專利名稱：模版輸送容器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及用于輸送將設定圖案轉(zhuǎn)印到襯底上的曝光裝置等所采用的模版的模版輸送容器。
背景技術：
半導體元件、液晶顯示元件等的制造通過光刻工序進行。在該工序中，通過曝光裝置將形成于模版(包括光掩模)上的圖案的像投影·轉(zhuǎn)印于半導體晶片、玻璃板等襯底上。此時，在襯底上涂敷有感光劑，轉(zhuǎn)印的圖案與感光劑反應，經(jīng)過之后的處理，形成電路。
在該工序中，以收納于專用的模版輸送容器中的方式對模版進行處理，以便防止灰塵等造成的污染和接觸等造成的損傷等。
此時，在所形成的電路復雜時，由于必須在襯底上制作多個電路圖案，故與此相對應，配備多個模版，在襯底上，多個圖案重合地形成。
圖2表示該光刻工序所采用的裝置的一個實例。圖中的附圖標記1表示在襯底上投影·轉(zhuǎn)印電路圖案的曝光裝置。附圖標記2表示收納并保管多個模版的模版儲存器。附圖標記3表示收納有模版的模版輸送容器。附圖標記4表示輸送軌，其設置于曝光裝置1和模版儲存器2之間，用于在它們之間，在收納于模版輸送容器3中的狀態(tài)下輸送該模版。附圖標記5表示輸送機構部，該輸送機構部5設置于輸送軌4上，用于直接把持而搬運該模版輸送容器3。
這些部分由控制器(圖中未示出)控制。由此，在收納于模版輸送容器3中的狀態(tài)下，通過輸送軌4的輸送機構部5，將電路圖案所必需的模版從模版儲存器2，輸送給曝光裝置1。該曝光裝置1不再需要的模版通過輸送軌4的輸送機構部5，返回到模版儲存器2。
由于在以上工序中所采用的模版為精密部件，如果因灰塵等而受到污染，或因接觸等而損傷，則無法形成準確的電路圖案，故人們提出了各種用于安全并且可靠地支承模版的模版輸送容器3。
作為其一個實例包括專利文獻1(特開平10-163094號公報)。該專利文獻1的模版的支承機構為銷。對于從下側(cè)支承該模版用的機構，在模版的4個角部的位置，設置模版支承銷。作為從周圍支承模版使其不會沿水平方向偏移的機構，設置有抑制水平移動的止動銷。
另外，作為從上側(cè)支承模版的機構，設置模版按壓件。由此，沿XYZ方向支承而固定模版。
另外，有膜片安裝于模版上的情況，在該情況下，采用膜片輸送容器。在該膜片輸送容器的情況下，人們也同樣提出了各種用于安全并且可靠地支承膜片的膜片輸送容器。
作為其一個實例包括專利文獻2(特開平10-17051號公報)。該專利文獻2的膜片的支承機構為突條和彈性變形部件。作為從下側(cè)支承膜片的機構，在與膜片的周緣相對應的位置上，設置突條和彈性變形部件。作為從周圍支承模版使其不沿水平方向偏移的機構，設置抑制水平移動的卡止片部。另外，對于從上側(cè)支承膜片的機構，門的一部分設計成錐狀的按壓部。由此，沿XYZ方向支承而固定膜片。
但是，上述以往的模版輸送容器為在模版的下側(cè)面和上側(cè)面上直接接觸剛性較高的銷而進行支承的結構，故對于精密部件的處理，不希望作用于模版輸送容器的振動等直接傳遞給模版。
由于支承模版的下側(cè)面的部件呈平坦面狀，故因來自外部的振動等的作用，模版沿水平方向偏移。由于在該模版的周緣，在其與止動器之間具有間隙，故在該間隙的范圍內(nèi)，模版沿水平方向偏移。
由于伴隨電路的集成度的提高以及復雜化，模版的精密度也增加，故人們希望其處理更加謹慎。
同樣對于膜片，人們也希望謹慎地進行處理，以便不對模版造成不利影響。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的模版輸送容器進行了改進以便可更加謹慎地對模版和膜片進行處理。具體來說，該模版輸送容器備有箱，在一端具有開口，并具有收納模版的內(nèi)部；門，通過覆蓋而封閉該盒的前述開口；密封件，在通過上述門封閉上述箱時，將內(nèi)部氣密地密封，其特征在于在上述箱和門的各內(nèi)側(cè)面上，具有一對保持器；該各保持器具有傾斜面部，所述傾斜面部接觸并彈性地支承上述模版的周緣的上側(cè)角部或下側(cè)角部。
根據(jù)該結構，各保持器接觸上述模版的周緣的上側(cè)角部或下側(cè)角部，從而彈性地支承上述模版。另外，由于通過傾斜面部支承上述模版，故是在不偏移的情況下支承該模版。
上述各保持器也可除上述傾斜面部外，還備有凹部，所述凹部設置于該傾斜面部的內(nèi)側(cè)并使其具有下述緩沖功能，即、在上述模版的周緣的上側(cè)角部或下側(cè)角部接觸時，允許上述傾斜面部的撓曲，從而彈性地支承。
根據(jù)該結構，由彈性部件成形的各保持器與上述模版的周緣的上側(cè)角部或下側(cè)角部接觸，由此彈性地支承模版，并且通過凹部形成間隙而允許上述傾斜面部的撓曲，故緩沖功能增加，可更好地進行彈性支承。
由于上述各保持器彈性地支承上述模版，并且通過上述傾斜面部，在不偏移的情況下支承上述模版，故可彈性地并且可靠地支承模版。
另外，由于通過上述凹部而允許上述傾斜面部的撓曲，增加緩沖功能，故可更好地進行彈性支承并且更可靠地進行支承。
此外，由于可在支承部不與形成于模版表面上的掩模圖案接觸的情況下支承模版，故可消除模版表面的圖案的損傷、磨損。


圖1為表示本發(fā)明的實施方式的模版輸送容器的主要部分的剖視圖；圖2為表示光刻工序所采用的裝置的一個實例的概略結構圖；圖3為在箱和門相互分離的狀態(tài)下表示本發(fā)明的實施方式的模版輸送容器的立體圖；圖4為表示本發(fā)明的實施方式的模版輸送容器的側(cè)面剖視圖；圖5為從底面?zhèn)扔^察本發(fā)明的實施方式的門的立體圖；圖6為表示本發(fā)明的實施方式的膜式過濾器的主要部分剖視圖；圖7為表示本發(fā)明的實施方式的無線標簽的主要部分剖視圖。
具體實施例方式
下面參照附圖，對本發(fā)明的實施方式進行描述。另外，由于光刻工序等所采用的裝置與上述背景技術所描述的已有裝置相同，故在這里，僅僅對模版(reticle)輸送容器進行描述。圖1為表示本實施方式的模版輸送容器的主要部分的剖視圖，圖3為在箱和門相互分離的狀態(tài)下表示本實施方式的模版輸送容器的立體圖，圖4為表示本實施方式的模版輸送容器的側(cè)面剖視圖，圖5為從底面?zhèn)扔^察門的立體圖，圖6為表示膜式過濾器的主要部分剖視圖，圖7為表示無線標簽的主要部分剖視圖。
象圖3和圖4所示的那樣，模版輸送容器11主要包括收納模版12的箱13、封閉該箱13的門14、和密封件15，該密封件15設置于該箱13和門14之間，將內(nèi)部氣密地密封。
箱13包括主體部17和周緣嵌合部18，在該主體部17的內(nèi)部收納模版12，該周緣嵌合部18與該主體部17的外周一體形成并與門14嵌合。
主體部17呈盤狀形成，設定成可將模版12完全收納在內(nèi)部的深度。在主體部17的中央部，設置有輸送用的中心操作凸緣20。在該主體部17的周緣部，設置有水平延伸的板狀的側(cè)面操作凸緣21。該中心操作凸緣20與輸送裝置的臂部(圖中未示出)結合，將模版輸送容器11、箱13上抬。另外，側(cè)面操作凸緣21在曝光裝置內(nèi)將門14與箱13以機械方式分離時用作輔助支承機構。此外，在主體部17的周緣部上，后述的運動銷槽(キネマテイツクピングル一ブ)61的承接部22以每條邊3個部位的方式，在對置的2條邊上設置于共計6個部位上。各承接部22由俯視形狀呈半圓形的板材形成。該俯視形狀呈半圓形的各承接部22按照向外側(cè)開口的方式設置。俯視形狀呈半圓形的各承接部22按照其前端側(cè)比基端側(cè)更相互靠近而稍稍向內(nèi)側(cè)傾斜的方式形成。
由此，上側(cè)的模版輸送容器11的運動銷槽61容易嵌合并準確定位在下側(cè)的模版輸送容器11的承接部22上，這樣，能簡單并且穩(wěn)定地將多個模版輸送容器11疊置。
在主體部17的內(nèi)側(cè)的4個角部附近，設置有模版保持器25。該模版保持器25為與后述門14側(cè)的模版保持器45成對而用于支承模版12的部件。該模版保持器25象圖1和圖4所示的那樣，包括保持器承接部26和保持器板部27。該保持器承接部26為用于支承保持器板部27的部件。該保持器承接部26在主體部17的內(nèi)側(cè)的四個角部附近，與主體部17一起一體地形成。具體來說，該保持器承接部26由形成于主體部17的角部的五邊形的板材形成，其1條邊為形成接觸并彈性地支承模版12的上側(cè)角部12A的傾斜面部28的邊。在該保持器承接部26的、形成傾斜面部28的邊的一端，設置有保持器板部27的一端部嵌合的一端側(cè)嵌合用缺口29。在該保持器承接部26的、形成傾斜面部28的邊的另一端，設置有保持器板部27的另一端部嵌合的另一端側(cè)嵌合用缺口30。此外，在形成傾斜面部28的邊上，設置有凹部31。該凹部31設置于傾斜面部28的內(nèi)側(cè)，為用于在模版12的上側(cè)角部12A接觸時允許傾斜面部28的撓曲的部位。通過該凹部31，使保持器板部27具有緩沖功能。即，具有下述的緩沖功能由于保持器板部27本身具有的彈性，以及凹部31的作用，保持器板部27彈性地撓曲，由此，吸收從外部傳遞的振動等，彈性地支承模版12。凹部31的間隙可為1mm左右。
保持器板部27為形成接觸并彈性地支承模版12的上側(cè)角部12A的傾斜面部28的部件。保持器板部27由彈性高分子材料成形。具體來說，采用PEE(聚酯彈性體)、PBT(聚對苯二甲酸丁二醇酯)、PP(聚丙烯)等不產(chǎn)生灰塵的彈性部件。保持器板部27包括抵接面板33、一端嵌合部34與另一端嵌合部35，其側(cè)面形狀呈非規(guī)則的コ字狀。該抵接面板33為用于在保持器板部27與保持器承接部26嵌合的狀態(tài)下構成傾斜面部28的部件。由于該抵接面板33由具有彈性的合成樹脂成形，故其本身彈性地變形，并且由于上述凹部31的作用，而彈性地撓曲，傾斜地接觸并彈性地支承模版12的上側(cè)角部12A。
一端嵌合部34為用于與保持器承接部26的一端側(cè)嵌合用缺口29嵌合、從而將保持器板部27安裝于保持器承接部26上的部分。另一端嵌合部35為用于與保持器承接部26的另一端側(cè)嵌合用缺口30嵌合、從而將保持器板部27安裝于保持器承接部26上的部分。由此，一端嵌合部34和另一端嵌合部35與一端側(cè)嵌合用缺口29和另一端側(cè)嵌合用缺口30嵌合，這樣，將該保持器板部27固定于保持器承接部26上。
在主體部17的內(nèi)側(cè)的四個角部附近，除上述模版保持器25外還設置有膜片保持器37。有在模版12上不設置膜片的情況、在下側(cè)面上設置膜片46的情況、在上下兩側(cè)面上設置膜片46的情況。膜片保持器37為在模版12的上側(cè)面上設置膜片時起作用的部件。該膜片保持器37具有與模版保持器25相同的結構。即，該膜片保持器37包括結構與模版保持器25的保持器承接部26相同的保持器承接部38、和結構與模版保持器25的保持器板部27相同的保持器板部39。在保持器板部39的內(nèi)側(cè)，設置有結構與模版保持器25的凹部31相同的凹部(圖中未示出)。
箱13的周緣嵌合部18象圖3和圖4所示的那樣，按照從主體部17的周緣向周圍伸出的方式形成為盤狀。該盤狀的周緣嵌合部18設定為可將門14的周圍完全收納的深度。在該周緣嵌合部18的對置的邊上，設置有用于固定門14的門扣41。
門14為用于通過與箱13的周緣嵌合部18嵌合而將箱13封閉、并通過密封件15將內(nèi)部氣密地密封的部件。該門14象圖1、圖3和圖4所示的那樣，基本呈平坦狀，在其周緣上開設有密封槽43。密封件15安裝于該密封槽43中，將箱13和門14之間氣密地密封。在門14的上側(cè)面上，在其4個角部的位置上設置有門側(cè)支承部件44。該門側(cè)支承部件44包括模版保持器45、膜片保持器47和底座板部48，該模版保持器45與上述箱13側(cè)的模版保持器25相配合，從上下兩側(cè)支承模版，該膜片保持器47支承安裝于模版2的下側(cè)面上的膜片46，該底座板部48一體地支承模版保持器45和膜片保持器47。
該模版保持器45為下述結構，即、保持器承接部50與上述的箱13側(cè)的模版保持器25的保持器承接部26在與圖1的紙面相垂直的方向上錯開的狀態(tài)下鏡面對稱。即，模版保持器45包括保持器承接部50和保持器板部51，它們與上述的模版保持器25的保持器承接部26和保持器板部27，如映在鏡中時那樣成對稱的結構。保持器板部51的內(nèi)側(cè)的凹部52也具有與模版保持器25的凹部31相同的功能。即，保持器板部51能通過凹部52而彈性地撓曲，傾斜接觸并彈性地支承模版12的下側(cè)角部12B。
上述結構的模版保持器45和模版保持器25設置于相互錯開的位置，能相互不妨礙地支承模版12。通過該模版保持器25、45夾持模版12，將其支承于規(guī)定位置。即使在取下箱13后，該模版12仍能由門14的模版保持器45支承在與門14隔開規(guī)定距離的狀態(tài)下。
膜片保持器47的膜片承接部56，與箱13側(cè)的膜片保持器37的保持器承接部39為在圖1的紙面內(nèi)橫向上錯開的狀態(tài)下鏡面對稱的結構。即，膜片保持器47包括與箱13側(cè)的膜片保持器37的保持器承接部38鏡面對稱的保持器承接部55、與保持器板部39鏡面對稱的保持器板部56。在保持器板部56的內(nèi)側(cè)，設置有結構與膜片保持器37的凹部相同的凹部(圖中未示出)。
在門14的背面上，象圖5所示的那樣，設置有2組運動銷槽61。
該運動銷槽61為用于定位并安裝于曝光裝置上的部件。該運動銷槽61以設置于大致等腰三角形的頂點的位置的3個為一組，在朝向相差180°的狀態(tài)下，設置有2組(61A，61B)，共計6個。這樣做的目的在于，在將模版輸送容器11安裝于裝置內(nèi)部時，即使在作業(yè)者誤將模版輸送容器11的朝向改變了180°而安裝的情況下，仍可直接安裝。
在上述箱13中，象圖6所示的那樣，形成有膜式過濾器安裝部62。
該膜式過濾器安裝部62是用于使得能可靠安裝并且容易裝卸膜式過濾器63的部分。該膜式過濾器安裝部62包括管導向件65、過濾器嵌合筒部66和止動器67。
該管導向件65為用于在內(nèi)部收納并固定膜式過濾器63的筒部。
該管導向件65一體地設置于箱13的主體部17上。管導向件65的外側(cè)開口，從而可裝卸膜式過濾器63。另外，該管導向件65還構成用于與置換模版輸送容器11內(nèi)的氣體用的氣體供給管(圖中未示出)連接的管。該管導向件65的內(nèi)側(cè)封閉，設置有過濾器嵌合筒部66。該過濾器嵌合筒部66為膜式過濾器63的嵌合筒部71嵌合用的筒部。該過濾器嵌合筒部66構成為在管導向件65的內(nèi)部從其內(nèi)側(cè)底部向外側(cè)延伸的小直徑的筒部。在管導向件65的內(nèi)側(cè)面的中間位置上，設置有止動器67。該止動器67為用于固定安裝于管導向件65內(nèi)的膜式過濾器63而使其不會脫落的部件。
膜式過濾器63為用于允許氣體進出模版輸送容器11的內(nèi)外的過濾器。該膜式過濾器63防止灰塵等的通過，僅僅允許氣體在模版輸送容器11的內(nèi)外側(cè)之間進出。該膜式過濾器63包括過濾器主體部70、嵌合筒部71、開口筒部72。
過濾器主體部70呈厚壁圓盤狀形成，在其內(nèi)部收納過濾器。該過濾器主體部70的直徑設定為與上述止動器67卡止的尺寸。嵌合筒部71為用于將過濾器主體部70的內(nèi)部和模版輸送容器11的內(nèi)部連通的部件。嵌合筒部71在膜式過濾器63安裝于管導向件65的內(nèi)部的狀態(tài)下，與過濾器嵌合筒部66嵌合，將過濾器主體部70的內(nèi)部和模版輸送容器11的內(nèi)部連通。開口筒部72為用于通過過濾器將模版輸送容器11的內(nèi)部和外部連通的筒部。另外，作為過濾器，填充0.1～0.5μm的篩網(wǎng)，其將非活性氣體或干燥空氣中的灰塵成分去除。
在門14的外側(cè)表面上，象圖7所示的那樣，設置有無線標簽74(タグ)。該無線標簽74在由覆蓋板75覆蓋的狀態(tài)下安裝于門14的外側(cè)表面上。在覆蓋板75完全覆蓋無線標簽74的狀態(tài)下熔接其全周，從而將其內(nèi)部密封。在覆蓋板75上，形成有收納無線標簽74的凹部75A。在無線標簽74收納于該覆蓋板75的凹部75A中的狀態(tài)下，將覆蓋板75的全周熔接于門14的外側(cè)表面上。由此，將無線標簽74密封收納于覆蓋板75的內(nèi)部。這樣做的目的在于，在模版輸送容器11的輸送過程中等時，防止無線標簽74的脫落或機械性損傷。另外，這樣做的目的還在于防止無線標簽本身造成的對裝置的污染。該無線標簽74為可以根據(jù)來自外部的電磁波的變化而以非接觸的狀態(tài)寫入信息或讀出信息的元件。在該無線標簽74中，存儲有處理、保管等時所需的各種管理信息。
上述那樣構成的模版輸送容器11象下述這樣使用。另外，在這里，以用于在半導體晶片上燒出電路圖案時的處理的情況為例對模版輸送容器11進行描述。
首先，將模版12收納于模版輸送容器11的內(nèi)部。此時，模版12放置于門14的模版保持器45上，安裝箱13，通過門扣41固定。由此，模版12通過門14側(cè)的模版保持器45與箱13側(cè)的模版保持器25夾持而得到支承。具體來說，模版12的下側(cè)角部12B傾斜地接觸并支承在模版保持器45的保持器板部51上，而模版12的上側(cè)角部12A傾斜地接觸并支承在模版保持器25的保持器板部27上。此時，由于在保持器板部51、27的內(nèi)側(cè)具有凹部52、31，允許保持器板部51、27的撓曲，故彈性地支承模版12。由此，該模版12在其表面不損傷的情況下，全部的自由度受到抑制而固定于模版輸送容器11的內(nèi)部。
在模版12上設置有膜片46的情況下，該膜片46通過與上述模版12相同的作用，由膜片保持器47固定。
這樣，模版12每次1個地收納于模版輸送容器11的內(nèi)部，由作業(yè)者將其按照必要的數(shù)量疊置并安裝于模版儲存器2的內(nèi)部。此后的模版輸送容器11的輸送等全部以機械方式進行。即，從模版儲存器2中取出并收納模版輸送容器11，通過輸送吊車在輸送軌上移動，直至將模版輸送容器11內(nèi)的模版12設置在曝光裝置1中的處理，全部以機械方式進行(SMIF標準機械界面)。
輸送軌4的輸送機構部5和模版儲存器2內(nèi)的模版輸送容器11，利用其中心操作凸緣20相互結合而被上抬。另外，通過輸送軌4移動到曝光裝置1，根據(jù)需要而適當?shù)匦D(zhuǎn)。
將模版輸送容器11輸送到曝光裝置1后，將該模版輸送容器11定位于曝光裝置1內(nèi)的規(guī)定位置，然后將曝光裝置1的運動銷(圖中未示出)與運動銷槽61連結。接著，以機械方式拆下模版輸送容器11的門扣41，側(cè)面操作凸緣21由開閉裝置的臂部(圖中未示出)抓住，箱13從門14分離。接著，使門14下降，將模版12送入曝光裝置1的內(nèi)部。然后，將模版12移動到曝光裝置1的自動曝光臺(圖中未示出)，設置在準確地定位于安裝的半導體晶片上的狀態(tài)下，自動地進行曝光作業(yè)。
曝光結束后，再次將模版12返回到模版輸送容器11的門14處，使門14上升，將其與箱13對準，通過門扣41固定。此時，模版12，其上側(cè)角部12A和下側(cè)角部12B通過模版保持器25、45夾持，象上述那樣，在不損傷其表面的情況下，全部的自由度得到抑制而固定于模版輸送容器11的內(nèi)部。接著，將運動銷和運動銷槽61分離，再次通過輸送機構部5，在輸送軌4上移動，將其返回到模版儲存器2。
在以上的處理工序中，根據(jù)記錄于無線標簽74中的信息，進行工序控制。在模版輸送容器11的門14的無線標簽74中，記錄模版12的種類、作業(yè)經(jīng)歷等各種信息，安裝于曝光裝置1的內(nèi)部的讀取裝置(圖中未示出)以非接觸方式讀取該無線標簽74的信息，根據(jù)該信息，進行曝光裝置1內(nèi)的控制等。在曝光作業(yè)結束后，根據(jù)需要，通過寫入裝置(圖中未示出)，在無線標簽74中寫入模版12和模版輸送容器11的經(jīng)歷、作業(yè)經(jīng)歷等。由此，順利地進行曝光作業(yè)和管理等。
此時，由于無線標簽74由覆蓋板75密閉收納，故可不使無線標簽74脫落，不使無線標簽74發(fā)生機械損傷，并且還可防止無線標簽74本身造成的對裝置的污染。
另外，在將模版輸送容器11放置于壓力變化的環(huán)境中的情況下，比如，象飛機進行的輸送等那樣，放置在高空的氣壓較低的環(huán)境、與地上的氣壓較高的環(huán)境的情況下，有時模版輸送容器11的內(nèi)壓低于外壓。在此情況下，難以將箱13和門14分離，但是，由于膜式過濾器63允許氣體進出模版輸送容器11的內(nèi)外，故防止了模版輸送容器11的內(nèi)壓低于外壓的情況。由此，容易分離箱13和門14。
另外，在置換模版輸送容器11內(nèi)部的氣體的情況下，將氣體供給管插入而連接到膜式過濾器安裝部62的管導向件65上，將非活性氣體或干燥空氣等供給管導向件65。
象上述那樣，模版12等的上側(cè)和下側(cè)的角部與模版保持器25的傾斜面部28等接觸，在不與形成于模版12的表面上的掩模圖案等接觸的情況下支承模版12等，故可不損傷、磨損模版表面的圖案等。其結果是，可安全并且可靠地支承模版12等，更謹慎地對其處理。
此外，由于將各種信息記錄于無線標簽74中而進行管理，故可根據(jù)該信息，提高作業(yè)效率。此時，由于無線標簽74密閉收納于覆蓋板75中，故可不使無線標簽74脫落，不對其造成機械性損傷，還可防止無線標簽74本身造成的對裝置的污染。
還有，通過膜式過濾器63，允許氣體進出模版輸送容器11的內(nèi)外，故可防止模版輸送容器11的內(nèi)壓低于外壓的情況，容易將箱13和門14分離。另外，可容易置換模版輸送容器11內(nèi)部的氣體。
再有，在上述實施方式中，1個膜式過濾器63設置于箱13側(cè)，但是其也可設置于門14側(cè)。該膜式過濾器63的設置個數(shù)不限于1個，也可為2個以上?？稍谙?3、門14中的某一者或兩者上，設置1個或多個膜式過濾器63。在此情況下，其設置于不會造成其它妨礙的位置上。
另外，在上述實施方式中，將無線標簽74設置于門14的外側(cè)表面的1個部位上，但是也可根據(jù)需要而設置于2個以上的部位上。所設置的部位不限于門14側(cè)，也可設置于箱13上。還可設置于這兩者上。還有根據(jù)所要求的功能、讀取裝置和寫入裝置的關系，設置于箱13側(cè)的情況。此外，記錄于無線標簽74中的信息不限于作業(yè)經(jīng)歷等，可記錄各種信息。
權利要求
1.一種模版輸送容器，其備有箱，在一端具有開口，并具有收納模版的內(nèi)部；門，通過覆蓋而封閉該箱的前述開口；密封件，在通過上述門封閉上述箱時，將內(nèi)部氣密地密封，其特征在于在上述箱和門的各內(nèi)側(cè)面上，具有一對保持器；該各保持器具有傾斜面部，所述傾斜面部接觸并彈性地支承上述模版的周緣的上側(cè)角部或下側(cè)角部。
2.一種模版輸送容器，其備有箱，在一端具有開口，并具有收納模版的內(nèi)部；門，通過覆蓋而封閉該箱的前述開口；密封件，在通過上述門封閉上述箱時，將內(nèi)部氣密地密封，其特征在于在上述箱和門的各內(nèi)側(cè)面上，具有一對保持器；上述各保持器由彈性部件成形，并且備有傾斜面部，與上述模版的周緣的上側(cè)角部或下側(cè)角部接觸；凹部，設置于該傾斜面部的內(nèi)側(cè)并使其具有下述緩沖功能，即、在上述模版的周緣的上側(cè)角部或下側(cè)角部接觸時，允許上述傾斜面部的撓曲，從而彈性地支承。
3.根據(jù)權利要求1所述的模版輸送容器，其特征在于，在上述箱或門的至少1個部位上，形成有膜式過濾器安裝部，在該膜式過濾器安裝部上安裝有膜式過濾器。
4.根據(jù)權利要求1所述的模版輸送容器，其特征在于，在上述門或箱的外側(cè)表面的至少1個部位上，安裝有無線標簽。
5.根據(jù)權利要求4所述的模版輸送容器，其特征在于，上述無線標簽密封收納于上述門或箱的外側(cè)表面上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能安全且可靠地支承模版(12)的模版輸送容器。該模版輸送容器(11)包括收納模版(12)的箱(13)、將該箱(13)封閉并將其氣密地密封的門(14)和密封件(15)。在箱(13)和門(14)的各內(nèi)側(cè)面上，具有一對模版保持器(25、45)，各模版保持器(25、45)具有傾斜面部(28)，該傾斜面部(28)接觸并彈性地支承模版(12)的周緣的上側(cè)角部(12A)或下側(cè)角部(12B)。在傾斜面部(28)的內(nèi)側(cè)，具有凹部(31、52)，該凹部使傾斜面部具有緩沖功能，即、在模版(12)的周緣的上側(cè)角部(12A)或下側(cè)角部(12B)接觸時，允許上述傾斜面部(28)的撓曲，從而彈性地支承。
文檔編號G03F1/66GK1781826SQ20051012725
公開日2006年6月7日 申請日期2005年11月24日 優(yōu)先權日2004年11月24日
發(fā)明者松鳥千明, 柳原公一 申請人:未來兒株式會社