專利名稱：導(dǎo)光裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在用于除去半導(dǎo)體晶片周邊部分的不要的抗蝕劑的曝光中使用的導(dǎo)光裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體晶片的使用光刻法的圖案形成過(guò)程中，不對(duì)圖案形成部分的周邊部分進(jìn)行曝光，在該周邊部分殘留有抗蝕劑。因?yàn)榇嬖谥鴦冸x殘存在該周邊部分的抗蝕劑而成為附著在半導(dǎo)體晶片上的粉末的擔(dān)心，所以在移到下一個(gè)步驟前需要除去該抗蝕劑。為了除去半導(dǎo)體晶片周邊部分的不要的抗蝕劑，可以用將由導(dǎo)光裝置導(dǎo)入的光照射在除去部分，移動(dòng)除去部分上的照射光點(diǎn)，使除去部分整體曝光的方法。在這種曝光方法中，為了在除去部分整體上實(shí)現(xiàn)均勻的曝光，要求對(duì)來(lái)自曝光裝置的射出光以使其截面具有矩形形狀的方式進(jìn)行整形，并且要求使在射出光的整個(gè)截面上照度均勻化。
作為這種導(dǎo)光裝置的現(xiàn)有技術(shù)，例如有日本特開平10-74676號(hào)專利公報(bào)揭示的導(dǎo)光裝置。在日本特開平10-74676號(hào)專利公報(bào)揭示的導(dǎo)光裝置中，具有設(shè)置在照射頭上的矩形形狀的透過(guò)單元的孔徑部件將來(lái)自導(dǎo)光裝置的射出光的截面整形成矩形形狀。另外，在美國(guó)專利No.4,964,692中，揭示了具有使從光纖束的光射出端面射出的光均勻化的芯·包層構(gòu)造的莖狀部件(a clad cane element)的導(dǎo)光裝置。

發(fā)明內(nèi)容
但是，在現(xiàn)有的導(dǎo)光裝置中，因?yàn)榭讖讲考恼诠鈫卧诒螐膶?dǎo)光光纖射出的光的外輪廓，從而存在使射出光的光量減少的問(wèn)題。
因此，本發(fā)明就是為了解決上述問(wèn)題提出的，本發(fā)明的目的是提供不減少?gòu)膶?dǎo)光光纖射出的光的光量，將射出光的截面整形成矩形形狀，并且在射出光的整個(gè)截面上使照度均勻化的導(dǎo)光裝置。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的導(dǎo)光裝置用于半導(dǎo)體晶片周邊部分的曝光，其特征在于具有通過(guò)將多個(gè)光纖捆綁成束構(gòu)成的、具有第1光入射端面和第1光射出端面的光纖束；具有第2光入射端面和第2光射出端面，通過(guò)從第2光入射端面取入從光纖束的第1光射出端面射出的光，并導(dǎo)入到第2光射出端面，使在從第2光射出端面射出的光的截面上的照度均勻化的玻璃棒；和以使玻璃棒的第2光入射端面與光纖束的第1光射出端面對(duì)置的方式，將玻璃棒固定在光纖束的光射出端面一側(cè)前端部分的玻璃棒保持部件，玻璃棒的第2光射出端面為矩形形狀。
玻璃棒取入從光纖束射出的光，使在射出光的整個(gè)截面上照度均勻化。另外，因?yàn)椴ＡО舻牡?光射出端面為矩形形狀，所以來(lái)自玻璃棒的射出光的截面也被整形成矩形形狀。因此，不需要應(yīng)用孔徑部件遮蔽射出光的截面外輪廓進(jìn)行整形。結(jié)果，能夠不減少由光纖束引導(dǎo)的光的光量，并使該光照射在半導(dǎo)體晶片的周邊部分上。
另外，在本發(fā)明的導(dǎo)光裝置中，玻璃棒滿足由下列公式(1)和(2)表示的關(guān)系式為優(yōu)選。
L>d21tanθ′----(1)]]>nsinθ＝n′sinθ′ (2)其中L[mm]玻璃棒的長(zhǎng)度d[mm]在玻璃棒的第2光射出端面上的對(duì)角線長(zhǎng)度n空氣的折射率n′玻璃棒的折射率θ從光纖到空氣中的最大射出角度θ′當(dāng)從光纖以最大射出角度射出的光入射到第2光射出端面時(shí)的折射角通過(guò)使玻璃棒充分滿足上述條件，從中心軸入射到玻璃棒的來(lái)自光纖的射出光中的最大射出角成分至少1次在玻璃棒的邊界面(玻璃棒與包層或外部氣體的界面)全反射。因此，通過(guò)來(lái)自各光纖的射出光在玻璃棒的邊界面全反射進(jìn)行混合，能夠使光纖束的第1光射出端面上的照度的不均良好地均勻化。
另外，本發(fā)明的導(dǎo)光裝置優(yōu)選具有覆蓋光纖束的光射出端面一側(cè)前端部的套筒部件，可以裝上卸下地將玻璃棒保持部件安裝在套筒部件中。
因?yàn)槟軌驈奶淄膊考〕霾ＡО舯３植考?，所以使玻璃棒的交換和清洗變得容易了。
另外，本發(fā)明的導(dǎo)光裝置，在光纖束的光射出端面一側(cè)前端部用粘合劑將多個(gè)光纖相互粘合起來(lái)為優(yōu)選。
通過(guò)在光纖束的光射出端面一側(cè)前端部用粘合劑將光纖相互粘合起來(lái)，可以與光纖束的形狀無(wú)關(guān)地維持光射出端面一側(cè)前端部的形狀。另外，在光纖束的第1光射出端面上的光纖芯端面的密度變高、暗部(光纖芯端面以外的部分)減少。因此，在第1光射出端面上的光量密度增高。
另外，在本發(fā)明的導(dǎo)光裝置中，光纖束的第1光射出端面和玻璃棒的第2光入射端面通過(guò)間隙對(duì)置為優(yōu)選。
通過(guò)在玻璃棒的第2光入射端面和光纖束的第1光射出端面之間存在間隙，能夠防止由第2光入射端面和第1光射出端面相互接觸引起的損傷。
另外，本發(fā)明的導(dǎo)光裝置優(yōu)選具有覆蓋光纖束的光射出端面一側(cè)前端部的套筒部件、和通過(guò)固定在光纖束的光射出端面一側(cè)前端部近旁的部位和套筒部件上使光纖束保持在前端部近旁彎曲的狀態(tài)的彎曲部分保持部件。
因?yàn)橥ㄟ^(guò)這種構(gòu)造的彎曲部分保持部件使光纖束保持在光射出端面一側(cè)前端部近旁彎曲的狀態(tài)，所以能夠減少在光射出端面一側(cè)前端部近旁的光纖束的占有空間。


圖1是表示導(dǎo)光裝置1的外觀的圖。
圖2是放大導(dǎo)光裝置1的圖1所示的區(qū)域X的部分截面圖。
圖3是表示導(dǎo)光光纜10的光射出端面的圖。
圖4是表示照射頭4的光射出端面的圖。
圖5是表示第1光入射單元的端面的圖。
圖6是表示將光纖束16的光射出端面一側(cè)前端部嵌入套筒部件13中的樣子的圖。
圖7是表示在沿玻璃棒40的長(zhǎng)度方向的截面(包含光射出端面40o的對(duì)角線的截面)上光全反射傳播的樣子的圖。
圖8是應(yīng)用導(dǎo)光裝置1的半導(dǎo)體晶片周邊部分曝光裝置5的概略圖。
具體實(shí)施例方式
下面，我們參照附圖，詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的導(dǎo)光裝置的優(yōu)選實(shí)施方式。此外，在各附圖中在相同的元件上附加相同的標(biāo)號(hào)，并省略對(duì)它們的重復(fù)說(shuō)明。
首先，我們說(shuō)明本實(shí)施方式的導(dǎo)光裝置1的構(gòu)造。圖1是表示導(dǎo)光裝置1的外觀的圖。圖2是放大導(dǎo)光裝置1的圖1所示的區(qū)域X的部分截面圖。導(dǎo)光裝置1，在光射出端面一側(cè)，具有通過(guò)用PVC覆層17覆蓋將多條光纖芯線(用于透過(guò)UV的石英光纖芯線)捆綁成束的光纖束16構(gòu)成的導(dǎo)光光纜10。導(dǎo)光光纜10，在光入射端面一側(cè)，分開成導(dǎo)光光纜20和導(dǎo)光光纜30。導(dǎo)光光纜20和導(dǎo)光光纜30中的芯線數(shù)量大致相同，通過(guò)在分開單元中使構(gòu)成它們各自的光纖芯線搓合來(lái)構(gòu)成導(dǎo)光光纜10的光纖束16。該導(dǎo)光光纜的分開單元被分開單元外圍11所覆蓋。
光纖束16的光射出端面一側(cè)前端部，以使截面成為矩形形狀的方式用粘合劑將光纖芯線彼此粘合起來(lái)，并且將其嵌合在套筒部件13中?，F(xiàn)在我們更詳細(xì)地說(shuō)明光纖束16的光射出端面一側(cè)前端部的構(gòu)造。圖3是表示導(dǎo)光光纜10的光射出端面的圖。圖6是表示將光纖束16的光射出端面一側(cè)前端部嵌入套筒部件13中的樣子的圖。光纖束16，通過(guò)在光射出端面一側(cè)前端部(與圖6所示的區(qū)域Y相當(dāng)?shù)牟糠?中用粘合劑將光纖芯線彼此粘合起來(lái)，固定形狀。這時(shí)，如圖3所示，光射出端面一側(cè)前端部的截面形狀被整形成橫8.0mm、縱4.0mm的矩形形狀。另外，希望在光射出端面一側(cè)前端部中的光纖芯線的配列，相對(duì)于在其它部分中的光纖芯線的配列，盡可能地是隨機(jī)的。這樣，隨機(jī)地配列在光射出端面一側(cè)前端部中的光纖芯線有助于使來(lái)自各光纖芯線的射出光的光量偏差均勻化。
如圖3和圖6所示，套筒部件13是整體形狀成為橢圓柱形狀的筒狀部件。套筒部件13的中空部分的截面成為橫8.0mm、縱4.0mm的矩形形狀，通過(guò)在一方的開口部分側(cè)壁稍微突出形成臺(tái)階13a。臺(tái)階13a的厚度以達(dá)到預(yù)定長(zhǎng)度g的方式進(jìn)行調(diào)整。用粘合劑固定光射出端面一側(cè)前端部的光纖束16，通過(guò)插入中空部分，嵌合在套筒部件13中。當(dāng)嵌合時(shí)，臺(tái)階13a與光纖束16的光射出端面16o卡合，套筒部件13的底面和光射出端面16o之間形成間隔g的間隙。這樣，通過(guò)將光纖束16嵌合在套筒部件13中，能夠與光纖束16的形狀變化無(wú)關(guān)地維持光射出端面一側(cè)前端部的形狀。進(jìn)一步，通過(guò)用粘合劑固定光射出端面一側(cè)前端部，能夠更強(qiáng)固地固定形狀，并且使在光射出端面16o上的光纖芯端面的密度變高，暗部(光纖芯端面以外的部分)減少。因此，在光射出端面16o上的光量密度增高。
套筒部件13是整體形狀成為橢圓柱形狀的筒狀部件，以使套筒部件13的底面和射出部外圍14的底面位于同一平面上的方式，安裝具有橢圓柱形狀的中空部分的射出部外圍14。光纖束16的光射出端面一側(cè)前端部被射出部外圍14和PCV覆層17所覆蓋。
如圖2所示，可以裝上卸下地將照射頭4安裝在光纖束16的光射出端面一側(cè)前端部。照射頭4是通過(guò)具有玻璃棒保持部件42、收容在玻璃棒保持部件42中的玻璃棒40和固定玻璃棒40的定位銷44構(gòu)成的，使玻璃棒40與光纖束16的光射出端面16o對(duì)置地進(jìn)行設(shè)置?，F(xiàn)在我們?cè)敿?xì)說(shuō)明照射頭4和玻璃棒40的構(gòu)造。圖4是表示照射頭4的光射出端面的圖。玻璃棒40具有底面為橫8.0mm、縱4.0mm的矩形形狀，長(zhǎng)度(高度)為40.0mm的四角柱形狀。玻璃棒40的一方的底面成為光入射端面40i，另一方的底面成為光射出端面40o。
如圖2和圖4所示，玻璃棒保持部件42，成為筒狀，在前端部(玻璃棒收容單元)中的截面的內(nèi)周和外周都成為橢圓形。在后端部(射出部外圍安裝單元)中的截面的內(nèi)周和外周也都成為橢圓形，但是在射出部外圍安裝單元中的內(nèi)周徑比玻璃棒收容單元中的內(nèi)周徑大。
在玻璃棒收容單元中，以截面內(nèi)周的長(zhǎng)徑比8.0mm(玻璃棒40的光射出端面40o的橫邊的長(zhǎng)度)長(zhǎng)，短徑比4.0mm(玻璃棒40的光射出端面40o的縱邊的長(zhǎng)度)長(zhǎng)的方式進(jìn)行設(shè)定。另外，將中空部分的長(zhǎng)度設(shè)定為40.0mm(玻璃棒40的長(zhǎng)度)。在玻璃棒收容單元的側(cè)壁中，在前端部分一側(cè)和后端部分一側(cè)分別各自形成4個(gè)定位銷插入孔42a。當(dāng)插入到玻璃棒收容單元中時(shí)，使玻璃棒40具有自由度地被收容，但是插入到定位銷插入孔42a中的定位銷44固定玻璃棒40的位置。此外，也可以在定位銷插入孔42a的側(cè)面上形成螺絲溝，代替定位銷44，將定位螺絲擰入定位銷插入孔42a中。
在射出部外圍安裝單元中的截面內(nèi)周的形狀和大小與射出部外圍14的外周相同，以將射出部外圍14嵌合在射出部外圍安裝單元的中空部分中的方式進(jìn)行設(shè)定。通過(guò)將射出部外圍14嵌合在射出部外圍安裝單元的中空部分中，可以裝上卸下地將照射頭4安裝在射出部外圍14上。即，通過(guò)射出部外圍14可以裝上卸下地將照射頭4安裝在套筒部件13中。這樣，因?yàn)檎丈漕^4可以裝上卸下，所以使玻璃棒40的交換和清洗變得容易了。
因?yàn)樯涑霾客鈬惭b單元中的內(nèi)周徑比玻璃棒收容單元中的內(nèi)周徑大，所以在兩者的邊界部分產(chǎn)生臺(tái)階42b。當(dāng)將射出部外圍14嵌合在射出部外圍安裝單元的中空部分中時(shí)，該臺(tái)階42b與射出部外圍14的底面卡合。另一方面，當(dāng)將玻璃棒40插入玻璃棒收容單元中時(shí)，以使光入射端面40i處于與臺(tái)階42b(射出部外圍14和套筒部件13的底面)同一的平面上的方式固定玻璃棒40。如上所述，在套筒部件13的底面和光纖束16的光射出端面16o之間具有間隔g的間隙，所以玻璃棒40的光入射端面40i和光纖束16的光射出端面16o之間形成間隔g的間隙。這樣，通過(guò)在光入射端面40i和光射出端面16o之間存在間隙，能夠防止損傷光入射端面40i和光射出端面16o。
如以上所述，當(dāng)將照射頭4安裝在導(dǎo)光光纜10的前端部上時(shí)，以使光入射端面40i通過(guò)間隔g的間隙與光纖束16的光射出端面16o對(duì)置的方式，固定玻璃棒40。進(jìn)一步，通過(guò)挪動(dòng)定位銷44的位置，以使光入射端面40i能夠不泄露地取得來(lái)自光射出端面16o的射出光的方式，調(diào)整玻璃棒40的姿勢(shì)。
如圖1和圖2所示，導(dǎo)光光纜10在前端部近旁彎曲到直角方向，由彎曲部分保持部件12保持它的形狀。彎曲部分保持部件12是通過(guò)具有環(huán)122、環(huán)124、固定板126和螺絲128而構(gòu)成的。將環(huán)122固定在導(dǎo)光光纜10在前端部近旁的部位上。另外，將環(huán)124固定在射出部外圍14的外周面上。即，通過(guò)射出部外圍14將環(huán)124固定在套筒部件13上。將固定板126的兩端部分別安裝在環(huán)122、環(huán)124上，在用螺絲128擰緊后用環(huán)氧樹脂系的粘合劑進(jìn)行固定。因?yàn)橥ㄟ^(guò)應(yīng)用這樣構(gòu)成的彎曲部分保持部件12，在導(dǎo)光光纜10的前端部近旁的部位和套筒部件13上作用著將兩者拉合在一起的力，所以能夠保持在導(dǎo)光光纜10的前端部近旁的彎曲狀態(tài)。此外，在彎曲部分為了使光纖束16具有耐彎曲構(gòu)造，將光纖芯線搓合起來(lái)。例如，將約200根光纖芯的光纖芯線搓合起來(lái)構(gòu)成子光纖束，進(jìn)一步將7根子光纖束搓合起來(lái)構(gòu)成光纖束。這樣，導(dǎo)光光纜10在前端部近旁彎曲到直角方向，由彎曲部分保持部件12保持它的形狀，從而可以良好地維持射出光的垂直下射狀態(tài)，防止由光纖束16反復(fù)彎曲引起的損傷，防止當(dāng)安裝到曝光裝置上時(shí)由導(dǎo)光光纜10的前端部處于浮動(dòng)狀態(tài)而與裝置內(nèi)周邊部分接觸引起的損傷。
在導(dǎo)光裝置1的入射單元一側(cè)，構(gòu)成第1光入射單元的導(dǎo)光光纜20的前端部被入射單元外圍24覆蓋。圖5是表示第1光入射單元的端面的圖。如圖5所示，構(gòu)成導(dǎo)光光纜20的光纖束的前端面(光入射端面26i)從入射單元外圍24露出來(lái)。光入射端面26i成為圓形形狀。導(dǎo)光光纜20在前端部近旁彎曲，由彎曲部分保持部件22保持彎曲狀態(tài)。與在導(dǎo)光光纜20中相同，導(dǎo)光光纜30在前端部具有第2光入射單元，又由彎曲部分保持部件32保持彎曲狀態(tài)。光源與第1光入射單元連接，由光纖束從第1光入射單元的光入射端面26i取入用于使半導(dǎo)體晶片周邊部分曝光的光。當(dāng)要求更大光量時(shí)，也可以使別的光源與第2光入射單元連接。
下面，我們說(shuō)明導(dǎo)光裝置1的作用·效果。由光纖束引導(dǎo)光源的光，從光射出端面16o射出。來(lái)自光射出端面16o的射出光入射到玻璃棒40的光入射端面40i。入射到光入射端面40i的光在玻璃棒40內(nèi)轉(zhuǎn)播從光射出端面40o射出，但是在該過(guò)程中能夠使射出光的截面上的照度均勻化并且對(duì)射出光的截面形狀進(jìn)行整形。
現(xiàn)在我們?cè)敿?xì)說(shuō)明在玻璃棒40中使射出光的截面上的照度均勻化并且對(duì)射出光的截面形狀進(jìn)行整形的過(guò)程。圖7是表示在沿玻璃棒40的長(zhǎng)度方向的截面(包含光射出端面40o的對(duì)角線的截面)上光全反射進(jìn)行傳播的樣子的圖。該對(duì)角線的長(zhǎng)度d如公式(3)所示為8.94mm。
d=wh2×w12≈8.94----(3)]]>其中Wh光射出端面40o的橫邊的長(zhǎng)度＝8.0mmWl光射出端面40o的縱邊的長(zhǎng)度＝4.0mm在本實(shí)施方式中，構(gòu)成光纖束16的光纖芯線的到空氣中的最大射出角θ(光纖芯線的光軸與射出光形成的最大角度)為11.5°。當(dāng)這種最大角度成分的光從光入射端面40i入射到玻璃棒40上時(shí)，最大角度成分的光與光軸(玻璃棒40的中心軸)形成的角度θ′如從公式(2)導(dǎo)出的公式(4)所示為7.768°。
nsinθ＝n′sinθ′ (2)θ′=sin-1(nn′sinθ)≈7.768----(4)]]>其中n空氣的折射率＝1n′玻璃棒40的折射率＝1.475
這里，用于使上述最大角度成分的光(假定從中心軸上入射到玻璃棒40。)至少1次在玻璃棒40與空氣的界面上全反射的玻璃棒40的長(zhǎng)度條件由公式(1)表示。
L>d21tanθ′----(1)]]>其中L[mm]玻璃棒40的長(zhǎng)度本實(shí)施方式的玻璃棒40的長(zhǎng)度為40.0mm，充分滿足上述條件。因此，來(lái)自各光纖芯線的射出光通過(guò)在玻璃棒40與空氣的界面上全反射而混合起來(lái)，使在光纖束16的光射出端面16o上的照度的不均均勻化。即，因?yàn)橛擅織l光纖芯線引導(dǎo)的光的彎曲損失是不同的，和在光射出端面16o上存在不傳播光的包層的區(qū)域等的原因，在光射出端面16o上產(chǎn)生照度的光斑。但是，通過(guò)應(yīng)用本實(shí)施方式的玻璃棒40，使來(lái)自各光纖芯線的射出光混合起來(lái)，能夠使照度的光斑均勻化。
另外，因?yàn)椴ＡО?0的光射出端面40o成為矩形形狀，所以從光射出端面40o射出的光的截面被整形成矩形形狀。因此，不需要應(yīng)用孔徑部件遮蔽射出光的截面外輪廓進(jìn)行整形。結(jié)果，能夠不減少由光纖束引導(dǎo)的光的光量，并使該光照射在半導(dǎo)體晶片的周邊部分上。此外，光纖束的光射出端面和玻璃棒的光入射端面的形狀也可以不是矩形形狀。即便在這種情形中，只要玻璃棒的光射出端面的形狀成為矩形形狀，就能夠?qū)牟ＡО舻墓馍涑龆嗣嫔涑龅墓獾慕孛嬲纬删匦涡螤睢?br> 圖8是應(yīng)用導(dǎo)光裝置1的半導(dǎo)體晶片周邊部分曝光裝置5的概略圖。半導(dǎo)體晶片周邊部分曝光裝置5具有框體52，在框體52的內(nèi)部使半導(dǎo)體晶片6的周邊部分(除去抗蝕劑部分)曝光。將半導(dǎo)體晶片6設(shè)置在旋轉(zhuǎn)支持板54上。照射頭移動(dòng)裝置56支持照射頭4，控制照射頭4的位置。照射頭4照射在半導(dǎo)體晶片6的周邊部分(除去抗蝕劑部分)的一點(diǎn)上，通過(guò)由旋轉(zhuǎn)支持板54引起的半導(dǎo)體晶片6的旋轉(zhuǎn)和由照射頭移動(dòng)裝置56引起的照射頭4的照射點(diǎn)的移動(dòng)，使半導(dǎo)體晶片6的周邊部分(除去抗蝕劑部分)不被均勻地曝光。
在光射出端面一側(cè)的前端部導(dǎo)光光纜10的光軸向著鉛直方向，但是因?yàn)閷?dǎo)光光纜10在同一前端部近旁以使光軸向著水平方向的方式彎曲，所以能夠使鉛直方向的框體52的尺寸小型化。另外，能夠減少使照射頭4移動(dòng)到收藏位置時(shí)的收藏空間。
如以上說(shuō)明的那樣，如果根據(jù)本發(fā)明，則可以提供不減少?gòu)膶?dǎo)光光纖射出的光的光量，將射出光的截面整形成矩形形狀，并且在射出光的整個(gè)截面上使照度均勻的導(dǎo)光裝置。
本發(fā)明能夠應(yīng)用于例如半導(dǎo)體集成電路的制造。
權(quán)利要求
1.一種導(dǎo)光裝置，用于半導(dǎo)體晶片周邊部分的曝光，其特征在于具有通過(guò)將多個(gè)光纖捆綁成束構(gòu)成的、具有第1光入射端面和第1光射出端面的光纖束；具有第2光入射端面和第2光射出端面，通過(guò)從所述第2光入射端面取入從所述光纖束的第1光射出端面射出的光，并導(dǎo)入到所述第2光射出端面，使在從所述第2光射出端面射出的光的截面上的照度均勻化的玻璃棒；和以使所述玻璃棒的第2光入射端面與所述光纖束的第1光射出端面對(duì)置的方式，將所述玻璃棒固定在所述光纖束的光射出端面一側(cè)前端部分的玻璃棒保持部件，所述玻璃棒的第2光射出端面為矩形形狀。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)光裝置，其特征在于所述玻璃棒滿足由下列公式(1)和(2)表示的關(guān)系式， nsinθ＝n′sinθ′.(2)其中L[mm]所述玻璃棒的長(zhǎng)度d[mm]在所述玻璃棒的第2光射出端面上的對(duì)角線長(zhǎng)度n空氣的折射率n′所述玻璃棒的折射率θ從所述光纖到空氣中的最大射出角度θ′當(dāng)從所述光纖以最大射出角度射出的光入射到所述第2光入射端面時(shí)的折射角。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的導(dǎo)光裝置，其特征在于具有覆蓋所述光纖束的光射出端面一側(cè)前端部的套筒部件；可以裝上卸下地將所述玻璃棒保持部件安裝在所述套筒部件。
4.根據(jù)權(quán)利要求1到3中任何一項(xiàng)所述的導(dǎo)光裝置，其特征在于在所述光纖束的光射出端面一側(cè)前端部用粘合劑將所述多個(gè)光纖相互粘合起來(lái)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1到4中任何一項(xiàng)所述的導(dǎo)光裝置，其特征在于所述光纖束的第1光射出端面和所述玻璃棒的第2光入射端面通過(guò)間隙對(duì)置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1到5中任何一項(xiàng)所述的導(dǎo)光裝置，其特征在于具有覆蓋所述光纖束的光射出端面一側(cè)前端部的套筒部件；和通過(guò)固定在所述光纖束的光射出端面一側(cè)前端部近旁的部位和所述套筒部件上，使所述光纖束保持在所述前端部近旁彎曲的狀態(tài)的彎曲部分保持部件。
全文摘要
光纖束(16)的光射出端面一側(cè)前端部被套筒部件(13)和射出部外圍(14)所覆蓋。將保持玻璃棒(40)的玻璃棒保持部件(42)安裝在射出部外圍(14)上。由定位銷(44)將玻璃棒(40)固定在玻璃棒保持部件(42)上，使它的光入射端面(40i)與光纖束(16)的光射出端面(16o)對(duì)置。玻璃棒(40)的光射出端面(40o)成為矩形形狀。在從光射出端面(40o)射出的光在玻璃棒(40)的邊界面上全反射并進(jìn)行轉(zhuǎn)播的過(guò)程中，能夠使整個(gè)截面上的照度均勻化，并且將截面整形成矩形形狀。
文檔編號(hào)G02B6/10GK1672242SQ03817818
公開日2005年9月21日 申請(qǐng)日期2003年7月4日 優(yōu)先權(quán)日2002年7月25日
發(fā)明者河合和人, 筬島哲也 申請(qǐng)人:浜松光子學(xué)株式會(huì)社