專利名稱：放射線敏感性樹脂組合物、由該組合物形成的突起和分隔物及其形成方法、及液晶顯示元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于形成垂直取向型液晶顯示元件所使用的突起和/或分隔物(spacer)的放射線敏感性樹脂組合物、由該組合物形成的垂直取向型液晶顯示元件使用的突起和分隔物、包含該突起和/或分隔物的垂直取向型液晶顯示元件以及形成該突起和/或該分隔物的方法。
背景技術(shù)：
液晶顯示元件廣泛用于平板顯示器。近年來，隨著個(gè)人計(jì)算機(jī)和文字處理器等OA設(shè)備以及液晶電視等的推廣，對(duì)TFT(薄膜晶體管)方式的液晶顯示器(TFT-LCD)的顯示品質(zhì)的要求正變得越來越嚴(yán)格。在TFT-LCD之中，現(xiàn)在TN(Twisted Nematic)型LCD是最受歡迎的。該LCD是通過下述方法制造的在2塊具有透明電極的基板(以下，稱作“透明電極基板”。)的兩外側(cè)分別配置取向方向相差90度的起偏膜，并在兩個(gè)透明電極基板內(nèi)側(cè)配置取向膜；在兩取向膜之間配置向列型液晶，將液晶的取向方向以90度的角度從一個(gè)電極側(cè)扭轉(zhuǎn)向另一個(gè)電極側(cè)。當(dāng)非偏振光在該狀態(tài)下入射時(shí)，已穿過一個(gè)起偏振片的直線偏振光穿過液晶，它的偏振方向改變了，因此它能穿過另一個(gè)起偏振片，形成光亮狀態(tài)。然后，當(dāng)向兩個(gè)電極都施加電壓而使液晶分子直立時(shí)，到達(dá)液晶的直線偏振光直接穿過，不會(huì)穿過另一個(gè)起偏振片，形成黑暗狀態(tài)。此后，當(dāng)停止施加電壓時(shí)，就恢復(fù)成光亮狀態(tài)。
雖然，由于近年來的技術(shù)進(jìn)步，在正面的對(duì)比度和色彩再現(xiàn)性等方面，這種TN型LCD變得與陰極射線管(CRT)相當(dāng)或更優(yōu)越。但是，TN型LCD仍有一個(gè)大問題需要解決，那就是視角狹窄。作為解決這種問題的方法，開發(fā)出了MVA(Multi-domain VerticallyAligned)型LCD(垂直取向型液晶顯示器)。如非專利文獻(xiàn)1和專利文獻(xiàn)1所記載，MVA型LCD并不使用TN型LCD的旋光模式，而是將具有負(fù)的介電常數(shù)各向異性的負(fù)型液晶和垂直方向的取向膜組合，使用這種雙折射模式的LCD；即使在不施加電壓的狀態(tài)下，在接近取向膜的位置上的液晶取向方向也可以大致保持垂直方向，因此，對(duì)比度、視角等優(yōu)異，而且可以不進(jìn)行使液晶取向的研磨處理等，在制造工序方面也是優(yōu)異的。
在MVA型LCD中，為了使液晶在一個(gè)像素區(qū)域可以取多個(gè)取向方向，作為區(qū)域限制方法可以是使顯示側(cè)的電極為在1個(gè)像素區(qū)域內(nèi)具有狹縫的電極，而且在光入射側(cè)的電極基板上的同一像素區(qū)域內(nèi)，在和電極的狹縫不同的位置上，形成具有斜面的突起(例如，三角錐形，半凸透鏡形等)。另外，在目前的液晶顯示器中，一般是使用樹脂和陶瓷等球形或板狀的分隔物，將2塊透明電極基板的間隙(單元間隙)保持一定。在貼合2塊透明電極基板時(shí)，分隔物可以散布在任何一個(gè)基板上，根據(jù)分隔物的直徑?jīng)Q定單元間隙。
另外，為了避免分隔物直徑差異引起的單元間隙不均勻等問題，在專利文獻(xiàn)2中，還公開了使用光阻材料，形成突起和分隔物的方法，該方法具有如下優(yōu)點(diǎn)可以微細(xì)加工，容易控制形狀。但是在專利文獻(xiàn)2中并未具體記載光阻材料的組成，也沒有表明形成的突起和分隔物的性能。
非專利文獻(xiàn)1武田有廣，液晶，日本液晶學(xué)會(huì)，1999年4月25日，Vol.3，No.2，11專利文獻(xiàn)1特開平11-258605號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2特開2001-201750號(hào)公報(bào)作為垂直取向型液晶顯示元件使用的突起和分隔物的形成中使用的光阻材料所要求的性能，可以列舉出如下幾點(diǎn)。也就是，突起和分隔物除了剖面形狀要適當(dāng)外，還要求對(duì)之后的取向膜形成工序中使用的溶劑的承受性、對(duì)取向膜形成工序施加的熱的承受性、透明性、分辨率、殘膜率等性能較高。另外，還要求所得的垂直取向型液晶顯示元件的取向性、電壓保持率等優(yōu)異。本申請(qǐng)人已經(jīng)提出了用于同時(shí)形成突起和分隔物的放射線敏感性樹脂組合物，該樹脂組合物包括[A]由(a1)不飽和羧酸和/或不飽和羧酸酐、(a2)含有環(huán)氧基的不飽和化合物以及(a3)這之外的不飽和化合物形成的共聚物，[B]不飽和聚合性化合物以及[C]放射線敏感性聚合引發(fā)劑；還提出了由該樹脂組合物形成的突起和分隔物，以及包含該突起和分隔物的液晶顯示元件(參照專利文獻(xiàn)3)。但是，對(duì)垂直取向型液晶顯示元件的突起和分隔物的形成有用的放射線敏感性樹脂組合物的開發(fā)只是剛有了頭緒，開發(fā)出與TFT-LCD的快速普及和越來越嚴(yán)格的性能要求相適應(yīng)的，可以形成具有優(yōu)異的性能的突起和分隔物的新型的放射線敏感性樹脂組合物正成為重要的技術(shù)課題。
專利文獻(xiàn)3特開2003-29405號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是根據(jù)以上的問題而提出的，該課題在于提供用于形成垂直取向型液晶顯示元件所使用的突起和/或分隔物的放射線敏感性樹脂組合物，更具體地，提供作為光阻材料的、分辨率和殘膜率優(yōu)異且能形成圖案形狀、耐熱性、耐溶劑性、透明性等優(yōu)異的突起和分隔物，而且可以得到取向性、電壓保持率等優(yōu)異的垂直取向型液晶顯示元件的放射線敏感性樹脂組合物，以及使用該放射線樹脂組合物形成垂直取向型液晶顯示元件使用的突起和/或分隔物的方法。
根據(jù)本發(fā)明，本發(fā)明的上述目的和優(yōu)點(diǎn)，第1是通過一種用于同時(shí)形成垂直取向型液晶顯示元件的突起和分隔物的放射線敏感性樹脂組合物實(shí)現(xiàn)的，該放射線敏感性樹脂組合物的特征在于包括，[A]下述(a1)～(a4)的共聚物(以下，稱作“共聚物[A])，其中(a1)是不飽和羧酸和/或不飽和羧酸酐(以下，稱作“化合物(a1)”)，(a2)是含有環(huán)氧基的不飽和化合物(以下，稱作“化合物(a2)”)，(a3)是下式(1)所示的不飽和化合物(以下，稱作“化合物(a3)”)，和(a4)是(a1)、(a2)和(a3)以外的烯烴類不飽和化合物(以下，稱作“化合物(a4)”)， (式中，R1表示氫原子或甲基，R2、R3和R4各自獨(dú)立地表示氫原子、羥基或碳原子數(shù)為1～6的烷基或烷氧基，n是0～6的整數(shù))；以及[B]1，2-醌二疊氮化合物。
本發(fā)明的目的和優(yōu)點(diǎn)，第2是通過由上述放射線敏感性樹脂組合物形成的垂直取向型液晶顯示元件使用的突起實(shí)現(xiàn)的。
本發(fā)明的目的和優(yōu)點(diǎn)，第3是通過由上述放射線敏感性樹脂組合物形成的垂直取向型液晶顯示元件使用的分隔物實(shí)現(xiàn)的。
本發(fā)明目的和優(yōu)點(diǎn)，第4是通過包含上述突起和/或上述分隔物的垂直取向型液晶顯示元件實(shí)現(xiàn)的。
本發(fā)明的目的和優(yōu)點(diǎn)，第5是通過形成突起和/或分隔物的方法實(shí)現(xiàn)的，該方法的特征在于至少包含如下工序(1)在基板上形成項(xiàng)1所記載的放射線敏感性組合物涂膜的工序；(2)對(duì)該涂膜的至少一部分照射放射線的工序；(3)顯影工序；(4)加熱工序。


圖1中A-C是分別表示突起和分隔物的剖面形狀的示意圖。
圖2是例示具有突起和分隔物的垂直取向型液晶顯示元件的剖面形狀的示意圖。
具體實(shí)施例方式
以下，對(duì)本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物的各成分進(jìn)行詳細(xì)說明。
共聚物(A)共聚物[A]通過在溶劑中，在聚合引發(fā)劑的存在下，使化合物(a1)、(a2)、(a3)和(a4)進(jìn)行自由基聚合而制造。基于由化合物(a1)、(a2)、(a3)和(a4)衍生而來的重復(fù)單元的總量，本發(fā)明中使用的共聚物[A]優(yōu)選含有5～40重量％、特別優(yōu)選含有10～30重量％的由化合物(a1)衍生而來的構(gòu)成單元。如果使用該構(gòu)成單元小于5重量％的共聚物，則在顯影時(shí)，難以溶于堿性水溶液；另一方面，超過40重量％的共聚物有對(duì)堿性水溶液的溶解性變得過大的傾向。
作為化合物(a1)，可以列舉出例如一元羧酸類、二元羧酸類、二元羧酸的酸酐、多元羧酸的單[(甲基)丙烯酰氧基烷基]酯類、在兩末端具有羧基和羥基的聚合物的單(甲基)丙烯酸酯類、具有羧基的雜環(huán)化合物類及其酸酐等。
作為化合物(a1)的具體例子，可以分別列舉出例如，作為一元羧酸類丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸等；作為二元羧酸類馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸、衣康酸等；作為二元羧酸的酸酐上述二元羧酸例示的化合物的酸酐等；作為多元羧酸的單[(甲基)丙烯酰氧基烷基]酯類琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯、鄰苯二甲酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯等；兩末端具有羧基和羥基的聚合物的單(甲基)丙烯酸酯類ω-羧基聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯等；作為具有羧基的雜環(huán)化合物類及其酸酐5-羧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二羧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-乙基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二羧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯酸酐等。
其中，從共聚反應(yīng)性、對(duì)堿性水溶液的溶解性和容易獲得方面出發(fā)，優(yōu)選使用一元羧酸類、二元羧酸的酸酐，特別優(yōu)選使用丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酸酐等。它們可以單獨(dú)使用，也可以結(jié)合使用。
基于由化合物(a1)、(a2)、(a3)和(a4)衍生而來的重復(fù)單元的總量，本發(fā)明中使用的共聚物[A]優(yōu)選含有10～70重量％，特別優(yōu)選含有20～60重量％的由(a2)衍生而來的構(gòu)成單元。該構(gòu)成單元小于10重量％時(shí)，所得的突起和/或分隔物的耐熱性和表面硬度有降低的傾向，另一方面，該構(gòu)成單元的量如果超過70重量％，則所得的放射線敏感性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性有降低的傾向。
作為化合物(a2)可以列舉出例如丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、α-乙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丁基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸3，4-環(huán)氧丁基酯、甲基丙烯酸3，4-環(huán)氧丁基酯、丙烯酸6，7-環(huán)氧庚基酯、甲基丙烯酸6，7-環(huán)氧庚基酯、α-乙基丙烯酸6，7-環(huán)氧庚基酯、鄰-乙烯基芐基縮水甘油醚、間-乙烯基芐基縮水甘油醚、對(duì)-乙烯基芐基縮水甘油醚等。其中，從提高共聚反應(yīng)性和所得的突起和/或分隔物的耐熱性、表面硬度方面出發(fā)，優(yōu)選使用甲基丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸6，7-環(huán)氧庚基酯、鄰-乙烯基芐基縮水甘油醚、間-乙烯基芐基縮水甘油醚、對(duì)-乙烯基芐基縮水甘油醚、甲基丙烯酸3，4-環(huán)氧環(huán)己基酯等。它們可以單獨(dú)或組合后使用。
基于由化合物(a1)、(a2)、(a3)和(a4)衍生而來的重復(fù)單元的總量，本發(fā)明中使用的共聚物[A]優(yōu)選含有1～60重量％，特別優(yōu)選含有2～40重量％由化合物(a3)衍生而來的構(gòu)成單元。該構(gòu)成單元小于1重量％時(shí)，對(duì)顯影液的溶解度有降低的傾向；另一方面，如果超過60重量％，則顯影時(shí)有產(chǎn)生膨脹和溶液粘度增加的傾向。
作為化合物(a3)的上式(1)所示的不飽和化合物，可以列舉出例如丙烯酸苯基酯、甲基丙烯酸苯基酯、丙烯酸芐基酯、甲基丙烯酸芐基酯、丙烯酸2-甲基苯基酯、甲基丙烯酸2-甲基苯基酯、丙烯酸3-甲基苯基酯、甲基丙烯酸3-甲基苯基酯、丙烯酸4-甲基苯基酯、甲基丙烯酸4-甲基苯基酯、丙烯酸2-羥基苯基酯、甲基丙烯酸2-羥基苯基酯、丙烯酸3-羥基苯基酯、甲基丙烯酸3-羥基苯基酯、丙烯酸4-羥基苯基酯、甲基丙烯酸4-羥基苯基酯、丙烯酸2，6-二甲基-4-羥基酯、甲基丙烯酸2，6-二甲基-4-羥基酯等。
如果增加共聚物中的不飽和羧酸的含量，就可以提高對(duì)堿性水溶液類顯影液的顯影性。但是，在這種情況下，同時(shí)會(huì)降低放射線敏感性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性和增加溶液粘度等。但是，這些(a3)可以提高對(duì)堿性水溶液類顯影液的顯影性，而不會(huì)損害其它性能，可以縮短現(xiàn)有的放射線敏感性樹脂組合物所需要的顯影時(shí)間。特別優(yōu)選甲基丙烯酸苯基酯、甲基丙烯酸芐基酯、甲基丙烯酸4-羥基苯基酯等。
在[A]共聚物中，(a3)可以單獨(dú)使用，也可以將2種或更多種混合后使用。
基于由化合物(a1)、(a2)、(a3)和(a4)衍生而來的重復(fù)單元的總量，本發(fā)明中使用的共聚物[A]優(yōu)選含有小于70重量％，特別優(yōu)選含有小于50重量％由化合物(a4)衍生而來的構(gòu)成單元。如果超過70重量％，則在形成突起和/或分隔物的顯影工序中，可能會(huì)難以溶于堿性水溶液。
作為化合物(a4)可以列舉出例如甲基丙烯酸烷基酯類、丙烯酸烷基酯類、甲基丙烯酸環(huán)烷基酯類、具有羥基的甲基丙烯酸酯類、丙烯酸酯類、丙烯酸環(huán)烷基酯類、甲基丙烯酸芳基酯類、丙烯酸芳基酯類、不飽和二元羧酸二酯類、二環(huán)不飽和化合物類、馬來酰亞胺化合物類、不飽和芳香族化合物類、共軛二烯類以及其它不飽和化合物類。
作為它們的具體例子可以分別列舉出例如作為甲基丙烯酸烷基酯類有，甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸2-乙基己酯、甲基丙烯酸異十二烷基酯、甲基丙烯酸正月桂酯、甲基丙烯酸十三烷基酯、甲基丙烯酸正硬?；サ龋蛔鳛楸┧嵬榛ヮ愑?，丙烯酸甲酯、丙烯酸異丙酯等；作為甲基丙烯酸環(huán)烷基酯類有，甲基丙烯酸環(huán)己酯、甲基丙烯酸2-甲基環(huán)己酯、甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]癸-8-基酯、甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]癸-8-基氧基乙基酯、甲基丙烯酸異佛爾酮酯等；作為具有羥基的甲基丙烯酸酯類有，甲基丙烯酸羥甲基酯、甲基丙烯酸2-羥乙基酯、甲基丙烯酸3-羥丙基酯、甲基丙烯酸4-羥丁基酯、二甘醇單甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸2，3-二羥基丙基酯、2-甲基丙烯酰氧基乙基糖苷、甲基丙烯酸4-羥苯基酯等；作為丙烯酸環(huán)烷基酯類有，丙烯酸環(huán)己基酯、丙烯酸2-甲基環(huán)己基酯、丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]癸-8-基酯、丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]癸-8-基氧基乙酯、丙烯酸異佛爾酮基酯等；作為甲基丙烯酸芳基酯類有，甲基丙烯酸苯基酯、甲基丙烯酸芐基酯等；作為丙烯酸芳基酯類有，丙烯酸苯基酯、丙烯酸芐基酯等；作為不飽和二元羧酸二酯類有，馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯、衣康酸二乙酯等；作為二環(huán)不飽和化合物有，二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-乙基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-甲氧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-乙氧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二甲氧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二乙氧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-叔丁氧基羰基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-環(huán)己氧基羰基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-苯氧基羰基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(叔丁氧基羰基)二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(環(huán)己氧基羰基)二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-(2-羥乙基)二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二羥基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(2-羥甲基)二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(2-羥乙基)二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基-5-甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基-5-乙基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥甲基-5-甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯等；作為馬來酰亞胺化合物類有，苯基馬來酰亞胺、環(huán)己基馬來酰亞胺、芐基馬來酰亞胺、N-琥珀酰亞胺基-3-馬來酰亞胺苯甲酸酯、N-琥珀酰亞胺基-4-馬來酸酰亞胺丁酸酯、N-琥珀酰亞胺基-6-馬來酰亞胺己酸酯、N-琥珀酰亞胺基-3-馬來酰亞胺丙酸酯、N-(9-吖啶基)馬來酰亞胺等；作為不飽和芳香族化合物類有，苯乙烯、α-甲基苯乙烯、間-甲基苯乙烯、對(duì)-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對(duì)-甲氧基苯乙烯等；作為共軛二烯類化合物有，1，3-丁二烯、異戊二烯、2，3-二甲基-1，3-丁二烯等；作為其它不飽和化合物有，丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、醋酸乙烯酯。
其中，優(yōu)選甲基丙烯酸烷基酯類、甲基丙烯酸環(huán)烷基酯類、二環(huán)不飽和化合物類、不飽和芳香族化合物類、共軛二烯類化合物，從共聚反應(yīng)性和對(duì)堿性顯影液的溶解性方面出發(fā)，特別優(yōu)選苯乙烯、甲基丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]癸-8-基酯、對(duì)-甲氧基苯乙烯、丙烯酸2-甲基環(huán)己基酯、1，3-丁二烯、二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯。它們可以單獨(dú)或組合后使用。
作為本發(fā)明中使用的共聚物[A]的優(yōu)選的具體例子，例如可以列舉出甲基丙烯酸/苯乙烯/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]癸-8-基酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲基丙烯酸4-羥基苯基酯共聚物、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]癸-8-基酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯/對(duì)-乙烯基芐基縮水甘油醚/甲基丙烯酸4-羥基苯基酯共聚物、甲基丙烯酸/苯乙烯/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]癸-8-基酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲基丙烯酸四氫糠基酯/甲基丙烯酸2，6-二甲基-4-羥基苯基酯共聚物等。
本發(fā)明中使用的共聚物[A]的聚苯乙烯換算的重均分子量(以下，稱作“Mw”)通常希望是2×103～1×105，優(yōu)選為5×103～5×104。如果Mw小于2×103，則顯影范圍可能不足，所得的涂膜的殘膜率等降低，或者所得的突起和/或分隔物的圖案形狀、耐熱性等差；另一方面，如果超過1×105，則靈敏度降低，圖案形狀差。含有上述共聚物[A]的放射線敏感性樹脂組合物在顯影時(shí)，不會(huì)產(chǎn)生顯影殘缺，容易形成規(guī)定的圖案形狀。
作為在制造共聚物[A]時(shí)使用的溶劑，可以列舉出例如醇類、醚類、乙二醇醚類、乙二醇烷基醚乙酸酯類、二甘醇類、丙二醇單烷基醚類、丙二醇烷基醚乙酸酯類、丙二醇烷基醚丙酸酯類、芳烴類、酮類、酯類等。
它們的具體例子可以列舉出例如作為醇有，甲醇、乙醇、苯甲醇、2-苯基乙醇、3-苯基-1-丙醇等；作為醚類有，四氫呋喃等；作為乙二醇醚類有，乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚等；作為乙二醇烷基醚乙酸酯類有，甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯等；作為二甘醇類有，二甘醇單甲基醚、二甘醇單乙基醚、二甘醇二甲基醚、二甘醇二乙基醚、二甘醇乙基甲基醚等；作為丙二醇單烷基醚類有，丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇單丙基醚、丙二醇單丁基醚等；作為丙二醇烷基醚乙酸酯類有，丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯、丙二醇丁基醚乙酸酯等；作為丙二醇烷基醚丙酸酯類有，丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙基醚丙酸酯、丙二醇丙基醚丙酸酯、丙二醇丁基醚丙酸酯等；作為芳烴類有，甲苯、二甲苯等；作為酮類有，甲乙酮、環(huán)己酮、4-羥基-4-甲基-2-戊酮等；作為酯類有，乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、羥基乙酸甲酯、羥基乙酸乙酯、羥基乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羥基丙酸甲酯、3-羥基丙酸乙酯、3-羥基丙酸丙酯、3-羥基丙酸丁酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸乙酯、2-丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯、3-丁氧基丙酸丁酯等酯類。
其中，優(yōu)選乙二醇烷基醚乙酸酯類、二甘醇類、丙二醇單烷基醚類、丙二醇烷基醚乙酸酯類，其中，特別優(yōu)選二甘醇二甲基醚、二甘醇乙基甲基醚、丙二醇甲基醚、丙二醇甲基醚乙酸酯。
作為共聚物[A]的制造中使用的聚合引發(fā)劑，可以使用已知的自由基聚合引發(fā)劑，可以列舉出例如2，2’-偶氮二異丁腈、2，2’-偶氮二-(2，4-二甲基戊腈)、2，2’-偶氮二-(4-甲氧基-2，4-二甲基戊腈)等偶氮化合物，苯甲?；^氧化物、月桂酰基過氧化物、叔丁基過氧化新戊酸酯、1，1’-二-(叔丁基過氧化)環(huán)己烷等有機(jī)過氧化物以及過氧化氫。在使用過氧化物作為自由基聚合引發(fā)劑時(shí)，還可以將過氧化物和還原劑一起使用，作為氧化-還原型引發(fā)劑。
在共聚物[A]的制造中，可以使用調(diào)節(jié)分子量的分子量調(diào)節(jié)劑。作為其具體的例子，可以列舉出氯仿、四溴化碳等鹵代烴類，正己基硫醇、正辛基硫醇、正十二烷基硫醇、叔十二烷基硫醇、巰基乙酸等硫醇類，硫化二甲基黃原、二硫化二異丙基黃原等黃原類，萜品油烯、α-甲基苯乙烯二聚物等。
成分本發(fā)明中使用的[B]成分是通過放射線照射產(chǎn)生羧酸的1，2-醌二疊氮化合物，可以使用酚性化合物或醇性化合物(以下，稱作“母核”)和1，2-萘醌二疊氮基磺酸鹵化物的縮合物。
作為上述母核，可以列舉出例如三羥基二苯酮、四羥基二苯酮、五羥基二苯酮、六羥基二苯酮、(多羥基苯基)鏈烷烴、其它母核。
作為它們的具體例子，可以列舉出例如，作為三羥基二苯酮有2，3，4-三羥基二苯酮、2，4，6-三羥基二苯酮等；作為四羥基二苯酮有2，2’，4，4’-四羥基二苯酮、2，3，4，3’-四羥基二苯酮、2，3，4，4’-四羥基二苯酮、2，3，4，2’-四羥基-4’-甲基二苯酮、2，3，4，4’-四羥基-3’-甲氧基二苯酮等；作為五羥基二苯酮有2，3，4，2’，6’-五羥基二苯酮等作為六羥基二苯酮有2，4，6，3’，4’，5’-六羥基二苯酮、3，4，5，3’，4’，5’-六羥基二苯酮等；作為(多羥基苯基)鏈烷烴有二(2，4-二羥基苯基)甲烷、二(對(duì)羥基苯基)甲烷、三(對(duì)羥基苯基)甲烷、1，1，1-三(對(duì)羥基苯基)乙烷、二(2，3，4-三羥基苯基)甲烷、2，2-二(2，3，4-三羥基苯基)丙烷、1，1，3-三(2，5-二甲基-4-羥基苯基)-3-苯基丙烷、4，4’-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙苯酚、二(2，5-二甲基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷、3，3，3’，3’-四甲基-1，1’-螺二茚-5，6，7，5’，6’，7’-六醇、2，2，4-三甲基7，2’，4’-三羥基黃烷等；作為其它母核有2-甲基-2-(2，4-二羥基苯基)-4-(4-羥基苯基)-7-羥基色滿、2-[二{(5-異丙基-4-羥基-2-甲基)苯基}甲基]、1-[1-(3-{1-(4-羥基苯基)-1-甲基乙基}-4，6-二羥基苯基)-1-甲基乙基]-3-(1-(3-{1-(4-羥基苯基)-1-甲基乙基}-4，6-二羥基苯基)-1-甲基乙基)苯、4，6-二{1-(4-羥基苯基-1-甲基乙基)1，3-二羥基苯。
另外，使用將上述例示的母核的酯鍵改變?yōu)轷０锋I的1，2-萘醌二疊氮基磺酸酰胺類，例如2，3，4-三羥基二苯酮-1，2-萘醌二疊氮基-4-磺酸酰胺等也是合適的。
在這些母核中，優(yōu)選2，3，4，4’-四羥基二苯酮、4，4’-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙苯酚。
另外，作為1，2-萘醌二疊氮基磺酸鹵化物優(yōu)選為氯化1，2-萘醌二疊氮基磺酸，作為其具體的例子，可以列舉出氯化1，2-萘醌二疊氮基-4-磺酸和氯化1，2-萘醌二疊氮基-5-磺酸，其中優(yōu)選使用氯化1，2-萘醌二疊氮基-5-磺酸。
縮合反應(yīng)中使用的母核和1，2-萘醌二疊氮基磺酸鹵化物的用量是相對(duì)于1摩爾母核，1，2-萘醌二疊氮基磺酸鹵化物優(yōu)選為1.0～4.0摩爾，更優(yōu)選為1.5～3.0摩爾。
縮合反應(yīng)可通過公知方法進(jìn)行。
這些[B]成分可以單獨(dú)或組合2種或更多種后使用。
相對(duì)于100重量份共聚物[A]，[B]成分的使用比例優(yōu)選為5～100重量份，更優(yōu)選為10～50重量份。該比例小于5重量份時(shí)，放射線照射的部分和未照射的部分相對(duì)作為顯影液的堿性水溶液的溶解度差較小，可能難以布圖，而且所得的突起和/或分隔物的耐熱性和耐溶劑性也可能不足。另一方面，該比例超過100重量份時(shí)，在放射線的照射部分中，對(duì)前述堿性水溶液的溶解度不足，可能難以顯影。
其它成分本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物含有上述共聚物[A]和[B]成分為必要成分，根據(jù)需要還可以含有[C]感熱性酸生成化合物、[D]具有至少1個(gè)乙烯基不飽和雙鍵的聚合性化合物、[E]共聚物[A]以外的環(huán)氧樹脂、[F]粘合助劑、[G]表面活性劑或者[H]交聯(lián)劑。
上述[C]感熱性酸生成化合物可以用于提高耐熱性和硬度。作為其具體的例子，可以使用锍鹽、苯并噻唑鹽、銨鹽、鏻鹽等鹽。
作為上述锍鹽的具體例子，可以列舉出烷基锍鹽、芐基锍鹽、二芐基锍鹽、取代的芐基锍鹽等。
作為它們的具體例子，例如作為烷基锍鹽可以列舉出4-乙?；交谆沉R酸鹽、4-乙酰氧基苯基二甲基锍六氟鋁酸鹽、二甲基-4-(芐氧基酰氧基)苯基锍六氟銻酸鹽、二甲基-4-(苯甲酰氧基)苯基锍六氟銻酸鹽、二甲基-4-(苯甲酰氧基)苯基锍六氟鋁酸鹽、二甲基-3-氯代-4-乙酰氧基苯基锍六氟銻酸鹽等；
作為芐基锍鹽可以列舉出芐基-4-羥基苯基甲基锍鹽六氟銻酸鹽、芐基-4-羥基苯基甲基锍六氟磷酸鹽、4-乙酰氧基苯基芐基甲基锍六氟銻酸鹽、芐基-4-甲氧基苯基甲基锍鹽六氟銻酸鹽、芐基-2-甲基-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、芐基-3-氯代-4-羥基苯基甲基锍六氟鋁酸鹽、4-甲氧基芐基-4-羥基苯基甲基锍六氟磷酸鹽等；作為二芐基锍鹽可以列舉出二芐基-4-羥基苯基锍六氟銻酸鹽、二芐基-4-羥基苯基锍六氟磷酸鹽、4-乙酰氧基苯基-二芐基锍六氟銻酸鹽、二芐基-4-甲氧基苯基锍六氟銻酸鹽、二芐基-3-氯代-4-羥基苯基锍六氟鋁酸鹽、二芐基-3-甲基-4-羥基-5-叔丁基苯基锍六氟銻酸鹽、芐基-4-甲氧基芐基-4-羥基苯基锍六氟磷酸鹽等；作為取代的芐基锍鹽可以列舉出對(duì)-氯代芐基-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、對(duì)-硝基芐基-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、對(duì)-氯代芐基-4-羥基苯基甲基锍六氟磷酸鹽、對(duì)-硝基芐基-3-甲基-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、3，5-二氯代芐基-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、鄰-氯代芐基-3-氯代-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽等。
作為上述苯并噻唑鹽的具體例子，可以列舉出3-芐基苯并噻唑六氟銻酸鹽、3-芐基苯并噻唑六氟磷酸鹽、3-芐基苯并噻唑四氟硼酸鹽、3-(對(duì)-甲氧基芐基)苯并噻唑六氟銻酸鹽、3-芐基-2-甲基硫代苯并噻唑六氟銻酸鹽、3-芐基-5-氯代苯并噻唑六氟銻酸鹽等芐基苯并噻唑鹽。
其中，優(yōu)選使用锍鹽和苯并噻唑鹽，特別優(yōu)選使用4-乙酰氧基苯基二甲基锍六氟鋁酸鹽、芐基-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、4-乙酰氧基苯基芐基甲基锍六氟銻酸鹽、二芐基-4-羥基苯基锍六氟銻酸鹽、4-乙酰氧基苯基芐基锍六氟銻酸鹽、3-芐基苯并噻唑六氟銻酸鹽。
作為它們的市售品，可以列舉出サンエイドSI-L85、サンエイドSI-L110、サンエイドSI-L145、サンエイドSI-L150、サンエイドSI-L160(三新化學(xué)工業(yè)(株)制)等。
相對(duì)于100重量份共聚物[A]，[C]成分的使用比例優(yōu)選為20重量份或以下，更優(yōu)選為5重量份或以下。在該用量超過20重量份時(shí)，在涂膜形成工序中析出析出物，成為涂膜形成的障礙。
作為上述[D]具有至少1個(gè)乙烯基不飽和雙鍵的聚合性化合物(以下，稱作“D成分”)，適合的可以列舉出例如單官能(甲基)丙烯酸酯、2官能(甲基)丙烯酸酯或者3官能或以上的(甲基)丙烯酸酯。
作為上述單官能(甲基)丙烯酸酯類，可以列舉出例如(甲基)丙酸2-羥基乙酯、卡必醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸異佛爾酮酯、(甲基)丙烯酸3-甲氧基丁酯、2-(甲基)丙烯酰氧基乙基-2-羥丙基鄰苯二甲酸酯等。另外，作為市售品，可以列舉出例如アロニツクスM-101、アロニツクスM-111、アロニツクスM-114(以上，東亞合成(株)制)；KAYARAD TC-110S、KAYARAD TC-120S(以上，日本化藥(株)制)；ビスコ一ト158、ビスコ一ト2311(以上，大阪有機(jī)化學(xué)工業(yè)(株)制)等。
另外，作為上述2官能的(甲基)丙烯酸酯，可以列舉出例如乙二醇(甲基)丙烯酸酯、1，6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，9-壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四甘醇二(甲基)丙烯酸酯、二苯氧基乙醇芴二丙烯酸酯、二苯氧基乙醇芴二甲基丙烯酸酯等。另外，作為市售品，可以列舉出例如アロニツクスM-210、アロニツクスM-240、アロニツクスM6200(以上，東亞合成(株)制)，KAYARAD HDDA、KAYARAD HX-220、KAYARADR-604(以上，日本化藥(株)制)，ビスコ一ト260、ビスコ一ト312、ビスコ一ト335HP(以上，大阪有機(jī)化學(xué)工業(yè)(株)制)。
作為上述3官能或以上的(甲基)丙烯酸酯，可以列舉出例如三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三((甲基)丙烯酰氧基乙基)磷酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。作為3官能或以上的(甲基)丙烯酸酯的市售品，可以列舉出例如アロニツクスM-309、アロニツクスM-400、アロニツクスM-405、アロニツクスM-450、アロニツクスM-7100、アロニツクスM-8030、アロニツクスM-8060(以上，東亞合成(株)制)，KAYARAD TMPTA、KAYARAD DPHA、KAYARAD DPCA-20、KAYARAD DPCA-30、KAYARAD DPCA-60、KAYARAD DPCA-120(以上，日本化藥(株)制制造)，ビスコ一ト295、ビスコ一ト300、ビスコ一ト360、ビスコ一トGPT、ビスコ一ト3PA、ビスコ一ト400(以上，大阪有機(jī)化學(xué)工業(yè)(株)制)等。
其中，優(yōu)選使用3官能或以上的(甲基)丙烯酸酯，其中特別優(yōu)選為三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯。
這些單官能、2官能或3官能或以上的(甲基)丙烯酸酯可以單獨(dú)使用，也可以組合使用。相對(duì)于100重量份共聚物[A]，[D]成分的使用比例優(yōu)選為50重量份或以下，更優(yōu)選為30重量份或以下。
通過以這種比例含有[D]成分，可以提高由本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物得到的突起和/或分隔物的耐熱性和表面硬度等。如果該用量超過50重量份，則在基板上形成放射線敏感性樹脂組合物的涂膜的工序中，會(huì)產(chǎn)生薄膜粗糙。
上述[E]共聚物[A]以外的環(huán)氧樹脂(以下，稱作“E成分”)只要不影響相容性就沒有限定，優(yōu)選為雙酚A型環(huán)氧樹脂、酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、環(huán)狀脂肪族環(huán)氧樹脂、縮水甘油酯型環(huán)氧樹脂、縮水甘油胺型環(huán)氧樹脂、雜環(huán)環(huán)氧樹脂、(共)聚合甲基丙烯酸縮水甘油酯的樹脂等。其中，優(yōu)選雙酚A型環(huán)氧樹脂、甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、縮水甘油酯型環(huán)氧樹脂等。
相對(duì)于100重量份樹脂[A]，[E]成分的使用比例優(yōu)選為30重量份或以下。通過含有這種比例的[E]成分，可以提高由本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物得到的突起和/或分隔物的耐熱性和表面硬度等。該比例如果超過30重量份，則在基板上形成放射線敏感性樹脂組合物的涂膜時(shí)，薄膜的膜厚均勻性可能會(huì)不足。
另外，共聚物[A]也能稱作“環(huán)氧樹脂”，但是在具有堿可溶性方面與[E]成分有所不同。
本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物中可以使用上述[F]表面活性劑以進(jìn)一步提高涂布性。作為在這里可以使用的[F]表面活性劑，可以使用氟表面活性劑、有機(jī)硅類表面活性劑和非離子性表面活性劑。
作為氟表面活性劑的具體例子，可以列舉1，1，2，2-四氟辛基(1，1，2，2-四氟丙基)醚、1，1，2，2-四氟辛基己醚、八乙二醇二(1，1，2，2-四氟丁基)醚、六乙二醇(1，1，2，2，3，3-六氟戊基)醚、八丙二醇二(1，1，2，2-四氟丁基)醚、六丙二醇二(1，1，2，2，3，3-六氟戊基)醚、全氟十二烷基磺酸鈉、1，1，2，2，8，8，9，9，10，10-十氟十二烷、1，1，2，2，3，3-六氟癸烷，以及氟代烷基苯磺酸鈉類，氟代烷基氧乙烯醚類，碘化氟代烷基銨類，氟代烷基聚氧乙烯醚類，全氟烷基聚氧乙醇類，全氟烷基烷氧化物類，氟類烷基酯類等。另外，作為它們的市售品，可以列舉出BM-1000、BM-1100(以上BM CHEMIE社制)，メガフアツクF142D、メガフアツクF172、メガフアツク173、メガフアツクF183、メガフアツクF178、メガフアツクF191、メガフアツクF471(以上，大日本油墨化學(xué)工業(yè)(株)制)，フロラ一ドFC-170C、FC-171、FC-430、FC-431(以上，住友スリ一エム(株)制)，サ一フロンS-112、サ一フロンS-113、サ一フロンS-131、サ一フロンS-141、サ一フロンS-145、サ一フロンS-382、サ一フロンSC-101、サ一フロンSC-102、サ一フロンSC-103、サ一フロンSC-104、サ一フロンSC-105、サ一フロンSC-106(以上，旭硝子(株)制)，エフトツプEF301、エフトツプEF 303、エフトツプEF 352(以上，新秋田化成(株)制)，SH-28PA、SH-190、SH-193、SZ-6032、SF-8428、DC-57、DC-190(東レシリコ一ン(株)制)等。
另外，作為有機(jī)硅類表面活性劑，可以列舉例如以ト一レシリコ一ンDC3PA、ト一レシリコ一ンDC7PA、ト一レシリコ一ンSH11PA、ト一レシリコ一ンSH21PA、ト一レシリコ一ンSH28PA、ト一レシリコ一ンSH29PA、ト一レシリコ一ンSH30PA、ト一レシリコ一ンFS-1265-300(以上，東レ·ダウコ一ニング·シリコ一ン(株)制)，TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4446、TSF-4460、TSF-4452(以上，GE東芝シリコ一ン(株)制)等商品名銷售的產(chǎn)品。
作為上述非離子性表面活性劑，可以使用例如聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂?；选⒕垩跻蚁┯拖┗训染垩跻蚁┩榛杨?；聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚等聚氧乙烯芳基醚類；聚氧乙烯二月桂酸酯、聚氧乙烯二硬脂酸酯等聚氧乙烯二烷基酯類等，以及(甲基)丙烯酸類共聚物ポリフロ一No.57、95(共榮社化學(xué)(株)制)等。
這些表面活性劑，可以單獨(dú)或混合2種或以上使用。
相對(duì)于100重量份共聚物[A]，[F]表面活性劑優(yōu)選使用5重量份或以下，進(jìn)一步優(yōu)選為2重量份或以下。此時(shí)，表面活性劑[F]的用量如果超過5重量份，在基板上形成涂膜時(shí)，涂膜容易發(fā)生膜粗糙。
另外，為了進(jìn)一步提高與基板的粘合性，可以在本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物中混合粘合助劑[G]。作為這種粘合助劑[G]，優(yōu)選使用官能性硅烷偶聯(lián)劑，可以列舉出例如具有羧基、甲基丙烯?；惽杷狨セ?、環(huán)氧基等反應(yīng)性取代基的硅烷偶聯(lián)劑。具體地，可以列舉出三甲氧基甲硅烷基苯甲酸、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基甲硅烷、乙烯基三乙酰氧基甲硅烷、乙烯基三甲氧基甲硅烷、γ-異氰酸酯基丙基三乙氧基甲硅烷、γ-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基甲硅烷、β-(3，4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三甲氧基甲硅烷等。相對(duì)于100重量份共聚物[A]，這種粘合助劑[G]的混合量優(yōu)選為20重量份或以下，更優(yōu)選10重量份或以下。粘合助劑的量超過20重量份時(shí)，在顯影工序中，容易產(chǎn)生顯影殘缺。
上述[H]交聯(lián)劑是在作為[A]成分的特定的可溶于堿的樹脂分子間形成交聯(lián)結(jié)構(gòu)的成分。作為這種交聯(lián)劑可以使用尿素和甲醛的縮合產(chǎn)物(以下，稱作“尿素-甲醛縮合產(chǎn)物”)、三聚氰胺和甲醛的縮合產(chǎn)物(以下，稱作“三聚氰胺-甲醛的縮合產(chǎn)物”)、由這些縮合產(chǎn)物和醇類得到的羥甲基尿素烷基醚類以及羥甲基三聚氰胺烷基醚類等。
作為前述尿素-甲醛縮合產(chǎn)物的具體例子，可以列舉出單羥甲基尿素、二羥甲基尿素等。
作為前述三聚氰胺-甲醛縮合產(chǎn)物的具體例子，可以列舉出六羥甲基三聚氰胺，此外還可以使用三聚氰胺和甲醛部分縮合的產(chǎn)物。
前述羥甲基尿素烷基醚類是尿素-甲醛縮合產(chǎn)物中的羥甲基的一部分或全部和醇反應(yīng)而得到的，其具體的例子可以列舉出單羥甲基尿素甲基醚、二羥甲基尿素甲基醚等。
前述羥甲基三聚氰胺烷基醚類是三聚氰胺-甲醛縮合產(chǎn)物的羥甲基的一部分或全部與甲醇、正丁醇等醇類反應(yīng)而得到的，其具體的例子可以列舉出六羥甲基三聚氰胺六甲基醚、六羥甲基三聚氰胺六正丁基醚、具有三聚氰胺的氨基的氫原子用羥甲基和甲氧基甲基取代的結(jié)構(gòu)的化合物，具有三聚氰胺的氨基的氫原子用丁氧基甲基和甲氧基甲基取代的結(jié)構(gòu)的化合物等。
其中，優(yōu)選使用羥甲基三聚氰胺烷基醚類，作為這種羥甲基三聚氰胺烷基醚類的市售品可以列舉出三井サイテツク株式會(huì)社制造的“サイメル300”、“サイメル370”、“サイメル232”、“マイコ一ト505”等。
相對(duì)于100重量份[A]成分，[H]交聯(lián)劑的使用比例優(yōu)選為50重量份或以下，更優(yōu)選為30重量份或以下。
該比例超過50重量份時(shí)，在顯影處理中，涂膜未照射放射線部分的厚度顯著減少，而且所得的涂膜的透明性降低。
放射線敏感性樹脂組合物本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物，可以通過將上述共聚物[A]和[B]成分以及如上任意添加的其它成分均勻混合而制備。通常，本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物是溶解在適當(dāng)?shù)娜軇┲?，以溶液的狀態(tài)使用。例如，將共聚物[A]和[B]成分以及任意添加的其它成分以規(guī)定比例混合，制備溶液狀態(tài)的放射線敏感性樹脂組合物。
作為本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物制備中使用的溶劑，可以使用能均勻地溶解共聚物[A]和[B]成分以及任意添加的其它成分的各種成分，且不與各成分反應(yīng)的溶劑。
作為這種溶劑可以列舉與制造共聚物[A]時(shí)所例示的溶劑相同的溶劑。
這些溶劑中，從各成分的溶解能、與各成分的反應(yīng)性和涂膜形成的容易性等的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使用二醇醚類、乙二醇烷基醚乙酸酯類、酯類和二甘醇類。其中，特別優(yōu)選使用二甘醇乙基甲基醚、二甘醇二甲基醚、丙二醇單甲基醚、丙二醇單甲基醚乙酸酯、甲氧基丙酸甲酯、乙氧基丙酸乙酯。
在制備溶液狀態(tài)的本發(fā)明放射線敏感性樹脂組合物時(shí)，溶液中的溶劑以外的成分(也就是，共聚物[A]和[B]成分和任意添加的其它成分的總量)的比例，可以根據(jù)使用目的和所希望的膜厚值等任意設(shè)定，通常為5～50重量％、優(yōu)選為10～40重量％、更優(yōu)選為15～35重量％。
這樣制備的組合物溶液，用孔徑0.2μm左右的微孔過濾器等過濾后使用。
突起和/或分隔物的形成接著，對(duì)用本發(fā)明放射線敏感性樹脂組合物形成本發(fā)明突起和或分隔物的方法進(jìn)行說明。本發(fā)明的突起和/或分隔物的形成方法，至少包含以下工序。
(1)在基板上形成本發(fā)明放射線敏感性樹脂組合物涂膜的工序。
(2)在該涂膜的至少一部分上照射放射線的工序。
(3)顯影工序。
(4)加熱工序。
(1)在基板上形成本發(fā)明放射線敏感性樹脂組合物涂膜的工序在上述(1)工序中，將本發(fā)明的組合物溶液涂布到基板表面，預(yù)烘烤除去溶劑，形成放射線敏感性樹脂組合物涂膜。
作為本發(fā)明中使用的基板的種類，可以列舉出玻璃基板、硅晶片以及在它們表面形成各種金屬的基板。
作為形成本發(fā)明的感光性樹脂組合物涂膜的方法，例如可以采用(1)涂布法、(2)干燥薄膜法。
作為組合物溶液的涂布方法，例如可以采用噴霧法、滾筒涂布法、旋轉(zhuǎn)涂布法(旋涂法)、縫模涂布法、刮棒涂布法、噴墨涂布法等適宜的方法，特別優(yōu)選旋涂法、縫模涂布法。
另外，在采用(2)干燥薄膜法形成本發(fā)明的感光性樹脂組合物的涂膜時(shí)，該干燥薄膜是在基底薄膜、優(yōu)選為撓性的基底薄膜上，層壓由本發(fā)明的感光性樹脂組合物形成的感光性層形成的薄膜(以下，稱作“感光性干燥薄膜”)。
上述感光性干燥薄膜是在基底薄膜上涂布本發(fā)明的感光性樹脂組合物、優(yōu)選為液狀組合物后，干燥，層壓感光性層形成。作為感光性干燥薄膜的基底薄膜，例如可以使用聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚乙烯、聚丙烯、聚碳酸酯、聚氯乙烯等合成樹脂薄膜?；妆∧さ暮穸群线m的是15～125μm。所得的感光性層的厚度優(yōu)選為1～30μm左右。
另外，感光性干燥薄膜在未使用時(shí)，可以在該感光性層上進(jìn)一步層壓保護(hù)膜進(jìn)行保存。該保護(hù)膜在未使用時(shí)，不剝離，在使用時(shí)可以容易地剝離，所以必須有適當(dāng)?shù)拿撃Ｐ?。作為滿足這種條件的保護(hù)膜，可以列舉出例如在PET薄膜、聚丙烯薄膜、聚乙烯薄膜、聚氯乙烯薄膜等合成樹脂的表面上，涂覆或燒結(jié)有機(jī)硅類脫模劑形成的薄膜。保護(hù)膜的厚度通常為25μm左右即可。預(yù)烘烤的條件根據(jù)各成分的種類、使用比例等而異。例如，可以是在60～110℃下進(jìn)行30秒鐘～15分鐘左右。
(2)對(duì)該涂膜的至少一部分照射放射線的工序在上述(2)工序中，通過具有規(guī)定圖案的掩模，照射放射線后，使用顯影液進(jìn)行顯影處理除去放射線照射部分，在形成的涂膜上布圖。作為此時(shí)使用的放射線，可以列舉出例如紫外線、遠(yuǎn)紫外線、X射線、帶電粒子束等。
作為上述紫外線，可以列舉出例如g線(波長436nm)、i線(波長365nm)等。作為遠(yuǎn)紫外線，可以列舉出例如KrF準(zhǔn)分子激光等。作為X射線，可以列舉出例如同步加速器放射線等。作為帶電粒子束，可以列舉出例如電子束等。
其中，優(yōu)選紫外線，特別優(yōu)選為含有g(shù)線和/或i線的放射線。
作為曝光時(shí)使用的圖案掩模和曝光操作可以是(1)使用具有突起部分和分隔物部分這部分圖案的1種光掩模，一次曝光的方法(掩模的部分越小的位置，越無法忽視透過的光的影響，和烘烤時(shí)的熔體流動(dòng)相應(yīng)，形成高度差)；(2)使用只有突起部分的光掩模和只有分隔物的2種光掩模，進(jìn)行2次曝光的方法。另外，作為(1)的方法中使用的圖案掩模，也可以使用突起部分和分隔物部分具有不同透過率的掩模。但是，在本發(fā)明中，根據(jù)情況，也可以在基板上只形成突起和分隔物中的一種，在這種情況下，可以采用(3)只有突起部分的光掩模和只有分隔物部分的光掩模的任何一種，一次曝光的方法。另外，在這種情況下，在垂直取向型液晶顯示元件中必須殘留的突起或分隔物通過現(xiàn)有公知的方法形成。
(3)顯影工序作為顯影處理中使用的顯影液，可以使用氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、硅酸鈉、甲基硅酸鈉、氨、乙胺、正丙胺、二乙胺、二乙基氨基乙醇、二正丙基胺、三乙胺、甲基二乙基胺、二甲基乙醇胺、三乙醇胺、氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、吡咯、哌啶、1，8-二氮雜雙環(huán)[5，4，0]-7-十一碳烯、1，5-二氮雜雙環(huán)[4，3，0]-5-壬烷等堿類的水溶液。另外，在上述堿性水溶液中，可以適當(dāng)添加甲醇、乙醇等水溶性有機(jī)溶劑和表面活性劑形成水溶液，將形成水溶液，或者溶解本發(fā)明的組合物的各種有機(jī)溶劑作為顯影液使用。此外，作為顯影方法，可以是盛液法、浸漬法、搖動(dòng)浸漬法、沖淋法等適當(dāng)?shù)姆椒?。此時(shí)的顯影時(shí)間根據(jù)組合物的組成而異，通常為30～180秒左右。
(4)加熱工序在如上進(jìn)行的(3)顯影工序后，優(yōu)選對(duì)布圖的薄膜進(jìn)行流水洗滌以沖淋處理，再優(yōu)選通過高壓水銀燈等全面照射放射線(后曝光)，對(duì)該薄膜中殘留的1，2-醌二疊氮化合物進(jìn)行分解處理后，通過熱板、烘箱等加熱裝置對(duì)該薄膜進(jìn)行加熱處理(后烘烤處理)，對(duì)該薄膜進(jìn)行固化處理。上述后曝光工序中的曝光量優(yōu)選為2,000～5,000J/m2左右。另外，該固化處理的燒制溫度，例如為120～250℃，加熱時(shí)間根據(jù)加熱器的種類而異，例如在熱板上進(jìn)行加熱處理時(shí)，是5～30分鐘，在烘箱中進(jìn)行加熱處理時(shí)，是30-90分鐘。此時(shí)，也可以使用進(jìn)行2次或以上的加熱工序的分步烘烤法等。
如此，可以在基板表面形成與目標(biāo)的突起和/或分隔物相對(duì)應(yīng)的圖案狀的薄膜。
如此形成的突起的高度通常是0.1～3.0μm，優(yōu)選為0.5～2.0μm，特別優(yōu)選為1.0～1.5μm；而且分隔物的高度通常是1～10μm，優(yōu)選為2～8μm，特別優(yōu)選為3～5μm。
根據(jù)這樣的本發(fā)明的垂直取向型液晶顯示元件使用的突起和/或分隔物的形成方法，可以微細(xì)加工，而且容易控制形狀和尺寸(高度和底部尺寸)，可以穩(wěn)定且生產(chǎn)性高地形成圖案形狀、耐熱性、耐溶劑性、透明性等優(yōu)異的微細(xì)的突起和分隔物，而且還可以提供取向性、電壓保持率等優(yōu)異的垂直取向型液晶顯示元件。
用于形成本發(fā)明的垂直取向型液晶顯示元件使用的突起和/或分隔物的放射線敏感性樹脂組合物，可以形成分辨率和殘膜率優(yōu)異，且圖案形狀、耐熱性、耐溶劑性、透明性等優(yōu)異的突起和/或分隔物，而且還可以提供取向性、電壓保持率等優(yōu)異的垂直取向型液晶顯示元件。另外，本發(fā)明的垂直取向型液晶顯示元件使用的突起和/或分隔物的形成方法，可以微細(xì)加工，而且容易控制形狀和尺寸(高度和底部尺寸等)，可以穩(wěn)定且生產(chǎn)性高地形成圖案形狀、耐熱性、耐溶劑性、透明性等優(yōu)異的微細(xì)的突起和分隔物，而且還可以提供取向性、電壓保持率等優(yōu)異的垂直取向型液晶顯示元件。
下面，顯示合成例和實(shí)施例，更具體地說明本發(fā)明，但本發(fā)明并不限于以下實(shí)施例。
共聚物[A]的合成例合成例1在具備冷卻管、攪拌器的燒瓶中，加入10重量份2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、250重量份二甘醇乙基甲基醚。再加入5重量份苯乙烯、20重量份甲基丙烯酸、20重量份甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]癸-8-基酯，10重量份甲基丙烯酸4-羥基苯基酯、45重量份甲基丙烯酸縮水甘油酯、5重量份α-甲基苯乙烯二聚物，氮置換后，開始緩緩攪拌。使溶液溫度上升到70℃，保持該溫度4小時(shí)，得到含共聚物[A-1]的聚合物溶液。
共聚物[A-1]的聚苯乙烯換算重均分子量(Mw)為8,000。另外，這里所得的聚合物溶液的固體成分濃度為29.6重量％。
合成例2在具備冷卻管、攪拌器的燒瓶中，加入6重量份2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、200重量份二甘醇乙基甲基醚。再加入14重量份甲基丙烯酸、5重量份甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]癸-8-基酯、50重量份甲基丙烯酸縮水甘油酯、5重量份甲基丙烯酸4-羥基苯基酯、10重量份環(huán)己基馬來酰亞胺、16重量份甲基丙烯酸四氫糠基酯和3重量份α-甲基苯乙烯二聚物，氮置換后，開始緩慢攪拌。使溶液溫度上升至70℃，保持該溫度5小時(shí)，得到含共聚物[A-2]的聚合物溶液。
共聚物[A-2]的聚苯乙烯換算重均分子量(Mw)為12,000。另外，這里所得的聚合物溶液的固體成分濃度為31.8重量％。
合成例3在具備冷卻管、攪拌器的燒瓶中，加入7重量份2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、200重量份二甘醇乙基甲基醚。再加入14重量份甲基丙烯酸、5重量份甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]癸-8-基酯、50重量份甲基丙烯酸縮水甘油酯、5重量份甲基丙烯酸4-羥基苯基酯、10重量份環(huán)己基馬來酰亞胺、16重量份甲基丙烯酸四氫糠基酯和3重量份α-甲基苯乙烯二聚物，氮置換后，開始緩慢攪拌。使溶液溫度上升至70℃，保持該溫度5小時(shí)，得到含共聚物[A-3]的聚合物溶液。
共聚物[A-3]的聚苯乙烯換算重均分子量(Mw)為13,000。另外，這里所得的聚合物溶液的固體成分濃度為32.8重量％。
合成例4在具備冷卻管、攪拌器的燒瓶中，加入7重量份2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、200重量份二甘醇乙基甲基醚。再加入14重量份甲基丙烯酸、5重量份2-丙酸(2-甲基-四氫-2-氧代-3-呋喃基)酯、50重量份甲基丙烯酸縮水甘油酯、5重量份甲基丙烯酸4-羥基苯基酯、10重量份環(huán)己基馬來酰亞胺、16重量份甲基丙烯酸四氫糠基酯和3重量份α-甲基苯乙烯二聚物，氮置換后，開始緩慢攪拌。使溶液溫度上升至70℃，保持該溫度5小時(shí)，得到含共聚物[A-4]的聚合物溶液。
共聚物[A-4]的聚苯乙烯換算重均分子量(Mw)為8,000。另外，這里所得的聚合物溶液的固體成分濃度為31.8重量％。
實(shí)施例1[放射線敏感性樹脂組合物的制備]將相當(dāng)于100重量份聚合物[A-1](固體成分)的量的作為上述合成例1合成的[A]成分的含有聚合物[A-1]的溶液，和30重量份作為成分[B]的4，4’-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙苯酚(1.0摩爾)和氯化1，2-萘醌二疊氮基-5-磺酸(2.0摩爾)的縮合物(B-1)混合，溶解到二甘醇乙基甲基醚中，使固態(tài)成分濃度為30重量％后，通過口徑為0.2μm薄膜過濾器過濾，制備放射線敏感性樹脂組合物的溶液(S-1)。
實(shí)施例2～10除了在實(shí)施例1中，使用表1記載的種類、量的[A]成分和[B]成分以外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，制備放射線敏感性樹脂組合物溶液(S-2)～(S-10)。
另外，表1中，各成分的簡(jiǎn)稱表示如下化合物。
(B-1)4，4’-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙苯酚(1.0摩爾)和氯化1，2-萘醌二疊氮基-5-磺酸(2.0摩爾)的縮合物(B-2)4，4’-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙苯酚(1.0摩爾)和氯化1，2-萘醌二疊氮基-5-磺酸(1.0摩爾)的縮合物(B-3)2，3，4，4’-四羥基二苯酮(1.0摩爾)和1，2-萘醌二疊氮基-5-磺酸的酯(2.44摩爾)(B-4)2，3，4-三羥基二苯酮(1.0摩爾)和1，2-萘醌二疊氮基-5-磺酸的酯(2.6摩爾)(B-5)4，4’-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙苯酚(1.0摩爾)和氯化1，2-萘醌二疊氮基-4-磺酸(2.0摩爾)的縮合物(F)SH28PA(東レ·ダウコ一ニング·シリコ一ン(株)制)表1


使用如上制備的放射線敏感性樹脂組合物，如下形成突起和分隔物，評(píng)價(jià)各種性質(zhì)。
實(shí)施例11～19使用旋轉(zhuǎn)涂布器、實(shí)施例20～24使用縫模涂布器在硅基板上涂布上述組合物后，在90℃下在熱板上預(yù)烘烤2分鐘形成膜厚4.0μm的涂膜。之后，通過具有相當(dāng)于突起部分的剩余5μm寬的圖案和相當(dāng)于分隔物部分的剩余30μm的點(diǎn)的圖案的光掩模，通過キヤノン(株)制的PLA-501F曝光機(jī)(超高壓水銀燈)，改變曝光時(shí)間，進(jìn)行曝光。之后，通過表2記載的25℃的顯影液種類、顯影液濃度、顯影方法，進(jìn)行100秒顯影后，用純水洗滌1分鐘，干燥，在晶片上形成圖案。測(cè)定用于形成相當(dāng)于突起部分的剩余5μm寬的圖案和相當(dāng)于分隔物部分的剩余30μm的點(diǎn)的圖案所需要的曝光量。將該值作為靈敏度，在表中表示。該值在3500J/m2或以下時(shí)，可以認(rèn)為靈敏度良好。
在突起的剖面形狀A(yù)、B或C如下定義時(shí)，通過掃描型電子顯微鏡觀察形成的突起的剖面形狀，以A或B的情況為“良好”，以C的情況為“不好”。突起的剖面形狀的A、B和C圖示地在圖1中例示。
A底部尺寸大于5μm小于等于7μm的情形，B底部尺寸大于7μm的情形，C與底部尺寸無關(guān)，為臺(tái)形形狀的情形。
在分隔物的剖面形狀A(yù)、B或C如下定義時(shí)，通過掃描型電子顯微鏡觀察形成的分隔物的剖面形狀，以A或C的情況為“良好”，以B的情況為“不好”。分隔物的剖面形狀的A、B和C圖示地在圖1中例示。
A底部尺寸大于30μm小于等于36μm的情形，B底部尺寸大于36μm的情形，C與底部尺寸無關(guān)，為臺(tái)形形狀的情形。

實(shí)施例11～19使用旋轉(zhuǎn)涂布器、實(shí)施例20～24使用縫模涂布器在硅基板上涂布上述組合物后，在90℃下在熱板上預(yù)烘烤2分鐘形成膜厚3.0μm的涂膜。之后，通過キヤノン(株)制的PLA-501F曝光機(jī)(超高壓水銀燈)以累積照射量3,000J/m2對(duì)所得的涂膜進(jìn)行曝光。將該硅基板在清潔烘箱內(nèi)，在220℃下，加熱1小時(shí)，得到固化膜。測(cè)定所得的固化膜的膜厚(T1)。然后，將該形成固化膜的硅基板在溫度控制為70℃的二甲基亞砜中浸漬20分鐘后，測(cè)定該固化膜的膜厚(t1)，算出浸漬引起的膜厚變化率{|t1-T1|/T1}×100(％)。結(jié)果如表2所示。在該值為5％或以下時(shí)，認(rèn)為耐溶劑性良好。
另外，在耐溶劑性的評(píng)價(jià)中，由于不需要對(duì)形成的薄膜布圖，所以可以省略放射線的照射工序和顯影工序，用于只進(jìn)行涂膜形成工序、后烘烤工序和加熱工序的評(píng)價(jià)。
與上述耐溶劑性評(píng)價(jià)同樣地形成固化膜，測(cè)定所得的固化膜的膜厚(T2)。然后，將該固化膜基板在清潔烘箱內(nèi)，在240℃下追加烘烤1小時(shí)后，測(cè)定該固化膜的膜厚(t2)，算出追加烘烤引起的膜厚變化率{|t2-T2|/T2}×100(％)。結(jié)果如表2所示。在該值為5％或以下時(shí)，認(rèn)為耐熱性良好。
在上述耐溶劑性評(píng)價(jià)中，除了使用玻璃基板“コ一ニング7059”(コ一ニング社制)代替硅基板以外，同樣地在玻璃基板上形成固化膜。使用分光光度計(jì)“150-20型ダブルビ一ム((株)日立制作所制)，在400～800nm的波長下，測(cè)定具有該固化膜的玻璃基板的光透過率。此時(shí)，最低光線透過率如表2所示。該值為90％或以上時(shí)，認(rèn)為透明性良好。
使用組合物溶液，在具有作為電極的ITO(涂布錫的氧化銦)膜的玻璃基板的電極面上，與前述方法同樣地形成突起和分隔物。之后，通過液晶取向膜涂布用印刷機(jī)，在形成突起和分隔物的玻璃基板上涂布作為液晶取向劑的AL1H659(商品名，ジエイエスア一ル(株)制)后，在180℃下干燥1小時(shí)，形成膜厚0.05μm的涂膜。另外，通過液晶取向膜涂布用印刷機(jī)，在具有ITO膜的另一塊玻璃基板的電極面上涂布作為液晶取向劑的AL1H659，在180℃下干燥1小時(shí)，形成膜厚0.05μm的涂膜。接著，在所得的兩基板的各液晶取向膜的外表面上，絲網(wǎng)印刷涂布加入直徑5μm的玻璃纖維的環(huán)氧樹脂粘合劑，將兩基板壓合以使液晶取向膜表面相對(duì)地重合，使粘合劑固化。之后，從液晶注入口在兩基板間填充メルク社制造的液晶MLC-6608(商品名)，通過環(huán)氧類粘合劑將液晶注入口密封后，在兩基板外表面貼合起偏振片，使其偏振方向正交，制造垂直取向型液晶顯示元件。在圖2中圖示表示所得的垂直取向型液晶顯示元件的縱剖視圖，其中標(biāo)號(hào)1表示分隔物、標(biāo)號(hào)2表示突起、標(biāo)號(hào)3表示液晶、標(biāo)號(hào)4表示液晶取向膜、標(biāo)號(hào)5表示濾色器、標(biāo)號(hào)6表示玻璃基板。
接著，如下評(píng)價(jià)所得的垂直取向型液晶顯示元件的取向性和電壓保持率。
取向性的評(píng)價(jià)是，在開、關(guān)電壓時(shí)，通過偏光顯微鏡觀察在液晶盒中是否會(huì)產(chǎn)生異常區(qū)域，以確認(rèn)沒有異常區(qū)域的情況為“良好”。另外，在評(píng)價(jià)電壓保持率時(shí)，是在液晶顯示元件上施加5V電壓后，斷開電路，測(cè)定16.7毫秒后的保持電壓，計(jì)算出保持電壓相對(duì)于上述施加電壓(5V)的比例。該值為98％或以上時(shí)，認(rèn)為是良好的。
表2


權(quán)利要求
1.一種用于形成垂直取向型液晶顯示元件所使用的突起和/或分隔物的放射線敏感性樹脂組合物，其特征在于包括，[A]下述(a1)～(a4)的共聚物，其中(a1)是不飽和羧酸和/或不飽和羧酸酐，(a2)是含有環(huán)氧基的不飽和化合物，(a3)是下式(1)所示的不飽和化合物，和(a4)是(a1)、(a2)和(a3)以外的烯烴類不飽和化合物， 式中，R1表示氫原子或甲基，R2、R3和R4各自獨(dú)立地表示氫原子、羥基或碳原子數(shù)為1～6的烷基或烷氧基，n是0～6的整數(shù)；以及[B]1，2-醌二疊氮化合物。
2.一種垂直取向型液晶顯示元件使用的突起，該突起是由權(quán)利要求1所記載的放射線敏感性樹脂組合物形成的。
3.一種垂直取向型液晶顯示元件使用的分隔物，該分隔物是由權(quán)利要求1所記載的放射線敏感性樹脂組合物形成的。
4.一種垂直取向型液晶顯示元件，該垂直取向型液晶顯示元件包括權(quán)利要求2記載的突起和/或權(quán)利要求3記載的分隔物。
5.一種形成突起和/或分隔物的方法，其特征在于至少包含如下工序，(1)在基板上形成權(quán)利要求1所記載的放射線敏感性組合物的涂膜的工序；(2)對(duì)該涂膜的至少一部分照射放射線的工序；(3)顯影工序；(4)加熱工序。
全文摘要
本發(fā)明的課題在于提供一種適合用于同時(shí)形成垂直取向型液晶顯示元件的突起和分隔物的放射線敏感性樹脂組合物。為了解決上述問題，本發(fā)明提供一種用于同時(shí)形成垂直取向型液晶顯示元件的突起和分隔物的放射線敏感性樹脂組合物，其特征在于包括，[A]下述(a1)～(a4)的共聚物，其中(a1)是不飽和羧酸和/或不飽和羧酸酐，(a2)是含有環(huán)氧基的不飽和化合物，(a3)是下式(1)所示的不飽和化合物，和(a4)是(a1)、(a2)和(a3)以外的烯烴類不飽和化合物，(式中，R
文檔編號(hào)G03F7/008GK101059651SQ20061007446
公開日2007年10月24日 申請(qǐng)日期2006年4月21日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月26日
發(fā)明者蓑輪貴樹, 高本英司, 花村政曉, 三谷浩司 申請(qǐng)人:Jsr株式會(huì)社