專利名稱：基板型顯像裝置的制作方法
專利說(shuō)明基板型顯像裝置 本發(fā)明涉及具有將位于玻璃基板的基板表面上的顯像液高效率地從基板表面除去功能的顯像處理裝置。為了能夠在作為諸如液晶基板等應(yīng)用的玻璃基板上形成具有預(yù)定圖案的保護(hù)膜，過(guò)去采用的方式通常是在基板沿水平方向搬運(yùn)的過(guò)程中，進(jìn)行向其供給顯像液，實(shí)施顯像反應(yīng)，除去、回收顯像液，對(duì)其進(jìn)行漂洗以及干燥等一系列的工序。
隨著近年來(lái)基板的大型化，已經(jīng)有人提出了很多種為了不在基板上產(chǎn)生不均勻顯像的、能夠在短時(shí)間內(nèi)除去顯像液的技術(shù)解決方案。在這些技術(shù)解決方案中，還特別包括有作為對(duì)除去、回收顯像液技術(shù)進(jìn)行改進(jìn)的現(xiàn)有技術(shù)的專利文件1以及專利文件2。
專利文件1公開(kāi)的基板傾斜裝置，可以將通過(guò)氣缸實(shí)施升降運(yùn)動(dòng)的軸的上端與底板的下表面中央部，以能夠自由轉(zhuǎn)動(dòng)的方式連接起來(lái)，在底板上安裝有可以從搬運(yùn)滾筒之間朝向上方突出的直立銷。而且，為了將基板傾斜以除去位于上面的顯像液，可以在利用氣缸使軸上升之后，利用馬達(dá)使底板呈朝向前側(cè)下方傾斜的狀態(tài)。
專利文件2公開(kāi)的基板傾斜裝置，可以在被搬運(yùn)的玻璃基板兩側(cè)的外側(cè)位置處配置有框架部件，在這些框架部件之間架設(shè)有軸部件，通過(guò)安裝在軸部件上的滾子支持基板的背面。因此，為了使基板傾斜以除去位于上面的顯像液，可以在以前端部分作為搖動(dòng)支點(diǎn)，使框架部件的后端上升的時(shí)候，通過(guò)前述滾子使基板也同時(shí)產(chǎn)生傾斜移動(dòng)。專利文件1日本特開(kāi)第2003-7582號(hào)公報(bào)，第0070-0072段專利文件2日本特開(kāi)第2003-17401號(hào)公報(bào)，第0047段，附圖7-9在上述專利文件1中，為了在基板傾斜移動(dòng)的時(shí)候，能夠使基板的前端部分下降，需要盡可能地避免與搬運(yùn)滾筒之間形成接觸，因此需要通過(guò)升降機(jī)械組件暫時(shí)抬起底板，使其產(chǎn)生傾斜移動(dòng)，另外當(dāng)該基板返回到搬運(yùn)線組件時(shí)，也需要使處于水平狀態(tài)的基板通過(guò)升降機(jī)械組件的作用將基板放到滾子的上面，所以存在有結(jié)構(gòu)復(fù)雜的問(wèn)題。
而且由于底板重量比較大，特別是當(dāng)基板的規(guī)格比較大而使與之相應(yīng)的底板也比較大時(shí)，在產(chǎn)生搖動(dòng)時(shí)會(huì)使軸承受難以承受的負(fù)擔(dān)。
在專利文件2中，基板是在通過(guò)左右框架部件之間實(shí)施搬入的狀態(tài)下，利用滾子從下面支持升起的，所以在傾斜移動(dòng)時(shí)，需要按照將基板收裝在框架部件之內(nèi)的方式實(shí)施正確地定位搬運(yùn)。如果定位不準(zhǔn)確，搬運(yùn)中的基板會(huì)與框架部件發(fā)生碰撞，為了盡可能避免這種情況出現(xiàn)，需要使框架部件之間的間隔變大，從而會(huì)相應(yīng)的使裝置整體變大。本發(fā)明就是解決上述問(wèn)題用的發(fā)明，本發(fā)明提供的一種基板型顯像裝置，可以具有由沿與基板的搬運(yùn)方向垂直的方向上與軸耦合的多個(gè)滾子構(gòu)成的搬運(yùn)線組件，設(shè)置在該搬運(yùn)線組件的上游一側(cè)的顯像液供給部，和相對(duì)該顯像液供給部設(shè)置在搬運(yùn)線組件的下游一側(cè)的顯像液回收部，而且前述顯像液回收部在滾子的下方位置處配置有與搬運(yùn)方向平行的兩根以上的臂部件，該臂部件的前后一端以能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式實(shí)施著支持而且在轉(zhuǎn)動(dòng)支持著的一端之外的部分處與升降組件連接，在前述臂部件上設(shè)置有隨著前述臂部件的上升從滾子之間突出、進(jìn)而使基板傾斜移動(dòng)的多個(gè)升降部，該多個(gè)升降部在離轉(zhuǎn)動(dòng)支點(diǎn)越遠(yuǎn)處其升降長(zhǎng)度越長(zhǎng)且其上端部分大致成直線狀的整齊排列。
如果采用上述結(jié)構(gòu)形式，在搬運(yùn)過(guò)程中位于基板狀表面處的顯像液，可以僅僅通過(guò)臂部件的升降移動(dòng)在短時(shí)間內(nèi)實(shí)施回收。特別是對(duì)于本發(fā)明采用這種使基板傾斜移動(dòng)的機(jī)械組件的場(chǎng)合，由于可以僅僅使用可利用氣缸組件等實(shí)施升降移動(dòng)的臂部件，和可以與該臂部件形成一體或者單獨(dú)形成的升降部，所以還可以使結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化。
如果沿寬度方向?qū)Χ鄠€(gè)臂部件實(shí)施連接，還能夠減少驅(qū)動(dòng)部件(氣缸組件)的數(shù)量，由于這些臂部件是在同一時(shí)間運(yùn)動(dòng)的，所以對(duì)該基板背面實(shí)施支持的升降部，還能夠按照不精確定位的方式實(shí)施其支持。
而且，如果臂部件和升降部是通過(guò)一片板狀材料加工得到的話，在成本方面更為有利。如果使升降部的側(cè)面形狀形成為與臂部件的旋轉(zhuǎn)軌跡相對(duì)應(yīng)的彎曲形狀，即使?jié)L子和滾子之間的間隔比較狹窄，也仍然能夠避免與滾子間產(chǎn)生干涉。
而且，當(dāng)基板傾斜移動(dòng)時(shí)，基板可能會(huì)出現(xiàn)滑落現(xiàn)象。在一種最佳實(shí)施形式中，還可以通過(guò)制動(dòng)器防止基板落下。在具體的技術(shù)解決方案中，可以將制動(dòng)器設(shè)置在位于臂部件的轉(zhuǎn)動(dòng)支點(diǎn)正上方處的、與滾子同樣高度的位置處。采用這種構(gòu)成形式，能夠避免對(duì)基板的搬運(yùn)形成障礙，并且可以可靠地防止基板落下。

圖1為本發(fā)明所述的顯像裝置的全體平面圖。
圖2為顯像液回收部的放大平面圖。
圖3為沿圖2的A方向觀察時(shí)的示意圖。
圖4為沿圖2的B方向觀察時(shí)的示意圖。
圖5為說(shuō)明本發(fā)明動(dòng)作方式用的、與圖3相類似的示意圖。
對(duì)附圖中的標(biāo)記的說(shuō)明如下1搬運(yùn)線組件、2顯像液供給部、3顯像液回收部、4漂洗液供給·回收部、5干燥部、6滾子、7框架、8臂部件、9連接連桿、10軸、11盤形部件、12連桿、13升降部、14制動(dòng)器、15顯像液回收部件、16氣缸組件。
具體實(shí)施方式
下面參考附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施形式進(jìn)行說(shuō)明。圖1是本發(fā)明所述的顯像裝置的全體平面圖，圖2是顯像液回收部的放大平面圖，圖3是沿圖2的A方向觀察時(shí)的示意圖，圖4是沿圖2的B方向觀察時(shí)的示意圖，圖5是與圖3相類似的、表示對(duì)處于傾斜狀態(tài)的基板實(shí)施支持的示意圖，這種顯像裝置沿著基板的搬運(yùn)線組件1，從上游一側(cè)起依次配置有顯像液供給部2，顯像液回收部3，漂洗液供給·回收部4以及干燥部5。
前述搬運(yùn)線組件1由多個(gè)滾子(圓筒狀滾柱)6構(gòu)成，這些滾子6位于沿基板的搬運(yùn)方向設(shè)置的框架7上，等間隔且沿著與基板的搬運(yùn)方向相垂直的方向配置，它們的長(zhǎng)度設(shè)定為比被搬運(yùn)的基板W的寬度還要長(zhǎng)一些，并且可以通過(guò)圖中未示出的馬達(dá)實(shí)施同步旋轉(zhuǎn)。
而且，在前述顯像液回收部3處還設(shè)置有使基板傾斜用的機(jī)械組件。這種機(jī)械組件可以在滾子6的下方位置處配置有與搬運(yùn)方向平行的兩根以上的臂部件8，這些臂部件8在橫方向上與連桿9連接，另外臂部件8上以基板搬運(yùn)方向?yàn)榛鶞?zhǔn)的前端部分，是以能夠自由旋轉(zhuǎn)的方式支持在架設(shè)于框架7、7之間的、沿橫向方向的軸10上的。
在搬運(yùn)線組件1的下方處設(shè)置有接受從基板W上落下的顯像液的盤形部件11，而且在顯像液回收部3中，從該盤形部件11的下方貫通設(shè)置的氣缸單元16的連桿12向上方延伸，該連桿12的前端還與前述臂部件8的中間部分連接。
在前述臂部件8上一體形成有朝向上方的多個(gè)升降部13。這些升降部13在離作為臂部件8的轉(zhuǎn)動(dòng)支點(diǎn)的軸10的位置越遠(yuǎn)處其升降長(zhǎng)度越長(zhǎng)，而且在上升之前其上端部分大致成直線狀的整齊排列。升降部13的側(cè)面13a還形成為與臂部件8的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)軌跡相對(duì)應(yīng)的彎曲形狀。
而且，在臂部件8的轉(zhuǎn)動(dòng)支點(diǎn)的正上方位于不比滾子6高的位置處，即在位于基板W被搬運(yùn)的時(shí)候不會(huì)接觸到的高度位置處，還設(shè)置有接受傾斜移動(dòng)的基板W的前端、防止基板落下的制動(dòng)器14。另外，在位于臂部件8的轉(zhuǎn)動(dòng)支點(diǎn)的正下方位置處的盤形部件11上，還配置有落水管狀的顯像液回收部件15。
在上述過(guò)程中，可以通過(guò)顯像液供給部2處的狹縫噴嘴等，將顯像液充分設(shè)置到由滾子實(shí)施搬運(yùn)著的玻璃基板的表面上。經(jīng)過(guò)預(yù)定時(shí)間靜置的顯像處理后，再利用滾子搬運(yùn)到相鄰的顯像液回收部分3處，當(dāng)通過(guò)傳感器檢測(cè)到其前端部分到達(dá)預(yù)定的位置時(shí)，暫時(shí)停止搬運(yùn)動(dòng)作，同時(shí)通過(guò)氣缸組件16驅(qū)動(dòng)連桿12上升，使臂部件8以軸10為中心向上方上升。
在上升之前如圖3所示的那樣，升降部13的上端部分處于比滾子6還要低的位置處，不會(huì)對(duì)基板W形成干涉，隨著臂部件8的上升，升降部13將從滾子6、6之間朝向上方伸出，對(duì)基板W的背面實(shí)施支持，使其如圖5所示的那樣傾斜移動(dòng)。通過(guò)這種傾斜移動(dòng)可以使位于基板W的表面上的顯像液從一端流下，回收到顯像液回收部件15的內(nèi)部。之后使連桿12降下，在確認(rèn)升降部13從基板W的背面離開(kāi)之后繼續(xù)用滾子搬運(yùn)基板，將其一直移動(dòng)到供給？回收漂洗液部4處。對(duì)于漂洗液，可以采用與顯像液回收部相同的機(jī)械裝置進(jìn)行處理。進(jìn)行漂洗處理的時(shí)候，還可以如圖5所示那樣在使基板W處于傾斜的狀態(tài)下進(jìn)行，將漂洗液的供給位置設(shè)置在比基板W高的位置處。原先供給的漂洗液在被污染后原樣排出，在經(jīng)過(guò)預(yù)定的時(shí)間之后，對(duì)漂洗液實(shí)施回收。之后，利用滾子將玻璃基板朝向干燥部5實(shí)施搬運(yùn)。
而且，在該實(shí)施例中，臂部件是以沿搬運(yùn)方向作為基準(zhǔn)的前端為中心的進(jìn)行升降動(dòng)作的，然而也可以取后端為中心進(jìn)行升降動(dòng)作。
發(fā)明效果說(shuō)明如下。
如果采用以上說(shuō)明的本發(fā)明，能夠在短時(shí)間內(nèi)高效率地對(duì)搬運(yùn)途中的基板上的顯像液實(shí)施回收。特別是使基板傾斜移動(dòng)用的部件僅僅為臂部件和升降部，而且還可以將臂部件和升降部形成為一體，所以可以簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)，即使基板呈大型化形式，也不會(huì)增大對(duì)連桿的負(fù)擔(dān)。
而且，由于采用的是近似點(diǎn)接觸的方式，所以可以利用升降部全面穩(wěn)定地對(duì)基板的內(nèi)表面實(shí)施支持，解決基板彎曲的問(wèn)題。
權(quán)利要求
1.一種具有由沿與基板的搬運(yùn)方向垂直的方向上與軸耦合的多個(gè)滾子構(gòu)成的搬運(yùn)線組件，設(shè)置在該搬運(yùn)線組件的上游一側(cè)的顯像液供給部，和相對(duì)該顯像液供給部設(shè)置在搬運(yùn)線組件的下游一側(cè)的顯像液回收部的基板型顯像裝置，其特征在于前述顯像液回收部在滾子的下方位置處配置有與搬運(yùn)方向平行的兩根以上的臂部件，該臂部件的前后一端以能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式實(shí)施著支持而且在轉(zhuǎn)動(dòng)支持著的一端之外的部分處與升降組件連接，在前述臂部件上設(shè)置有隨著前述臂部件的上升從滾子之間突出、進(jìn)而使基板傾斜移動(dòng)的多個(gè)升降部，該多個(gè)升降部在離轉(zhuǎn)動(dòng)支點(diǎn)越遠(yuǎn)處其升降長(zhǎng)度越長(zhǎng)且其上端部大致成直線狀的整齊排列。
2.如權(quán)利要求1所述的基板型顯像裝置，其特征在于前述升降部的側(cè)面形成為與臂部件的轉(zhuǎn)動(dòng)軌跡相對(duì)應(yīng)的彎曲形狀。
3.如權(quán)利要求1所述的基板型顯像裝置，其特征在于前述兩根以上的臂部件相互連接。
4.如權(quán)利要求1到3所述的基板型顯像裝置，其特征在于該顯像裝置在位于臂部件的轉(zhuǎn)動(dòng)支點(diǎn)正上方的不超過(guò)滾子的高度的位置處，還設(shè)置有防止基板落下用的制動(dòng)器。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可以利用簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)構(gòu)成使基板產(chǎn)生傾斜移動(dòng)，進(jìn)而可以短時(shí)間高效率地回收顯像液的顯像裝置。該裝置可以在上升之前，使升降部(13)的上端部處于比滾子(6)還要低的位置處，使其不會(huì)與基板W形成干涉，隨著臂部件(8)的上升動(dòng)作，升降部(13)將從滾子(6、6)之間向上方伸出，對(duì)基板(W)的背面實(shí)施支持，使其向上傾斜移動(dòng)。通過(guò)這種傾斜移動(dòng)可以使位于基板(W)的表面上的顯像液從一端流下的，回收到顯像液回收部件15的內(nèi)部，隨后再通過(guò)滾子搬運(yùn)基板，使其移動(dòng)到漂洗液的供給·回收部(4)處。對(duì)于漂洗液，可以將原先供給的漂洗液在被污染后原樣排出，經(jīng)過(guò)預(yù)定的時(shí)間之后，對(duì)該漂洗液實(shí)施回收。之后，通過(guò)滾子將玻璃基板朝向干燥部(5)實(shí)施搬運(yùn)。
文檔編號(hào)G03F7/30GK1584744SQ200410055030
公開(kāi)日2005年2月23日 申請(qǐng)日期2004年6月10日 優(yōu)先權(quán)日2003年6月10日
發(fā)明者島井太, 河田茂 申請(qǐng)人:東京応化工業(yè)株式會(huì)社