專(zhuān)利名稱(chēng)：感光性樹(shù)脂組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及感光性樹(shù)脂組合物，更詳細(xì)地說(shuō)，本發(fā)明涉及下述的感光性樹(shù)脂組合物，該感光性樹(shù)脂組合物的靈敏度、絕緣性等各種性能優(yōu)異，特別是具有優(yōu)異的耐熱性，因而可以增加后工序中的可靠性和壽命；此外，可以利用本發(fā)明所涉及的一種感光性樹(shù)脂組合物同時(shí)形成絕緣體(insulator)和隔離體(separator)這2種方式的圖案，可以縮短工序時(shí)間，同時(shí)還顯著地提高面板(panel)上的開(kāi)口率，使其適用于PM-OLED、AM-OLED、AM-LCD、PDP基板的制造工序。
背景技術(shù)：
最近，PM-OLED制造工序中，為了擴(kuò)大面板尺寸(panel size)而要求較高的分辨率，因此需要更多的線電極(line electrode)數(shù)，但是隨之的開(kāi)口率的減少成為問(wèn)題。因此，要求解決用于改善該問(wèn)題的材料。
此外，在AM-OLED、AM-LCD、PDP基板等其它的顯示器(display)制造工序中也一直要求能夠縮短工序時(shí)間的用于得到優(yōu)異的開(kāi)口率的光致抗蝕劑(photoresist)和工序的開(kāi)發(fā)。
以往的PM-OLED制造工序中所使用的絕緣體含有PAC、粘合劑、溶劑等成分，作為上述粘合劑主要使用丙烯酸類(lèi)，此外作為隔離體，使用含有PAG、酚醛樹(shù)脂(novolac resin)、交聯(lián)劑、溶劑等成分的負(fù)性光致抗蝕劑(negative photoresist)。
但是，以往在形成絕緣體和隔離體時(shí)，由于2種物質(zhì)具有相互不同的特性，因而必須以2階段(2-step)來(lái)進(jìn)行工序。因此，由此導(dǎo)致工序時(shí)間較長(zhǎng)。此外，在絕緣體上進(jìn)行隔離體排列(separator Align)時(shí)，為了確保排列寬度(Align Margin)，而有可能導(dǎo)致開(kāi)口率減少的問(wèn)題。
由此，最近正在進(jìn)行可以同時(shí)形成絕緣體和隔離體并增大開(kāi)口率的研究，雖然已開(kāi)發(fā)出了使用酚醛樹(shù)脂的光致抗蝕劑，但是此時(shí)存在耐熱性降低的問(wèn)題。如此，材料的耐熱性降低時(shí)，難以適用于OLED制造工序中的高溫工序，因此，在后工序中，有可能在確保可靠性和壽命方面出現(xiàn)問(wèn)題。
因此，目前的實(shí)際情況是，為了能夠縮短適用于PM-OLED制造工序的絕緣體和隔離體形成工序的工序時(shí)間、確保優(yōu)異的開(kāi)口率、確保后工序中的可靠性和壽命等，必須進(jìn)行進(jìn)一步的研究。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題而提出的，其目的在于，提供一種感光性樹(shù)脂組合物、含有該感光性樹(shù)脂組合物的固化物的顯示器、和利用了上述感光性樹(shù)脂組合物的顯示器的圖案的形成方法；所述感光性樹(shù)脂組合物由于靈敏度、絕緣性等各種性能優(yōu)異，特別是具有優(yōu)異的耐熱性，因而可以增加后工序中的可靠性和壽命。
本發(fā)明的其它目的在于，提供一種感光性樹(shù)脂組合物、含有該感光性樹(shù)脂組合物的固化物的顯示器、和利用了該感光性樹(shù)脂組合物的顯示器的圖案的形成方法；對(duì)于所述感光性樹(shù)脂組合物來(lái)說(shuō)，可利用其中的一種感光性樹(shù)脂組合物同時(shí)形成絕緣體和隔離體這2種方式的圖案，可以縮短工序時(shí)間，而且同時(shí)還顯著地提高面板上的開(kāi)口率，使其適用于PM-OLED、AM-OLED、AM-LCD、PDP基板的制造工序。
為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種感光性樹(shù)脂組合物，該感光性樹(shù)脂組合物的特征在于，其含有a)下述化學(xué)式1所示的多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂、b)1，2-二疊氮醌化合物、c)光酸發(fā)生劑、d)下述化學(xué)式2所示的三聚氰胺交聯(lián)劑、和e)溶劑， 上述化學(xué)式1中，a、b表示各單體間的摩爾比(mole ratio)，a為1～10，b為0～9，并且a+b＝10；[化學(xué)式2] 上述化學(xué)式2中，R1～R3各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)為1～4的烷基，R4～R6各自獨(dú)立地表示氫基或碳原子數(shù)為1～4的烷基。
優(yōu)選本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物含有100重量份的a)上述化學(xué)式1所示的多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂、5重量份～50重量份的b)1，2-二疊氮醌化合物、1重量份～20重量份的c)光酸發(fā)生劑、1重量份～30重量份的d)上述化學(xué)式2所示的三聚氰胺交聯(lián)劑、和使感光性樹(shù)脂組合物內(nèi)的全部固體成分含量為10重量％～50重量％的e)溶劑。
此外，本發(fā)明提供一種顯示器，該顯示器的特征在于，其含有上述感光性樹(shù)脂組合物的固化物。
此外，本發(fā)明提供一種顯示器的圖案形成方法，該方法利用了上述的感光性樹(shù)脂組合物。
本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物的靈敏度、絕緣性等各種性能優(yōu)異，特別是具有優(yōu)異的耐熱性，可以增加后工序中的可靠性和壽命。此外，可以利用本發(fā)明中的一種感光性樹(shù)脂組合物同時(shí)形成絕緣體和隔離體這2種方式的圖案，可以縮短工序時(shí)間，同時(shí)顯著地提高面板上的開(kāi)口率，使其可以適用于PM-OLED、AM-OLED、AM-LCD、PDP基板的制造工序。


圖1簡(jiǎn)要說(shuō)明了在本發(fā)明的實(shí)施例和比較例中采用1階段工序形成絕緣體和隔離體時(shí)對(duì)正向靈敏度進(jìn)行測(cè)定的方法。
圖2簡(jiǎn)要說(shuō)明了在本發(fā)明的實(shí)施例和比較例中采用1階段工序形成絕緣體和隔離體時(shí)對(duì)負(fù)向靈敏度進(jìn)行測(cè)定的方法。
圖3簡(jiǎn)要說(shuō)明了在本發(fā)明的實(shí)施例和比較例中采用1階段工序形成絕緣體和隔離體時(shí)對(duì)整片曝光(flood exposure)的靈敏度進(jìn)行測(cè)定的方法。
圖4是在本發(fā)明的實(shí)施例和比較例中采用1階段工序形成絕緣體和隔離體時(shí)的正型和負(fù)型的最終截面。
具體實(shí)施例方式
下文對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。
本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物的特征在于，其含有a)上述化學(xué)式1所示的多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂；b)1，2-二疊氮醌化合物；c)光酸發(fā)生劑；d)上述化學(xué)式2所示的三聚氰胺交聯(lián)劑；和e)溶劑。
本發(fā)明中，所使用的上述a)上述化學(xué)式1所示的多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂為負(fù)型(negative type)時(shí)，在交聯(lián)結(jié)合體的存在下形成交聯(lián)鍵合而對(duì)于堿性顯影液是不溶性的，在交聯(lián)鍵合之前對(duì)于堿性顯影液是可溶性的，可以形成圖案。此外，為正型(positive type)時(shí)，通過(guò)1，2-二疊氮醌化合物的存在，對(duì)于堿性顯影液是不溶性的，在曝光后，對(duì)于堿性顯影液是可溶性的，可以形成圖案。
上述化學(xué)式1所示的多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂優(yōu)選以自由基聚合進(jìn)行制造，此外也可以通過(guò)陰離子聚合等通常的方法進(jìn)行共聚物的制造。
具體地說(shuō)，通過(guò)自由基聚合方法制造上述化學(xué)式1所示的多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂時(shí)，可以使乙酰氧基苯乙烯和苯乙烯在溶劑和聚合引發(fā)劑的存在下進(jìn)行自由基聚合，并進(jìn)行沉淀和過(guò)濾，通過(guò)真空干燥(vacuum drying)工序除去未反應(yīng)單體后，溶解于甲醇中制成樹(shù)脂溶液，在氨水和乙酸的存在下水解，再次進(jìn)行沉淀和過(guò)濾，通過(guò)真空干燥工序制造最終的多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂。
上述化學(xué)式1所示的多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂優(yōu)選聚苯乙烯換算重均分子量(Mw)為3000～30000，進(jìn)一步優(yōu)選為5000～20000。上述多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂的聚苯乙烯換算重均分子量小于3000時(shí)，對(duì)于正型，存在殘膜率降低的問(wèn)題，對(duì)于負(fù)型，存在感光速度(photospeed)降低的問(wèn)題；超過(guò)30000時(shí)，對(duì)于正型，存在感光速度降低的問(wèn)題；對(duì)于負(fù)型，存在可能產(chǎn)生膜渣(scum)的問(wèn)題。
本發(fā)明中，所使用的上述b)1，2-二疊氮醌化合物在感光性樹(shù)脂組合物內(nèi)用作感光性化合物。
上述1，2-二疊氮醌化合物可以使用1，2-二疊氮醌-4-磺酸酯、1，2-二疊氮醌-5-磺酸酯或1，2-二疊氮醌-6-磺酸酯等。
上述二疊氮醌化合物，可以使萘醌二疊氮磺酰鹵化物和酚化合物在弱堿下進(jìn)行反應(yīng)來(lái)制造。
作為上述酚化合物，可以使用2，3，4-三羥基二苯甲酮、2，4，6-三羥基二苯甲酮、2，2’-四羥基二苯甲酮、4，4’-四羥基二苯甲酮、2，3，4，3’-四羥基二苯甲酮、2，3，4，4’-四羥基二苯甲酮、2，3，4，2’-四羥基-4’-甲基二苯甲酮、2，3，4，4’-四羥基-3’-甲氧基二苯甲酮、2，3，4，2’-五羥基二苯甲酮、2，3，4，6’-五羥基二苯甲酮、2，4，6，3’-六羥基二苯甲酮、2，4，6，4’-六羥基二苯甲酮、2，4，6，5’-六羥基二苯甲酮、3，4，5，3’-六羥基二苯甲酮、3，4，5，4’-六羥基二苯甲酮、3，4，5，5’-六羥基二苯甲酮、二(2，4-二羥基苯基)甲烷、二(對(duì)羥基苯基)甲烷、三(對(duì)羥基苯基)甲烷、1，1，1-三(對(duì)羥基苯基)乙烷、二(2，3，4-三羥基苯基)甲烷、2，2-二(2，3，4-三羥基苯基)丙烷、1，1，3-三(2，5-二甲基-4-羥基苯基)-3-苯基丙烷、4，4’-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚或二(2，5-二甲基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷等，上述化合物可以單獨(dú)或混合至少2種使用。
用上述酚化合物和萘醌二疊氮磺酰鹵化物合成二疊氮醌化合物時(shí)，酯化度優(yōu)選為50％～90％。上述酯化度小于50％時(shí)，殘膜率有可能變差；超過(guò)90％時(shí)，存在在圖案上產(chǎn)生膜渣的問(wèn)題。
優(yōu)選上述1，2-二疊氮醌化合物的含量相對(duì)于100重量份的a)多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂為5重量份～50重量份，該含量進(jìn)一步優(yōu)選為10重量份～40重量份。其含量小于5重量份時(shí)，曝光部和非曝光部的溶解度差減小，難以形成圖案；超過(guò)50重量份時(shí)，照射光的時(shí)間較短時(shí)，殘留大量的未反應(yīng)1，2-二疊氮醌化合物，在顯影液的堿性水溶液中的溶解度過(guò)低，存在難以進(jìn)行顯影的問(wèn)題。
本發(fā)明中所使用的上述c)光酸發(fā)生劑發(fā)揮下述作用通過(guò)曝光或曝光后烘焙形成酸并使該酸擴(kuò)散，使得a)多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂和d)三聚氰胺類(lèi)交聯(lián)劑產(chǎn)生交聯(lián)反應(yīng)，形成圖案。
不言而喻地，上述光酸發(fā)生劑只要是通過(guò)光能夠產(chǎn)生酸的化合物即可，可以使用任意的化合物，優(yōu)選使用硫鎓鹽、碘鎓鹽等離子性光酸發(fā)生劑；磺?；氐淄轭?lèi)；N-磺酰氧基酰亞胺類(lèi)；二苯乙醇酮磺酸酯類(lèi)；硝基芐基磺酸酯類(lèi)；砜類(lèi)；乙二肟類(lèi)；或三嗪類(lèi)等。
具體地說(shuō)，上述硫鎓鹽是锍陽(yáng)離子和磺酸酯(磺酸陰離子)的鹽，上述锍陽(yáng)離子有三苯酚锍、(4-叔丁氧基苯基)二苯基锍、二(4-叔丁氧基苯基)苯基锍、4-甲基苯基二苯基锍、三(4-甲基苯基锍)、4-叔丁基苯基二苯基锍、三(4-叔丁基苯基)锍、三(4-叔丁氧基苯基)锍、(3-叔丁氧基苯基)二苯基锍、二(3-叔丁氧基苯基)苯基锍、三(3-叔丁氧基苯基)锍、(3，4-二叔丁氧基苯基)二苯基锍、二(3，4-二叔丁氧基苯基)苯基锍、三(3，4-二叔丁氧基苯基)锍、二苯基(4-硫代苯氧基苯基)锍、(4-叔丁氧基羰基甲基氧代苯基)二苯基锍、三(4-叔丁氧基羰基甲基氧代苯基)锍、(4-叔丁氧基苯基)二(4-二甲基氨基苯基)锍、三(4-二甲基氨基苯基)锍、2-萘基二苯基锍、二甲基-2-萘基锍、4-羥基苯基二甲基锍、4-甲氧基苯基二甲基锍、三甲基锍、二苯基甲基锍、甲基-2-氧代丙基苯基锍、2-氧代環(huán)己基甲基锍、三萘基锍或三芐基锍等，上述磺酸酯有三氟甲烷磺酸酯、九氟丁烷磺酸酯、十七氟辛烷磺酸酯、2，2，2-三氟乙烷磺酸酯、五氟苯磺酸酯、4-三氟甲基苯磺酸酯、4-氟苯磺酸酯、甲苯磺酸酯、苯磺酸酯、萘磺酸酯、樟腦磺酸酯(カンポスルホネ一ト)、辛烷磺酸酯、十二烷基苯磺酸酯、丁烷磺酸酯或甲烷磺酸酯等。
上述碘鎓鹽是碘鎓鹽陽(yáng)離子和磺酸酯(磺酸陰離子)的鹽，上述碘鎓鹽陽(yáng)離子有二苯基碘鎓鹽、二(4-叔丁基苯基)碘鎓鹽、4-叔丁氧基苯基碘鎓鹽或4-甲氧基苯基苯基碘鎓鹽等，上述磺酸酯有三氟甲烷磺酸酯、九氟丁烷磺酸酯、十七氟辛烷磺酸酯、2，2，2-三氟乙烷磺酸酯、五氟苯磺酸酯、4-三氟甲基苯磺酸酯、4-氟苯磺酸酯、甲苯磺酸酯、苯磺酸酯、萘磺酸酯、樟腦磺酸酯、辛烷磺酸酯、十二烷基苯磺酸酯、丁烷磺酸酯或甲烷磺酸酯等。
上述磺?；氐淄轭?lèi)光酸發(fā)生劑有二(乙基磺?；?重氮甲烷、二(1-甲基丙基磺?；?重氮甲烷、二(2-甲基丙基磺?；?重氮甲烷、二(1，1-二甲基乙基磺?；?重氮甲烷、二(環(huán)己基磺?；?重氮甲烷、二(全氟異丙基磺?；?重氮甲烷、二(苯基磺酰基)重氮甲烷、二(4-甲基苯基磺?；?重氮甲烷、二(2，4-二甲基苯基磺酰基)重氮甲烷、二(2-萘基磺酰基)重氮甲烷、4-甲基苯基磺?；郊柞；氐淄?、叔丁基羰基-4-甲基苯基磺?；氐淄?、2-萘基磺?；郊柞；氐淄?、4-甲基苯基磺酰基-2-萘甲?；氐淄?、甲基磺?；郊柞；氐淄榛蚴宥⊙趸驶?4-甲基苯基磺?；氐淄榈榷酋；氐淄楹突酋；驶氐淄?。
上述N-磺酰氧基酰亞胺類(lèi)光酸發(fā)生劑有琥珀酰亞胺、萘二酰亞胺、酞酰亞胺、環(huán)己基二酰亞胺、5-降冰片烯-2，3-二酰亞胺或7-氧雜雙環(huán)[2，2，1]-5-庚烯-2，3-二酰亞胺等酰亞胺骨架與三氟甲烷磺酸酯、九氟丁烷磺酸酯、十七氟辛烷磺酸酯、2，2，2-三氟乙烷磺酸酯、五氟苯磺酸酯、4-三氟甲基苯磺酸酯、4-氟苯磺酸酯、甲苯磺酸酯、苯磺酸酯、萘磺酸酯、樟腦磺酸酯、辛烷磺酸酯、十二烷基苯磺酸酯、丁烷磺酸酯或甲烷磺酸酯等相組合的化合物。
上述二苯乙醇酮磺酸酯類(lèi)光酸發(fā)生劑有二苯乙醇酮甲苯磺酸酯、二苯乙醇酮甲磺酸酯或二苯乙醇酮丁烷磺酸酯等。
上述硝基芐基磺酸酯類(lèi)光酸發(fā)生劑有2，4-二硝基芐基磺酸酯、2-硝基芐基磺酸酯或2，6-二硝基芐基磺酸酯等，上述磺酸酯有三氟甲烷磺酸酯、九氟丁烷磺酸酯、十七氟辛烷磺酸酯、2，2，2-三氟乙烷磺酸酯、五氟苯磺酸酯、4-三氟甲基苯磺酸酯、4-氟苯磺酸酯、甲苯磺酸酯、苯磺酸酯、萘磺酸酯、樟腦磺酸酯、辛烷磺酸酯、十二烷基苯磺酸酯、丁烷磺酸酯或甲烷磺酸酯等。此外，也可以使用芐基一側(cè)的硝基被取代成三氟甲基而得到的化合物。
上述砜類(lèi)光酸發(fā)生劑有二(苯基磺酰基)甲烷、二(4-甲基苯基磺酰基)甲烷、二(2-萘基磺?；?甲烷、2，2-二(苯基磺?；?丙烷、2，2-二(4-甲基苯基磺?；?丙烷、2，2-二(2-萘基磺?；?丙烷、2-甲基-2-(對(duì)甲苯磺?；?丙酮(丙酮，プロピオネノン)、2-(環(huán)己基羰基)-2-(對(duì)甲苯磺?；?丙烷或2，4-二甲基-2-(對(duì)甲苯磺?；?戊烷-3-酮等。
上述乙二肟類(lèi)光酸發(fā)生劑有二-鄰(對(duì)甲苯磺?；?-α-二甲基乙二肟、二-鄰(對(duì)甲苯磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-鄰(對(duì)甲苯磺?；?-α-二環(huán)己基乙二肟、二-鄰(對(duì)甲苯磺?；?-2，3-戊二酮乙二肟、二-鄰(對(duì)甲苯磺?；?-2-甲基-3，4-戊二酮乙二肟、二-鄰(正丁烷磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-鄰(正丁烷磺?；?-α-二甲基乙二肟、二-鄰(正丁烷磺酰基)-α-二環(huán)己基乙二肟、二-鄰(正丁烷磺酰基)-2，3-戊二酮乙二肟、二-鄰(正丁烷磺?；?-2-甲基-3，4-戊二酮乙二肟、二-鄰(甲烷磺?；?-α-二甲基乙二肟、二-鄰(三氟甲烷磺?；?-α-二甲基乙二肟、二-鄰(1，1，1-三氟乙烷磺?；?-α-二甲基乙二肟、二-鄰(叔丁烷磺?；?-α-二甲基乙二肟、二-鄰(全氟辛烷磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-鄰(環(huán)己基磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-鄰(苯磺?；?-α-二甲基乙二肟、二-鄰(對(duì)氟苯磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-鄰(對(duì)叔丁基苯磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-鄰(二甲苯磺酰基)-α-二甲基乙二肟或二-鄰(樟腦磺?；?-α-二甲基乙二肟(樟腦磺酰基，カンポスルホニル)等。
上述三嗪類(lèi)光酸發(fā)生劑有PDM-三嗪(PDM-Triazine)、WS-三嗪(WS-Triazine)、PDM-三嗪(PDM-Triazine)、二甲氧基-三嗪(Dimethoxy-Triazine)、MP-三嗪(MP-Triazine)、TFE-三嗪(TFE-Triazine)或TME-三嗪(TME-Triazine)(三和化學(xué))等。
上述光酸發(fā)生劑的含量相對(duì)于100重量份的a)多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂優(yōu)選為1重量份～20重量份，進(jìn)一步優(yōu)選為1重量份～10重量份。其含量小于1重量份時(shí)，存在感光速度降低的問(wèn)題，超過(guò)20重量份時(shí)，存在釋氣(outgassing)和保存穩(wěn)定性有可能降低的問(wèn)題。
本發(fā)明中所使用的上述d)上述化學(xué)式2所示的三聚氰胺交聯(lián)劑與a)多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂形成交聯(lián)結(jié)構(gòu)。
上述三聚氰胺交聯(lián)劑的含量相對(duì)于100重量份的a)多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂優(yōu)選為1重量份～30重量份，進(jìn)一步優(yōu)選為1重量份～20重量份。其含量小于1重量份時(shí)，對(duì)于負(fù)型，存在感光速度降低的問(wèn)題；超過(guò)30重量份時(shí)，存在保存穩(wěn)定性有可能降低的問(wèn)題。
本發(fā)明中所使用的上述e)溶劑發(fā)揮下述作用其使絕緣體和隔離體具有平坦性，并形成均一的圖案輪廓(pattern profile)而不會(huì)產(chǎn)生涂層不均一。
上述溶劑可以使用甲醇、乙醇、苯甲醇、己醇等烷醇類(lèi)；乙二醇甲基醚乙酸酯、乙二醇乙基醚乙酸酯等乙二醇烷基醚乙酸酯類(lèi)；乙二醇甲基醚丙酸酯、乙二醇乙基醚丙酸酯等乙二醇烷基醚丙酸酯類(lèi)；乙二醇甲基醚、乙二醇乙基醚等乙二醇單烷基醚類(lèi)；二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚等二乙二醇烷基醚類(lèi)；丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯等丙二醇烷基醚乙酸酯類(lèi)；丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙基醚丙酸酯、丙二醇丙基醚丙酸酯等丙二醇烷基醚丙酸酯類(lèi)；丙二醇甲基醚、丙二醇乙基醚、丙二醇丙基醚、丙二醇丁基醚等丙二醇單烷基醚類(lèi)；二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚等二丙二醇烷基醚類(lèi)；丁二醇單甲醚、丁二醇單乙醚等丁二醇單烷基醚類(lèi)；或二丁二醇二甲醚、二丁二醇二乙醚等二丁二醇烷基醚類(lèi)等。
優(yōu)選含有上述溶劑以使全部感光性樹(shù)脂組合物的固體成分的含量為10重量％～50重量％，進(jìn)一步優(yōu)選含有上述溶劑以使全部感光性樹(shù)脂組合物的固體成分的含量為10重量％～40重量％。上述全部組合物的固體成分含量小于10重量％時(shí)，涂層厚度變薄，存在涂層平滑性降低的問(wèn)題；超過(guò)50重量％時(shí)，涂層厚度變厚，進(jìn)行涂布時(shí)存在有可能不適于涂布裝備的問(wèn)題。
含有上述成分的本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物，根據(jù)需要可以進(jìn)一步追加含有f)表面活性劑。
上述表面活性劑發(fā)揮提高感光性樹(shù)脂組合物的涂布性或顯影性的作用。
上述表面活性劑可以使用聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、F171、F172、F173(商品名大日本油墨化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社)、FC430、FC431(商品名住友3M株式會(huì)社)或KP341(商品名信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社)等。
上述表面性劑的含量相對(duì)于100重量份的上述a)多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂優(yōu)選為0.0001重量份～2重量份，其含量在上述范圍內(nèi)時(shí)，在提高感光性組合物的涂布性或顯影性方面上進(jìn)一步優(yōu)異。
含有上述成分的本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物采用0.1μm～0.2μm的Millipore過(guò)濾器等過(guò)濾后使用為宜。
此外，本發(fā)明提供含有上述感光性樹(shù)脂組合物的固化物的顯示器(display)和利用上述感光性樹(shù)脂組合物的顯示器的圖案形成方法，本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物不僅可以單獨(dú)適用于PM-OLED中的絕緣體或柱狀間隔物(column spacer)，還可以單獨(dú)適用于AM-OLED、AM-LCD、和PDP基板中的絕緣體或柱狀間隔物。
具體地說(shuō)，本發(fā)明的PM-OLED基板中的圖案形成方法是使用上述感光性樹(shù)脂組合物同時(shí)形成絕緣體和隔離體從而形成PM-OLED基板的圖案的方法，該方法的特征在于，其使用上述感光性樹(shù)脂組合物。
作為更具體的例子，利用上述感光性樹(shù)脂組合物形成PM-OLED基板的圖案的方法如下所述。
首先，通過(guò)噴涂法、輥涂法、旋涂法等將本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物涂布于基板表面，通過(guò)前烘除去溶劑，形成涂布膜。此時(shí)，上述前烘優(yōu)選在80℃～120℃的溫度下實(shí)施1分鐘～15分鐘。
然后，將可見(jiàn)光線、紫外線、遠(yuǎn)紫外線、電子線、X線等通過(guò)預(yù)先準(zhǔn)備的圖案照射于上述形成的涂布膜，根據(jù)需要實(shí)施曝光后烘烤(PEB)和整片曝光(Flood Exposure)后，用顯影液顯影，除去不需要的部分，由此形成所規(guī)定的圖案。
上述顯影液使用堿水溶液為宜，具體地說(shuō)，可以使用氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鉀等無(wú)機(jī)堿類(lèi)；乙胺、正丙胺等伯胺類(lèi)；二乙胺、二正丙胺等仲胺類(lèi)；三甲基胺、甲基二乙基胺、二甲基乙基胺、三乙基胺等叔胺類(lèi)；二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺、三乙醇胺等烷醇胺類(lèi)；或四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨等季銨鹽的水溶液等。此時(shí)，上述顯影液使用以0.1重量％～10重量％的濃度溶解的堿性化合物的溶液，也可以適當(dāng)添加諸如甲醇、乙醇等水溶性有機(jī)溶劑和表面活性劑。
此外，用上述顯影液顯影后，用超純水洗滌30秒～90秒除去不需要的部分，進(jìn)行干燥形成圖案，通過(guò)烤箱等加熱裝置在130℃～250℃的溫度下對(duì)圖案進(jìn)行加熱處理30分鐘～90分鐘，可以得到最終圖案。
基于本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物的優(yōu)點(diǎn)在于，其靈敏度、絕緣性等各種性能優(yōu)異，特別是具有優(yōu)異的耐熱性，因而可以增加后工序中的可靠性和壽命。此外，可以利用本發(fā)明所涉及的一種感光性樹(shù)脂組合物同時(shí)形成絕緣體和隔離體這2種方式的圖案，可以縮短工序時(shí)間，同時(shí)顯著地提高面板上的開(kāi)口率，使其可適用于PM-OLED、AM-OLED、AM-LCD、PDP基板的制造工序。
下面，為了有助于本發(fā)明的理解，示出優(yōu)選的實(shí)施例，但下述的實(shí)施例只不過(guò)是本發(fā)明的例子，本發(fā)明的范圍不限于下述的實(shí)施例。
實(shí)施例1(多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂的制造)在具有冷卻管和頂置式攪拌機(jī)的燒瓶中，加入6重量份AIBN、400重量份四羥基呋喃、80重量份乙酰氧基苯乙烯和20重量份苯乙烯，進(jìn)行氮?dú)庵脫Q后緩慢攪拌。將上述反應(yīng)溶液升溫至65℃，在該溫度維持28小時(shí)并同時(shí)制造含有乙酰氧基苯乙烯和苯乙烯共聚物的聚合物溶液。
然后，為了除去上述制造的含有乙酰氧基苯乙烯和苯乙烯共聚物的聚合物溶液中的未反應(yīng)單體，以5000重量份的正己烷(hexane)作為相對(duì)于聚合物的不良溶劑(poor solvent)來(lái)沉淀500重量份的上述聚合物溶液。然后以利用篩網(wǎng)(mesh)的過(guò)濾(filtering)工序來(lái)除去溶解有未反應(yīng)物的不良溶劑。然后，在40℃進(jìn)行真空干燥，除去含有過(guò)濾工序之后殘留的未反應(yīng)單體的溶劑(solvent)，制造乙酰氧基苯乙烯和苯乙烯共聚物。
然后使上述乙酰氧基苯乙烯和苯乙烯共聚物溶解于甲醇中，制造20重量％的聚合物溶液，之后，相對(duì)于100重量份的上述20重量％的聚合物溶液，加入4.8重量份28重量％的NH3OH溶液和4.7重量份乙酸，于40℃攪拌8小時(shí)，進(jìn)行水解(hydrolysis)。然后，利用超純水作為不良溶劑進(jìn)行純化，于40℃真空干燥，制造出重均分子量為7000的多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂。此時(shí)，重均分子量是利用GPC測(cè)定的聚苯乙烯換算平均分子量。
(1，2-二疊氮醌化合物的制造)使1摩爾4，4’-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚和2摩爾1，2-萘醌二疊氮-5-磺酰氯化物進(jìn)行縮合反應(yīng)，制造4，4’-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚1，2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯。
(感光性樹(shù)脂組合物的制造)將100重量份上述制造的多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂、30重量份上述制造的4，4’-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚1，2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、3重量份作為光酸發(fā)生劑的三嗪類(lèi)TME-三嗪(TME-Triazine)和10重量份下述化學(xué)式3所示的三聚氰胺交聯(lián)劑混合。然后，將上述混合物溶解于丙二醇甲基醚乙酸酯中以使固體成分的含量為30重量％，隨后用0.2μm的Millipore過(guò)濾器過(guò)濾，制造感光性樹(shù)脂組合物。
實(shí)施例2除了使用90重量份乙酰氧基苯乙烯和10重量份苯乙烯來(lái)替代上述實(shí)施例1中制造多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂時(shí)作為單體的80重量份乙酰氧基苯乙烯和20重量份苯乙烯、并在水解時(shí)使用5.4重量份28重量％的NH3OH溶液和5.3重量份乙酸之外，實(shí)施與上述實(shí)施例1相同的方法來(lái)制造感光性樹(shù)脂組合物。
實(shí)施例3除了使用70重量份乙酰氧基苯乙烯和30重量份苯乙烯來(lái)替代上述實(shí)施例1中制造多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂時(shí)作為單體的80重量份乙酰氧基苯乙烯和20重量份苯乙烯、并在水解時(shí)使用4.2重量份28重量％的NH3OH溶液和4.1重量份乙酸之外，實(shí)施與上述實(shí)施例1相同的方法來(lái)制造感光性樹(shù)脂組合物。
實(shí)施例4除了使用100重量份的乙酰氧基苯乙烯來(lái)替代上述實(shí)施例1中制造多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂時(shí)作為單體的80重量份乙酰氧基苯乙烯和20重量份苯乙烯、并在水解時(shí)使用6.0重量份28重量％的NH3OH溶液和5.9重量份乙酸之外，實(shí)施與上述實(shí)施例1相同的方法來(lái)制造感光性樹(shù)脂組合物。
實(shí)施例5在上述實(shí)施例1中制造多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂時(shí)，使用5重量份的AIBN，除此之外，實(shí)施與上述實(shí)施例1相同的方法來(lái)制造感光性樹(shù)脂組合物。
實(shí)施例6在上述實(shí)施例1中制造多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂時(shí)，使用4重量份的AIBN，除此之外，實(shí)施與上述實(shí)施例1相同的方法來(lái)制造感光性樹(shù)脂組合物。
實(shí)施例7除了使用二(乙基磺?；?重氮甲烷來(lái)替代上述實(shí)施例1中制造感光性樹(shù)脂組合物時(shí)作為光酸發(fā)生劑的三嗪類(lèi)TME-三嗪之外，實(shí)施與上述實(shí)施例1相同的方法來(lái)制造感光性樹(shù)脂組合物。
實(shí)施例8除了使用硝基芐基磺酸酯類(lèi)2，4-二硝基芐基磺酸酯來(lái)替代上述實(shí)施例1中制造感光性樹(shù)脂組合物時(shí)作為光酸發(fā)生劑的三嗪類(lèi)TME-三嗪之外，實(shí)施與上述實(shí)施例1相同的方法來(lái)制造感光性樹(shù)脂組合物。
比較例1(酚醛樹(shù)脂的制造)將45g間甲酚、55g對(duì)甲酚、65g甲醛和0.5g草酸加入至頂置式攪拌機(jī)中進(jìn)行攪拌，以制造均質(zhì)混合物。于95℃加熱上述均質(zhì)混合物，在該溫度維持4小時(shí)。將回流冷凝器換為蒸餾裝置，使均質(zhì)混合物在溫度為110℃蒸餾2小時(shí)。于180℃真空蒸餾2小時(shí)以蒸餾除去殘留單體，于室溫下將熔融的酚醛樹(shù)脂冷卻。然后，用GPC測(cè)定重均分子量，獲得重均分子量為3500的酚醛樹(shù)脂。此時(shí)，重均分子量是使用GPC測(cè)定的聚苯乙烯換算平均分子量。
(感光性樹(shù)脂組合物的制造)除了使用上述制造的酚醛樹(shù)脂來(lái)替代上述實(shí)施例1中的多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂之外，實(shí)施與上述實(shí)施例1相同的方法來(lái)制造感光性樹(shù)脂組合物。
比較例2(酚醛樹(shù)脂的制造)在上述比較例1中，使用100g的甲醛，于95℃加熱反應(yīng)混合物，并在該溫度維持6小時(shí)，除此之外，實(shí)施與上述實(shí)施例1相同的方法來(lái)制造重均分子量為7000的酚醛樹(shù)脂。
(感光性樹(shù)脂組合物的制造)除了使用上述制造的酚醛樹(shù)脂來(lái)替代上述實(shí)施例1中的多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂之外，實(shí)施與上述實(shí)施例1相同的方法來(lái)制造感光性樹(shù)脂組合物。
比較例3除了使用下述化學(xué)式4所示的聚酰亞胺類(lèi)樹(shù)脂來(lái)替代上述實(shí)施例1中制造感光性樹(shù)脂組合物時(shí)的多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂之外，實(shí)施與上述實(shí)施例1相同的方法來(lái)制造感光性樹(shù)脂組合物。
比較例4-1(正型)除了使用上述化學(xué)式4所示的聚酰亞胺類(lèi)樹(shù)脂來(lái)替代上述實(shí)施例1中制造感光性樹(shù)脂組合物時(shí)的多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂、并且不使用光酸發(fā)生劑和三聚氰胺交聯(lián)劑之外，實(shí)施與上述實(shí)施例1相同的方法來(lái)制造正型感光性樹(shù)脂組合物。
比較例4-2(負(fù)型)除了使用由上述比較例2制造的酚醛樹(shù)脂來(lái)替代上述實(shí)施例1中制造感光性樹(shù)脂組合物時(shí)的多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂、并且不使用4，4’-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚1，2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯以外，實(shí)施與上述實(shí)施例1相同的方法來(lái)制造負(fù)型感光性樹(shù)脂組合物。
利用由上述實(shí)施例1～8和比較例1～3制造的感光性樹(shù)脂組合物采用下述1階段工序的方法形成膜，利用由比較例4制造的感光性樹(shù)脂組合物采用下述2階段工序的方法形成膜，以下述方法測(cè)定所得到的膜的耐熱性、開(kāi)口率和絕緣性，其結(jié)果如下述表1所示。
1)1階段工序(1)正向靈敏度-使用旋涂機(jī)將由上述實(shí)施例1～8和比較例1～3制造的感光性樹(shù)脂組合物涂布于ITO蒸鍍的370mm×470mm玻璃(glass)基板上后，于110℃在加熱板上前烘2分鐘，形成厚度為6.0μm的膜。將435nm的強(qiáng)度為20mW/cm2的紫外線以50μm離析圖案(Isolate Pattern)CD基準(zhǔn)清除照射劑量(Dose to clear)通過(guò)規(guī)定的圖案掩模(pattern mask)照射至上述形成的膜，然后用2.38重量％的四甲基氫氧化銨水溶液于23℃顯影90秒，之后用超純水洗滌1分鐘，得到厚度為5.0μm的圖案膜(圖1)。圖1中黑色所示的部分表示掩模，梯形形狀表示顯影后的感光性樹(shù)脂。
(2)負(fù)向靈敏度-將435nm的強(qiáng)度為20mW/cm2的紫外線以25μm離析圖案CD基準(zhǔn)照射量(Dose)通過(guò)規(guī)定的圖案掩模照射至上述(1)形成的膜，于110℃在加熱板上曝光90秒后，進(jìn)行曝光后烘烤(PEB)(圖2)。圖2中，黑色所示的部分表示2個(gè)掩模，梯形內(nèi)的斜線所示的黑色部分表示在PEB工序后產(chǎn)生交聯(lián)的部分，白色部分表示在PEB工序后即使進(jìn)行交聯(lián)后也未交聯(lián)的部分。
(3)整片曝光靈敏度-如圖3所示，在無(wú)掩模(Mask Free)狀態(tài)下，對(duì)整片照射使絕緣膜部殘存1.0μm的曝光量后，用2.38重量％的四甲基氫氧化銨水溶液于23℃顯影100秒后，用超純水洗滌1分鐘。
如上所述，通過(guò)(1)～(3)階段，獲得間隔壁部的厚度為4.0μm、絕緣膜部的厚度為1.0μm、正向的角度(Angle)θ1為40度～50度、負(fù)向的角度θ2為60度～70度的圖案膜(圖4)。
通過(guò)上述方法用1種感光性樹(shù)脂形成絕緣體和隔離體，與如下述2階段工序那樣用2種感光性樹(shù)脂形成絕緣體和隔離體相比，寬度(margin)更優(yōu)異。
2)2階段工序2階段工序中，不同時(shí)形成絕緣體和隔離體，因而必須經(jīng)過(guò)2次工序形成它們。此外，形成絕緣體后，為了確保隔離體的排列寬度，必須使絕緣體CD比1階段工序更大。
(1)絕緣體工序-首先，使用旋涂機(jī)將由上述比較例4-1制造的正型酰亞胺類(lèi)感光性樹(shù)脂組合物涂布于ITO蒸鍍的370mm×470mm玻璃(glass)基板上后，于110℃在加熱板上前烘2分鐘，形成厚度為1.5μm的膜。將435nm的強(qiáng)度為20mW/cm2的紫外線以60μm離析圖案CD基準(zhǔn)清除照射劑量通過(guò)規(guī)定的圖案掩模照射至上述形成的膜，然后用2.38重量％的四甲基氫氧化銨水溶液于23℃顯影90秒，之后用超純水洗滌1分鐘。隨后在烤箱中于230℃加熱60分鐘進(jìn)行固化，得到60μm CD和1.0μm厚度的最終圖案膜。
(2)隔離體工序-在由上述(1)的絕緣體形成工序中所形成的膜上，使用旋涂機(jī)涂布由上述比較例4-2制造的負(fù)型酚醛類(lèi)感光性樹(shù)脂組合物后，于110℃在加熱板上前烘2分鐘，形成厚度為5.0μm的膜。
在由上述(1)形成的60μm CD和1.0μm厚度的絕緣膜上排列規(guī)定的圖案掩模后，將435nm的強(qiáng)度為20mW/cm2的紫外線以離析圖案30μmCD基準(zhǔn)照射量進(jìn)行照射，然后于110℃在加熱板上曝光90秒，隨后進(jìn)行烘烤。然后用2.38重量％的四甲基氫氧化銨水溶液于23℃顯影60秒，用超純水洗滌1分鐘，獲得4.0μm的圖案膜。
3)耐熱性將通過(guò)上述1階段工序和2階段工序得到的各個(gè)圖案置于烤箱中于230℃加熱60分鐘進(jìn)行固化，得到最終圖案膜。
通常正型的角度θ1較低時(shí)有可能產(chǎn)生泄漏電流(Leakage Current)，負(fù)型的角度θ2較高時(shí)，在有機(jī)膜和金屬的蒸鍍時(shí)有可能成為問(wèn)題。因此，將正型的角度θ1為30度～50度、負(fù)型的角度θ2為60度～75度時(shí)的情況表示為○，將正型的角度θ1小于30度、負(fù)型的角度θ2為75度以上時(shí)的情況表示為×。
4)開(kāi)口率在制造OLED面板時(shí)，在ITO蒸鍍的370mm×470mm玻璃基板上形成絕緣體和隔離體時(shí)，將除去絕緣體和隔離體的ITO面積作為開(kāi)口率(％)進(jìn)行評(píng)價(jià)。
5)絕緣性制造具有通過(guò)上述1)～4)的工序形成的厚度為1.0μm且面積相當(dāng)于1mm2的絕緣膜的TFT元件，通過(guò)1-V曲線測(cè)定絕緣性。
通常對(duì)于PM-OLED，為了增大面板的尺寸，必須進(jìn)行高電壓驅(qū)動(dòng)，此時(shí)的絕緣性是很重要的。因此，將測(cè)得的絕緣擊穿電壓(Breakdown Voltage)為2MV/cm以上時(shí)和測(cè)得的泄漏電流密度(Leakage Current Density)小于10-9A/cm2時(shí)的情況表示為○，將測(cè)得的絕緣擊穿電壓(Breakdown Voltage)小于2MV/cm時(shí)和測(cè)得的泄漏電流密度(Leakage Current Density)為10-9A/cm2以上時(shí)的情況表示為×。


由上述表1可知，與比較例1～4相比，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例1～8制造的感光性樹(shù)脂組合物的耐熱性、開(kāi)口率和絕緣性都優(yōu)異，特別是與比較例1～4相比，可以確認(rèn)到耐熱性顯著優(yōu)異，因此將其應(yīng)用于OLED制造工序時(shí)，基于本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物能得到更優(yōu)異的結(jié)果。
與此相對(duì)地，比較例1～2的缺點(diǎn)在于，耐熱性降低，在分離(separation)方面存在問(wèn)題，絕緣性變差，顯示器的壽命降低。此外，由上述表1可知，對(duì)于比較例3，不形成倒角(Reverse Angle)，對(duì)于比較例4，雖然在絕緣性方面無(wú)問(wèn)題，但是導(dǎo)致開(kāi)口率顯著降低，難以進(jìn)行顯示器的大型化。
以上只是對(duì)本發(fā)明記載的具體例子進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，但是對(duì)于所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，顯然可以在本發(fā)明的技術(shù)思想范圍內(nèi)進(jìn)行多種變形和修正，這種變形和修正也當(dāng)然包含在所附的專(zhuān)利權(quán)利要求的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種感光性樹(shù)脂組合物，該感光性樹(shù)脂組合物的特征在于，其含有a)下述化學(xué)式1所示的多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂、b)1，2-二疊氮醌化合物、c)光酸發(fā)生劑、d)下述化學(xué)式2所示的三聚氰胺交聯(lián)劑、和e)溶劑，[化學(xué)式1] 上述化學(xué)式1中，a、b表示各單體間的摩爾比，a為1～10，b為0～9，并且a+b＝10；[化學(xué)式2] 上述化學(xué)式2中，R1～R3各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)為1～4的烷基，R4～R6各自獨(dú)立地表示氫基或碳原子數(shù)為1～4的烷基。
2.如權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，該感光性樹(shù)脂組合物的特征在于，其含有100重量份的a)上述化學(xué)式1所示的多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂、5重量份～50重量份的b)1，2-二疊氮醌化合物、1重量份～20重量份的c)光酸發(fā)生劑、1重量份～30重量份的d)上述化學(xué)式2所示的三聚氰胺交聯(lián)劑、和使感光性樹(shù)脂組合物內(nèi)的全部固體成分含量為10重量％～50重量％的e)溶劑。
3.如權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，所述a)化學(xué)式1所示的多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂是通過(guò)自由基聚合方法進(jìn)行制造的。
4.如權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，所述a)化學(xué)式1所示的多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂是如下制造的使乙酰氧基苯乙烯和苯乙烯在溶劑和聚合引發(fā)劑的存在下進(jìn)行自由基聚合，并進(jìn)行沉淀和過(guò)濾，通過(guò)真空干燥工序除去未反應(yīng)單體后，溶解于甲醇中制成樹(shù)脂溶液，在氨水和乙酸的存在下水解，再次進(jìn)行沉淀和過(guò)濾，并進(jìn)行真空干燥工序，由此制得所述多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂。
5.如權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，所述a)化學(xué)式1所示的多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂的聚苯乙烯換算重均分子量Mw為3000～30000。
6.如權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，所述b)1，2-二疊氮醌化合物為選自由1，2-二疊氮醌-4-磺酸酯、1，2-二疊氮醌-5-磺酸酯和1，2-二疊氮醌-6-磺酸酯組成的組中的至少1種。
7.如權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，所述c)光酸發(fā)生劑為選自由硫鎓鹽、碘鎓鹽、磺酰基重氮甲烷類(lèi)光酸發(fā)生劑、N-磺酰氧基酰亞胺類(lèi)光酸發(fā)生劑、二苯乙醇酮磺酸酯類(lèi)光酸發(fā)生劑、硝基芐基磺酸酯類(lèi)光酸發(fā)生劑、砜類(lèi)光酸發(fā)生劑、乙二肟類(lèi)光酸發(fā)生劑和三嗪類(lèi)光酸發(fā)生劑組成的組中的至少1種。
8.如權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，所述c)光酸發(fā)生劑為選自由下述的硫鎓鹽、碘鎓鹽、磺?；氐淄轭?lèi)光酸發(fā)生劑、N-磺酰氧基酰亞胺類(lèi)光酸發(fā)生劑、二苯乙醇酮磺酸酯類(lèi)光酸發(fā)生劑、硝基芐基磺酸酯類(lèi)光酸發(fā)生劑、砜類(lèi)光酸發(fā)生劑、乙二肟類(lèi)光酸發(fā)生劑和三嗪類(lèi)光酸發(fā)生劑組成的組中的至少1種；所述硫鎓鹽是锍陽(yáng)離子和磺酸酯(磺酸陰離子)的鹽，所述锍陽(yáng)離子選自由三苯酚锍、(4-叔丁氧基苯基)二苯基锍、二(4-叔丁氧基苯基)苯基锍、4-甲基苯基二苯基锍、三(4-甲基苯基锍)、4-叔丁基苯基二苯基锍、三(4-叔丁基苯基)锍、三(4-叔丁氧基苯基)锍、(3-叔丁氧基苯基)二苯基锍、二(3-叔丁氧基苯基)苯基锍、三(3-叔丁氧基苯基)锍、(3，4-二叔丁氧基苯基)二苯基锍、二(3，4-二叔丁氧基苯基)苯基锍、三(3，4-二叔丁氧基苯基)锍、二苯基(4-硫代苯氧基苯基)锍、(4-叔丁氧基羰基甲基氧代苯基)二苯基锍、三(4-叔丁氧基羰基甲基氧代苯基)锍、(4-叔丁氧基苯基)二(4-二甲基氨基苯基)锍、三(4-二甲基氨基苯基)锍、2-萘基二苯基锍、二甲基-2-萘基锍、4-羥基苯基二甲基锍、4-甲氧基苯基二甲基锍、三甲基锍、二苯基甲基锍、甲基-2-氧代丙基苯基锍、2-氧代環(huán)己基甲基锍、三萘基锍和三芐基锍組成的組，所述磺酸酯(磺酸陰離子)選自由三氟甲烷磺酸酯、九氟丁烷磺酸酯、十七氟辛烷磺酸酯、2，2，2-三氟乙烷磺酸酯、五氟苯磺酸酯、4-三氟甲基苯磺酸酯、4-氟苯磺酸酯、甲苯磺酸酯、苯磺酸酯、萘磺酸酯、樟腦磺酸酯、辛烷磺酸酯、十二烷基苯磺酸酯、丁烷磺酸酯和甲烷磺酸酯組成的組；所述碘鎓鹽是碘鎓鹽陽(yáng)離子和磺酸酯(磺酸陰離子)的鹽，所述碘鎓鹽陽(yáng)離子選自由二苯基碘鎓鹽、二(4-叔丁基苯基)碘鎓鹽、4-叔丁氧基苯基碘鎓鹽和4-甲氧基苯基碘鎓鹽組成的組，所述磺酸酯(磺酸陰離子)選自由三氟甲烷磺酸酯、九氟丁烷磺酸酯、十七氟辛烷磺酸酯、2，2，2-三氟乙烷磺酸酯、五氟苯磺酸酯、4-三氟甲基苯磺酸酯、4-氟苯磺酸酯、甲苯磺酸酯、苯磺酸酯、萘磺酸酯、樟腦磺酸酯、辛烷磺酸酯、十二烷基苯磺酸酯、丁烷磺酸酯和甲烷磺酸酯組成的組；所述磺?；氐淄轭?lèi)光酸發(fā)生劑選自由二(乙基磺酰基)重氮甲烷、二(1-甲基丙基磺?；?重氮甲烷、二(2-甲基丙基磺?；?重氮甲烷、二(1，1-二甲基乙基磺酰基)重氮甲烷、二(環(huán)己基磺酰基)重氮甲烷、二(全氟異丙基磺?；?重氮甲烷、二(苯基磺?；?重氮甲烷、二(4-甲基苯基磺?；?重氮甲烷、二(2，4-二甲基苯基磺酰基)重氮甲烷、二(2-萘基磺?；?重氮甲烷、4-甲基苯基磺酰基苯甲?；氐淄?、叔丁基羰基-4-甲基苯基磺?；氐淄椤?-萘基磺?；郊柞；氐淄?、4-甲基苯基磺?；?2-萘甲?；氐淄?、甲基磺?；郊柞；氐淄楹褪宥⊙趸驶?4-甲基苯基磺酰基重氮甲烷組成的組；所述N-磺酰氧基酰亞胺類(lèi)光酸發(fā)生劑選自由琥珀酰亞胺、萘二酰亞胺、酞酰亞胺、環(huán)己基二酰亞胺、5-降冰片烯-2，3-二酰亞胺、7-氧雜雙環(huán)[2，2，1]-5-庚烯-2，3-二酰亞胺、三氟甲烷磺酸酯、九氟丁烷磺酸酯、十七氟辛烷磺酸酯、2，2，2-三氟乙烷磺酸酯、五氟苯磺酸酯、4-三氟甲基苯磺酸酯、4-氟苯磺酸酯、甲苯磺酸酯、苯磺酸酯、萘磺酸酯、樟腦磺酸酯、辛烷磺酸酯、十二烷基苯磺酸酯、丁烷磺酸酯和甲烷磺酸酯組成的組；所述二苯乙醇酮磺酸酯類(lèi)光酸發(fā)生劑選自由二苯乙醇酮甲苯磺酸酯、二苯乙醇酮甲磺酸酯和二苯乙醇酮丁烷磺酸酯組成的組；所述硝基芐基磺酸酯類(lèi)光酸發(fā)生劑選自由2，4-二硝基芐基磺酸酯、2-硝基芐基磺酸酯、2，6-二硝基芐基磺酸酯以及上述物質(zhì)的芐基一側(cè)的硝基被取代成三氟甲基而得到的化合物所組成的組，上述物質(zhì)中，作為磺酸酯為三氟甲烷磺酸酯、九氟丁烷磺酸酯、十七氟辛烷磺酸酯、2，2，2-三氟乙烷磺酸酯、五氟苯磺酸酯、4-三氟甲基苯磺酸酯、4-氟苯磺酸酯、甲苯磺酸酯、苯磺酸酯、萘磺酸酯、樟腦磺酸酯、辛烷磺酸酯、十二烷基苯磺酸酯、丁烷磺酸酯或甲烷磺酸酯；所述砜類(lèi)光酸發(fā)生劑為選自由二(苯基磺?；?甲烷、二(4-甲基苯基磺?；?甲烷、二(2-萘基磺?；?甲烷、2，2-二(苯基磺?；?丙烷、2，2-二(4-甲基苯基磺?；?丙烷、2，2-二(2-萘基磺?；?丙烷、2-甲基-2-(對(duì)甲苯磺?；?丙酮、2-(環(huán)己基羰基)-2-(對(duì)甲苯磺?；?丙烷和2，4-二甲基-2-(對(duì)甲苯磺?；?戊烷-3-酮組成的組中的至少1種；所述乙二肟類(lèi)光酸發(fā)生劑為選自由二-鄰(對(duì)甲苯磺?；?-α-二甲基乙二肟、二-鄰(對(duì)甲苯磺?；?-α-二甲基乙二肟、二-鄰(對(duì)甲苯磺?；?-α-二環(huán)己基乙二肟、二-鄰(對(duì)甲苯磺?；?-2，3-戊二酮乙二肟、二-鄰(對(duì)甲苯磺?；?-2-甲基-3，4-戊二酮乙二肟、二-鄰(正丁烷磺?；?-α-二甲基乙二肟、二-鄰(正丁烷磺?；?-α-二甲基乙二肟、二-鄰(正丁烷磺?；?-α-二環(huán)己基乙二肟、二-鄰(正丁烷磺?；?-2，3-戊二酮乙二肟、二-鄰(正丁烷磺?；?-2-甲基-3，4-戊二酮乙二肟、二-鄰(甲烷磺?；?-α-二甲基乙二肟、二-鄰(三氟甲烷磺?；?-α-二甲基乙二肟、二-鄰(1，1，1-三氟乙烷磺?；?-α-二甲基乙二肟、二-鄰(叔丁烷磺?；?-α-二甲基乙二肟、二-鄰(全氟辛烷磺?；?-α-二甲基乙二肟、二-鄰(環(huán)己基磺?；?-α-二甲基乙二肟、二-鄰(苯磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-鄰(對(duì)氟苯磺?；?-α-二甲基乙二肟、二-鄰(對(duì)叔丁基苯磺?；?-α-二甲基乙二肟、二-鄰(二甲苯磺酰基)-α-二甲基乙二肟和二-鄰(樟腦磺?；?-α-二甲基乙二肟組成的組中的至少1種；所述三嗪類(lèi)光酸發(fā)生劑為選自由PDM-三嗪、WS-三嗪、PDM-三嗪、二甲氧基-三嗪、MP-三嗪、TFE-三嗪和TME-三嗪組成的組中的至少1種。
9.如權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，所述e)溶劑為選自由甲醇、乙醇、苯甲醇、己醇、乙二醇甲基醚乙酸酯、乙二醇乙基醚乙酸酯、乙二醇甲基醚丙酸酯、乙二醇乙基醚丙酸酯、乙二醇甲基醚、乙二醇乙基醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯、丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙基醚丙酸酯、丙二醇丙基醚丙酸酯、丙二醇甲基醚、丙二醇乙基醚、丙二醇丙基醚、丙二醇丁基醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚、丁二醇單甲醚、丁二醇單乙醚、二丁二醇二甲醚和二丁二醇二乙醚組成的組中的至少1種。
10.一種顯示器，該顯示器的特征在于，其含有權(quán)利要求1～9任意一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物的固化物。
11.如權(quán)利要求10所述的顯示器，其特征在于，所述顯示器為PM-OLED、AM-OLED、AM-LCD或PDP基板。
12.一種顯示器的圖案形成方法，該形成方法利用了權(quán)利要求1～9任意一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物。
13.如權(quán)利要求12所述的顯示器的圖案形成方法，其特征在于，所述顯示器為PM-OLED、AM-OLED、AM-LCD或PDP基板。
全文摘要
本發(fā)明提供一種感光性樹(shù)脂組合物，該感光性樹(shù)脂組合物的靈敏度、絕緣性等各種性能優(yōu)異，特別是具有優(yōu)異的耐熱性，因而可以增加后工序中的可靠性和壽命；此外，可以利用本發(fā)明所涉及的一種感光性樹(shù)脂組合物同時(shí)形成絕緣體和隔離體這2種方式的圖案，可以縮短工序時(shí)間，同時(shí)還顯著地提高面板上的開(kāi)口率，使其適用于PM－OLED、AM－OLED、AM－LCD、PDP基板的制造工序。本發(fā)明所涉及的感光性樹(shù)脂組合物的特征在于，其含有a)多羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂、b)1，2－二疊氮醌化合物、c)光酸發(fā)生劑、d)三聚氰胺交聯(lián)劑、和e)溶劑。
文檔編號(hào)G03F7/004GK101034260SQ20071008607
公開(kāi)日2007年9月12日 申請(qǐng)日期2007年3月8日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月8日
發(fā)明者呂泰勳, 尹赫敏, 李浩真, 尹柱豹, 丘冀赫, 鄭義澈, 金東明, 崔相角, 申洪大, 李東赫, 金柄郁, 金成卓, 崔守延, 曺東鎬, 鄭大眾 申請(qǐng)人:東進(jìn)世美肯株式會(huì)社