專利名稱：去離子水噴嘴裝置及其噴刷方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種LCD陣列生產(chǎn)中的裝置及工藝，特別是一種應(yīng)用于IPA 區(qū)間濕式剝離工藝中的去離子水噴嘴裝置及其噴刷方法。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體及LCD陣列生產(chǎn)中，濕式剝離(Wet Strip)工藝是刻蝕工藝 后的一道工序，是指去除玻璃基板上剩余的光阻膠(photo resist,也稱 PR膠)。在利用剝離劑(stri卯er)藥液去除光阻膠的該工序后，玻璃基 板被送入異丙醇清洗液(Isopropyl Alcohol,簡(jiǎn)稱IPA)區(qū)間進(jìn)行清洗。 IPA區(qū)間目前采用去離子水(DI water)進(jìn)行清洗，其目的是通過使用去 離子水去除玻璃基板上的光阻膠和剝離劑殘留，保證玻璃基板的潔凈。
圖4為現(xiàn)有技術(shù)去離子水噴嘴裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，使用在IPA區(qū)間濕 式剝離工藝中，包括與主管路10連接的5根分管路20，每根分管路20 上設(shè)置有10個(gè)噴嘴30,共計(jì)50個(gè)噴嘴，每個(gè)噴嘴30的方向都設(shè)置成垂 直向下，向玻璃基板40噴射去離子水，洗刷玻璃基板40的表面。實(shí)際生 產(chǎn)表明，現(xiàn)有技術(shù)去離子水噴嘴裝置存在下述技術(shù)缺陷
(1) 現(xiàn)有技術(shù)采用5排噴嘴結(jié)構(gòu)是基于正常流量設(shè)計(jì)，由于與主管路連接 的過濾器使用 一 段時(shí)間會(huì)出現(xiàn)流量下降情況，使噴嘴噴刷的有效面積下 降，能力不足，噴出的去離子水不能完全覆蓋玻璃基板，有些地方?jīng)]有噴 到，導(dǎo)致玻璃基板上殘留光阻膠或剝離劑殘留，降低清洗效果；
(2) 由于玻璃基板為斜置，清洗中流到玻璃基板下端的去離子水含有較 多的雜質(zhì)，現(xiàn)有技術(shù)噴嘴結(jié)構(gòu)往往使玻璃基板下端容易遺留雜質(zhì)，同時(shí)也 會(huì)出現(xiàn)玻璃基板上有些地方?jīng)]有噴到情況；(3)現(xiàn)有技術(shù)一般使用常溫去離子水，噴洗過程中容易導(dǎo)致光阻膠凝固， 因此不能徹底去除殘留物。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種去離子水噴嘴裝置及其噴刷方法，有效解決現(xiàn) 有技術(shù)噴刷能力不足、玻璃基板下端容易遺留雜質(zhì)等技術(shù)缺陷。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種去離子水噴嘴裝置，包括與主管 路連接的數(shù)根分管路，每根分管路上設(shè)置有數(shù)個(gè)依次排列的噴嘴，至少一根 分管路上的噴嘴為噴嘴方向偏離垂直方向的斜置噴嘴，其余根分管路上的噴 嘴為噴嘴方向垂直向下的直置噴嘴。
所述斜置噴嘴的噴嘴方向偏離垂直方向10°~30。，優(yōu)選地，所述斜置噴 嘴的噴嘴方向偏離垂直方向20。。
所述分管路為6 ~ 10根，進(jìn)一步，每根分管路上設(shè)置的噴嘴為10 ~ 16個(gè)。
在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，設(shè)置斜置噴嘴的分管路為2~5根，設(shè)置斜置噴 嘴的分管路位于玻璃基板較低一端的上方。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供了一種去離子水噴刷方法，包括
向主管路中灌充溫度為40° ~60°的去離子水；
所述去離子水進(jìn)入數(shù)根分管路中；
位于玻璃基板較高一端上方的分管路上的直置噴嘴以垂直向下方向 將去離子水噴射在玻璃基板上，位于玻璃基板較低一端上方的分管路上的 斜置噴嘴以偏離垂直方向10。~ 30。將去離子水噴射在玻璃基板上。
本發(fā)明提出了 一種去離子水噴嘴裝置及其噴刷方法，通過改變?nèi)ルx子水 的噴灑方式及溫度，從而增加噴刷能力，增強(qiáng)去除光阻膠和剝離劑的能力。 本發(fā)明通過設(shè)置數(shù)根分管路輸送溫度為40。
~60°的去離子水，且一部分分 管路上的噴嘴以垂直向下方向、 一部分分管路上的噴嘴以偏離垂直方向10 ° ~30°方向?qū)⑷ルx子水噴射在玻璃基板上，有效解決了現(xiàn)有技術(shù)噴刷能力不足、易遺留雜質(zhì)等技術(shù)缺陷。通過將去離子水的溫度設(shè)置成40° ~60。，
使去離子水具有很好的保溫效果，在清洗玻璃基板表面時(shí)使得殘留的光阻膠 和剝離劑不發(fā)生凝固，同時(shí)有效增加去離子水溶解殘留的光阻膠和剝離劑的
作用。通過設(shè)置6 10根分管路，增加了單位面積上去離子水的流量，同時(shí) 去離子水噴射在玻璃基板表面上的交叉部分的面積增加，因此使本發(fā)明在IPA 區(qū)間內(nèi)去除殘余光阻膠的能力得到加強(qiáng)。通過一部分分管^^上的噴嘴以偏離 垂直方向IO。 ~30°方向?qū)⑷ルx子水噴射在玻璃基板上，將去離子水以一定 角度噴射，改變了水流在玻璃基板表面上的作用方式， 一方面有效增加了去 除殘余光阻膠的能力，另 一方面增加了將遺留雜質(zhì)沖刷出玻璃基板表面的能 力。在上述技術(shù)手段的綜合作用下，即使在過濾器流量下降時(shí)，本發(fā)明也能 有效清除殘留的光阻膠和剝離劑，提高了產(chǎn)品質(zhì)量。
下面通過附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。


圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本發(fā)明斜置噴嘴的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3為本發(fā)明去離子水噴刷方法的流程圖； 圖4為現(xiàn)有技術(shù)去離子水噴嘴裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。 附圖標(biāo)記說明
IO—主管路； 20—分管路； 30—噴嘴；
40—玻璃基板。
具體實(shí)施例方式
圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，本發(fā)明去離子水噴嘴裝置的主 體結(jié)構(gòu)包括主管路10、分管路20和噴嘴30，數(shù)根分管路20的一端依次 連接在主管路IO,另一端連接數(shù)個(gè)噴嘴30,去離子水由主管路IO輸送到數(shù)根分管路20,最后由數(shù)個(gè)噴嘴30噴射到玻璃基體40的表面上，實(shí)現(xiàn)殘 留光阻膠或剝離劑殘留的清洗。在實(shí)際生產(chǎn)中，隨著玻璃基體尺寸的增大， 主管路和分管路的數(shù)量可以根據(jù)需要設(shè)置，主管路可以是一根或數(shù)根，每根 主管路連接的分管路為6~10根，每根分管路上設(shè)置的噴嘴為10~16個(gè)。 圖1僅示意了一根主管路的技術(shù)方案，分管路20為6根，每根分管路20 上設(shè)置有IO個(gè)依次排列的噴嘴，形成總數(shù)為60個(gè)的噴嘴， 一部分分管路 20上的噴嘴30為噴嘴方向偏離垂直方向的斜置噴嘴，另 一部分分管路20 上的噴嘴30為噴嘴方向垂直向下的直置噴嘴，使本發(fā)明形成密集的、以 設(shè)定方向向玻璃基體40表面噴射去離子水的噴嘴裝置。
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)噴刷能力不足、易遺留雜質(zhì)等技術(shù)缺陷，本發(fā)明提供了 一種去離子水噴嘴裝置，通過設(shè)置6~ IO根分管路，增加了單位面積上去 離子水的流量，同時(shí)去離子水噴射在玻璃基板表面上的交叉部分的面積增 加，因此使本發(fā)明去除殘余光阻膠的能力得到加強(qiáng)。進(jìn)一步地，通過將部 分分管路上的噴嘴設(shè)置成斜置噴嘴，將去離子水以一定角度噴射，改變了 水流在玻璃基板表面上的作用方式， 一 方面有效增加了去除殘余光阻膠的 能力，另一方面增加了將遺留雜質(zhì)沖刷出玻璃基板表面的能力，因此使本 發(fā)明有效解決了光阻膠或剝離劑的殘留問題，提高了產(chǎn)品質(zhì)量。
本發(fā)明分管路2 0數(shù)量的設(shè)置原則是增加單位面積上去離子水的流量， 同時(shí)去離子水噴射在玻璃基板表面上的交叉部分的面積增加，使本發(fā)明去 除殘余光阻膠的能力得到加強(qiáng)。隨著玻璃基體尺寸的增大，分管路20數(shù)量 可以根據(jù)實(shí)際需要設(shè)定，優(yōu)選為6~10根，每根分管路上設(shè)置的噴嘴為 10-16個(gè)，形成總數(shù)為60 - 160個(gè)噴嘴，在保證清洗效果基礎(chǔ)上簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)。
圖2為本發(fā)明斜置噴嘴的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1、圖2所示，玻璃基板 40在清洗時(shí)為斜置， 一端較高， 一端較低，本發(fā)明將斜置噴嘴設(shè)置在位于 玻璃基板40較低端的上方，將直置噴嘴設(shè)置在位于玻璃基板40較高端的 上方，較高端的直置噴嘴有效地清除光阻膠或剝離劑，較低端的斜置噴嘴以 一定角度有效地將匯集在較低端上的殘留物沖刷出玻璃基板表面。斜置
噴嘴的噴嘴方向與垂直方向的夾角a設(shè)置成10。 30。，且偏離方向朝向玻 璃基板較低端的外側(cè)，使去離子水以一定傾角噴射在玻璃基板上，因此改 變了水流在玻璃基板表面上的作用方式， 一方面有效增加了去除殘余光阻 膠的能力，另一方面增加了將遺留雜質(zhì)沖刷出玻璃基板表面的能力。具體 地，不同位置的噴嘴方向也可根據(jù)實(shí)際需要設(shè)置。例如，內(nèi)側(cè)的噴嘴30b 可以設(shè)置成偏離垂直方向10°,最外側(cè)的噴嘴30a可以設(shè)置成偏離垂直方 向30°，以最大限度地提高沖刷效果。優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是將斜置噴嘴統(tǒng)一設(shè)置 成偏離垂直方向a=20。，在保證沖刷效果的前提下盡可能簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)。設(shè)置 斜置噴嘴的分管路20至少是1根，優(yōu)選方案是2 ~ 5根分管路20采用斜 置噴嘴，其他分管路20設(shè)置直置噴嘴，最大程度地綜合去除光阻膠和沖 刷遺留雜質(zhì)能力，提高本發(fā)明清洗效果。
在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，本發(fā)明還可以通過提高去離子水溫度提高清 洗效果。具體地，本發(fā)明噴嘴30噴出的去離子水的溫度為40° ~60。， 使去離子水具有很好的保溫效果，在清洗玻璃基板表面時(shí)使得殘留的光阻 膠和剝離劑不發(fā)生凝固，同時(shí)有效增加去離子水溶解殘留的光阻膠和剝離 劑的作用。進(jìn)一步地，去離子水的優(yōu)選溫度為50° 。
圖3為本發(fā)明去離子水噴刷方法的流程圖，具體為
步驟l、向主管路中灌充溫度為40° ~60°的去離子水；
步驟2、所述去離子水進(jìn)入數(shù)根分管路中；
步驟3、位于玻璃基板較高一端上方的分管路上的直置噴嘴以垂直向 下方向?qū)⑷ルx子水噴射在玻璃基板上，位于玻璃基板較低一端上方的分管 路上的斜置噴嘴以偏離垂直方向10°~ 30。將去離子水噴射在玻璃基板上。
本發(fā)明提供了一種去離子水噴刷方法，通過改變?nèi)ルx子水的噴灑方式 及溫度，從而增加噴刷能力，增強(qiáng)去除光阻膠和剝離劑的能力。具體地， 本發(fā)明通過設(shè)置數(shù)根分管路輸送溫度為40° ~60°的去離子水，且一部分分管路上的噴嘴以垂直向下方向、 一部分分管路上的噴嘴以偏離垂直方向 10°~ 30。方向?qū)⑷ルx子水噴射在玻璃基板上，有效解決了現(xiàn)有技術(shù)噴刷能
力不足、易遺留雜質(zhì)等技術(shù)缺陷。通過將去離子水的溫度設(shè)置成40° ~60 ° ,使去離子水具有很好的保溫效果，在清洗玻璃基板表面時(shí)使得殘留的 光阻膠和剝離劑不發(fā)生凝固，同時(shí)有效增加去離子水溶解殘留的光阻膠和 剝離劑的作用。通過設(shè)置較多數(shù)量的分管路，增加了單位面積上去離子水 的流量，同時(shí)去離子水噴射在玻璃基板表面上的交叉部分的面積增加，因 此使本發(fā)明去除殘余光阻膠的能力得到加強(qiáng)。通過一部分分管路上的噴嘴 以偏離垂直方向10。~ 30。方向?qū)⑷ルx子水噴射在玻璃基板上，將去離子水 以一定角度噴射，改變了水流在玻璃基板表面上的作用方式， 一方面有效 增加了去除殘余光阻膠的能力，另 一方面增加了將遺留雜質(zhì)沖刷出玻璃基 板表面的能力。在上述技術(shù)手段的綜合作用下，本發(fā)明有效解決了光阻膠 或剝離劑的殘留問題，提高了產(chǎn)品質(zhì)量。
在圖3所示技術(shù)方案基礎(chǔ)上，步驟l具體為向主管路中灌充溫度為 50°的去離子水，步驟3具體為位于玻璃基板較高一端上方的分管路上 的直置噴嘴以垂直向下方向?qū)⑷ルx子水噴射在玻璃基板上，位于玻璃基板 較低一端上方的分管路上的斜置噴嘴以偏離垂直方向20。將去離子水噴射 在玻璃基板上。進(jìn)一步地，分管路優(yōu)選為6 ~ IO根，每根分管路上設(shè)置10 ~ 16個(gè)噴嘴，形成60~ 160個(gè)噴嘴。設(shè)置斜置噴嘴的分管路為一根以上，優(yōu) 選為2~5根，最大程度地綜合去除光阻膠和沖刷遺留雜質(zhì)能力，提高本 發(fā)明清洗效果。
最后應(yīng)說明的是以上實(shí)施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案而非限制， 盡管參照較佳實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng) 理解，可以對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，而不脫離本發(fā)明技 術(shù)方案的精神和范圍。
權(quán)利要求
1.一種去離子水噴嘴裝置，包括與主管路連接的數(shù)根分管路，其特征在于，每根分管路上設(shè)置有數(shù)個(gè)依次排列的噴嘴，至少一根分管路上的噴嘴為噴嘴方向偏離垂直方向的斜置噴嘴，其余根分管路上的噴嘴為噴嘴方向垂直向下的直置噴嘴。
2. 如權(quán)利要求1所述的去離子水噴嘴裝置，其特征在于，所述斜置噴 嘴的噴嘴方向偏離垂直方向10。~30。。
3. 如權(quán)利要求2所述的去離子水噴嘴裝置，其特征在于，所述斜置噴 嘴的噴嘴方向偏離垂直方向20。。
4. 如權(quán)利要求1所述的去離子水噴嘴裝置，其特征在于，所述分管路 為6 ~ 10才艮。
5. 如權(quán)利要求4所述的去離子水噴嘴裝置，其特征在于，每根分管路 上設(shè)置的噴嘴為10-16個(gè)。
6. 如權(quán)利要求1 ~ 5中任一權(quán)利要求所述的去離子水噴嘴裝置，其特征 在于，設(shè)置斜置噴嘴的分管路為2 ~ 5根。
7. 如權(quán)利要求6所述的去離子水噴嘴裝置，其特征在于，設(shè)置斜置噴 嘴的分管路位于玻璃基板較低一端的上方。
8. —種去離子水噴刷方法，其特征在于，包括 向主管路中灌充溫度為40° ~60°的去離子水； 所述去離子水進(jìn)入數(shù)根分管路中；位于玻璃基板較高一端上方的分管路上的直置噴嘴以垂直向下方向 將去離子水噴射在玻璃基板上，位于玻璃基板較低一端上方的分管路上的 斜置噴嘴以偏離垂直方向10。~ 30。將去離子水噴射在玻璃基板上。
9. 如權(quán)利要求8所述的去離子水噴刷方法，其特征在于，所述向主管 路中灌充溫度為40° ~60°的去離子水具體為向主管路中灌充溫度為 50°的去離子水。
10. 如權(quán)利要求8所述的去離子水噴刷方法，其特征在于，所述斜置噴嘴以偏離垂直方向10。~ 30。將去離子水噴射在玻璃基板上具體為斜置 噴嘴以偏離垂直方向20。將去離子水噴射在玻璃基板上。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種去離子水噴嘴裝置及其噴刷方法，噴嘴裝置包括與主管路連接的數(shù)根分管路，每根分管路上設(shè)置有數(shù)個(gè)依次排列的噴嘴，至少一根分管路上的噴嘴為噴嘴方向偏離垂直方向的斜置噴嘴，其余根分管路上的噴嘴為噴嘴方向垂直向下的直置噴嘴。噴刷方法包括向主管路中灌充溫度為40°～60°的去離子水；去離子水進(jìn)入數(shù)根分管路中；位于玻璃基板較高一端上方的分管路上的直置噴嘴以垂直向下方向?qū)⑷ルx子水噴射在玻璃基板上，位于玻璃基板較低一端上方的分管路上的斜置噴嘴以偏離垂直方向10°～30°將去離子水噴射在玻璃基板上。本發(fā)明通過改變?nèi)ルx子水的噴灑方式及溫度，增強(qiáng)了去除光阻膠和剝離劑的能力。
文檔編號(hào)G03F7/42GK101320225SQ200710100149
公開日2008年12月10日 申請(qǐng)日期2007年6月5日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月5日
發(fā)明者曹占鋒 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司