專(zhuān)利名稱(chēng)：液晶顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及有源矩陣型液晶顯示裝置。
技術(shù)背景從來(lái)，對(duì)于使用薄膜晶體管(TFT)等有源元件的有源矩陣型液 晶顯示裝置已經(jīng)是眾所周知。由于有源矩陣型液晶顯示裝置可以提高 像素密度，并且其尺寸小，重量輕且耗電量低，因而作為代替CRT 的平面顯示器之一種，正在對(duì)個(gè)人電腦的監(jiān)視器、液晶電視機(jī)、以及 汽車(chē)導(dǎo)航系統(tǒng)的監(jiān)視器等的產(chǎn)品進(jìn)行開(kāi)發(fā)。在液晶顯示裝置中，將形成有除了多個(gè)薄膜晶體管(TFT)和布 線以外還包括第一電極(像素電極)等的像素部的襯底(有源矩陣襯 底)與形成有第二電極(相對(duì)電極)、遮光層(黑矩陣)、以及著色 層(彩色濾光片)等的襯底(相對(duì)襯底)貼合在一起，并將液晶封入 到它們之間，且利用施加到像素電極和相對(duì)電極之間的電場(chǎng)使液晶分 子取向，以控制來(lái)自光源的光量而進(jìn)行顯示。當(dāng)液晶顯示裝置進(jìn)行顯示之際，若發(fā)生液晶分子取向無(wú)序就不能 進(jìn)行高清晰度的圖像顯示。需要使像素電極和相對(duì)電極之間的距離 (單元間隙)均勻化(平整化)，以使液晶分子的取向?yàn)橐恢?。作?其方法，例如可舉出通過(guò)涂敷法等形成絕緣膜作為平整化膜的方法 (參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。專(zhuān)利文獻(xiàn)1所記載的有機(jī)膜是以平整化為目的 的有機(jī)絕緣膜，且是丙烯類(lèi)透明有機(jī)膜。看到附圖等就知道，當(dāng)使用 有機(jī)膜時(shí)，由于該有機(jī)膜的厚度厚，因此接觸孔變深。[專(zhuān)利文獻(xiàn)1日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)2001-305576號(hào)公報(bào)如專(zhuān)利文獻(xiàn)l所記載那樣，用于平整化的層間膜的厚度較厚。當(dāng) 層間膜的厚度厚時(shí)，用來(lái)形成將像素電極和薄膜晶體管電連接的布線 的接觸孔變深。當(dāng)接觸孔深時(shí)，像素電極和相對(duì)電極之間的距離(單 元間隙)也長(zhǎng)。因此，在形成有接觸孔的部分中，液晶層的厚度對(duì)應(yīng) 于層間膜的厚度而變厚，從而形成有接觸孔的部分和不形成有接觸孔 的部分的液晶層厚度不同得多。就是說(shuō)，產(chǎn)生在形成有接觸孔的部分 周邊容易發(fā)生液晶分子的取向無(wú)序的狀態(tài)。當(dāng)發(fā)生液晶分子的取向無(wú) 序時(shí)，在液晶顯示器中發(fā)生顏色不均勻。發(fā)明內(nèi)容于是，本發(fā)明的目的在于提供一種液晶顯示裝置，其中，解除顏 色不均勻，具有高可視性和高圖像質(zhì)量。此外，本發(fā)明的目的在于提供一種液晶顯示裝置，其中，解除顏 色不均勻，具有高開(kāi)口率和高圖像質(zhì)量。本發(fā)明的液晶顯示裝置包括薄膜晶體管；與薄膜晶體管電連接 的導(dǎo)電層；提供在導(dǎo)電層上且具有接觸孔的絕緣膜；提供在導(dǎo)電層及 具有接觸孔的絕緣膜上且通過(guò)接觸孔與導(dǎo)電層電連接的像素電極；以 及提供在至少重疊于接觸孔的邊緣的區(qū)域中的遮光層。本發(fā)明的液晶顯示裝置包括薄膜晶體管；與薄膜晶體管電連接 的導(dǎo)電層；提供在導(dǎo)電層上且具有接觸孔的絕緣膜；提供在導(dǎo)電層及 具有接觸孔的絕緣膜上且通過(guò)接觸孔與導(dǎo)電層電連接的像素電極；以 及具有開(kāi)口部的著色層，其中，著色層的開(kāi)口部提供在至少重疊于接 觸孔的邊緣的區(qū)域中。本發(fā)明的液晶顯示裝置包括薄膜晶體管；與薄膜晶體管電連接 的導(dǎo)電層；提供在導(dǎo)電層上且具有接觸孔的絕緣膜；提供在導(dǎo)電層及 具有接觸孔的絕緣膜上且通過(guò)接觸孔與導(dǎo)電層電連接的像素電極；具 有開(kāi)口部的著色層；以及提供在至少重疊于接觸孔的邊緣的區(qū)域中的 遮光層，其中，著色層的開(kāi)口部提供在至少重疊于接觸孔的邊緣的區(qū) 域中。在上述結(jié)構(gòu)中，遮光層是遮光性金屬膜、分散有顏料或染料的樹(shù)脂膜。
在上述結(jié)構(gòu)中，絕緣膜是樹(shù)脂膜。本發(fā)明的液晶顯示裝置不將液晶分子的取向無(wú)序的部分用作顯示部。在本發(fā)明的液晶顯示裝置中，以覆蓋接觸孔的方式選擇性地形成 有遮光層，可以提供沒(méi)有顏色不均勻的顯示器。在本發(fā)明的液晶顯示裝置中，由于以防止反映接觸孔部分的液晶 分子的取向無(wú)序的方式選擇性地去除彩色濾光片，因此可以提供沒(méi)有 顏色不均勻的顯示器。


圖1A和1B是說(shuō)明實(shí)施方式2的圖； 圖2A和2B是說(shuō)明實(shí)施方式2的圖； 圖3A和3B是"^兌明實(shí)施方式3的圖； 圖4A和4B是說(shuō)明實(shí)施方式3的圖； 圖5A和5B是^兌明實(shí)施方式4的圖； 圖6A和6B是說(shuō)明實(shí)施方式4的圖； 圖7是說(shuō)明實(shí)施方式2的圖； 圖8A至8F是"^兌明實(shí)施方式6的圖；圖9A至9D是示出可以適用于本發(fā)明的薄膜晶體管的一個(gè)例子的圖；圖10A和10B示出使用本發(fā)明的液晶顯示裝置；圖IIA至11C示出使用本發(fā)明的液晶顯示裝置的驅(qū)動(dòng)電路；圖12示出使用本發(fā)明的液晶顯示裝置；圖13A至13E示出具備使用本發(fā)明的液晶顯示裝置的電子設(shè)備；圖14是說(shuō)明實(shí)施方式11的圖；圖15A和15B是說(shuō)明實(shí)施方式5的圖。
具體實(shí)施方式
下面，對(duì)本發(fā)明的一個(gè)方式將參照附圖等給予詳細(xì)說(shuō)明。但是，
本發(fā)明能夠通過(guò)多種不同的方式來(lái)實(shí)施，所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通人員可 以很容易地理解一個(gè)事實(shí)即其方式和詳細(xì)內(nèi)容可以被變換為各種各 樣的形式，而不脫離本發(fā)明的宗旨及其范圍。因此，本發(fā)明不應(yīng)該被 解釋為僅限定在實(shí)施方式所記栽的內(nèi)容中。 實(shí)施方式1在本實(shí)施方式中，將說(shuō)明使用本發(fā)明的液晶顯示裝置的結(jié)構(gòu)。 用來(lái)不使液晶分子的取向無(wú)序的部分用作顯示部的方法大致分 為兩種。 一種是以覆蓋液晶分子的取向無(wú)序的部分的方式提供遮光層 的結(jié)構(gòu)，而另一種是在液晶分子的取向無(wú)序的部分中不提供彩色濾光 片的結(jié)構(gòu)。作為以覆蓋液晶分子的取向無(wú)序的部分的方式提供遮光層的結(jié) 構(gòu)，可舉出圓形及環(huán)形。圓形是指覆蓋接觸孔整體的結(jié)構(gòu)，而環(huán)形是 指除了接觸孔的中心部分之外的部分以遮光層覆蓋的結(jié)構(gòu)。作為環(huán)形，優(yōu)選釆用至少覆蓋接觸孔的邊緣的形狀。注意，接觸孔的邊緣是 指接觸孔中的絕緣膜傾斜的區(qū)域。在將遮光層形成為圓形的情況下，由于覆蓋接觸孔整體，因此可 以覆蓋液晶分子的取向無(wú)序的整個(gè)部分。通過(guò)采用這種結(jié)構(gòu)，可以制 造沒(méi)有顏色不均勻且具有高開(kāi)口率的顯示器。此外，由于可以通過(guò)與 在布線部分中形成遮光層的工序相同的步驟來(lái)制造該圓形的遮光層， 因此工序數(shù)量不增加且不需要采用復(fù)雜的步驟。在將遮光層形成為環(huán)形的情況下，由于覆蓋接觸孔的邊緣，即接 觸孔中的絕緣膜傾斜的區(qū)域，因此可以覆蓋作為最容易發(fā)生液晶分子 的取向無(wú)序的部分的接觸孔邊緣的取向無(wú)序。因?yàn)樵诮佑|孔的邊緣之 外的部分中幾乎沒(méi)有液晶層的厚度變動(dòng)，所以在該部分中不會(huì)發(fā)生液 晶分子的取向無(wú)序。通過(guò)采用這種結(jié)構(gòu)，可以制造沒(méi)有顏色不均勻且 具有高開(kāi)口率的顯示器。此外，由于可以通過(guò)與將遮光層形成在布線 部分的工序相同的步驟形成該環(huán)形的遮光層，所以工序數(shù)量不增加且 不需要采用復(fù)雜的步驟。注意，在本說(shuō)明書(shū)中，雖然將遮光層的形狀 寫(xiě)為"圓形"、"環(huán)形"，但是可以根據(jù)接觸孔的形狀而適當(dāng)?shù)馗淖冋诠?br> 層的形狀。就是說(shuō)，只要以覆蓋接觸孔的目的來(lái)提供就可以采用任何 形狀，例如，可以舉出圓周形、橢圓形、正方形、長(zhǎng)方形、三角形等。作為在液晶分子的取向無(wú)序的部分中不提供彩色濾光片的結(jié)構(gòu)， 可舉出圓形及環(huán)形。圓形是指在接觸孔整體的上部不提供彩色濾光片 的結(jié)構(gòu)，環(huán)形是指在接觸孔的邊緣，即接觸孔中的絕緣膜傾斜的區(qū)域 的上方不提供彩色濾光片的結(jié)構(gòu)。在以圓形去除彩色濾光片的情況下，在接觸孔整體中不存在彩色 濾光片。因此液晶層的厚度不同得多，且不反映液晶分子的取向無(wú)序 的部分。通過(guò)采用這種結(jié)構(gòu)，可以制造沒(méi)有顏色不均勻且具有高開(kāi)口 率的顯示器。此外，在以圓形去除彩色濾光片的結(jié)構(gòu)中，工序數(shù)量不 增加且不需要采用復(fù)雜的步驟。在以環(huán)形去除彩色濾光片的情況下，去除接觸孔的邊緣，即接觸 孔中的絕緣膜傾斜的區(qū)域的彩色濾光片。在接觸孔的邊緣之外的部分 中，幾乎沒(méi)有液晶層的厚度變動(dòng)，所以在該部分中不會(huì)發(fā)生液晶分子 的取向無(wú)序。通過(guò)采用這種結(jié)構(gòu)，可以制造沒(méi)有顏色不均勻且具有高 開(kāi)口率的顯示器。此外，在以環(huán)形去除彩色濾光片的結(jié)構(gòu)中，工序數(shù) 量不增加且不需要采用復(fù)雜的步驟。注意，在本說(shuō)明書(shū)中，雖然將彩 色濾光片的形狀寫(xiě)為"圓形"、"環(huán)形"，但是可以根據(jù)接觸孔的形狀而 適當(dāng)?shù)馗淖儾噬珵V光片的形狀。就是說(shuō)，只要以去除重疊于接觸孔的 區(qū)域的彩色濾光片的目的來(lái)去除就可以采用任何形狀，例如，可以舉 出圓周形、橢圓形、正方形、長(zhǎng)方形、三角形等。實(shí)施方式2在本實(shí)施方式中，將參照?qǐng)D1A至圖2B說(shuō)明選擇性地形成遮光 層的液晶顯示裝置。圖1B是從相對(duì)村底一側(cè)看到適用本發(fā)明的液晶顯示裝置的俯視 圖。作為有源矩陣襯底，在襯底上形成有薄膜晶體管、電連接到薄膜 晶體管的布線層、絕緣膜、像素電極、取向膜等。作為與有源矩陣襯 底貼合在一起的相對(duì)襯底，在襯底上形成有遮光層、相對(duì)電極、取向 膜等。圖1B只圖示柵極線151、源極線152、接觸孔103、薄膜晶體 管的半導(dǎo)體層154、第一遮光層108、以及第二遮光層109,省略其他 部分。如圖1B所示那樣，形成第一遮光層108和第二遮光層109作為 遮光層。該第一遮光層108形成在對(duì)應(yīng)于柵極線151及源極線152的 區(qū)域中，而該第二遮光層109形成在對(duì)應(yīng)于薄膜晶體管的源區(qū)或漏區(qū) 的接觸孔103的區(qū)域中。圖1A是放大接觸孔部分的圖，且是沿圖1B的A-A，線截?cái)嗟慕?面圖。下面將說(shuō)明本實(shí)施方式的有源矩陣襯底的結(jié)構(gòu)。在襯底100上形成有薄膜晶體管101。作為襯底IOO，除了玻璃 襯底如鋁硼硅酸鹽玻璃、鋇硼硅酸鹽玻璃、石英玻璃等之外，還可以 使用將以PET (聚對(duì)苯二曱酸乙二醇酯)、PEN (聚萘二甲酸乙二醇 酯)、PES (聚醚砜)、聚丙烯為典型的塑料、以及以丙烯等為典型 的合成樹(shù)脂用作原料的襯底。薄膜晶體管101可以是頂柵型、底柵型、 溝道蝕刻型、溝道保護(hù)型中的任何一種。在圖1A中圖示溝道蝕刻型 晶體管。在薄膜晶體管101上形成絕緣膜102,并且形成用來(lái)電連接到薄 膜晶體管101的接觸孔103?？梢允褂糜袡C(jī)樹(shù)脂膜、無(wú)機(jī)絕緣膜、或 以硅氧烷類(lèi)材料為起始材料來(lái)形成的包含Si-O-Si鍵的絕緣膜(硅氧 烷類(lèi)絕緣膜)形成絕緣膜102。在此，硅氧烷是指具有由硅(Si)和 氧(O)的鍵構(gòu)成的骨架結(jié)構(gòu)的物質(zhì)，使用至少包含氫的有機(jī)基(例 如，烷基、芳基)作為取代基。此外，作為取代基，也可以使用氟基 或至少包含氫的有機(jī)基和氟基。另外，也可以將低介電常數(shù)材料用作 絕緣膜。注意，也可以相對(duì)于襯底垂直地形成接觸孔103。但是，，優(yōu)選 如圖1A所示那樣以使接觸孔103的邊緣傾斜的方式形成開(kāi)口，以便 在后面的工序中提高當(dāng)形成像素電極104之際的階梯覆蓋率。因此， 在本說(shuō)明書(shū)中，接觸孔具有傾斜部，且將該傾斜部寫(xiě)為接觸孔的邊緣。覆蓋薄膜晶體管101及絕緣膜102地形成像素電極104。像素電 極104與露出了的薄膜晶體管101的漏電極105b電連接。
在制造反射型液晶顯示裝置的情況下，可以使用具有反射性的金屬作為像素電極104。在制造透過(guò)型液晶顯示裝置的情況下，可以使 用將氧化錫混合到氧化銦的氧化銦錫(ITO)、將氧化硅混合到氧化 銦錫(ITO)的氧化銦錫硅(ITSO)、將氧化鋅混合到氧化銦的氧化 銦鋅(IZO)、氧化鋅(ZnO)、或氧化錫(Sn02)等。在制造半透 過(guò)型液晶顯示裝置的情況下，對(duì)于反射區(qū)域，可以使用具有反射性的 金屬作為像素電極，而對(duì)于透過(guò)區(qū)域，可以使用具有透光性的材料(例 如，將氧化錫混合到氧化銦的氧化銦錫(ITO)、將氧化硅混合到氧 化銦錫(ITO)的氧化銦錫硅(ITSO)、將氧化鋅混合到氧化銦的氧 化銦鋅(IZO)、氧化鋅(ZnO)、或氧化錫(Sn02)等)。在像素電極104上形成有取向膜106。作為取向膜106，可以使 用聚酰亞胺樹(shù)脂等。接著，將說(shuō)明本實(shí)施方式的相對(duì)襯底的結(jié)構(gòu)。與襯底107接觸地形成有第一遮光層108及第二遮光層109。覆 蓋源布線和源電極105a的一部分地形成第一遮光層108。對(duì)應(yīng)于接觸 孔103地形成第二遮光層109。作為襯底107，除了玻璃襯底如鋁硼 硅酸鹽玻璃、鋇硼硅酸鹽玻璃、石英玻璃等之外，還可以使用將以PET (聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯)、PEN(聚萘二甲酸乙二醇酯)、PES(聚 醚砜)、聚丙烯為典型的塑料、以及以丙烯等為典型的合成樹(shù)脂用作 原料的襯底。作為第一遮光層108及第二遮光層109，可以使用遮光 性膜(例如，鉻(Cr)的單層膜、氧化鉻(CrxOy)和鉻(Cr)的疊 層膜、分散有碳黑等的顏料、染料等的樹(shù)脂膜等)。如圖1B所示那樣，形成第一遮光層108和第二遮光層109作為 遮光層。該第 一遮光層108形成在對(duì)應(yīng)于有源矩陣襯底上的柵極線151 及源極線152的區(qū)域中，而該第二遮光層109形成在對(duì)應(yīng)于有源矩陣 襯底上的薄膜晶體管的源區(qū)域或漏區(qū)域的接觸孔103的區(qū)域中。對(duì)應(yīng) 于接觸孔103的區(qū)域是指與接觸孔103重疊的區(qū)域。第二遮光層109形成在對(duì)應(yīng)于有源矩陣襯底的接觸孔103的區(qū)域 中，而從形成在對(duì)應(yīng)于柵極線151及源極線152的區(qū)域的第一遮光層
108獨(dú)立。因此，由于該區(qū)域不起到顯示部的作用，所以即使在接觸 孔103的上層存在的液晶分子中產(chǎn)生取向無(wú)序，也可以提供沒(méi)有顏色 不均勻且具有高對(duì)比度和高圖像質(zhì)量的顯示裝置。此外，雖然第一遮光層108提供在柵極線151及源極線152的上方，但是不覆蓋薄膜晶體管的整體。由于采用這種結(jié)構(gòu)，所以可以將 開(kāi)口率的降低抑制為最低限度?？梢酝ㄟ^(guò)將遮光層形成為第一遮光層108和第二遮光層109的兩 個(gè)，將開(kāi)口率的降低抑制為最低限度，從而可以制造沒(méi)有顏色不均勻 且具有高對(duì)比度和高圖像質(zhì)量的顯示裝置。第二遮光層109的形狀可以是任何形狀，只要提供在對(duì)應(yīng)于有源 矩陣襯底的接觸孔103的區(qū)域中。例如，可舉出圓周形、橢圓形、正 方形、長(zhǎng)方形、三角形等。與襯底107、第一遮光層108、及第二遮光層109接觸地形成有 相對(duì)電極110。作為相對(duì)電極110，可以使用將氧化錫混合到氧化銦 的氧化銦錫(ITO)、將氧化硅混合到氧化銦錫(ITO)的氧化銦錫 硅(ITSO )、將氧化鋅混合到氧化銦的氧化銦鋅(IZO )、氧化鋅(ZnO )、 或氧化錫(Sn02)等。在相對(duì)電極110上形成有取向膜111。作為取向膜lll,可以使 用聚酰亞胺樹(shù)脂等。將具有上述結(jié)構(gòu)的有源矩陣襯底和相對(duì)襯底貼合在一起，并且將 液晶層112形成在有源矩陣襯底和相對(duì)襯底之間。作為液晶，可以采 用鐵電性液晶(FLC)、向列液晶、層列液晶、成為平行取向的液晶、 成為垂直取向的液晶等。注意，當(dāng)采用圖1A及1B所示的結(jié)構(gòu)時(shí)，如圖7所示那樣，第 二遮光層402從第一遮光層401獨(dú)立地提供。除了圖1A及1B的結(jié)構(gòu)之外，既可以在有源矩陣襯底一側(cè)形成 著色層(彩色濾光片)，又可以在相對(duì)襯底一側(cè)形成著色層(彩色濾 光片)。此外，當(dāng)形成著色層(彩色濾光片)時(shí)，可以采用單色或256 灰度。 形成在有源矩陣襯底的薄膜晶體管可以是頂柵型、底柵型、溝道 蝕刻型、溝道保護(hù)型中的任何一種。此外，薄膜晶體管的源電極或漏電極也可以不直接連接到像素電極。圖9A示出圖1A所示的結(jié)構(gòu)。 在圖9A中，溝道蝕刻型的晶體管的源電極或漏電極601與像素電極 602接觸。圖9B示出圖9A所示的溝道蝕刻型的薄膜晶體管的源電極 或漏電極611與像素電極612通過(guò)導(dǎo)電層613電連接的結(jié)構(gòu)。圖9C示出在頂柵型的薄膜晶體管中，薄膜晶體管的源區(qū)域或漏 區(qū)域621與像素電極622接觸的結(jié)構(gòu)。圖9D示出圖9C所示的頂柵 型的薄膜晶體管的源電極或漏電極631與像素電極632通過(guò)導(dǎo)電層 633電連接的結(jié)構(gòu)。注意，圖9A至9D所示的薄膜晶體管是一個(gè)例子。雖然本實(shí)施 方式示出形成在玻璃襯底上的薄膜晶體管，但是可以適用于本發(fā)明的 薄膜晶體管不局限于這種晶體管，而可以采用使用硅片的晶體管。由于通過(guò)釆用圖1A及1B所示的結(jié)構(gòu)，接觸孔103的上部發(fā)生 的液晶分子的取向無(wú)序不反映到閨像顯示，因此可以制造沒(méi)有顏色不 均勻的顯示器。此外，因?yàn)榈诙诠鈱?09選擇性地形成，所以可以 抑制開(kāi)口率的降低。另外，由于可以通過(guò)與在對(duì)應(yīng)于有源矩陣襯底上 的柵極線151及源極線152的區(qū)域中形成第一遮光層108的工序相同 的步驟來(lái)形成，因此工序數(shù)量不增加且不需要采用復(fù)雜的步驟。此外，可以采用如下結(jié)構(gòu)將遮光層提供在對(duì)應(yīng)于接觸孔103 中的絕緣膜102傾斜的部分的區(qū)域，即重疊于接觸孔的邊緣的區(qū)域中。 這是因?yàn)樵诮^緣膜102傾斜的區(qū)域(接觸孔的邊緣)中最容易發(fā)生液 晶分子的取向無(wú)序的緣故。圖2B是從相對(duì)襯底一側(cè)看到適用本發(fā)明的液晶顯示裝置的俯視 圖。與圖1B不同之處是如下第二遮光層122的形狀是環(huán)形，而不 是圓形。作為有源矩陣襯底，在襯底上形成有薄膜晶體管、電連接到 薄膜晶體管的布線層、絕緣膜、像素電極、取向膜等。作為與有源矩 陣襯底貼合在一起的相對(duì)襯底，在襯底上形成有遮光層、相對(duì)電極、 取向膜等。圖2B只圖示柵極線151、源極線152、接觸孔153、薄膜
晶體管的半導(dǎo)體層154、第一遮光層108、以及第二遮光層122，省略 其他部分。注意，與圖1B相同的部分使用相同的附圖標(biāo)記。如圖2B所示那樣，形成第一遮光層123和第二遮光層122作為 遮光層。該第一遮光層108形成在對(duì)應(yīng)于柵極線151及源極線152的 區(qū)域中，而該第二遮光層122形成在對(duì)應(yīng)于薄膜晶體管的源區(qū)域或漏 區(qū)域的接觸孔153中的絕緣膜傾斜的部分121的區(qū)域中。對(duì)應(yīng)于接觸 孔153中的絕緣膜傾斜的部分121的區(qū)域是指與接觸孔153的邊緣重 疊的區(qū)域。圖2A是放大接觸孔部分的圖，并且是沿圖2B的B-B，線截?cái)嗟?截面圖。由于有源矩陣襯底的結(jié)構(gòu)與圖1A及1B相同，所以在此省略 其說(shuō)明。注意，與圖1A相同的部分^(吏用相同的附圖標(biāo)記。相對(duì)襯底的結(jié)構(gòu)是如下與襯底107接觸地形成有第一遮光層 108及第二遮光層122。第二遮光層122才艮據(jù)對(duì)應(yīng)于形成在有源矩陣 襯底的絕緣膜102傾斜的部分121的區(qū)域形成。注意，對(duì)應(yīng)于絕緣膜 102傾斜的部分121的區(qū)域是指與接觸孔的邊緣重疊的區(qū)域。作為襯底107，除了玻璃村底如鋁硼硅酸鹽玻璃、鋇硼硅酸鹽玻 璃、石英玻璃等之外，還可以使用將以PET(聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯)、 PEN (聚萘二曱酸乙二醇酯)、PES (聚醚砜)、聚丙烯為典型的塑 料、以及以丙烯等為典型的合成樹(shù)脂用作原料的村底。作為第二遮光 層122 ，可以使用遮光性膜(例如，鉻(Cr )的單層膜、氧化鉻(CrxOy ) 和鉻(Cr)的疊層膜、分散有碳黑等的顏料、染料等的樹(shù)脂膜等)。相對(duì)電極110與襯底107、第二遮光層122接觸地形成。作為相 對(duì)電極110，可以使用將氧化錫混合到氧化銦的氧化銦錫(ITO)、 將氧化硅混合到氧化銦錫(ITO)的氧化銦錫硅(ITSO)、將氧化鋅 混合到氧化銦的氧化銦鋅(IZO )、氧化鋅(ZnO )、或氧化錫(Sn02) 等。取向膜111形成在相對(duì)電極110上?？梢允褂镁埘啺窐?shù)脂等作 為取向膜lll。將具有上述結(jié)構(gòu)的相對(duì)襯底和圖1A所說(shuō)明的有源矩陣襯底貼合
在一起，并且將液晶注入到有源矩陣襯底和相對(duì)襯底之間。作為液晶，可以采用鐵電性液晶(FLC)、向列液晶、層列液晶、成為平行取向 的液晶、成為垂直取向的液晶等。除了圖2A及2B的結(jié)構(gòu)之外，既可以在有源矩陣襯底一側(cè)形成 著色層(彩色濾光片)，又可以在相對(duì)襯底一側(cè)形成著色層(彩色濾 光片)。此外，當(dāng)形成著色層(彩色濾光片)時(shí)，可以釆用單色或256 灰度。形成在有源矩陣襯底的薄膜晶體管可以是頂柵型、底柵型、溝道 蝕刻型、溝道保護(hù)型中的任何一種。此外，薄膜晶體管的源電極或漏 電極也可以不直接連接到像素電極。也可以與圖1A及1B同樣地將圖 9A至9D所示的晶體管使用于圖2A及2B。由于通過(guò)采用圖2A及2B所示的結(jié)構(gòu)，接觸孔153中的絕緣膜 102傾斜的部分121，即接觸孔的邊緣上發(fā)生的液晶分子的取向無(wú)序 不反映到圖像顯示，因此可以制造沒(méi)有顏色不均勻的顯示器。此外， 因?yàn)榈诙诠鈱?22選擇性地形成，所以可以抑制開(kāi)口率的降低。另 外，由于可以通過(guò)與在對(duì)應(yīng)于有源矩陣襯底上的柵極線151及源極線 152的區(qū)域中形成第一遮光層108的工序相同的步驟來(lái)形成，因此工 序數(shù)量不增加且不需要采用復(fù)雜的步驟。實(shí)施方式3在本實(shí)施方式中，將參照?qǐng)D3A至圖4B說(shuō)明選擇性地去除著色 層(彩色濾光片)的液晶顯示裝置。圖3B是從相對(duì)襯底一側(cè)看到適用本發(fā)明的液晶顯示裝置的俯視 圖。作為有源矩陣襯底，在襯底上形成有薄膜晶體管、絕緣膜、像素 電極、取向膜等。作為與有源矩陣襯底貼合在一起的相對(duì)襯底，在襯 底上形成有遮光層、著色層、相對(duì)電極、取向膜等。圖3B只圖示柵 極線251、源極線252、接觸孔203、薄膜晶體管的半導(dǎo)體層254、遮 光層208、以及著色層(彩色濾光片)209，省略其他部分。如圖3B所示那樣，在著色層(彩色濾光片)209中，對(duì)應(yīng)于去 除有源矩陣襯底上的薄膜晶體管的源區(qū)域或漏區(qū)域的接觸孔203的區(qū)
域。對(duì)應(yīng)于接觸孔203的區(qū)域是指與接觸孔203重疊的區(qū)域。圖3A是放大接觸孔部分的圖，且是沿圖3B的C-C，線截?cái)嗟慕?面圖。下面將說(shuō)明本實(shí)施方式的有源矩陣襯底的結(jié)構(gòu)。在襯底200上形成有薄膜晶體管201。作為襯底200，除了玻璃 襯底如鋁硼硅酸鹽玻璃、鋇硼硅酸鹽玻璃、石英玻璃等之外，還可以 使用將以PET (聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯)、PEN(聚萘二甲酸乙二醇 酯)、PES (聚醚砜)、聚丙烯為典型的塑料、以及以丙烯等為典型 的合成樹(shù)脂用作原料的襯底。薄膜晶體管201可以是頂柵型、底柵型、 溝道蝕刻型、溝道保護(hù)型中的任何一種。在圖3A中圖示溝道蝕刻型 晶體管。在薄膜晶體管201上形成絕緣膜202，并且形成用來(lái)電連接到薄 膜晶體管201的接觸孔203?？梢允褂糜袡C(jī)樹(shù)脂膜、無(wú)機(jī)絕緣膜、或 以硅氧烷類(lèi)材料為起始材料來(lái)形成的包含Si-O-Si鍵的絕緣膜(硅氧 烷類(lèi)絕緣膜)形成絕緣膜202。在此，硅氧烷是指具有由硅(Si)和 氧(O)的鍵構(gòu)成的骨架結(jié)構(gòu)的物質(zhì)，使用至少包含氫的有機(jī)基(例 如，烷基、芳基)作為取代基。此外，作為取代基，也可以使用氟基 或至少包含氫的有機(jī)基和氟基。另外，也可以將低介電常數(shù)材料用作覆蓋薄膜晶體管201及絕緣膜202地形成像素電極204。像素電 極204電連接到露出了的薄膜晶體管201的漏電極205b。在制造反射型液晶顯示裝置的情況下，可以使用具有反射性的金 屬作為像素電極204。在制造透過(guò)型液晶顯示裝置的情況下，可以使 用將氧化錫混合到氧化銦的氧化銦錫(ITO)、將氧化硅混合到氧化 銦錫(ITO)的氧化銦錫硅(ITSO)、將氧化鋅混合到氧化銦的氧化 銦鋅(IZO)、氧化鋅(ZnO)、或氧化錫(Sn02)等。在制造半透 過(guò)型液晶顯示裝置的情況下，對(duì)于反射區(qū)域，可以使用具有反射性的 金屬作為像素電極，而對(duì)于透過(guò)區(qū)域，可以使用具有透光性的材料(例 如，將氧化錫混合到氧化錮的氧化銦錫(ITO)、將氧化硅混合到氧 化銦錫(ITO)的氧化錮錫硅(ITSO)、將氧化鋅混合到氧化銦的氧
化銦鋅(IZO)、氧化鋅(ZnO)、或氧化錫(Sn02)等)。在像素電極204上形成有取向膜206。作為取向膜206，可以使 用聚酰亞胺樹(shù)脂等。接著，將說(shuō)明本實(shí)施方式的相對(duì)襯底的結(jié)構(gòu)。與襯底207接觸地形成有遮光層208及著色層(彩色濾光片)209 。 根據(jù)形成在絕緣膜202中的接觸孔203去除著色層(彩色濾光片)。 作為襯底207，除了玻璃襯底如鋁硼硅酸鹽玻璃、鋇硼硅酸鹽玻璃、 石英玻璃等之外，還可以使用將以PET (聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯)、 PEN (聚萘二甲酸乙二醇酯)、PES (聚醚砜)、聚丙烯為典型的塑 料、以及以丙烯等為典型的合成樹(shù)脂用作原料的襯底。此外，著色層 (彩色濾光片)209可以是單色或256灰度。去除著色層(彩色濾光片)的部分的形狀可以是任何形狀，只要 形成在對(duì)應(yīng)于有源矩陣襯底的接觸孔203的區(qū)域，即與接觸孔203重 疊的區(qū)域。例如，可舉出圓周形、橢圓形、正方形、長(zhǎng)方形、三角形 等。與襯底207、遮光層208、及著色層(彩色濾光片)209接觸地 形成有相對(duì)電極210。作為相對(duì)電極210，可以使用將氧化錫混合到 氧化銦的氧化銦錫(ITO)、將氧化硅混合到氧化銦錫(ITO)的氧 化銦錫硅(ITSO)、將氧化鋅混合到氧化銦的氧化銦鋅(IZO)、氧 化鋅(ZnO)、或氧化錫(Sn02)等。在相對(duì)電極210上形成有取向膜211。作為取向膜211，可以使 用聚酰亞胺樹(shù)脂等。將具有上述結(jié)構(gòu)的有源矩陣襯底和相對(duì)襯底貼合在一起，并且將 液晶層212形成在有源矩陣襯底和相對(duì)襯底之間。作為液晶，可以采 用鐵電性液晶(FLC)、向列液晶、層列液晶、成為平行取向的液晶、 成為垂直取向的液晶等。形成在有源矩陣襯底的薄膜晶體管可以是頂柵型、底柵型、溝道 蝕刻型、溝道保護(hù)型中的任何一種。此外，薄膜晶體管的源電極或漏 電極也可以不直接連接到像素電極。也可以與圖1A及1B同樣地將圖9A至9D所示的晶體管使用于圖3A及3B。由于通過(guò)采用圖3A及3B所示的結(jié)構(gòu)，接觸孔203上發(fā)生的液 晶分子的取向無(wú)序不反映到圖像顯示，因此可以制造沒(méi)有顏色不均勻 的顯示器。此外，因?yàn)檫x擇性地去除著色層(彩色濾光片)，所以可 以與提供遮光層的結(jié)構(gòu)相比抑制開(kāi)口率的降低。另外，由于可以通過(guò) 與通常的制造著色層(彩色濾光片)的工序相同的步驟來(lái)形成，因此 工序數(shù)量不增加且不需要采用復(fù)雜的步驟。此外，也可以采用如下結(jié)構(gòu)去除對(duì)應(yīng)于有源矩陣襯底的接觸孔 203中的絕緣膜202傾斜的部分的區(qū)域的著色層(彩色濾光片)。這 是因?yàn)樵诮^緣膜202傾斜的部分，即接觸孔的邊緣上最容易發(fā)生液晶 分子的取向無(wú)序的緣故。圖4B是從相對(duì)襯底一側(cè)看到適用本發(fā)明的液晶顯示裝置的俯視 圖。與圖3B不同之處是如下以環(huán)形去除著色層(彩色濾光片)， 而不以圓形去除。作為有源矩陣村底，在襯底上形成有薄膜晶體管、 絕緣膜、像素電極、取向膜等。作為與有源矩陣襯底貼合在一起的相 對(duì)襯底，在襯底上形成有遮光層、著色層、相對(duì)電極、取向膜等。圖 4B只圖示柵極線251、源極線252、接觸孔253、薄膜晶體管的半導(dǎo) 體層254、遮光層208、以及第一著色層(彩色濾光片)223、第二著 色層(彩色濾光片)222，省略其他部分。注意，與圖3B相同的部分 ^f吏用相同的附圖標(biāo)記。如圖4B所示那樣，在著色層(彩色濾光片)中，去除對(duì)應(yīng)于有 源矩陣襯底上的薄膜晶體管的源區(qū)域或漏區(qū)域的接觸孔中的絕緣膜 202傾斜的部分221的區(qū)域。對(duì)應(yīng)于接觸孔中的絕緣膜202傾斜的部 分221的區(qū)域是指與接觸孔的邊緣重疊的部分。就是說(shuō)，除了第一著 色層(彩色濾光片223 )之外，還在對(duì)應(yīng)于絕緣膜202的開(kāi)口部分的 區(qū)域中形成有第二著色層(彩色濾光片)222。圖4A是放大接觸孔部分的圖，且是沿圖4B的D-D，線截?cái)嗟慕?面圖。由于有源矩陣襯底的結(jié)構(gòu)與圖3A和3B相同，所以在此省略其 說(shuō)明。
相對(duì)襯底的結(jié)構(gòu)是如下與襯底207接觸地形成有遮光層208、 第一著色層(彩色濾光片)223、及第二著色層(彩色濾光片)222。著色層l彩色濾光片)、。對(duì)應(yīng)于絕緣膜202傾斜的部分的區(qū)域是指與 接觸孔的邊緣重疊的區(qū)域。就是說(shuō)，形成第一著色層(彩色濾光片) 223及第二著色層(彩色濾光片)222。與襯底207、第一著色層(彩色濾光片)223、及第二著色層(彩 色濾光片)222接觸地形成有相對(duì)電極210。作為相對(duì)電極210,可以 使用將氧化錫混合到氧化銦的氧化銦錫(ITO)、將氧化硅混合到氧 化銦錫(ITO)的氧化銦錫硅(ITSO)、將氧化鋅混合到氧化銦的氧 化銦鋅(IZO)、氧化鋅(ZnO)、或氧化錫(Sn02)等。在相對(duì)電極210上形成有取向膜211。作為取向膜211，可以4吏 用聚酰亞胺樹(shù)脂等。將具有上述結(jié)構(gòu)的相對(duì)襯底和圖3A所說(shuō)明的有源矩陣村底貼合 在一起，且在有源矩陣襯底和相對(duì)襯底之間形成液晶層212。作為液 晶，可以釆用鐵電性液晶(FLC)、向列液晶、層列液晶、成為平行 取向的液晶、成為垂直取向的液晶等。形成在有源矩陣襯底的薄膜晶體管可以是頂柵型、底柵型、溝道 蝕刻型、溝道保護(hù)型中的任何一種。此外，薄膜晶體管的源電極或漏 電極也可以不直接連接到像素電極。也可以與圖1A及1B同樣地將圖 9A至9D所示的晶體管使用于圖4A及4B。由于通過(guò)采用圖4A及4B所示的結(jié)構(gòu)，接觸孔中的絕緣膜202 傾斜的部分221的上部發(fā)生的液晶分子的取向無(wú)序不反映到圖像顯 示，因此可以制造沒(méi)有顏色不均勻的顯示器。此外，因?yàn)檫x擇性地形 成著色層(彩色濾光片)，所以可以將開(kāi)口率的降低抑制為最低限度。 另外，由于可以通過(guò)與通常的制造著色層的工序相同的步驟來(lái)形成， 因此工序數(shù)量不增加且不需要采用復(fù)雜的步驟。實(shí)施方式4在本實(shí)施方式中，將參照?qǐng)D5A至圖6B"^兌明選擇性地形成遮光 層并選擇性地去除著色層(彩色濾光片)的液晶顯示裝置。圖5B是從相對(duì)襯底一側(cè)看到適用本發(fā)明的液晶顯示裝置的俯視 圖。作為有源矩陣襯底，在襯底上形成有薄膜晶體管、絕緣膜、像素 電極、取向膜等。作為與有源矩陣襯底貼合的相對(duì)襯底，在襯底上形 成有遮光層、相對(duì)電極、取向膜、著色層(彩色濾光片)等。在圖5B 中，只示出柵極線351、源極線352、接觸孔303、薄膜晶體管的半導(dǎo) 體層354、第一遮光層308、以及第二遮光層309、著色層(彩色濾光 片)310，省略其他部分。如圖5B所示那樣，形成第一遮光層308和第二遮光層309作為 遮光層。該第一遮光層308形成在對(duì)應(yīng)于柵極線351及源極線352的 區(qū)域中，而該第二遮光層309形成在對(duì)應(yīng)于薄膜晶體管的源區(qū)域或漏 區(qū)域的接觸孔303的區(qū)域中。此外，在著色層(彩色濾光片)中，去 除對(duì)應(yīng)于薄膜晶體管的源區(qū)域或漏區(qū)域的接觸孔303的區(qū)域。對(duì)應(yīng)于 接觸孔303的區(qū)域是指與接觸孔303重疊的區(qū)域。圖5B示出遮光層 形成在去除著色層(彩色濾光片)的區(qū)域中的結(jié)構(gòu)。圖5A是擴(kuò)大接觸孔部分的圖，且是沿圖5B的E-E，線截?cái)嗟慕?面圖。下面將說(shuō)明本實(shí)施方式的有源矩陣襯底的結(jié)構(gòu)。在襯底300上形成有薄膜晶體管301。作為襯底300，除了玻璃 襯底如鋁硼硅酸鹽玻璃、鋇硼硅酸鹽玻璃、石英玻璃等之外，還可以 使用將以PET (聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯)、PEN(聚萘二甲酸乙二醇 酯)、PES (聚醚砜)、聚丙烯為典型的塑料、以及以丙烯等為典型 的合成樹(shù)脂用作原料的襯底。薄膜晶體管301可以是頂柵型、底柵型、 溝道蝕刻型、溝道保護(hù)型中的任何一種。在圖5A中圖示溝道蝕刻型 晶體管。在薄膜晶體管301上形成絕緣膜302,并且形成用來(lái)電連接到薄 膜晶體管301的接觸孔303。可以使用有機(jī)樹(shù)脂膜、無(wú)機(jī)絕緣膜、或 以硅氧烷類(lèi)材料為起始材料來(lái)形成的包含Si-O-Si鍵的絕緣膜(硅氧 烷類(lèi)絕緣膜)形成絕緣膜302。在此，硅氧烷是指具有由硅(Si)和 氧(O)的鍵構(gòu)成的骨架結(jié)構(gòu)的物質(zhì)，使用至少包含氫的有機(jī)基(例 如，烷基、芳基)作為取代基。此外，作為取代基，也可以使用氟基 或至少包含氫的有機(jī)基和氟基。另外，也可以將低介電常數(shù)材料用作覆蓋薄膜晶體管301及絕緣膜302地形成像素電極304。像素電 極304電連接到露出了的薄膜晶體管301的源漏電極305b。在制造反射型液晶顯示裝置的情況下，可以使用具有反射性的金 屬作為像素電極304。在制造透過(guò)型液晶顯示裝置的情況下，可以使 用將氧化錫混合到氧化銦的氧化銦錫(ITO)、將氧化硅混合到氧化 銦錫(ITO)的氧化銦錫硅(ITSO)、將氧化鋅混合到氧化銦的氧化 銦鋅(IZO)、氧化鋅(ZnO)、或氧化錫(Sn02)等。在制造半透 過(guò)型液晶顯示裝置的情況下，對(duì)于反射區(qū)域，可以使用具有反射性的 金屬作為像素電極，而對(duì)于透過(guò)區(qū)域，可以使用具有透光性的材料(例 如，將氧化錫混合到氧化銦的氧化銦錫(ITO)、將氧化硅混合到氧 化銦錫(ITO)的氧化銦錫硅(ITSO)、將氧化鋅混合到氧化銦的氧 化銦鋅(IZO)、氧化鋅(ZnO)、或氧化錫(Sn02)等)。在像素電極304上形成有取向膜306。作為取向膜306，可以使 用聚酰亞胺樹(shù)脂等。接著，將說(shuō)明本實(shí)施方式的相對(duì)襯底的結(jié)構(gòu)。與襯底307接觸地形成有第一遮光層308、第二遮光層309、著 色層(彩色濾光片)310。第一遮光層308覆蓋源布線地形成，但是 對(duì)于源電極305a，只覆蓋其一部分。根據(jù)接觸孔303形成第二遮光層 309。作為襯底307，除了玻璃襯底如鋁硼硅酸鹽玻璃、鋇硼硅酸鹽玻 璃、石英玻璃等之外，還可以使用將以PET(聚對(duì)苯二曱酸乙二醇酯)、 PEN (聚萘二甲酸乙二醇酯)、PES (聚醚砜)、聚丙烯為典型的塑 料、以及以丙烯等為典型的合成樹(shù)脂用作原料的襯底。作為第一遮光 層308及第二遮光層309，可以使用遮光性膜(例如，鉻(Cr)的單 層膜、氧化鉻(CrxOy)和鉻(Cr)的疊層膜、分散有碳黑等的顏料、 染料等的樹(shù)脂膜等)。如圖5B所示那樣，形成第一遮光層308和第二遮光層309。該
第一遮光層308形成在對(duì)應(yīng)于有源矩陣襯底上的柵極線351及源極線 352的區(qū)域中，而該第二遮光層309形成在對(duì)應(yīng)于有源矩陣襯底上的 薄膜晶體管的源區(qū)域或漏區(qū)域的接觸孔303的區(qū)域中。注意，對(duì)應(yīng)于 接觸孔303的區(qū)域是指與接觸孔303重疊的區(qū)域。第二遮光層309形成在對(duì)應(yīng)于有源矩陣襯底的接觸孔303的區(qū)域 中，而從形成在對(duì)應(yīng)于柵極線351及源極線352的區(qū)域的第一遮光層 308獨(dú)立。因此，由于該區(qū)域不起到顯示部的作用，所以即使在接觸 孔303的上層存在的液晶分子中產(chǎn)生取向無(wú)序，也可以提供沒(méi)有顏色 不均勻且具有高圖像質(zhì)量的顯示裝置。此外，雖然第一遮光層308提供在柵極線351及源極線352的上方，但是不覆蓋薄膜晶體管的整體。由于釆用這種結(jié)構(gòu)，因此可以將 開(kāi)口率的降低抑制為最低限度?？梢酝ㄟ^(guò)將遮光層形成為第 一遮光層308和第二遮光層309的兩 個(gè)，將開(kāi)口率的降低抑制為最低限度，從而可以制造沒(méi)有顏色不均勻且具有高對(duì)比度和高圖像質(zhì)量的顯示裝置。注意，第二遮光層309的形狀可以是任何形狀，只要提供在對(duì)應(yīng) 于有源矩陣襯底的接觸孔的區(qū)域中。例如，可舉出圓周形、橢圓形、 正方形、長(zhǎng)方形、三角形等。接著，形成著色層(彩色濾光片)310。根據(jù)形成在絕緣膜302 中的接觸孔303去除著色層(彩色濾光片)。此外，著色層(彩色濾 光片)310可以是單色或256灰度。去除著色層(彩色濾光片)的形狀可以是任何形狀，只要提供在 對(duì)應(yīng)于有源矩陣村底的接觸孔303的區(qū)域中。例如，可舉出圓周形、 橢圓形、正方形、長(zhǎng)方形、三角形等。接著，形成相對(duì)電極311。作為相對(duì)電極311，可以使用將氧化 錫混合到氧化銦的氧化銦錫(ITO )、將氧化硅混合到氧化錮錫(ITO ) 的氧化銦錫硅(ITSO )、將氧化鋅混合到氧化銦的氧化銦鋅(IZO )、 氧化鋅(ZnO)、或氧化錫(Sn02)等。在相對(duì)電極311上形成有取向膜312。作為取向膜312，可以使
用聚酰亞胺樹(shù)脂等。將具有上述結(jié)構(gòu)的有源矩陣襯底和相對(duì)襯底貼合在一起，并且將液晶層313形成在有源矩陣襯底和相對(duì)襯底之間。作為液晶，可以采 用鐵電性液晶(FLC)、向列液晶、層列液晶、成為平行取向的液晶、 成為垂直取向的液晶等。形成在有源矩陣襯底的薄膜晶體管可以是頂柵型、底柵型、溝道 蝕刻型、溝道保護(hù)型中的任何一種。此外，薄膜晶體管的源電極或漏 電極也可以不直接連接到像素電極。也可以與圖1A及1B同樣地將圖 9A至9D所示的晶體管使用于圖5A及5B。由于通過(guò)采用圖5A及5B所示的結(jié)構(gòu)，接觸孔303上發(fā)生的液 晶分子的取向無(wú)序不反映到圖像顯示，因此可以制造沒(méi)有顏色不均勻 的顯示器。此外，因?yàn)檫x擇性地形成遮光層并選擇性地去除著色層(彩 色濾光片)，所以可以抑制開(kāi)口率的降低。另外，由于可以通過(guò)與通 常的制造遮光層及著色層(彩色濾光片)的工序相同的步驟來(lái)形成， 因此工序數(shù)量不增加且不需要采用復(fù)雜的步驟。此外，可以采用如下結(jié)構(gòu)在有源矩陣襯底的接觸孔中的絕緣膜 傾斜的部分，即重疊于接觸孔的邊緣的區(qū)域中形成遮光層，并且去除 著色層(彩色濾光片)。這是因?yàn)樵诮^緣膜302傾斜的區(qū)域(接觸孔 的邊緣)中最容易發(fā)生液晶分子的取向無(wú)序的緣故。圖6B是從相對(duì)襯底一側(cè)看到適用本發(fā)明的液晶顯示裝置的俯視 圖。與圖5B不同之處是如下第二遮光層322的形狀是環(huán)形，而不 是圓形，并且不是以圓形而是以環(huán)形去除著色層(彩色濾光片)。作 為有源矩陣襯底，在襯底上形成有薄膜晶體管、絕緣膜、像素電極、 取向膜等。作為與有源矩陣襯底貼合在一起的相對(duì)襯底，在襯底上形 成有遮光層、著色層、相對(duì)電極、取向膜等。圖6B只圖示柵極線351、 源極線352、薄膜晶體管的半導(dǎo)體層354、第一遮光層308、第二遮光 層322、第一著色層(彩色濾光片)323、第二著色層(彩色濾光片) 324，省略其他部分。注意，與圖5B相同的部分使用相同的附圖標(biāo)記。如圖6B所示那樣，在對(duì)應(yīng)于形成在有源矩陣襯底上的薄膜晶體
管中形成第二遮光層322，并且去除著色層(彩色濾光片)。注意，對(duì) 應(yīng)于絕緣膜302傾斜的部分321的區(qū)域是指與接觸孔的邊緣重疊的區(qū) 域。圖6A是放大接觸孔部分的圖，且是沿圖6B的F-F，線截?cái)嗟慕?面圖。由于有源矩陣襯底的結(jié)構(gòu)與圖5A和5B相同，所以在此省略其 說(shuō)明。相對(duì)襯底的結(jié)構(gòu)是如下與襯底307接觸地形成有第一遮光層 308、第二遮光層322、第一著色層(彩色濾光片)323、第二著色層(彩色濾光片)324。第一遮光層308覆蓋源布線地形成，但是對(duì)于 源電極305a，只覆蓋其一部分。根據(jù)接觸孔中的絕緣膜302傾斜的部 分321形成第二遮光層322。作為襯底307,除了玻璃襯底如鋁硼硅 酸鹽玻璃、鋇硼硅酸鹽玻璃、石英玻璃等之外，還可以使用將以PET(聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯)、PEN (聚萘二甲酸乙二醇酯)、PES (聚 醚砜)、聚丙烯為典型的塑料、以及以丙烯等為典型的合成樹(shù)脂用作 原料的襯底。作為第一遮光層308及第二遮光層322,可以使用遮光 性膜(例如，鉻(Cr)的單層膜、氧化鉻(CrxOy)和鉻(Cr)的疊 層膜、分散有碳黑等的顏料、染料等的樹(shù)脂膜等)。如圖6B所示那樣，形成第一遮光層308和第二遮光層322。該 第一遮光層308形成在對(duì)應(yīng)于有源矩陣襯底上的柵極線351及源極線 352的區(qū)域中，而該第二遮光層322形成在對(duì)應(yīng)于有源矩陣襯底上的 薄膜晶體管的源區(qū)域或漏區(qū)域的接觸孔中的絕緣膜302傾斜的部分 321的區(qū)域中。注意，對(duì)應(yīng)于絕緣膜302傾斜的部分321的區(qū)域是指 與接觸孔的邊緣重疊的區(qū)域。第二遮光層322形成在對(duì)應(yīng)于有源矩陣襯底的接觸孔中的絕緣 膜302傾斜的部分321的區(qū)域中，而從形成在對(duì)應(yīng)于柵極線351及源 極線352的區(qū)域的第一遮光層308獨(dú)立。因此，由于該區(qū)域不起到顯 示部的作用，所以即使發(fā)生液晶分子的取向無(wú)序，也可以提供沒(méi)有顏 色不均勻且具有高圖像質(zhì)量的顯示裝置。 另外，雖然第一遮光層308提供在柵極線351及源極線352的上 方，但是沒(méi)有覆蓋薄膜晶體管的整體。由于采用這種結(jié)構(gòu)，可以將開(kāi) 口率的降低抑制為最低限度?？梢酝ㄟ^(guò)將遮光層形成為第 一遮光層308和第二遮光層322的兩 個(gè)，將開(kāi)口率的降低抑制為最低限度，從而可以制造沒(méi)有顏色不均勻且具有高對(duì)比度和高圖像質(zhì)量的顯示裝置。注意，第二遮光層322的形狀可以是任何形狀，而只要提供在對(duì) 應(yīng)于有源矩陣襯底的接觸孔的區(qū)域中。例如，可舉出圓周形、橢圓形、 正方形、長(zhǎng)方形、三角形等。接著，形成第一著色層(彩色濾光片)323及第二著色層(彩色 濾光片)324。根據(jù)形成在有源矩陣襯底上的接觸孔中的絕緣膜傾斜 的區(qū)域(接觸孔的邊緣)去除著色層(彩色濾光片)。此外，著色層 (彩色濾光片)可以是單色或256灰度。去除著色層(彩色濾光片)的形狀可以是任何形狀，而只要提供 在對(duì)應(yīng)于有源矩陣襯底的接觸孔的區(qū)域中。例如，可舉出圓周形、橢 圓形、正方形、長(zhǎng)方形、三角形等。接著，形成相對(duì)電極311。作為相對(duì)電極311,可以使用將氧化 錫混合到氧化銦的氧化銦錫(ITO )、將氧化珪混合到氧化銦錫(ITO ) 的氧化銦錫硅(ITSO )、將氧化鋅混合到氧化銦的氧化錮鋅(IZO )、 氧化鋅(ZnO)、或氧化錫(Sn02)等。在相對(duì)電極311上形成有取向膜312。作為取向膜312，可以使 用聚酰亞胺樹(shù)脂等。將具有上述結(jié)構(gòu)的有源矩陣襯底和相對(duì)襯底貼合在一起，并且將 液晶層313形成在有源矩陣襯底和相對(duì)襯底之間。作為液晶，可以采 用鐵電性液晶(FLC)、向列液晶、層列液晶、成為平行取向的液晶、 成為垂直取向的液晶等。形成在有源矩陣襯底的薄膜晶體管可以是頂柵型、底柵型、溝道 蝕刻型、溝道保護(hù)型中的任何一種。此外，薄膜晶體管的源電極或漏 電極也可以不直接連接到像素電極。也可以與圖1A及1B同樣地將圖 9A至9D所示的晶體管使用于圖6A及6B。由于通過(guò)采用圖6A及6B所示的結(jié)構(gòu)，在接觸孔中的絕緣膜302 傾斜的部分321的上部發(fā)生的液晶分子的取向無(wú)序不反映到圖像顯 示，因此可以制造沒(méi)有顏色不均勻的顯示器。此外，因?yàn)檫x擇性地形 成遮光層并選擇性地去除著色層(彩色濾光片)，所以可以抑制開(kāi)口 率的降低。另外，由于可以通過(guò)與形成在對(duì)應(yīng)于有源矩陣襯底上的柵 極線351及源極線352的區(qū)域中的第一遮光層308的工序相同的步驟 來(lái)形成第二遮光層322，并且著色層也可以通過(guò)與通常的制造著色層 的工序相同的步驟來(lái)形成，因此工序數(shù)量不增加且不需要采用復(fù)雜的 步驟。實(shí)施方式5在實(shí)施方式中，將說(shuō)明實(shí)施方式2至4的其他方式。圖15A及15B示出圖1B的其他方式。在圖15A及15B中，柵 極線151、源極線152、第一遮光層108與圖1B相同。雖然圖1B示出第二遮光層109及接觸孔103比漏電極小的形狀， 但是也可以如圖15A所示那樣，以第二遮光層132覆蓋接觸孔131且 其一部分不重疊于漏電極的方式形成。此外，也可以如圖15B所示那 樣，以第二遮光層134的一部分及接觸孔133的一部分的邊緣不重疊 于漏電極的方式形成。此外，也可以組合圖15A及15B和圖2B。雖然圖2B示出第二遮光層122及接觸孔153比漏電極小的形狀，但是也可以以第二遮光層覆蓋接觸孔的邊緣且其一部分不重疊于漏電極的方式形成。此外， 可以以第二遮光層的一部及接觸孔的一部分的邊緣不重疊于漏電極的方式形成。同樣地，也可以組合圖15A及15B和圖3B。雖然圖3B示出去 除著色層(彩色濾光片)的部分的形狀比漏電極小的形狀，但是也可 以以去除著色層(彩色濾光片)的部分的形狀覆蓋接觸孔且其一部分 不重疊于漏電極的方式形成。同樣地，也可以組合圖15A及15B和圖4B。雖然圖4B示出去 除著色層(彩色濾光片)的部分的形狀比漏電極小的形狀，但是也可 以以去除著色層(彩色濾光片)的部分的形狀覆蓋接觸孔的邊緣且其 一部分不重疊于漏電極的方式形成。此外，也可以以去除著色層(彩 色濾光片)的部分的形狀及接觸孔的邊緣的一部分不重疊于漏電極的 方式形成。同樣地，也可以組合圖15A及15B和圖5B。雖然圖5B示出第 二遮光層309及接觸孔303比漏電極小的形狀，但是也可以以第二遮光層覆蓋接觸孔且其一部分不重疊于漏電極的方式形成。此外，也可 以以第二遮光層的一部分及接觸孔的邊緣的一部分不重疊于漏電極的方式形成。同樣地，也可以組合圖15A及15B和圖6B。雖然圖6B示出第 二遮光層322及接觸孔比漏電極小的形狀，但是也可以以第二遮光層 覆蓋接觸孔的邊緣且其一部分不重疊于漏電極的方式形成。此外，也 可以以第二遮光層的一部分及接觸孔的邊緣的一部分不重疊于漏電極的方式形成。 實(shí)施方式6在本實(shí)施方式中，將參照?qǐng)D8A至8F說(shuō)明使用本發(fā)明的相對(duì)襯 底的制造方法。在襯底500上形成成為遮光層501的金屬鉻膜。作為襯底500， 除了玻璃襯底如鋁硼硅酸鹽玻璃、鋇硼硅酸鹽玻璃、石英玻璃等之外， 還可以使用將以PET (聚對(duì)苯二曱酸乙二醇酯)、PEN (聚萘二甲酸 乙二醇酯)、PES (聚醚砜)、聚丙烯為典型的塑料、以及以丙烯等 為典型的合成樹(shù)脂用作原料的襯底。作為金屬鉻膜的形成方法，可以 使用濺射法等。接著，通過(guò)采用光刻法加工為所希望的形狀，形成遮 光層501 (圖8A )。注意，作為遮光層的材料，可以使用遮光性膜(例如，鉻(Cr) 的單層膜、氧化鉻(CrxOy)和鉻(Cr)的疊層膜、分散有碳黑等的 顏料、染料等的樹(shù)脂膜等)。此外，也可以層疊RGB的各個(gè)彩色濾 光片來(lái)用作遮光層。 此時(shí)，在對(duì)應(yīng)于有源矩陣襯底的柵極線151及源極線152的區(qū)域 和對(duì)應(yīng)于薄膜晶體管的源區(qū)域或漏區(qū)域的接觸孔103的區(qū)域中形成遮 光層，以成為圖1A及1B所示的結(jié)構(gòu)。在對(duì)應(yīng)于有源矩陣襯底的柵極 線151及源極線152的區(qū)域和對(duì)應(yīng)于薄膜晶體管的源區(qū)域或漏區(qū)域的 接觸孔153中的絕緣膜102傾斜的部分121 (接觸孔的邊緣)的區(qū)域 中形成遮光層，以成為圖2A及2B所示的結(jié)構(gòu)。在對(duì)應(yīng)于有源矩陣襯 底的柵極線251及源極線252的區(qū)域中形成遮光層，以成為圖3A至 圖4B所示的結(jié)構(gòu)。在對(duì)應(yīng)于有源矩陣襯底的柵極線351及源極線352 的區(qū)域和對(duì)應(yīng)于薄膜晶體管的源區(qū)域或漏區(qū)域的接觸孔303的區(qū)域中 形成遮光層，以成為圖5A及圖5B所示的結(jié)構(gòu)。在對(duì)應(yīng)于有源矩陣襯 底的柵極線351及源極線352的區(qū)域和對(duì)應(yīng)于薄膜晶體管的源區(qū)域或 漏區(qū)域的接觸孔中的絕緣膜302傾斜的部分321 (接觸孔的邊緣)的 區(qū)域中形成遮光層，以成為圖6A及6B所示的結(jié)構(gòu)。接著，形成著色層(彩色濾光片)。作為彩色濾光片的形成方法， 存在有顏料分散法、染色法、電沉積法、印刷法等，可以使用任何方 法。在本實(shí)施方式中，將說(shuō)明采用顏料分散法的情況。作為顏色分散法存在有兩種，即蝕刻法和彩色抗蝕劑法。在釆用 蝕刻法的情況下，通過(guò)旋轉(zhuǎn)涂敷法將分散有R的顏料的著色樹(shù)脂涂敷 在形成有遮光層的襯底上，并且進(jìn)行干燥和預(yù)備加熱。接著，在涂敷 正型抗蝕劑之后，進(jìn)行掩模啄光。接下來(lái)，使用堿性水溶液進(jìn)行正型 抗蝕劑的顯影和著色樹(shù)脂膜的蝕刻，且使用有機(jī)溶劑剝離正型抗蝕 劑，從而可以形成R的著色樹(shù)脂膜502 (圖8B)。通過(guò)對(duì)于G和B的著色樹(shù)脂反復(fù)相同的工序，形成G的著色樹(shù) 脂膜503及B的著色樹(shù)脂膜504 (圖8C和8D)。接著，涂敷保護(hù)膜 (未圖示)。通過(guò)上述工序，形成彩色濾光片。在采用彩色抗蝕劑法的情況下(未圖示)，使用給著色樹(shù)脂賦予 了如抗蝕劑那樣具有光固化性的彩色抗蝕劑。彩色抗蝕劑將顏料分散 在丙烯.環(huán)氧類(lèi)紫外線固化樹(shù)脂(負(fù)型抗蝕劑)等中并溶解在溶劑中而 構(gòu)成。通過(guò)旋轉(zhuǎn)涂敷法等將彩色抗蝕劑(R)涂敷在形成有遮光層的
襯底上。接下來(lái)，通過(guò)使用掩模來(lái)進(jìn)行膝光和顯影，加工為所希望的 形狀。通過(guò)對(duì)于G和B的彩色抗蝕劑反復(fù)相同的工序，涂敷保護(hù)膜。 通過(guò)上述工序，形成著色層(彩色濾光片)。此時(shí)，并不需要去除著色層(彩色濾光片)，以成為圖1A至圖 2B所示的結(jié)構(gòu)。去除對(duì)應(yīng)于有源矩陣襯底上的薄膜晶體管的源區(qū)域 或漏區(qū)域的接觸孔的區(qū)域的著色層，以成為圖3A和3B以及圖5A和 5B所示的結(jié)構(gòu)。去除對(duì)應(yīng)于有源矩陣襯底上的薄膜晶體管的源區(qū)域 或漏區(qū)域的接觸孔中的絕緣膜傾斜的區(qū)域(接觸孔的邊緣)的區(qū)域的 著色層(彩色濾光片)，以成為圖4A和4B以及圖6A和6B所示的 結(jié)構(gòu)。接著，形成相對(duì)電極505 (圖8E)。作為相對(duì)電極505,可以使 用將氧化錫混合到氧化銦的氧化銦錫(ITO)、將氧化硅混合到氧化 銦錫(ITO)的氧化銦錫硅(ITSO)、將氧化鋅混合到氧化銦的氧化 銦鋅(IZO)、氧化鋅(ZnO)、或氧化錫(Sn02)等。作為形成膜 的方法，可舉出真空沉積法及濺射法等。接著，形成用作取向膜的絕緣膜506 (圖8F)?？梢酝ㄟ^(guò)在采 用印刷法、輥式涂布法等形成聚酰亞胺及聚乙烯醇等的高分子化合物 膜之后進(jìn)行研磨，以形成絕緣膜506。此外，也可以從相對(duì)于襯底傾 斜的方向氣相淀積氧化硅來(lái)形成。此外，也可以對(duì)光反應(yīng)型高分子化 合物照射偏振的UV光來(lái)聚合光反應(yīng)型高分子化合物，以形成絕緣膜 256。在此，在將聚酰亞胺及聚乙烯醇等的高分子化合物膜通過(guò)印刷 法印刷并焙燒之后研磨，以形成絕緣膜256。通過(guò)上述工序，可以制造選擇性地形成有遮光層的相對(duì)襯底。本實(shí)施方式可以與實(shí)施方式1至4自由地組合。實(shí)施方式7在本實(shí)施方式中，將參照?qǐng)D10A和10B說(shuō)明本發(fā)明的液晶顯示 裝置的結(jié)構(gòu)。圖10A是將液晶層夾在有源矩陣襯底701和相對(duì)襯底 702之間而成的液晶面板的俯視圖，而圖IOB相當(dāng)于沿圖IOA的G-G，
線截?cái)嗟慕孛鎴D。此外，作為有源矩陣襯底701，可以使用通過(guò)任何 方法而成的襯底，而作為相對(duì)襯底702，使用實(shí)施方式1至4所說(shuō)明 的襯底，在此圖示實(shí)施方式2所示的相對(duì)村底。在圖10A中，附圖標(biāo)記705示出^f象素部，附圖標(biāo)記706示出驅(qū) 動(dòng)電路部。在本實(shí)施方式中，像素部705形成在由密封材料703圍繞 的區(qū)域中，而驅(qū)動(dòng)電路部706安裝在該區(qū)域之外的區(qū)域。此外，用于密封有源矩陣襯底701和相對(duì)襯底702的密封材料 703含有用于保持密封空間的間隔的間隙材料(gap material)，并且 在由它們形成的空間中填充有液晶。注意，雖然圖IOA示出在使用密 封材料703貼合有源矩陣襯底701和相對(duì)襯底702之后，在兩個(gè)襯底 之間注入液晶，且使用密封劑704密封的情況，但是本發(fā)明不局限于 這種方法。也可以使用在將液晶滴落在有源矩陣襯底701和相對(duì)襯底 702中的一方的襯底上之后貼合雙方襯底的方法(ODF法)。接著，將參照?qǐng)D10B說(shuō)明截面結(jié)構(gòu)。在形成有源矩陣襯底701 的第 一襯底707上形成有像素部705,并且具有多個(gè)以TFT為典型的 半導(dǎo)體元件。此外，在本實(shí)施方式中，安裝在襯底上的驅(qū)動(dòng)電路部706 包括源極線驅(qū)動(dòng)電路以及柵極線驅(qū)動(dòng)電路。在像素部705中形成有多個(gè)像素，并且作為像素電極的第一電極 711電連接到TFT713。另外，在形成相對(duì)襯底702的第二襯底708上形成有第一遮光層 716、第二遮光層717、第二電極719。此外，在第二電極719上形成 有取向膜720。此外，第二遮光層717提供在對(duì)應(yīng)于形成在有源矩陣襯底701 的接觸孔的區(qū)域中。此外，在本實(shí)施方式所示的液晶顯示裝置中，將液晶層712夾在 形成在有源矩陣襯底701上的第一電極711和形成在相對(duì)襯底702上 的第二電極719之間而成的部分是液晶元件。此外，附圖標(biāo)記721示出柱狀隔離物，為控制有源矩陣襯底701 和相對(duì)襯底702之間的距離(單元間隙)而提供。通過(guò)將絕緣膜蝕刻
為所希望的形狀形成柱狀隔離物721。注意，可以使用球狀隔離物。供給到像素部705及驅(qū)動(dòng)電路部706的各種信號(hào)及電位通過(guò)連接 布線722從FPC723供給。注意，連接布線722和FPC723使用各向 異性導(dǎo)電膜或各向異性導(dǎo)電樹(shù)脂724電連接。注意，也可以使用焊料 及銀骨等的導(dǎo)電骨劑代替各向異性導(dǎo)電膜或各向異性導(dǎo)電樹(shù)脂。此外，雖然未圖示，但是使用粘合劑將偏振片固定到有源矩陣襯 底701及相對(duì)襯底702中的一方或雙方的表面。注意，除了偏振片之 外，還可以提供相位差板。 實(shí)施方式8在本實(shí)施方式中，將參照?qǐng)DIIA至IIC說(shuō)明本發(fā)明的液晶顯示 裝置中的驅(qū)動(dòng)電路的安裝方法。當(dāng)釆用圖11A所示的結(jié)構(gòu)時(shí)，在像素部801周邊安裝源極線驅(qū) 動(dòng)電路802、以及柵極線驅(qū)動(dòng)電路803a、 803b。就是說(shuō)，通過(guò)采用各 向異性導(dǎo)電粘合劑、及各向異性導(dǎo)電薄膜的已知的安裝方法、COG 方式、引線鍵合方法、以及使用焊接凸塊的回流處理等來(lái)將IC芯片 805安裝在襯底800上，以安裝源極線驅(qū)動(dòng)電路802、以及柵極線驅(qū) 動(dòng)電路803a、 803b等。注意，IC芯片805通過(guò)FPC (柔性印刷電路) 806連接到外部電路。注意，也可以將源極線驅(qū)動(dòng)電路802的一部分，例如模擬開(kāi)關(guān)形 成在襯底上，且另外安裝其他部分作為IC芯片。此外，當(dāng)采用圖IIB所示的結(jié)構(gòu)時(shí)，在襯底上安裝像素部801、 以及柵極線驅(qū)動(dòng)電路803a、 803b等，并且另外安裝源極線驅(qū)動(dòng)電路 802等作為IC芯片。就是說(shuō)，通過(guò)采用COG方式等的安裝方法將IC 芯片805安裝在形成有像素部801以及柵極線驅(qū)動(dòng)電路803a、 803b 等的襯底800上，安裝源極線驅(qū)動(dòng)電路802等。注意，IC芯片805 通過(guò)FPC806連接到外部電路。注意，將源極線驅(qū)動(dòng)電路802的一部分，例如模擬開(kāi)關(guān)形成在襯 底上，且另外安裝其他部分作為IC芯片。再者，當(dāng)采用圖IIC所示的結(jié)構(gòu)時(shí)，通過(guò)TAB方式安裝源極線 驅(qū)動(dòng)電路802等。注意，IC芯片805通過(guò)FPC806連接到外部電路。 在圖11C中，雖然通過(guò)TAB方式安裝源極線驅(qū)動(dòng)電路802等，但是 也可以通過(guò)TAB方式安裝柵極線驅(qū)動(dòng)電路等。當(dāng)通過(guò)TAB方式安裝IC芯片805時(shí)，可以提供相對(duì)于襯底大 的像素部，以可以實(shí)現(xiàn)窄邊框化。此外，也可以提供將IC形成在玻璃襯底上的IC (下面寫(xiě)為驅(qū)動(dòng) 器IC )代替IC芯片805 。由于IC芯片805是從圓周形的硅片取出而成的 IC芯片，因此其母襯底形狀具有限制。另一方，因?yàn)轵?qū)動(dòng)器IC的母襯 底是玻璃且其形狀沒(méi)有限制，所以可以提高生產(chǎn)率。從而，驅(qū)動(dòng)器IC 的形狀尺寸可以自由地設(shè)定。例如，當(dāng)形成長(zhǎng)邊為15mm至80mm的長(zhǎng) 度的驅(qū)動(dòng)器IC時(shí)，與安裝IC芯片的情況相比，可以減少驅(qū)動(dòng)器IC的必 需量。結(jié)果，可以減少連接端子的數(shù)量，從而提高制造上的成品率?？梢允褂眯纬稍谝r底上的結(jié)晶半導(dǎo)體形成驅(qū)動(dòng)器IC，并且優(yōu)選 通過(guò)照射連續(xù)振蕩型激光形成結(jié)晶半導(dǎo)體。在照射連續(xù)振蕩型激光而 獲得的半導(dǎo)體膜中，結(jié)晶缺陷少，且晶粒的粒徑大。其結(jié)果，具有這 種半導(dǎo)體膜的晶體管具有良好的遷移度和響應(yīng)速度，且可以進(jìn)行高速 驅(qū)動(dòng)，從而合適于驅(qū)動(dòng)器IC。實(shí)施方式9在本實(shí)施方式中，將參照?qǐng)D12的截面圖說(shuō)明一種液晶模塊，該 液晶模塊將電源電路、控制器等的外部電路連接到通過(guò)實(shí)施實(shí)施方式 1至7形成的本發(fā)明的液晶顯示裝置而形成，并且使用白色照明進(jìn)行 彩色顯示。如圖12所示那樣，有源矩陣襯底901和相對(duì)襯底902被密封材 料903固定且其間提供有液晶層905，以形成液晶顯示面板。此外，當(dāng)進(jìn)行彩色顯示時(shí)需要形成在有源矩陣襯底901上的著色 膜906。在釆用RGB方式時(shí)，根據(jù)各個(gè)像素提供有對(duì)應(yīng)于紅色、綠色、 藍(lán)色的各種顏色的著色膜。在有源矩陣襯底901和相對(duì)襯底902的內(nèi) 側(cè)形成有取向膜918、 919。此外，有源矩陣襯底901和相對(duì)襯底902 的外側(cè)配置有偏振片907、 908。另外，偏振片907的表面形成有保護(hù) 膜909，以緩和來(lái)自外部的沖擊。布線襯底912通過(guò)FPC911連接到提供在有源矩陣襯底卯l的連 接端子910。布線襯底912安裝有像素驅(qū)動(dòng)電路(IC芯片、驅(qū)動(dòng)器IC 等)、控制電路、電源電路等的外部電路913。冷陰極管914、反射板915、以及光學(xué)薄膜916、反相器(未圖 示)是背光燈單元，它們成為光源以將光投射到液晶顯示面板。框架 917保持并保護(hù)液晶顯示面板、光源、布線襯底912、 FPC911等。實(shí)施方式10作為具備本發(fā)明的液晶顯示裝置的電子設(shè)備，可以舉出電視裝置 (也簡(jiǎn)單地稱(chēng)為電視、或電視接收機(jī))、數(shù)字相機(jī)、數(shù)字?jǐn)z像機(jī)、電 話(huà)裝置(也簡(jiǎn)單地稱(chēng)為電話(huà)機(jī)、電話(huà))、PDA等的信息終端、電子書(shū)、 游戲機(jī)、計(jì)算機(jī)用的監(jiān)視器、計(jì)算機(jī)、如汽車(chē)音響及MP3播放器等 的聲音再現(xiàn)裝置、如家用游戲機(jī)等的具備記錄媒體的圖像再現(xiàn)裝置 等。將參照?qǐng)D13A至13E說(shuō)明這種電子設(shè)備的優(yōu)選方式。圖13A所示的電^L裝置包括主體8001、顯示部8002等?？梢詫?本發(fā)明的液晶顯示裝置適用于顯示部8002。本發(fā)明的液晶顯示裝置可 以提供能夠?qū)崿F(xiàn)可視性高的圖像顯示的電視裝置。圖13B所示的信息終端設(shè)備包括主體8101、顯示部8102等?？?以將本發(fā)明的液晶顯示裝置適用于顯示部8102。本發(fā)明的液晶顯示裝 置可以提供能夠?qū)崿F(xiàn)可視性高的圖像顯示的信息終端設(shè)備。圖13C所示的數(shù)字?jǐn)z像機(jī)包括主體8201、顯示部8202等?？梢?將本發(fā)明的液晶顯示裝置適用于顯示部8202。本發(fā)明的液晶顯示裝置 可以提供能夠?qū)崿F(xiàn)可視性高的圖像顯示的數(shù)字?jǐn)z像機(jī)。圖13D所示的電話(huà)機(jī)包括主體8301、顯示部8302等?？梢詫⒈?發(fā)明的液晶顯示裝置適用于顯示部8302。本發(fā)明的液晶顯示裝置可以 提供能夠?qū)崿F(xiàn)可視性高的圖像顯示的電話(huà)機(jī)。圖13E所示的監(jiān)視器包括主體8401、顯示部8402等?？梢詫⒈?發(fā)明的液晶顯示裝置適用于顯示部8402。本發(fā)明的液晶顯示裝置可以 提供能夠?qū)崿F(xiàn)可視性高的圖像顯示的監(jiān)視器。
實(shí)施方式11雖然在實(shí)施方式1至10中說(shuō)明了液晶顯示裝置，但是本發(fā)明不但可以使用于液晶顯示裝置，而且可以使用于發(fā)光裝置。在發(fā)光裝置 中，由于當(dāng)在接觸孔中產(chǎn)生發(fā)光時(shí)，接觸孔部分和其他部分的透過(guò)光 的光路長(zhǎng)度不同，所以產(chǎn)生顏色不均勻。在圖14中，附圖標(biāo)記1000示出襯底；附圖標(biāo)記1001示出薄膜 晶體管；附圖標(biāo)記1002示出絕緣膜；附圖標(biāo)記1003示出接觸孔；附 圖標(biāo)記1004示出第一電極；附圖標(biāo)記1005a示出源電極；附圖標(biāo)記 1005b示出漏電極；附圖標(biāo)記1006示出包括發(fā)光層的層；附圖標(biāo)記 1007示出第二電極；附圖標(biāo)記1008示出襯底；附圖標(biāo)記1009示出遮 光層；附圖標(biāo)記1010示出空間。如圖14所示那樣，當(dāng)與液晶顯示裝置同樣地將遮光層形成在對(duì) 應(yīng)于發(fā)光裝置的接觸孔1003的區(qū)域時(shí)，獲得沒(méi)有顏色不均勻的圖像 顯示。注意，雖然圖14示出適用實(shí)施方式2所示的結(jié)構(gòu)的發(fā)光裝置， 但是可以將實(shí)施方式1至5中的任何方式適用于發(fā)光裝置。此外，可 以將發(fā)光裝置適用于實(shí)施方式10的顯示部。本說(shuō)明書(shū)根據(jù)2006年12月26日在日本專(zhuān)利局受理的日本專(zhuān)利 申請(qǐng)編號(hào)2006-350137而制作，所述申請(qǐng)內(nèi)容包括在本說(shuō)明書(shū)中。
權(quán)利要求
1.一種液晶顯示裝置，包括襯底；提供在所述襯底上的開(kāi)關(guān)裝置；電連接到所述開(kāi)關(guān)裝置的導(dǎo)電層；提供在所述開(kāi)關(guān)裝置上的具有接觸孔的平整化膜；提供在所述平整化膜上的像素電極，所述像素電極通過(guò)所述接觸孔電連接到所述導(dǎo)電層；柵極線；源極線；提供在對(duì)應(yīng)于所述柵極線和所述源極線的區(qū)域中的第一遮光層；以及從所述第一遮光層獨(dú)立地提供的第二遮光層，所述第一遮光層和所述第二遮光層的雙方提供在相對(duì)襯底上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示裝置，其中提供所述像素電 極，以中間夾著所述平整化膜覆蓋所述開(kāi)關(guān)裝置。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示裝置，其中所述第二遮光層 重疊于所述導(dǎo)電層。
4. 一種液晶顯示裝置，包括 襯底；提供在所述襯底上的開(kāi)關(guān)裝置； 電連接到所述開(kāi)關(guān)裝置的導(dǎo)電層； 提供在所述開(kāi)關(guān)裝置上的具有接觸孔的平整化膜； 提供在所述平整化膜上的像素電極，所述像素電極通過(guò)所述接觸 孔電連接到所述導(dǎo)電層； 柵極線； 源極線；提供在對(duì)應(yīng)于所述柵極線和所述源極線的區(qū)域中的第一遮光層；以及從所述第一遮光層獨(dú)立地提供的第二遮光層，所述第一遮光層和 所述第二遮光層的雙方提供在相對(duì)襯底上，并且所述第二遮光層至少 重疊于所述接觸孔的邊緣地提供。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的液晶顯示裝置，其中提供所述像素電 極，以中間夾著所述平整化膜覆蓋所述開(kāi)關(guān)裝置。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的液晶顯示裝置，其中所述接觸孔的所 述邊緣重疊于所述導(dǎo)電層。
7. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的液晶顯示裝置，其中所述第二遮光層 重疊于所述導(dǎo)電層。
8. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的液晶顯示裝置，其中所述接觸孔的所 述邊緣和所述第二遮光層分別重疊于所述導(dǎo)電層。
9. 一種液晶顯示裝置，包括 襯底；提供在所述襯底上的開(kāi)關(guān)裝置； 電連接到所述開(kāi)關(guān)裝置的導(dǎo)電層； 提供在所述開(kāi)關(guān)裝置上的具有接觸孔的平整化膜； 提供在所述平整化膜上的像素電極，所述像素電極通過(guò)所述接觸 孔電連接到所述導(dǎo)電層；以及具有開(kāi)口部的著色層，所述著色層提供在所述相對(duì)襯底上。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的液晶顯示裝置，其中提供所述像素電 極，以中間夾著所述平整化膜覆蓋所述開(kāi)關(guān)裝置。
11. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的液晶顯示裝置，其中所述著色層中的 所述開(kāi)口部重疊于所述導(dǎo)電層。
12. —種液晶顯示裝置，包括 襯底；提供在所述襯底上的開(kāi)關(guān)裝置；電連接到所述開(kāi)關(guān)裝置的導(dǎo)電層；提供在所述開(kāi)關(guān)裝置上的具有接觸孔的平整化膜；提供在所述平整化膜上的像素電極，所述像素電極通過(guò)所述接觸孔電連接到所述導(dǎo)電層；以及具有開(kāi)口部的著色層，所述著色層提供在相對(duì)襯底上，并且所述 開(kāi)口部至少重疊于所述接觸孔的邊緣地提供所述著色層中。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的液晶顯示裝置，其中提供所述像素 電極，以中間夾著所述平整化膜覆蓋所述開(kāi)關(guān)裝置。
14. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的液晶顯示裝置，其中所述接觸孔的 所述邊緣重疊于所述導(dǎo)電層。
15. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的液晶顯示裝置，其中所述著色層中 的所述開(kāi)口部重疊于所述導(dǎo)電層。
16. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的液晶顯示裝置，其中所述接觸孔的 所述邊緣和所述著色層中的所述開(kāi)口部重疊于所述導(dǎo)電層。
17. —種液晶顯示裝置，包括 襯底；提供在所述襯底上的開(kāi)關(guān)裝置； 電連接到所述開(kāi)關(guān)裝置的導(dǎo)電層； 提供在所述開(kāi)關(guān)裝置上的具有接觸孔的平整化膜； 提供在所述平整化膜上的像素電極，所述像素電極通過(guò)所述接觸孔電連接到所述導(dǎo)電層； 具有開(kāi)口部的著色層；柵極線； 源極線；提供在對(duì)應(yīng)于所述柵極線和所述源極線的區(qū)域中的第一遮光層；以及從所迷第一遮光層獨(dú)立地提供的第二遮光層，所述第一遮光層和 所述第二遮光層提供在相對(duì)襯底上。
18. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的液晶顯示裝置，其中提供所述像素 電極，以中間夾著所述平整化膜覆蓋所述開(kāi)關(guān)裝置。
19. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的液晶顯示裝置，其中所述第二遮光 層重疊于所迷導(dǎo)電層。
20. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的液晶顯示裝置，其中所述著色層中 的所述開(kāi)口部重疊于所述導(dǎo)電層。
21. —種液晶顯示裝置，包括 襯底；提供在所述襯底上的開(kāi)關(guān)裝置；電連接到所述開(kāi)關(guān)裝置的導(dǎo)電層； 提供在所述開(kāi)關(guān)裝置上的具有接觸孔的平整化膜； 提供在所述平整化膜上的像素電極，所迷像素電極通過(guò)所述接觸 孔電連接到所述導(dǎo)電層； 柵極線； 源極線；提供在對(duì)應(yīng)于所述柵極線和所述源極線的區(qū)域中的第一遮光層；從所述第一遮光層獨(dú)立地提供的第二遮光層，所述第一遮光層和 所述第二遮光層提供在相對(duì)襯底上；以及具有開(kāi)口部的著色層，所述開(kāi)口部至少重疊于所述接觸孔的邊緣 地提供所述著色層中。
22. 根據(jù)權(quán)利要求21所述的液晶顯示裝置，其中提供所述像素 電極，以中間夾著所述平整化膜覆蓋所述開(kāi)關(guān)裝置。
23. 根據(jù)權(quán)利要求21所述的液晶顯示裝置，其中所述接觸孔的 所述邊緣重疊于所述導(dǎo)電層。
24. 根據(jù)權(quán)利要求21所述的液晶顯示裝置，其中所述第二遮光 層重疊于所迷導(dǎo)電層。
25. 根據(jù)權(quán)利要求21所述的液晶顯示裝置，其中所述著色層中 的所述開(kāi)口部重疊于所述導(dǎo)電層。
26. 根據(jù)權(quán)利要求21所述的液晶顯示裝置，其中所述接觸孔的 所述邊緣和所述第二遮光層分別重疊于所述導(dǎo)電層。
27. 根據(jù)權(quán)利要求21所述的液晶顯示裝置，其中所述接觸孔的 所述邊緣和所述著色層中的所述開(kāi)口部重疊于所述導(dǎo)電層。
28. —種液晶顯示裝置，包括 襯底；提供在所述襯底上的開(kāi)關(guān)裝置； 電連接到所述開(kāi)關(guān)裝置的導(dǎo)電層； 提供在所述開(kāi)關(guān)裝置上的具有接觸孔的平整化膜； 提供在所述平整化膜上的像素電極，所述像素電極通過(guò)所述接觸孔電連接到所述導(dǎo)電層； 具有開(kāi)口部的著色層；柵極線； 源極線；提供在對(duì)應(yīng)于所述柵極線和所述源極線的區(qū)域中的第一遮光層；以及從所述第一遮光層獨(dú)立地提供的第二遮光層，所述第一遮光層和 所述第二遮光層的雙方提供在相對(duì)襯底上，并且所述第二遮光層至少 重疊于所述接觸孔的邊緣地提供。
29. 根據(jù)權(quán)利要求28所述的液晶顯示裝置，其中提供所述像素 電極，以中間夾著所述平整化膜覆蓋所述開(kāi)關(guān)裝置。
30. 根據(jù)權(quán)利要求28所述的液晶顯示裝置，其中所述接觸孔的 所述邊緣重疊于所述導(dǎo)電層。
31. 根據(jù)權(quán)利要求28所述的液晶顯示裝置，其中所述第二遮光 層重疊于所述導(dǎo)電層。
32. 根據(jù)權(quán)利要求28所述的液晶顯示裝置，其中所述著色層中 的所述開(kāi)口部重疊于所述導(dǎo)電層。
33. 根據(jù)權(quán)利要求28所述的液晶顯示裝置，其中所述接觸孔的 所述邊緣和所述第二遮光層分別重疊于所述導(dǎo)電層。
34. 根據(jù)權(quán)利要求28所述的液晶顯示裝置，其中所述接觸孔的 所述邊緣和所述著色層中的所述開(kāi)口部分別重疊于所述導(dǎo)電層。
35. —種液晶顯示裝置，包括 襯底； 提供在所述襯底上的開(kāi)關(guān)裝置； 電連接到所述開(kāi)關(guān)裝置的導(dǎo)電層； 提供在所述開(kāi)關(guān)裝置上的具有接觸孔的平整化膜； 提供在所述平整化膜上的像素電極，所述像素電極通過(guò)所述接觸 孔電連接到所述導(dǎo)電層； 柵極線； 源極線；提供在對(duì)應(yīng)于所述柵極線和所述源極線的區(qū)域中的第一遮光層； 從所述第一遮光層獨(dú)立地提供的笫二遮光層，所述第一遮光層和 所述第二遮光層提供在相對(duì)襯底上，并且所述第二遮光層至少重疊于所述接觸孔的邊緣地提供，以及具有開(kāi)口部的著色層，所述開(kāi)口部至少重疊于所述接觸孔的邊緣地提供所述著色層中。
36. 根據(jù)權(quán)利要求35所述的液晶顯示裝置，其中提供所述像素 電極，以中間夾著平整化膜覆蓋所述開(kāi)關(guān)裝置。
37. 根據(jù)權(quán)利要求35所述的液晶顯示裝置，其中所述接觸孔的 所述邊緣重疊于所述導(dǎo)電層。
38. 根據(jù)權(quán)利要求35所述的液晶顯示裝置，其中所述第二遮光 層重疊于所述導(dǎo)電層。
39. 根據(jù)權(quán)利要求35所述的液晶顯示裝置，其中所述著色層中 的所述開(kāi)口部重疊于所述導(dǎo)電層。
40. 根據(jù)權(quán)利要求35所述的液晶顯示裝置，其中所述接觸孔的 所述邊緣和所述第二遮光層分別重疊于所述導(dǎo)電層。
41. 根據(jù)權(quán)利要求35所述的液晶顯示裝置，其中所述接觸孔的 所述邊緣和所述著色層的所述開(kāi)口部分別重疊于所述導(dǎo)電層。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供一種液晶顯示裝置，該液晶顯示裝置解消顏色不均勻，且具有高可視性和高圖像質(zhì)量。此外，還提供高開(kāi)口率和高圖像質(zhì)量的液晶顯示裝置。其中，以與用作電連接到薄膜晶體管的源區(qū)域或漏區(qū)域的接觸孔重疊的方式選擇性地提供遮光層?；蛘撸捎谕ㄟ^(guò)與接觸孔重疊地配置具有開(kāi)口的著色層(彩色濾光片)的開(kāi)口部分，液晶分子的取向無(wú)序的影響不反映到顯示，因此可以提供高圖像質(zhì)量的液晶顯示裝置。
文檔編號(hào)G02F1/1362GK101211082SQ20071019439
公開(kāi)日2008年7月2日 申請(qǐng)日期2007年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月26日
發(fā)明者木村肇, 藤川最史 申請(qǐng)人:株式會(huì)社半導(dǎo)體能源研究所