專利名稱：光致抗蝕劑剝離裝置、再循環(huán)光致抗蝕劑剝離劑的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光致抗蝕劑剝離裝置，更特別地，涉及一種光致抗蝕劑剝離裝置，其能夠再循環(huán)(recycle)光致抗蝕劑剝離劑且即使當(dāng)過(guò)濾器被更換時(shí)仍能夠進(jìn)行連續(xù)的過(guò)濾動(dòng)作，本發(fā)明還涉及一種再循環(huán)光致抗蝕劑剝離劑的方法、以及使用該光致抗蝕劑剝離裝置制造薄膜晶體管陣列面板的方法。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體集成電路、半導(dǎo)體器件、以及半導(dǎo)體裝置成為現(xiàn)代社會(huì)中越來(lái)越不可或缺的工具并且在許多工業(yè)領(lǐng)域中有著廣泛的應(yīng)用。特別地，隨著信息社會(huì)的發(fā)展，電子顯示裝置已經(jīng)在各個(gè)領(lǐng)域中變得重要并且各種電子顯示裝置已經(jīng)被改進(jìn)以滿足信息社會(huì)的各種需求。
一種主要類型的常規(guī)電子顯示裝置是陰極射線管(CRT)。然而，因?yàn)镃RT重且具有大的體積和消耗大量電能，所以諸如液晶顯示、有機(jī)電致發(fā)光(EL)顯示、以及等離子體顯示面板的平面顯示裝置作為CRT的替代被廣泛應(yīng)用在各種領(lǐng)域。
其中薄膜晶體管(TFT)陣列設(shè)置在基板上的薄膜晶體管陣列面板可以用作液晶顯示器或有機(jī)電致發(fā)光(EL)器件的面板。TFT陣列面板包括各種布線圖案，包括柵線和數(shù)據(jù)線。為了精細(xì)地形成這些布線圖案，使用光致抗蝕劑(PR)圖案的掩?；に嚨玫搅耸褂?。
掩模工藝在蝕刻之后使用昂貴的剝離劑溶液來(lái)剝離殘余的PR圖案。雜質(zhì)浮在用于剝離PR圖案的剝離劑溶液中。因此，當(dāng)剝離劑溶液在后面的剝離工藝中被再次使用時(shí)，布線圖案會(huì)被污染。因此，剝離劑溶液大多在使用一次之后變得無(wú)用。此外，如果PR剝離劑含有環(huán)境污染物，那么處理PR剝離劑需要昂貴的處理裝置，從而增加了掩模工藝成本。
為了降低掩模工藝的成本，已經(jīng)嘗試再循環(huán)PR剝離劑。例如，去除PR剝離劑溶液中包含的雜質(zhì)的方法包括使用過(guò)濾器。然而，使用昂貴的過(guò)濾器導(dǎo)致了高的工藝成本。此外，當(dāng)由于持續(xù)使用相同的過(guò)濾器而導(dǎo)致過(guò)濾器阻塞時(shí)，工藝必須暫停直至該過(guò)濾器被更換。這在頂離(lift-off)掩模工藝中是個(gè)嚴(yán)重問(wèn)題，因?yàn)镻R剝離劑含有更多雜質(zhì)，因此需要更頻繁地替換過(guò)濾器且因此導(dǎo)致更頻繁的停機(jī)時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種光致抗蝕劑(PR)剝離裝置，其能夠再循環(huán)PR剝離劑，且即使當(dāng)更換過(guò)濾器時(shí)也能夠進(jìn)行連續(xù)的過(guò)濾動(dòng)作。
本發(fā)明還提供一種使用該P(yáng)R剝離裝置再循環(huán)PR剝離劑的方法。
本發(fā)明還提供一種使用該P(yáng)R剝離裝置制造薄膜晶體管陣列面板的方法。
本發(fā)明的這些和其他優(yōu)點(diǎn)將在下面對(duì)優(yōu)選實(shí)施方式的描述中得以說(shuō)明且變得顯然。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種PR剝離裝置，包括PR剝離槽，其中設(shè)置具有PR圖案的基板且進(jìn)行PR圖案的剝離；PR剝離劑回收管，用于從PR剝離槽回收PR剝離劑；兩個(gè)或更多過(guò)濾器單元，用于過(guò)濾通過(guò)PR剝離劑回收管返回的PR剝離劑；以及PR剝離劑供給管，用于向PR剝離槽供給過(guò)濾的PR剝離劑，其中所述兩個(gè)或更多過(guò)濾器單元彼此并聯(lián)(in parallel)連接在PR剝離劑回收管和PR剝離劑供給管之間。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種再循環(huán)PR剝離劑的方法，該方法包括打開(kāi)彼此并聯(lián)連接在PR剝離劑回收管和PR剝離劑供給管之間的兩個(gè)或更多過(guò)濾器單元中的第一過(guò)濾器單元；通過(guò)PR剝離劑回收管回收已經(jīng)在PR剝離工藝中使用過(guò)的PR剝離劑；向第一過(guò)濾器單元供給回收的PR剝離劑且在第一過(guò)濾器單元中過(guò)濾回收的PR剝離劑；以及向PR剝離劑供給管供給過(guò)濾的PR剝離劑從而過(guò)濾的PR剝離劑被再循環(huán)，其中當(dāng)過(guò)濾之前測(cè)量的所回收的PR剝離劑的壓力超過(guò)預(yù)定壓力水平時(shí)或者當(dāng)過(guò)濾之后測(cè)量的所過(guò)濾的PR剝離劑的壓力小于預(yù)定壓力水平時(shí)，第一過(guò)濾器單元關(guān)閉，所述兩個(gè)或更多過(guò)濾器單元中的第二過(guò)濾器單元打開(kāi)，所回收的PR剝離劑在該第二過(guò)濾器單元中過(guò)濾，過(guò)濾的PR剝離劑供給到PR剝離劑供給管從而所過(guò)濾的PR剝離劑被再循環(huán)。
根據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供一種使用PR剝離裝置制造薄膜晶體管陣列面板的方法，該P(yáng)R剝離裝置包括PR剝離槽，其中設(shè)置具有PR圖案的基板且進(jìn)行PR圖案的剝離；PR剝離劑回收管，用于從PR剝離槽回收PR剝離劑；兩個(gè)或更多過(guò)濾器單元，用于過(guò)濾通過(guò)PR剝離劑回收管返回的PR剝離劑；以及PR剝離劑供給管，用于向PR剝離槽供給過(guò)濾的PR剝離劑，其中所述兩個(gè)或更多過(guò)濾器單元彼此并聯(lián)連接再PR剝離劑回收管和PR剝離劑供應(yīng)管之間。


本發(fā)明的上述和其它特征及優(yōu)點(diǎn)將參考附圖在本發(fā)明的下列實(shí)施方式的說(shuō)明中變得更加明顯，在附圖中圖1是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的光致抗蝕劑(PR)剝離裝置的高度簡(jiǎn)化的結(jié)構(gòu)視圖；圖2是結(jié)構(gòu)視圖，示出根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的PR剝離裝置的第一過(guò)濾器單元和第二過(guò)濾器單元；圖3是圖2實(shí)施方式的第一過(guò)濾器的透視圖；圖4是結(jié)構(gòu)視圖，示出根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的PR剝離裝置的第一過(guò)濾器單元和第二過(guò)濾器單元；圖5A是結(jié)構(gòu)視圖，示出根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的PR剝離裝置的第一過(guò)濾器單元和第二過(guò)濾器單元；圖5B和5C是結(jié)構(gòu)視圖，示出圖5A的第一過(guò)濾器單元和第二過(guò)濾器單元的修改實(shí)施方式；圖6是透視圖，示出根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的PR剝離裝置的PR剝離槽；圖7是高度簡(jiǎn)化的結(jié)構(gòu)視圖，示出根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的PR剝離裝置；圖8是流程圖，示出根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式再循環(huán)PR剝離劑的方法；以及圖9-17是順序的剖視圖，示出根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式制造薄膜晶體管陣列面板的方法。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征以及實(shí)現(xiàn)這些優(yōu)點(diǎn)和特征的方法可以通過(guò)參考下面對(duì)優(yōu)選實(shí)施方式和附圖的詳細(xì)描述而更容易地理解。然而，本發(fā)明可以以許多不同形式實(shí)施且不應(yīng)當(dāng)被理解為僅局限于這里提出的實(shí)施方式。而是，提供這些實(shí)施方式使本公開(kāi)變得徹底和完整并向本領(lǐng)域技術(shù)人員充分傳達(dá)本發(fā)明的概念，本發(fā)明僅由所附權(quán)利要求定義。
為了描述方便而在這里使用空間相關(guān)術(shù)語(yǔ)例如“之下”、“下面”、“下”、“之上”、“上”等以描述附圖所示的一個(gè)元件或特征與另一元件(或多個(gè)元件)或特征(或多個(gè)特征)的關(guān)系。將理解，空間相關(guān)術(shù)語(yǔ)意在包括除了附圖所示的取向之外器件在使用或操作中的不同取向。此外，在附圖中，為了清楚而放大了層的厚度和區(qū)域。
下面參照附圖更充分地描述根據(jù)本發(fā)明的光致抗蝕劑(PR)剝離裝置，附圖中示出本發(fā)明的示例性實(shí)施方式。
圖1是PR剝離裝置的結(jié)構(gòu)視圖，示出本發(fā)明一實(shí)施方式。在圖1中，箭頭表示PR剝離劑的流動(dòng)。參見(jiàn)附圖1，PR剝離裝置600包括PR剝離槽100，用于回收來(lái)自PR剝離槽100的PR剝離劑的PR剝離劑回收(recovery)管200，用于向PR剝離槽100供給過(guò)濾的PR剝離劑的PR剝離劑供給管500、以及彼此并聯(lián)地連接在PR剝離劑回收管200和PR剝離劑供給管500之間的多個(gè)過(guò)濾器單元F1至Fn。
PR剝離槽100中的浴室(bath)(未示出)其中包括目標(biāo)基板(未示出)，該基板上形成有PR圖案。這里，目標(biāo)基板可以是用于液晶顯示器的半導(dǎo)體基板或絕緣基板，但本發(fā)明不限于這些示例。此外，目標(biāo)基板可以被單個(gè)地連續(xù)提供，或者以箱為單位提供，箱中安裝有多個(gè)基板。
在PR剝離槽100中，進(jìn)行使用PR剝離劑從目標(biāo)基板去除PR圖案的剝離工藝。在本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施方式中，PR剝離劑包括至少一種下列物質(zhì)諸如2-(2-氨基乙氧基)乙醇(2-(2-aminoethoxy)ethanol)、2-(2-氨基乙氨基)乙醇(2-(2-aminoethylamino)ethanol)、單乙烷胺(monoethane amine)、二乙烯三胺羥胺(diethylene triamine hydroxyamine)、或鏈烷醇胺(alkanolamine)的胺化合物；諸如二乙基乙二醇單甲基醚(diethylene glycol monomethylether)、二丙烯乙二醇單甲基醚(dipropylene glycol monomethyl ether)、或三丙烯乙二醇單甲基醚(tripropylene glycol monomethyl ether)的乙二醇醚；以及諸如N-甲基-2-吡咯烷酮(N-methyl-2-pyrrolidinone)、四氫丙醇(tetrahydropropyl alcohol)、異佛爾酮(isophorone)、二甲亞砜(dimethylsulfoxide)、二甲基己二酸酯(dimethyladiphate)、二甲基戊二酸酯(dimethylglutarate)、環(huán)丁砜(sulforane)、γ-丁內(nèi)酯(gamma-butyrolactone)、或N，N-二甲基乙酰胺(N，N-dimethylacetamice)的極性溶劑。此外，PR剝離劑還可以包括諸如乙氧化烷基苯酚(ethoxylated alkyl phonol)、2-丁基-1，4-二醇(2-butyn-1，4-diol)、或磷酸酯的表面活性劑。然而，PR剝離劑的成分不限于例舉的示例，各種其它混合物也可以被使用。
PR剝離劑回收管200連接到PR剝離槽100。PR剝離劑回收管200延伸到達(dá)多個(gè)過(guò)濾器單元F1-Fn，并在過(guò)濾器單元F1至Fn附近分支成多個(gè)管。連接到過(guò)濾器單元F1至Fn的出口的兩個(gè)管在結(jié)處相遇且連接到PR剝離劑供給管500。
已在PR剝離槽100中在PR剝離工藝中使用過(guò)的PR剝離劑通過(guò)PR剝離劑回收管200被回收。此處，來(lái)自PR剝離工藝期間去除的PR圖案的PR處于溶解狀態(tài)或漂浮在通過(guò)PR剝離劑回收管200返回的PR剝離劑中。通過(guò)PR剝離劑回收管200返回的PR剝離劑還可以含有溶解或漂浮形式的薄膜形成材料、和/或在PR剝離工藝期間產(chǎn)生的其他雜質(zhì)，所述薄膜形成材料在PR剝離工藝期間來(lái)自形成在目標(biāo)基板上的薄膜。含有溶解或漂浮形式的PR和其它雜質(zhì)的PR剝離劑通過(guò)PR剝離劑回收管200流入所述多個(gè)過(guò)濾器單元F1-Fn中的一個(gè)。流入多個(gè)過(guò)濾器單元F1-Fn的PR剝離劑通過(guò)多個(gè)過(guò)濾器單元F1-Fn被過(guò)濾從而PR剝離劑中的漂浮物質(zhì)例如PR、來(lái)自形成在目標(biāo)基板上的薄膜的薄膜形成材料、或其它雜質(zhì)被濾除。過(guò)濾的PR剝離劑通過(guò)PR剝離劑供給管500再循環(huán)到PR剝離槽100中。因?yàn)闆](méi)有雜質(zhì)包含在過(guò)濾的PR剝離劑中，所以過(guò)濾的PR剝離劑可以被再循環(huán)用于后續(xù)PR剝離工藝而不會(huì)引起污染問(wèn)題。
下文中，將更詳細(xì)地描述上述PR剝離裝置的示例性實(shí)施方式。在下列實(shí)施方式的說(shuō)明中，將忽略或簡(jiǎn)化對(duì)具有與圖1所示的實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)的組元的描述。在一實(shí)施方式中沒(méi)有特定說(shuō)明的構(gòu)造可以被圖1和下列其它實(shí)施方式中顯示的構(gòu)造的各種組合中的一種所替代。
圖2是結(jié)構(gòu)視圖，示出根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的PR剝離裝置的第一過(guò)濾器單元F1和第二過(guò)濾器單元F2，圖3是圖2的第一過(guò)濾器330的透視圖。
參見(jiàn)圖2和3，第一過(guò)濾器單元F1包括第一過(guò)濾器外殼320、設(shè)置在第一過(guò)濾器外殼320中的第一過(guò)濾器330、連接在PR剝離劑回收管200和第一過(guò)濾器330之間的第一PR剝離劑入口管380、以及連接在第一過(guò)濾器330和PR剝離劑供給管500之間的第一PR剝離劑出口管390。第二過(guò)濾器單元F2包括第二過(guò)濾器外殼420、設(shè)置在第二過(guò)濾器外殼420中的第二過(guò)濾器430、連接在PR剝離劑回收管200和第二過(guò)濾器430之間的第二PR剝離劑入口管480、以及連接在第二過(guò)濾器430和PR剝離劑供給管500之間的第二PR剝離劑出口管490。如上所述，第二過(guò)濾器單元F2可具有與第一過(guò)濾器單元F1基本相同的結(jié)構(gòu)。因此，除非特別指明，下面關(guān)于第一過(guò)濾器單元F1的描述也可以應(yīng)用于第二過(guò)濾器單元F2。
第一過(guò)濾器外殼320保護(hù)第一過(guò)濾器330且提供用于容納第一過(guò)濾器330的空間。例如，第一過(guò)濾器外殼320可由金屬材料制成。第一過(guò)濾器外殼320具有空的空間，第一PR剝離劑入口管380和第一PR剝離劑出口管390通過(guò)第一過(guò)濾器外殼320的空的空間彼此空間連接。同時(shí)，可以構(gòu)造第一過(guò)濾器外殼320使得其上部或其它部分可以打開(kāi)從而可以容易地用新的過(guò)濾器替換第一過(guò)濾器330。
第一過(guò)濾器330用來(lái)過(guò)濾PR剝離劑，且可由圓柱形金屬網(wǎng)形成，如圖3所示。也可以使用兩個(gè)或更多金屬網(wǎng)的疊層。金屬網(wǎng)的孔330a的尺寸可以可選地根據(jù)目標(biāo)雜質(zhì)的尺寸來(lái)確定。金屬網(wǎng)由濾除雜質(zhì)之后能夠容易地物理或化學(xué)清洗的金屬制成。例如，金屬網(wǎng)可由不銹鋼制成。因此，當(dāng)由于重復(fù)使用第一過(guò)濾器330而導(dǎo)致第一過(guò)濾器330的孔330a被雜質(zhì)阻塞時(shí)，第一過(guò)濾器330可以在物理或化學(xué)清洗之后被再次使用，從而減少工藝成本。第一過(guò)濾器330的結(jié)構(gòu)和材料不限于上述示例。第一過(guò)濾器330可以使用各種材料不同地構(gòu)成。
參見(jiàn)圖2，沒(méi)有示出引導(dǎo)從管380進(jìn)入的流體在通過(guò)管390離開(kāi)之前僅經(jīng)過(guò)過(guò)濾器330的結(jié)構(gòu)。如圖所示，離開(kāi)管380的PR剝離劑可以直接到達(dá)管390而不經(jīng)過(guò)過(guò)濾器330。請(qǐng)?zhí)峁┯糜贔1和F2的圖以示出這些單元中的流體路線。
第一PR剝離劑入口管380和第二過(guò)濾器單元F2的第二PR剝離劑入口管480一起連接到PR剝離劑回收管200?？刂芇R剝離劑的流入的開(kāi)關(guān)部分，例如第一開(kāi)關(guān)閥310安裝在第一PR剝離劑入口管380處。類似地，控制PR剝離劑的流入的第二開(kāi)關(guān)閥410安裝在第二PR剝離劑入口管480處。
當(dāng)安裝在第一PR剝離劑入口管380的第一開(kāi)關(guān)閥310打開(kāi)時(shí)，PR剝離劑通過(guò)第一PR剝離劑入口管380從PR剝離劑回收管200供給到第一過(guò)濾器330。當(dāng)安裝在第二PR剝離劑入口管480的第二開(kāi)關(guān)閥410打開(kāi)時(shí)，PR剝離劑通過(guò)第二PR剝離劑入口管480從PR剝離劑回收管200供給到第二過(guò)濾器430。第一開(kāi)關(guān)閥310和第二開(kāi)關(guān)閥410的開(kāi)關(guān)切換操作可選地可以根據(jù)回收的PR剝離劑的再循環(huán)的周期和/或操作系統(tǒng)來(lái)確定。例如，在有充分的時(shí)間來(lái)進(jìn)行PR剝離劑的過(guò)濾的情況下，第一開(kāi)關(guān)閥310和第二開(kāi)關(guān)閥410之一可以打開(kāi)且另一個(gè)開(kāi)關(guān)閥可以關(guān)閉從而PR剝離劑可以通過(guò)與打開(kāi)的開(kāi)關(guān)閥對(duì)應(yīng)的過(guò)濾器被過(guò)濾。過(guò)濾的PR剝離劑如上所述地通過(guò)第一PR剝離劑出口管390或第二PR剝離劑出口管490供給到PR剝離劑出口管500。此時(shí)，在與關(guān)閉的開(kāi)關(guān)閥對(duì)應(yīng)的過(guò)濾器單元中，使用過(guò)的過(guò)濾器與過(guò)濾器外殼分開(kāi)且然后被新的過(guò)濾器替換或被清洗。新的過(guò)濾器或清洗過(guò)的過(guò)濾器再安裝在過(guò)濾器外殼中以用于后續(xù)的過(guò)濾操作。也就是說(shuō)，可以進(jìn)行過(guò)濾器替換或清洗而不暫停過(guò)濾操作，這提高了工藝效率。
另一方面，在需要過(guò)濾大量PR剝離劑或需要快速過(guò)濾PR剝離劑的情況下，第一和第二開(kāi)關(guān)閥310和410都打開(kāi)從而PR剝離劑的過(guò)濾可以同時(shí)在第一和第二過(guò)濾單元F1和F2中進(jìn)行。在這種情況下，過(guò)濾的PR剝離劑排入到第一PR剝離劑出口管390和第二PR剝離劑出口管490中且然后收集到PR剝離劑供給管500中。盡管未示出，但是在多個(gè)過(guò)濾器單元F1-Fn彼此并聯(lián)連接在PR剝離劑回收管200和PR剝離劑供給管500之間時(shí)，本領(lǐng)域技術(shù)人員將清楚地理解，可以進(jìn)行更多各種組合。也就是說(shuō)，在多個(gè)過(guò)濾器單元F1至Fn中，一些成組的過(guò)濾器單元可以打開(kāi)，剩余的過(guò)濾器單元可以關(guān)閉，一些關(guān)閉的過(guò)濾器單元可以被再打開(kāi)，一些打開(kāi)的過(guò)濾器單元可以被再關(guān)閉。相似地，多個(gè)過(guò)濾器單元F1-Fn的打開(kāi)和關(guān)閉可以根據(jù)諸如PR剝離劑的量的因素而被調(diào)整。在下面的其它實(shí)施方式中，作為各種組合的表示性示例，將示出至少一個(gè)開(kāi)關(guān)閥打開(kāi)且其它的開(kāi)關(guān)閥中的至少一個(gè)關(guān)閉的包括兩個(gè)過(guò)濾器單元的情形。
同時(shí)，為了使PR剝離劑經(jīng)過(guò)第一過(guò)濾器330或第二過(guò)濾器430，需要預(yù)定壓力。為此，根據(jù)本發(fā)明的PR剝離裝置可包括增壓器件。例如，增壓器件可以是設(shè)置在線200或第一PR剝離劑入口管380的增壓泵210。
在一個(gè)詳細(xì)的示例性實(shí)施方式中，增壓泵可以設(shè)置在選自第一開(kāi)關(guān)閥310和第一過(guò)濾器外殼320之間的第一PR剝離劑入口管380、第一開(kāi)關(guān)閥310和PR剝離劑回收管200之間的第一PR剝離劑入口管380、以及第一PR剝離劑入口管380和第二PR剝離劑入口管480之前的PR剝離劑回收管200的一處或更多處。在增壓泵設(shè)置在第一PR剝離劑入口管380處以將PR剝離劑朝向第一過(guò)濾器330增壓的情況下，還需要提供帶有增壓泵的第二PR剝離劑入口管480以用于將PR剝離劑朝向第二過(guò)濾器430增壓。也就是說(shuō)，在這種情況下，需要兩個(gè)或更多增壓泵。另一方面，在增壓泵設(shè)置在PR剝離劑回收管200處的情況下，如圖2所示，PR剝離劑回收管200中流動(dòng)的PR剝離劑被增壓且然后供給到第一過(guò)濾器330和/或第二過(guò)濾器430。也就是說(shuō)，在這種情況下，可以僅使用單個(gè)增壓泵進(jìn)行通過(guò)第一過(guò)濾器單元F1和/或第二過(guò)濾器單元F2的過(guò)濾。
作為增壓裝置的另一示例，可以使用通過(guò)適當(dāng)?shù)囟ㄎ坏谝缓偷诙R剝離劑入口管380和480、第一和第二PR剝離劑出口管390和490、以及第一和第二過(guò)濾器330和430來(lái)實(shí)現(xiàn)重力勢(shì)能差的結(jié)構(gòu)器件。
下文中，將參照?qǐng)D4描述根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的PR剝離裝置。在圖4所示的本發(fā)明實(shí)施方式中，將省略或簡(jiǎn)化關(guān)于具有與本發(fā)明的前述實(shí)施例相同的結(jié)構(gòu)的組元的描述。
圖4是結(jié)構(gòu)視圖，示出根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的PR剝離裝置的第一過(guò)濾器單元和第二過(guò)濾器單元。
參見(jiàn)圖4，第一過(guò)濾器單元包括兩個(gè)或更多過(guò)濾器，例如第一前過(guò)濾器331和第一后過(guò)濾器351。第一前過(guò)濾器331設(shè)置在第一前過(guò)濾器外殼321中，第一后過(guò)濾器351設(shè)置在第一后過(guò)濾器外殼341中。第一前過(guò)濾器331和第一后過(guò)濾器351通過(guò)第一PR剝離劑出口/入口管385彼此串聯(lián)連接。第一前過(guò)濾器331通過(guò)第一PR剝離劑入口管380連接到PR剝離劑回收管200，第一后過(guò)濾器351通過(guò)第一PR剝離劑出口管390連接到PR剝離劑供給管500。類似地，本發(fā)明當(dāng)前實(shí)施方式的第二過(guò)濾器單元包括兩個(gè)或更多過(guò)濾器，例如第二前過(guò)濾器431和第二后過(guò)濾器451，其通過(guò)第二PR剝離劑出口/入口管485彼此串聯(lián)連接。第二過(guò)濾器單元的結(jié)構(gòu)與第一過(guò)濾器單元的結(jié)構(gòu)基本相同，因此，下文中僅提供對(duì)第一過(guò)濾器單元的描述。
第一前過(guò)濾器331和第一后過(guò)濾器351具有與圖3所示的上述第一過(guò)濾器基本相同的結(jié)構(gòu)。但是，第一前過(guò)濾器331的孔331a的尺寸可以不同于第一后過(guò)濾器351的孔351a的尺寸。例如，如圖4所示，第一后過(guò)濾器351的孔351a的尺寸可以小于第一前過(guò)濾器331的孔331a的尺寸。
帶有上述結(jié)構(gòu)特征的過(guò)濾器單元如下實(shí)現(xiàn)PR剝離劑的過(guò)濾。也就是說(shuō)，通過(guò)第一PR剝離劑入口管380流入第一前過(guò)濾器331的PR剝離劑通過(guò)第一前過(guò)濾器331被初步過(guò)濾。在初步過(guò)濾期間，具有比第一前過(guò)濾器331的孔331a大的尺寸的雜質(zhì)被濾除，而具有比第一前過(guò)濾器331的孔331a小的尺寸的雜質(zhì)穿過(guò)第一前過(guò)濾器331。初步過(guò)濾的PR剝離劑通過(guò)第一PR剝離劑出口/入口管385進(jìn)入第一后過(guò)濾器351且然后通過(guò)第一后過(guò)濾器351被二次過(guò)濾。此時(shí)，因?yàn)榈谝缓筮^(guò)濾器351的孔351a的尺寸小于第一前過(guò)濾器331的孔331a的尺寸，所以較小雜質(zhì)能被濾除。當(dāng)如上所述進(jìn)行兩次過(guò)濾時(shí)，雜質(zhì)可以根據(jù)顆粒尺寸范圍被濾除，從而提高了第一前過(guò)濾器331和第一后過(guò)濾器351的過(guò)濾效率。
下文中，將參照?qǐng)D5A至5C描述根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的PR剝離裝置。在圖5A-5C所示的本發(fā)明實(shí)施方式中，將省略或簡(jiǎn)化關(guān)于具有與本發(fā)明的前述實(shí)施例相同的結(jié)構(gòu)的組元的描述。圖5A是結(jié)構(gòu)視圖，示出根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的PR剝離裝置的第一過(guò)濾器單元和第二過(guò)濾器單元，圖5B-5C是結(jié)構(gòu)視圖，示出圖5A的第一過(guò)濾器單元和第二過(guò)濾器單元的修改實(shí)施方式。
參見(jiàn)圖5A，PR剝離裝置包括用于在PR剝離劑經(jīng)過(guò)第一和第二過(guò)濾器330和430之前測(cè)量PR剝離劑的壓力的第一和第二壓力計(jì)360和460，這不同于圖2所示的實(shí)施方式的PR剝離裝置。為了說(shuō)明方便，將主要考慮第一過(guò)濾器單元來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的當(dāng)前實(shí)施例。第一壓力計(jì)360設(shè)置在第一過(guò)濾器外殼320和第一開(kāi)關(guān)閥310之間的第一PR剝離劑入口管380處以測(cè)量流向第一過(guò)濾器外殼320的PR剝離劑的壓力。
例如，在第一開(kāi)關(guān)閥310打開(kāi)且重復(fù)進(jìn)行經(jīng)過(guò)第一過(guò)濾器330的過(guò)濾的情況下，殘留在第一過(guò)濾器330中的雜質(zhì)充當(dāng)阻擋PR剝離劑的流動(dòng)的阻擋物，從而增大了流向第一過(guò)濾器330的PR剝離劑的壓力。因此，在過(guò)多雜質(zhì)留在第一過(guò)濾器330中且因此第一壓力計(jì)360檢測(cè)到超過(guò)預(yù)定壓力水平的情況下，經(jīng)過(guò)第一過(guò)濾器330的過(guò)濾不能有效地進(jìn)行。在這種情況下，第一開(kāi)關(guān)閥310關(guān)閉且第二開(kāi)關(guān)閥410打開(kāi)從而通過(guò)第二過(guò)濾器430進(jìn)行過(guò)濾。此時(shí)，第一過(guò)濾器330與第一過(guò)濾器外殼320分離且然后被新的過(guò)濾器替換或被清洗，新的過(guò)濾器或清洗過(guò)的過(guò)濾器再安裝在第一過(guò)濾器外殼320中。如上所述，通過(guò)第一壓力計(jì)360檢測(cè)流向第一過(guò)濾器330的PR剝離劑的壓力確保了及時(shí)地用新過(guò)濾器更換第一過(guò)濾器330。
同時(shí)，除了第一和第二PR剝離劑入口管380和480中的PR剝離劑的壓力之外，第一和第二PR剝離劑出口管390和490中的壓力也根據(jù)第一和第二過(guò)濾器330和430中的雜質(zhì)含量而改變。就第一過(guò)濾器單元而言，也就是說(shuō)，當(dāng)過(guò)量雜質(zhì)留在第一過(guò)濾器330中時(shí)，第一PR剝離劑出口管390中PR剝離劑的流速下降，從而降低了PR剝離劑的壓力。關(guān)于此，如圖5B所示，第一壓力計(jì)360可以安裝在第一PR剝離劑出口管390處。當(dāng)使用安裝在第一PR剝離劑出口管390處的第一壓力計(jì)360測(cè)量PR剝離劑的壓力時(shí)，可以確定第一過(guò)濾器330被新的過(guò)濾器替換或被清洗的合適時(shí)間。也就是說(shuō)，當(dāng)?shù)谝粔毫τ?jì)360檢測(cè)到低于預(yù)定壓力水平時(shí)，第一過(guò)濾器330可以用新的過(guò)濾器及時(shí)替換或被清洗。此外，為了更精確地確定過(guò)濾器更換的時(shí)間，如圖5C所示，第一前壓力計(jì)361可安裝在第一開(kāi)關(guān)閥310和第一過(guò)濾器外殼320之間的第一PR剝離劑入口管380處，第一后壓力計(jì)362可安裝在第一PR剝離劑出口管490處。
下文中，參照?qǐng)D6描述根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的PR剝離裝置的PR剝離槽。
圖6是透視圖，示出根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的PR剝離裝置的PR剝離槽100。
參見(jiàn)圖6，PR剝離槽100包括PR剝離腔110、用于移動(dòng)目標(biāo)基板10的傳送輥120、定義在PR剝離腔110底部的溝渠130、以及形成在PR剝離劑回收管200的連接部分的回收孔131。
PR剝離腔110可以是矩形盒的形式。連接到PR剝離劑供給管500末端的噴嘴510設(shè)置在PR剝離腔110的上部。噴嘴510可以固定地安裝在PR剝離腔110的上部且均勻地向下噴淋從PR剝離劑供給管500供給的PR剝離劑。
多個(gè)傳送輥120安裝在PR剝離腔110的下側(cè)壁。目標(biāo)基板10例如用于液晶顯示器的絕緣基板設(shè)置在傳送輥120上。目標(biāo)基板10通過(guò)傳送輥120的旋轉(zhuǎn)可以沿一方向移動(dòng)，因此，來(lái)自噴嘴510的PR剝離劑可以均勻地噴灑到目標(biāo)基板10的上表面上。
溝渠130沿PR剝離腔110的底邊緣形成且從PR剝離腔110的底表面朝向底邊緣向下傾斜。溝渠130還朝向回收孔131向下傾斜從而PR剝離劑可以容易地回收在PR剝離劑回收管200中。
也就是說(shuō)，在從噴嘴510噴灑到目標(biāo)基板10上的PR剝離劑除去形成在目標(biāo)基板10上的PR圖案(未示出)之后，PR剝離劑分散到PR剝離腔110的底部上且然后沿PR剝離腔110底部的斜面收集在溝渠130中。收集在溝渠130中的PR剝離劑沿溝渠130的傾斜方向流向回收孔131且然后回收在PR剝離劑回收管200中。本發(fā)明當(dāng)前實(shí)施方式的其它組元可參見(jiàn)根據(jù)圖1所示的實(shí)施方式的對(duì)應(yīng)組元。當(dāng)然，本發(fā)明當(dāng)前實(shí)施方式的其它組元還可以參見(jiàn)圖2-5C所示的實(shí)施方式的對(duì)應(yīng)組元的組合。
下文中，將參照?qǐng)D7描述根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的PR剝離裝置。
圖7是結(jié)構(gòu)視圖，示出根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的PR剝離裝置601。
參見(jiàn)圖7，PR剝離裝置601包括連接地安裝在PR剝離劑回收管200處的第一存儲(chǔ)槽250和連接地安裝在PR剝離劑出口管500處的第二存儲(chǔ)槽550。
第一存儲(chǔ)槽250以適當(dāng)水平存儲(chǔ)從PR剝離槽100返回的PR剝離劑，且當(dāng)需要時(shí)向第一過(guò)濾器單元F1和/或第二過(guò)濾器單元F2釋放PR剝離劑。因此，開(kāi)關(guān)閥251還可安裝在第一存儲(chǔ)槽250的出口處。第二存儲(chǔ)槽550存儲(chǔ)已經(jīng)通過(guò)第一過(guò)濾器單元F1和/或第二過(guò)濾器單元F2過(guò)濾的PR剝離劑且然后將PR剝離劑供給到PR剝離劑供給管500中。當(dāng)進(jìn)行PR剝離工藝時(shí)，第二存儲(chǔ)槽550向PR剝離槽100提供所存儲(chǔ)的PR剝離劑。因此，開(kāi)關(guān)閥551還可安裝在第二存儲(chǔ)槽550的出口處。待過(guò)濾的PR剝離劑的量和PR剝離槽100中將要噴灑的PR剝離劑的量可以通過(guò)第一和第二存儲(chǔ)槽250和550來(lái)調(diào)節(jié)。
下文中，將參照?qǐng)D8描述根據(jù)本發(fā)明的上述實(shí)施例使用PR剝離裝置再循環(huán)PR剝離劑的方法，圖8示出根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例使用圖1至7所示的PR剝離裝置再循環(huán)PR剝離劑的方法的流程圖。
首先參見(jiàn)圖8，彼此并聯(lián)連接在PR剝離劑回收管和PR剝離劑供給管之間的兩個(gè)或更多過(guò)濾器單元中的至少一個(gè)例如第一過(guò)濾器單元打開(kāi)，其他的過(guò)濾器單元例如第二過(guò)濾器單元關(guān)閉(S11)。這里，第一過(guò)濾器單元的打開(kāi)和其他過(guò)濾器單元的關(guān)閉可以通過(guò)各開(kāi)關(guān)閥的開(kāi)關(guān)切換操作來(lái)實(shí)現(xiàn)。
然后，已經(jīng)在PR剝離工藝中使用的PR剝離劑被回收(S12)。PR剝離工藝在PR剝離槽中進(jìn)行，已經(jīng)在PR剝離工藝中使用的PR剝離劑通過(guò)連接到PR剝離槽的PR剝離劑回收管被回收。
然后，測(cè)量流向第一過(guò)濾器單元的PR剝離劑的壓力。PR剝離劑的壓力可以使用設(shè)置在第一過(guò)濾器單元之前的壓力計(jì)來(lái)測(cè)量。
如果PR剝離劑的壓力小于預(yù)定壓力水平，那么第一過(guò)濾器單元保持打開(kāi)以接收和過(guò)濾PR剝離劑(S3)。PR剝離劑流入第一過(guò)濾器單元可以使用增壓器件實(shí)現(xiàn)。
然后，被過(guò)濾的PR剝離劑被再循環(huán)以用于PR剝離工藝(S4)。也就是說(shuō)，過(guò)濾的PR剝離劑通過(guò)連接到PR剝離劑供給管的噴嘴噴灑在PR剝離槽中以進(jìn)行PR剝離工藝。
另一方面，如果PR剝離劑的壓力超過(guò)預(yù)定壓力水平，那么第一過(guò)濾器單元關(guān)閉且兩個(gè)或更多過(guò)濾器單元中的第二過(guò)濾器單元打開(kāi)(S21)。
然后，已經(jīng)在PR剝離工藝中被使用的PR剝離劑被回收(S22)。
然后，流向第二過(guò)濾器單元的PR剝離劑的壓力被測(cè)量。如果流向第二過(guò)濾器單元的PR剝離劑的壓力小于預(yù)定壓力水平，則允許PR剝離劑流入第二過(guò)濾器單元且然后在第二過(guò)濾器單元中過(guò)濾，被過(guò)濾的PR剝離劑被再循環(huán)以用于PR剝離工藝(S3、S4)。如果流向第二過(guò)濾器單元的PR剝離劑的壓力超過(guò)預(yù)定壓力水平，則工藝路線返回到操作S11且重復(fù)前述工藝。
同時(shí)，當(dāng)PR剝離劑的壓力超過(guò)預(yù)定壓力水平時(shí)，已經(jīng)關(guān)閉的第一或第二過(guò)濾器單元可以用新的過(guò)濾器替換。當(dāng)?shù)谝缓偷诙^(guò)濾器單元的過(guò)濾器包括金屬網(wǎng)時(shí)，它們可以在清洗之后再次使用。因此，已經(jīng)在PR剝離工藝中用過(guò)的PR剝離劑可以被再循環(huán)而不需要用于過(guò)濾器替換的中斷時(shí)間。此外，過(guò)濾器的再使用可以降低工藝成本。
已經(jīng)考慮到在PR剝離劑提供到過(guò)濾器之前測(cè)量PR剝離劑的壓力舉例說(shuō)明了圖8所示的實(shí)施方式，但是已經(jīng)通過(guò)過(guò)濾器的PR剝離劑的壓力也可以被測(cè)量。已經(jīng)通過(guò)過(guò)濾器的PR剝離劑的壓力的測(cè)量可以從圖5B、5C和8所示的實(shí)施方式容易地理解，因此，將省略其說(shuō)明。
上述PR剝離裝置可以用在使用PR的光刻工藝中。下面，將參照?qǐng)D9-17描述根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式使用PR剝離裝置制造薄膜晶體管(TFT)陣列面板的方法。
圖9-17是順序的剖視圖，示出根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式制造薄膜晶體管陣列面板的方法。
首先，參見(jiàn)圖9，導(dǎo)電材料利用濺射等沉積在透明材料例如玻璃制成的絕緣基板710的整個(gè)表面上以形成柵極導(dǎo)電層720。然后，PR膜涂敷在柵極導(dǎo)電層720上，曝光，且然后顯影以形成PR圖案801。
接著，參見(jiàn)圖10和圖9，柵極導(dǎo)電層720使用PR圖案801作為蝕刻掩模被濕法蝕刻。然后，PR圖案801被剝離。此處，根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的PR剝離裝置可以被使用。這樣，完成柵電極721。
接著，參見(jiàn)圖11和圖10，氮化硅、氫化非晶硅、以及用n型雜質(zhì)重?fù)诫s的n+氫化非晶硅利用例如化學(xué)氣相沉積(CVD)順序沉積在圖10的所得結(jié)構(gòu)的整個(gè)表面上以形成柵絕緣層730、本征非晶硅層740、以及摻雜的非晶硅層750。然后，導(dǎo)電材料利用濺射等沉積在摻雜的非晶硅層750上以形成數(shù)據(jù)導(dǎo)電層760。然后，PR膜涂覆在數(shù)據(jù)導(dǎo)電層760上，曝光，且顯影從而形成PR圖案810。此處，PR圖案810包括與柵電極721交迭的溝道PR圖案812、以及數(shù)據(jù)PR圖案811，數(shù)據(jù)PR圖案811連接到溝道PR圖案812，比溝道PR圖案812厚，且定義源/漏電極。根據(jù)區(qū)域而具有不同厚度的PR圖案810可以利用縫隙掩模(slit mask)或含半透明膜的掩模來(lái)形成。
接著，參見(jiàn)圖12和圖11，數(shù)據(jù)導(dǎo)電層760使用PR圖案810作為蝕刻掩模被濕法蝕刻，然后摻雜的非晶硅層750和本征非晶硅層740被干法蝕刻。結(jié)果，完成了半導(dǎo)體層741、摻雜的非晶硅層圖案751、以及數(shù)據(jù)導(dǎo)電層圖案761。然后，所得結(jié)構(gòu)被回蝕刻以去除PR圖案810的溝道PR圖案812且暴露下面的數(shù)據(jù)導(dǎo)電層圖案761。
接著，參見(jiàn)圖13和圖12，數(shù)據(jù)導(dǎo)電層圖案761的暴露部分使用數(shù)據(jù)PR圖案811作為蝕刻掩模被濕法蝕刻，然后下面的摻雜非晶硅層圖案751被干法蝕刻。
接著，參見(jiàn)圖14和圖13，數(shù)據(jù)PR圖案811被剝離。此處，根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的PR剝離裝置可被使用。結(jié)果，完成了源電極765、漏電極766、以及下面的歐姆接觸層755和756。
接著，參見(jiàn)圖15和圖14，氮化硅利用例如CVD沉積在圖14的所得結(jié)構(gòu)上以形成鈍化層770。然后，PR膜涂敷在鈍化層770上，曝光，且顯影以形成第一PR圖案821和第二PR圖案822。此時(shí)，設(shè)置在TFT區(qū)域中的第一PR圖案821比設(shè)置在像素電極區(qū)域中的第二PR圖案822厚。部分漏電極766通過(guò)第一和第二PR圖案821和822暴露。具有不同厚度的第一和第二PR圖案821和822可以使用縫隙掩?；蚝邪胪该髂さ难谀?lái)形成。
接著，參見(jiàn)圖16和圖15，鈍化層770使用第一和第二PR圖案821和822作為蝕刻掩模被蝕刻以形成暴露漏電極766的接觸孔776。然后，所得結(jié)構(gòu)被全部回蝕刻以去除第二PR圖案822。
然后，透明導(dǎo)電材料利用濺射等沉積在所得結(jié)構(gòu)的整個(gè)表面上。
接著，參見(jiàn)圖17和圖16，PR剝離劑噴灑在圖16的所得結(jié)構(gòu)上以去除第一PR圖案821和頂離第一PR圖案821上的透明導(dǎo)電氧化物層781。結(jié)果，完成了如圖17所示的TFT陣列面板。此處，根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的PR剝離裝置被使用。此時(shí)，來(lái)自被去除的第一PR圖案821的PR溶解或漂浮在PR剝離劑中，來(lái)自頂離的透明導(dǎo)電氧化物層781的層材料漂浮在PR剝離劑中。PR剝離劑中的雜質(zhì)(即PR、透明導(dǎo)電氧化物層材料)通過(guò)PR剝離裝置的PR剝離劑回收管被回收且然后在過(guò)濾器單元中被濾除，如前所述。過(guò)濾的PR剝離劑可以被再循環(huán)以用于后續(xù)剝離工藝。此外，如上所述，即使當(dāng)由于重復(fù)過(guò)濾而需要更換過(guò)濾器時(shí)，因?yàn)槭褂昧藘蓚€(gè)或多個(gè)并聯(lián)連接的過(guò)濾器，所以可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)的(即交替的)過(guò)濾。此外，包括金屬網(wǎng)的過(guò)濾器的使用確保了過(guò)濾器的再使用。
因此，含有雜質(zhì)的PR剝離劑可以通過(guò)過(guò)濾器被過(guò)濾且再循環(huán)，即使當(dāng)過(guò)濾器由于重復(fù)過(guò)濾而被更換時(shí)，連續(xù)的過(guò)濾也是可以的，從而提高了工藝效率。此外，因?yàn)槭褂眠^(guò)的過(guò)濾器在物理或化學(xué)清洗之后可以被再使用而無(wú)需用新的更換它，所以可以降低工藝成本。
雖然已經(jīng)參照其示例性實(shí)施方式特別顯示和描述了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解，可以進(jìn)行形式和細(xì)節(jié)上的改變而不偏離所附權(quán)利要求定義的本發(fā)明的思想和范圍。因此，希望理解，本發(fā)明在各方面都是示例性的而不是限制性的，參照所附權(quán)利要求而不是前述說(shuō)明來(lái)表明本發(fā)明的范圍。
權(quán)利要求
1.一種光致抗蝕劑PR剝離裝置，包括PR剝離槽，其中設(shè)置具有PR圖案的基板且進(jìn)行所述PR圖案的剝離；PR剝離劑回收管，連接到所述剝離槽的出口用于從該P(yáng)R剝離槽接收PR剝離劑；多個(gè)過(guò)濾器單元，具有連接到該P(yáng)R剝離劑回收管的入口、和出口，所述多個(gè)過(guò)濾器單元用來(lái)過(guò)濾從該P(yáng)R剝離劑回收管接收的所述PR剝離劑；以及PR剝離劑供給管，連接到所述過(guò)濾器單元的所述出口用于接收過(guò)濾的PR剝離劑且將所述過(guò)濾的PR剝離劑供給到PR剝離槽的入口，其中所述多個(gè)過(guò)濾器單元并聯(lián)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的PR剝離裝置，其中所述多個(gè)過(guò)濾器單元中的至少一個(gè)包括至少一個(gè)過(guò)濾器，該過(guò)濾器包括金屬網(wǎng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的PR剝離裝置，其中該金屬網(wǎng)是不銹鋼網(wǎng)，且該不銹鋼網(wǎng)包括兩個(gè)或更多不銹鋼網(wǎng)的疊層。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的PR剝離裝置，其中通過(guò)該P(yáng)R剝離劑回收管返回的該P(yáng)R剝離劑含有從透明導(dǎo)電氧化物層得到的漂浮材料。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的PR剝離裝置，其中所述多個(gè)過(guò)濾器單元的每個(gè)還包括用于控制所述PR剝離劑的通過(guò)的開(kāi)關(guān)器件。
6.根據(jù)權(quán)利要求5的PR剝離裝置，其中所述多個(gè)過(guò)濾器單元中的至少一個(gè)包括第一壓力計(jì)用于在所述PR剝離劑經(jīng)過(guò)該過(guò)濾器之前或之后測(cè)量該P(yáng)R剝離劑的壓力。
7.根據(jù)權(quán)利要求1的PR剝離裝置，還包括增壓器件用于給流向所述多個(gè)過(guò)濾器單元的所述PR剝離劑增壓。
8.根據(jù)權(quán)利要求7的PR剝離裝置，其中該增壓器件是增壓泵，且該增壓泵設(shè)置在該P(yáng)R剝離劑回收管處。
9.根據(jù)權(quán)利要求1的PR剝離裝置，其中所述多個(gè)過(guò)濾器單元的每個(gè)包括彼此串聯(lián)連接的兩個(gè)或更多過(guò)濾器。
10.根據(jù)權(quán)利要求9的PR剝離裝置，其中所述兩個(gè)或更多過(guò)濾器具有不同的孔尺寸。
11.根據(jù)權(quán)利要求1的PR剝離裝置，還包括第一存儲(chǔ)槽，其連接到該P(yáng)R剝離劑回收管從而存儲(chǔ)所回收的PR剝離劑且將所回收的PR剝離劑供給到所述多個(gè)過(guò)濾器單元；以及第二存儲(chǔ)槽，其連接到該P(yáng)R剝離劑供給管從而存儲(chǔ)經(jīng)過(guò)所述兩個(gè)或更多過(guò)濾器單元的被過(guò)濾的PR剝離劑且將所述被過(guò)濾的PR剝離劑供給到所述PR剝離槽。
12.根據(jù)權(quán)利要求1的PR剝離裝置，還包括位于該P(yáng)R剝離槽中的噴嘴，其連接到該P(yáng)R剝離劑供給管且用來(lái)將過(guò)濾的PR剝離劑噴灑在所述基板上。
13.根據(jù)權(quán)利要求12的PR剝離裝置，其中該P(yáng)R剝離槽包括至少一個(gè)傳送輥用于移動(dòng)所述基板。
14.根據(jù)權(quán)利要求1的PR剝離裝置，其中具有所述PR圖案的所述基板的基底基板是透明絕緣基板。
15.一種再循環(huán)PR剝離劑的方法，該方法包括打開(kāi)彼此并聯(lián)連接在PR剝離劑回收管和PR剝離劑供給管之間的兩個(gè)或更多過(guò)濾器單元中的第一過(guò)濾器單元；通過(guò)該P(yáng)R剝離劑回收管回收已在PR剝離工藝中使用過(guò)的PR剝離劑；向該第一過(guò)濾器單元供給所回收的PR剝離劑且在該第一過(guò)濾器單元中過(guò)濾所回收的PR剝離劑；以及向所述PR剝離劑供給管供給所述被過(guò)濾的PR剝離劑從而所過(guò)濾的PR剝離劑被再循環(huán)，其中當(dāng)在所述過(guò)濾之前測(cè)量的所述回收的PR剝離劑的壓力超過(guò)第一預(yù)定壓力水平時(shí)或者當(dāng)在所述過(guò)濾之后測(cè)量的所述過(guò)濾的PR剝離劑的壓力小于第二預(yù)定壓力水平時(shí)，該第一過(guò)濾器單元的操作停止，且所述兩個(gè)或更多過(guò)濾器單元中的第二過(guò)濾器單元被用來(lái)過(guò)濾從所述PR剝離劑回收管接收的所述PR剝離劑。
16.根據(jù)權(quán)利要求15的方法，其中該第一過(guò)濾器單元的過(guò)濾器包括金屬網(wǎng)，且其中在關(guān)閉該第一過(guò)濾器單元之后，該第一過(guò)濾器單元的所述過(guò)濾器與該第一過(guò)濾器單元分離，被清洗，然后再安裝在該第一過(guò)濾器單元中。
17.一種制造薄膜晶體管陣列面板的方法，該方法包括使用權(quán)利要求1至14的PR剝離裝置噴灑PR剝離劑在絕緣面板上，以及再循環(huán)所述PR剝離劑。
全文摘要
本發(fā)明提供一種光致抗蝕劑PR剝離裝置，其可以再循環(huán)光致抗蝕劑剝離劑且在過(guò)濾器操作期間實(shí)現(xiàn)連續(xù)的過(guò)濾動(dòng)作。該P(yáng)R剝離裝置包括PR剝離槽，用于接收具有PR圖案的基板且用于該P(yáng)R圖案的剝離；PR剝離劑回收管，用于接收來(lái)自PR剝離槽的PR剝離劑；兩個(gè)或更多過(guò)濾器單元，用于過(guò)濾通過(guò)PR剝離劑回收管返回的PR剝離劑；以及PR剝離劑供給管，用于向PR剝離槽供給過(guò)濾的PR剝離劑。所述兩個(gè)或更多過(guò)濾器單元彼此并聯(lián)連接在PR剝離劑回收管和PR剝離劑供給管之間。
文檔編號(hào)G03F7/42GK101051190SQ20071008984
公開(kāi)日2007年10月10日 申請(qǐng)日期2007年4月5日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月5日
發(fā)明者樸弘植, 鄭鐘鉉, 洪瑄英, 金俸均, 申原碩, 李炳珍 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社