專利名稱：彩色濾光基板與主動(dòng)元件陣列基板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種彩色濾光基板與主動(dòng)元件陣列基板，且特別是有關(guān)于 一種成本低廉且品質(zhì)良好的彩色濾光基板與主動(dòng)元件陣列基板。
背景技術(shù)：
現(xiàn)今社會(huì)多媒體技術(shù)相當(dāng)發(fā)達(dá)，多半受惠于半導(dǎo)體元件與顯示裝置的進(jìn) 步。就顯示器而言，具有高畫(huà)質(zhì)、空間利用效率佳、低消耗功率、無(wú)輻射等優(yōu) 越特性的液晶顯示面板已逐漸成為市場(chǎng)的主流。液晶顯示面板主要是由一薄膜 晶體管陣列基板、 一彩色濾光基板與夾于兩者的間的液晶層所構(gòu)成。其中，薄
膜晶體管陣列基板上具有像素電極，而彩色濾光基板上具有與像素電極相對(duì)應(yīng) 的共用電極。像素電極與共用電極之間所形成的電場(chǎng)，可用來(lái)控制液晶層中液 晶分子的傾倒?fàn)顟B(tài)。
值得注意的是， 一般共用電極與像素電極所采用的材料為銦錫氧化物
(Indium Tin Oxide, ITO)或銦鋅氧化物(Indium Zinc Oxide, IZO)。由于自然 界中銦(In)金屬不易取得，因此銦(In)金屬大都是透過(guò)鋅礦(Zn)或錫礦 提煉而成。由于銦(In)金屬取得量不多，這造成了銦(In)金屬的價(jià)格相當(dāng) 昂貴。換言之，現(xiàn)有的共用電極與像素電極的原料成本無(wú)法有效降低。此外， 彩色濾光基板與薄膜晶體管陣列基板的制造成本也無(wú)法有效下降。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種彩色濾光基板，其具有低成本的優(yōu)點(diǎn)。 本發(fā)明提供一種主動(dòng)元件陣列基板，其具有低成本的優(yōu)點(diǎn)。 本發(fā)明提出一種彩色濾光基板，其包括一基材、 一彩色濾光圖案層與一共 用電極層。其中，彩色濾光圖案層配置于基材上，且共用電極層配置于彩色濾 光圖案層上。此外，共用電極層包括一鋁鋅氧化膜層與一透明電極層。其中，鋁鋅氧化膜層配置于彩色濾光圖案層上，且透明電極層配置于鋁鋅氧化膜層 上。
在本發(fā)明的彩色濾光基板中，上述的鋁鋅氧化膜層與透明電極層的厚度比 介于3: 1 1: 3之間。
在本發(fā)明的彩色濾光基板中，上述的彩色濾光圖案層包括紅色樹(shù)脂、綠色 樹(shù)脂或藍(lán)色樹(shù)脂至少其中之一。
在本發(fā)明的彩色濾光基板中，上述的透明電極層的材料包括銦錫氧化物 (Indium Tin Oxide, ITO)或銦鋅氧化物(Indium Zinc Oxide, IZO)。
在本發(fā)明的彩色濾光基板中，上述的共用電極層的厚度為1200 3000埃。
本發(fā)明提出一種主動(dòng)元件陣列基板，其包括一基板、 一主動(dòng)元件、 一保護(hù) 層與一像素電極。其中，主動(dòng)元件配置于基板上。此外，保護(hù)層覆蓋主動(dòng)元件 與部分基板。保護(hù)層具有一接觸窗開(kāi)口，以暴露部分的主動(dòng)元件。另外，像素 電極配置于保護(hù)層上，且像素電極借由接觸窗開(kāi)口而與主動(dòng)元件電性連接。本 發(fā)明的像素電極包括一鋁鋅氧化膜層與一透明電極層。其中，鋁鋅氧化膜層配 置于保護(hù)層上，而透明電極層配置于鋁鋅氧化膜層上。
在本發(fā)明的主動(dòng)元件陣列基板中，上述的鋁鋅氧化膜層與透明電極層的厚 度比介于3: 1 1: 3之間。
在本發(fā)明的主動(dòng)元件陣列基板中，上述的透明電極層的材料包括銦錫氧化 物(Indium Tin Oxide, ITO)或銦鋅氧化物(Indium Zinc Oxide, IZO)。
在本發(fā)明的主動(dòng)元件陣列基板中，上述的主動(dòng)元件包括一柵極、 一柵絕緣 層、 一半導(dǎo)體層、 一源極與一漏極。其中，柵極配置于基板上。此外，柵絕緣 層覆蓋柵極與部分的基板，而半導(dǎo)體層配置于柵極上方的柵絕緣層上。另外， 源極與漏極分別配置于半導(dǎo)體層的兩側(cè)，且像素電極透過(guò)接觸窗開(kāi)口而與漏極 電性連接。
在本發(fā)明的主動(dòng)元件陣列基板中，上述的半導(dǎo)體層與源極之間以及半導(dǎo)體 層與漏極之間還包括一歐姆接觸層。
本發(fā)明彩色濾光基板上的共用電極層是利用鋁鋅氧化膜層與透明電極層 所構(gòu)成的雙層結(jié)構(gòu)。其中，鋁鋅氧化膜層的原料取得容易且成本較低，且利用 銦錫氧化物或銦鋅氧化物形成的透明電極層具有良好的導(dǎo)電性與耐藥性。因
此，本發(fā)明的共用電極層能兼具透光性、導(dǎo)電性、耐藥性與低成本的考量。此 外，鋁鋅氧化膜層與透明電極層所構(gòu)成的雙層結(jié)構(gòu)也可應(yīng)用在本發(fā)明主動(dòng)元件 陣列基板的像素電極上。


為讓本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā) 明的具體實(shí)施方式
作詳細(xì)說(shuō)明，其中
圖1是本發(fā)明第一實(shí)施例彩色濾光基板的剖面示意圖。
圖2是本發(fā)明第一實(shí)施例透過(guò)率與光波長(zhǎng)的關(guān)系圖。
圖3是本發(fā)明第二實(shí)施例主動(dòng)元件陣列基板的剖面示意圖。
具體實(shí)施方式
第一實(shí)施例
圖1是本發(fā)明第一實(shí)施例彩色濾光基板的剖面示意圖。請(qǐng)參考圖1，本發(fā)
明的彩色濾光基板100包括一基材110、 一彩色濾光圖案層120與一共用電極 層130。其中，彩色濾光圖案層120配置于基材IIO上，且共用電極層130配 置于彩色濾光圖案層120上。 一般而言，上述的彩色濾光圖案層120可包括紅 色樹(shù)脂R、綠色樹(shù)脂G或藍(lán)色樹(shù)脂B至少其中之一。本實(shí)施例的彩色濾光圖案 層120可以是由紅色樹(shù)脂R、綠色樹(shù)脂G以及藍(lán)色樹(shù)脂B所構(gòu)成，在此僅用以 說(shuō)明并不刻意局限。
由圖1可知，本發(fā)明的共用電極層130為雙層結(jié)構(gòu)，其包括一鋁鋅氧化膜 層(Aluminum Zinc Oxide, AZO) 132與一透明電極層134。其中，鋁鋅氧化膜 層132配置于彩色濾光圖案層120與透明電極層134之間。詳細(xì)地說(shuō)，透明電 極層134的材料可包括銦錫氧化物(Indium Tin Oxide， ITO)或銦鋅氧化物 (Indium Zinc Oxide， IZO)。
在一實(shí)施例中，鋁鋅氧化膜層132與透明電極層134的厚度比可以介于3: 1 1: 3之間，而共用電極層130的厚度可介于1200 3000埃(angstrom)之 間。以共用電極層130的總厚度為1500埃且厚度比為1: 3為例子來(lái)作說(shuō)明， 鋁鋅氧化膜層132的厚度即為375埃，而透明電極層134的厚度為1125埃。
當(dāng)然，本領(lǐng)域技術(shù)人員可依實(shí)際需要，而調(diào)整共用電極層130的總膜厚及厚度 比。
相比之下，現(xiàn)有技術(shù)的共用電極必須完全由銦錫氧化物來(lái)形成，制造成本
相當(dāng)高。本發(fā)明共用電極層130的部分材料是采用鋁鋅氧化膜層132來(lái)形成， 進(jìn)而可有效降低制造成本。此外，鋁鋅氧化膜層132上會(huì)覆蓋一層以銦錫氧化 物或銦鋅氧化物形成的透明電極層134，以提升共用電極層130的導(dǎo)電性與耐 藥性。
圖2是本發(fā)明第一實(shí)施例透過(guò)率與光波長(zhǎng)的關(guān)系圖。請(qǐng)參考圖2,曲線1 為本發(fā)明共用電極層130的透過(guò)率與光波長(zhǎng)的關(guān)系，而曲線2為現(xiàn)有共用電極 的透過(guò)率(transmittance)與光波長(zhǎng)的關(guān)系。圖2所示本發(fā)明的共用電極層130 與現(xiàn)有的共用電極的厚度皆為1500埃。其中，本發(fā)明的共用電極層130是由 厚度為375埃的鋁鋅氧化膜層132與厚度為1125埃的透明電極層134所構(gòu)成， 而現(xiàn)有共用電極層完全由銦錫氧化物(ITO)所形成。由圖2可知，本發(fā)明共 用電極層130的透過(guò)率較現(xiàn)有的共用電極(ITO)來(lái)得高。本發(fā)明的共用電極 層130兼具良好的透光性、導(dǎo)電性與耐藥性，且彩色濾光基板IOO的制造成本 也可有效降低。
第二實(shí)施例
圖3是本發(fā)明第二實(shí)施例主動(dòng)元件陣列基板的剖面示意圖。請(qǐng)參考圖3， 本發(fā)明的主動(dòng)元件陣列基板200包括一基板210、 一主動(dòng)元件220、 一保護(hù)層 230與一像素電極240。其中，主動(dòng)元件220配置于基板210上。圖3所示的 主動(dòng)元件220是底柵極(bottom gate)結(jié)構(gòu)。當(dāng)然，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)知主動(dòng) 元件220也可以選用頂柵極(top gate)的結(jié)構(gòu)，在此僅用以說(shuō)明并不刻意限制。
詳細(xì)地說(shuō)，主動(dòng)元件220包括一柵極G、 一柵絕緣層222、 一半導(dǎo)體層224、 一源極S與一漏極D。其中，柵極G配置于基板210上。此外，柵絕緣層222 覆蓋柵極G與部分的基板210，而半導(dǎo)體層224配置于柵極G上方的柵絕緣層 222上。為了使半導(dǎo)體層224與金屬材料之間的接觸阻抗下降，在實(shí)務(wù)上半導(dǎo) 體層224與源極S之間以及半導(dǎo)體層224與漏極D之間還可以形成一歐姆接觸 層225。
此外，保護(hù)層230覆蓋主動(dòng)元件220，并借由一接觸窗開(kāi)口 C而暴露出主 動(dòng)元件220的漏極D。另外，像素電極240配置于保護(hù)層230上，且像素電極 240借由接觸窗開(kāi)口 C而與漏極D電性連接。
值得注意的是，本發(fā)明的像素電極240包括一鋁鋅氧化膜層242與一透明 電極層244。其中，鋁鋅氧化膜層242配置于保護(hù)層230與透明電極層244之 間。詳細(xì)地說(shuō)，透明電極層244的材料可包括銦錫氧化物(Indium Tin Oxide， ITO)或銦鋅氧化物(Indium Zinc Oxide, IZO)。在一實(shí)施例中，鋁鋅氧化膜 層242與透明電極層244的厚度比可以介于3: 1 1: 3之間。由于本發(fā)明的 像素電極240是由鋁鋅氧化膜層242與透明電極層244所形成的雙層結(jié)構(gòu)，因 此本發(fā)明的像素電極240同樣能具有良好的透光性、導(dǎo)電性與耐藥性，且主動(dòng) 元件陣列基板200的制造成本也可有效下降。
綜上所述，本發(fā)明彩色濾光基板上的共用電極層是利用鋁鋅氧化膜層與透 明電極層所構(gòu)成的雙層結(jié)構(gòu)。其中，鋁鋅氧化膜層的原料取得容易且成本較低， 而利用銦錫氧化物或銦鋅氧化物形成的透明電極層能具有良好的耐藥性與導(dǎo) 電性。因此，本發(fā)明的共用電極層能兼具透光性、導(dǎo)電性與低成本的考量。此 外，鋁鋅氧化膜層與透明電極層所構(gòu)成的雙層結(jié)構(gòu)也可應(yīng)用在本發(fā)明主動(dòng)元件 陣列基板的像素電極上。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭示如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何本 領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的修改和完善， 因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)以權(quán)利要求書(shū)所界定的為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種彩色濾光基板，其特征在于包括一基材；一彩色濾光圖案層，配置于該基材上；一共用電極層，配置于該彩色濾光圖案層上，該共用電極層包括一鋁鋅氧化膜層，配置于該彩色濾光圖案層上；以及一透明電極層，配置于該鋁鋅氧化膜層上。
2. 如權(quán)利要求1所述的彩色濾光基板，其特征在于，該鋁鋅氧化膜層與該 透明電極層的厚度比介于3: 1 1: 3之間。
3. 如權(quán)利要求1所述的彩色濾光基板，其特征在于，該彩色濾光圖案層包 括紅色樹(shù)脂、綠色樹(shù)脂或藍(lán)色樹(shù)脂至少其中之一。
4. 如權(quán)利要求1所述的彩色濾光基板，其特征在于，該透明電極層的材料 包括該銦錫氧化物或銦鋅氧化物。
5. 如權(quán)利要求1所述的彩色濾光基板，其特征在于，該共用電極層的厚度 為1200 3000埃。
6. —種主動(dòng)元件陣列基板，其特征在于包括 一基板；一主動(dòng)元件，配置于該基板上；一保護(hù)層，覆蓋該主動(dòng)元件與部分的該基板，且該保護(hù)層具有一接觸窗開(kāi) 口，以暴露部分的該主動(dòng)元件；一像素電極，配置于該保護(hù)層上，該像素電極借由該接觸窗開(kāi)口而與該主 動(dòng)元件電性連接，其中該像素電極包括.-一鋁鋅氧化膜層，配置于該保護(hù)層上；以及一透明電極層，配置于該鋁鋅氧化膜層上。
7. 如權(quán)利要求6所述的主動(dòng)元件陣列基板，其特征在于，該鋁鋅氧化膜層 與該透明電極層的厚度比介于3: 1 1: 3之間。
8. 如權(quán)利要求6所述的主動(dòng)元件陣列基板，其特征在于，該透明電極層的 材料包括該銦錫氧化物或銦鋅氧化物。
9. 如權(quán)利要求6所述的主動(dòng)元件陣列基板，其特征在于，該主動(dòng)元件包括 一柵極，配置于該基板上；一柵絕緣層，覆蓋該柵極與部分的該基板； 一半導(dǎo)體層，配置于該柵極上方的柵絕緣層上；以及一源極與一漏極，分別配置于該半導(dǎo)體層的兩側(cè)，且該像素電極透過(guò)該接 觸窗開(kāi)口而與該漏極電性連接。
10. 如權(quán)利要求9所述的主動(dòng)元件陣列基板，其特征在于，該半導(dǎo)體層與該 源極之間以及該半導(dǎo)體層與該漏極之間還包括一歐姆接觸層。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種彩色濾光基板，包括一基材、一彩色濾光圖案層與一共用電極層。其中，彩色濾光圖案層配置于基材上，且共用電極層配置于彩色濾光圖案層上。此外，共用電極層包括一鋁鋅氧化膜層與一透明電極層。其中，鋁鋅氧化膜層配置于彩色濾光圖案層上，且透明電極層配置于鋁鋅氧化膜層上。由于鋁鋅氧化膜層的原料取得容易且成本較低，且利用銦錫氧化物或銦鋅氧化物形成的透明電極層具有良好的導(dǎo)電性與耐藥性。因此，本發(fā)明的共用電極層能兼具透光性、導(dǎo)電性、耐藥性與低成本的考量。
文檔編號(hào)G02F1/1335GK101344667SQ20071013645
公開(kāi)日2009年1月14日 申請(qǐng)日期2007年7月11日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月11日
發(fā)明者林玴光, 蔡清裕, 陳景忠 申請(qǐng)人:中華映管股份有限公司