)的靈敏度測(cè)定時(shí)形成的圖案膜的上、下和左、右的寬度。此時(shí)，以中烘焙(middlebake)前為基準(zhǔn)，角的變化率為0%20%時(shí)以〇表示，角的變化率為20。/。40。/。時(shí)以A表示，角的變化率超過40%時(shí)以乂表示。V)透過率——透過率的評(píng)價(jià)是使用分光光度計(jì)測(cè)定圖案膜在400nm下的透過率而進(jìn)行的。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>由上述表1可確認(rèn)到，與比較例1相比較，根據(jù)本發(fā)明在實(shí)施例l4中制造的感光性樹脂組合物在顯影后的平整度、分辨率、耐熱性、透過率均優(yōu)異，靈敏度是優(yōu)異的，通過縮短工序時(shí)間能夠提高生產(chǎn)率，特別是能夠確認(rèn)到在實(shí)施例4的情況中靈敏度非常優(yōu)異。此外能夠確認(rèn)到，在靈敏度增強(qiáng)劑過多使用的比較例2的情況中，靈敏度優(yōu)異，但耐熱性下降，因此難以適用于有機(jī)絕緣膜。權(quán)利要求1.一種感光性樹脂組合物，其特征在于，在所述感光性樹脂組合物中含有0.1重量％～10重量％的選自由鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二異壬酯、己二酸二辛酯、磷酸三甲苯酯以及2，2，4-三甲基-1，3-戊二醇單異丁酸酯組成的組中的一種以上的化合物作為靈敏度增強(qiáng)劑。2.如權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述靈敏度增強(qiáng)劑為2,2，4-三甲基-1,3-戊二醇單異丁酸酯。3.如權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述感光性樹脂組合物含有a)10重量％40重量％的丙烯酸系共聚物；b)1重量％20重量％的1，2-醌二疊氮-5-磺酸酯化合物；c)0.1重量％10重量％的靈敏度增強(qiáng)劑，所述靈敏度增強(qiáng)劑選自由鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二異壬酯、己二酸二辛酯、磷酸三甲苯酯以及2,2，4-三甲基-l,3-戊二醇單異丁酸酯組成的組中的一種以上的化合物；和d)余量的溶劑。4.如權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述丙烯酸系共聚物的聚苯乙烯換算重均分子量為500020000，并且，所述丙烯酸系共聚物是對(duì)下述i)、ii)和iii)共聚得到的丙烯酸系共聚物進(jìn)行提純而得到的，i)15重量份45重量份不飽和羧酸或其酸酐;ii)15重量份45重量份含有環(huán)氧基的不飽和化合物；iii)25重量份70重量份烯烴系不飽和化合物。5.如權(quán)利要求l所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，作為形成所述b)l，2-醌二疊氮-5-磺酸酯化合物的基體的酚化合物，選自由2,3，4-三羥基二苯甲酮、2,4,6-三羥基二苯甲酮、2,2，-二羥基二苯甲酮、4，4，-二羥基二苯甲酮、2,3,4,3，-四羥基二苯甲酮、2,3,4,4，-四羥基二苯甲酮、2,3,4,2，-四羥基-4，-甲基二苯甲酮、2,3，4,4，-四羥基-3，-甲氧基二苯甲酮、2,3，4,2'-四羥基二苯甲酮、2,3,4，6'-四羥基二苯甲酮、2,4，6，3，-四羥基二苯甲酮、,2,4，6，4，-四羥基二苯甲酮、2，4，6，5，-四羥基二苯甲酮、3,4，5，3'-四羥基二苯甲酮、3，4,5，4，-四羥基二苯甲酮、3，4，5，5，-四羥基二苯甲酮、雙(2，4-二羥基苯基)甲垸、雙(對(duì)羥基苯基)甲烷、三(對(duì)羥基苯基)甲烷、l,l,l-三(對(duì)羥基苯基)乙烷、雙(2，3，4-三羥基苯基)甲烷、2,2-雙(2,3,4-三羥基苯基)丙垸、1，1,3-三(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-3-苯基丙烷、4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]_1_甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚以及雙(2,5_二甲基_4-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷組成的組中的一種以上的化合物。6.如權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，作為所述d)溶劑，選自由甲醇、乙醇、苯甲醇、己醇等醇類；乙二醇甲醚乙酸酯、乙二醇乙醚乙酸酯等乙二醇烷基醚乙酸酯類；乙二醇甲醚丙酸酯、乙二醇乙醚丙酸酯等乙二醇垸基醚丙酸酯類；乙二醇甲醚、乙二醇乙醚等乙二醇單垸基醚類；二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚等二乙二醇烷基醚類；丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇乙醚乙酸酯、丙二醇丙醚乙酸酯等丙二醇垸基醚乙酸酯類；丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯等丙二醇烷基醚丙酸酯類；丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、丙二醇丙醚、丙二醇丁醚等丙二醇單烷基醚類；二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚等二丙二醇垸基醚類；丁二醇單甲醚、丁二醇單乙醚等丁二醇單垸基醚類；以及二丁二醇二甲醚、二丁二醇二乙醚等二丁二醇烷基醚類組成的組中的一種以上的溶劑。7.如權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述感光性樹脂組合物進(jìn)一步含有選自由e)0.1重量份30重量份環(huán)氧樹脂、f)0.1重量份20重量份粘結(jié)劑、g)0.1重量份30重量份丙烯酸類化合物以及h)0.0001重量份2重量份表面活性劑組成的組中的一種以上的添加劑。8.如權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述感光性樹脂組合物用于形成顯示屏的有機(jī)絕緣膜。9.一種形成顯示屏圖案的方法，該方法利用權(quán)利要求18任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物。10.—種顯示屏，該顯示屏包含權(quán)利要求18任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物的固化物作為有機(jī)絕緣膜。全文摘要本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物，該感光性樹脂組合物能夠?qū)崿F(xiàn)顯影后的平整度、分辨率、耐熱性、透過率等性能優(yōu)異的有機(jī)絕緣膜，特別是能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度的有機(jī)絕緣膜，由此通過縮短工序時(shí)間而能夠提高生產(chǎn)率，不僅如此，同時(shí)該感光性樹脂組合物能夠使膜柔軟而提高耐沖擊性。本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物，特別是涉及一種感光性樹脂組合物，其特征在于，該感光性樹脂組合物包含0.1重量％～10重量％的選自由鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二異壬酯、己二酸二辛酯、磷酸三甲苯酯以及2，2，4-三甲基-1，3-戊二醇單異丁酸酯組成的組中的一種以上的化合物作為靈敏度增強(qiáng)劑。文檔編號(hào)G03F7/00GK101315521SQ20081010936公開日2008年12月3日申請(qǐng)日期2008年6月2日優(yōu)先權(quán)日2007年6月1日發(fā)明者丘冀赫,呂泰勛,尹柱豹,尹赫敏,崔守延,崔相角,李東赫,李浩真,申洪大,鄭大眾,金東明,金成卓,金柄郁申請(qǐng)人:東進(jìn)世美肯株式會(huì)社