專利名稱：：光阻去除反應(yīng)腔石英管的安裝方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及集成電路制造中光阻去除工藝設(shè)備，尤其涉及光阻去除反應(yīng)腔石英管的安裝方法。
背景技術(shù)：
：在集成電路制造中，蝕刻工藝完成后，需采用等離子體光阻去除工藝將殘留的光阻去除干凈，此方法系利用氧氣在等離子體中所產(chǎn)生只自由基(Radical)與光阻(高分子的有機(jī)物)發(fā)生作用，產(chǎn)生揮發(fā)性的氣體，再由真空泵抽走，達(dá)到光阻去除的目的。光阻去除設(shè)備石英管部位的結(jié)構(gòu)，如圖4所示，上"O"形密封圈2和下"O"形密封圈8正常使用壽命為一年，為滿足工藝條件的要求需定期更換，拆卸更換后再對(duì)各部件進(jìn)行組裝，目前安裝石英管組件采用純手工的方法，安裝步驟為①將石英管5置與護(hù)套4之內(nèi)，從石英管的上管口壓入上"O"形密封圈2;②蓋上石英管的上蓋1，用螺栓把石英管的上蓋1與石英管的護(hù)套4連接在一起，鎖緊螺栓壓緊"O"形密封圈，使石英管上蓋、石英管護(hù)套及石英管組合于一體；③從石英管的下管口壓入下"O"形密封圈8，將帶有上下"0"形密封圈的石英管及護(hù)套整體豎直放置于反應(yīng)室機(jī)臺(tái)上，同時(shí)使石英管的下管口嵌入反應(yīng)室的凹槽內(nèi)，并連接固定。需說明的是，雖然石英管5置與護(hù)套4之內(nèi)，相互之間為間隙配合可以滑動(dòng)，但安裝后，通過鎖緊螺栓壓緊上下兩"O"形密封圈，且會(huì)使兩"O"形密封圈產(chǎn)生一定的變形，從而死死抱緊石英管，使石英管在護(hù)套內(nèi)不能上下滑動(dòng)。石英管下管口的下方裝有格柵板9，通過螺栓10與反應(yīng)室蓋子相固定。石英管上蓋與石英管上管口之間的間隙Sl、石英管下管口與格柵板之間的間隙S2，顯然，上述安裝方法誤差較大，這二個(gè)間隙難以保證均勻，會(huì)出現(xiàn)Sl較小而S2較大，或出現(xiàn)Sl較大而S2較小。當(dāng)工藝系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)，反應(yīng)室的真空負(fù)壓會(huì)使石英管上蓋發(fā)生變形而擠壓石英管上管口，石英管下管口與格柵板也會(huì)發(fā)生壓迫；另外，應(yīng)工藝需要開啟反應(yīng)室蓋子時(shí)各部件之間的震動(dòng)也會(huì)使石英管管口受到碰擠；總之，間隙的不均勻，易造成圓筒狀石英管的上下管口邊沿受到不平衡擠壓而破裂，石英管的破裂發(fā)生率高達(dá)52.5%,—旦破損需重新更換，每次因破損而重新拆裝需花費(fèi)大約8hrs，同時(shí)石英管碎片會(huì)掉落至工藝產(chǎn)品上，對(duì)工藝生產(chǎn)帶來一定威脅。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述不足，提供一種光阻去除反應(yīng)腔石英管的安裝方法，旨在有效保證石英管上下管口邊沿的間隙，降低石英管的破裂發(fā)生率，確保光阻去除工藝的安全進(jìn)行。本發(fā)明的目的通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)光阻去除反應(yīng)腔石英管的安裝方法，其特征在于包括以下步驟——①加工制作模具托盤，托盤中心開有圓柱形凹槽，其凹槽直徑#二20.4士0.2cm，凹槽深度1^1.10士0.01cm，還加工一只厚度1^=0.55±0.05mm的軟滑片；②模具托盤平放，將石英管豎直放置于模具托盤上、使石英管的下管口嵌入托盤的凹槽內(nèi)，將護(hù)套套于石英管外壁；③從石英管的上管口壓入上"O"形密封圈；④蓋上石英管的上蓋，通過螺栓把石英管的上蓋與石英管的護(hù)套連接在一起，并通過鎖緊螺栓來壓緊"0"形密封圈，使石英管上蓋、石英管護(hù)套及石英管組合于一體；⑤將石英管上蓋、石英管護(hù)套和石英管所組合的整體側(cè)放或懸空，使軟滑片從石英管下管口伸進(jìn)石英管內(nèi)，用軟滑片滑過石英管上蓋與石英管上管口之間的間隙，檢測(cè)間隙是否均勻；若不均勻可將組合的整體重新放置于模具托盤上，通過調(diào)節(jié)上蓋螺栓使其間隙均勻；⑥從石英管的下管口壓入下"O"形密封圈；⑦將預(yù)裝好的滿足間隙要求的帶有上下"0"形密封圈的由石英管上蓋、石英管護(hù)套及石英管所組合的整組安裝于反應(yīng)室上并對(duì)中，與反應(yīng)室蓋子連接固定。進(jìn)一步地，上述的光阻去除反應(yīng)腔石英管的安裝方法，所述模具托盤的材質(zhì)為塑料。再進(jìn)一步地，上述的光阻去除反應(yīng)腔石英管的安裝方法，所述軟滑片為塑料制件，表面粗糙度為1.6。本發(fā)明技術(shù)方案的突出的實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)和顯著的進(jìn)步主要體現(xiàn)在①本發(fā)明模擬安裝環(huán)境，使安裝既精確又便于檢査，有效保證石英管上下管口邊沿的間隙均勻，避免石英管發(fā)生破裂，確保光阻去除工藝的安全進(jìn)行；②本發(fā)明技術(shù)方案新穎，降低了生產(chǎn)成本，經(jīng)濟(jì)效益明顯。下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案作進(jìn)一步說明圖l:模具托盤的剖面結(jié)構(gòu)示意圖2:軟滑片的結(jié)構(gòu)示意圖3:石英管組件與模具托盤的預(yù)裝配示意圖4:石英管組件與機(jī)臺(tái)的裝配示意圖。圖中各附圖標(biāo)記的含義見下表。<table>tableseeoriginaldocumentpage5</column></row><table>附圖標(biāo)記含義附圖標(biāo)記含義附圖標(biāo)記含義4護(hù)套5石英管6第II螺栓7反應(yīng)室8下"O"形密封圈9格柵板10第III螺栓11模具托盤12軟滑片具體實(shí)施例方式本發(fā)明為了有效保證石英管上下管口邊沿的間隙均勻，避免石英管受到擠壓而破裂，確保光阻去除工藝的安全進(jìn)行，提供一種光阻去除反應(yīng)腔石英管的安裝方法。首先預(yù)制一塊帶有圓柱形凹槽的模具托盤11，如圖1所示，凹槽直徑#略大于石英管直徑，取#=20.4±0.2cm;托盤的材質(zhì)采用塑料，其硬度低于石英管硬度。為保證上下管口邊沿的均勻間隙S=(S1—S2)/2=0.7±0.1mm，托盤凹槽深度h-H—S，取h=1.10±0.01cm;還加工一只檢測(cè)用的軟滑片12，如圖2所示，厚度L=0.55士0.05mm;軟滑片為塑料制件，表面光滑，粗糙度為1.6。預(yù)制完成后，模擬安裝環(huán)境將石英管各組件與模具托盤進(jìn)行預(yù)裝配，如圖3所示。預(yù)裝配后用軟滑片12檢測(cè)間隙是否均勻，繼而將預(yù)裝的整組與反應(yīng)室蓋子連接固定。具體歩驟為——①加工制作模具托盤11和軟滑片12;②模具托盤11平放，將石英管5豎直放置于模具托盤上、使石英管的下管口嵌入托盤的凹槽內(nèi)，將護(hù)套4套于石英管5外壁；③從石英管的上管口壓入上"O"形密封圈2;④蓋上石英管的上蓋1，通過第I螺栓3將石英管的上蓋1與石英管的護(hù)套4連接在一起，通過鎖緊第I螺栓3來壓緊"O"形密封圈2，使石英管上蓋l、石英管護(hù)套4及石英管5組合于一體；⑤將石英管上蓋1、石英管護(hù)套4及石英管5所組合的整體側(cè)放或懸空，使軟滑片12從石英管下管口伸進(jìn)石英管內(nèi)，用軟滑片12滑過石英管上蓋與石英管上管口之間的間隙，檢測(cè)間隙是否均勻；若不均勻可將組合的整體重新放置于模具托盤上，通過調(diào)節(jié)第I螺栓3使其間隙均勻；⑥從石英管的下管口壓入下"O"形密封圈8;⑦將預(yù)裝好的滿足間隙要求的帶有上下"0"形密封圈的由石英管上蓋、石英管護(hù)套及石英管所組合的整組安裝于反應(yīng)室上并對(duì)中，通過第II螺栓6與反應(yīng)室蓋子7連接固定。需說明的是，雖然石英管5置與護(hù)套4之內(nèi)，相互之間為間隙配合可以滑動(dòng)，但安裝后，通過鎖緊螺栓壓緊上下兩"0"形密封圈，且會(huì)使兩"O"形密封圈產(chǎn)生一定的變形，從而死死抱緊石英管，使石英管在護(hù)套內(nèi)不會(huì)絲毫滑動(dòng)。顯然，采用本發(fā)明技術(shù)方案充分保證間隙均勻，石英管上蓋與石英管上管口之間的間隙為S、石英管下管口與格柵板之間的間隙也為S。當(dāng)工藝系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)，氧氣由石英管上蓋1的小孔導(dǎo)入到石英管5內(nèi)，石英管護(hù)套4的外圍設(shè)有線圈并產(chǎn)生振蕩微波，激發(fā)02產(chǎn)生等離子體，從格柵板9的小孔而均勻?qū)нM(jìn)反應(yīng)室。反應(yīng)室的真空負(fù)壓使石英管上蓋1所發(fā)生的一定變形，但變形量小于S，因此不會(huì)擠壓石英管上管口；石英管下管口與格柵板也不會(huì)發(fā)生碰擠。另外，開啟反應(yīng)室蓋子時(shí)各部件之間的震動(dòng)位移量也遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于S，更不會(huì)使石英管管口受到壓迫；總之，間隙的均勻，避免了石英管的上下管口邊沿的破裂。本發(fā)明模擬安裝環(huán)境，使安裝既精確又便于檢查，有效保證石英管上下管口邊沿的間隙均勻，消除石英管破裂的發(fā)生，降低了生產(chǎn)成本，確保光阻去除工藝的安全進(jìn)行。以上通過具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案作了進(jìn)一步說明，給出的例子僅是應(yīng)用范例，不能理解為對(duì)本發(fā)明權(quán)利要求保護(hù)范圍的一種限制。權(quán)利要求1.光阻去除反應(yīng)腔石英管的安裝方法，其特征在于包括以下步驟①加工制作模具托盤，托盤中心開有圓柱形凹槽，其凹槽直徑∮＝20.4±0.2cm，凹槽深度h＝1.10±0.01cm，還加工一只厚度L＝0.55±0.05mm的軟滑片；②模具托盤平放，將石英管豎直放置于模具托盤上、使石英管的下管口嵌入托盤的凹槽內(nèi)，將護(hù)套套于石英管外壁；③從石英管的上管口壓入上“O”形密封圈；④蓋上石英管的上蓋，通過螺栓把石英管的上蓋與石英管的護(hù)套連接在一起，并通過鎖緊螺栓來壓緊“O”形密封圈，使石英管上蓋、石英管護(hù)套及石英管組合于一體；⑤將石英管上蓋、石英管護(hù)套及石英管所組合的整體側(cè)放或懸空，使軟滑片從石英管下管口伸進(jìn)石英管內(nèi)，用軟滑片滑過石英管上蓋與石英管上管口之間的間隙，檢測(cè)間隙是否均勻；若不均勻，將組合的整體重新放置于模具托盤上，通過調(diào)節(jié)上蓋螺栓使其間隙均勻；⑥從石英管的下管口壓入下“O”形密封圈；⑦將預(yù)裝好的滿足間隙要求的帶有上下“O”形密封圈的由石英管上蓋、石英管護(hù)套及石英管所組合的整組安裝于反應(yīng)室上并對(duì)中，與反應(yīng)室蓋子連接固定。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的光阻去除反應(yīng)腔石英管的安裝方法，其特征在于所述模具托盤的材質(zhì)為塑料。3.根據(jù)權(quán)利要求l所述的光阻去除反應(yīng)腔石英管的安裝方法，其特征在于所述軟滑片為塑料制件，表面粗糙度為1.6。全文摘要本發(fā)明提供一種光阻去除反應(yīng)腔石英管的安裝方法，其步驟是①制作一塊帶有圓柱形凹槽的托盤和一只軟滑片；②將石英管的下管口嵌入托盤的凹槽內(nèi)，將護(hù)套套于石英管外壁；③壓入上“O”形密封圈；④通過螺栓把石英管的上蓋與石英管的護(hù)套連接在一起，并壓緊“O”形密封圈，使石英管上蓋、護(hù)套及石英管組合于一體；⑤將所組合的整體側(cè)放或懸空，使軟滑片從下管口伸進(jìn)石英管內(nèi)，用軟滑片滑過上蓋與上管口之間的間隙，檢測(cè)間隙是否均勻；⑥壓入下“O”形密封圈；⑦將最終預(yù)裝好的整組安裝于反應(yīng)室上，連接固定。本發(fā)明設(shè)計(jì)的托盤凹槽深度h＝H-S，模擬安裝環(huán)境，有效保證石英管上下管口邊沿的間隙均勻，避免石英管發(fā)生破裂，降低生產(chǎn)成本。文檔編號(hào)G03F7/42GK101192012SQ20061009794公開日2008年6月4日申請(qǐng)日期2006年11月22日優(yōu)先權(quán)日2006年11月22日發(fā)明者呂東海,周世峰,陸盛強(qiáng)申請(qǐng)人:和艦科技(蘇州)有限公司