專利名稱：防止回濺的裝置與方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種防止回濺的裝置與方法，尤指一種適用于顯影(Developer)或洗滌(Scrubber)制作過程中，防止顯影液或水回濺的裝置與方法。
背景技術(shù)：
一般制造薄膜電晶體液晶顯示器(TFT-LCD)時(shí)，必須先在干凈的玻璃板上制作薄膜電晶體的圖案，其制作過程與一般半導(dǎo)體制造流程非常類似。首先要沈積薄膜，例如金屬膜或介電薄膜；然后進(jìn)入黃光室噴上光阻液，再套上光罩進(jìn)行曝光接著送到顯影區(qū)噴灑顯影液，以去除照光后的光阻，使光阻層定型；最后再用蝕刻將露出的薄膜去除，并于蝕刻后將留下的光阻去除，電晶體所需要的電路圖案就制作完成。
進(jìn)行顯影的方式有很多種一般采用將顯影液噴灑在置于旋轉(zhuǎn)器的基板上，如圖2所示，顯影機(jī)臺(tái)100為防止液體飛濺，因而于旋轉(zhuǎn)器110外圍的外蓋120(Outercup)上緣設(shè)計(jì)有一段約十公分的擋板121，擋板121為與外蓋120一體成型的平面光滑不銹鋼材質(zhì)制成。在此種設(shè)計(jì)下，顯影液在旋轉(zhuǎn)器110高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，雖可被不銹鋼外蓋擋下，不會(huì)濺至顯影機(jī)臺(tái)外部，但顯影液130與不銹鋼擋板121的高速碰撞下，會(huì)有部分的顯影液再回濺至基板內(nèi)，如箭頭131所示。造成產(chǎn)品的優(yōu)良率下降，此種情形在基板變薄的情形下更顯嚴(yán)重，因基板在高速旋轉(zhuǎn)下會(huì)使邊緣起伏的角度更大，如雙箭頭132所示，使回濺更為嚴(yán)重。例如0.63mm厚的玻璃其回濺程度就比0.70mm厚的玻璃嚴(yán)重。
此外，在洗滌(Scrubber)機(jī)臺(tái)內(nèi)，常有因清洗后高速旋干時(shí)，去離子水(DI-water)回濺至基板表面，造成水氣殘留而影響鍍膜性質(zhì)或后面制作過程的良率或可靠度降低的情況。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于，提供一種防止回濺的裝置，能防止液體回濺至基板表面，而提高產(chǎn)品的良率及可靠度。
本發(fā)明的另一個(gè)目的在于，提供一種防止回濺的方法，能防止液體回濺至基板表面，而提高產(chǎn)品的良率及可靠度。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供的一種防止回濺的裝置，是配合一基板，主要包含一旋轉(zhuǎn)器，用以容置及旋轉(zhuǎn)該基板；至少一液體噴灑單元，位于該旋轉(zhuǎn)器的一側(cè)，用以噴灑一液體至該基板；至少一圍繞部分該旋轉(zhuǎn)器的擋板，用以防止該液體濺出；一粗糙化單元，是披覆于部分該擋板上，用以防止該液體被該擋板回濺。
所述的防止回濺的裝置，其中該基板為硅晶圓，面板或玻璃板。
所述的防止回濺的裝置，其中該液體為水或顯影液。
所述的防止回濺的裝置，其中該擋板為不銹鋼板。
所述的防止回濺的裝置，其中該粗糙化單元為海綿、不銹鋼網(wǎng)、或粗糙的不銹鋼表面。
所述的防止回濺的裝置，其適用于顯影機(jī)臺(tái)(Developer)或洗滌機(jī)臺(tái)(Scrubber)。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供的一種防止回濺的方法，是配合一基板，主要包括以下步驟(A)提供一制作過程機(jī)臺(tái)，該制作過程機(jī)臺(tái)包含一旋轉(zhuǎn)器，用以旋轉(zhuǎn)該基板；一液體噴灑單元，位于該旋轉(zhuǎn)器的一側(cè)，用以噴灑一液體至該基板；一圍繞部分該旋轉(zhuǎn)器的擋板，用以防止該液體濺出；(B)將該擋板的表面粗糙化。
所述的防止回濺的方法，其中該制作過程機(jī)臺(tái)為顯影機(jī)臺(tái)(Developer)或洗滌機(jī)臺(tái)(Scrubber)。
所述的防止回濺的方法，其中該基板為硅晶圓，面板或玻璃板。
所述的防止回濺的方法，其中該液體為水或顯影液。
所述的防止回濺的方法，其中該擋板為不銹鋼板。
所述的防止回濺的方法，其中步驟(B)的方法為以鋼網(wǎng)摩擦該擋板表面。
所述的防止回濺的方法，其中步驟(B)更包含裝設(shè)一粗糙化單元于該擋板外側(cè)。
所述的防止回濺的方法，其中該粗糙化單元為海綿或不銹鋼網(wǎng)。
本發(fā)明裝置或方法中的基板無(wú)限制，可為任何公知的基板，較佳為硅晶圓，面板或玻璃板。本發(fā)明裝置或方法中的液體無(wú)限制，可為任何公知的液體，較佳為該液體為水或顯影液。本發(fā)明裝置或方法中的擋板無(wú)限制，可為任何公知的擋板，較佳為該擋板為不銹鋼板。
本發(fā)明裝置或方法中的粗糙化單元無(wú)限制，可為任何公知的粗糙化單元，較佳為該粗糙化單元為海綿、不銹鋼網(wǎng)、或粗糙的不銹鋼表面。本發(fā)明裝置或方法中適用的機(jī)器無(wú)限制，可為任何公知的機(jī)器，較佳為適用于顯影機(jī)臺(tái)(Developer)或洗滌機(jī)臺(tái)(Scrubber)。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于，能以簡(jiǎn)便的方式有效的提高產(chǎn)品的優(yōu)良率。


圖1是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的顯影室的示意圖；圖2是公知的顯影室剖視圖。
具體實(shí)施例方式
為能更清楚的說明發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容，特舉較佳具體實(shí)施例說明如下。
請(qǐng)參見圖1，圖1為一顯影室的示意圖。顯影室1包含旋轉(zhuǎn)器10，用以旋轉(zhuǎn)基板20；液體噴嘴30，位于旋轉(zhuǎn)器10的側(cè)邊，可噴灑顯影液至基板20；一圍繞旋轉(zhuǎn)器10的平面光滑不銹鋼擋板40，用以防止顯影液濺出顯影室。為針對(duì)現(xiàn)行的顯影槽結(jié)構(gòu)進(jìn)行改善，以降低顯影液回濺的比例，在本實(shí)施例中，將厚度介于1mm～20mm的不銹鋼網(wǎng)50披覆于擋板40上，利用過濾膜原理，液體分子易進(jìn)不易出，且即使有回濺亦可使液體分子因二次撞擊減少體積及作用力，而以微粒分子方式反彈，讓顯影機(jī)臺(tái)內(nèi)的抽氣裝置帶走，以減少顯影液被擋板40回濺至基板20的機(jī)率。測(cè)量不銹鋼網(wǎng)50披覆于擋板40的前后情況，因顯影液回濺造成的產(chǎn)率損失比較，其結(jié)果列于下表1表1

故加裝不銹鋼網(wǎng)50確實(shí)可增加擋板40的表面粗糙度，并降低液體分子與其表面產(chǎn)生完全彈性碰撞的比例。除本實(shí)施例使用的不銹鋼網(wǎng)50之外，任何可增加擋板40表面粗糙度、耐化學(xué)藥品等的物質(zhì)皆可被使用；例如亦可使用海綿?；蚴侵苯邮箵醢?0表面粗糙化，讓撞擊至擋板表面的顯影液分子不易產(chǎn)生彈性碰撞，而回濺至基板表面。其中，表面粗糙化的方法，例如可以為機(jī)械敲擊、噴擊、表面噴覆、摩擦或是化學(xué)蝕刻等方式。
另外，除上述的顯影室之外，本發(fā)明亦可使用于任意的噴灑液體旋涂機(jī)制的制作過程手段，如洗滌制作過程(Scrtlbber)。
上述實(shí)施例僅是為了方便說明而舉例而已，本發(fā)明所主張的權(quán)利范圍自應(yīng)以專利范圍所述為準(zhǔn)，而非僅限于上述實(shí)施例。
權(quán)利要求
1.一種防止回濺的裝置，是配合一基板，其特征在于，主要包含一旋轉(zhuǎn)器，用以容置及旋轉(zhuǎn)該基板；至少一液體噴灑單元，位于該旋轉(zhuǎn)器的一側(cè)，用以噴灑一液體至該基板；至少一圍繞部分該旋轉(zhuǎn)器的擋板，用以防止該液體濺出；一粗糙化單元，是披覆于部分該擋板上，用以防止該液體被該擋板回濺。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防止回濺的裝置，其特征在于，其中該基板為硅晶圓，面板或玻璃板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防止回濺的裝置，其特征在于，其中該液體為水或顯影液。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防止回濺的裝置，其特征在于，其中該擋板為不銹鋼板。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防止回濺的裝置，其特征在于，其中該粗糙化單元為海綿、不銹鋼網(wǎng)、或粗糙的不銹鋼表面。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防止回濺的裝置，其特征在于，其適用于顯影機(jī)臺(tái)或洗滌機(jī)臺(tái)。
7.一種防止回濺的方法，是配合一基板，其特征在于，主要包括以下步驟(A)提供一制作過程機(jī)臺(tái)，該制作過程機(jī)臺(tái)包含一旋轉(zhuǎn)器，用以旋轉(zhuǎn)該基板；一液體噴灑單元，位于該旋轉(zhuǎn)器的一側(cè)，用以噴灑一液體至該基板；一圍繞部分該旋轉(zhuǎn)器的擋板，用以防止該液體濺出；(B)將該擋板的表面粗糙化。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的防止回濺的方法，其特征在于，其中該制作過程機(jī)臺(tái)為顯影機(jī)臺(tái)或洗滌機(jī)臺(tái)。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的防止回濺的方法，其特征在于，其中該基板為硅晶圓，面板或玻璃板。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的防止回濺的方法，其特征在于，其中該液體為水或顯影液。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的防止回濺的方法，其特征在于，其中該擋板為不銹鋼板。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的防止回濺的方法，其特征在于，其中步驟(B)的方法為以鋼網(wǎng)摩擦該擋板表面。
13.根據(jù)權(quán)利要求7所述的防止回濺的方法，其特征在于，其中步驟(B)更包含裝設(shè)一粗糙化單元于該擋板外側(cè)。
14.根據(jù)權(quán)利要求7所述的防止回濺的方法，其特征在于，其中該粗糙化單元為海綿或不銹鋼網(wǎng)。
全文摘要
本發(fā)明是有關(guān)于一種防止回濺的裝置，是用于面板或基板的黃光制作過程，以防止滴置于基板或面板表面的液體(例如顯影液或光阻液)，經(jīng)旋涂后，濺散于周緣后又回濺至基板或面板。因而引起圖樣或黃光制作過程的缺陷，造成產(chǎn)品的劣化。該防止回濺的裝置主要包含一旋轉(zhuǎn)器，至少一液體噴灑單元，至少一圍繞部分該旋轉(zhuǎn)器的擋板，以及一粗糙化單元。而防止回濺的方法，在此也一并揭示。
文檔編號(hào)G03F7/30GK1549058SQ0313783
公開日2004年11月24日 申請(qǐng)日期2003年5月21日 優(yōu)先權(quán)日2003年5月21日
發(fā)明者曾士庭, 鐘昱正, 郭丁瑞 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司