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去離子水噴嘴裝置及其噴刷方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2729324

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本發(fā)明涉及一種LCD陣列生產(chǎn)中的裝置及工藝,特別是一種應(yīng)用于IPA 區(qū)間濕式剝離工藝中的。背景技術(shù)半導(dǎo)體及LCD陣列生產(chǎn)中,濕式剝離(Wet Strip)工藝是刻蝕工藝 后的一道工序,是指去除玻璃基板上剩余的光阻膠(photo resist,也稱(chēng) PR膠)。在利用剝離劑(stri卯er)藥液去除光阻膠的該工序后,玻璃基 板被送入異丙醇清洗液(Isopropyl Alcohol,簡(jiǎn)稱(chēng)IPA)區(qū)間進(jìn)行清洗。 IPA區(qū)間目前采用去離子水(DI water)進(jìn)行清...
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