專利名稱：：化學(xué)放大型抗蝕劑組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及化學(xué)放大型抗蝕劑組合物。技術(shù)背景用于采用光刻(lithography)法的半導(dǎo)體微型制造的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物含有酸生成劑，該酸生成劑包含通過(guò)輻照產(chǎn)生酸的化合物。在半導(dǎo)體微型制造中，適宜的是形成具有高分辨率和良好圖案形貌的圖案，并且期望化學(xué)放大型抗蝕劑組合物產(chǎn)生這樣的圖案。JP2003-005374Al公開(kāi)了一種化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，該化學(xué)放大型抗蝕劑組合物包含樹(shù)脂和酸生成劑，所述樹(shù)脂包含具有酸-不穩(wěn)定基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元和具有至少一種內(nèi)酯結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)單元，并且作為所述樹(shù)脂，公開(kāi)了含有下列結(jié)構(gòu)單元的樹(shù)脂
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供一種化學(xué)放大型抗蝕劑組合物。本發(fā)明涉及如下<1〉一種化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其包含:(A)樹(shù)脂，所述樹(shù)脂包含具有(a)酸-不穩(wěn)定基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元、(b)具有至少一個(gè)羥基的結(jié)構(gòu)單元、(c)具有至少一個(gè)內(nèi)酯結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)單元以及(d)由式(Ia)或(Ib)表示的結(jié)構(gòu)單元其中，R'表示氫原子或甲基，R"表示甲基，n表示0至14的整數(shù)，并且Z表示單鍵或-[CH2]k-C00-，以及(B)至少一種酸生成劑；<2>根據(jù)<1>的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中(a)所述具有酸-不穩(wěn)定基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元是由式(IIa)或(IIb)表示的結(jié)構(gòu)單元；其中，W表示氫原子或甲基，Z1表示單鍵或-(CH2》-COO-，r表示1至4的整數(shù)，W表示Cl-C8直鏈或支鏈烷基或C3-C10環(huán)烷基，R5表示甲基，m表示0至14的整數(shù)，R6表示Cl-C8直鏈或支鏈烷基或C3-C10環(huán)烷基，R"和RS各自獨(dú)立地表示氫原子或可以具有至少一個(gè)雜原子的C1-C8一價(jià)烴基，或者W和RS可以結(jié)合形成可以具有至少一個(gè)雜原子的Cl-C8二價(jià)烴基，所述C1-C8二價(jià)烴基與P7和R8鍵合的相鄰碳原子一起形成環(huán)，或者W和RS可以在R"鍵合的碳原子和118鍵合的碳原子之間結(jié)合形成碳-碳雙鍵，1表示1至3的整數(shù)；<3>根據(jù)<1>或<2>的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中(b)所述具有至少一個(gè)羥基的結(jié)構(gòu)單元是由式(m)表示的結(jié)構(gòu)單元其中，W表示氫原子或甲基，R"和R"各自獨(dú)立地表示氫原子、甲基或羥基，R12表示甲基，p表示O至12的整數(shù)，zS表示單鍵或-(CH2VCOO-，并且s表示1至4的整數(shù)；<4>根據(jù)<1>、<2>或<3>的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中(c)所述具有至少一個(gè)內(nèi)酯結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)單元是由式(IVa)、(IVb)或(IVc)表示的結(jié)構(gòu)單元其中，1113表示氫原子或甲基，R"表示甲基，x表示0至5的整數(shù)，R"表示C1-C4烴基、羧基或氰基，y表示0至3的整數(shù)，R"表示C1-C4烴基、羧基或氰基，z表示0至3的整數(shù)，并且當(dāng)y為2或3時(shí)，R"可以彼此相同或不同，而當(dāng)z為2或3時(shí)，R"可以彼此相同或不同；<5>根據(jù)<1>至<4>中任一項(xiàng)的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中所述酸生成劑為鎗鹽化合物、有機(jī)-鹵素化合物、砜化合物或磺酸鹽化合物；<6〉根據(jù)<1>至<4>中任一項(xiàng)的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中所述酸生成劑為鏠鹽化合物；<7>根據(jù)<1〉至<4>中任一項(xiàng)的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中所述酸生成劑是選自由式(V)表示的鹽中的鹽i2其中，Y'和^各自獨(dú)立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，R"表示C1-C6直鏈或支鏈烴基或C3-C30單環(huán)或多環(huán)烴基，所述C3-C30單環(huán)或多環(huán)烴基可以被選自C1-C6烷基、C卜C6烷氧基、Cl-C4全氟烷基、羥基和氰基中的至少一個(gè)取代，并且在所述C3-C30單環(huán)或多環(huán)烴基中的至少一個(gè)-CH2-可以被-CO-、-O-或-CH(OH)-取代，并且A+表示有機(jī)抗衡離子；<8〉根據(jù)<1>至<4>中任一項(xiàng)的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中所述酸生成劑是由式(VI)表示的鹽(VI)其中，YS和yA各自獨(dú)立地表示氟原子或Cl-C6全氟垸基，24表示單鍵或C1-C4亞烷基，Q表示-CO-或-CH(OH)-，而環(huán)X'表示C3-C30單環(huán)或多環(huán)烴基，其中當(dāng)Q為-CO-時(shí)所述C3-C30單環(huán)或多環(huán)烴基的兩個(gè)氫原子被K)在Q位取代或當(dāng)Q為-CH(OH)-時(shí)所述C3-C30單環(huán)或多環(huán)烴基的氫原子被羥基在Q位取代，并且在C3-C30單環(huán)或多環(huán)烴基中的至少一個(gè)氫原子可以被C1-C6烷基、Cl-C6烷氧基、Cl-C4全氟烷基、Cl-C6羥基烷基、羥基或氰基取代，并且A+表示有機(jī)抗衡離子；<9>根據(jù)<1>至<4>中任一項(xiàng)的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中所述酸生成劑是由式(VIII)表示的鹽A+-03S—R22(VIII)其中，R22表示Cl-C8直鏈或支鏈全氟烷基，并且A+表示有機(jī)抗衡離子;<10>根據(jù)<7〉、<8〉或<9〉的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中A+表示選自由式(IXa)表示的陽(yáng)離子、由式(IXb)表示的陽(yáng)離子、由式(IXc)表示的陽(yáng)離子和由式(IXd)表示的陽(yáng)離子中的至少一種陽(yáng)離子p2—^十(1Xa)式(IXa)中，P1、pz和ps各自獨(dú)立地表示可以被選自羥基、C3-C12環(huán)烴基和C1-C12垸氧基中的至少一個(gè)取代的C1-C30直鏈或支鏈垸基;或者可以被選自羥基和C1-C12烷氧基中的至少一個(gè)取代的C3-C30環(huán)烴基，(IXb)式(IXb)中，P"和ps各自獨(dú)立地表示氫原子、羥基、C1-C12烷基或C1-C12垸氧基，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>式(IXc)中，PS和P"各自獨(dú)立地表示C1-C12烷基或C3-C12環(huán)垸基，或者^(guò)和P^吉合形成C3-C12二價(jià)無(wú)環(huán)烴基，該二價(jià)無(wú)環(huán)烴基與相鄰的S+—起形成環(huán)，并且所述二價(jià)無(wú)環(huán)烴基中的至少一個(gè)-CH2-可以被-CO-、-O-或-S-取代，ps表示氫原子，PS表示C1-C12烷基、C3-C12環(huán)垸基或者可以被取代的芳族基，或者P8和P9結(jié)合形成二價(jià)無(wú)環(huán)烴基，該二價(jià)無(wú)環(huán)烴基與相鄰的-CHCO-—起形成2-氧代環(huán)烷基，并且所述二價(jià)無(wú)環(huán)烴基中的至少一個(gè)-CH2-可以被-CO-、-O-或-S-取代；以及<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>在式(IXd)中，P10、P11、P12、P13、P14、P15、P16、P17、P18、P19、P20和P"各自獨(dú)立地表示氫原子、羥基、C1-C12烷基或C1-C12烷氧基，B表示硫或氧原子，并且t表示0或l;<11〉根據(jù)<7>、<8〉或<9〉的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中A+表示由式(IXe)表示的陽(yáng)離子<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>其中，P22、P"和P"各自獨(dú)立地表示氫原子或C1-C4烷基；<12>根據(jù)<1>至<11>中任一項(xiàng)的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中所述化學(xué)放大型抗蝕劑組合物包含80至99.9重量％的樹(shù)脂組分和0.1至20重量％的酸生成劑；<13>根據(jù)<1>至<12>中任一項(xiàng)的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中所述化學(xué)放大型抗蝕劑組合物還包含堿性化合物。具體實(shí)施方式本發(fā)明的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物包含(A)樹(shù)脂，所述樹(shù)脂包含(a)具有酸-不穩(wěn)定基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元、(b)具有至少一個(gè)羥基的結(jié)構(gòu)單元、(c)具有至少一個(gè)內(nèi)酯結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)單元以及(d)由式(Ia)或(Ib)表示的結(jié)構(gòu)單元其中，R'表示氫原子或甲基，W表示甲基，n表示0至14的整數(shù)，并且Z表示單鍵或-[CH2]k-C00-，以及(B)至少一種酸生成劑；首先，說(shuō)明(a)具有酸-不穩(wěn)定基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元(下文中，簡(jiǎn)稱作結(jié)構(gòu)單元(a))。在本說(shuō)明書中，"-COOR"可以描述為"含有羧酸酯的結(jié)構(gòu)"，也可以簡(jiǎn)稱為"酯基"。具體地，"-COOC(CH3)3"可以描述為"含有羧酸叔丁酯的結(jié)構(gòu)"，或者簡(jiǎn)稱為"叔丁基酯基"。在本說(shuō)明書中，"酸-不穩(wěn)定基團(tuán)"指能夠通過(guò)酸的作用而消除的基團(tuán)。酸-不穩(wěn)定基團(tuán)的實(shí)例包括具有以下的結(jié)構(gòu)其中與氧原子相鄰的碳原子是季碳原子的羧酸酯比如烷基酯基，其中與氧原子相鄰的碳原子是季碳原子的脂環(huán)族酯基，以及其中與氧原子相鄰的碳原子是季碳原子的內(nèi)酯基。"季碳原子"表示"與四個(gè)不同于氫原子的取代基結(jié)合的碳原子"。作為酸-不穩(wěn)定基團(tuán)，示例的有具有連接三個(gè)碳原子和-OR，的季碳原子的基團(tuán)，其中R'表示烷基。酸-不穩(wěn)定基團(tuán)的實(shí)例包括其中與氧原子相鄰的碳原子是季碳原子的烷基酯基，比如叔丁酯基；縮醛型酯基，如甲氧基甲酯基、乙氧基甲酯基、1-乙氧基乙酯基、1-異丁氧基乙酯基、1-異丙氧基乙酯基、1-乙氧基丙氧基酯基、l-(2-甲氧基乙氧基)乙酯基、l-(2-乙酰氧基乙氧基)乙酯基、1-[2-(1-金剛烷基氧基)乙氧基]乙酯基、l-[2-(l-金剛垸羰氧基)乙氧基]乙酯基、四氫-2-呋喃酯基和四氫-2-吡喃酯基;其中與氧原子相鄰的碳原子是季碳原子的脂環(huán)族酯基，比如異冰片基酯基、1-烷基環(huán)烷基酯基、2-烷基-2-金剛烷基酯基和l-(l-金剛烷基)-l-烷基垸基酯基等。金剛垸基中的至少一個(gè)氫原子可以被羥基取代。所述結(jié)構(gòu)單元(a)的實(shí)例包括衍生自丙烯酸酯的結(jié)構(gòu)單元、衍生自甲基丙烯酸酯的結(jié)構(gòu)單元、衍生自降冰片烯羧酸酯的結(jié)構(gòu)單元、衍生自三環(huán)癸烯羧酸酯的結(jié)構(gòu)單元以及衍生自四環(huán)癸烯羧酸酯的結(jié)構(gòu)單元。優(yōu)選衍生自丙烯酸酯的結(jié)構(gòu)單元和衍生自甲基丙烯酸酯的結(jié)構(gòu)單元。作為結(jié)構(gòu)單元(a)，優(yōu)選由式(IIa)或(IIb)表示的結(jié)構(gòu)單元在式(IIa)或(lib)中，W表示氫原子或甲基，Z1表示單鍵或-(CH2),.-COO-，r表示1至4的整數(shù)。Z'優(yōu)選表示單鍵或-CH2-COO-，并且更優(yōu)選表示單鍵。在式(IIa)中，W表示C1-C8直鏈或支鏈垸基或C3-C10環(huán)烷基，并且優(yōu)選W表示C1-C8直鏈或支鏈烷基。Cl-C8直鏈或支鏈垸基的實(shí)例包括甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、正戊基、正己基、正庚基和正辛基，并且優(yōu)選Cl-C4垸基，如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基和仲丁基，更優(yōu)選甲基、乙基、正丙基和異丙基。C3-C30環(huán)垸基的實(shí)例包括環(huán)戊基、環(huán)己基、換辛基、2-甲基環(huán)戊基、3-甲基環(huán)己基、4-甲基環(huán)己基、2,3-二甲基環(huán)己基、4,4-二甲基環(huán)己基、2-降冰片基和5-甲基-2-降冰片基。RS表示甲基，并且m表示0至14的整數(shù)。優(yōu)選m表示0或1。在式(IIb)中，R6表示Cl-C8直鏈或支鏈烷基，或C3-C10環(huán)垸基。C1-C8直鏈或支鏈烷基和C3-C10環(huán)垸基的實(shí)例包括與上述相同的基團(tuán)。優(yōu)選的是，R6表示C1-C8直鏈或支鏈垸基，并且其優(yōu)選實(shí)例包括C1-C4烷基，如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基和仲丁基，并且其更優(yōu)選的實(shí)例包括甲基、乙基、正丙基和異丙基。Rj和R8各自獨(dú)立地表示氫原子或可以具有至少一個(gè)雜原子的Cl-C8一價(jià)烴基。Cl-C8—價(jià)烴基的實(shí)例包括甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、正戊基、正己基、正庚基和正辛基。W和R8可以結(jié)合形成可以具有至少一個(gè)雜原子的Cl-C8二價(jià)烴基，所述雜原子與W和RS鍵合的相鄰碳原子一起形成環(huán)，并且所述Cl-C8二價(jià)烴基的具體實(shí)例包括亞乙基和三亞乙基。W和R8還可以在R"鍵合的碳原子和RS鍵合的碳原子之間結(jié)合形成碳-碳雙鍵，并且I表示1至3的整數(shù)。由式(IIa)表示的結(jié)構(gòu)單元衍生自由式(IIa-l)表示的單體其中，R2、R4、R5、Z'和m與上述限定相同,由式(IIa-l)表示的單體的具體實(shí)例包括如下<formula>formulaseeoriginaldocumentpage18</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage19</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage0</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage22</formula>由式(IIb)表示的結(jié)構(gòu)單元衍生自由式(IVb-l)表示的單體:<formula>formulaseeoriginaldocumentpage23</formula>其中，R2、R6、R7、R8、Z'和l與上述限定相同。由式(IIb-l)表示的單體的具體實(shí)例包括如下。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage24</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage25</formula>它們中，優(yōu)選由式(IIa)表示的結(jié)構(gòu)單元。當(dāng)由式(IIa)表示的結(jié)構(gòu)單元優(yōu)選為衍生自丙烯酸-2-乙基-2-金剛烷基酯、甲基丙烯酸-2-乙基-2-金剛烷基酯、丙烯酸-2-異丙基-2-金剛烷基酯或甲基丙烯酸-2-異丙基-2-金剛垸基酯的結(jié)構(gòu)單元時(shí)，趨向于獲得具有優(yōu)異靈敏度和耐熱性的組合物。由式(IIa-l)表示的單體通常可以由相應(yīng)的含羥基的金剛垸化合物與丙烯酰鹵或甲基丙烯酰鹵的反應(yīng)而制備。由式(IIb-l)表示的單體通?？梢杂上鄳?yīng)的含羥基的降冰片烯化合物與丙烯酰鹵或甲基丙烯酰鹵的反應(yīng)而制備。接著，將說(shuō)明(b)具有至少一個(gè)羥基的結(jié)構(gòu)單元(下文中，簡(jiǎn)稱作結(jié)構(gòu)單元(b))。在此，羧基(-COOH)的-OH并不是在結(jié)構(gòu)單元(b)中的羥基。結(jié)構(gòu)單元(b)的實(shí)例包括具有被至少一個(gè)羥基取代的垸基的結(jié)構(gòu)單元如羥甲基和1,1-二甲基-2-羥基乙基；以及具有被至少一個(gè)羥基取代的脂環(huán)族基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元，如2-羥基環(huán)戊基、4-羥基環(huán)己基、3-羥基-l-金剛烷基。結(jié)構(gòu)單元(b)的實(shí)例包括衍生自其中酯基具有至少一個(gè)羥基的丙烯酸酯的結(jié)構(gòu)單元、衍生自其中酯基具有至少一個(gè)羥基的甲基丙烯酸酯的結(jié)構(gòu)單元、衍生自其中酯基具有至少一個(gè)羥基的降冰片烯羧酸酯的結(jié)構(gòu)單元、衍生自其中酯基具有至少一個(gè)羥基的三環(huán)癸烯羧酸酯的結(jié)構(gòu)單元以及衍生自其中酯基具有至少一個(gè)羥基的四環(huán)癸烯羧酸酯的結(jié)構(gòu)單元。優(yōu)選衍生自其中酯基具有至少一個(gè)羥基的丙烯酸酯的結(jié)構(gòu)單元以及衍生自其中酯基具有至少一個(gè)羥基的甲基丙烯酸酯的結(jié)構(gòu)單元。作為結(jié)構(gòu)單元(b)，優(yōu)選由式(III)表示的結(jié)構(gòu)單元其中，W表示氫原子或甲基，R"和R11各自獨(dú)立地表示氫原子、甲基或羥基，R"表示甲基，p表示0至12的整數(shù)，zs表示單鍵或-(CH2)S-C00-，并且s表示1至4的整數(shù)。優(yōu)選的是，R"和R"各自獨(dú)立地表示氫原子或羥基。Z2優(yōu)選為單鍵或-CH2-COO-，p優(yōu)選為0或1，并且p更優(yōu)選為0。'由式(ni)表示的結(jié)構(gòu)單元衍生自由式(m-i)表示的單體其中，R9、R10、R11、R12、f和p與上述限定相同。由(m-i)表示的單體的具體實(shí)例包括如下。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage0</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage29</formula>作為由式(ni)表示的結(jié)構(gòu)單元，的結(jié)構(gòu)單元<formula>formulaseeoriginaldocumentpage30</formula>由式(ni-i)表示的單體可以通常通過(guò)相應(yīng)的含羥基的金剛烷化合物與丙烯酰卣或甲基丙烯酰鹵的反應(yīng)而制備。接著，將說(shuō)明(c)具有至少一個(gè)內(nèi)酯結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)單元(下文中，簡(jiǎn)稱作結(jié)構(gòu)單元(c))。內(nèi)酯結(jié)構(gòu)的實(shí)例包括p-丁內(nèi)酷和y-丁內(nèi)酯。結(jié)構(gòu)單元(c)的具體實(shí)例包括由(IVa)、(IVb)和(IVc)表示的結(jié)構(gòu)單元如<formula>formulaseeoriginaldocumentpage30</formula>其中，RU表示氫原子或甲基，R"表示甲基，x表示0至5的整數(shù),Z3表示單鍵或-(CH2)u-C00-，u表示1至4的整數(shù)，R"表示Cl-C4烴基、羧基或氰基，y表示0至3的整數(shù)，R"表示C1-C4烴基、羧基或氰基，z表示0至3的整數(shù)，并且當(dāng)y為2或3時(shí)，R。—可以彼此相同或不同，而當(dāng)z為2或3，R"可以彼此相同或不同。優(yōu)選地，x表示0。Z3優(yōu)選表示單鍵或-CH2-COO-。Cl-C4烴基的實(shí)例包括甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基和叔丁基。R'M尤選表示甲基、羧基或氰基，而R'M尤選表示甲基、羧.基或氰基。優(yōu)選地，y表示0或1，而z優(yōu)選表示0、.1或2。由式(IVa)表示的結(jié)構(gòu)單元衍生自由式(IVa-l)表示的單體<formula>formulaseeoriginaldocumentpage31</formula>其中，R13、R14、Z3和x與上述限定相同。由式(VIa-l)表示的單體的具體實(shí)例包括如下,<formula>formulaseeoriginaldocumentpage31</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage32</formula>由式(IVb)表示的結(jié)構(gòu)單元衍生自由式(IVb-l)表示的單'<formula>formulaseeoriginaldocumentpage33</formula>其中，R13、R15、f和y與上述限定相同。由式(VIb-l)表示的單體的具體實(shí)例包括如下。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage34</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage35</formula>由式(IVC)表示的結(jié)構(gòu)單元衍生自由式(IVC-l)表示的單體:<formula>formulaseeoriginaldocumentpage36</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage37</formula>作為結(jié)構(gòu)單元(C)，從抗蝕劑組合物對(duì)基材的粘附性考慮，優(yōu)選衍生自下列單體的結(jié)構(gòu)單元。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage38</formula>由(VIa-l)、(VIb-l)和(VIc-l)表示的單體通?？梢酝ㄟ^(guò)相應(yīng)的含有美基的內(nèi)酯化合物與丙烯酰鹵或甲基丙烯酰鹵的反應(yīng)而制備。接著，將說(shuō)明由式(Ia)或(Ib)表示的結(jié)構(gòu)單元(下文中，簡(jiǎn)稱作結(jié)構(gòu)單元<formula>formulaseeoriginaldocumentpage38</formula>在式(Ia)和(Ib)中，R'表示氫原子或甲基，W表示甲基。n表示O至14的整數(shù)，而z表示單鍵或-[CH2]k-COO-。優(yōu)選地，n表示0至3的整數(shù)，更優(yōu)選表示0或1，并且特別優(yōu)選表示0。Z優(yōu)選表示單鍵或-CH2-COO-。由式(Ia)表示的結(jié)構(gòu)單元衍生自由式(Ia-l)表示的單體<formula>formulaseeoriginaldocumentpage39</formula>其中，R1、R3、Z和n與上述限定相同，并且由式(Ib)表示的結(jié)構(gòu)單元衍生自由式(Ib-l)表示的單體其中，R1、R3、Z和n與上述限定相同。由式(Ia-l)和(Ib-l)表示的單體的具體實(shí)例包括如下。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage40</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage41</formula>作為結(jié)構(gòu)單元(d)，從抗蝕劑組合物所產(chǎn)生的抗蝕劑膜的耐干蝕刻性考慮，優(yōu)選衍生自下列單體的結(jié)構(gòu)單元由式(Ia-l)和(Ib-l)表示的單體通?？梢酝ㄟ^(guò)相應(yīng)的含羥基的金剛烷酮化合物與丙烯酰鹵或甲基丙烯酰鹵的反應(yīng)而制備?；诮Y(jié)構(gòu)單元(a)、(b)、(c)和(d)的總摩爾計(jì)，在樹(shù)脂中的結(jié)構(gòu)單元(a)的含量通常為10至60mol%，并且優(yōu)選為15至60mol%，但是該比率取決于形成圖案曝光用的輻射的種類、酸-不穩(wěn)定基團(tuán)的種類等而變化?；诮Y(jié)構(gòu)單元(a)、(b)、(c)和(d)的總摩爾計(jì)，在樹(shù)脂中的結(jié)構(gòu)單元(b)的含量通常為2至50mo1。/。，并且優(yōu)選為4至35mo1。/。?；诮Y(jié)構(gòu)單元(a)、(b)、(c)和(d)的總摩爾計(jì)，在樹(shù)脂中的結(jié)構(gòu)單元(c)的含量通常為5至60mol%，并且優(yōu)選為10至45mo1。/。?；诮Y(jié)構(gòu)單元(a)、(b)、(c)和(d)的總摩爾計(jì)，在樹(shù)脂中的結(jié)構(gòu)單元(d)的含量通常為5至60mol。/。，并且優(yōu)選為10至45mol%。在此，結(jié)構(gòu)單元(a)、(b)、(c)和(d)的含量之和基于結(jié)構(gòu)單元(a)、(b)、(c)和(d)的總摩爾計(jì)為100mol%。本發(fā)明的樹(shù)脂本身在堿性水溶液中不溶或難溶，但是通過(guò)酸的作用變成溶解于堿性水溶液中。除結(jié)構(gòu)單元(a)、(b)、(c)和(d)外，樹(shù)脂還可以具有其它結(jié)構(gòu)單元。作為其它結(jié)構(gòu)單元，例舉的有衍生自具有烯屬雙鍵的脂環(huán)族化合物的結(jié)構(gòu)單元，比如式(l)表示的結(jié)構(gòu)單元其中，R"和R"各自獨(dú)立地表示氫原子、Cl-C3烷基、Cl-C3羥烷基、羧基、氰基、羥基或其中U表示醇?xì)埢?COOU基團(tuán)，或者R"和R26可以結(jié)合在一起形成由-C(-O)OC(-O)-表示的羧酸酐殘基；衍生自脂肪族不飽和二羧酸酐的結(jié)構(gòu)單元，比如式(2)表示的結(jié)構(gòu)單元含有衍生自2-降冰片烯的結(jié)構(gòu)單元的樹(shù)脂具有堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)，因?yàn)橹h(huán)基直接出現(xiàn)在其主鏈中，并且具有優(yōu)異的耐干蝕刻性。衍生自2-降冰片烯的結(jié)構(gòu)單元可以通過(guò)自由基聚合引入到主鏈中，所述的自由基聚合例如，除了使用相應(yīng)的2-降冰片烯外，還使用脂肪族不飽和二羧酸酐如馬來(lái)酸酐和衣康酸酐一起進(jìn)行自由基聚合。衍生自2-降冰片烯的結(jié)構(gòu)單元是通過(guò)其雙鍵的打開(kāi)而形成的，并且可以用上述式(l)表示。衍生自馬來(lái)酸酐的結(jié)構(gòu)單元和衍生自衣康酸酐的結(jié)構(gòu)單元，這些是衍生自脂肪族不飽和二羧酸酐式(3)表示的結(jié)構(gòu)單元:的結(jié)構(gòu)單元，是通過(guò)打開(kāi)它們的雙鍵而形成的，并且可以分別用上述式(2)和式(3)表示。R"和R"中，Cl-C3烷基的實(shí)例包括甲基、乙基和正丙基，而C1-C3羥烷基的實(shí)例包括羥甲基和2-羥乙基。R"和R"中，-COOU基是從羧基形成的酯，并且作為與U對(duì)應(yīng)的醇?xì)埢谐龅挠校缛芜x取代的C1-C8烷基、2-氧代氧雜環(huán)戊烷(€0(^01311)-3-基、2-氧代氧雜環(huán)戊烷-4-基等；作為在C1-C8烷基上的取代基，列出的有羥基、脂環(huán)烴殘基等。用于產(chǎn)生由上述式(l)表示的結(jié)構(gòu)單元的單體的具體實(shí)例可以包括2-降冰片烯、2-羥基-5-降冰片烯、5-降冰片烯-2-羧酸、5-降冰片烯-2-羧酸甲酯、5-降冰片烯-2-羧酸-2-羥基乙酯、5-降冰片烯-2-甲醇和5-降冰片烯-2，3-二羧酸酐。當(dāng)-COOU基團(tuán)中的U是酸-不穩(wěn)定基團(tuán)時(shí)，盡管式(l)表示的結(jié)構(gòu)單元含有降冰片烷結(jié)構(gòu)，但它也是含有酸-不穩(wěn)定基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元。產(chǎn)生含有酸-不穩(wěn)定基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元的單體的實(shí)例包括5-降冰片烯-2-羧酸叔丁酯、5-降冰片烯-2-羧酸-l-環(huán)己基-l-甲基乙酯、5-降冰片烯-2-羧酸-l-甲基環(huán)己酯、5-降冰片烯-2-羧酸-2-甲基-2-金剛烷基酯、5-降冰片烯-2-羧酸-2-乙基-2-金剛烷基酯、5-降冰片烯-2-羧酸-l-(4-甲基環(huán)己基)-l-甲基乙酯、5-降冰片烯-2-羧酸-1-(4-羥基環(huán)己基)-1-甲基乙酯、5-降冰片烯-2-羧酸-l-甲基小(4-氧代環(huán)己基)乙酯、5-降冰片烯-2-羧酸-l-(l-金剛烷基)-l-甲基乙酯等?；跇?shù)脂的所有結(jié)構(gòu)單元計(jì)，一種或多種其它結(jié)構(gòu)單元的比率通常為0到50摩爾％。樹(shù)脂可以通過(guò)相應(yīng)的一種或多種單體進(jìn)行的聚合反應(yīng)而制備。該樹(shù)脂還可以通過(guò)將相應(yīng)的一種單體或多種單體進(jìn)行低聚反應(yīng)，然后將所得低聚物聚合而制備。聚合反應(yīng)通常在自由基引發(fā)劑的存在下進(jìn)行。自由基引發(fā)劑不受限制，并且其實(shí)例包括偶氮化合物，比如2,2'-偶氮二異丁腈、2,2，-偶氮二(2-甲基丁腈)、l,l，-偶氮二(環(huán)己垸-l-腈)、2，2，-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、2,2，-偶氮二(2，4-二甲基-4-甲氧基戊腈)、二甲基-2,2'畫偶氮二(2-甲基丙酸酯)和2,2'-偶氮二(2-羥甲基丙腈)；有機(jī)氫過(guò)氧化物，比如過(guò)氧化月桂酰、過(guò)氧化氫叔丁基、過(guò)氧化苯甲酰、過(guò)氧化苯甲酸叔丁酯、氫過(guò)氧化枯烯、過(guò)氧化二碳酸二異丙酯、過(guò)氧化二碳酸二正丙酯、過(guò)氧化新癸酸叔丁基酯、過(guò)氧化新戊酸叔丁基酯和過(guò)氧化3,5,5-三甲基己酰；以及無(wú)機(jī)過(guò)氧化物，比如過(guò)二硫酸鉀、過(guò)二硫酸銨和過(guò)氧化氫。它們中，優(yōu)選偶氮化合物，并且更優(yōu)選2,2，-偶氮二異丁腈、2,2，-偶氮二(2-甲基丁銜、1,1，-偶氮二(環(huán)己烷-l-腈)、2,2，-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)和二甲基-2,2'-偶氮二(2-甲基丙酸酯)，并且特別優(yōu)選2，2'-偶氮二異丁腈和2,2'-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)。這些自由基引發(fā)劑可以單獨(dú)使用或以其兩種或更多種的混合物形式使用。當(dāng)使用其兩種或更多種的混合物時(shí)，混合比不受特別限制?；谒袉误w或低聚物的摩爾量，自由基引發(fā)劑的量?jī)?yōu)選按摩爾計(jì)為l至20摩爾％。聚合溫度通常為0至15(TC，并且優(yōu)選40至100。C。聚合反應(yīng)通常在溶劑存在下進(jìn)行，并且優(yōu)選使用充分溶解單體、自由基引發(fā)劑和所得樹(shù)脂的溶劑。溶劑的實(shí)例包括烴溶劑，比如甲苯；醚溶劑，比如l,4-二噁烷和四氫呋喃；酮溶劑，比如甲基異丁基酮；醇溶劑，比如異丙醇；環(huán)酯溶劑，比如Y-丁內(nèi)酯；二元醇醚酯酯溶劑，比如丙二醇一甲基醚乙酸酯；和無(wú)環(huán)酯溶劑，比如乳酸乙酯。這些溶劑可以單獨(dú)使用，并且可以使用其混合物。溶劑的量不受限制，并且實(shí)際上，相對(duì)于l份的所有單體或低聚物，它優(yōu)選為1至5重量份。當(dāng)采用具有烯屬雙鍵的脂環(huán)族化合物和脂肪族不飽和二羧酸酐作為單體時(shí)，考慮到這些單體不容易聚合的趨勢(shì)，優(yōu)選過(guò)量使用它們。聚合反應(yīng)完成之后，例如，通過(guò)向所得反應(yīng)混合物中加入本發(fā)明樹(shù)脂在其中不溶或難以溶解的溶劑并且過(guò)濾所沉淀出的樹(shù)脂，可以分離出所制備的樹(shù)脂。必要時(shí)，分離出的樹(shù)脂可以純化，例如通過(guò)用合適的溶劑洗滌而純化。樹(shù)脂的重均分子量?jī)?yōu)選為10000至500,000，并且更優(yōu)選為4,000至50,000。樹(shù)脂可以包含一種結(jié)構(gòu)單元(a)，并且可以包含兩種或更多種結(jié)構(gòu)單元(a)。樹(shù)脂可以包含一種結(jié)構(gòu)單元(b)，并且可以包含兩種或更多種結(jié)構(gòu)單元(b)。樹(shù)脂可以包含一種結(jié)構(gòu)單元(c)，并且可以包含兩種或更多種結(jié)構(gòu)單元(c)。樹(shù)脂可以包含一種結(jié)構(gòu)單元(d)，并且可以包含兩種或更多種結(jié)構(gòu)單元(d)。本發(fā)明的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物至少包含一種酸生成劑。酸生成劑是通過(guò)將輻射如光、電子束等應(yīng)用在物質(zhì)本身或含有該物質(zhì)的抗蝕劑組合物上而被分解產(chǎn)生酸的物質(zhì)。由酸生成劑產(chǎn)生的酸作用于樹(shù)脂，使得存在于樹(shù)脂中的酸-不穩(wěn)定基團(tuán)斷裂。酸生成劑的實(shí)例包括鎗鹽化合物、有機(jī)鹵素化合物、砜化合物、磺酸鹽化合物等。優(yōu)選鐵鹽化合物。作為酸生成劑，例舉的有在JP2003-5374Al中描述的酸生成劑。作為酸生成劑，還例舉的有由式(V)表示的鹽<formula>formulaseeoriginaldocumentpage46</formula>(下文中，簡(jiǎn)稱作鹽(V))。在鹽(V)中，Y1和Y2各自獨(dú)立地表示氟原子或Cl-C6全氟垸基。Cl-C6全氟烷基的實(shí)例包括三氟甲基、五氟乙基、七氟丙基、九氟丁基、十一氟戊基和十三氟己基，并且優(yōu)選三氟甲基。優(yōu)選地，Y'和￥2各自獨(dú)立地表示氟原子或三氟甲基，并且更優(yōu)選Y1和Y"-表示氟原子。R"表示C1-C6直鏈或支鏈烴基或可以被選自Cl-C6垸基、Cl-C6烷氧基、Cl-C4全氟烷基、羥基和氰基中的至少一個(gè)取代的C3-C30單環(huán)或多環(huán)烴基，并且在所述C3-C30單環(huán)或多環(huán)烴基中的至少一個(gè)-CH2-可以被-CO-、-O-或-CH(OH)-取代。C3-C30單環(huán)或多環(huán)烴基可以具有一種或多種脂環(huán)族結(jié)構(gòu)，并且可以具有一個(gè)或多個(gè)芳族基。C3-C30單環(huán)或多環(huán)烴基可以具有一個(gè)或多個(gè)碳-碳雙鍵。Cl-C6直鏈或支鏈烴基的實(shí)例包括甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基和正己基。C3-C30單環(huán)或多環(huán)烴基的實(shí)例包括具有環(huán)丁烷環(huán)的烴基、具有環(huán)戊烷環(huán)的烴基、具有環(huán)己烷環(huán)的烴基、具有環(huán)辛烷環(huán)的烴基、具有金剛垸環(huán)的烴基、具有苯環(huán)的烴基和具有降冰片烯環(huán)的烴基。Cl-C6垸基的實(shí)例包括甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基和正己基。Cl-C6烷氧基的實(shí)例包括甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、仲丁氧基、叔丁氧基、正戊氧基和正己氧基。Cl-C4全氟烷基的實(shí)例包括三氟甲基、五氟乙基、七氟丙基和九氟丁基。鹽(V)的陰離子部分的具體實(shí)例包括如下。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage48</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage49</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage50</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage51</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage52</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage53</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage54</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage55</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage56</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage57</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage58</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage59</formula>作為鹽(V)，優(yōu)選由式(VI)表示的鹽:<formula>formulaseeoriginaldocumentpage59</formula>(下文中，簡(jiǎn)稱作鹽(VI))。在鹽(VI)中，Y3和Y4各自獨(dú)立地表示氟原子或Cl-C6全氟烷基。Cl-C6全氟烷基的實(shí)例包括與上述相同的基團(tuán)，并且優(yōu)選三氟甲基。優(yōu)選的是，^和Y"各自獨(dú)立地表示氟原子或三氟甲基，并且更優(yōu)選Y3和^表示氟原子。Cl-C6烷基、Cl-C6烷氧基和Cl-C4全氟烷基的實(shí)例分別包括與上述相同的基團(tuán)。Cl-C6羥烷基的實(shí)例包羥甲基、2-羥基乙基、3-羥基丙基、4-羥基丁基和6-羥基己基。Cl-C4亞垸基的實(shí)例包括亞甲基、亞乙基、三亞甲基和四亞甲基、優(yōu)選Z表示單鍵、亞甲基或亞乙基，并且更優(yōu)選Z"表示單鍵或亞甲基。環(huán)X'的實(shí)例包括C4-C8環(huán)烷基，如環(huán)丁基、環(huán)戊基、環(huán)己基、環(huán)辛基、金剛垸基和降冰片基，其中氫原子可以被羥基取代或其中兩個(gè)氫原子可以被=0取代，并且其中至少一個(gè)氫原子可以被C1-C6烷基、Cl-C6烷氧基、Cl-C4全氟烷基、Cl-C6羥烷基、羥基或氰基取代。環(huán)X'的具體實(shí)例包括2-氧代環(huán)戊基、2-氧代環(huán)己基、3-氧代環(huán)戊基、3-氧代環(huán)己基、4-氧代環(huán)己基、2-羥基環(huán)戊基、2-羥基環(huán)己基、3-羥基環(huán)戊基、3-羥基環(huán)己基、4-羥基環(huán)己基、4-氧代-2-金剛垸基、3-羥基-l-金剛烷基、4-羥基-l-金剛烷基、5-氧代降冰片烷-2-基、1,7,7-三甲基-2-氧代降冰片垸-2-基、3，6,6-三甲基-2-氧代-雙環(huán)[3丄1]庚烷-3-基、2-羥基-降冰片烷-3-基、1，7，7-三甲基-2-羥基降冰片垸-3-基、3,6，6-三甲基-2-羥基雙環(huán)[3丄1]庚烷-3-基和下列基團(tuán)(在下列式中，帶開(kāi)口端的直線表示從相鄰基團(tuán)伸出的鍵)。鹽(VI)的陰離子部分的具體實(shí)例包括如下。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage61</formula>作為酸生成劑，還例舉的有由式(vm)表示的鹽A+—03S—R22(VIII)(下文中，簡(jiǎn)稱作鹽(vni))。在鹽(Vin)中，R"表示Cl-C8直鏈或支鏈全氟垸基，并且A+表示機(jī)抗衡離子。Cl-C8直鏈或支鏈全氟烷基的實(shí)例包括三氟甲基、五氟乙基、七氟丙基、九氟丁基、十四氟己基和十七氟辛基。鹽(vm)的陰離子部分的具體實(shí)例包括如下。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage62</formula>在鹽(v)、鹽(vi)和鹽(vni)中，A+表示有機(jī)抗衡離子。有機(jī)抗衡離子的實(shí)例包括由式(IXa)表示的陽(yáng)離子其中，P1、P，ps各自獨(dú)立地表示可以被選自羥基、C3-C12環(huán)烴基和C1-C12烷氧基中的至少一個(gè)取代的C1-C30直鏈或支鏈垸基；或者可以被選自羥基和C1-C12烷氧基中的至少一個(gè)取代的C3-C30環(huán)烴基(下文中，簡(jiǎn)稱作陽(yáng)離子(IXa));由式(IXb)表示的陽(yáng)離子(IXb)其中，pA和pS各自獨(dú)立地表示氫原子、羥基、C1-C12烷基或C1-C12烷氧基(下文中，簡(jiǎn)稱作陽(yáng)離子(IXb));由式(IXC)表示的陽(yáng)離子<formula>formulaseeoriginaldocumentpage63</formula>其中，pS和^各自獨(dú)立地表示Cl-C12烷基或C3-C12環(huán)烷基，或者P和P7結(jié)合形成C3-C12二價(jià)無(wú)環(huán)烴基，該二價(jià)無(wú)環(huán)烴基與相鄰的S+—起形成環(huán)，并且所述二價(jià)無(wú)環(huán)烴基中的至少一個(gè)-CH2-可以被-CO-、-O-或-S-取代，P8表示氫原子，W表示C1-C12烷基、C3-C12環(huán)垸基或者可以被取代的芳族基，或者PS和ps結(jié)合形成二價(jià)無(wú)環(huán)烴基，該二價(jià)無(wú)環(huán)烴基與相鄰的-CHCO-—起形成2-氧代環(huán)烷基，并且所述二價(jià)無(wú)環(huán)烴基中的至少一個(gè)-CH2-可以被-CO-、-O-或-S-取代(下文中，簡(jiǎn)稱作陽(yáng)離子(IXc));以及由式(IXd)表示的陽(yáng)離子<formula>formulaseeoriginaldocumentpage64</formula>其中，p10、p'1、p12、p13、p14、p15、p16、p17、p18、p19、p2。禾口p"各自獨(dú)立地表示氫原子、羥基、C1-C12烷基或C1-C12烷氧基，B表示硫或氧原子，并且t表示0或l(下文中，簡(jiǎn)稱作陽(yáng)離子(IXd))。在陽(yáng)離子(IXa)、(IXb)和(IXd)中的C1-C12烷氧基的實(shí)例包括甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、仲丁氧基、叔丁氧基、正戊氧基、正己氧基、正辛氧基和2-乙基己氧基。在陽(yáng)離子(IXa)中的C3-C12環(huán)烴基的實(shí)例包括環(huán)戊基、環(huán)己基、1-金剛垸基、2-金剛烷基、苯基、2-甲基苯基、4-甲基苯基、l-萘基和2-萘基。在陽(yáng)離子(IXa)中，可以被選自羥基、C3-C12環(huán)烴基和C1-C12烷氧基中的至少一個(gè)取代的Cl-C30烷基的實(shí)例包括甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正辛基、2-乙基己基和芐基。在陽(yáng)離子(IXa)中，可以被選自羥基和C1-C12烷氧基中的至少一個(gè)取代的C3-C30環(huán)烴基的實(shí)例包括環(huán)戊基、環(huán)己基、l-金剛烷基、2-金剛烷基、雙環(huán)己基、苯基、2-甲基苯基、4-甲基苯基、4-乙基苯基、4-異丙基苯基、4-叔丁基苯基、2,4-二甲基苯基、2,4，6-三甲基苯基、4-正己基苯基、4-正辛基苯基、l-萘基、2-萘基、藥基、4-苯基苯基、4-羥基苯基、4-甲氧基苯基、4-叔丁氧基苯基、4-正己氧基苯基。在陽(yáng)離子(IXb)、(IXc)和(IXd)中的C1-C12烷基的實(shí)例包括甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正辛基和2-乙基己基。在陽(yáng)離子(IXc)中的C3-C12環(huán)烷基的實(shí)例包括環(huán)丙基、環(huán)丁基、環(huán)戊基、環(huán)己基、環(huán)庚基、環(huán)辛基和環(huán)癸基。通過(guò)結(jié)合pS和P形成的C3-C12二價(jià)無(wú)環(huán)烴基的實(shí)例包括三亞甲基、四亞甲基、五亞甲基。由相鄰的S+與二價(jià)無(wú)環(huán)烴基一起形成的環(huán)基團(tuán)的實(shí)例包括四亞甲基锍基(sulfonio)、五亞甲基锍基和氧雙亞乙基锍基。陽(yáng)離子(IXc)中的芳族基的實(shí)例包括苯基、甲苯基、二甲苯基、4-正丁基苯基、4-異丁基苯基、4-叔丁基苯基、4-環(huán)己基苯基、4-苯基苯基和萘基。該芳族基可以被取代，并且取代基的實(shí)例包括C1-C6烷氧基，比如甲氧基、乙氧基、正丙氧基、正丁氧基、叔丁氧基和正己氧基；C2-C12酰氧基，比如乙酰氧基和l-金剛垸基羰氧基；和硝基。由ps和ps結(jié)合形成的二價(jià)無(wú)環(huán)烴基的實(shí)例包括亞甲基、亞乙基、三亞甲基、四亞甲基和五亞甲基，而相鄰的-CHCO-與二價(jià)無(wú)環(huán)烴基一起形成的2-氧代環(huán)垸基的實(shí)例包括2-氧代環(huán)戊基和2-氧代環(huán)己基。陽(yáng)離子(IXa)的實(shí)例包括如下<formula>formulaseeoriginaldocumentpage66</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage67</formula>陽(yáng)離子(IXb)的實(shí)例包括如下:陽(yáng)離子(IXC)的實(shí)例包括如下:陽(yáng)咼子(IXd)的實(shí)例包括如下:<formula>formulaseeoriginaldocumentpage70</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage71</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage72</formula>作為由A+表示有機(jī)抗衡離子，優(yōu)選陽(yáng)離子(IXa)和(IXc)。作為由A+表示有機(jī)抗衡離子，還優(yōu)選由下列式(IXe)表示的陽(yáng)離子:其中，P22、P"和P"各自獨(dú)立地表示氫原子或C1-C4烷基。作為陽(yáng)離子(IXc)，優(yōu)選這樣的陽(yáng)離子其中^和P結(jié)合形成C3-C12二價(jià)無(wú)環(huán)烴基，該二價(jià)無(wú)環(huán)烴基與相鄰的S+—起形成環(huán)，ps表示氫原子，pS表示C1-C12烷基、C3-C12環(huán)烷基或者可以被選自C1-C6烷氧基、C2-C20?；拖趸械闹辽僖粋€(gè)取代的芳族基；并且更優(yōu)選這樣的陽(yáng)離子其中一和^結(jié)合形成三亞甲基、四亞甲基或五亞甲基，該三亞甲基、四亞甲基或五亞甲基與相鄰的S+—起形成環(huán)，ps表示氫原子，pS表示Cl-C12烷基或可以被選自Cl-C6烷氧基和硝基中的至少一個(gè)取代的芳族基。作為鹽(VI)，優(yōu)選由下式表示的鹽其中，P6、P7、P8、P9、P22、P23、P24、Y3、Y4、X1、Q和Z4具有與匕述定義相同的含義。鹽(v)可以采用這樣的一種方法制備，所述方法包括將式(x)表示的鹽(下文中，簡(jiǎn)稱為鹽(X))與式(XI)表示的化合物(下文中，簡(jiǎn)稱為化合物(XI))反應(yīng)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage74</formula>式(X)中，M表示Li、Na、K或Ag，并且Y'、Y2和R2'具有如上所定義相同的含義，a+一g(x工)在式(XI)中，A+具有如上所定義的相同含義，而G表示F、Cl、Br、I、BF4、AsF6、SbF6、PF6或C104。鹽(X)和化合物(XI)的反應(yīng)通常于約0至150°C、優(yōu)選0至IO(TC，在惰性溶劑如乙腈、水、甲醇和二氯甲烷中，攪拌下進(jìn)行。每1摩爾的鹽(X)，化合物(XI)的量通常為0.5至2摩爾。通過(guò)上述方法獲得的鹽(V)可以通過(guò)重結(jié)晶分離，并且可以通過(guò)用水洗滌進(jìn)行純化。鹽(VI)可以采用這樣的一種方法制備，所述方法包括將式(XII)表示的鹽(下文中，簡(jiǎn)稱為鹽(XII))與化合物(XI)反應(yīng)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage74</formula>式(XII)中，M、Y3、Y4、Z4、X'和Q與上述限定的含義相同。鹽(XII)和化合物(XI)的反應(yīng)通常通過(guò)與鹽(X)和化合物(XI)的上述反應(yīng)類似的方法進(jìn)行。鹽(vm)可以采用這樣的一種方法制備，所述方法包括將式(xni)的鹽<formula>formulaseeoriginaldocumentpage74</formula>(下文中，簡(jiǎn)稱為鹽(xm))與化合物(xi)反應(yīng)，M+—03S—R22(XIII)在式(xm)中，M和R"具有與上述相同的含義。鹽(xni)和化合物(xi)的反應(yīng)通常通過(guò)與鹽(x)和化合物(xi)的上述反應(yīng)類似的方法進(jìn)行。鹽(x)可以通過(guò)這樣的方法制備，該方法包括使式(xv)表示的醇化合物(下文中，簡(jiǎn)稱為醇化合物(xv))與式(xvi)表示的羧酸(下文中，簡(jiǎn)稱為羧酸(xvi))進(jìn)行酯化.-HO—R21(XV)式(XV)中，R"具有如上所定義的相同含義；式(XVI)中，M、Q'和Q"具有如上所定義的相同含義。醇化合物(XV)和羧酸(XVI)的酯化反應(yīng)通?？梢赃@樣進(jìn)行于20至20(TC、優(yōu)選50至150。C，將所述材料在非質(zhì)子溶劑如二氯乙烷、甲苯、乙基苯、一氯苯、乙腈和N,N-二甲基甲酰胺中混合。在酯化反應(yīng)中，通常加入酸催化劑或脫水劑，并且酸催化劑的實(shí)例包括有機(jī)酸如對(duì)甲苯磺酸和無(wú)機(jī)酸如硫酸。脫水劑的實(shí)例包括l,l'-羰二咪唑和N,N'-二環(huán)己基碳二亞胺。該酯化反應(yīng)可以優(yōu)選在脫水條件下進(jìn)行，因?yàn)檫@樣使反應(yīng)時(shí)間趨向于縮短。脫水方法的實(shí)例包括迪安-斯塔克方法。每1摩爾的醇化合物(XVII)，羧酸(XVI)的量通常為0.2至3摩爾，優(yōu)選0.5至2摩爾。酸催化劑的量可以是催化量或者相當(dāng)于溶劑的量，并且每1摩爾的醇化合物(xvii)，通常為o.ooi至5摩爾。每i摩爾的醇化合物(xvn)，脫水劑的量通常為0.2至5摩爾、優(yōu)選0.5至3摩爾。鹽pai)也可以通過(guò)與醇化合物(xv)和羧酸(xvi)的上述酯化反應(yīng)類似的反應(yīng)的方法制備。羧酸(xvi)可以通過(guò)例如以下方法制備，該方法包括將由下式表示的酯化合物^1其中Q'和(^具有與上述定義相同的含義，并且R"表示Cl-C6烷基，與由下式表示的化合物在水中反應(yīng)，M-OH其中M具有與上述定義相同的含義?；跇?shù)脂組分和酸生成劑的總量計(jì)，本發(fā)明的抗蝕劑組合物優(yōu)選包含80至99.9重量％的樹(shù)脂組分和0.1至20重量％的酸生成劑。在本發(fā)明的抗蝕劑組合物中，通過(guò)加入作為猝滅劑的有機(jī)堿性化合物、特別是含氮有機(jī)堿性化合物，可以減小由酸的去活化造成的性能惡化，而所述酸的去活化是由于后曝光延遲而引起的。含氮有機(jī)堿性化合物的具體實(shí)例包括以下各式表示的胺化合物<formula>formulaseeoriginaldocumentpage77</formula>其中，T'和f獨(dú)立地表示氫原子、垸基、環(huán)垸基或芳基，并且所述垸基、環(huán)垸基和芳基可以被選自羥基、可以被C1-C4烷基取代的氨基以及可以被C1-C6烷氧基取代的C1-C6烷氧基中的至少一個(gè)基團(tuán)取代；T，n"獨(dú)立地表示氫原子、垸基、環(huán)烷基、芳基或烷氧基，并且所述烷基、環(huán)烷基、芳基和烷氧基可以被選自羥基、可以被C1-C4烷基取代的氨基以及C1-C6烷氧基中的至少一個(gè)基團(tuán)取代，或者f和f與它們鍵合的碳原子結(jié)合在一起形成芳族環(huán)；f表示氫原子、烷基、環(huán)烷基、芳基、垸氧基或硝基，并且該烷基、環(huán)烷基、芳基和烷氧基可以被選自羥基、可以被C1-C4烷基取代的氨基以及Cl-C6烷氧基中的至少一個(gè)基團(tuán)取代；丁6表示烷基或環(huán)烷基，并且所述烷基和環(huán)烷基可以被選自羥基、可以被C1-C4烷基取代的氨基以及C1-C6烷氧基中的至少一個(gè)基團(tuán)取代；以及W表示-CO-、-NH-、-S-、-S-S-、其至少一個(gè)亞甲基可以被-O-取代的亞烷基、或其至少一個(gè)亞甲基可以被-O-取代的亞鏈烯基(aikenylene)，以及下式表示的氫氧化季銨<formula>formulaseeoriginaldocumentpage78</formula>其中，T7、T8、f和T^獨(dú)立地表示烷基、環(huán)烷基或芳基，并且所述垸基、環(huán)烷基和芳基可以被選自羥基、可以被Cl-C4垸基取代的氨基以及Cl-C6烷氧基中的至少一個(gè)基團(tuán)取代。在T1、T2、T3、T4、T5、T6、T7、Ts、f和T"中的烷基優(yōu)選具有約l至IO個(gè)碳原子，并且更優(yōu)選具有約1至6個(gè)碳原子。可以被C1-C4烷基取代的氨基的實(shí)例包括氨基、甲氨基、乙氨基、正丁基氨基、二甲氨基和二乙氨基?？梢员籆1-C6垸氧基取代的C1-C6烷氧基的實(shí)例包括甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、叔丁氧基、正戊氧基、正己氧基和2-甲氧基乙氧基。可以被選自羥基、可以被C1-C4烷基取代的氨基以及可以被C1-C6烷氧基取代的C1-C6烷氧基中的至少一個(gè)基團(tuán)取代的烷基的具體實(shí)例包括甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正辛基、正壬基、正癸基、2-(2-甲氧基乙氧基)乙基、2-羥乙基、2-羥丙基、2-氨基乙基、4-氨基丁基和6-氨基己基。在T1、T2、T3、T4、T5、T6、T7、T8、丁9和丁1()中的環(huán)烷基優(yōu)選具有約5至10個(gè)碳原子?？梢员贿x自羥基、可以被C1-C4烷基取代的氨基以及C1-C6垸氧基中的至少一個(gè)基團(tuán)取代的環(huán)垸基的具體實(shí)例包括環(huán)戊基、環(huán)己基、環(huán)庚基和環(huán)辛基。在T1、T2、T3、T4、T5、T6、T7、T8、丁9和丁1()中的芳基優(yōu)選具有約6至IO個(gè)碳原子。可以被選自羥基、可以被C1-C4垸基取代的氨基以及C1-C6烷氧基中的至少一個(gè)基團(tuán)取代的芳基的具體實(shí)例包括苯基和萘基。在T3、丁4和丁5中的垸氧基優(yōu)選具有約1至6個(gè)碳原子，并且其實(shí)例包括甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、叔丁氧基、正戊氧基和正己氧基。在W中的亞烷基和亞鏈烯基優(yōu)選具有2至6個(gè)碳原子。亞烷基的具體實(shí)例包括亞乙基、三亞甲基、四亞甲基、亞甲二氧基和亞乙基-l,2-二氧基，而亞鏈烯基的具體實(shí)例包括乙烯-l,2-二基、1-丙烯-1,3-二基和2-丁烯-1,4-胺化合物的具體實(shí)例包括正己胺、正庚胺、正辛胺、正壬胺、正癸胺、苯胺、2-甲基苯胺、3-甲基苯胺、4-甲基苯胺、4-硝基苯胺、l-萘胺、2-萘胺、乙二胺、四亞甲基二胺、六亞甲基二胺、4,4，-二氨基-1,2-二苯基乙烷、4,4，-二氨基-3,3，-二甲基二苯基甲烷、4,4，-二氨基-3,3，-二乙基二苯基甲烷、二丁胺、二戊胺、二己胺、二庚胺、二辛胺、二壬胺、二癸胺、N-甲基苯胺、哌啶、二苯胺、三乙胺、三甲胺、三丙胺、三丁胺、三戊胺、三己胺、三庚胺、三辛胺、三壬胺、三癸胺、甲基二丁胺、甲基二戊胺、甲基二己胺、甲基二環(huán)己胺、甲基二庚胺、甲基二辛胺、甲基二壬胺、甲基二癸胺、乙基二丁胺、乙基二戊胺、乙基二己胺、乙基二庚胺、乙基二辛胺、乙基二壬胺、乙基二癸胺、二環(huán)己基甲胺、三[2-(2-甲氧基乙氧基)乙基]胺、三異丙醇胺、N,N-二甲基苯胺、2，6-二異丙基苯胺、咪唑、苯并咪唑、吡啶、4-甲基吡啶、4-甲基咪唑、聯(lián)吡啶、2，2，-二吡啶胺、二-2-吡啶酮、1,2-二(2-吡啶基)乙垸、1,2-二(4-吡啶基)乙垸、1,3-二(4-吡啶基)丙烷、1,2-雙(2-吡啶基)乙烯、1,2-雙(4-吡啶基)乙烯、1,2-雙(4-吡啶氧基)乙垸、4,4，-二吡啶硫醚(sulfide)、4,4，-二吡啶二硫醚(disulfide)、1,2-雙(4-吡啶基)乙烯、2,2，-二吡啶甲基胺和3,3'-二吡啶甲基胺。氫氧化季銨的實(shí)例包括氫氧化四甲銨、氫氧化四丁銨、氫氧化四己銨、氫氧化四辛銨、氫氧化苯基三甲銨、氫氧化(3-三氟甲基苯基)三甲銨和氫氧化(2-羥乙基)三甲銨(所謂的"膽堿，，)。還可以使用如JP11-52575Al中公開(kāi)的具有哌啶骨架的受阻胺化合物作為猝滅劑。就形成具有更高分辨率的圖案而言，優(yōu)選采用氫氧化季銨作為猝滅劑。當(dāng)采用堿性化合物作為猝滅劑時(shí)，基于樹(shù)脂組分和鹽(II)的總量，本發(fā)明的抗蝕劑組合物優(yōu)選包含O.Ol至1重量％的堿性化合物。必要時(shí)，本發(fā)明的抗蝕劑組合物可以含有少量的各種添加劑，比如敏化劑、溶解抑制劑、其它聚合物、表面活性劑、穩(wěn)定劑和染料，只要不妨礙本發(fā)明的效果即可。本發(fā)明的抗蝕劑組合物通常是將上述成分溶解在溶劑中的抗蝕劑液體組合物形式，并且采用常規(guī)的方法如旋涂法將該抗蝕劑液體組合物涂敷到基材如硅晶片上。所使用的溶劑足以溶解上述成分，具有合適的干燥速率，并且在溶劑蒸發(fā)后產(chǎn)生均勻且光滑的涂層?？梢允褂帽绢I(lǐng)域中通常使用的溶劑。溶劑的實(shí)例包括二元醇醚酯，比如乙基溶纖劑乙酸酯、甲基溶纖劑乙酸酯和丙二醇一甲醚乙酸酯；無(wú)環(huán)酯，比如乳酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸戊酯和丙酮酸乙酯等；酮，如丙酮、甲基異丁基酮、2-庚酮和環(huán)己酮；以及環(huán)酯，如Y-丁內(nèi)酯。這些溶劑可以單獨(dú)使用，或者將其兩種或更多種混合使用。將涂敷在基材上然后干燥的抗蝕劑膜進(jìn)行曝光以形成圖案，然后進(jìn)行熱處理以促進(jìn)解閉反應(yīng)，其后用堿性顯影劑顯影。所使用的堿性顯影劑可以是本領(lǐng)域中使用的各種堿性水溶液中的任何一種。通常地，經(jīng)常使用氫氧化四甲銨或氫氧化(2-羥乙基)三甲銨(通常稱作"膽堿")的水溶液。應(yīng)當(dāng)理解，此處公開(kāi)的實(shí)施方案在所有方面都是實(shí)例而不是限制性的。意圖在于，本發(fā)明的范圍不是由上面的說(shuō)明書而是由后附權(quán)利要求書確定的，并且包括權(quán)利要求書的等價(jià)含義和范圍的所有變體。將通過(guò)實(shí)施例更具體地描述本發(fā)明，但這些實(shí)施例不應(yīng)理解為對(duì)本發(fā)明范圍的限制。用以表示以下實(shí)施例和比較例中使用的任何組分的含量和任何物質(zhì)的量的"。/。"和"份"都是基于重量的，除非另外具體指明。以下實(shí)施例中所使用的任何物質(zhì)的重均分子量都是通過(guò)凝膠滲透色譜[HLC-8120GPC型，柱子(3根柱子)TSKgelMultiporeHXL-M，溶劑四氫呋喃，由TOSOH公司制造]，使用苯乙烯作為標(biāo)準(zhǔn)參考物質(zhì)而測(cè)得的值?；衔锏慕Y(jié)構(gòu)是通過(guò)NMR(JEOLLTD.制造的GX-270型或EX-270型)和質(zhì)譜(液相色譜1100型，由安捷倫技術(shù)有限公司(AGILENTTECHNOLOGIESLTD.)制造，質(zhì)譜LC/MSD型或LC/MSDTOF型，由安捷倫技術(shù)有限公司(AGILENTTECHNOLOGIESLTD.)制造)測(cè)定的。鹽合成實(shí)施例1由上述式(b)表示的鹽是根據(jù)在US2007/27336Al中描述的方法以白色固體形式獲得的，并且將所得的鹽稱作B1。鹽合成實(shí)施例2<formula>formulaseeoriginaldocumentpage81</formula>由上述式(d)表示的鹽是根據(jù)在US2006/194982Al中描述的方法以白色固體形式獲得的，并且將所得的鹽稱作B2。在下面的樹(shù)脂合成實(shí)施例中使用的單體是下列單體Ml、M2、M3、M4、M5和M6。樹(shù)脂合成實(shí)施例1將20.00份單體M1、3.04份單體M2、6.44份單體M3和9.06份單體M5溶解在相當(dāng)于所使用的全部單體量的2.6倍量的l，4-二噁垸中(單體摩爾比；單體M1:單體M2:單體M3:單體M5-50:8:18:24)。向該溶液中，加入2,2'-偶氮二異丁腈作為引發(fā)劑，其比率基于所有單體的摩爾量為3摩爾％，并且將所得混合物在87t:加熱約5小時(shí)。將反應(yīng)溶液傾倒入大量的甲醇和水的混合溶劑中以引起沉淀。將沉淀物分離，并用大量的甲醇和水的混合溶劑洗滌兩次以進(jìn)行純化。結(jié)果，以61%的收率得到重均分子量為約8,100的共聚物。該共聚物具有如下的結(jié)構(gòu)單元。該共聚物被稱作樹(shù)脂A1。樹(shù)脂合成實(shí)施例2將21.40份單體M1、3.26份單體M2、6.89份單體M3和7.04份單體M4溶解在相當(dāng)于所使用的全部單體量的2.6倍量的l，4-二噁烷中(單體摩爾比；單體M1:單體M2:單體M3:單體M4二50:8:18:24)。向該溶液中，加入2,2'-偶氮二異丁腈作為引發(fā)劑，其比率基于所有單體的摩爾量為3摩爾％，并且將所得混合物在87X:加熱約5小時(shí)。將反應(yīng)溶液傾倒入大量的甲醇和水的混合溶劑中以引起沉淀。將沉淀物分離，并用大量的甲醇和水的混合溶劑洗滌兩次以進(jìn)行純化。結(jié)果，以56%的收率得到重均分子量為約6,900的共聚物。該共聚物具有如下的結(jié)構(gòu)單元。該共聚物被稱作樹(shù)脂A2。樹(shù)脂合成實(shí)施例3將20.00份單體M1、3.04份單體M2、6.44份單體M3和9.06份單體M6溶解在相當(dāng)于所使用的全部單體量的2.6倍量的l,4-二噁烷中(單體摩爾比；單體M1:單體M2:單體M3:單體M6二50:8:18:24)。向該溶液中，加入2，2，-偶氮二異丁腈作為引發(fā)劑，其比率基于所有單體的摩爾量為3摩爾％，并且將所得混合物在87'C加熱約5小時(shí)。將反應(yīng)溶液冷卻，然后傾倒入大量的甲醇和水的混合溶劑中以引起沉淀。將沉淀物分離，并用大量的甲醇和水的混合溶劑洗滌兩次以進(jìn)行純化。結(jié)果，以57%的收率得到重均分子量為約6,900的共聚物。該共聚物具有如下的結(jié)構(gòu)單元。該共聚物被稱作樹(shù)脂A3。樹(shù)脂合成實(shí)施例4將19.00份單體Ml、8.84份單體M3和8.60份單體M5溶解在相當(dāng)于所使用的全部單體量的2.6倍量的二噁烷中(單體摩爾比；單體Ml:單體M3:單體M5二50:26:24)。向該溶液中，加入2,2'-偶氮二異丁腈作為引發(fā)齊U，其比率基于所有單體的摩爾量為3摩爾％。將所得混合物在87X:加熱約5小時(shí)。將反應(yīng)溶液冷卻，然后傾倒入到大量的甲醇和水的混合溶劑中以引起沉淀。將沉淀物分離，并用大量的甲醇和水的混合溶劑洗滌兩次以進(jìn)行純化。結(jié)果，以63%的收率得到重均分子量為約7,900的共聚物。該共聚物具有如下的結(jié)構(gòu)單元。該共聚物被稱作樹(shù)脂A4。實(shí)施例1至2和比較例1至2<酸生成劑>酸生成劑Bl:樹(shù)脂A1，A2，A3和A4<猝滅劑>Ql:2,6-二異丙基苯胺<溶劑>Yl:丙二醇一甲醚乙酸酯2-庚酮丙二醇一甲醚Y-丁內(nèi)酯90份20.0份20.0份3.5份將下列組分混合并且溶解，還將該溶液通過(guò)孔徑為0.2pn的氟樹(shù)脂過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾，從而制備出抗蝕劑液體。酸生成劑(種類和量描述于表l中)猝滅劑(種類和量描述于表l中)溶劑(種類描述于表l中)將每個(gè)硅晶片用"ARC95"，一種獲自Nissan化學(xué)工業(yè)有限公司(NissanChemicalIndustries,Ltd.)的有機(jī)抗反射涂層組合物涂布，然后在215。C、60秒的條件下烘焙，形成295A厚的有機(jī)抗反射涂層。將如上制備的每種抗蝕劑液體旋涂在抗反射涂層上，使得到的膜在干燥后的厚度為0.14pm。將如此涂有相應(yīng)抗蝕劑液體的硅晶片各自都在直接電熱板上于表1的"PB"欄中所示溫度預(yù)烘焙60秒。使用ArF受激準(zhǔn)分子分檔器(由CANONINC,制造的"FPA5000-AS3"，NA=0.75,2/3環(huán)形)，在曝光量逐步變化的同時(shí)，對(duì)每個(gè)其上如此形成有相應(yīng)抗蝕劑膜的晶片進(jìn)行線和空間圖案曝光。曝光后，將每個(gè)晶片在電熱板上于表1的"PEB"欄中所示溫度進(jìn)行曝光后烘焙60秒，然后用2.38重量％的氫氧化四甲銨水溶液進(jìn)行踏板顯影用掃描電子顯微鏡觀察在顯影之后的有機(jī)抗反射涂層基材上顯影的每個(gè)暗場(chǎng)圖案，其結(jié)果示于表2中。此處使用的術(shù)語(yǔ)"暗場(chǎng)圖案"是指穿過(guò)標(biāo)線進(jìn)行曝光和顯影而獲得的圖案，所述的標(biāo)線包含鉻基底表面(遮光部分;和形成在鉻表面上并且彼此排列成行的線性玻璃層(透光部分)。因此，暗場(chǎng)圖案是這樣一種圖案，即，在曝光和顯影后，圍繞線和空間圖案的抗蝕劑層保留在基材上。有效靈敏度(ES):它表示為在通過(guò)100nm的線和空間圖案掩模曝光并且顯影后，線圖案和空間圖案變?yōu)閘:l時(shí)的曝光量。分辨率它表示為在通過(guò)100nm的線和空間圖案掩模曝光并且顯影后，線圖案和空間圖案變?yōu)?:1時(shí)的曝光量下，1:3的線和空間圖案的分辨率。圖案形貌在進(jìn)行光刻之后的抗蝕劑圖案用掃描電子顯微鏡觀察，并且當(dāng)該圖案為矩形或近似矩形時(shí)，它的評(píng)價(jià)標(biāo)記為"〇"，當(dāng)圖案的頂部為圓的形狀時(shí)，它的評(píng)價(jià)被標(biāo)記為"X"。Onishi參數(shù)通過(guò)下列等式計(jì)算樹(shù)脂的Onishi參數(shù)二H(用于在樹(shù)脂中產(chǎn)生相應(yīng)結(jié)構(gòu)單元的單體的各自被計(jì)算出的Onish滲數(shù))x(在樹(shù)脂中相應(yīng)結(jié)構(gòu)單元的各自含量比)]。在此，用于在樹(shù)脂中產(chǎn)生相應(yīng)結(jié)構(gòu)單元的單體的Onishi參數(shù)通過(guò)下列等式計(jì)算單體的0nishi參數(shù)氣單體的原子總數(shù)量)/[(單體的碳原子數(shù)量)-(單體的氧數(shù)量)]。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage86</column></row><table>表2<table>tableseeoriginaldocumentpage86</column></row><table>這里，作為相應(yīng)的結(jié)構(gòu)單元在樹(shù)脂中的含量比率，使用用于生產(chǎn)樹(shù)脂的相應(yīng)的單體的比率值。從表2明顯看出，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的抗蝕劑組合物提供了在分辨率和圖案形貌上良好的抗蝕劑圖案。此外，實(shí)施例的抗蝕劑組合物具有低的Onishi參數(shù)，因此表明，由實(shí)施例的抗蝕劑組合物獲得的抗蝕劑膜具有良好的耐干蝕刻性。實(shí)施例3除了采用酸生成劑B2代替酸生成劑B1之外，根據(jù)與實(shí)施例l中所述的相同的方式，獲得抗蝕劑組合物和暗場(chǎng)圖案。本發(fā)明組合物提供了在分辯率、圖案形貌和耐干蝕刻性上良好的抗蝕劑圖案，并且特別適合于ArF受激準(zhǔn)分子激光光刻法、KrF受激準(zhǔn)分子激光光刻法和ArF浸漬光刻法。權(quán)利要求1.一種化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其包含(A)樹(shù)脂，所述樹(shù)脂包含(a)具有酸-不穩(wěn)定基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元、(b)具有至少一個(gè)羥基的結(jié)構(gòu)單元、(c)具有至少一個(gè)內(nèi)酯結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)單元以及(d)由式(Ia)或(Ib)表示的結(jié)構(gòu)單元id="icf0001"file="S2008100865701C00011.gif"wi="84"he="48"top="90"left="35"img-content="drawing"img-format="tif"orientation="portrait"inline="no"/>其中，R1表示氫原子或甲基，R3表示甲基，n表示0至14的整數(shù)，并且Z表示單鍵或-[CH2]k-COO-，以及(B)至少一種酸生成劑。2.根據(jù)權(quán)利要求1的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中(a)所述具有酸-不穩(wěn)定基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元是由式(IIa)或(IIb)表示的結(jié)構(gòu)單元；其中，W表示氫原子或甲基，Z1表示單鍵或-(CH2)r-COO-，r表示1至4的整數(shù)，W表示C1-C8直鏈或支鏈烷基或C3-C10環(huán)烷基，R5表示甲基，m表示0至14的整數(shù)，RS表示C1-C8直鏈或支鏈烷基或C3-C10環(huán)烷基，W和R8各自獨(dú)立地表示氫原子或可以具有至少一個(gè)雜原子的C1-C8一價(jià)烴基，或者R"和R8可以結(jié)合形成可以具有至少一個(gè)雜原子的Cl-C8二價(jià)烴基,所述C1-C8二價(jià)烴基與W和RS鍵合的相鄰碳原子一起形成環(huán)，或者R7和RS可以在R"鍵合的碳原子和RS鍵合的碳原子之間結(jié)合形成碳-碳雙鍵，1表示1至3的整數(shù)。3.根據(jù)權(quán)利要求1的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中(b)所述具有至少一個(gè)羥基的結(jié)構(gòu)單元是由式(ni)表示的結(jié)構(gòu)單元其中，W表示氫原子或甲基，R"和R"各自獨(dú)立地表示氫原子、甲基或羥基，R12表示甲基，p表示0至12的整數(shù)，zZ表示單鍵或-(CH2)s-COO-，并且s表示1至4的整數(shù)。4.根據(jù)權(quán)利要求1的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中(c)所述具有至少一個(gè)內(nèi)酯結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)單元是由式(IVa)、(IVb)或(IVc)表示的結(jié)構(gòu)單元其中，R"表示氫原子或甲基，R"表示甲基，x表示0至5的整數(shù)，R"表示C1-C4烴基、羧基或氰基，y表示0至3的整數(shù)，R^表示C1-C4烴基、羧基或氰基，z表示0至3的整數(shù)，并且當(dāng)y為2或3時(shí)，R"可以彼此相同或不同，而當(dāng)z為2或3時(shí)，R"可以彼此相同或不同。5.根據(jù)權(quán)利要求1的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中所述酸生成劑為鐵鹽化合物、有機(jī)-鹵素化合物、砜化合物或磺酸鹽化合物。6.根據(jù)權(quán)利要求1的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中所述酸生成劑為鎗鹽化合物。7.根據(jù)權(quán)利要求1的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中所述酸生成劑是選自由式(V)表示的鹽中的鹽<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>其中，Y'和^各自獨(dú)立地表示氟原子或C1-C6全氟垸基，R"表示C1-C6直鏈或支鏈烴基或C3-C30單環(huán)或多環(huán)烴基，所述C3-C30單環(huán)或多環(huán)烴基可以被選自C1-C6烷基、Cl-C6烷氧基、Cl-C4全氟烷基、羥基和氰基中的至少一個(gè)取代，并且在所述C3-C30單環(huán)或多環(huán)烴基中的至少一個(gè)-CH2-可以被-CO-、-O-或-CH(OH)-取代，并且A+表示有機(jī)抗衡離子。8.根據(jù)權(quán)利要求l的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中所述酸生成劑是由式(VI)表示的鹽<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>(VI)其中，YS和YA各自獨(dú)立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，z"表示單鍵或C1-C4亞烷基，Q表示-CO-或-CH(OH)-，而環(huán)X'表示C3-C30單環(huán)或多環(huán)烴基，其中當(dāng)Q為-CO-時(shí)所述C3-C30單環(huán)或多環(huán)烴基的兩個(gè)氫原子被K)在Q位取代或當(dāng)Q為-CH(OH)-時(shí)所述C3-C30單環(huán)或多環(huán)烴基的氫原子被羥基在Q位取代，并且在所述C3-C30單環(huán)或多環(huán)烴基中的至少一個(gè)氫原子可以被C1-C6烷基、Cl-C6烷氧基、Cl-C4全氟烷基、Cl-C6羥基烷基、羥基或氰基取代，并且A+表示有機(jī)抗衡離子。9.根據(jù)權(quán)利要求l的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中所述酸生成劑是由式(vin)表示的鹽A+-03S—R22(VIII)其中，R22表示Cl-C8直鏈或支鏈全氟烷基，并且A+表示有機(jī)抗衡離子。10.根據(jù)權(quán)利要求7、8或9的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中A+表示選自由式(IXa)表示的陽(yáng)離子、由式(IXb)表示的陽(yáng)離子、由式(IXc)表示的陽(yáng)離子和由式(IXd)表示的陽(yáng)離子中的至少一種陽(yáng)離子<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>(IXa)式(IXa)中，P1、ps和ps各自獨(dú)立地表示可以被選自羥基、C3-C12環(huán)烴基和C1-C12垸氧基中的至少一個(gè)取代的C1-C30直鏈或支鏈烷基；或者可以被選自羥基和C1-C12烷氧基中的至少一個(gè)取代的C3-C30環(huán)烴基，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>式(IXb)中，P，卩ps各自獨(dú)立地表示氫原子、羥基、C1-C12烷基或C1-C12烷氧基，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage6</formula>式(IXc)中，pS和P"各自獨(dú)立地表示Cl-C12烷基或C3-C12環(huán)烷基，或者^(guò)和P"結(jié)合形成C3-C12二價(jià)無(wú)環(huán)烴基，該二價(jià)無(wú)環(huán)烴基與相鄰的S+—起形成環(huán)，并且所述二價(jià)無(wú)環(huán)烴基中的至少一個(gè)-CH2-可以被-CO-、-O-或-S-取代，P8表示氫原子，PS表示C-C12烷基、C3-C12環(huán)烷基或者可以被取代的芳族基，或者一和^結(jié)合形成二價(jià)無(wú)環(huán)烴基，該二價(jià)無(wú)環(huán)烴基與相鄰的-CHCO-—起形成2-氧代環(huán)烷基，并且所述二價(jià)無(wú)環(huán)烴基中的至少一個(gè)-CH2-可以被-C0-、-O-或-S-取代；以及1/(t+l)在式(IXd)中，P1。、P11、P12、P13、P14、P15、p16、P17、p,8、p19、p20和P"各自獨(dú)立地表示氫原子、羥基、C1-C12烷基或C1-C12烷氧基，B表示硫或氧原子，并且t表示0或l。11.根據(jù)權(quán)利要求7、8或9的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中A+表示由式(IXe)表示的陽(yáng)離子<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>(工Xe)其中，P22、P"和P"各自獨(dú)立地表示氫原子或C1-C4烷基。12.根據(jù)權(quán)利要求1的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中所述化學(xué)放大型抗蝕劑組合物包含S0至99.9重量％的樹(shù)脂組分和0.1至20重量％的酸生成劑。13.根據(jù)權(quán)利要求1的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中所述化學(xué)放大型抗蝕劑組合物還包含堿性化合物。全文摘要本發(fā)明提供一種化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其包含樹(shù)脂，所述樹(shù)脂包含(a)具有酸-不穩(wěn)定基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元、(b)具有至少一個(gè)羥基的結(jié)構(gòu)單元、(c)具有至少一個(gè)內(nèi)酯結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)單元以及(d)由式(Ia)或(Ib)表示的結(jié)構(gòu)單元，其中在所述式(Ia)或(Ib)中，R¹表示氫原子或甲基，R³表示甲基，n表示0至14的整數(shù)，并且Z表示單鍵或-[CH₂]_k-COO-；以及(B)至少一種酸生成劑。文檔編號(hào)G03F7/039GK101271273SQ200810086570公開(kāi)日2008年9月24日申請(qǐng)日期2008年3月20日優(yōu)先權(quán)日2007年3月23日發(fā)明者藤裕介,高田佳幸申請(qǐng)人:住友化學(xué)株式會(huì)社