專利名稱：：柔性光波導(dǎo)及光學(xué)模塊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及可彎曲性、耐熱性及透明性優(yōu)異的柔性光波導(dǎo)及光學(xué)模塊。
背景技術(shù)：
：近年來，為了適應(yīng)高速度大容量的信號傳輸，正在推動(dòng)改變原來的電氣線路、使用光線路的信號傳輸技術(shù)。作為光傳輸線路，從加工容易性、低成本、布線自由度及高密度化方面考慮，聚合物光波導(dǎo)受到了關(guān)注。作為聚合物光波導(dǎo)的形式，通常認(rèn)為不具有需要進(jìn)行板間連接的硬支持基板、具備柔軟性的柔性光波導(dǎo)是適宜的。對于這種柔性光波導(dǎo)，除了板間的連接外，還研究了其對以往使用了柔性電路板的折疊型便攜電話的鉸鏈部分及連接筆記本電腦的顯示器和主體的鉸鏈部分等的適用性、對日常設(shè)備的適用性，要求其具有可彎曲性、耐熱性及透明性。作為以往的柔性光波導(dǎo)，已提出了例如專利文獻(xiàn)l中記載的聚合物光波導(dǎo)膜。該聚合物光波導(dǎo)膜將重氫化或卣化的聚(曱基)丙烯酸酯用于包層及芯層，采用旋涂法進(jìn)行制作，列舉了在波長1.3pm下波導(dǎo)的波導(dǎo)損耗(波導(dǎo)長5cm)為1.1dB及1.5dB的例子，而且公開了在波導(dǎo)不彎曲的狀態(tài)下及彎曲的狀態(tài)下?lián)p耗相同(參見專利文獻(xiàn)l，實(shí)施例1及2)。其中，關(guān)于制作的聚合物光波導(dǎo)膜的可彎曲性，雖然描述了如上所述在波導(dǎo)不彎曲的狀態(tài)下及彎曲的狀態(tài)下的波導(dǎo)損耗，但是并沒有描述彎曲時(shí)的曲率半徑及反復(fù)彎曲試驗(yàn)結(jié)果等具體的測定條件，其程度是不明確的。另外，關(guān)于耐熱性及透明性也是不明確的。如上所述，在以往的柔性光波導(dǎo)中，同時(shí)具備可彎曲性、耐熱性及透明性的光波導(dǎo)是未知的。專利文獻(xiàn)1:日本特許第3249340號公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于上述觀點(diǎn)而做出的，目的是提供具有高度的可彎曲性、耐熱性及透明性的柔性光波導(dǎo)及使用柔性光波導(dǎo)的光學(xué)模塊。本發(fā)明人反復(fù)進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)可利用以下記載的內(nèi)容來解決上述問題。即，本發(fā)明涉及以下的(1)~(17)。(1)柔性光波導(dǎo)，其具有芯部和包層，并且在曲率半徑為2mm的360°彎曲試驗(yàn)中插入損耗的增加量為O.ldB以下。(2)上述(1)中所述的柔性光波導(dǎo)，其中芯部和包層的比折射率差為1~10%。(3)上述(1)或(2)中所述的柔性光波導(dǎo)，將曲率半徑為5mm的反復(fù)彎曲試驗(yàn)進(jìn)行10萬次后的插入損耗的增加量為O.ldB以下。(4)上述(1)~(3)中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)，薄膜拉伸試驗(yàn)中的彈性模量為0.056GPa。(5)上述(1)(4)中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)，薄膜拉伸試驗(yàn)中的最大伸長率為350°/0。(6)上述(1)(5)中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)，其厚度為950(Him。(7)上述(1)(6)中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)，將最高溫度為265°C的回流試驗(yàn)進(jìn)行3次后的傳輸損耗的增加量為0.05dB/cm以下。(8)上述(1)~(7)中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)，傳輸損耗為0JdB/cm以下。(9)上述(1)~(8)中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)，芯部和/或包層是使用含有(A)粘結(jié)劑聚合物、(B)光聚合性化合物及(C)光聚合引發(fā)劑的樹脂組合物制作的。(10)上述(9)中所述的柔性光波導(dǎo)，該柔性光波導(dǎo)是使用以下樹脂組合物制作的相對于(A)成分及(B)成分的總量，含有(A)成分580質(zhì)量％及(B)成分20~95質(zhì)量％，并且相對于(A)成分及(B)成分的總量100質(zhì)量份，含有(C)成分0.110質(zhì)量份。(11)上述(9)或(10)中所述的柔性光波導(dǎo)，其中(A)粘結(jié)劑聚合物是苯氧基樹脂。(12)上述(9)U1)中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)，其中含有分子內(nèi)具有乙烯性不飽和基團(tuán)的化合物作為(B)光聚合性化合物。(13)上述(9)~(12)中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)，其中含有單官能(甲基)丙烯酸酯作為(B)光聚合性化合物，所述單官能(曱基)丙烯酸酯具有選自芳基、芳烷基、芳氧基及芳香族雜環(huán)基中的至少一種基團(tuán)。(14)上述(9)(12)中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)，其中含有下述通式(1)表示的乙氧基化藥型二(曱基)丙烯酸酯作為(B)光聚合性化合物。(式中，R'表示氫原子或曱基，WR。各自獨(dú)立地表示氫原子、碳原子數(shù)為1~12的烷基、碳原子數(shù)為1~6的烷氧基、碳原子數(shù)為2~7的烷氧羰基、碳原子數(shù)為6~10的芳基、或碳原子數(shù)為79的芳烷基。a及b各自獨(dú)立地表示1~20的整數(shù)。)(15)上述(9)~(12)中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)，其中含有下式通式(2)表示的(曱基)丙烯酸酯作為(B)光聚合性化合物。(式中，X為CH2CH(OH)CH2、(C2H40)cC2H4、(C3H60)dC3H6、或(C2H40)e(C3H60)fC3H6，Y表示C(CH3)2、CH2、S02或0，c、d、e及f分別表示0至10的整數(shù)。R"表示氬原子或曱基，R"表示氫原子、曱基或鹵素原子。)(16)上述(9)~(11)中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)，其中含有分子內(nèi)具有2個(gè)以上環(huán)氧基的化合物作為(B)光聚合性化合物。(17)使用了上述(1)~(16)中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)的光學(xué)模塊。根據(jù)本發(fā)明，可以提供具有高彎曲性、耐熱性和透明性的柔性光波導(dǎo)和使用柔性光波導(dǎo)的光學(xué)模塊。附圖簡要說明圖l說明了本發(fā)明的柔性光波導(dǎo)的形態(tài)，是剖面圖。圖2顯示了在本發(fā)明中所實(shí)施的回流試驗(yàn)中回流爐內(nèi)的溫度曲線。圖3顯示了使用實(shí)施例1中制作的柔性光波導(dǎo)進(jìn)行360°彎曲試驗(yàn)時(shí)的曲率半徑和損耗變化。圖4顯示了使用實(shí)施例1中制作的柔性光波導(dǎo)進(jìn)行反復(fù)彎曲試驗(yàn)時(shí)的彎曲次數(shù)和損耗變化。圖5顯示了使用實(shí)施例1中制作的柔性光波導(dǎo)測定傳輸損耗時(shí)的結(jié)果。符號說明1:柔性光波導(dǎo)(光波導(dǎo))2:芯部3:上部包層4:下部包層5、保護(hù)膜具體實(shí)施例方式圖1(a)中顯示了本發(fā)明的柔性光波導(dǎo)的例子。光波導(dǎo)1由高折射率的芯層形成用樹脂形成的芯部2和低折射率包層形成用樹脂形成的包層(上部包層3及下部包層4)構(gòu)成。關(guān)于芯部2，在芯層形成用樹脂形成的芯層上，如后所述透過負(fù)掩模圖案以圖像狀照射活性光線，然后經(jīng)過顯影工序形成圖案狀。另外，對于光波導(dǎo)l，也可以如圖l(b)、(c)及(d)那樣，在上部包層3或下部包層4的外側(cè)中的至少一方上設(shè)置保護(hù)膜5。通過設(shè)置保護(hù)膜5，可以將保護(hù)膜5的柔軟性及強(qiáng)韌性賦予光波導(dǎo)1。而且，由于光波導(dǎo)1不會(huì)變臟或受損，因此提高了操作容易性。〔包層形成用樹脂〕作為本發(fā)明中使用的包層形成用樹脂，只要能達(dá)到本發(fā)明的效果，就沒有特別的限制，適宜使用比芯層的折射率低、通過光或熱固化的熱固性樹脂組合物或感光性樹脂組合物。作為更適宜的情況，優(yōu)選包層形成用樹脂由含有(A)粘結(jié)劑聚合物、(B)光聚合性化合物及(C)光聚合引發(fā)劑的樹脂組合物構(gòu)成。此處使用的(A)粘結(jié)劑聚合物是用于形成包層并確保該包層的強(qiáng)度及可彎曲性的材料，只要能達(dá)到該目的，就沒有特別的限制，可以列舉苯氧基樹脂、環(huán)氧樹脂、(曱基)丙烯酸樹脂、聚碳酸酯、聚芳酯、聚醚酰胺、聚醚酰亞胺、聚醚砜等，或它們的衍生物等。這些粘結(jié)劑聚合物可以單獨(dú)使用，或2種以上混合使用。在這些聚合物中，從耐熱性高的方面考慮，優(yōu)選主鏈上具有芳香環(huán)的聚合物，特別優(yōu)選苯氧基樹脂。另外，從三維交聯(lián)、提高耐熱性方面考慮，優(yōu)選環(huán)氧樹脂，特別是室溫(25°C)下為固態(tài)的環(huán)氧樹脂。而且，為了確保包層形成用樹脂膜的透明性，其與后文詳述的(B)光聚合性化合物的相溶性是重要的，從該方面考慮，上述苯氧基樹脂及(曱基)丙烯酸樹脂是優(yōu)選的。還有，此處的(曱基)丙烯酸樹脂是指丙烯酸樹脂及曱基丙烯酸樹脂。在苯氧基樹脂中，從具有高耐熱性方面考慮，優(yōu)選雙酚A型環(huán)氧樹脂的直鏈狀高分子聚合物。屬于該直鏈狀高分子聚合物的苯氧基樹脂通常是通過使雙酚A和表氯醇進(jìn)行縮聚反應(yīng)的一步法、或使2官能環(huán)氧樹脂和雙盼A進(jìn)行加聚的兩步法進(jìn)行制造。作為具體例子，可以列舉東都化成抹式會(huì)社制造的"非諾托(7工乂卜-卜)YP-50、非諾托YP-55、非諾托YP-70"(均為商品名)、曰本特開平4-120124號公報(bào)、特開平4-122714號公報(bào)及特開平4-339852號公報(bào)中記載的物質(zhì)等。作為室溫(25。C)下為固態(tài)的環(huán)氧樹脂，例如可以列舉東都化成抹式會(huì)社制造的"艾珀托(工求卜-卜)YD-7020、艾珀托YD-7019、艾珀托YD-7017"(均為商品名)、日本環(huán)氧樹脂公司制造的"艾皮克托(工匕。i-卜)1010、艾皮克托1009、艾皮克托1008"(均為商品名)等雙酚型環(huán)氧樹脂。關(guān)于(A)粘結(jié)劑聚合物的分子量，從強(qiáng)度及可彎曲性方面考慮，優(yōu)選重均分子量分子量為20,000以上，更優(yōu)選為50,000以上。重均分子量的上限沒有特別的限制，但是從和(B)光聚合性化合物的相溶性及曝光顯影性方面考慮，優(yōu)選為l,OOO，OOO，更優(yōu)選為500,000以下。還有，本發(fā)明中的重均分子量是采用凝膠滲透色譜(GPC)測定、通過標(biāo)準(zhǔn)聚苯乙烯換算的值。(A)粘結(jié)劑聚合物的配合量，相對于(A)成分及(B)成分的總量優(yōu)選為5~80質(zhì)量％。如果是5質(zhì)量％以上，則可以得到具有充分的強(qiáng)度和可彎曲性的固化樹脂。如果是80質(zhì)量％以下，則由于曝光時(shí)(B)成分的包纏，容易進(jìn)行固化，能夠充分地獲得對制造過程中使用的溶劑的耐受性(以下稱為"耐溶劑性")。從以上方面考慮，更優(yōu)選為10~75質(zhì)量％，特別優(yōu)選為2070質(zhì)量%。作為(B)光聚合性化合物，只要能利用紫外線等光的照射進(jìn)行聚合，就沒有特別的限制，可以列舉分子內(nèi)具有2個(gè)以上環(huán)氧基的化合物及分子內(nèi)具有乙烯性不飽和基團(tuán)的化合物等。其中，從和上述苯氧基樹脂的相溶性方面考慮，優(yōu)選含有分子內(nèi)具有2個(gè)以上環(huán)氧基的化合物的物質(zhì)。具體來說，可以列舉雙酚A型環(huán)氧樹脂、四溴雙酚A型環(huán)氧樹脂、雙酚F型環(huán)氧樹脂、雙酚AF型環(huán)氧樹脂、雙酚AD型環(huán)氧樹脂、芴型環(huán)氧樹脂、萘型環(huán)氧樹脂等2官能芳香族縮水甘油醚；酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、曱酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、雙環(huán)戊二烯-酚型環(huán)氧樹脂、四羥苯基乙烷型環(huán)氧樹脂等多官能芳香族縮水甘油醚；聚乙二醇型環(huán)氧樹脂、聚丙二醇型環(huán)氧樹脂、新戊二醇型環(huán)氧樹脂、己二醇型環(huán)氧樹脂等二官能脂肪族縮水甘油醚；三羥曱基丙烷型環(huán)氧樹脂、山梨醇型環(huán)氧樹脂、甘油型環(huán)氧樹脂等多官能脂肪族縮水甘油醚；氫化雙酚A型環(huán)氧樹脂、氫化雙酚F型環(huán)氧樹脂等2官能脂環(huán)式縮水甘油醚；鄰苯二曱酸二縮水甘油酯等2官能芳香族縮水甘油酯；四氬鄰苯二曱酸二縮水甘油酯、六氫鄰苯二曱酸二縮水甘油酯等2官能脂環(huán)式縮水甘油酯；N,N-二縮水甘油基苯胺、N，N-二縮水甘油基三氟曱基苯胺等2官能芳香族縮水甘油胺；N，N，N，,N，-四縮甘油基-4,4-二氨基二苯基曱烷、1，3-雙(N，N-縮水甘油基氨基曱基)環(huán)己烷、N，N,O-三縮水甘油基-對氨基苯酚等多官能芳香族縮水甘油胺；脂環(huán)族二環(huán)氧縮醛、脂環(huán)族二環(huán)氧基己二酸酯、脂環(huán)族二環(huán)氧基羧酸酯、乙烯基二氧化環(huán)己烯等2官能脂環(huán)式環(huán)氧樹脂；三縮水甘油基異氰脲酸酯等多官能雜環(huán)式環(huán)氧樹脂；有機(jī)聚硅氧烷型環(huán)氧樹脂等2官能或多官能含硅環(huán)氧樹脂等。在這些物質(zhì)中，從透明性及耐熱性方面考慮，優(yōu)選2官能芳香族縮水甘油醚、2官能脂環(huán)式縮水甘油醚、2-官能脂環(huán)式環(huán)氧樹脂。這些分子內(nèi)具有2個(gè)以上環(huán)氧基的化合物的分子量通常為1002，000左右，優(yōu)選為150~1,000左右。關(guān)于這些化合物，適宜使用室溫(25°C)下為液態(tài)的物質(zhì)。另夕卜，這些化合物可以單獨(dú)使用，也可以2種以上組合使用，而且還可以與其它的光聚合性化合物組合使用。還有，光聚合性化合物的分子量可通過GPC法或質(zhì)量分析法進(jìn)行測定。作為分子內(nèi)具有乙烯性不飽和基團(tuán)的化合物的具體例子，可以列舉(曱基)丙烯酸酯、偏卣乙烯、乙烯基醚、乙烯基吡啶、乙烯基苯酚等。在這些物質(zhì)中，從透明性和耐熱性方面考慮，優(yōu)選(曱基)丙烯酸酯。作為(甲基)丙烯酸酯，可以使用單官能、2官能、3官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯中的任意物質(zhì)。還有，此處的(曱基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯及曱基丙烯酸酯。作為單官能(曱基)丙烯酸酯，例如可以列舉(曱基)丙烯酸曱酯、(曱基)丙蹄酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(曱基)丙烯酸丁氧乙酯、(曱基)丙烯酸異戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(曱基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(曱基)丙烯酸辛基庚酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(曱基)丙烯酸癸酯、(曱基)丙烯酸十一烷基酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(曱基)丙烯酸十三烷基酯、(甲基)丙烯酸十四烷基酯、(曱基)丙烯酸十五烷基酯、(曱基)丙烯酸十六烷基酯、(曱基)丙烯酸硬脂酯、(曱基)丙烯酸山崳酯等(甲基)丙烯酸烷基酯類；(曱基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙蜂酸2-羥基丙酯、(曱基)丙烯酸3-氯-2-羥基丙酯、(曱基)丙烯酸2-羥基丁酯等具有羥基的(曱基)丙烯酸烷基酯類；(曱基)丙烯酸環(huán)戊酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(曱基)丙烯酸2-四氫呋喃基酯、(甲基)丙烯酸雙環(huán)戊基酯、(甲基)丙烯酸雙環(huán)戊二烯酯、(曱基)丙烯酸異水片烯酯等脂環(huán)式(甲基)丙烯酸酯類；曱氧基聚乙二醇(曱基)丙烯酸酯、乙氧基聚乙二醇(曱基)丙烯酸酯、甲氧基聚丙二醇(曱基)丙烯酸酯、乙氧基聚丙二醇(曱基)丙烯酸酯等烷氧基聚亞烷基二醇(甲基)丙烯酸酯類；苯氧基聚乙二醇(曱基)丙烯酸酯、壬基苯氧基聚乙二醇(曱基)丙烯酸酯、苯氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸酯等芳氧基聚亞烷基二醇(曱基)丙烯酸酯類；(甲基)丙烯酸節(jié)酯等具有芳烷基的(曱基)丙烯酸酯類；(甲基)丙烯酸苯酯、(曱基)丙烯酸鄰聯(lián)苯基酯、(曱基)丙烯酸l-萘基酯、(曱基)丙烯酸2-萘基酯等具有芳基的(曱基)丙烯酸酯類；(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(曱基)丙烯酸對枯基苯氧基乙酯、(曱基)丙烯酸鄰笨基苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸l-萘氧基乙酯、(曱基)丙烯酸2-萘氧基乙酯、2-羥基-3-苯氧基丙基(曱基)丙烯酸酯、2_羥基_3_(鄰苯基苯氧基)丙基(曱基)丙烯酸酯、2-鞋基-3-(l-萘氧基)丙基(甲基)丙烯酸酯、2-羥基-3-(2-萘氧基)丙基(曱基)丙烯酸酯等具有芳氧基的(曱基)丙烯酸酯類；2-(曱基)丙烯酰氧乙基-N-咔唑等具有芳香族雜環(huán)式基團(tuán)的(曱基)丙烯酸酯類；單(2-(甲基)丙烯酰氧乙基)琥珀酸酯、單(2-(曱基)丙烯酰氧乙基)鄰苯二曱酸酯、單(2-(甲基)丙烯酰氧乙基)間苯二甲酸酯、單(2-(甲基)丙烯酰氧乙基)對苯二曱酸酯、單(2-(曱基)丙烯酰氧乙基)四氫鄰苯二甲酸酯、單(2-(甲基)丙烯酰氧乙基)六氫鄰苯二甲酸酯、單(2-(甲基)丙烯酰氧乙基)六氫間苯二甲酸酯、單(2_(曱基)丙烯酰氧乙基)六氫對苯二甲酸酯等多元羧酸(曱基)丙烯酰氧烷基酯類等。在這些物質(zhì)中，從透明性及耐熱性方面考慮，優(yōu)選使用(曱基)丙烯酸芐酯、(曱基)丙烯酸苯酯、(曱基)丙烯酸鄰聯(lián)苯酯、(曱基)丙烯酸l-萘基酯、(曱基)丙烯酸2-萘基酯、(曱基)丙烯酸苯氧基乙酯、(曱基)丙烯酸對枯基苯氧基乙酯、(曱基)丙烯酸鄰苯基苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸l-萘氧基乙酯、(曱基)丙烯酸2-萘氧基乙酯、2-(甲基)丙烯酰氧乙基-N-咔唑、2-羥基-3-苯氧基丙基(曱基)丙烯酸酯、2-羥基-3-(鄰苯基苯氧基)丙基(曱基)丙烯酸酯、2_羥基_3_(1-萘氧基)丙基(甲基)丙烯酸酯、2-羥基-3-(2-萘氧基)丙基(曱基)丙烯酸酯。作為2官能(曱基)丙烯酸酯，可以列舉二(甲基)丙烯酸乙二醇酯、二(曱基)丙烯酸二乙二醇酯、二(甲基)丙烯酸三乙二醇酯、二(曱基)丙烯酸四乙二醇酯、二(曱基)丙烯酸聚乙二醇酯、二(曱基)丙烯酸丙二醇酯、二(曱基)丙烯酸二丙二醇酯、二(曱基)丙烯酸三丙二醇酯、二(曱基)丙烯酸四丙二醇酯、二(甲基)丙烯酸聚丙二醇酯、二(曱基)丙烯酸酯乙氧基化聚丙二醇酯、二(甲基)丙烯酸l,3-丁二醇酯、二(甲基)丙烯酸l,4-丁二醇酯、二(甲基)丙烯酸新戊二醇酯、3-曱基-l，5-戊二醇二(曱基)丙烯酸酯、二(曱基)丙烯酸1，6-己二醇酯、2-丁基-2-乙基-l,3-丙二醇二(曱基)丙烯酸酯、二(曱基)丙烯酸1,9-壬二醇酯、二(曱基)丙烯酸1,10-癸二醇酯、二(曱基)丙烯酸甘油酯、三環(huán)癸烷二甲醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化2-曱基-l,3-丙二醇二(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化雙酚A二(曱基)丙烯酸酯、丙氧基化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化乙氧基化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化藥型二(曱基)丙烯酸酯、雙酚A型、雙酚F型、雙酚AF型、氫化雙盼A型及氫化雙酚F型環(huán)氧(曱基)丙烯酸酯。在這些物質(zhì)中，從透明性及耐熱性方面考慮，優(yōu)選使用乙氧基化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化雙酚A二(曱基)丙烯酸酯、丙氧基化乙氧基化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化藥型二(曱基)丙烯酸酯、雙酚A型、雙酚F型及雙酚AF型環(huán)氧(甲基)丙烯酸酯等。具體來說，優(yōu)選使用下述通式(1)表示的乙氧基化芴型二(曱基)丙烯酸酯、下述通式(2)表示的(甲基)丙烯酸酯等。式中，RJ表示氬原子或曱基，R^R"各自獨(dú)立地表示氫原子、碳原子數(shù)為112的烷基、碳原子數(shù)為16的烷氧基、碳原子數(shù)為2~7的烷氧羰基、碳原子數(shù)為610的芳基、或碳原子數(shù)為7~9的芳烷基。a及b各自獨(dú)立地表示1~20的整數(shù)。還有，在通式(1)中，W為氫原子、112~1113為氫原子、a及b為1的物質(zhì)可以作為市售產(chǎn)品獲得(新中村化學(xué)株式會(huì)社制，商品名"A-BPEF，，)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>(2)式中，X為CH2CH(OH)CH2、(C2H40)CC2H4、(C3H60)dC3H6、或(C2H40)e(C3H60)AH6,Y表示C(CH3)2、CH2、S。2或0,c、d、e及f分別表示0至10的整數(shù)。R"表示氫原子或甲基，R"表示氫原子、曱基或卣素原子。在這些物質(zhì)中，優(yōu)選X為CH2CH(OH)CH2、Y為C(CH3)2、R"及R"為氫原子時(shí)表示的雙酚A型環(huán)氧丙烯酸酯，該化合物可以作為市售產(chǎn)品獲得(新中村化學(xué)林式會(huì)社制，商品名"EA-1020")。還有，作為(B)成分，也可以同時(shí)使用上述藥二(甲基)丙烯酸酯和分子內(nèi)具有至少一個(gè)(曱基)丙烯?；幕衔?。作為3官能以上的(曱基)丙烯酸酯，例如可以列舉三羥曱基丙烷三(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化三羥甲基丙烷三(曱基)丙烯酸酯、丙氧基化三羥曱基丙烷三(曱基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(曱基)丙烯酸酯、環(huán)氧化季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化季戊四醇四(曱基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化異氰脲酸三(曱基)丙烯酸酯、苯酚酚醛清漆型及甲酚酚醛清漆型環(huán)氧(曱基)丙烯酸酯等。在這些物質(zhì)中，從透明性及耐熱性方面考慮，優(yōu)選使用苯酚酚醛清漆型及甲酚酚醛清漆型環(huán)氧(曱基)丙烯酸酯。這些化合物可以單獨(dú)使用，也可以2種以上組合使用，而且還可以與其它的光聚合性化合物組合使用。(B)光聚合性化合物的配合量，相對于(A)成分及(B)成分的總量優(yōu)選為2095質(zhì)量％。如果為20質(zhì)量％以上，則容易通過包纏使(A)粘結(jié)劑聚合物固化，可以獲得充足的耐溶劑性。另外，如果為95質(zhì)量％以下，則可以獲得具有足夠強(qiáng)度及可彎曲性的固化樹脂。從以上方面考慮，(B)光聚合性化合物的配合量更優(yōu)選為25~90質(zhì)量％，特別優(yōu)選為30~80質(zhì)量％。作為(C)光聚合引發(fā)劑，只要是能夠利用紫外線等光的照射使(B)光聚合性化合物進(jìn)行聚合的化合物，就沒有特別的限制。在(B)成分中使用環(huán)氧樹脂時(shí)，作為(C)光聚合引發(fā)劑，例如可以列舉對甲氧基苯重氮六氟磷酸鹽等芳基重氮鹽；二苯基碘六氟磷酸鹽、二苯基碘六氟銻酸鹽等二芳基硤鹽；三苯基锍六氟磷酸鹽、三苯基锍六氟銻酸鹽、二苯基-4-硫代苯氧基苯基锍六氟磷酸鹽、二苯基-4-硫代苯氧基苯基锍六氟銻酸鹽、二苯基-4-硫代苯氧基苯基锍五氟羥基銻酸鹽等三芳基锍鹽；三苯基硒六氟磷酸鹽、三苯基硒四氟硼酸鹽、三苯基硒六氟銻酸鹽等三芳基硒鹽；二曱基苯曱酰甲基锍六氟銻酸鹽、二乙基苯甲酰甲基锍六氟銻酸鹽等二烷基苯甲酰曱基锍鹽；4-羥基苯基二甲基锍六氟銻酸鹽、4-羥基苯基爺基甲基^lt六氟銻酸鹽等二烷基-4-羥基鹽；a-羥基曱基苯偶姻磺酸酯、N-羥基酰亞胺基磺酸酯、a-磺酰氧基酮、卩-磺酰氧基酮等磺酸酯等。在這些物質(zhì)中，從透明性及固化性方面考慮，優(yōu)選使用三芳基锍鹽。另外，當(dāng)(B)成分中使用分子中具有乙烯性不飽和基團(tuán)的化合物時(shí)，作為(C)光聚合引發(fā)劑，例如可以列舉二苯曱酮、N,N，-四曱基-4,4，-二氨基二苯曱酮、N,N，-四乙基-4,4，-二氨基二苯曱酮、4-曱氧基-4，-二曱基氨基二苯甲酮、2，2-二曱氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮、1-羥基環(huán)己基苯基酮、2-羥基-2-曱基-l-苯基丙烷-l-酮、1-[4-(2-羥基乙氧基)苯基]-2-羥基-2-曱基-l-丙烷-l-酮、-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁烷-1-酮、1,2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代丙烷-l-酮、l-[(4-苯硫基)苯基]-l,2-辛二酮-2-苯曱酰肟等芳香族酮；2-乙基蒽醌、菲醌、2-叔丁基蒽醌、八甲基蒽醌、1,2-苯并蒽醌、2,3-苯并蒽醌、2-苯基蒽醌、2，3-二苯基蒽醌、l-氯蒽醌、2-甲基蒽醌、1,4-萘醌、9，10-菲醌、2-甲基-l，4-萘醌、2,3-二曱基蒽醌等醌類；苯偶姻曱基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻苯基醚等苯偶姻醚化合物；苯偶姻、曱基苯偶姻、乙基苯偶姻等苯偶姻化合物；安息香雙曱醚等偶苯酰衍生物；2-(鄰氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚體、2-(鄰氯苯基)-4,5-二(曱氧基苯基)咪唑二聚體、2-(鄰氟苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚體、2-(鄰甲氧基苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚體、2-(對甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚體等2，4,5-三芳基咪唑二聚體；雙(2，4,6-三曱基苯曱?；?苯基氧化膦、雙(2,6-二甲氧基苯甲?；?-2，4,4-三甲基戊基氧化膦、2，4，6-三曱基苯甲?；交趸⒌妊趸㈩?；9-苯基吖啶、1，7-雙(9，9，-吖啶基庚烷)等吖哽衍生物；N-苯基對羥苯基甘氨酸；香豆素類化合物等。另夕卜，在2,4，5-三芳基咪唑二聚體中，兩個(gè)三芳基咪唑部位的芳基的取代基可以相同而提供對稱化合物，也可以不同而提供不對稱化合物。另外，也可以是二乙基p塞噸酮和二甲基氨基苯曱酸的組合這樣的噻噸酮類化合物和叔胺的組合。在這些物質(zhì)中，特別是從透明性和厚膜固化性方面考慮，優(yōu)選使用1-羥基環(huán)己基苯基酮、2-羥基-2-曱基-l-苯基丙烷小酮、1-[4-(2-羥基乙氧基)苯基]-2-羥基-2-甲基-l-丙烷-l-酮等a-羥基酮；氧化膦類。上述的(C)光聚合引發(fā)劑可以單獨(dú)使用，也可以2種以上組合使用，而且還可以與適當(dāng)?shù)拿艋瘎┙M合使用。(C)光聚合引發(fā)劑的配合量，相對于(A)成分及(B)成分的總量IOO優(yōu)選為0.1~10質(zhì)量％。如果為0.1質(zhì)量°/。以上，則光敏度充足。另外，如果為10質(zhì)量％以下，則僅光波導(dǎo)表面進(jìn)行選擇性地固化，不會(huì)導(dǎo)致固化不足，而且通過光聚合引發(fā)劑本身的吸收，也不會(huì)增大傳輸損耗，因此是適宜的。從以上方面考慮，(C)光聚合引發(fā)劑的配合量更優(yōu)選為0.3~7質(zhì)量％，特別優(yōu)選為0.55質(zhì)量％。另外，除此之外，還可以根據(jù)需要，以不對本發(fā)明的效果帶來不良影響的比例在包層形成用樹脂中添加抗氧化劑、防黃變劑、紫外線吸收劑、可見光吸收劑、著色劑、增塑劑、穩(wěn)定劑、填料等所謂的添加劑。對于包層形成用樹脂，也可以將含有(A)(C)成分的樹脂組合物溶解在適當(dāng)?shù)挠袡C(jī)溶劑中，作為包層形成用樹脂清漆進(jìn)行使用。作為此處使用的有機(jī)溶劑，只要是能夠溶解構(gòu)成包層形成用樹脂的樹脂組合物的溶劑，就沒有特別的限制。作為有機(jī)溶劑，例如可以列舉丙酮、曱醇、乙醇、異丙醇、甲乙酮、甲基異丁基酮、環(huán)己酮、醋酸丁酯、乳酸乙酯、，丁內(nèi)酯、曱基溶纖劑、乙基溶纖劑、丁基溶纖劑、丙二醇單曱基醚、丙二醇單曱基醚醋酸酯、曱苯、二甲苯、N，N-二甲基曱酰胺、N,N-二曱基乙酰胺、N-曱基吡咯烷酮等。在這些溶劑中，從溶解性及沸點(diǎn)方面考慮，優(yōu)選使用曱乙酮、曱基異丁基酮、環(huán)己酮、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乙基溶纖劑、丙二醇單甲基醚醋酸酯、N,N-二曱基乙酰胺。上述有機(jī)溶劑可以單獨(dú)使用，也可以2種以上組合使用。該樹脂清漆中的固形物濃度優(yōu)選為30~80質(zhì)量％。調(diào)配包層形成用樹脂清漆時(shí)，優(yōu)選通過攪拌進(jìn)行混合。攪拌方法沒有特別的限制，但是從攪拌效率方面考慮，優(yōu)選使用螺旋槳的攪拌方式。攪拌時(shí)的旋轉(zhuǎn)速度沒有特別的限制，但優(yōu)選為101,000rpm。如果為10rpm以上，則可以使(A)~(C)成分以及有機(jī)溶劑各種成分得到充分混合。如果為l，OOOrpm以下，則因螺旋漿旋轉(zhuǎn)而導(dǎo)致的氣泡巻入少。從以上方面考慮，更優(yōu)選為50800rpm,特別優(yōu)選為100500rpm。攪拌時(shí)間沒有特別的限制，優(yōu)選為124小時(shí)。如果為1小時(shí)以上，則可以使(A)(C)成分以及有機(jī)溶劑各種成分得到充分混合。如果為24小時(shí)以下，則可以縮短清漆的調(diào)配時(shí)間。對于調(diào)配的包層形成用樹脂清漆，優(yōu)選使用孔徑為50^n以下的過濾器進(jìn)行過濾。如果孔徑為50pm以下，則可以除去較大異物，涂布清漆時(shí)不會(huì)產(chǎn)生排斥((iU3)等。從以上方面考慮，更優(yōu)選使用孔徑為30pm以下的過濾器進(jìn)行過濾，特別優(yōu)選^^用孔徑為lOiim以下的過濾器進(jìn)行過濾。優(yōu)選對調(diào)配的包層形成用樹脂清漆進(jìn)行減壓脫泡。脫泡方法沒有特別的限制，作為具體例子，可以使用真空泵和鐘形罩、帶有真空裝置的脫泡裝置等。減壓時(shí)的壓力沒有特別的限制，優(yōu)選不會(huì)使樹脂清漆中的有機(jī)溶劑沸騰的壓力。減壓脫泡時(shí)間沒有特別的限制，優(yōu)選為360分鐘。如果為3分鐘以上，則可以除去樹脂清漆中溶解的氣泡。如果為60分鐘以下，則樹脂清漆中所含的有機(jī)溶劑不會(huì)揮發(fā)。在圖1(a)~(d)的柔性光波導(dǎo)的情況下，下部包層4可以通過以下方式形成，例如采用旋涂法等方法將上述包層形成用樹脂清漆涂布在基板上，并將有機(jī)溶劑除去?；蛘咄ㄟ^以下方式形成，即，將包層形成用樹脂清漆涂布在適當(dāng)?shù)闹С帜ど?，除去有機(jī)溶劑，從而制作包層形成用樹脂膜。而且，可以通過采用層合等方法將該樹脂膜貼合在基板上。在下部包層4的外側(cè)設(shè)置有保護(hù)膜5的圖1(b)及(d)的柔性光波導(dǎo)的情況下，例如貼合了包層形成用樹脂膜的基板可以兼作保護(hù)膜使用。另外，包層形成用樹脂膜中使用的支持膜也可以兼作保護(hù)膜使用。在下部包層4的外側(cè)未設(shè)置保護(hù)膜5的圖1(a)及(c)的柔性光波導(dǎo)的情況下，例如可以在制作光波導(dǎo)1后，通過試劑液處理等方法，從下部包層4上剝離上述使用的基板及支持膜。在圖1(a)(d)的柔性光波導(dǎo)的的情況下，對于上部包層3，例如可以在形成后述的芯部2后，使用上述包層形成用樹脂清漆或包層形成用樹脂膜，通過與上述所示的下部包層4相同的方法來形成。在上部包層3的外側(cè)設(shè)置有保護(hù)膜5的圖1(c)及(d)的柔性光波導(dǎo)的情況下，例如可以在形成上部包層3后，通過層合等方法貼合保護(hù)膜5。另外，上述所示的包層形成用樹脂膜中使用的支持體，或貼合了包層形成用樹脂膜的基板也可以兼作保護(hù)膜使用。在上部包層3的外側(cè)未設(shè)置保護(hù)膜5的圖1(a)及(b)的柔性光波導(dǎo)的情況下，例如可以在形成上部包層3后，通過試劑液處理等方法，從上部包層3上剝離支持膜。關(guān)于包層(包括上部包層3及下部包層4全部)的厚度，優(yōu)選為9500pm。如果為9(im以上，則容易將傳輸光封閉在芯部內(nèi)部，另外，如果為500(im以下，則不會(huì)使光波導(dǎo)1整體厚度過大，可以得到足夠的柔軟性。從以上方面考慮，該包層的厚度更優(yōu)選為10~300,,進(jìn)一步優(yōu)選為20200j^m,特別優(yōu)選為3(M50拜。另外，關(guān)于包層的厚度，最初形成的下部包層4和用于埋入芯圖案的上部包層3可以相同或不同，但是從光波導(dǎo)1的整體厚度小時(shí)，可實(shí)現(xiàn)更優(yōu)異的柔軟性方面考慮，優(yōu)選使下部包層4的厚度小于上述包層3的厚度。作為上部包層3的厚度，優(yōu)選為7300iam,更優(yōu)選為7200jim。作為下部包層4的厚度，優(yōu)選為2200|im,更優(yōu)選為2150|im。還有，上部包層3的厚度是指從芯部2和下部包層4的邊界開始至上部包層3的上表面的值，下部包層4的厚度是指從芯部2和下部包層4的邊界開始至下部包層4的下表面的值。當(dāng)形成包層時(shí)使用上述所示的包層形成用樹脂膜時(shí)，該樹脂膜的制造過程中使用的支持膜的材料沒有特別的限制，可以使用各種材料。從作為支持膜的柔軟性及強(qiáng)韌性方面考慮，例如適宜列舉聚對苯二曱酸乙二醇酯(PET)、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二曱酸乙二醇酯等聚酯；聚乙烯、聚丙烯、聚碳酸酯、聚酰胺、聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺、聚醚酰亞胺、聚苯醚、聚硫醚、聚醚酮、聚芳酯、液晶聚合物、聚砜等。支持膜的厚度也可以根據(jù)目標(biāo)柔軟性進(jìn)行適宜的變化，但優(yōu)選為210(Him。如果為2^m以上，則可以得到足夠的強(qiáng)韌性。如果為lOOiim以下，則可以獲得足夠的柔軟性。從以上方面考慮，更優(yōu)選為280nm,進(jìn)一步優(yōu)選為5~50)im，特別《尤選為825fim。當(dāng)上述包層形成用樹脂膜的支持體兼作如圖1(a)(d)所示那種柔性光波導(dǎo)的保護(hù)膜5使用時(shí)，優(yōu)選在支持膜上施加粘接處理，在該處理面上涂布包層形成用樹脂清漆。由此，提高了包層和支持膜，即保護(hù)膜5的粘接力，可以抑制包層和保護(hù)膜5剝離的不良情況。此處的粘接處理是指通過易粘接樹脂涂層、防靜電樹脂涂層、電暈處理、等離子體處理、反應(yīng)性離子蝕刻處理、噴砂等粗糙加工，提高保護(hù)膜5和其上形成的包層形成用樹脂的粘接力的處理?！残緦有纬捎脴渲匙鳛楸景l(fā)明中使用的芯層形成用樹脂，只要能達(dá)到本發(fā)明的效果，就沒有特別的限制，適宜使用比包層的折射率高、可通過紫外線等活性光線照射形成芯圖案的感光性樹脂組合物。具體來說，更優(yōu)選使用與上述包層形成用樹脂相同的樹脂組合物。即，含有上述(A)、(B)及(C)成分，必要時(shí)含有上述添加劑等的樹脂組合物。其中，從除了高耐熱性、高透明性外，使芯部具有比包層更高的折射率的方面考慮，特別優(yōu)選使用含有作為上述(B)光聚合性化合物的上述通式(1)表示的乙氧基化芴型二(曱基)丙烯酸酯和/或上述通式(2)表示的(曱基)丙烯酸酯的樹脂組合物。芯層形成用樹脂與上述包層形成用樹脂一樣，也可以溶解在適當(dāng)?shù)挠袡C(jī)溶劑中，作為芯層形成用樹脂清漆進(jìn)行使用。對于芯層形成用樹脂清漆，優(yōu)選通過與上述包層形成用樹脂清漆相同的方法進(jìn)行調(diào)配、過濾及脫泡。芯層可以通過以下方式形成，即，使用旋涂等方法在下部包層4上涂布芯層形成用樹脂清漆，并除去有機(jī)溶劑。或者通過以下方式形成，即，將芯層形成用樹脂清漆涂布在適當(dāng)?shù)闹С帜ど希ビ衈U容劑，從而制作芯層形成用樹脂膜，然后通過采用層合等方法將該樹脂膜貼合在下部包層4上。關(guān)于芯層的厚度，優(yōu)選為5-10(Vm。如果為5|im以上，則容易進(jìn)行芯中心和連接端子的精密位置調(diào)節(jié)，另外，如果為lOOiim以下，則不會(huì)使光波導(dǎo)l整體厚度過大，可以得到足夠的柔軟性。從以上方面考慮，該芯層的厚度更優(yōu)選為10~70(am，特別優(yōu)選為20~60|im。在芯層形成中使用芯層形成用樹脂膜時(shí)，該樹脂膜制造過程中使用的支持膜在材料上沒有特別的限制，可以使用各種材料。從作為支持膜的柔軟性及強(qiáng)韌性方面考慮，以及從芯圖案曝光用光線的透過率方面考慮，例如適宜列舉聚對苯二曱酸乙二醇酯、聚對苯二曱酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯；聚丙烯、聚碳酸酯等。支持膜的厚度也可以根據(jù)目標(biāo)柔軟性進(jìn)行適宜的變化，但優(yōu)選為550pm。如果為5fim以上，則可以得到足夠的強(qiáng)韌性。如果為50pm以下，則在形成芯圖案時(shí)可以增大與光掩模的間距，能夠形成微細(xì)的圖案。從以上方面考慮，更優(yōu)選為1040(im,特別優(yōu)選為1530jim。另外，從提高曝光用光線的透過率及減小芯圖案側(cè)壁的粗糙性方面考慮，優(yōu)選使用內(nèi)部不含潤滑材料粒子的高透明型支持膜。作為這種支持膜，例如可以獲得東洋紡績林式會(huì)社制造的"科斯茂新(-久乇夕X4^)A1517、科斯茂新A4100"(均為商品名)?！踩嵝怨獠▽?dǎo)〕優(yōu)選本發(fā)明的柔性光波導(dǎo)在曲率半徑為2mm的360°彎曲試-瞼中插入損耗的增加量為O.ldB以下。如果為O.ldB以下，則在彎曲狀態(tài)下使用柔性光波導(dǎo)時(shí)，損耗值小，傳輸信號強(qiáng)度不會(huì)減弱。還有，插入損耗是指主要由傳輸損耗及接合損耗造成的光損耗。優(yōu)選本發(fā)明的光波導(dǎo)的芯部和包層的比折射率差為1~10%。如果為1%以上，則彎曲時(shí)在芯部傳輸?shù)墓獠粫?huì)泄漏到包層。如果為10%以下，則在光波導(dǎo)和光纖等的連接部位不會(huì)使傳輸光過度擴(kuò)散，使接合損耗不會(huì)變大。從以上方面考慮，更優(yōu)選為1.5~7.5%，特別優(yōu)選為25%。還有，比折射率差通過以下所示式子求出。比折射率差(％)=[(芯部的折射率)2-(包層的折射率fl/[2x(芯部的折射率)2]x100作為本發(fā)明的柔性光波導(dǎo)，優(yōu)選將曲率半徑為5mm的反復(fù)彎曲試驗(yàn)進(jìn)行10萬次后的插入損耗的增加量為O.ldB以下。如果為O.ldB以下，則可以長期進(jìn)行穩(wěn)定的光傳輸，例如可以用于便攜電話的鉸鏈部分等通常的可動(dòng)部分。從以上方面考慮，更優(yōu)選為0.5dB以下。另外，將曲率半徑為2mm的反復(fù)彎曲試驗(yàn)進(jìn)行10萬次后，在放大鏡或顯微鏡下進(jìn)行目視觀察時(shí)，優(yōu)選芯部不發(fā)生開裂。從柔性光波導(dǎo)的機(jī)械特性考慮，更優(yōu)選包層也不發(fā)生開裂。本發(fā)明的柔性光波導(dǎo)在薄膜拉伸試驗(yàn)中的彈性模量優(yōu)選為0.056GPa。如果為0.05GPa以上，則可以獲得足夠的柔軟性，彎曲時(shí)光波導(dǎo)發(fā)生變形不會(huì)影響傳輸特性，因此是適宜的。如果為6GPa以下，則不會(huì)變脆而在彎曲時(shí)斷裂，因此是適宜的。從以上方面考慮，更優(yōu)選為0.16GPa,進(jìn)下優(yōu)選為0.25GPa,特別優(yōu)選為0.54GPa。還有，彈性模量是指在薄膜拉伸試驗(yàn)中載荷-伸長率曲線上與原點(diǎn)的連線的斜率。優(yōu)選本發(fā)明的柔性光波導(dǎo)在薄膜拉伸試驗(yàn)中的最大伸長率為3~50%。如果為3%以上，則不會(huì)變脆而在彎曲時(shí)斷裂，因此是適宜的。如果為50%以下，則可以獲得足夠的柔軟性，彎曲時(shí)光波導(dǎo)發(fā)生變形不會(huì)影響傳輸特性，因此是適宜的。從以上方面考慮，更優(yōu)選為540%。還有，最大伸長率是指在薄膜拉伸試驗(yàn)中施加最大載荷的時(shí)刻的伸長率。本發(fā)明的柔性光波導(dǎo)的厚度優(yōu)選為9500pim。如果為9iim以上，則彎曲時(shí)不會(huì)由于強(qiáng)度不足而斷裂，因此是適宜的。如果為500)im以下，則可以獲得足夠的柔軟性。從以上方面考慮，更優(yōu)選為10300[im，進(jìn)一步優(yōu)選為20200(xm,特別優(yōu)選為30~150(im。作為本發(fā)明的柔性光波導(dǎo)，優(yōu)選將最高溫度為265°C的回流試驗(yàn)進(jìn)行3次后的傳輸損耗的增加量為0.05dB/cm以下。如果為0.05dB/cm以下，則從部件組裝時(shí)的可靠性方面考慮，適用于回流工藝，可以擴(kuò)大柔性光波導(dǎo)的應(yīng)用范圍。從以上方面考慮，更優(yōu)選為0.03dB/cm以下。還有，最高溫度為265。C的回流試驗(yàn)是指按IPC/JEDECJ-STD-020B的條件實(shí)施的無鉛焊接回流試驗(yàn)。優(yōu)選本發(fā)明的柔性光波導(dǎo)的傳輸損耗為0.3dB/cm以下。如果為0.3dB/cm以下，則可以抑制光損耗所導(dǎo)致的傳輸信號強(qiáng)度下降，因此是適宜的。從以上方面考慮，更優(yōu)選為0.2dB/cm以下，特別優(yōu)選為0.1dB/cm以下。在本發(fā)明的柔性光波導(dǎo)中使用上述樹脂組合物時(shí)，對于樹脂組合物的固化物，作為耐熱性、可彎曲性、強(qiáng)度等各種物性評價(jià)，例如可通過公知的方法測定玻璃化轉(zhuǎn)變溫度、5質(zhì)量％減少溫度、拉伸彈性模量、最大拉伸強(qiáng)度、最大伸長率、線膨脹系數(shù)、吸水率等。作為本發(fā)明的柔性光波導(dǎo)的制造方法，沒有特別的限制，可以列舉如上所述使用芯層形成用樹脂清漆和/或包層形成用樹脂清漆并采用旋涂法等進(jìn)行制造的方法、或使用芯層形成用樹脂膜和/或包層形成用樹脂膜的方法等。也可以組合這些方法進(jìn)行制造。在這些方法中，從能夠以低成本成批制造大面積的光波導(dǎo)方面考慮，優(yōu)選使用該樹脂膜的方法。然后，作為柔性光波導(dǎo)的形態(tài)，一般認(rèn)為是圖1(a)~(d)4種，此處，關(guān)于圖1(d)中所示的保護(hù)膜5被設(shè)置于下部包層4及上部包層3的外側(cè)的柔性光波導(dǎo)，對使用芯層形成用樹脂膜及包層形成用樹脂膜時(shí)的制造方法進(jìn)行詳細(xì)i兌明。首先，作為第1工序，利用光和/或熱使由包層形成用樹脂和支持膜構(gòu)成的包層形成用樹脂膜的包層形成用樹脂固化，形成下部包層4。在形成該下部包層4的第1工序中，在包層形成用樹脂膜的支持膜的相反側(cè)設(shè)置保護(hù)膜時(shí)，將該保護(hù)膜剝離后，通過光和/或熱使包層形成用樹脂固化，形成下部包層4。形成下部包層4時(shí)的活性光線照射量優(yōu)選為0.15J/cm2，加熱溫度優(yōu)選為50~130°C，但并不局限于這些條件。接著，作為第2工序，在下部包層4上，層合由芯層形成用樹脂和支持膜構(gòu)成的芯層形成用樹脂膜，形成芯層。在該第2工序中，在上述的下部包層4上，通過熱壓粘合芯層形成用樹脂膜，形成比下部包層折射率高的芯層。作為第2工序中的層合方式，可以列舉使用輥壓層合機(jī)或平板層壓機(jī)的方法，但是從粘合性及追隨性方面考慮，優(yōu)選使用平板層壓機(jī)在減壓下層合芯層形成用樹脂膜。還有，本發(fā)明中的平板層壓機(jī)是指將層合材料夾持在一對平板之間，通過對平板加壓而進(jìn)行壓合的層壓機(jī)，例如適宜采用真空加壓式層壓機(jī)。此處的加熱溫度優(yōu)選為5013(TC，壓合壓力優(yōu)選為0.11.0MPa(l~10kgf/cm2),但并不局限于這些條件。還有，在利用真空加壓式層壓機(jī)層合前，也可以使用輥壓層合機(jī)預(yù)先將芯層形成用樹脂膜暫時(shí)粘貼在下部包層4。此處，從粘合性及追隨性方面考慮，優(yōu)選一邊壓合一邊暫時(shí)粘貼，壓合時(shí)，也可以一邊使用具有熱輥的層壓機(jī)進(jìn)行加熱一邊進(jìn)行。層壓溫度優(yōu)選為室溫(25°C)-IOO'C。如果為室溫(25°C)以上，則提高了下部包層和芯層的密合性，如果為IO(TC以下，則芯層進(jìn)行輥壓層合時(shí)不流動(dòng)，可以得到需要的膜厚。從以上方面考慮，更優(yōu)選為40100°C。壓力優(yōu)選為0.20.9MPa，層壓速度優(yōu)選為0,l3m/min,但是并不局限于這些條件。接著，作為第3工序，使芯層進(jìn)行曝光顯影，形成光波導(dǎo)的芯圖案(芯部2)。具體來說，使活性光線透過負(fù)掩模進(jìn)行圖像狀照射。作為活性光線的光源，例如可以列舉碳弧燈、水銀蒸氣弧燈、超高壓水銀燈、高壓水銀燈、氙燈等可有效照射紫外線的公知光源。另外，也可以使用其它的照相用泛光燈泡、太陽燈等可有效照射可見光的光源。此處的活性光線照射量優(yōu)選為0.0110J/cm2。如果為0.01J/cn^以上，則可以充分固化，不會(huì)因后述的顯影工序而使芯圖案流失，如果為10J/cm2以下，則不會(huì)因曝光量大而導(dǎo)致粗大的芯圖案，可以形成微細(xì)的芯圖案，因此是適宜的。從以上方面考慮，更優(yōu)選為0.055J/cm2，特別優(yōu)選為0.12J/cm2。從提高解像度及芯圖案密合性方面考慮，也可以在曝光后進(jìn)行加熱。作為從紫外線照射至曝光后加熱的時(shí)間，優(yōu)選在30秒~10分鐘以內(nèi)。如果處于該范圍內(nèi)，則因紫外線照射而產(chǎn)生的活性種不會(huì)失活。曝光后的加熱溫度優(yōu)選為4(M60。C。然后，剝離芯層形成用樹脂膜的支持膜，通過濕法顯影等除去未曝光部分進(jìn)行顯影，形成光波導(dǎo)的芯圖案。在濕法顯影的情況下，可以使用與上述膜的組成適應(yīng)的有機(jī)溶劑類顯影液進(jìn)行顯影。作為有機(jī)溶劑類顯影液，例如可以列舉丙酮、曱醇、乙醇、異丙醇、曱乙酮、甲基異丁基酮、環(huán)己酮、醋酸丁酯、乳酸乙酯、y-丁內(nèi)酯、曱基溶纖劑、乙基溶纖劑、丁基溶纖劑、丙二醇單曱基醚、丙二醇單曱基醚醋酸酯、曱苯、二曱苯、N，N-二曱基曱酰胺、N,N-二曱基乙酰胺、N-曱基吡咯烷酮等。在這些溶劑中，從溶解性方面考慮，優(yōu)選使用曱乙酮、甲基異丁基酮、環(huán)己酮、乳酸甲酯、乳酸乙酯、y-丁內(nèi)酯、乙基溶纖劑、丁基溶纖劑、丙二醇單甲基醚、丙二醇單甲基醚醋酸酯、N,N-二曱基乙酰胺、N-曱基吡咯烷酮。為了防止著火，這些有機(jī)溶劑中可以添加1~20質(zhì)量％的水。另外，上述有機(jī)溶劑可以單獨(dú)使用，或2種以上組合使用，但是從調(diào)節(jié)未曝光部分的溶解性方面考慮，優(yōu)選與適當(dāng)?shù)挠袡C(jī)溶劑組合使用。作為具體例子，適宜列舉丙二醇單曱基醚醋酸酯/N，N-二曱基乙酰胺、丙二醇單曱基醚醋酸酯/N-曱基吡咯烷酮、乳酸乙酯/N，N-二曱基乙酰胺、乳酸乙酯/N-曱基吡咯烷酮、y-丁內(nèi)酯/N，N-二曱基乙酰胺、y-丁內(nèi)酉旨/N-曱基吡咯烷酮等組合。作為顯影方式，可以舉出浸漬方式(dipping)、槳葉方式(paddling)、高壓噴淋方式等噴淋方式、刷涂方式、擦涂方式等，高壓噴淋方式提高解像度，因此特別優(yōu)選。作為顯影后的處理，也可以使用上述所示的有機(jī)溶劑清洗光波導(dǎo)的芯圖案。作為有機(jī)溶劑類洗滌液，例如可以列舉丙酮、曱醇、乙醇、異丙醇、醋酸乙酯、醋酸丁酯、乳酸乙酯、Y-丁內(nèi)酯、曱基溶纖劑、乙基溶纖劑、丁基溶纖劑、丙二醇單曱基醚、丙二醇單甲基醚醋酸酯、曱苯、二曱苯等。在這些溶劑中，從溶解性方面考慮，優(yōu)選使用曱醇、乙醇、異丙醇、醋酸乙酯。為了防止著火，這些有機(jī)溶劑中可以添加1~20質(zhì)量％的水。另外，上述有機(jī)溶劑可單獨(dú)使用，或2種以上組合使用。作為清洗方式，可以列舉浸漬、槳葉方式、高壓噴淋等噴淋方式，刷洗、擦洗等。作為曝光或清洗后的處理，可以根據(jù)需要進(jìn)行60250。C左右的加熱，或者進(jìn)行0.11000J/cn^的曝光，從而可以使光波導(dǎo)的芯圖案進(jìn)一步固化。此后，進(jìn)行層合用于埋入芯圖案的包層形成用樹脂膜并使之固化的第4工序。在芯圖案上，用與上述相同的方法加熱壓合包層形成用樹脂膜，從而形成上述包層3。此時(shí)上部包層3的厚度優(yōu)選比芯層的厚度大。作為第4工序中的層合方式，可以列舉使用輥壓層合機(jī)或平板層壓機(jī)的方法，但是從粘合性、追隨性及平坦性方面考慮，與第2工序相同，優(yōu)選使用平板層壓機(jī)，最好是真空加壓式層壓機(jī)在減壓下層合包層形成用樹脂膜。此處的加熱溫度優(yōu)選為50~130°C，壓合壓力優(yōu)選為O.l-l.OMPa(l10kgf/cm2)，但并不局限于這些條件。第4工序中的固化與第l工序相同，采用光和/或熱進(jìn)行實(shí)施。上述包層3形成時(shí)的活性光線照射量優(yōu)選為0.1~30J/cm2。上述包層形成用樹脂膜的支持膜為PET時(shí)，活性光線的照射量優(yōu)選為0.1~5J/cm2。另一方面，在該支持膜為聚萘二酸乙二醇酯、聚酰胺、聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺、聚醚酰亞胺、聚苯醚、聚硫醚、聚醚砜、聚砜等情況下，與PET相比紫外線更不易通過，因此優(yōu)選活性光線的照射量為0.530J/cm2。如果為0.5J/cn^以上，則固化反應(yīng)可充分進(jìn)行，如果為30J/cr^以下，則光照時(shí)間不需要過長。從以上方面考慮，更優(yōu)選為3~27J/cm2，特別優(yōu)選為5~25J/cm2。還有，為了進(jìn)一步固化，可以使用能夠?qū)蓚€(gè)表面同時(shí)照射活性光線的雙面曝光機(jī)。另外，也可以邊加熱邊照射活性光線?；钚怨饩€照射過程中或照射后的加熱溫度優(yōu)選為50~200°C，但并不局限于這些條件。本發(fā)明的柔性光波導(dǎo)的彎曲性、耐熱性及透明性優(yōu)異，因此也可以用作光學(xué)模塊的光傳輸線路。光學(xué)模塊的形態(tài)沒有特別的限制，例如可以列舉在光波導(dǎo)兩端連接光纖形成的帶光纖的光波導(dǎo)、在光波導(dǎo)兩端連接連接器形成的帶連接器的光波導(dǎo)、使光波導(dǎo)和印刷電路板復(fù)合而形成的光電復(fù)合基板、使光波導(dǎo)與進(jìn)行光信號和電信號相互轉(zhuǎn)換的光/電轉(zhuǎn)換元件進(jìn)行組合形成的光電轉(zhuǎn)換模塊、使光波導(dǎo)與波長分割膜組合而形成的波長合波分波器等。還有，在光電復(fù)合基板中，作為復(fù)合化印刷電路板，沒有特別的限制，可以使用玻璃環(huán)氧基板等剛性基板、聚酰亞胺基板等柔性基板中的任一種。實(shí)施例以下對本發(fā)明的實(shí)施例作進(jìn)一步說明，但本發(fā)明絕不受這些實(shí)施例的限定。另外，對于使以下制造例中得到的樹脂膜固化得到的固化膜的物性評價(jià)，進(jìn)行以下(1)~(6)中所示項(xiàng)目。(1)折射率測定使用棱鏡耦合器(Metricon公司制，Model12010),在波長830nm下測定所得到的固化膜的折射率。(2)利用動(dòng)態(tài)力學(xué)分析(DynamicMechanicalAnalysis,DMA)法進(jìn)行玻璃化轉(zhuǎn)變溫度測定對于所得到的固化膜的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度，使用動(dòng)態(tài)粘彈性測定裝置(RheometricScientificRheometric乂>司制，SolidsAnalyzerRSA-II)，在測定溫度范圍-50。C—250°C、升溫速度5°C/min條件下進(jìn)行測定。將損耗角正切(TanS)的峰作為玻璃化轉(zhuǎn)變溫度。(3)測定5%質(zhì)量減少溫度對于所得到的固化膜的5%質(zhì)量減少溫度，使用熱重差示熱分析(Thermogravimetry-DifferdntialThermalAnalysis:TG-DTA)裝置(精工(七3-47義、7A)株式會(huì)社制造的EXSTAR6000TG/DTA6300),在空氣中及測定溫度范圍30°C—600°C、升溫速度10。C/min條件下進(jìn)行測定。(4)薄膜拉伸試驗(yàn)對于所得到的固化膜(寬10mm,長70mm,夾頭間距50mm、厚度100pm)的薄膜拉伸試驗(yàn)，使用拉伸試驗(yàn)機(jī)(林式會(huì)社島津制作所制，AUTOGRAPHYAGS-5KNG型)，在溫度25°C,拉伸速度5mm/min下，按照J(rèn)ISK7127進(jìn)行，求出拉伸彈性才莫量、最大拉伸強(qiáng)度及最大伸長率。還有，最大伸長率按下式求出。最大伸長率(％)=(最大載荷時(shí)的夾頭間距-初始夾頭間距)/初始夾頭間距x100(5)線膨脹系數(shù)的測定對于所得到的固化膜(寬3mm,長25mm，夾頭間距15mm,厚度100^im)的線膨脹系數(shù)a！及a2,使用熱機(jī)械分析(ThermomechanicalAnalysis:TMA)裝置(精工林式會(huì)社制造的EXSTAR6000TMA/SS6100),在氮?dú)夥障录皽y定溫度范圍25°C—300°C、升溫速度5。C/min條件下進(jìn)行測定。還有，a,表示比玻璃化轉(zhuǎn)變溫度低1050。C的溫度時(shí)的線膨脹系數(shù)，ct2表示比玻璃化轉(zhuǎn)變溫度高10~50°C的溫度時(shí)的線膨脹系數(shù)。(6)吸水率測定所得到的固化膜的吸水率按以下方法進(jìn)行測定。將得到的固化膜裁成10cmx10cm的尺寸，在IOO'C加熱干燥1小時(shí)后測定質(zhì)量(干燥時(shí)質(zhì)量)。在25。C于水中靜置24小時(shí)，使其充分吸水。從水中取出后，吹掉膜表面的多余水分，立刻進(jìn)行質(zhì)量測定(吸水時(shí)質(zhì)量)。還有，通過以下所示式子求出吸水率。吸水率(％)=(吸水時(shí)質(zhì)量-干燥時(shí)質(zhì)量)/干燥時(shí)質(zhì)量x100另外，對于以下實(shí)施例中得到的柔性光波導(dǎo)的評價(jià)，進(jìn)行以下(1)~(6)所示的項(xiàng)目。(1)360。彎曲試驗(yàn)將所得到的柔性光波導(dǎo)(波導(dǎo)長5cm)在半徑2mm的棒上纏繞1周，使用光源中以波長850nm的光為中心波長的VCSEL(EXFO公司制，F(xiàn)LS-300-01-VCL)、受光傳感器(愛德萬測試(7卜"《乂f"只卜)公司制，Q82214)、入射纖維(GI-50/125多膜纖維，NA=0.20)及出射纖維(SI-114/125，NA-0.22),測定曲率半徑為2mm的360。彎曲試驗(yàn)中的插入損耗值，檢查相對于不進(jìn)行纏繞時(shí)的插入損耗的增加量。這里，實(shí)施例1中，與上述相同，測定柔性光波導(dǎo)的插入損耗值，檢查插入損耗值的增加量。(2)比折射率差對于所得到的柔性光波導(dǎo)的比折射率差，基于由芯層形成用樹脂膜得到的固化膜(芯層用固化膜)及由包層形成用樹脂得到的固化膜(包層用固化膜)在波長830nm下的折射率進(jìn)行計(jì)算。還有，比折射率差通過以下所示式子求出。比折射率差(％)=[(芯部的折射率)2-(包層的折射率)"/[2x(芯部的折射率)2]x100(3)反復(fù)彎曲試驗(yàn)對于所得到的柔性光波導(dǎo)(波導(dǎo)長5cm),使用彎曲耐久性試驗(yàn)機(jī)(大昌電子抹式會(huì)社制)，在曲率半徑5mm，彎曲速度約1秒的條件下進(jìn)行反復(fù)彎曲試驗(yàn)。使用與上述相同的光源、受光元件、入射纖維及出射纖維測定實(shí)施10萬次試驗(yàn)后的柔性光波導(dǎo)的插入損耗值，檢查相對于試驗(yàn)前的插入損耗的增加量。另外，在曲率半徑2mm,彎曲速度約1秒的條件下進(jìn)行IO萬次反復(fù)彎曲試驗(yàn)后，用金屬顯微鏡(奧林巴斯抹式會(huì)社制，BHMJL),觀察柔性光波導(dǎo)的芯部和包部是否發(fā)生開裂。還有，對于實(shí)施例l,除上述操作外，對于圖4所示的彎曲次數(shù)進(jìn)行同樣的反復(fù)彎曲試驗(yàn)，與上述一樣測定柔性光波導(dǎo)的插入損耗值，檢查插入損耗值的增力口量。(4)薄膜拉伸試驗(yàn)對于所得到的柔性光波導(dǎo)(寬5mm，長50mm,夾頭間距30mm，厚度如表3所示)的薄膜拉伸試驗(yàn)，按與上述相同的方法、條件進(jìn)行實(shí)施，求出彈性模量及最大伸長率。(5)厚度測定使用數(shù)顯千分表(三豐抹式會(huì)社)測定所得到的柔性光波導(dǎo)的厚度。(6)回流試驗(yàn)對于所得到的柔性光波導(dǎo)(波導(dǎo)長5cm),使用回流試-驗(yàn)才幾(古河電氣工業(yè)(制)，廿，t7夕'、XNA-645PC),按照IPC/JEDECj-STD-020B的條件進(jìn)行3次最高溫度為265。C的無鉛焊回流試驗(yàn)。詳細(xì)的回流條件示于表1中，回流爐內(nèi)的溫度曲線示于圖2。使用與上述相同的光源、受光元件、入射纖維及出射纖維，測定實(shí)施回流試驗(yàn)后的柔性光波導(dǎo)的傳輸損耗值，檢查相對于回流試驗(yàn)前的傳輸損耗的增加量。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage27</column></row><table>(7)傳輸損耗的測定對于所得到的柔性光波導(dǎo)的傳輸損耗，使用與上述相同的光源、受光元件、入射纖維及出射纖維，通過截?cái)喾?測定波導(dǎo)長5、3、2cm)進(jìn)行測定。制造例1〔包層形成用樹脂膜A的制作〕在廣口聚乙烯瓶中稱量作為(A)粘結(jié)劑聚合物的苯氧基樹脂(商品名非諾托YP-70,東都化成抹式會(huì)社制)50質(zhì)量份、作為(B)光聚合性化合物的脂環(huán)族二環(huán)氧羧酸酯(商品名KRM-2110,分子量252,旭電化工業(yè)林式會(huì)社制)50質(zhì)量份、作為(C)光聚合引發(fā)劑的三苯基锍六氟銻酸鹽(商品名SP-170，旭電化工業(yè)抹式會(huì)社制)4質(zhì)量份、作為敏化劑的SP-100(商品名，旭電化工業(yè)抹式會(huì)社制)0.4質(zhì)量份、作為有機(jī)溶劑的丙二醇單曱基醚醋酸酯40質(zhì)量份，使用機(jī)械攪拌器、傳動(dòng)軸及螺旋槳，在溫度25。C，轉(zhuǎn)數(shù)400rpm的條件下攪拌6小時(shí)，配制成包層形成用樹脂清漆A。然后，用孔徑為2pm的聚四氟乙烯樹脂過濾器(商品名PF020，Advantech東洋抹式會(huì)社制)在溫度25°C，壓力0.4MPa的條件下加壓過濾，再用真空泵及鐘形罩在減壓度為50mmHg的條件下脫泡15分鐘。用涂布機(jī)(多涂機(jī)(rr-夕-)TM-MC,平野金屬抹式會(huì)社(HIRANOTECSEED)制)將上述得到的包層形成用樹脂清漆A涂布在聚酰胺膜(商品名Mictron,東麗抹式會(huì)社制，厚度12pm)的電暈處理表面上，在80。C干燥10分鐘，然后在100。C干燥10分鐘，接著粘貼作為保護(hù)膜的PET脫模膜(商品名A31，帝人杜邦薄膜抹式會(huì)社，厚度25,)并使脫模面在樹脂一側(cè)，得到包層形成用樹脂膜A。此時(shí)樹脂層的厚度可以通過對涂布機(jī)間隙的調(diào)節(jié)來進(jìn)行任意調(diào)整，在本制造例中，進(jìn)行調(diào)節(jié)使固化后膜厚為下部包層30iim，上部包層80iam。制造例2〔芯層形成用樹脂膜B的制作〕使用苯氧基樹脂(商品名非諾托YP-70,東都化成抹式會(huì)社制)10質(zhì)量份作為(A)粘結(jié)劑聚合物、9,9-雙[4-(2-丙烯酰氧基乙氧基)苯基]藥(商品名A-BPEE，新中村化學(xué)工業(yè)抹式會(huì)社制)45質(zhì)量份及雙酚A型環(huán)氧丙烯酸酯(商品名EA-1020，新中村化學(xué)工業(yè)抹式會(huì)社制)45質(zhì)量份作為(B)光聚合性化合物、雙(2，4,6-三曱基苯曱?；?苯基氧化膦(商品名Irgacure819，汽巴精化抹式會(huì)社制)2質(zhì)量份作為(C)光聚合引發(fā)劑、丙二醇單曱基醚醋酸酯40質(zhì)量份作為有機(jī)溶劑，除此之外，按與上述制造例1相同的方法及條件配制芯層形成用樹脂清漆B。然后，使用作為加壓過濾用過濾器的孔徑為2ium的聚四氟乙烯樹脂過濾器(商品名PF020,Advantech東洋林式會(huì)社制)及孔徑為0.5jxm的膜過濾器(商品名J050A,Advantech東洋株式會(huì)社制)，按與上述制造例l相同的方法和條件進(jìn)行加壓過濾，再減壓脫泡。按與上述制造例1相同的方法將芯層形成用樹脂清漆B涂布在PET膜(商品名科斯茂新A1517,東洋紡績林式會(huì)社制，厚度16pm)的未處理表面上并進(jìn)行干燥，接著粘貼作為保護(hù)膜的PET脫模膜(商品名A31,帝人杜邦薄膜林式會(huì)社，厚度25,)并使脫模面在樹脂一側(cè)，得到芯層形成用樹脂膜B。在本制造例中，為了使固化后膜厚為50|im，調(diào)節(jié)涂布機(jī)的間隙。〔物性測定用固化膜的制作〕在上述得到的芯層形成用樹脂膜B上，用紫外線曝光機(jī)(抹式會(huì)社才-夕制作所制，EXM-1172)照射lJ/cm2的紫外線(波長365nm)，剝離上述PET脫模膜(A31),最后再于160。C加熱千燥l小時(shí)，剝離上迷PET膜(A1517),得到固化膜。對所得到的固化膜進(jìn)行折射率測定、玻璃化轉(zhuǎn)變溫度測定、5%質(zhì)量減少溫度測定、拉伸試驗(yàn)、線膨脹系數(shù)測定及吸水率測定。結(jié)果示于表2中。制造例3〔芯層形成用樹脂膜C的制作〕使用苯氧基樹脂(商品名非諾托YP-70,東都化成抹式會(huì)社制)25質(zhì)量份作為(A)粘結(jié)劑聚合物、9,9-雙[4-(2-丙烯酰氧基乙氧基)苯基]藥(商品名A-BPEE，新中村化學(xué)工業(yè)林式會(huì)社制)37.5質(zhì)量份及雙酚A型環(huán)氧丙烯酸酯(商品名EA-1020,新中村化學(xué)工業(yè)抹式會(huì)社制)37.5質(zhì)量份作為(B)光聚合性化合物、雙(2，4，6-三曱基苯甲酰基)苯基氧化膦(商品名Irgacure819，汽巴精化株式會(huì)社制)2質(zhì)量份作為(C)光聚合引發(fā)劑、丙二醇單曱基醚醋酸酯40質(zhì)量份作為有機(jī)溶劑，除此之外，按與上述制造例2相同的方法及條件得到芯層形成用樹脂清漆C及芯層形成用樹脂膜C。〔物性測定用固化膜的制作〕使用得到的芯層形成用樹脂膜C，按與制造例2相同的方法及條件得到物性測定用固化膜。對所得到的固化膜進(jìn)行折射率測定、玻璃化轉(zhuǎn)變溫度測定、5%質(zhì)量減少溫度測定、拉伸試驗(yàn)、線膨脹系數(shù)測定及吸水率測定。結(jié)果示于表2中。制造例4〔包層形成用樹脂膜D的制作〕將在制造例1中用作包層形成用樹脂膜A的支持膜的聚酰胺膜改為PET膜(商品名科斯茂新A1517,東洋紡績林式會(huì)社制，厚度16pm,涂布面防靜電處理表面)除此之夕卜，按與制造例1相同的方法及條件制作包層形成用樹脂膜D。制造例5〔包層形成用樹脂膜E的制作〕將在制造例1中用作包層形成用樹脂膜A的支持膜的聚酰胺膜改為PET膜(商品名科斯茂新A1517，東洋紡績抹式會(huì)社制，厚度16pim,涂布面非處理表面)除此之外，按與制造例1相同的方法及條件制作包層形成用樹脂膜E?！参镄詼y定用固化膜的制作〕在上述得到的包層形成用樹脂膜E上，用紫外線曝光機(jī)(林式會(huì)社才-夕制作所制、EXM-1172)照射U/cn^的紫外線(波長365nm),剝離作為保護(hù)膜使用的PET脫模膜(A31),最后再于160。C加熱干燥1小時(shí)，剝離作為支持膜使用的上述PET膜(A1517),得到固化膜。對所得到的固化膜進(jìn)行折射率測定、玻璃化轉(zhuǎn)變溫度測定、5%質(zhì)量減少溫度測定、拉伸試驗(yàn)、線膨脹系數(shù)測定及吸水率測定。結(jié)果示于表2中。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage30</column></row><table>*1波長830nm,25°C*2DMA法承3TMA法，a1:比玻璃化轉(zhuǎn)變溫度低1050。C的溫度時(shí)的線膨脹系數(shù)，a2:比玻璃化轉(zhuǎn)變溫度高1050。C的溫度時(shí)的線膨脹系數(shù)上述制造例2、3及5中得到的固化膜具有耐熱性、低吸濕性及低線膨脹系數(shù)，具有優(yōu)異的機(jī)械性能，并且芯層形成用樹脂膜具有比包層形成用樹脂膜更高的折射率，因此可用作柔性光波導(dǎo)用材料。實(shí)施例1〔柔性光波導(dǎo)的制作〕將上述制造例1中得到的包層形成用樹脂膜A的作為保護(hù)膜的PET脫模膜(A31)剝離，用紫外線曝光機(jī)(抹式會(huì)社才-夕制作所制、EXM-1172)從樹脂一側(cè)(基材膜的相反一側(cè))照射lJ/cn^的紫外線(波長365nm),接著在80。C加熱處理10分鐘，形成下部包層4。然后在該下部分包層4上，使用真空加壓式層壓機(jī)(抹式會(huì)社名機(jī)制作所制，MVLP-500),在壓力0.4MPa，溫度5(TC,加壓時(shí)間30秒的條件下，層合上述制造例2中得到的芯層形成用樹脂膜B,形成芯層。然后用上述紫外線曝光機(jī)，透過寬50pm的負(fù)型光掩模照射0.5J/cm2的紫外線(波長365nm)，接著在80。C進(jìn)行5分鐘的曝光后加熱。然后，剝離作為支持膜的PET膜，使用顯影液(丙二醇單甲基醚醋酸酯/N,N-二甲基乙酰胺=8/2,質(zhì)量比)，對芯圖案(芯部2)進(jìn)行顯影。接著，用洗滌液(異丙醇)進(jìn)行清洗，在100。C加熱干燥10分鐘。然后在與上述相同的層合條件下，層合作為上部包層的上述制造例1中得到的包層形成用樹脂膜A。進(jìn)而，兩面照射合計(jì)25J/cn^的紫外線(波長365nm)，然后在160。C加熱處理1小時(shí)，從而形成上述包層3，得到圖1(d)所示的在上下部包層外側(cè)設(shè)置有保護(hù)膜5的柔性光波導(dǎo)1。然后，使用劃片機(jī)(抹式會(huì)社尹、、4義-制，DAD-341)，切成波導(dǎo)長5cm的光波導(dǎo)1。還有，在這種情況下，保護(hù)膜5是被用作包層形成用樹脂膜A的支持膜的聚酰胺膜。對得到的柔性光波導(dǎo)進(jìn)行360。彎曲試驗(yàn)、反復(fù)彎曲試驗(yàn)、薄膜拉伸試驗(yàn)、回流試驗(yàn)、厚度測定、傳輸損失測定?？芍玫降墓獠▽?dǎo)具有高彎曲性、耐熱性，并且不僅具有低傳輸損耗，還具有高透明性。結(jié)果示于表3及圖3~5中。實(shí)施例2將實(shí)施例1中下部包層4及上部包層3中使用的包層形成用樹脂膜A改為上述制造例4中得到的包層形成用樹脂膜D，將上部包層形成用樹脂膜層合后的紫外線照射量25J/cm"文為3J/cm2,將加熱處理溫度160。C改為120°C，除此之外，按與實(shí)施例1相同的方法及條件得到圖1(d)所示的在上下包層的外側(cè)設(shè)置有保護(hù)膜5的柔性光波導(dǎo)1。還有，在這種情況下，保護(hù)膜5是被用作包層形成用樹脂膜D的支持膜的PET膜。對得到的柔性光波導(dǎo)進(jìn)行360。彎曲試驗(yàn)、反復(fù)彎曲試驗(yàn)、薄膜拉伸試驗(yàn)、回流試驗(yàn)、厚度測定、傳輸損失測定。可知得到的光波導(dǎo)具有高彎曲性，并且不僅具有低傳輸損^<,還具有高透明性。結(jié)果示于表3中。實(shí)施例3將制造例5中得到的包層形成用樹脂膜E層合在帶有厚度為lpm的氧化膜的硅基板(厚度625pm)上，然后照射1J/cn^的紫外線，剝離作為支持膜使用的PET膜，形成下部包層4。接著，按與實(shí)施例1相同的方法及條件形成芯部2，再按與實(shí)施例1相同的條件層合包層形成用樹脂膜E，照射3J/cn^的紫外線。剝離作為該包層形成用樹脂膜E的支持膜使用的PET膜，在160。C進(jìn)行加熱處理，形成上述包層3，得到帶硅基板的光波導(dǎo)。然后，將該帶硅基板的光波導(dǎo)在5質(zhì)量％的氫氟酸水溶液中浸漬24小時(shí)，從硅基板上剝離光波導(dǎo)部分，得到圖1(a)所示的柔性光波導(dǎo)l。對得到的柔性光波導(dǎo)進(jìn)行360。彎曲試驗(yàn)、反復(fù)彎曲試驗(yàn)、薄膜拉伸試驗(yàn)、回流試驗(yàn)、厚度測定、傳輸損失測定?？芍玫降墓獠▽?dǎo)具有高彎曲性、耐熱性，并且不僅具有低傳輸損耗，還具有高透明性。結(jié)果示于表3中。實(shí)施例4將芯層形成用樹脂膜B改為上述制造例3中得到的芯層形成用樹脂膜C,除此之外，按與實(shí)施例1相同的方法及條件，得到圖1(d)所示的在上下包層的外側(cè)設(shè)置有保護(hù)膜5的柔性光波導(dǎo)1。還有，在這種情況下，保護(hù)膜5是被用作包層形成用樹脂膜A的支持膜的聚酰胺膜。對得到的柔性光波導(dǎo)進(jìn)行360。彎曲試驗(yàn)、反復(fù)彎曲試驗(yàn)、薄膜拉伸試驗(yàn)、回流試驗(yàn)、厚度測定、傳輸損失測定。可知得到的光波導(dǎo)具有高彎曲性、耐熱性，并且不僅具有低傳輸損耗，還具有高透明性。結(jié)果示于表3中。實(shí)施例5將芯層形成用樹脂膜改為上述制造例3中得到的芯層形成用樹脂膜C,除此之外，按與實(shí)施例3相同的方法及條件，得到圖1(a)所示的柔性光波導(dǎo)1。對得到的柔性光波導(dǎo)進(jìn)行360。彎曲試驗(yàn)、反復(fù)彎曲試驗(yàn)、薄膜拉伸試驗(yàn)、回流試-瞼、厚度測定、傳輸損失測定?？芍玫降墓獠▽?dǎo)具有高彎曲性、耐熱性，并且不僅具有低傳輸損耗，還具有高透明性。結(jié)果示于表3中。實(shí)施例6在實(shí)施例1中得到的波導(dǎo)長為5cm的柔性光波導(dǎo)的兩端，用光學(xué)用粘接劑固定帶石英玻璃塊的光纖(GI-50/125多模纖維，NA=0.20)，制成光學(xué)模塊。使用光源中以波長850nm的光為中心波長的VCSEL(EXFO公司制，F(xiàn)LS-300-01-VCL)、受光傳感器(愛德萬測試公司制，Q82214)測定得到的光學(xué)模塊的插入損耗時(shí)，為0.5dB以下。另外，進(jìn)行360。彎曲試驗(yàn)時(shí)，在曲率半徑為2mm的條件下插入損耗增加量為O.ldB以下。而且，曲率半徑為5mm的反復(fù)彎曲試驗(yàn)進(jìn)行10萬次后的插入損耗的增加量為O.ldB以下。將曲率半徑為2mm的反復(fù)彎曲試驗(yàn)進(jìn)行10萬次后，用金屬顯微鏡(奧林巴斯抹式會(huì)社制，BHMJL)觀察光學(xué)模塊時(shí)，芯部和包部未發(fā)生開裂。表3<table>tableseeoriginaldocumentpage33</column></row><table>*1曲率半徑為2mm*2波長830nm*3曲率半徑為5mm,實(shí)施10萬次后*4曲率半徑為2mm,實(shí)施10萬次后工業(yè)實(shí)用性本發(fā)明的柔性光波導(dǎo)及光學(xué)模塊具有優(yōu)異的可彎曲性、耐熱性及透明性,通用性高，可適用于便攜電話及筆記本型電腦等日常設(shè)備領(lǐng)域、更廣闊的領(lǐng)域。權(quán)利要求1.柔性光波導(dǎo)，其具有芯部和包層，并且在曲率半徑為2mm的360°彎曲試驗(yàn)中插入損耗的增加量為0.1dB以下。2.權(quán)利要求1中所述的柔性光波導(dǎo)，其中，芯部和包層的比折射率差為110%。3.權(quán)利要求1或2中所述的柔性光波導(dǎo)，其中，將曲率半徑為5mm的反復(fù)彎曲試驗(yàn)進(jìn)行10萬次后的插入損耗的增加量為O.ldB以下。4.權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)，其中，薄膜拉伸試驗(yàn)中的彈性模量為0.056GPa。5.權(quán)利要求14中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)，其中，薄膜拉伸試驗(yàn)中的最大伸長率為350%。6.權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)，其厚度為9~500(im。7.權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)，其中，將最高溫度為265。C的回流試驗(yàn)進(jìn)行3次后的傳輸損耗的增加量為0.05dB/cm以下。8.權(quán)利要求1~7中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)，其中，傳輸損耗為0.3dB/cm以下。9.權(quán)利要求1~8中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)，其中，芯部和/或包層是使用含有(A)粘結(jié)劑聚合物、(B)光聚合性化合物及(C)光聚合引發(fā)劑的樹脂組合物制作的。10.權(quán)利要求9中所述的柔性光波導(dǎo)，其中，該柔性光波導(dǎo)是使用以下樹脂組合物制作的相對于(A)成分及(B)成分的總量，含有(A)成分5~80質(zhì)量％及(B)成分2095質(zhì)量％，并且相對于(A)成分及(B)成分的總量IOO質(zhì)量份，含有(C)成分0.110質(zhì)量份。11.權(quán)利要求9或10中所述的柔性光波導(dǎo)，其中，(A)粘結(jié)劑聚合物是苯氧基樹脂。12.權(quán)利要求911中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)，其中，含有分子內(nèi)具有乙烯性不飽和基團(tuán)的化合物作為(B)光聚合性化合物。13.權(quán)利要求912中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)，其中，含有單官能(曱基)丙烯酸酯作為(B)光聚合性化合物，所述單官能(曱基)丙烯酸酯具有選自芳基、芳烷基、芳氧基及芳香族雜環(huán)基中的至少一種基團(tuán)。14.權(quán)利要求912中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)，其中，含有下述通式(1)表示的乙氧基化藥型二(曱基)丙烯酸酯作為(B)光聚合性化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>(1)式中，Ri表示氫原子或曱基，R^R"各自獨(dú)立地表示氫原子、碳原子數(shù)為1~12的烷基、碳原子數(shù)為16的烷氧基、碳原子數(shù)為2~7的烷氧羰基、碳原子數(shù)為6~10的芳基、或碳原子數(shù)為79的芳烷基，a及b各自獨(dú)立地表示1~20的整數(shù)。15.權(quán)利要求9~12中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)，其中，含有下式通式(2)表示的(曱基)丙烯酸酯作為(B)光聚合性化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>(2)式中，X為CH2CH(OH)CH2、(C2H40)cC2H4、(C3H60)dC3H6、或(C2H40)e(C3H60)fC3H6，Y表示C(CH3)2、CH2、S02或0，c、d、e及f各自表示0至10的整數(shù)，R"表示氫原子或曱基，R"表示氫原子、甲基或卣素原子。16.權(quán)利要求911中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)，其中，含有分子內(nèi)具有2個(gè)以上環(huán)氧基的化合物作為(B)光聚合性化合物。17.使用了權(quán)利要求1~16中任一項(xiàng)所述的柔性光波導(dǎo)的光學(xué)模塊。全文摘要本發(fā)明涉及具有芯部和包層，并且在曲率半徑為2mm的360°彎曲試驗(yàn)中插入損耗的增加量為0.1dB以下的柔性光波導(dǎo)及使用柔性光波導(dǎo)的光學(xué)模塊?？梢蕴峁┚哂懈呖蓮澢?、耐熱性、透明性的柔性光波導(dǎo)及使用柔性光波導(dǎo)的光學(xué)模塊。文檔編號G02B6/12GK101379421SQ20078000487公開日2009年3月4日申請日期2007年2月7日優(yōu)先權(quán)日2006年2月8日發(fā)明者增田宏,柴田智章,牧野龍也,落合雅美,高崎俊彥,高橋敦之申請人:日立化成工業(yè)株式會(huì)社